TH32284A

TH32284A - กระบวนการผลิตสิ่งของกึ่งตัวนำ

Info

Publication number: TH32284A
Application number: TH9701005179A
Authority: TH
Inventors: ซาคากูชิ นายคิโยฟูมิ; โยเนฮารา นายทาคาโอะ; นิชิดะ นายโชจิ; ยามากาตะ นายเคนจิ
Original assignee: นายดำเนิน การเด่น; นายต่อพงศ์ โทณะวณิก; นายวิรัช ศรีเอนกราธา; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date: 1997-12-17
Publication date: 1999-02-25

Abstract

DC60 (14/09/41) กระบวนการผลิตสิ่งกึ่งตัวนำถูกจัดให้มีขึ้น ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของการยึดติดฟิล์มลง บนแผ่นรองพื้นที่มีแผ่นชั้นกึ่ง ตัวนำรูพรุนและการแยกฟิล์มออกจากแผ่นรองพื้นที่แผ่น ชั้นกึ่งตัวนำรู พรุนด้วยการประยุกต์ใช้แรงกระทำต่อฟิล์มใน ทิศทางปลอกเปลือกออก กระบวนการผลิตสิ่งกึ่งตัวนำถูกจัดให้มีขึ้น ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของการยึดติดฟิล์มลง บนแผ่นรองพื้นที่มีแผ่นชั้นกึ่ง ตัวนำรูพรุนและการแยกฟิล์มออกจากแผ่นรองพื้นที่แผ่น ชั้นกึ่งตัวนำรู พรุนด้วยการประยุกต์ใช้แรงกระทำต่อฟิล์มใน ทิศทางปลอกเปลือกออก

Claims

1. กระบวนการสำหรับผลิตสิ่งกึ่งตัวนำที่ประกอบด้วย การยึดติดฟิล์มลงบนแผ่นรองพื้นที่ มีแผ่นชั้นกึ่งตัวนำรูพรุน และการ แยกฟิล์มจากแผ่นรองพื้นที่แผ่นชั้นกึ่งตัวนำรูพรุนด้วยการ ประยุกต์ ใช้แรงกระทำต่อฟิล์มในทิศทางที่ปอกเปลือกออก

2. กระบวนการสำหรับผลิตสิ่งกึ่งตัวนำตามข้อถือ สิทธิ 1 ซึ่งฟิล์มถูกประกอบขึ้นด้วยยางเร ซิน

3. กระบวนการสำหรับผลิตสิ่งกึ่งตัวนำตามข้อถือ สิทธิ 1 ซี่งฟิล์มถูกประกอบขึ้นด้วยฟิล์ม ตัวนำไฟฟ้า

4. กระบวนการสำหรับผลิตสิ่งกึ่งตัวนำตามข้อถือ สิทแท็ก :