TH88220A

TH88220A - อุปกรณ์และกระบวนการสำหรับการปฏิบัติพื้นผิวของซับสเทรตโดยใช้ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้น

Info

Publication number: TH88220A
Application number: TH601004510A
Authority: TH
Inventors: การ์จ นายไดวาการ์; อาร์โนลด์ ครูสซี นายสตีเว่น; แอนโธนี่ โรเบิร์ตสัน นายอีริค; ที่สาม; มา นายปิงปิง
Original assignee: นายธเนศ เปเรร่า; นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์; นางวรนุช เปเรร่า
Filing date: 2006-09-14
Publication date: 2008-01-21

Abstract

DC60 (12/12/49) อุปกรณ์และกระบวนการสำหรับการปฏิบัติพื้นผิวซับสเทรตอย่างน้อยส่วนหนึ่งถูกอธิบายใน ที่นี้ ในลักษณะหนึ่ง อุปกรณ์ ห้องแปรรูปซึ่งประกอบด้วยปริมาณภายใน, ซับสเทรต, และท่อแยกไอ เสีย; แหล่งจ่ายก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นที่ซึ่งก๊าซกระบวนการซึ่งประกอบด้วยก๊าซไวปฏิกิริยาหนึ่ง ชนิดหรือมากกว่าและอาจเลือก๊าซเติมแต่งถูกกระตุ้นโดยแหล่งพลังงานหนึ่งแหล่งหรือมากกว่าเพื่อให้ ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้น; และท่อจ่าย ซึ่งอยู่ในการติดต่อของไหลกับปริมาตรภายในและแหล่งจ่าย ซึ่งประกอบด้วย ช่องเปิดจำนวนหนึ่งซึ่งนำก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นเข้าไปในปริมาตรภายใน ที่ซึ่ง ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นสัมผัสพื้นผิวและให้ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นที่ใช้และ/หรือผลิตภัณฑ์ที่ กลายเป็นไอซึ่งถูกนำออกจากปริมาตรภายในผ่านท่อแยกไอเสีย อุปกรณ์และกระบวนการสำหรับปฏิบัติพื้นผิวซับสเทรตอย่างน้อยส่วนหนึ่งถูกอธิบายใน ที่นี้ ในลักษณะหนึ่ง อุปกรณ์ ห้องแปรรูปซึ่งประกอบด้วยปริมาณภายใน, ซับสเทรต, และท่อแยกไอ เสีย; แหล่งจ่ายก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นซึ่งก๊าซกระบวนการซึ่งประกอบด้วยก๊าซไวปฏิกิริยาหนึ่ง ชนิดหรือมากกว่าและอาจเลือก๊าซเติมแต่งถูกกระตุ้น โดยแหล่งพลังงานหนึ่งแหล่งหรือมากกว่าเพื่อให้ ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้น; และท่อจ่าย ซึ่งอยู่ในการติดต่อของไหลกับปริมาตรภายในและแหล่งจ่าย ซึ่งประกอบด้วย: ช่องเปิดจำนวนหนึ่งซึ่งนำก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นเข้าไปในปริมาตรภายใน ที่ซึ่ง ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นสัมผัสพื้นผิวและให้ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นที่ใช้และ/หรือผลิตภัณฑ์ที่ กลายเป็นไอซึ่งถูกนำออกจากปริมาตรภายในผ่านท่อแยกไอเสีย:

Claims

1. อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติพื้นผิวของซับสเทรตที่มีอย่างน้อยหนึ่งขนาดมากกว่า 1 ฟุต (30.48 ซม) และ/หรือพื้นที่ผิว 2 ตารางฟุต (0.185 ม2) หรือมากกว่าด้วยก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้น อุปกรณ์ ซึ่งประกอบกด้วย: (a) ห้องแปรรูปซึ่งประกอบด้วยปริมาตรภายในที่ปรับเพื่อยึดพื้นผิวของซับสเทรตอย่างน้อย ส่วนหนึ่ง ที่ซึ่งส่วนดังกล่าวของพื้นผิวมีอย่างน้อยหนึ่งขนาดมากกว่า 1 ฟุต, และท่อแยก ไอเสีย; (b) แหล่งจ่ายก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุแท็ก :