SU994937A1 - Тензорезисторный датчик силы - Google Patents
Тензорезисторный датчик силы Download PDFInfo
- Publication number
- SU994937A1 SU994937A1 SU792827979A SU2827979A SU994937A1 SU 994937 A1 SU994937 A1 SU 994937A1 SU 792827979 A SU792827979 A SU 792827979A SU 2827979 A SU2827979 A SU 2827979A SU 994937 A1 SU994937 A1 SU 994937A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- bridge
- elastic element
- strain
- beams
- strain gauges
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Description
Изобретение относитс к силоизмёрительной технике.
Известен датчик с тензорезисторами , размещенными в зонах равномерных деформаций, получаемых за счет применени в качестве балок консолей равного сопротивлени изгибу ClJ.
Недостатками этого датчика- вл ютс сложность изготовлени и значительные габаритные размеры на Но1грузки 5-10 тс.Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс силоизмерительный датчик, содержащий упругий элемент, выполненный в виде: двух жестко соединенных по концам балок , на поверхност х которых расположен мост тензорезисторов 2.
Недостаток известного датчика заключаетс в том, что технологи изго .товлени его достаточно сложна.
Цель изобретени - упрощение технологии изготовлени .
Указанна цель достигаетс тем, что мост тензорезисторов выполнен в форме замкнутой рамки и расположен на боковой поверхности упругого элемента , при этом мост содержит две низкоомные перемычки, размещенные на нёдеформируемых участках боковой поверхности упругого элемента, а продольные оси тензорезисторов расположен параллельно продольным ос м балок.
На фиг.1 показан датчик-с мостом тензорезисторов в форме рамки, расположенной вдоль внутренней границы. боковой поверхности, вид спереди, на фиг.2 - датчик с рамкой, расположенной вдоль наружной границы боковой
10 поверхности, общий вид; на фиг.3 схема нагружени одной из балок сосредоточенной нагрузкой и эпюра изгибающих напр жений по длине балок.
Тензорезисторный датчик силы со15 держит упругий элемент, например, из полупроводникового кремни п-типа проводимости, выполненный в виде двух балок 1,2 равного сечени , жестко соединенных по концам. На боковой
20 поверхности упругого элемента расположен мост, состо щий из четырех (R.Rij.R3,) тензорезисторов, выполненный в форме замкнутой рамки 3 из . полупроводникового кремни р-типа
25 проводимости. Продольные- оси тензорезисторов расположены параллельно продольным ос м балок вдоль внутренней или наружной границы боковой поверхности . К контактным площадкам 4, вы30 полненным заодно целое с тензорезийторами , присоединены электрические выводы 5. Мост тензорезисторов содержит две низкоомные пepe 1ычки 6, размещенные на недеформируемых участках боковой поверхности упругого элемента .
Датчик работает следующим образом
При воздействии измер емого усили F в балках возникают знакопеременные пол деформации, при этом транзисторы , расположенные в соседних плечах моста, воспринимают деформацию разного знака, а контактные площадки,расположенные в зонах изменени знака деформации (где значени деформаций близки к нулю)i имеют минимальную ползучесть. Мост тензорезисторов преобразует деформацию в электрический сигнал, пропорциональный измер емому усилию F, который далее поступает на вторичный прибор.
Силоизмерительный датчик позвол ет за счет расположени моста тензорезисторов на боковой поверхности упругого элемента и выполнени моста тензорезисторов в форме замкнутой. рамки значительно упростить техноло .гию изготовлени датчиков и использовать групповые методы. Групповые методы изготовлени позвол ют повысить качество, воспроизводимость метрологических характеристик и надежность датчиков.
Claims (2)
- Формула изобретениТензорезистор.ный датчик силы, содержащий Упругий элемент, выполненный в виде двух жестко соединенных по концам балок, на поверхност х которых расположен мост тензорезистоj5oB , отличающийс тем, что, с целью упрощени технологии изготовлени , мост тензорезисторов выполнен в форме замкнутой рамки и расположен на боковой поверхности упругого элемента, при этом мост содержи две низк1оомные перемычки, размещенные на недеформируемых участках боковой прверхности упругого элемента, ъ. продольные оси тензорезисторов расположены параллельно продольным ос м балок.Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе.1. Годзиковский В.А. Упругие элементы тензорезисторных датчиков силы . М. , 1976, с. 26-27, рис. Юг .
- 2. Авторское свидетельство СССР № 189186, кл. G 01 L 1/22, 22.07.65 (прототип).Ып-ТИП.U3ZSip-ГИПфиг.З
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792827979A SU994937A1 (ru) | 1979-10-16 | 1979-10-16 | Тензорезисторный датчик силы |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792827979A SU994937A1 (ru) | 1979-10-16 | 1979-10-16 | Тензорезисторный датчик силы |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU994937A1 true SU994937A1 (ru) | 1983-02-07 |
Family
ID=20854198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792827979A SU994937A1 (ru) | 1979-10-16 | 1979-10-16 | Тензорезисторный датчик силы |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU994937A1 (ru) |
-
1979
- 1979-10-16 SU SU792827979A patent/SU994937A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3376537A (en) | Shear strain load cell | |
| CN104697682A (zh) | 一种光纤光栅测力方法及传感器 | |
| US3559467A (en) | Strain measuring device | |
| SU994937A1 (ru) | Тензорезисторный датчик силы | |
| GB1130585A (en) | Measuring element for dynamometers | |
| FR2598226B1 (fr) | Capteur de force a jauges resistives | |
| US3474681A (en) | Electro-mechanical transducer for tensile,pressure and acceleration measurements | |
| SU847085A1 (ru) | Тензофотопреобразователь | |
| Chethana et al. | Design and development of optical sensor based ground reaction force measurement platform for gait and geriatric studies | |
| SU667834A1 (ru) | Силоизмерительный датчик | |
| SU549693A1 (ru) | Динамометр | |
| CN215384095U (zh) | 一种检测分布式曲面握力的测量装置 | |
| SU678349A1 (ru) | Тензорезисторный силоизмерительный датчик | |
| SU1714395A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU732705A1 (ru) | Датчик разности давлений | |
| RU2029264C1 (ru) | Тензометрический датчик давления | |
| RU1812455C (ru) | Интегральный полупроводниковый датчик давлени | |
| SU568854A1 (ru) | Динамометр | |
| SU1763878A1 (ru) | Тензометрическа балка | |
| SU1566235A1 (ru) | Силоизмерительное устройство | |
| SU106178A1 (ru) | Чувствительный элемент многокомпонентных аэродинамических и гидродинамических весов | |
| SU985719A1 (ru) | Полупроводниковый датчик давлени | |
| SU885834A1 (ru) | Двухкомпонентный динамометр | |
| SU696312A1 (ru) | Тензорезисторный датчик силы | |
| SU566128A1 (ru) | Датчик деформаций |