TH26380A - On-site manufacture of ultra- high-purity hydrofluoric acid for semiconductor processing - Google Patents
On-site manufacture of ultra- high-purity hydrofluoric acid for semiconductor processingInfo
- Publication number
- TH26380A TH26380A TH9601001839A TH9601001839A TH26380A TH 26380 A TH26380 A TH 26380A TH 9601001839 A TH9601001839 A TH 9601001839A TH 9601001839 A TH9601001839 A TH 9601001839A TH 26380 A TH26380 A TH 26380A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- hydrofluoric acid
- ultra
- semiconductor processing
- site manufacture
- purity hydrofluoric
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract 2
- 241000700159 Rattus Species 0.000 abstract 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 abstract 1
Abstract
ระบบสำหรับการทำให้บริสุทธิ์และการผลิตของกรดไฮโดรฟลูออริค ณ.ตำแหน่งที่ใช้ในการผลิตอุปกรณ์สารกึ่ง ตัวนำ ขั้นตอนการระเหย (อาจจะเลือกให้มีการออกซิไดซ์สาร หนู) ตามด้วยคอลัมน์การกลั่นเพื่อขจัดสิ่งเจือปนอื่น ๆเกือบ ทั้งหมดคอลัมน์เครื่องทำให้บริสุทธิ์จากสารไอออนิคเพื่อขจัด สิ่งเจือปนที่ไม่ถูกออกโดยคอลัมน์ลำดับส่วน และสุดท้าย ตัวจ่าย HF (HFS)
Claims (1)
1. ระบบย่อย ณ. ที่ใช้ ในโรงงานผลิตอุปรณ์สารกึ่งตัวนำ เพื่อการให้รีเอเจนต์ที่มีความบริสุทธิ์ระดับอัลตราที่ประกอบ ด้วย HF ต่อการดำเนินการการผลิตสารกึ่งตัวนำ ที่ประกอบ ด้วย: แหล่งการระเหยที่ต่ออยู่เพื่อรองรับแหล่งของ Hf และ เพื่อให้กระแสไอ HF จากที่นั้น; กระแสไอ HF ที่กล่าวแล้วต่ออยู่เพื่อผ่านไปยังหน่วยเครื่อง ทำความสะอาดต่อไอออนิคซึ่งให้ปริมาตรการหมุนเวียนกลับของ น้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง ที่มีความเข้มข้นสูงของ HF ที่สัมผัส กับกระแสไอ HF ที่กล่าวแล้ว ซึ่งเครื่องทำให้บริสุทธิ์ที่กล่าว แล้วแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH26380A true TH26380A (th) | 1997-08-28 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4341640A (en) | Urea hydrolysis | |
| JP2005506694A (ja) | 中央二酸化炭素精製器 | |
| NO20050520L (no) | Rensingav N,N-dimetylacetamdi | |
| RU2001111007A (ru) | Способ получения моноэтиленгликоля высокой чистоты | |
| BR9913453A (pt) | Purificação de 1,1,1,3,3-pentafluorbutano | |
| SE503351C2 (sv) | Förfarande för rening av sekundära kondensat vid indunstning av avlutar | |
| JP3378578B2 (ja) | 主に硝酸およびフッ化水素酸を含有する水溶液の処理方法 | |
| KR20010049629A (ko) | 응축을 이용하는 ｐｆｃ 회수 방법 | |
| TH26380A (th) | On-site manufacture of ultra- high-purity hydrofluoric acid for semiconductor processing | |
| MY132240A (en) | On-site manufacture of ultra-high-purity hydrofluoric acid for semiconductor processing | |
| JPH11506411A (ja) | 電子部品製造の場合の使用現場でのアンモニアの精製 | |
| US6372022B1 (en) | Ionic purifier | |
| JPS6441784A (en) | Method and device for manufacturing ultra-high purity oxygen from gaseous feed | |
| US6395142B1 (en) | Method and apparatus for purifying low grade acetonitrile and other constituents from hazardous waste | |
| CN1014072B (zh) | 再生含二氧化碳和氧硫化碳的吸收剂溶液流的方法 | |
| CN101070144B (zh) | 一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法 | |
| DE59301088D1 (de) | Verfahren zur Gewinnung von reiner, konzentrierter Salzsäure aus Abwasser. | |
| JP2003146619A (ja) | フッ化水素の回収方法 | |
| CN113603112B (zh) | 电子级氨水制备用装置及其制备工艺 | |
| FR2835831B1 (fr) | Procede de purification de l'acroleine | |
| JPH06345410A (ja) | 高純度塩酸の製造方法 | |
| JPH02160020A (ja) | 高温ガスから二酸化硫黄および塩化水素を除去する方法 | |
| JP2955864B2 (ja) | 高純度酸素の製造方法 | |
| SU763657A1 (ru) | Способ очистки воздуха от примесей в воздухоразделительных установках | |
| SU905191A1 (ru) | Способ очистки окиси азота, используемой дл разделени изотопов кислорода ее ректификацией |