SU997128A1 - Способ изготовлени автоэлектронных катодов - Google Patents
Способ изготовлени автоэлектронных катодов Download PDFInfo
- Publication number
- SU997128A1 SU997128A1 SU813236061A SU3236061A SU997128A1 SU 997128 A1 SU997128 A1 SU 997128A1 SU 813236061 A SU813236061 A SU 813236061A SU 3236061 A SU3236061 A SU 3236061A SU 997128 A1 SU997128 A1 SU 997128A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- manufacturing field
- emission cathode
- stability
- emission
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 3
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
Изобретение относитс .к электронной технике, а именно к споС ббам обработки катодов с автоэмиссией, ограниченность технического применени которых св зана с низкой стабильностью эмиссии электронов и низкой долговечностью автоэлектронных катодов .....
Известны способы изготовлени автоэлектронного катода, обеспечивающие снижение адсорбции атомов на эмиттируюцей поверхности за счет создани сверхвысокого вакуума либо прогрева, при котором достигаетс десорбци атомов и сглаживание микрошероховатостей Cl.
Указанные способы технологически сложны, j-aK как требуют либо дорого- сто щей высоковакуумной техники, либо контрол степени огрублени вершины катода в процессе прогрева. В последнем случае адсорбционна активность эмиттирующей поверхности катодов снижаетс лишь временно, так что стабильность эмиссии првьиааетс несущественно . Наиболее близким к предлагаемому вл етс способ изготовлени автоэлектронных катодов, в котором дл повышени стабильности катод помещают в вакуумную с добавлением инертного газа, причем давление инертного газа на 1-2 пор дка превышает давление остаточных газов. Способ обеспечивает формирование и поддержание в процессе работы атрмно-гладкой и свободной от адсорбированных атомов поверхности С2.
Однако, хот достигалось повыше10 ние стабильности эмиссии, долговечность катода, которую прин то было однозначно св зывать со стабильность Э1 1иссии, оставалась крайне низкой.
15
С помощью автоионномикроскопических исследований изучена зависимость долговечности катода от особенностей структурных изменений материала катода в приповерхностной области,
20 происход пдах под действием ионной бомбардировки. На основании полученных данных показано, что низка долговечность катода в случае обработки по способу-прототипу св зана с 25 образованием в матерТ1але катода в услови х посто нного облучений нонами инертного газа газонаполненных пузырей-блистеров и взрывом их, привод щим к разрушению катода. При этом
Claims (2)
1.Нейакаливаемыв катоды. Сб. под ред. И.И. Елиисона. «.г Советское радио, 1974, с. 211-213.
2.ABTOpcieoe свидетельство СССР 1 358737,к .Н 01 Л/30,1970(прототип..
4w: б
5 3 2
.о
i
50 юо 50 SOO гзо мин
/
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813236061A SU997128A1 (ru) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | Способ изготовлени автоэлектронных катодов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813236061A SU997128A1 (ru) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | Способ изготовлени автоэлектронных катодов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU997128A1 true SU997128A1 (ru) | 1983-02-15 |
Family
ID=20938743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813236061A SU997128A1 (ru) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | Способ изготовлени автоэлектронных катодов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU997128A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998059355A3 (fr) * | 1997-06-24 | 1999-06-10 | Nikolai Nikolaevich Dzbanovsky | Cathode froide et procedes de fabrication |
-
1981
- 1981-01-12 SU SU813236061A patent/SU997128A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998059355A3 (fr) * | 1997-06-24 | 1999-06-10 | Nikolai Nikolaevich Dzbanovsky | Cathode froide et procedes de fabrication |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2858972A (en) | Ionic vacuum pump | |
| US3516919A (en) | Apparatus for the sputtering of materials | |
| GB1309423A (en) | Field-emission cathodes and methods for preparing these cathodes | |
| GB1420061A (en) | Sputtering method and apparatus | |
| US4541890A (en) | Hall ion generator for working surfaces with a low energy high intensity ion beam | |
| GB1210107A (en) | Improvements in or relating to discharge tube display devices | |
| SE8700017D0 (sv) | Ion plasma electron gun | |
| US6975073B2 (en) | Ion plasma beam generating device | |
| GB1519726A (en) | Method of varying the diameter of a beam of charged particles | |
| US5899666A (en) | Ion drag vacuum pump | |
| SU997128A1 (ru) | Способ изготовлени автоэлектронных катодов | |
| US5216241A (en) | Fast atom beam source | |
| GB1357198A (en) | Method and devices for shaping resharpening or cleaning tips | |
| US3436332A (en) | Stabilized low pressure triode sputtering apparatus | |
| GB939275A (en) | Device for producing thin metal layers by ion neutralization | |
| EP0264709A2 (en) | Hollow-anode ion-electron source | |
| GB768003A (en) | Improvements in high vacuum pumps | |
| US2659685A (en) | Boride cathodes | |
| GB1105726A (en) | Ionisation vacuum pump | |
| US3042824A (en) | Improved vacuum pumps | |
| US2190695A (en) | Secondary electron emitter and method of making it | |
| US4155028A (en) | Electrostatic deflection system for extending emitter life | |
| US3080104A (en) | Ionic pump | |
| US3152752A (en) | Apparatus and method of removing organic vapors from low pressure vacuum systems | |
| JPS594045Y2 (ja) | 薄膜生成用イオン化装置 |