TH104483A - เครื่องขัดเงาแบบสองด้านของซับสเทรทแก้วสำหรับจานแม่เหล็ก, วิธีการขัดเงาและวิธีการผลิต - Google Patents
เครื่องขัดเงาแบบสองด้านของซับสเทรทแก้วสำหรับจานแม่เหล็ก, วิธีการขัดเงาและวิธีการผลิตInfo
- Publication number
- TH104483A TH104483A TH901002844A TH0901002844A TH104483A TH 104483 A TH104483 A TH 104483A TH 901002844 A TH901002844 A TH 901002844A TH 0901002844 A TH0901002844 A TH 0901002844A TH 104483 A TH104483 A TH 104483A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- polishing
- surface plate
- double
- top surface
- glass substrates
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (11/09/52) แผ่นรองเพื่อการขัดเงา 24 ของแผ่นพื้นผิวด้านบน 22 และแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 25 ของ แผ่นพื้นผิวด้านล่าง 23 มีร่อง 24a และ 25a, และแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 24 ของแผ่นพื้นผิวด้านบน 22 ได้รับการกำหนดตั้งให้เล็กกว่าแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 25 ของแผ่นพื้นผิวด้านล่าง 23 ในพื้นที่สัมผัส ของแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 24 และ 25 กับแผ่นแก้ว 10 ในสถานะที่ไม่มีการหมุนของแผ่นพื้นผิว ด้านบน 22 และแผ่นพื้นผิวด้านล่าง 23 แผ่นรองเพื่อการขัดเงา 24 ของแผ่นพื้นผิวด้านบน 22 และแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 25 ของ แผ่นพื้นผิวด้านล่าง 23 มีร่อง 24a และ 25a, และแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 24 ของแผ่นพื้นผิวด้านบน 22 ได้รับการกำหนดตั้งให้เล็กกว่าแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 25 ของแผ่นพื้นผิวด้านล่าง 23 ในพื้นที่สัมผัส ของแผ่นรองเพื่อการขัดเงา 24 และ 25 กับแผ่นแก้ว 10 ในสถานะที่ไม่มีการหมุนของแผ่นพื้นผิว ด้านบน 22 และแผ่นพื้นผิวด้านล่าง 23
Claims (1)
1. เครื่องขัดเงาแบบสองด้านเพื่อการขัดเงาซับสเทรทแก้วสำหรับจานแม่เหล็ก, เครื่องขัดเงา แบบสองด้านดังกล่าวซึ่งขัดเงาผิวหน้าทั้งสองของซับสเทรทแก้วสำหรับจานแม่เหล็กซึ่งจัดวาง ระหว่างแผ่นพื้นผิวด้านบนและแผ่นพื้นผิวด้านล่างซึ่งแต่ละแผ่นมีแผ่นรองเพื่อการขัดเงา โดยที่พื้นที่สัมผัสของแผ่นรองเพื่อการจัดเงาของแผ่นพื้นผิวด้านบนกับซับสเทรทแก้วนี้ เล็กกว่านี้พื้นที่สัมผัสของแผ่นรองเพื่อการขัดเงาของแผ่นพื้นผิวด้านล่างกับซับสเทรทแก้วนี้ แท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH104483A true TH104483A (th) | 2010-10-12 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SG150468A1 (en) | Chemical mechanical polishing pad with controlled wetting | |
| EP2025454A3 (en) | Improved chemical mechanical polishing pad and methods of making and using same | |
| EP2025460A3 (en) | Improved chemical mechanical polishing pad and methods of making and using same | |
| IL201028A (en) | A metal layer polishing pad and a metal layer polishing method that uses it | |
| PH12012000019A1 (en) | Method of manufacturing a glass substrate for a magnetic disk and method of manufacturing a magnetic disk | |
| MY158519A (en) | Method of manufacturing a glass substrate for a magnetic disk | |
| ATE521449T1 (de) | Verfahren zum abschleifen von halbleiter-wafern, abschleifsplatte und abschleifungsvorrichtung | |
| EP1918069A4 (en) | METHOD FOR DOUBLE-SIDED POLISHING OF WAFERS | |
| JP2006346856A5 (th) | ||
| SG152121A1 (en) | Carrier, method for coating a carrier, and method for the simultaneous double-side material-removing machining of semiconductor wafers | |
| SG165292A1 (en) | Method of manufacturing a substrate for a magnetic disk | |
| MY168037A (en) | Method for manufacturing magnetic-disk glass substrate | |
| SG153742A1 (en) | Manufacturing method of glass substrate for magnetic disc | |
| EP2128896A3 (en) | Method of polishing silicon wafer | |
| PH12012000100A1 (en) | Method for producing glass substrate for magnetic recording medium and glass substrate for magnetic recording medium | |
| DE602006004241D1 (de) | Trägermaterial und Polierverfahren dafür | |
| CN104070466B (zh) | 一种树脂抛光盘 | |
| JP5502542B2 (ja) | 研磨パッド | |
| PH12011000429A1 (en) | Dresser for polishing pad, method for manufacturing the dresser, glass substrate, method for manufacturing the glass substrate, glass substrate for magnetic recording medium, and method for manufacturing the glass substrate for magnetic recording medium | |
| CN204295485U (zh) | 化学机械研磨垫 | |
| JP2014002818A5 (th) | ||
| KR20110106014A (ko) | 드레서 및 이를 포함하는 웨이퍼 양면 연마 장치 | |
| JP5587636B2 (ja) | 研磨パッド | |
| MY146813A (en) | Method of manufacturing a substrate for a mask blank, method of manufacturing a mask blank, and method of manufacturing a mask | |
| MY164088A (en) | Carrier plate, method of manufacturing disc-shaped substrate, and double- sided machining device for machining both surfaces of disc-shaped substrate |