TH42372A - - Google Patents

Info

Publication number
TH42372A
TH42372A TH9601001840A TH9601001840A TH42372A TH 42372 A TH42372 A TH 42372A TH 9601001840 A TH9601001840 A TH 9601001840A TH 9601001840 A TH9601001840 A TH 9601001840A TH 42372 A TH42372 A TH 42372A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
hci
high purity
vapor
flow
purify
Prior art date
Application number
TH9601001840A
Other languages
English (en)
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น นายต่อพงศ์ โทณะวณิก นายวิรัช ศรีอเนกราธา นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นาย ดำเนินการเด่น นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก นาย วิรัชศรีเอนกราธา นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น นายต่อพงศ์ โทณะวณิก นายวิรัช ศรีอเนกราธา นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นาย ดำเนินการเด่น นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก นาย วิรัชศรีเอนกราธา นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ filed Critical นายดำเนิน การเด่น นายต่อพงศ์ โทณะวณิก นายวิรัช ศรีอเนกราธา นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นาย ดำเนินการเด่น นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก นาย วิรัชศรีเอนกราธา นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Publication of TH42372A publication Critical patent/TH42372A/th

Links

Abstract

เตรียม HCI ที่ทำให้มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อใช้ในการผลิตขึ้น ณ. ที่ใช้ โดยการ ดึงไอ HCI จากที่เก็บ HCI เหลว และการล้างไอที่กรองแล้วในเครื่องล้างด้วย น้ำที่มีพีเอชต่ำ

Claims (1)

1. ระบบย่อย ณ. ที่ใช้ ในโรงงานผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ เพื่อการรีเอ เจนต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงระดับอัลตรา ที่ประกอบ ด้วย HCI ต่อการดำเนินการการผลิตสาร กึ่งตัวนำ ที่ประกอบ ด้วย : แหล่งการระเหยแรกที่ต่ออยู่เพื่อรองรับแหล่งของเหลว HCI และเพื่อให้ กระแสไอ HCI จากที่นั้น ; กระแสไอ HCI ที่กล่าวแล้วต่ออยู่เพื่อผ่านไปยังหน่วยเครื่อง ทำให้บริสุทธิ์ จากไอออนซึ่งให้ปริมาตรการหมุนเวียนกลับของ น้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง ที่มีความเข้มข้นสูง ของกรดไฮโดร คลอริก ที่สัมผัแท็ก :
TH9601001840A 1996-06-05 TH42372A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH42372A true TH42372A (th) 2001-01-10

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BG48454A3 (en) Device and method for multistep washing of suspensions in counter- flow
DE50009996D1 (de) Vorrichtung zum entwässern von schlamm
CN105600995A (zh) 一种膜曝气与膜吸收耦合工艺的高氨氮废水资源化零排放处理方法及装置
TH42372A (th)
RU94012920A (ru) Способ очистки сточных вод и технологических растворов от ионов некеля и меди методом ионного обмена
GB1464230A (en) Cleaning of flue gas involving electrolytic treatment
CN210980160U (zh) 一种空气净化消毒装置
JPS57207518A (en) Liquid filtering device
CN210128654U (zh) 一种半闭路循环冷却水系统
RU94022973A (ru) Способ очистки природных вод
CN108483683A (zh) 一种利用烟道气连续反应去除废水硬度的方法及其专用装置
CN1005278B (zh) 一种电镀生产工艺
CN203417514U (zh) 一种水处理装置
CN208055052U (zh) 一种便于清理的除油除盐污水处理设备
CN219984068U (zh) 一种纯化水机
CN218492627U (zh) 一种多功能不锈钢水箱
CN208166731U (zh) 一种硬水处理装置
CN219950762U (zh) 血液低温操作台冷凝水处理装置
CN213326992U (zh) 抗菌制剂生产用纯水机
CN218371811U (zh) 一种化工废水处理罐
CN213895492U (zh) 一种利用低温烟气实现脱硫废水零排放的工艺装置
KR0125272Y1 (ko) 정수기
CN109052772B (zh) 一种自动化的农业污水处理的环保装置
CN107596868A (zh) 一种氯气洗涤塔
CN212640128U (zh) 一种污水处理设备