TH28537B - เครื่องมือชุบหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศ - Google Patents

Abstract

DC60 (15/10/52) เครื่องมือชุบหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสามารถจัดรูปแปปแผ่นฟิล์มที่มีคุณภาพดี โดยที่ไม่เพิ่มเวลาอย่างไร้ประโยชน์จากการเริ่มต้นของการชุบแผ่นฟิล์มถึงการเสร็จสมบูรณ์ของมัน แม้กระทั่งเมื่อขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นเหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศในลักษณะที่ ตอบสนองต่อการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศในระหว่างการชุบของแผ่นฟิล์มลง บนวัตถุเป้าหมายการชุบ ตัวอย่างเช่น เครื่องมือชุบหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศที่ ประกอบด้วยชิ้นส่วนโล่กำบังซึ่งเคลื่อนที่ไปและห่างออกจากตำแหน่งระหว่างแหล่งกำเนิดหมอก ควันและตัวจับถือสำหรับรองรับวัตถุเป้าหมายการชุบ อุปกรณ์ขับเคลื่อนสำหรับกำหนดตำแหน่ง ของแผ่นโล่กำบังอย่างเลือกได้ในตำแหน่งกำบังระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันและตัวจับถือ และ ตำแหน่งถอยกลับซึ่งเลื่อนจากตำแหน่งกำบัง ตัวตรวจจับ (ตัวอย่างเช่น ตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้า) ที่ ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และส่วนควบคุมที่ควบคุม อุปกรณ์ขับเคลื่อนให้กำหนดตำแหน่งของแผ่นโล่กำบังในตำแหน่งกำบังเมื่อตัวตรวจจับ ตรวจจับการ ปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้กำหนดตำแหน่งของแผ่นโล่กำบังใน ตำแหน่งถอยกลับเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไป หลังจากที่ตัวตรวจจับได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสามารถจัดรูปแปปแผ่นฟิล์มที่มีคุณภาพดีโดยที่ไม่เพิ่มเวลาอย่างไร้ประโยชน์จากการเริ่มต้นของการชุบแผ่นฟิล์มถึงการเสร็จสมบูรณ์ของมัน แม้กระทั่งเมื่อขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นเหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศในลักษณะที่ตอบสนองต่อการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศในระหว่างการชุบของแผ่นฟิล์มลงบนวัตถุเป้าหมายการชุบ ตัวอย่างเช่น เครื่องมือชุบหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศที่ประกอบด้วยชิ้นส่วนโล่กำบังซึ่งเคลื่อนที่ไปและห่างออกจากตำแหน่งระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันและตัวจับถือสำหรับรองรับวัตถุเป้าหมายการ ชุบอุปกรณ์ขับเคลื่อนสำหรับกำหนดที่อยู่แผ่นโล่กำบังอย่างเลือกสรรในตำแหน่างกำบังระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันและตัวจับถือ และตำแหน่งถอยกลับซึ่งเลื่อนจากตำแหน่างกำบัง ตัวตรวจจับ (ตัวอย่างเช่น ตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้า) ที่ตรวจจับการเปิด/ปิดทำงาน ของการกระจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และส่วนควบคุมที่ควบคุมอุปกรณ์ขับเคลื่อนให้กำหนดที่อยู่แผ่นโล่กำบังในตำแหน่งกำบังเมื่อตัวตรวจจับ ตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้กำหนดที่อยู่แผ่นโล่กำบังในตำแหน่งถอยกลับเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไปหลังจากที่ตัวตรวจจับได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ

Claims (4)

1. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุดแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบโดยการใช้งานแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้างกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ชิ้นส่วนโล่กำบังซึ่งเคลื่อนที่ไปและห่างออกจากตำแหน่งระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวและตัวจับถือสำหรับรองรับวัตถุเป้าหมายการชุบ อุปกรณ์ขับเคลื่อนสำหรับกำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวอย่างเลือกสรรในตำแหน่งกำบังระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวและตัวจับถือ และตำแหน่งถอยกลับซึ่งเลื่อนจากตำแหน่งกำบังดังกล่าว ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และ ส่วนควบคุมที่ควบคุมอุปกรณ์ขับเคลื่อนดังกล่าวให้กำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งกำบังดังกล่าวเมื่อตัวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้กำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งถอยกลับดังกล่าวเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไปหลังจกาที่ตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 2. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ประกอบเพิ่มเติมด้วย ตัวกรองแม่เหล็กซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และที่มีขดลวดโซลินอยด์สำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็กที่ควบคุมวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าว โดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเพื่อเบี่ยงเบนวัสดุทีเป็นไอออนดังกล่าวเข้าหาตัวจับถือดังกล่าว และอุปกรณ์แหล่งกำเนิดที่ให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าว 3. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 2 ในที่ซึ่ง ส่วนควบคุมที่ควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังดังกล่าวในลักษณะที่อุปกรณ์แหล่งกำลังกล่าวขัดจังหวะการให้พลังงานของขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่อตัวตรวจจับ ตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวภายหลังการผ่านพ้นไปของเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากที่ตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 4. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับที่ตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 5. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าซึ่งจ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 6. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน 7. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน เวลาจากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากการตรวจจับของการ เปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว 8. เครื่องมือชุบหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุบแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบโดยการใช้จำนวนหนึ่งของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้า สุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้ามกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ชิ้นส่วนโล่กำบังซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับจำนวนมากของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวตามลำดับ อุปกรณ์ขับเคลื่อนซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าว ตามลำดับ ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควัน ตามลำดับ และ ส่วนควบคุม ในที่ซึ่ง แต่ละอันของชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวสามารถเคลื่อนที่ได้ไปและจากตำแหน่งระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันและตัวจับถือที่รองรับวัตถุเป้าหมายการชุบที่สอดคล้องกัน และแต่ละอันของอุปกรณ์ขับเคลื่อนดังกล่าวกำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวอย่างเลือกสรรในตำแหน่งกำบังระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวและตัวจับถือ และตำแหน่งถอยกลับซึ่งถอยกลับจากตำแหน่งกำบังดังกล่าว และ ส่วนควบคุมดังกล่าวควบคุมแต่ละอันของอุปกรณ์ขับเคลื่อนดังกล่าวให้กำหนดที่อยู่ทั้งหมด ของชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งกำบังดังกล่าวเมื่ออย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้กำหนดที่อยู่ทั้งหมดของชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งถอยกลับดังกล่าวเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไปหลังจากที่ตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 9. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ที่ประกอบเพิ่มเติมด้วย ตัวกรองแม่เหล็กซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และที่มีขดลวดโซลินอยด์สำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็กที่ควบคุมวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าว โดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเพื่อเบี่ยงเบนวัสดุทีเป็นไอออนดังกล่าวเข้าหาตัวจับถือดังกล่าว และอุปกรณ์แหล่งกำเนิดที่ให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าว 1 0. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 9 ในที่ซึ่ง ส่วนควบคุมดังกล่าวควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำเนิดดังกล่าวในลักษณะที่แต่ละอุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังดังกล่าวขัดจังหวะการให้พลังงานของขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่ออย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวภายหลังการผ่านพ้นไปของเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรภาพหลังจากที่ทั้งหมดของตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 1 1. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวทเป็นตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 2. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าซึ่งจ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 3. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน 1 4. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแต่ละอันของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำหน้าขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน เวลาจากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากการตรวจจับของการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว 1 5. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุดแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบซึ่งรองรับโดยตัวจับถือโดยการใช้งานแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้ามกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ตัวกรองแม่เหล็กที่มีขดลวดโซลินนอยด์สำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็ก และที่ควบคุมการกระจัดกระจายของวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าวโดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศให้เคลื่อนที่วัสดุที่เป็นไอออนเข้าหาตัวจับถือดังกล่าว อุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังที่ให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าว ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และ ส่วนควบคุมที่ควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำลังดังกล่าวให้หยุดหารใช้พลังงานของขดลอดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่อตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศและให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไปหลังจากที่ตัวตรวจจับได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 1 6. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 7. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าซึ่งจ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 8. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน 1 9. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน เวลาจากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากการตรวจจับของการ เปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว 2 0. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุดแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบซึ่งรองรับโดยตัวจับถือโดยการใช้งานจำนวนหนึ่งของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้ามกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ตัวกรองแม่เหล็กซึ่งจัดวางสำหรับจำนวนมากของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว ตามลำดับ อุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังสำหรับให้พลังงานตัวกรองแม่เหล็กดังกล่าว ตามลำดับ ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว ตามลำดับ และ ส่วนควบคุม ในที่ซึ่ง แต่ละอันของตัวกรองแม่เหล็กดังกล่าวมีขดลวดโซลินอยด์ที่ถูกให้พลังงานโดยอุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังดังกล่าวสำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็ก และขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวจัดรูปแบบสนามแม่เหล็กที่ควบคุมการกระจัดกระจายของวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าวโดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศให้เคลื่อนที่วัสดุที่เป็นไอออนเข้าหาตัวจับถือดังกล่าวและ ส่วนควบคุมดังกล่าวควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำลังดังกล่าวให้หยุดการให้พลังงานของทั้งหมดของขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่ออย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้พลังงานทั้งหมดของขดลวดโซลินอยด์เมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้ทั้งหมดของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศดังกล่าวมีเสถียรหลังจากที่ ทั้งหมดของตัวตรวจจับได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 2

1. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับที่ตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 2

2. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับอย่างน้อยหนึ่งตัวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่จ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 2

3. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ขั้วลบถูกทำขึ้นด้วยคาร์บอนเป็นหลัก 2

4. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นด้วยคาร์บอนเป็นหลัก และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแต่ละอันของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำขึ้นด้วยคาร์บอนเป็นหลัก จากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาต้องสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากตรวจจับของการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว