TH14017A - หัวเครื่องมือที่สามารถเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของชิ้น?งานในย่านกว้างหรือควบคุมการ-เปลี่ยนแปลง?อุณหภูมิของชิ้นงานในย่านกว้างให้คงที่ - Google Patents

หัวเครื่องมือที่สามารถเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของชิ้น?งานในย่านกว้างหรือควบคุมการ-เปลี่ยนแปลง?อุณหภูมิของชิ้นงานในย่านกว้างให้คงที่

Info

Publication number
TH14017A
TH14017A TH9101001206A TH9101001206A TH14017A TH 14017 A TH14017 A TH 14017A TH 9101001206 A TH9101001206 A TH 9101001206A TH 9101001206 A TH9101001206 A TH 9101001206A TH 14017 A TH14017 A TH 14017A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
wide range
over
varying
maintaining
tool head
Prior art date
Application number
TH9101001206A
Other languages
English (en)
Inventor
เผ่าลินจง นายวิวัฒน์
Original Assignee
บริษัท ไบโอไฟล์ จำกัด
Filing date
Publication date
Application filed by บริษัท ไบโอไฟล์ จำกัด filed Critical บริษัท ไบโอไฟล์ จำกัด
Publication of TH14017A publication Critical patent/TH14017A/th

Links

Abstract

หัวเครื่องมือที่สามารถเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของชิ้นงานในย่านกว้างมากหรือควบคุมการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของชิ้นงานให้คงที่ ประกอบไปด้วย สารกึ่งตัวนำที่สามารถถ่ายเทความร้อนหรือความเย็นได้ (THERMO MODULE หรือ THERMO ELECTRICCOUPLE หรือ PELTLER) ซึ่งสามารถเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิให้ร้อนหรือเย็นได้ โดยมีห้องหล่อเย็นทำหน้าที่ถ่ายเทความร้อนออกจากด้านหลังแผ่นสารกึ่งตัวนำฯ ได้อย่างรวดเร็ว จึงสามารถควบคุมอุณหภูมิในย่านกว้างมากได้คงที่
TH9101001206A 1991-08-16 หัวเครื่องมือที่สามารถเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของชิ้น?งานในย่านกว้างหรือควบคุมการ-เปลี่ยนแปลง?อุณหภูมิของชิ้นงานในย่านกว้างให้คงที่ TH14017A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH14017A true TH14017A (th) 1994-05-20

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE0000481L (sv) Förfarande och anordning för reglering av batteritemperatur
EP0318273A3 (en) Integrated temperature control/alignment system for high performance capillary electrophoretic apparatus
WO2003007677A3 (en) Thermal cycling system and method of use
GB1183185A (en) Apparatus for Controlling the Temperature of a Living Body
KR940004716A (ko) 서멀도너를 소멸시키기 위한 반도체 웨이퍼의 연속 열처리장치
DE69905194D1 (en) Thermozykliergerät
WO2005006400A3 (en) Substrate support having dynamic temperature control
DE69423447D1 (de) Siliziumnitridteil mit hoher Wärmeleitfähigkeit, Halbleitergehäuse, Heizung und thermischer Kopf
GB2384624A (en) Thermoelectric control of fluid temperature
TW345751B (en) Thermovoltaic generator type solid-state switch a thermovoltaic generator type solid-state switch comprises a single crystal silicon substrate; an MOS field effect transistor; etc.
EP1184768A3 (en) Thermal control apparatus and method for thermally controlling a plurality of objects within a predetermined temperature range
AU2001281647A1 (en) Calorimeter
EP1717307A4 (en) DEVICE FOR TEMPERATURE CONTROL
DK1080329T3 (da) Varmeoverförende anordning
WO1995004317A3 (en) Thermostatic method and device
US5992172A (en) Fast thin-plate cooling apparatus
DE69529843D1 (de) Temperatursteuernde tiefsttemperaturbaueinheit
WO2002063404A3 (en) Multi-channel temperature control system for semiconductor processing facilities
DE69801452D1 (de) Kühlstromregelungseinrichtung für Brennkammern mit hoher Temperatur
WO2004017476A3 (de) Halbleitervorrichtung mit kühlelement
SG152028A1 (en) Method for substrate thermal management
JPS5361290A (en) Temperature controller of semiconductor laser
DK0597820T3 (da) Varmeelement til fladeopvarmning
WO2002074898A3 (en) Gradient block temperature control device
DK627886A (da) Indretning til styring og regulering af energitilfoerslen til en varmeveksler