Claims (24)
1.ตัวกรองโครงสร้างขนาดจิ๋วซึ่งมีทางเข้าสำหรับของไหลที่ยังไม่ได้กรองและทางออกสำหรับ ของไหลที่กรองแล้ว, ตัวกรอง ประกอบรวมด้วย แผ่นฐานค่อนข้างจะแบน (1) และแผ่นปิดคลุมที่จะยึดเข้าด้วย และส่วนยื่นจำนวนหนึ่ง (7) ที่แต่ ละอันประกอบรวมด้วยส่วน ประกอบที่เป็นชิ้นเดียวกันของแผ่นฐานดังกล่าว (1) และแต่ละ อันจะยื่นจาก นั้น ส่วนยื่นดังกล่าว (7) ถูกเว้นห่างจากอีก อันหนึ่งโดยช่องทาง (8) ที่ก่อรูปช่องทางของไหลผ่านตัวกรอง จากทางเข้าดังกล่าวไปยังทางออกดังกล่าว แผ่นปิดคลุมดัง กล่าวเมื่อถูกยึดแน่นกับแผ่นฐานจะครอบส่วน ยื่นดังกล่าว (7) และช่องทางดังกล่าว (8) โดยที่ส่วนยื่นจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกจัดเรียงในอย่างน้อย ที่สุดสองแถวเพื่อยื่นในรูปแบบซิกแซ็ก (34) และในลักษณะ อยู่ชิดร่วมกันตลอดตัวกรอง และ ทางเข้าและทางออกแต่ละอันประกอบรวมด้วยช่องยาวสำหรับของ ไหลที่ยังไม่ได้กรองและที่ กรองแล้วตามลำดับ, แต่ละอันของ ช่องดังกล่าวจะค่อนข้างกว้างเท่ากับตัวกรองและค่อนข้างจะ สูงเท่ากับ ส่วนยื่นบนด้านทางเข้าและทางออกของตัวกรองตามลำ ดับ1. A miniature structure filter with an inlet for the unfiltered fluid and an outlet for the filtered fluid, the filter consists of a relatively flat base plate (1) and a cover plate to be fastened to it, and a number of projections (7) each made up of a single piece of the said base plate (1) and each protruding from it. These projections (7) are separated from one another by channels (8) that form channels for the fluid to pass through the filter from the said inlet to the said outlet. The cover plate, when fastened to the base plate, encloses these projections (7) and these channels (8), with the number of these projections arranged in at least two rows to protrude in a zigzag pattern (34) and in a manner adjacent to each other along the filter, and each inlet and outlet consist of elongated channels for the unfiltered and filtered fluids, respectively, each of which is relatively as wide as the filter and relatively as high as the projections on the inlet and outlet sides of the filter, respectively.
2. ตัวกรองตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ช่องว่างระหว่าง แผ่นฐานและแผ่นปิดคลุมจะใหญ่โดย ประมาณเท่ากับความกว้างของ ช่องทาง (8) ระหว่างส่วนยื่น (7) ที่อยู่ติดกัน2. Filters according to claim 1, where the space between the base plate and the cover plate shall be approximately equal to the width of the channel (8) between the adjacent protrusions (7).
3. ตัวกรองตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ แถวจำนวนหนึ่ง (3) ของส่วนยื่น (7) ถูกจัดเรียงในรูปแบบ เรียงต่อกัน ส่วนตัดขวางของช่องทาง (8) ที่ตั้งฉากกับทิศทางของการไหล ของของไหลเมื่อมองในทิศทาง ของการไหลลดลงจากแถวหนึ่งไปอีก แถวหนึ่ง ส่วนยื่น (3) ซึ่งถูกจัดเรียงใกล้ด้านทางเข้าของตัวกรอง มากกว่าจะใหญ่กว่าส่วนยื่น (3) ซึ่งถูกจัด เรียงที่ด้านทาง ออกของตัวกรอง และ ช่องว่างระหว่างแผ่นฐานและแผ่นปิดคลุมในพื้นที่รอบแต่ละ แถวของส่วนยื่น (7) ซึ่งแถวจะถูก จัดเรียงในรูปแบบเรียงต่อ กันจะใหญ่โดยประมาณเท่ากับความกว้างของช่องทางบนด้านหนึ่ง ของส่วนยื่น (7) ซึ่งของไหลผ่านไปบนนั้นเข้าสู่แถวของช่อง ทาง3. A filter according to claim 1, where a number of rows (3) of projections (7) are arranged in a series, the cross-section of the channels (8) perpendicular to the direction of flow of the fluid when viewed in the direction of flow decreases from one row to another, the projection (3) arranged closer to the filter inlet side is larger than the projection (3) arranged at the filter outlet side, and the space between the base plate and the cover plate in the area around each row of projections (7) on which the rows are arranged in a series is approximately equal to the width of the channel on one side of the projection (7) on which the fluid passes into the row of channels.
4. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 3 โดยที่แผ่นปิดคลุมดังกล่าวค่อนข้าง แบน4. A filter that meets one of the conditions of claims 1 through 3, where such cover is relatively flat.
5. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 4 โดยที่ช่องทางเข้าดังกล่าว (5) มีอัตรา ส่วนของความสูงต่อ ความกว้างจาก 1:5 ถึง 1:1000, และช่องทางออกดังกล่าวมี อัตราส่วนของความสูงต่อ ความกว้างจาก 1:5 ถึง 1:10005. Filter according to one of the claims 1 through 4, where such entry channel (5) has a height-to-width ratio from 1:5 to 1:1000, and such exit channel has a height-to-width ratio from 1:5 to 1:1000.
6. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 5 โดยที่ ช่องว่างระหว่างแผ่นฐาน (1) ในพื้นที่รอบส่วนยื่น (7) และ แผ่นปิดคลุมภายในแถว (3) ของส่วน ยื่น (7) อยู่ระหว่างครึ่ง หนึ่งและสองเท่าของความกว้างของช่องทางบนด้านหนึ่งของส่วน ยื่น, ซึ่งของไหลผ่าน ไปบนนั้นเข้าสู่แถวของช่องทาง (8)6. A filter according to one of the claims 1 through 5, where the space between the base plate (1) in the area around the protrusion (7) and the cover plate inside row (3) of the protrusion (7) is between one and two times the width of the channel on one side of the protrusion, over which the fluid enters the row of channels (8).
7. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 6 โดยที่ด้านซึ่งหันร่วมกันของแถวที่อยู่ติด กันสองแถวของส่วน ยื่น (7) จะกำหนดช่องว่างการเชื่อมต่อซึ่งของไหลจะไหลจาก ช่องทางทั้งหมดเข้าสู่ ระหว่างส่วนยื่นของแถวที่หนึ่งและ ซึ่งของไหลจะไหลออกเข้าสู่ช่องทางทั้งหมดระหว่างส่วนยื่น ของแถว ซึ่งตามมาในทิศทางของการไหล7. A filter according to one of the claims 1 through 6, where the common facing sides of two adjacent rows of the (7) section define the connection channels through which fluid flows from all channels into between the first row's section and which fluid flows out into all channels between the subsequent rows' section in the direction of flow.
8. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 7 ซึ่งประกอบรวมด้วย ห้องเก็บรวมรวมที่มีส่วนตัดขวางยาวระหว่างช่องทางเข้า (5) และแถวที่หนึ่งของส่วนยื่น (4) ซึ่ง ของไหลที่ยังไม่ได้กรอง ผ่านเข้าสู่และซึ่งของไหลจะไหลออกเข้าสู่ช่องทางทั้งหมด ระหว่างส่วนยื่นของ แถวที่หนึ่ง และ ห้องเก็บรวมรวมที่มีส่วนตัดขวางยาวระหว่างแถวสุดท้ายของ ส่วนยื่นและช่องทางออก ซึ่งของ ไหลจะไหลออกจากช่องทางทั้ง หมดของแถวสุดท้ายเข้าไปสู่และซึ่งของไหลที่กรองแล้วจะผ่าน ออกจาก8. A filter according to any of the claims 1 through 7, which consists of a collection chamber with a long cross-section between the inlet channel (5) and the first row of the cantilever (4), into which the unfiltered fluid flows and into which the fluid flows out into all channels between the cantilever of the first row, and a collection chamber with a long cross-section between the last row of the cantilever and the outlet channel, into which the fluid flows out of all channels of the last row and into which the filtered fluid flows out.
9. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 8 โดยที่ส่วนยื่นดังกล่าวจะอยู่ในรูปใดรูป หนึ่งของในรูปของ พื้น (11,12,13,14,15) ซึ่งเมื่อมองในทิศทางการไหลจะเป็น เส้นตรงหรือโค้งหรือยู่ ในรูปแบบของแถวแนวตั้ง (16,17,18,19)9. A filter according to one of the claims 1 through 8, where such projections are in one of the forms of a floor (11,12,13,14,15) which, when viewed in the direction of flow, are straight, curved, or in the form of a vertical row (16,17,18,19).
10. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 9 โดยที่ช่องทางดังกล่าว (8) มีส่วนตัด ขวางที่ค่นข้างจะคงที่ และมีความยาวที่อย่างน้อยที่สุดเท่ากับสองเท่าของความสูง ของตัวมันบนด้านทาง เข้าของของไหล10. A filter according to one of the claims 1 through 9, where such channel (8) has a relatively constant cross-section and a length that is at least twice its height on the fluid inlet side.
11. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 10 โดยที่ช่องทางดังกล่าว (8) มีส่วนตัด ขวางที่คงที่โดย ประมาณตลอดความยาวช่องทาง และมีความยาวเท่ากับ 5 ไมครอนถึง 50 ไมครอน, ความ สูงเท่ากับ 2.5 ไมครอนถึง 25 ไมครอนและความ กว้างเท่ากับ 2.5 ไมครอนถึง 25 ไมครอน11. A filter according to any of the claims 1 through 10 where such channel (8) has a cross-section that is approximately constant along the length of the channel and has a length of 5 microns to 50 microns, a height of 2.5 microns to 25 microns and a width of 2.5 microns to 25 microns.
12. ตัวกรองตามข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยที่ช่องทางดัง กล่าวมีส่วนตัดขวางค่อนข้างจะเป็นสี่เหลี่ยม จัตุรัส12. Filter according to claim 11, where the channel has a relatively square cross-section.
13. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 11 โดยที่ช่องทางดังกล่าวมีส่วนตัดขวาง เป็นรูปทรงกระบอก หรือสี่เหลี่ยมคางหมู13. A filter according to one of the claims 1 through 11, where the cross-section of the channel is cylindrical or trapezoidal.
14. ตัวกรองตามข้อถือสิทธิข้อที่ 13 โดยที่ด้านที่ยาวกว่า ของช่องทางสี่เหลี่ยมคางหมูจะถูกก่อรูป โดยแผ่นปิดคลุม14. Filter according to claim 13, where the longer side of the trapezoidal channel is formed by a covering plate.
15. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 11 โดยที่ช่องทาง (8) ซึ่งมีส่วนตัดขวาง เป็นสี่เหลี่ยม จัตุรัสโดยประมาณบนด้านทางเข้าของตัวกรองจะกลายเป็นกว้างก ว่าไปยังด้านทางออกของ ตัวกรอง15. A filter according to any of the claims 1 through 11 where the channel (8) which has a cross-section of approximately a square on the filter's inlet side becomes wider on the filter's outlet side.
16. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 15 โดยที่ช่องว่างระหว่างแถวของส่วน ยื่นควรจะเป็นสองเท่า ของความกว้างช่องทางบนด้านทางเข้า16. Filter according to one of the claims 1 through 15, where the spacing between rows of overhangs shall be twice the width of the channel on the entrance side.
17. ตัวกรองตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้านี้โดยที่ รูปแบบซิกแซ็กดังกล่าวประกอบรวม ด้วยแถวของส่วนยื่นเอียง เมื่อเทียบกับซึ่งกันและกันผ่านมุมแอลฟาระหว่าง2 ํถึง 25 ํ17. A filter based on one of the preceding claims where the zigzag pattern consists of rows of slanted overhangs relative to each other through an alpha angle between 2° and 25°.
18. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 17 โดยที่ช่องว่างระหว่างแผ่นฐาน (1) ใน พื้นที่รอบส่วนยื่น (7) และแผ่นปิดคลุมภายในแถว (3) ของส่วนยื่นจะค่อนข้างคง ที่18. Filter according to any one of the claims 1 through 17 where the space between the base plate (1) in the area around the protrusion (7) and the cover plate inside row (3) of the protrusion is relatively constant.
19. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 17 โดยที่ช่องว่างระหว่างแผ่นฐาน (1) ใน พื้นที่รอบส่วนยื่น (7) และแผ่นปิดคลุมภายในแถว (3) ของส่วนยื่น (7) จะใหญ่ กว่าในบริเวณของปลาย ของแถวซึ่งอยู่ในบริเวณใกล้เคียงของทาง ออกของตัวกรองกว่าในบริเวณของปลายของแถวซึ่งอยู่ใน บริเวณ ใกล้เคียงของทางเข้าของตัวกรอง19. A filter according to any of the claims 1 through 17 where the space between the base plate (1) in the area around the protrusion (7) and the cover plate inside row (3) of the protrusion (7) is larger in the area of the end of the row in the vicinity of the filter exit than in the area of the end of the row in the vicinity of the filter inlet.
20. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 17 โดยที่ช่องว่างระหว่างแผ่นฐานแบน (1) ในพื้นที่รอบส่วน ยื่น (7) และแผ่นปิดคลุมแบนภายในแถวของส่วนยื่นจะเพิ่มเชิง เส้นจากบริเวณของ ปลายแถวซึ่งอยู่ในบริเวณใกล้เคียงของด้าน ทางเข้าของตัวกรองไปในทิศทางเข้าหาบริเวณของปลาย ของแถวซึ่ง อยู่ในบริเวณใกล้เคียงของด้านทางออกของตัวกรอง20. A filter according to any of the claims 1 through 17 where the space between the flat base plate (1) in the area around the protrusion (7) and the flat cover plate within the row of protrusions increases linearly from the area of the row end which is in the vicinity of the filter inlet side toward the area of the row end which is in the vicinity of the filter outlet side.
21. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 20 โดยที่แผ่นฐานดังกล่าว (1) ได้ถูกทำ โครงสร้างโดยการแช่กัด แบบไอโซโทรปิคหรือแอนไอโซโทรปิคเปียกหรือแห้งหรือการรวมกัน ของ กระบวนการเหล่านั้น, ที่ควรจะเป็นคือโดยการแช่กัดแห้งแบบ แอนไอโซโทรปิค21. A filter according to any of the claims 1 through 20, where such base plate (1) has been constructed by wet or dry isotropic or anisotropic immersion etching or a combination of such processes, should be by anisotropic dry immersion etching.
22. ตัวกรองตามข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ถึง 21 โดยที่แผ่นฐานดังกล่าว (1) ทำจาก ซิลิคอนและแผ่นปิดคลุม ดังกล่าวทำจากแก้ว, แผ่นฐานดังกล่าวถูกเชื่อมต่อกับแผ่นปิด คลุมดังกล่าวโดยการ เชื่อมต่อแบบแอโนติค22. A filter according to any of the claims 1 through 21 where such base plate (1) is made of silicon and such cover plate is made of glass, such base plate is connected to such cover plate by an analytic connection.
23. ตัวพ่นละอองสำหรับการรักษาด้วยการสูดดม ตัวพ่นละออง ซึ่งประกอบรวมด้วยตัวกรอง โครงสร้างขนาดจิ๋วตามข้อถือสิทธิ ข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้านี้23. Nebulizers for inhalation therapy; nebulizers incorporating filters; miniature structures as per one of the preceding claims.
24. ตัวพ่นละอองตามข้อถือสิทธิข้อที่ 23 ซึ่งประกอบรวม ด้วยหัวฉีด (6) ที่ประกอบเข้ากับตัว กรองดังกล่าว24. The atomizer in accordance with claim 23, which includes a nozzle (6) fitted to the said filter.