TH26888A

TH26888A - องค์ประกอบ, กรรมวิธีและอุปกรณ์สำหรับผลิตแก๊สที่มี?ฟอสฟีน

Info

Publication number: TH26888A
Application number: TH9601001837A
Authority: TH
Inventors: ไรช์มุธ นายคริสตอฟ; ฮอร์น เฟยา นายฟรานซิสคัส
Original assignee: เดเกช เดอ ชิลี แอลทีดีเอ; นายดำเนิน การเด่น นายต่อพงศ์ โทณะวณิก นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date: 1996-06-05
Publication date: 1997-10-31

Abstract

การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับกรรมวิธีสำหรับให้ของผสมของแก๊ส ฟอสฟีน และแก๊สเจือจาง หนึ่งชนิดหรือหลายชนิด ซึ่งโลหะ ฟอสไฟด์ที่ไฮโดรไลซ์ได้ เลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยแมกนีเซียม ฟอสไฟด์, อะลูมิเนียมฟอสไฟด์, และ แคลเซียมฟอสไฟด์ สัมผัสกับน้ำของเหลวใน บริเวณที่ทำให้เกิด, ซึ่งโลหะ ฟอสไฟด์ถูกไฮโดรไลซ์ปลด ปล่อยฟอสฟิน

Claims

1. กรรมวิธีสำหรับการทำ (generating) ของผสมของแก๊สฟอสฟีน และแก๊สเจือจางชนิดหนึ่ง หรือหลายชนิด ซึ่ง โลหะฟอสไฟด์ที่ไฮโดรไลซ์ได้จะถูกปลดปล่อยในรูปอนุภาค เป็นอนุภาคที่หลวม อย่างต่อเนื่องลงในน้ำของเหลว ภายใต้ สภาวะที่ออกแบบให้ไฮโดรไลซ์ฟอสไฟด์ไปเป็นแก๊สฟอสฟีน ภายในเวลาน้อยกว่า 3 นาทีที่เข้าไปในน้ำของเหลว

2. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1, ซึ่งโลหะฟอสไฟด์ที่ ไฮโดรไลซ์ได้ถูกเลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแมกนีเซียม ฟอสไฟด์, อะลูมิเนียมฟอสไฟด์, และแคลเซียมฟอสไฟด์

3. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 สำหรับการทำ (generating) ของผสมของแก๊สฟอสฟีนและ แก๊สเจือจางชนิดหนึ่งหรือหลายชนิด, ซึ่งโลหะฟอสไฟด์ที่ไฮโดรไลซ์ได้เลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วย แมกมีเซียมฟอสไฟด์, อะลูมิเนียมฟอสไฟด์, และ แคลเซียม ฟอสไฟด์ สัมผัสกับน้ำของเหลวในบริเวณ ที่ทำให้เกิด, ซึ่ง โลหะฟอสไฟด์ถูกไฮโดรไลซ์ปลดปล่อยฟอสฟีนซึ่งนำออกจาก บริเวณที่ผลิต และ, ในกรณีที่ดึงฟอสฟีนออกจากบริเวณที่ผลิต ซึ่งมีสารผสมที่ติดไฟเจือจางจากเวลาที่ผลิตจนถึงที่ ใกล้ กับตำแหน่งที่ใช้ประโยชน์ของมันด้วยแก๊สเจือจางให้มี องค์ประกอบซึ่งไม่ติดไฟ (non-ignitable) ภาย ใต้สภาวะ การใช้, ซึ่งปลดปล่อยโลหะฟอสไฟด์เข้าไปในน้ำของเหลว ในรูปอนุภาคที่ไหลได้อย่าง อิสระ (free-flowing particulate) ซึ่งประกอบด้วยอนุภาคโลหะฟอสไฟด์ ที่หลวม (loose) อย่างเด่นชัด, โดยเฉพาะมีขนาด อนุภาคอยู่ในช่วงประมาณ 0.1 มม. ถึง 2.5 มม. ที่ สำคัญ คือ ไม่มีฝุ่นผงโลหะ ฟอสไฟด์ที่มีขนาดเล็กกว่า 0.1 มม. อย่างมีนัยสำคัญ และสารหน่วงไฮโดรไลซิส และที่สำคัญ ไม่มี สารไฮโดรโฟบิก (hydrophobic substance) ในรูปของสารเคลือบ หรือตัวเติมแต่งไฮโดรโฟบิก, และ, ในกรณีที่การเจือจางเกิดขึ้นแล้วในบริเวณที่ผลิต, ภายใต้ บรรยากาศที่ประกอบรวมด้วยแก๊สที่เฉื่อย ต่อฟอสฟีน, อย่าง น้อยที่สุดเป็นส่วนหนึ่งของแก๊สเจือจาง

4. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 3, ซึ่งมีลัษณะเฉพาะที่ว่า การเจือจางเกิดขึ้นแล้วในบริเวณที่ ผลิต และแก๊สตัวพา เฉื่อยต่อฟอสฟีนก็เฉื่อยต่อโลหะฟอสไฟด์ด้วย และให้โลหะ ฟอสไฟด์คงอยู่ใน บรรยากาศของแก๊สตัวพาดังกล่าวก่อน ผ่านเข้าไปในน้ำ

5. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 4 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่า ที่สำคัญ โลหะฟอสไฟด์ไม่มีสิ่งเจือปน ที่ให้การติดไฟขึ้นได้เอง (autoignition) เพิ่มขึ้น, รวม ถึงสิ่งเจือปนซึ่งเมื่อ ไฮโดรไลซิสในกรรมวิธีการปล่อยฟอสฟีน โฮโมลอก (homologues) ที่ติดไฟได้เอง, อนุพันธ์ของฟอส ฟีน, ออร์แกโนฟอสฟีน, ไดฟอสฟีนหรือโพลิฟอสฟีน

6. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าติดตามอุณหภูมิ ของน้ำและให้คงอยู่ภายใน ช่วงอุณหภูมิที่กำหนดไว้ก่อน

7. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 6 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่า โลหะฟอสไฟด์ ที่เข้าไปในน้ำถูกไฮโดรไลซ์ ในเวลาน้อยกว่า 1 นาที

8. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 7 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าผงโลหะฟอส ไฟด์ขององค์ประกอบ, หลัง จากนำออกจากภาชนะบรรจุ, ให้อยู่ในแก๊สตัวพาและดังนั้น คงอยู่, ถูกพา เข้ายังบริเวณผลิต (generator space) และจากนั้นเข้าไปในน้ำ

9. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 8 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าให้กวนน้ำกับ แก๊สตัวพา

10. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 3 ถึง 9 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าแก๊สฟอสฟีน หรือของผสมของแก๊สฟอสฟีน และแก๊สที่เฉื่อยต่อฟอสฟีนที่นำออกจากบริเวณที่ผลิตผสมกับ อากาศ ในอัตราส่วนของฟอสฟีนต่ออากาศต่ำกว่าขีดจำกัดการ ติดไฟ (ignition limit) ของฟอสฟีน ในบริเวณ ที่ผสม ซึ่งแยกได้จากสภาพแวดล้อมและอัพสตรีม (upstream) ของช่องป้อน (feed duct) สำหรับของ ผสม

11. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 10, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า บริเวณผสมมีการติดตามอุณหภูมิ

12. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธข้อ 10 หรือ 11, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่าน้ำจากบริเวณผลิตถูกนำ ออกและส่งไปยังบริเวณที่ให้ อากาศและเป่า (bubble) อากาศผ่านน้ำในบริเวณให้อากาศ (aerating space) และจากที่นั้นตรงไปยังบริเวณผสม และ ผสมที่นั้นกับแก๊สฟอสฟีน, หรือซึ่งในกรณีที่ใช้ของ ผสมของแก๊ส ฟอสฟีนและแก๊สตัวพาที่เฉื่อยต่อฟอสฟีนให้เกิดของผสมที่ไม่ติดไฟ

13. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 10 ถึง 12 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าอากาศถูกนำ ออกจากบริเวณอบที่ปิด (closed fumigation space) ซึ่งมีการอบ และของ ผสมแก๊สที่ไม่ติดไฟที่ได้ถูก ป้อนเข้าไปในบริเวณอบ

14. กรรมวิธีตามข้ถือสิทธิข้อ 1 ถึง 13 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าแก๊สตัวพาคือ CO2

15. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 14 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าของผสม ของฟอสฟีนและแก๊สเจือจางจะถูก ใส่เข้าไปในบริเวณอบ ที่มีผลิตภัณฑ์ (commodity) ซึ่ง อบด้วย ฟอสฟีน

16. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 15, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ ว่าแก๊สในบริเวณที่อบซึ่งรวมถึง ของผสมที่ถูกทำให้ไหลวน (recirculated)

17. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 9 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าใช้ของผสม ของฟอสฟีนและแก๊สตัวพา ในการโด้ปสารกึ่งตัวนำ (semiconductor doping)

18. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 17, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ ว่าแก๊สตัวพาคือ อาร์กอน

19. ตัวผลิตฟอสฟีนที่เหมาะสมสำหรับการทำกรรมวิธีตาม ที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อใด ข้อหนึ่งก่อนหน้านี้ ซึ่ง ประกอบรวมด้วยห้องผลิตฟอสฟีน ที่มีน้ำของเหลว, ช่องเข้า (inlet) สำหรับให้ องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ที่ไฮโดรไลซ์ เข้าไปในน้ำในห้องผลิต, ช่องออกของแก๊สที่ดัดแปลงให้ ปล่อย ฟอสฟีนจากห้องผลิตและวิธีการป้อนซึ่งดัดแปลง สำหรับป้อนโลหะ ฟอสไฟด์ผ่านช่องเข้าที่ อัตราที่ควบคุม, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่า วิธีการป้อนดัดแปลงให้ป้อนโลหะฟอสไฟด์ดังกล่าวในรูป ของอนุภาคที่ไหล, ซึ่งประกอบด้วยอนุภาคโลหะฟอสไฟด์ที่หลวม

20. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 19, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ เพิ่มเติมที่ว่ามีช่องเข้าที่เชื่อม (connected) หรือดัดแปลง (adapted) เพื่อให้ต่อกับแหล่งให้แก๊สที่เฉื่อยต่อฟอสฟีน และสำหรับให้ บรรยากาศของแก๊สดังกล่าวเข้าไปในห้องผลิต ฟอสฟีน

21. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 19 หรือ 20, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่าวิธีการป้อนทำใน บรรยากาศแก๊สซึ่งเฉื่อย ต่อองค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์และแก๊สฟอสฟีนและห้องผลิต ฟอสฟีนมี บรรยากาศที่เฉื่อยต่อฟอสฟีน

22. ตัวผลิตฟอสฟีนตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 21 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่าช่องแก๊สเข้าที่ต่อ หรือดัดแปลงเพื่อให้ต่อกับแหล่งของแก๊สที่เฉื่อยต่อฟอสฟีน และนำเข้าสู่ น้ำภายในบริเวณผลิต, ทำให้เกิดการกวน (agitation) ของน้ำและมีส่วนต่อปริมาณแก๊สของของผสม ของแก๊สและฟอสฟีนที่ปล่อยผ่านช่องออกของแก๊ส

23. ตัวผลิตฟอสฟีนตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 22 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่าห้องผลิตฟอสฟีน ประกอบรวมด้วยที่กั้น (partition) ที่ลงถึงน้ำของเหลว และ แยกส่วนของ บริเวณแก๊สเหนือน้ำของเหลว, รวมถึงช่อง เข้าสำหรับให้องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ดังกล่าวเข้าไป, จากส่วนที่เหลือ (remainder) ของบริเวณแก๊ส ซึ่งส่วน ที่ยังเหลือรวมถึงช่องออกของแก๊สดังกล่าว

24. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 23 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าช่อง ออกที่ดัดแปลงให้ปล่อย ของผสมของแก๊สฟอสฟีนและแก๊สที่เฉื่อยเข้าไปนั้นเชื่อมด้านล่าง (downstream) ของสิ่งดังกล่าวกับห้องผสมแก๊สที่มีช่อง อากาศเข้าที่เชื่อมต่อไปยังแหล่งอากาศ, ห้องผสมที่มีช่อง ปล่อยออก (discharge outlet) ที่ดัดแปลงเพื่อป้อน ของผสมของอากาศที่ไม่ติดไฟ, ฟอสฟีน และแก๊สเฉื่อยไปยัง ฟอสฟีน, ที่ผลิตในห้องผสม, เข้าไปยังท่อ (duct) ให้ ของผสมแก๊ส

25. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 24, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าห้องผลิตฟอสฟีนมีช่องน้ำ เข้าที่เชื่อมต่อกับแหล่งให้น้ำ และช่องน้ำออกที่ปล่อยเข้าไปในภาชนะสตริปปิง (stripping vessel) ฟอสฟีน ที่ติดตั้งด้วยเครื่องให้อากาศ (aerating means) ที่ให้อากาศจากแหล่งอากาศดังกล่าว และ ที่มี ช่อง อากาศออกซึ่งนำไปยังห้องผสม

26. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 24 หรือ 25, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่าวิธีการขับดันแก๊ส (gas propulsion means) เชื่อมกับแหล่งให้อากาศสำหรับห้องผสมแก๊ส

27. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 26, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่า วิธีการขับดันแก๊ส เชื่อม ต่อกับอากาศที่นำออกจากบริเวณ ที่อบ และทางที่ปล่อยออกจากห้องผสมแก๊สป้อนเข้าใน บริเวณนั้น

28. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 24 ถึง 27 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าห้อง ผสม รวมถึงวิธีการ ติดตามอุณหภูมิ

29. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 28, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าวิธีการติดตามอุณหภูมิที่ เชื่อมต่อกับการขัดจังหวะ อัตโนมัติ (automatically interrupt) ของแหล่ง ให้แก๊สฟอสฟีนเข้าไปใน ห้องผสม ในกรณีที่เกินอุณหภูมิที่ กำหนดไว้ล่วงหน้า (predetermined) ในห้องผสม

30. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 29 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าวิธีการ เอาน้ำออก (water disentrainment) ดัดแปลงให้เอาน้ำของเหลวออกจาก แก๊สที่ระเหยออกจากน้ำที่มีอยู่ ในตัวผลิตและให้น้ำที่ได้ออก มากลับคืน (returning the water thus disentrained)

31. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 30 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า วิธีการป้อนรวมถึงเครื่องมือ เอ็นเทรนเมนท์นิวเมติก (pneumatic entrainment) สำหรับองค์ประกอบ อนุภาคที่ทำงานด้วยแก๊สเจือจางที่ไม่มี ความชื้น, ทำหน้าที่เป็นตัวพาและแก๊สขับดัน (propellant gas)

32. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 31, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าเครื่องมือเอ็นเทรนเมนท์ นิวเมติก รวมถึงตัวรับ (receptacle) สำหรับองค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์, ช่อง แก๊สเข้าในบริเวณด้าน ล่างสำหรับแก๊สพาที่นำไปสู่เครื่องมือ เวนทูรี (venturi device), ตามด้วยท่อส่งผง (powder forwarding duct) ที่นำไปยังช่องเข้าสำหรับ ให้องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์เข้าไปในน้ำ

33. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 32, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าท่อส่งตรง รวมถึงเครื่องมือ ปรับอัตราการป้อนของผง (powder feed rate regulator device)

34. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 31 ถึง 33 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าวิธีการ ป้อนดังกล่าวรวม ถึง : a) ภาชนะส่งที่ปิดแก๊สเข้าไปไม่ได้ (gastight closed supply vessel) สำหรับยึดตัวให้ของ โลหะฟอสไฟด์อนุภาคไหล ได้อิสร; b) ภายในภาชนะส่ง (supply) หลอดไรเซอร์ (riser tube), ปลายด้านล่างของหลอดที่เปิดจะอยู่ ใกล้ด้านล่างของ ภาชนะส่ง และหันไปยังหัวฉีดเวนทูรี (venturi nozzle) ที่เชื่อมต่อหรือดัดแปลงให้ เชื่อมต่อกับตัวให้แก๊สขับดันที่ เฉื่อยต่อโลหะฟอสไฟด์ : c) รีโมทแบบงอ (bend remote) จากปลายช่องเข้าของ หลอดไรเซอร์, ที่นำไปสู่ทางของท่อ ภายนอกภาชนะส่ง; d) รู(aperture) ที่จุดเริ่ม (beginning) และผ่าน เส้นรอบวงของส่วนงอ (bend) ภายในภาชนะส่ง และในการ วางตามแกนกับหลอดไรเซอร์

35. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 34, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า ขนาดของรูปรับได้

36. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 34 หรือ 35, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่าส่วนงอหรือท่อ รวมถึงวาวล์หยุด (stop valve) ซึ่งปิดโดยอัตโนมัติ ในการตอบรับกับการรบกวน ในการส่งแก๊สขับดัน

37. ตัวผลิตฟอสฟีนตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 36 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่า วิธีการป้อน ได้แก่ ช่องเข้าของผงที่ดัดแปลงให้มีการต่อกับภาชนะบรรจุ ขั้นต้นที่ปิดผนึก (sealed prepacked container), ที่มีการส่งของอนุภาคโลหะฟอสไฟด์ และที่มีให้เครื่องมือ เปิด (opener device) สำหรับเปิดภาชนะ, เมื่อ เชื่อมต่อกัน

38. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 37 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า มีเครื่องมือป้อนสำหรับ ให้สารทำความสะอาดเข้าไปในห้องผลิต

39. ตัวผลิตฟอสฟีนสำหรับผลิตของผสมของฟอสฟีนและแก๊ส เจือจางรวมถึง อากาศและ ที่เหมาะสมสำหรับการดำเนิน กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 19 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่ามันรวมถึง a) ห้องไฮโดรไลซิสฟอสฟีน, ซึ่งโลหะฟอสไฟด์ถูกไฮโดรไลซ์ ภายใต้บรรยากาศของแก๊ส เฉื่อยต่อฟอสฟีนเพื่อให้ได้ของผสมที่ มีความเข้มข้นของฟอสฟีน ซึ่งจุดติดไฟได้เมื่อนำมาสัมผัสกับ อากาศ; b) ห้องผสมแก๊สที่เชื่อมต่อดาวน์สตรีมของ a) แต่มิฉะนั้น แยกจาก a) และแยกออกจาก สิ่งแวดล้อมด้วย, ที่มีช่อง อากาศเข้าซึ่งเชื่อมต่อกับแหล่งให้อากาศและช่องอากาศ ออกที่ต่อหรือดัด แปลงให้เชื่อมต่อกับท่อสำหรับป้อนแก๊สผสม ที่ผลิตในห้องผสมเข้าไปในบริเวณอบ; และ c) วิธีการปรับที่ดัดแปลงให้ปรับอัตราส่วนของฟอสฟีนต่อ อากาศ และอาจเลือกให้มีแก๊สหรือ แก๊สหลายชนิดในห้องผสม b) ให้มีค่าที่แก๊สผสมดังกล่าวที่ผลิตในห้องผสมไม่ติดไฟ

40. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 39, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าวิธีสำหรับการรบกวนการ ส่งของฟอสฟีนแบบอัตโนมัติไป ยังห้องผสมแก๊สในการตอบรับกับความผิดปกติในการทำงาน

41. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 40, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าวิธีสำหรับการรบกวน โดยอัตโนมัติดังกล่าวรวมถึง วิธี การติดตามอุณหภูมิที่ตอบรับกับอุณหภูมิที่มากเกินไปในห้อง ผสม แก๊ส

42. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 40 หรือ 41, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่าวิธีสำหรับการรบ กวนโดยอัตโนมัติดังกล่าว รวมถึงวิธีที่ตอบรับกับการผิดพลาด (failure) ในการส่ง ของอากาศไปยัง ห้องผสมแก๊ส และ/หรือ ในการส่งแก๊สที่เฉื่อย ต่อฟอสฟีนไปยังห้องไฮโดรไลซิศ และ/หรือ ในวิธีการ ป้อน โลหะฟอสไฟด์ไปยังห้องไฮโดรไลซิส และ/หรือ ในการส่ง น้ำไปยังห้องไฮโดรไลซิส

43. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 39 ถึง 42 ข้อใด ข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าห้อง ไฮโดรไลซิสมีการให้ น้ำของเหลวและวิธีการป้อน ได้ดัดแปลงให้ป้อน โลหะฟอสไฟด์ ของแข็งที่มี การควบคุมเข้าไปในน้ำของเหลว

44. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 43, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าวิธีการป้อนดัดแปลงให้ ป้อนโลหะฟอสไฟด์อย่างต่อเนื่อง ในรูปของอนุภาคที่ไหลได้อิสระ

45. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 39 ถึง 44 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า แหล่ง ของอากาศรวมถึงวิธีการขับดัน อากาศที่ต่อกันเพื่อดูดอากาศจากบริเวณอบ

46. ตัวผลิตฟอสฟีนตามข้อถือสิทธิข้อ 43 หรือ 45, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่าน้ำจากห้องไฮโดร ไลซิสเข้าไปในบริเวณ เติมอากาศ (aeration) ซึ่งรวมถึงวิธีการเติมอากาศที่ ส่งด้วยอากาศซึ่งหลังจาก ผ่านน้ำในบริเวณเติมอากาศถูกป้อน ไปยังห้องผสมแก๊ส

47. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์สำหรับผลิตฟอสฟีนเมื่อเกิด ไฮโดรไลซิส, และเหมาะ สำหรับการใช้ในกรรมวิธีหรือตัว ผลิตตามที่ขอถือสิทธิไว้ในข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้านี้ ซึ่งประกอบรวมด้วยอนุภาคของแข็งของโลหะฟอสไฟด์ซึ่ง เลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วย แมกนีเซียมฟอสไฟด์, อะลูมิเนียม ฟอสไฟด์ และแคลเซียมฟอสไฟด์ และของผสมของสิ่งเหล่านี้, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่ามันอยู่ในรูปที่ใช้ได้สำหรับใช้ใน กระบวนการไฮโดรไลซิสหรืออุปกรณ์ ดังที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิ ก่อนหน้านี้ข้อใดข้อหนึ่งในรูปของสารโลหะฟอสไฟด์อนุภาค ไหลได้ อิสระซึ่งประกอบด้วยอนุภาคของโลหะฟอสไฟด์ที่หลวม ดังกล่าวโดยเฉพาะมีขนาดอนุภาคอยู่ในช่วง ประมาณ 0.1 มม. ถึง 2.5 มม. ซึ่งที่สำคัญ คือ ไม่มีฝุ่น โลหะฟอสไฟด์ ที่มีขนาดเล็กกว่า 0.1 มม. อย่างมี นัยสำคัญ ที่สำคัญต้อง ไม่มีสารหน่วงไฮโดรไลซิสและจำเป็นต้องไม่มีสารไฮโดร โฟบิกในรูปของ สารเคลือบหรือตัวเติมแต่งไฮโดรโฟบิก

48. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 47, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่ามันจำเป็นต้อง ไม่มีสิ่งเจือปนที่ทำให้ เกิดการติดไฟเอง, รวมถึงสิ่งเจือปนซึ่งเมื่อไฮโดรไลซิส จะปล่อยฟอสฟีนโฮโม- ลอกที่ติดไฟได้เอง, อนุพันธ์ของฟอสฟีน, ออร์แกโนฟอสฟีน, ไดฟอสฟีน หรือ โพลิฟอสฟีน

49. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 47 หรือ 48, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า อนุภาคมีโลหะฟอสไฟด์บริสุทธิ์อยู่ มากกว่า 90% โดยน้ำหนัก

50. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 49, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าอนุภาคมี โลหะฟอสไฟด์บริสุทธิ์อยู่ไม่ น้อยกว่า 95% โดยน้ำหนัก

51. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 47 ถึง 50 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่ามันรวมถึง สารที่เพิ่มลักษณะการไหลได้อิสระ

52. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 51, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่าสารที่เพิ่ม ลักษณะการไหลได้อิสระคือฝุ่น แกรไฟท์ในปริมาณจากประมาณ 0.1% โดยน้ำหนักขึ้นไป, ที่ควรใช้ มากถึง 0.5% โดยน้ำหนัก

53. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 47 ถึง 52 ข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่าโลหะฟอสไฟส์เป็น แมกนีเซียมฟอสไฟด์เท่านั้น

54. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 53, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่า แมกนีเซียมฟอสไฟด์ผลิตจากแมกนีเซียม และฟอสฟอรัสเหลือง (yellow phosphorus) ที่อุณหภูมิ ภายในช่วง จาก 350 ถึง 550ํซ, ตลอดแบชของปฏิกิริยา

55. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 54, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าในการผลิต ของสิ่งดังกล่าวไม่มีอุณหภูมิ ดังกล่าวที่อยู่นอกช่วงของ 450 ถึง 550ํซ.

56. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 54 หรือ 55, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าหลัง จากปฏิกิริยาเกิดสมบูรณ์, ผลิตภัณฑ์ของปฏิกิริยาให้คงไว้ต่ำกว่าจุดหลอมเหลวของมัน ประมาณ 550ํซ., เป็นเวลา 20 นาที ถึง 3 ชั่วโมง และกำจัดปริมาณเล็กน้อยที่เหลือของฟอสฟอรัสที่ไม่ทำ ปฏิกิริยา

57. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 47 ถึง 56 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่า มันประกอบ ด้วยอนุภาคซึ่งมากกว่า 90% โดยน้ำหนักเป็นอนุภาคที่มี ขนาดช่วงจาก 0.1 ถึง 2.5 มิลลิเมตร

58. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 57, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าอนุภาค ประกอบด้วยแกรนูลแมกนี เซียมฟอสไฟด์ ซึ่งเกิดโดยตรงในกระบวนการผลิต แมกนีเซียมฟอสไฟด์

59. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 47 ถึง 58 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่า อยู่ปิดผนึกใน ภาชนะจ่าย (dispenser container) ที่ปิดแน่น

60. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 59, ซึ่ง มีลักษณะเฉพาะที่ว่าภาชนะจ่ายที่ ปิดแน่นมีบรรยากาศของแก๊ส ที่เฉื่อยต่อโลหะฟอสไฟด์

61. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 59 หรือ 60, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า ภาชนะจ่ายมีจุดเชื่อมต่อ (connection locality) ที่ออกแบบให้เชื่อมต่อกับ ตัวผลิตฟอสฟีน และจุดเชื่อม ต่อดังกล่าวรวมถึง บริเวณที่, เมื่อเปิด, และหลังจากเชื่อมต่อ, ปล่อยองค์ประกอบ เข้าไปในตัวผลิต

62. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟส์ตามข้อถือสิทธิข้อ 61, ซึ่งมี ลักษณะเฉพาะที่ว่าภายในของ ภาชนะ (container) เรียวลง (tapers) เข้าไปในบริเวณดังกล่าวในลักษณะ เป็นกรวย

63. องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ตามข้อถือสิทธิข้อ 47 ถึง 62 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่า มันถูกส่ง (supplied) ในบรรจุภัณฑ์ที่รวมถึงคำแนะนำการใช้ (instructions) สำหรับใช้สิ่ง ดังกล่าวในกระบวน การหรือกับตัวผลิตฟอสฟีน ดังที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 46 ข้อใดข้อหนึ่ง

64. การใช้โลหะฟอสไฟด์ที่เลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วย แมกนีเซียมฟอสไฟด์, อะลูมิเนียมฟอสไฟด์, แคลเซียมฟอสไฟด์และของผสมของสิ่งเหล่านี้จำนวนหนึ่ง สำหรับ ผลิต องค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์พร้อมใช้ในกรรมวิธีสำหรับ ผลิตฟอสฟีนโดยไฮโดรไลซิสในการสัมผัส โดยตรงกับน้ำของ เหลว, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าโลหะฟอสไฟด์ดังกล่าวอยู่ใน รูปของสารอนุภาคที่ ไหลได้อิสระซึ่งประกอบด้วยอนุภาคที่ หลวม (loose) ของโลหะฟอสไฟด์ดังกล่าวโดยเฉพาะมี ขนาด อนุภาคอยู่ในช่วงประมาณ 0.1 มม. ถึง 2.5 มม., ที่สำคัญไม่มีฝุ่นโลหะฟอสไฟด์ที่มีขนาดเล็กกว่า 0.1 มม. อย่างมีนัยสำคัญ, ที่สำคัญไม่มีสารหน่วงไฮโดรไลซิสและ ที่สำคัญไม่มีสารไฮโดรโฟบิก ในรูปของสารเคลือบหรือ ตัวเติมแต่งไฮโดรโฟบิก

65. การใช้ตามข้อถือสิทธิข้อ 64, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะ ที่ว่าโลหะฟอสไฟด์อยู่ในรูปขององค์ ประกอบโลหะฟอสไฟด์ ซึ่งรวมทั้งเลขที่อยู่ในข้อถือสิทธิข้อ 47 ถึง 63 ข้อใด ข้อหนึ่ง

66. การใช้ตามข้อถือสิทธิข้อ 64 หรือ 65, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่ามันรวมถึงสารเพิ่มลักษณะ การไหลอย่างอิสระ

67. การใช้ตามข้อถือสิทธิข้อ 64 ถึง 66 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าโลหะฟอสไฟด์ คือแมกนีเซียมฟอสไฟด์

68. กรรมวิธีสำหรับการผลิตขององค์ประกอบโลหะฟอสไฟด์ ตามข้อถือสิทธิข้อ 47 ถึง 63 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งประกอบ รวมด้วยการทำปฏิกิริยาของโลหะที่ละเอียด, ที่เลือกจาก หมู่ซึ่งประกอบ ด้วยอะลูเนียม, แคลเซียม และแมกนีเซียม กับฟอสฟอรัสเหลือง ในบรรยากาศแก๊สเฉื่อย และโดยมี ตัวเร่งปฏิกิริยา, ที่เลือกจากหมู่ซึ่งประกอบด้วยคลอรีน, โบรมีน, ไอโอดีน, สารประกอบของที่กล่าว ข้างต้นกับ ฟอสฟอรัส, กำมะถัน, ไฮโดรเจน, สังกะสี, แอมโมเนียม และโลหะที่กล่าวมาอย่างใดอย่าง หนึ่งและกับน้ำ ที่อุณหภูมิ ระหว่าง 300 และ 600 ํซ., ที่มีลักษณะเฉพาะที่ว่า ตลอดทั้งแบชของ ปฏิกิริยาและตลอดกระบวนการ, เมื่อ เกิดปฏิกิริยาแล้ว, ยังคงอุณหภูมิดังกล่าวไว้ภายในช่วง 350 ํซ. ถึง 550 ํซ, ซึ่งให้เอาโลหะฟอสไฟด์ใน สภาพเป็นสารอนุภาคที่ไหลได้อิสระออกและบรรจุพร้อมที่จะ ใช้ในการผลิตฟอสฟีน ในสภาพที่ไหลได้อิสระดังกล่าว, ที่ สำคัญไม่มีฝุ่นขนาดเล็กกว่า 0.1 มม. อย่าง มีนัยสำคัญ, ที่สำคัญไม่มีสารหน่วงไฮโดรไลซิสและที่สำคัญไม่มีสาร ไฮโดรโฟบิก ในรูปของสาร เคลือบหรือตัวเติมแต่ง ไฮโดรโฟบิก, ในภาชนะที่ปิดแน่น

69. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 68, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่า โลหะคือแมกนีเซียม

70. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 68 หรือ 69, ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะที่ว่า เมื่อเกิดปฏิกิริยาแล้ว, อุณหภูมิดังกล่าวไม่มี อยู่นอกช่วง 450 ถึง 550 ํซ.

71. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 68 ถึง 70 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าใช้โลหะ ที่มีขนาดอนุภาคจาก 0.1 ถึง 2.5 มิลลิเมตร และอนุภาคโลหะฟอสไฟด์ที่ผลิตมีขนาด อนุภาคที่เท่ากัน จริง ๆ

72. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 68 ถึง 71 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าหลังเกิด ปฏิกิริยาสมบูรณ์อย่างมีนัย สำคัญแล้ว, ให้คงผลิตภัณฑ์ของปฏิกิริยาไว้ให้ต่ำกว่าจุด หลอมเหลว ประมาณ 550 ํซ, เป็นเวลา 20 นาที ถึง 3 ชั่วโมง และให้กำจัดปริมาณเล็กน้อยที่เหลืออยู่ของ ฟอสฟอรัส ที่ไม่ทำปฏิกิริยาออก

73. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 68 ถึง 72 ข้อใดข้อหนึ่ง, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ว่าก่อนบรรจุ ดังที่กล่าวข้างต้น, ให้ ผสมอนุภาคโลหะฟอสไฟด์กับแกรไฟท์ประมาณ 0.1 ถึง 0.5% โดยน้ำหนัก หรือ สารที่ไม่ใช่ไฮโดรโฟบิก ที่เหมาะสม อื่น ซึ่งเพิ่มลักษณะการไหลได้อิสระ