TH49303A - การเคลื่อนที่เข้าเทียบในแนวตั้งแบบถ่วงดุลในเครื่องควบคุมหัวทดสอบที่ขับเคลื่อนในแนวแกนตั้ง - Google Patents
การเคลื่อนที่เข้าเทียบในแนวตั้งแบบถ่วงดุลในเครื่องควบคุมหัวทดสอบที่ขับเคลื่อนในแนวแกนตั้งInfo
- Publication number
- TH49303A TH49303A TH101000777A TH0101000777A TH49303A TH 49303 A TH49303 A TH 49303A TH 101000777 A TH101000777 A TH 101000777A TH 0101000777 A TH0101000777 A TH 0101000777A TH 49303 A TH49303 A TH 49303A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- fine
- vertical
- main arm
- test head
- grained
- Prior art date
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 (24/05/44) ตัวจัดวางตำแหน่งอย่างเช่น ตัวพาหัวทดสอบสำหรับ เวเฟอร์ของสารกึ่งตัวนำและเครื่อง ทดสอบอุปกรณ์ ประกอบด้วยที่รองรับแนวตั้งและแขนหลักสำหรับการรองรับหัวทดสอบ แขนหลัก ถูกแขวนไว้สำหรับการเคลื่อนที่แบบละเอียดโดยการใช้ของแรงสมดุลอย่างเช่นน้ำหนักถ่วง การ แขวนของแขนหลักถูกกระทำที่ข้อได้เปรียบเชิงกล ดังนั้นทำให้ถูกลดแรงถ่วงดุลและการเคลื่อนที่ ขนาดใหญ่ที่สอดคล้องกันบนด้านถ่วงดุลได้ถูกใช้เพื่อก่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบละเอียด ที่รองรับ แนวตั้งอาจถูกปรับด้วยการขับเคลื่อนที่ไม่เป็นไปตามที่กำหนดอย่างเช่นกลไกสกรูบอล การเคลื่อนที่ แบบละเอียดยังสามารถถูกใช้เพื่อรับสัมผัสสิ่งกีดขวางและข้อผิดพลาดการจัดวางตำแหน่งอื่นๆอีกด้วย และดังนั้นตัวขับเร้าของการขับเคลื่อนสำหรับที่รองรับแนวตั้งสามารถถูกควบคุมได้ ตัวจัดวางตำแหน่งอย่างเช่น ตัวพาหัวทอสอบสำหรับ เวเฟอร์ของสารกึ่งตัวนำและเครื่อง ทดสอบอุปกรณ์ ประกอบด้วยที่รองรับแนวตั้งและแขนหลักสำหรับการรองรับหัวทดสอบ แขนหลัก ถูกแขวน ไว้สำหรับการเคลื่อนที่แบบละเอียดโดยการใช้ของแรงสมดุลอย่างเช่นน้ำหนักถ่วง การ แขวนของแขวนหลักถูกกระทำที่ข้อได้เปรียบเชิงกล ดังนั้นทำให้ถูกลดแรงถ่วงดุลและการเคลื่อนที่ ขนาดใหญ่ที่สอดคล้องกันบนด้านถ่วงดุลได้ถูกใช้เพื่อก่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบละเอียด ที่รองรับ แนวตั้งอาจถูกปรับด้วยการขับเคลื่อนที่ไม่เป็นไปตามที่กำหนดอย่งเช่นกลไกสกรูบอล การเคลื่อนที่ แบบละเอียดยังสามารถถูกใช้เพื่อรับสัมผัสสิ่งกีดขวางและข้อผิดพลาดการจัดวางตำแหน่งอื่นๆอีกด้วย และดังนั้นตัวขับเร้าของการขับเคลื่อนสำหรับที่รองรับแนวตั้งสามารถถูกควบคุมได้
Claims (1)
1. เครื่องมือสำหรับการรองรับโหลดนั้น เครื่องมือประกอบด้วย : กลไกขับเคลื่อนสำหรับการมีผลต่อการปรับตำแหน่งแรกของโหลด; และ กลไกการเชื่อมต่อสำหรับการมีผลต่อการปรับตำแหน่งที่สองของโหลด, กลไกการเชื่อมต่อ ที่มีส่วนที่มีส่วนแบริ่งโหลอดที่ถูกเชื่อมต่อกับโหลด, และส่วนที่ป้อนเข้าสำหรับการรับแรงสมดุลนั้น กลไกการเชื่อมต่อมีข้อได้เปรียบเชิงกลที่มีค่ามากกว่าหนึ่ง ดังนั้นแรงสมดุลที่ถูกใช้ที่ส่วนป้อนเข้า ถูกทำให้เพิ่มขึ้นส่งผลให้ข้อได้เปรียบเชิงกล จัดให้มีแรงลัพธ์ที่มากขึ้นกระทำแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH49303A true TH49303A (th) | 2002-02-07 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1650573A3 (en) | Counter balanced vertical docking motion in a driven vertical test head manipulator | |
| CN101922995A (zh) | 电锤式三轴六自由度振动试验装置 | |
| CN116753265B (zh) | 一种基于Stewart衍生结构的四自由度防振平台 | |
| CN101354537A (zh) | 用于光刻设备的工件台 | |
| EP1549961A1 (en) | Test head positioning apparatus | |
| CN112289727A (zh) | 芯片位置调节机构及芯片传输机构 | |
| CN101520606B (zh) | 非接触长行程多自由度纳米精密工作台 | |
| CN104070518B (zh) | 一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置 | |
| CN100456140C (zh) | 一种用于步进扫描光刻机的精密隔振系统 | |
| JP3631030B2 (ja) | ワイヤボンダ装備のｘ、ｙ、ｚ軸駆動装置及びその位置制御方法 | |
| CN102723298A (zh) | 一种电磁预紧xy精密运动平台 | |
| JP2018146277A (ja) | 昇降駆動装置およびこれを用いた測定機 | |
| CN102723297A (zh) | 一种具有末端负载支撑且结构对称的xy精密运动平台 | |
| KR101705154B1 (ko) | 고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지 | |
| US11143529B2 (en) | Cantilever linear motion reference device employing two-layer air suspension | |
| JP2003075290A (ja) | 風洞実験用振動天秤装置 | |
| US8174154B2 (en) | Air bushing linear stage system | |
| CN103047339B (zh) | 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器 | |
| JPH11218471A (ja) | 運動試験装置 | |
| CN115793498A (zh) | 三自由度半物理仿真系统的调平装置及其工作方法 | |
| CN116338403A (zh) | 运动装置及测量设备 | |
| CN113358849B (zh) | 一种模拟动态破岩采样非竖直安装系统及竖直安装系统 | |
| CN207395940U (zh) | 一种二维电磁激励器的力标定装置 | |
| CN223899609U (zh) | 一种应用于MicroLED巨量转移高精度调平装置 | |
| JP5269332B2 (ja) | 垂直直動装置 |