TH33515A - กระบวนการการก่อรูปฟิล์มบาง - Google Patents
กระบวนการการก่อรูปฟิล์มบางInfo
- Publication number
- TH33515A TH33515A TH9801001003A TH9801001003A TH33515A TH 33515 A TH33515 A TH 33515A TH 9801001003 A TH9801001003 A TH 9801001003A TH 9801001003 A TH9801001003 A TH 9801001003A TH 33515 A TH33515 A TH 33515A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- porous
- layer
- base plate
- porous layer
- soi
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title claims abstract 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract 5
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 abstract 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 (04/06/41) กระบวนการสำหรับการก่อรูปฟิล์มบางจะได้รับการจัดเตรียมไว้โดยจะประกอบด้วยขั้นตอน ของการแยกแผ่นฐานที่ประกอบด้วยชั้น Si ไม่มีรูพรุน, ชั้น Si มีรูพรุนบนชั้น Si ไม่มีรูพรุน และ ชั้น Si มีรูพรุนน้อยลงที่ได้รับการก่อรูปขึ้นมาต่อไป อีกบนชั้นมีรูพรุนออกเป็นชั้นไม่มีรูพรุนและชั้นมีรู พรุน น้อยลงที่ชั้นมีรูพรุน, โดยการแยกจะได้รับการดำเนินการโดย การฉายลำแสงเลเซอร์ผ่านผิว หน้าด้านข้างของแผ่นฐาน แผ่นฐาน แบบเอสโอไอจะได้รับการเตรียมขึ้นมาจากแผ่นฐานที่ผ่านการ แยก และจะนำชั้น Si ไม่มีรูพรุนกลับไปใช้ใหม่ในกระบวนการการผลิตแผ่นฐานแบบเอสโอไอ กระบวนการการผลิตแผ่นฐานแบบเอสโอไอนี้จะประหยัดการสิ้นเปลืองวัสดุ และทำให้ต้นทุนการผลิต ต่ำลง แผ่นฐานจะได้รับการแยกอย่างแน่นอน กระบวนการสำหรับการผลิตเครื่องสำเร็จเพื่อการ แปลงไฟฟ้าพลังแสง ดังเช่น เซลล์แสงอาทิตย์ โดยมีการประหยัดวัสดุและใช้ต้นทุนต่ำลง จะได้รับ การจัดเตรียมไว้ด้วยเช่นกันที่ซึ่งชั้นมีรูพรุนจะได้รับการทำให้แยกออกอย่างแน่นอนโดยไม่ต้องการ การยึดติดที่แข็งแรงระหว่างแผ่นฐานและจิก กระบวนการสำหรับการก่อรูปฟิล์มบางจะได้รับการจัดเตรียมไว้โดยจะประกอบด้วยขั้นตอนของการแยกแผ่นฐานที่ประกอบด้วยชั้น Si ไม่มีรูพรุน, ชั้น Si มีรูพรุนบนชั้น Si ไม่มีรูพรุน และชั้น Si มีรูพรุนน้อยลงที่ได้รับการก่อรูปขึ้นมาต่อไป อีกบนชั้นมีรูพรุนออกเป็นชั้นไม่มีรูพรุนและชั้นมีรูพรุน น้อยลงที่ชั้นมีรูพรุน, โดยการแยกจะได้รับการดำเนินการโดย การฉายลำแสงเลเซอร์ผ่านผิวหน้าด้านข้างของแผ่นฐาน แผ่นฐาน แบบเอสโอไอจะได้รับการเตรียมขึ้นมาจากแผ่นฐานที่ผ่านการแยก และจะนำชั้น Si ไม่มีรูพรุนกลับไปใช้ใหม่ในกระบวนการเตรียม ขึ้นมาจากแผ่นฐานที่ผ่านการแยก และจะนำชั้น Si ไม่มีรูพรุน กลับไปใช้ใหม่ในกระบวนการการผลิตแผ่นฐานแบบเอสโอ ไอกระบวนการการผลิตแผ่นฐานแบบเอสโอไอนี้จะประหยัดการสิ้น เปลืองวัสดุ และทำให้ต้นทุนการผลิตต่ำลง แผ่นฐานจะได้รับ การแยกอย่างแน่นอน กระบวนการสำหรับการผลิตเครื่องสำเร็จ เพื่อการแปลงไฟฟ้าพลังงาน ดังเช่น เซลล์แสงอาทิตย์ โดยมี การประหยัดวัสดุและใช้ต้นทุนต่ำลง จะได้รับการจัดเตรียมไว้ ด้วยเช่นกันที่ซึ่งชั้นมีรูพรุนจะได้รับการทำให้แยกออก อย่างแน่นอนโดยไม่ต้องการการยึดติดที่แข็งแรงระหว่างแผ่น ฐานและจิก
Claims (2)
1. กระบวนการสำหรับการก่อรูปฟิล์มบางประกอบด้วยขั้นตอนของการแยกแผ่นฐานที่ประกอบด้วยชั้นไม่มีรูพรุน, ชั้นมีรูพรุน บนชั้นไม่มีรูพรุน และชั้นมีรูพรุนน้อยลงที่มีความพรุนน้อย กว่าชั้นมีรูพรุนที่ได้รับการก่อรูปขึ้นมาต่อไปอีกบนชั้นมี รูพรุนออกเป็นชั้นไม่มีรูพรุนและชั้นมีรูพรุนน้อยลงที่ชั้น มีรพรุน, โดยการแยกจะได้รับการดำเนินการโดยการฉายลำแสง เลเซอร์ผ่านผิวหน้าด้านข้างของแผ่นฐานเข้าในกึ่งกลางของ แผ่นฐาน
2. กระบวนการสำหรับการก่อรูปฟิล์มบางที่สองดคล้องกันกับข้อ ถือสิทธิข้อ 1, การแยกจะได้รับการดำเนินการโดยกาแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH33515A true TH33515A (th) | 1999-06-24 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2232796A1 (en) | Thin film forming process | |
| CA2233096A1 (en) | Substrate and production method thereof | |
| EP0199901A3 (de) | Träger für eine semipermeable Membran und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| EP0867920A3 (en) | Thin film formation process | |
| WO2004044948A3 (en) | Photovoltaic devices fabricated by growth from porous template | |
| CA2225131A1 (en) | Process for producing semiconductor article | |
| CA2187269A1 (en) | Semiconductor substrate and producing method thereof | |
| EP1365455A4 (en) | SOLAR CELL AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME | |
| DE69728355D1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergegenstands | |
| WO2007059578A8 (en) | High efficiency solar cell fabrication | |
| WO2004042432A3 (en) | Photovoltaic devices fabricated by growth from porous template | |
| AU7751887A (en) | Snap fastener and method and means for making the same | |
| DE50011786D1 (de) | Verfahren und Verwendung einer Durchtrennungsvorrichtung zur Herstellung eines CdS/CdTe Dünnschichtsolarmoduls | |
| WO2005045492A3 (en) | Method for fabrication of optical element, and optical element having three-dimensional laminated structure | |
| CA2296808A1 (en) | Electrochemical process for fabricating article exhibiting substantial three-dimensional order and resultant article | |
| AU1135101A (en) | Rapid-prototyping method and apparatus | |
| DE60136007D1 (de) | Verfahren zur herstellung einer stapelstruktur | |
| HK44293A (en) | Heat-embossed foil | |
| CA2220600A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor article | |
| WO2004097894A3 (en) | Self-organized nanopore arrays with controlled symmetry and order | |
| DE60017409D1 (de) | Brennstoffzellenkollektorplatte mit verbesserter leitfähigkeit und verfahren zu deren herstellung | |
| PL347421A1 (en) | Method for producing a multilayer coextrudate and a coextrudate produced according thereto | |
| CN109722666A (zh) | 具有表面微纳结构的金属薄膜模具的制备方法和金属薄膜模具中间体 | |
| WO2004081987A3 (en) | Sige rectification process | |
| EP0860518A4 (en) | METHOD FOR PRODUCING POROUS ELECTROLYTIC METAL FILMS |