TH46463A - วิธีในการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้าบนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริก - Google Patents

วิธีในการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้าบนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริก

Info

Publication number
TH46463A
TH46463A TH1003390A TH0001003390A TH46463A TH 46463 A TH46463 A TH 46463A TH 1003390 A TH1003390 A TH 1003390A TH 0001003390 A TH0001003390 A TH 0001003390A TH 46463 A TH46463 A TH 46463A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
metal film
dielectric substrate
protective layer
way
conductive pattern
Prior art date
Application number
TH1003390A
Other languages
English (en)
Inventor
โคห์นเล นายฟรานซ์
กุกเกมอส นายไมเคิล
Original Assignee
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายบุญมา เตชะวณิช
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
Filing date
Publication date
Application filed by นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายบุญมา เตชะวณิช, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีเอนกราธา filed Critical นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Publication of TH46463A publication Critical patent/TH46463A/th

Links

Abstract

DC60 (08/11/43) ในการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้าบนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริกได้มีการเสนอวิธีการที่ประกอบ ด้วย a) วัสดุฐานรองที่ถูกปกคลุมด้วยฟิล์มโลหะถูกเคลือบด้วยชั้นป้องกัน ซึ่งสร้างขึ้นโดยการบำบัด ฟิล์มโลหะด้วยสารละลายที่มีสารประกอบซึ่งมีไนโตรเจนอย่างน้อยหนึ่งชนิด, b) ชั้นป้องกันจะถูก ลอกออกโดยการแผ่รังสีอัลตราไวโอเลตอย่างน้อยเป็นบางส่วนในบริเวณที่ไม่มีการสร้างแบบลาย ตัวนำไฟฟ้าในลักษณะที่ทำให้ฟิล์มโลหะมีการเปิดโล่ง, และ c) ฟิล์มโลหะที่เปิดโล่งจะถูกกำจัดโดย การกัดกร่อน โดยวิธีการดังกล่าวนี้ ทำให้สามารถผลิตแบบลายตัวนำไฟฟ้าที่ประณีตมากได้ ใน ลักษณะวิธีที่สามารถผลิตซ้ำได้บนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริก ในการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้าบนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริกได้มีการเสนอวิธีการที่ประกอบ ด้วย a) วัสดุฐานรองที่ถูกปกคลุมด้วยฟิล์มโลหะถูกเคลือบด้วยชั้นป้องกัน ซึ่งสร้างขึ้นโดยการบำบัด ฟิล์ม โลหะด้วยสารละลายที่มีสารประกอบซึ่งมีไนโตรเจนอย่างน้อยหนึ่งชนิด, b) ชั้นป้องกันจะถูก ลอกออกโดยการแผ่รังสีอัลตราไวโอเลตอย่างน้อยเป็นบางส่วนในบริเวณที่ไม่มีการสร้างแบบลาย ตัวนำไฟฟ้าในลักษณะที่ทำให้ฟิล์มโลหะมีการเปิดโล่ง, และ c) ฟิล์มโลหะที่เปิด โล่งจะถูกกำจัดโดย การกัดกร่อน โดยวิธีการดังกล่าวนี้ ทำให้สามารถผลิตแบบลายตัวนำไฟฟ้าที่ประณีตมากได้ ใน ลักษณะวิธีที่สามารถผลิตซ้ำได้บนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริก

Claims (1)

1. วิธีการในการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้าบนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริก ซึ่งวิธีการดังกล่าว ประกอบด้วย (a) วัสดุฐานรองซึ่งถูกปกคลุมด้วยฟิล์มโลหะถูกเคลือบด้วยชั้นป้องกัน ซึ่งสร้างขึ้นโดยการ บำบัดฟิล์มโลหะด้วยสารละลายที่มีสารประกอบซึ่งมีไนโตรเจนอย่างน้อยหนึ่งชนิด (b) ชั้นป้องกันจะถูกลอกออก โดยการแผ่รังสีอัลตราไวโอเลตอย่างน้อยเป็นบางส่วนในบริเวณ ที่ไม่มีการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้า ซึ่งในวิธีการดังกล่าวนี้จะทำให้ฟิล์มโลหะถูกเปิดโล่ง และ (c) ฟิล์มโลหะที่เปิดโล่งจะถูกกำจัดโดยกาแท็ก :
TH1003390A 2000-09-05 วิธีในการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้าบนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริก TH46463A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH46463A true TH46463A (th) 2001-07-31

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2123174T3 (es) Procedimiento para la metalizacion estructurada de la superficie de substratos.
US5221426A (en) Laser etch-back process for forming a metal feature on a non-metal substrate
ATE333147T1 (de) Verfahren zur herstellung eines halbleiter- metallkontaktes durch eine dielektrische schicht
ATE43028T1 (de) Verfahren zum herstellen einer schichtstruktur.
DE3860511D1 (de) Verfahren zur herstellung von leiterplatten.
ATE183246T1 (de) Herstellung von gedruckten schaltungen
DE602004015748D1 (de) Lösung zum ätzen von kupferoberflächen und verfahren zur abscheidung von metall auf kupferoberflächen
DE50000836D1 (de) Verfahren zum einbringen von durchkontaktierungslöchern in ein beidseitig mit metallschichten versehenes, elektrisch isolierendes basismaterial
ATE538880T1 (de) Entfernung von beschichtungen oder schichten von oberflächen
WO2002023962A3 (en) Method for the formation of a pattern on an insulating substrate
MY127027A (en) Method of forming a conductive pattern on dielectric substrates
ATE420982T1 (de) Plattierung von mehrschichtstruktur
DE60205464D1 (de) Herstellung eines metallischen musters
TH46463A (th) วิธีในการสร้างแบบลายตัวนำไฟฟ้าบนวัสดุฐานรองไดอิเล็กตริก
KR970007601B1 (en) Method of forming contact hall of a semiconductor device
ATE207947T1 (de) Wässrige elektrotauchlacke, ihre verwendung in verfahren zur beschichtung elektrisch leitfähiger substrate sowie die verwendung von silberionen und/oder von elementarem silber in wässrigen elektrotauchlacken
TW256858B (en) Copper foil for printed circuit board
KR890003270A (ko) 회로 형성법
SE0101868D0 (sv) Förfarande för att applicera koppar på substrat
TW399298B (en) Manufacturing method of via hole
EE9800205A (et) Meetod elektronkiirega töödeldud lakki sisaldava homogeense dekoratiivse pinnakihiga laudade tootmiseks
TW200705611A (en) Damascene process and mthod for fabricating bit line for memory
FR2425790A1 (fr) Perfectionnements aux circuits imprimes et a leurs procedes de fabrication
TW373309B (en) Method for forming metal lines of semiconductor device
DK1187660T3 (da) Metode til at overtrække et metalsubstrat med et radioaktivt lag