TH51260A -
Production of highly purified sulfuric acid
- Google Patents
Production of highly purified sulfuric acid
Info
Publication number
TH51260A
TH51260ATH1005089ATH0001005089ATH51260ATH 51260 ATH51260 ATH 51260ATH 1005089 ATH1005089 ATH 1005089ATH 0001005089 ATH0001005089 ATH 0001005089ATH 51260 ATH51260 ATH 51260A
DC60 (26/03/44) การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับกระบวนการแบบใหม่สำหรับการผลิตกรดซัลฟิวริกชนิดมี สภาพบริสุทธิ์สูงสำหรับการใช้ใน อุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับกระบวนการแบบใหม่สำหรับการผลิตกรดซัลฟิวริกชนิดมี สภาพบริสุทธิ์สูงสำหรับการใช้ใน อุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ DC60 (26/03/44) This invention involves a new process for the production of strong sulfuric acid. High purity conditions for use in Semiconductor industry The invention involves a new process for the production of strong sulfuric acid. High purity conditions for use in Semiconductor industry
Claims (1)
1. กระบวนการสำหรับการผลิตกรดซัลฟิวริกชนิดมีสภาพบริสุทธิ์สูงสำหรับอุตสาหกรรมสาร กึ่งตัวนำ ที่มีลักษณะพิเศษเนื่อง โดย a) เติมสารละลายไฮโดรเจนเพอร์ออกไซด์ที่มีความเข้มข้น 1 ถึง 70% ลงในโอเลียมเกรด เทคนิค 24 ถึง 70% ในปริมาณมาก เพียงพอที่จะทำให้ความเข้มข้นของ SO2 ต่ำกว่า 10 ส่วนในล้าน ส่วน b) ระเหย SO3 ในโอเลียมที่อุณหภูมิ 90 ถึง 130 ํซ ใน เครื่องระเหยแบบอาศัยการไหลตก เป็นแผ่นบาง c) นำกรดซัลแท็ก :1.Process for the production of highly purified sulfuric acid for the semiconductor industry characterized by a) adding a concentration of 1 to 70% hydrogen peroxide solution to technical grades 24 to 70 of olium. B) Evaporate SO3 in oillium at 90 to 130 in flake-flow evaporator. C) Conduct sulfuric acid. Tags:
TH1005089A2000-12-26
Production of highly purified sulfuric acid
TH51260A
(en)