TH12414A - ระบบควบคุมการปล่อยสำหรับองค์ประกอบของของไหลที่?มี?ส่วนประกอบระเหยง่ายและวิธีการควบคุม - Google Patents

Abstract

ระบบและวิธีการสำหรับการควบคุมการปล่อยสู่บรรยากาศของวัสดุระเหยง่ายเช่นตัวทำละลายซึ่งใช้สำหรับทำความสะอาดหรือ ทำ บำบัดชิ้นงานตามขั้นตอนของการผลิต จะประกอบรวมด้วยช่องทำ ความ สะอาด (12) และระบบควบคุมการปล่อย(10) เพื่อนำตัวทำละลาย และ ก๊าซกลับคืนแบบวงปิดที่ไหลวนเวียน ช่องทำความสะอาด(12) ถูก แยก โดดออกจากระบบควบคุมการปล่อย (10) แบบวงปิด ชิ้นงานที่จะ ถูกทำ ความสะอาดถูกนำมาวางในช่องทำความสะอาดแล้วช่องทำความสะอาด จะถูก ปิดผนึกและก๊าซภายในถูกดูดออกไปซึ่งก๊าซเหล่านี้จะถูกพ่น ออก ด้านนอกระบบแบบวงปิด ชิ้นงานจะถูกทำความสะอาดด้วยตัวทำละ ลายและ ทำให้แห้งด้วยของไหลที่ได้รับมาจากในระบบนำตัวทำละลายกลับ คืนมา จากก๊าซที่ไม่สามารถกลั่นตัวได้ซึ่งตกค้างอยู่ในระบบ การทำ ให้ แห้งมีผลด้วยการผ่านก๊าซที่นำกลับคืนมาได้จากระบบแบบวงปิด ผ่าน ช่องทำความสะอาด(12) และด้วยการดูดออก ก๊าซที่ถูกดูดออกจาก ช่อง ทำความสะอาด (12) จะมีไอของตัวทำละลายจะถูกเก็บกักไว้ภายใน ระบบควบคุมการปล่อย(10) แบบวงปิด ช่องทำความสะอาด(12) จะ ถูก ระบายออกด้านนอกระบบควบคุมการปล่อย(10) แบบวงปิดก่อนที่จะ นำ ชิ้นงานที่ถูกทำความสะอาดออก

Claims (21)

1ระบบควบคุมการปล่อยสำหรับองค์ประกอบของไหลที่ประกอบด้วยส่วนประกอบก๊าซและของเหลวที่ระเหยง่ายซึ่งใช้ทำความสะอาดชิ้นงาน ระบบควบคุมการปล่อยนี้ประกอบรวมด้วย (a)ช่องทำความสะอาดสำหรับรองรับชิ้นงานที่จะทำความละอาดด้วยการสัมผัสกับหรือเปิดเผยต่อองค์ประกอบของไหล (b)อุปกรณ์สำหรับทำความดันตามที่กำหนดไว้ภายในช่องทำความสะอาด (c)อุปกรณ์สำหรับส่งผ่านองค์ประกอบของไหลไปยังช่อทำความสำอาด อุปกรณ์สำหรับเก็บสะสมองค์ประกอบของไหลที่พ่นออกมาจากช่องทำความสะอาด (d)อุปกรณ์สำหรับแยกส่วนประกอบก๊าซและของเหลวขององค์ประกอบของไหลที่พ่นออกมาจากช่องทำความสะอาด

2.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 จะ รวมถึงอุปกรณ์สำหรับให้ความร้อนแก่ช่องทำความสะอาดและสิ่ง ที่บรรจุอยู่ภายใน

3.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 จะ รวมถึงอุปกรณ์แบบวงปิดสำหรับการไหลวนเวียนของส่วนประกอบ ก๊าซไปยังช่องทำความสะอาดทำหน้าที่เป็นสารทำความสะอาด

4.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่ ซึ่งอุปกรณ์แบบวงปิดที่ไหลวนเวียนจะรวมถึง อุปกรณ์สำหรับแยกส่วนประกอบที่ระเหยง่ายออกจากส่วนประกอบ ก๊าซก่อนที่จะส่งกลับก๊าซดังกล่าวไปยังช่องทำความสะอาด

5.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่ ซึ่งอุปกรณ์แบบวงซึ่งที่ไหลวนเวียนจะรวมถึง อุปกรณ์สำหรับให้ความร้อนแก่ส่วนประกอบก๊าซก่อนที่จะไหล เข้าสู่ช่องทำความสะอาด

6.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 4 ที่ ซึ่งอุปกรณ์แบบวงปิดที่ไหลวนเวียนจะรวมถึงคอมเพสเซอร์ก๊าซ สำหรับสร้างความดันให้แก่ส่วนประกอบก๊าซก่อนที่จะไหลผ่านไป ยังอุปกรณ์แยกก๊าซ/ของงเหลว และบ่อก๊าซสำหรับเก็บสะสม ประกอบก๊าซภายหลังที่ไหลผ่านอุปกรณ์แยกก๊าซ/ของเหลวแล้ว

7.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 3 จะ รวมถึงอุปกรณ์โซลินอยด์วาล์วตัวที่หนึ่งสำหรับการเลือกป้อน ส่วนประกอบของไหลหรือส่วนประกอบก๊าซที่ไหลวนเวียนเข้าสู่ ห้องทำความสะอาด

8.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 7 จะ รวมถึงอุปกรณ์โซลินอยด์วาล์วตัวที่สองสำหรับการเลือกเชื่อม ต่อช่องต่อช่องทำความสะอาดกับอุปกรณ์สร้างความดันหรือ อุปกรณ์แยกก๊าซ/ของเหลว

9.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 8 จะ รวมถึงอุปกรณ์โซลินอยด์วาล์วตัวที่สามสำหรับการเลือกเชื่อม ต่อช่องทำความสะอาดกับแหล่งก๊าซภายนอกในอุปกรณ์แบบปิดที่ ไหลวงเวียน

10.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 9 จะ รวมถึงอุปกรณ์โซลินอย์วาล์วที่สำหรับเชื่อมต่ออุปกรณ์สร้าง ความดันกับบรรยากาศหรือกับอุปกรณ์แบบวงปิดที่ไกลวนเวียน

11.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 3 จะ รวมถึงอุปกรณ์สำรหับการควบคุมปริมาตรของก๊าซที่ไม่สามารถ กลั่นตัวในระบบแบบวงปิดที่ไหลวนเวียน

12.ระบบควบคุมการปล่อยสำหรับองค์ประกอบของไหลที่ประกอบด้วย ส่วนประกอบก๊าซและของเหลวที่ระเหยง่ายซึ่งใช้บำบัดหรือทำ ความสะอาดชิ้นงานที่เป็นส่วนหนึ่งของหรือจังหวะของกรรมวิธี การผลิต ระบบควบคุมการปล่อยประกอบด้วย (a)ช่องทำความสะอาดสำหรับรองรับชิ้นงานและระบบแบบวงปิด สำหรับก๊าซที่ส่งกลับซึ่งถูกดูดอกมาจากช่องทำความสะอาดกลับ คืนสู่ช่องทำความสะอาด (b)อุปกรณ์สำหรับดูดซับก๊าซออกจากช่องทำความและพ่นสิ่ง ที่ลรรจุอยู่ภายในออกด้านนอกระบบวงปิด (c)อุปกรณ์สำหรับการปล่อยให้องค์ประกอบของไหลไหลเข้าสู่ ช่องทำความสะอาดเพื่อทำความสะอาดชิ้นงาน (d)อุปกรณสำหรับการพ่นองค์ประกอบของไหลออกจากช่องทำความ สะอาด (e)อุปกรณ์สำหรับการแยกส่วนประกอบก๊าซและของเหลวขององค์ ประกอบของไหลที่ถูกพ่นออกมา (f)อุปกรณ์สำหรับการพ่นส่วนประกอบก๊าซเข้าสู่ระบบแบบวงปิด (g)อุปกรณ์สำหรับการปล่อยให้ก๊าซจากแหล่งภายนอกเข้าสู่ช่อง ทำความสะอาดเพื่อเคลื่อนขยายย้ายชิ้นงานที่ทำความสะอาดแล้ว

13.ระบบควบคุมการปล่อยดังระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่ซึ่งส่วนประกอบก๊าซจะถูกนำกลับมาใช้ใหม่ผ่านระบบแบบวง ปิดกลับไปสู่ช่องทำความสะอาดเพื่อทำให้ชิ้นงานแห้ง

14.ระบบควบคุมการปล่อยของข้อถือสิทธิข้อที่ 13 จะรวมถึง อุปกรณ์ให้ความร้อนในระบบวงปิดสำหรับการใหความร้อนแก่ส่วน ประกอบก๊าซก่อนที่จะส่งส่วนประกอบก๊าซเข้าสู่ช่องทำความ สะอาด

15.ระบบควบคุมการปล่อยของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่ซึ่ง อุปกรณ์สำหรับดูดออกประกอบรวมด้วยปั๊มสุญญากาศ

16.ระบบควบคุมการปล่อยของข้อถือสิทธิข้อที่ 15 จะรวมถึง อุปกรณ์การเลือกเชื่อมต่อปั๊มสุญาญากาศหรือระบบวงปิดที่ไหล วนเวียน

17.ระบบควบคุมการปล่อยของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่ซึ่ง อุปกรณ์สำหรับแยกก๊าซ/ของเหลวจะมีถังรับของเหลว ระบบควบคุม การปล่อยดังกล่าวยังรวมถึงบ่อพักของเหลวกลับมาใหม่ซึ่งจะ เชื่อมต่อทางของไหลกับถังรับของเหลว

18.ระบบควบคุมการปล่อยของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่ซึ่งระบบ ดังกล่าวยังรวมถึงคอมเพรสเซอร์ก๊าซสำรับสร้างความดันให้แก่ ส่วนประกอบก๊าซจากอุปกรณ์สำหรับก๊าซ/ของเหลว และมีบ่อก๊าซ สำหรับเก็บสะสมประกอบก๊าซที่ถูกอัด

19. ระบบควบคุมการปล่อยของข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ที่ซึ่ง อุปกรณ์ให้ความร้อนจะรวมถึงหน่วยแลกเปลี่ยนความร้อนด้าน ต้นานของท่อก๊าซเพื่อทำการกลั่นตัวให้ไอรัเหยที่มีจุดเดือด สูงมากกว่า

20. ระบบควบคุมการปล่อยของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 จะรวมถึง อุปกรณ์สำหรับให้ความร้อนแก่ช่องทำความสะอาดและสิ่งที่ บรรจุอยู่ภายใน

21.ระบบควบคุมการปล่อยสำหรับองค์ประกอบของไหลซึ่งประกอบ ด้วยส่วนประกอบก๊าซและของเหลวที่ระเหยง่ายซึ่งใช้ทำความ สะอาดชิ้นงาน ระบบควบคุมการปล่อยแระกอบด้วย ช่องทำความสะอาดสำหรับใช้รอบรับชิ้นงาน ปั๊มสำหรับดูดภายในช่องทำความสะอาดออก อุปกรณ์สำหรับส่งผ่านองค์ประกอบของไหลเข้าสุ่ช่องทำความ สะอาด เครื่องแยกก๊าซ/ของเหลวเชื่อมต่อกับช่องทำความสะอาดเพื่อ แยกส่วนประกอบก๊าซและส่วนประกอบของเหลวองค์ประกอบของไหลที่ พ่นออกมาจากช่องทำความสะอาด ระบบแบบวงปิดที่ไหลวงเวียนสำหรับส่งกลับส่วนประกอบก๊าซของ องค์ประกอบของไหลเข้าสู่ช่องทำความสะอาด ระบบวงปิดที่ไหลวงเวียนจะมีเครื่องแยกสำหรับแยกส่วนประกอบ ที่ระเหยง่ายออกจากส่วนประกอบก๊าซก่อนที่จะส่งกลับไปยัง ช่องทำความสะอาด มีเครื่องทำความร้อนสำหรับให้ความร้อนแก่ ส่วนประกอบที่จะเข้าสู่ช่องทำความสะอาด มีคอมเพรสเซอร์ สำหรับสร้างความดันให้แก่ส่วนประกอบก่อนที่จะส่งผ่านไปยัง เครื่องแยก มีบ่อก๊าซการเก็บสะสมส่วนประกอบก๊าซหลังจากไหล ผ่านเครื่องแยก วาล์วระบายความดันสำหรับควบคุมผริมาตรของก๊าซที่ไม่สามารถ กลั่นตัวได้ระบบแบบปิดที่ไหลวนเวียน (ข้อถือสิทธิ 21 ข้อ, 5 หน้า, 1 รูป)