TW200424558A - Optical module, optical splitting and inserting device, and optical transmission device - Google Patents

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200424558 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於光通訊菩所你 斤使用之光棱組、光分岐插入 裝置及光傳送裝置之相關技術。 【先前技術】 作為光通A等所使用之光模組，係已知例如ieee ?恥了⑽心 TECHNOLOGY LETTERS V0L u N〇1 JANUARY 1999所記 載之WDM DROP模組。該模組係形成以光纖維而連接光開關 和光可變衰減器等之光零件，並收容於框體之構成。 然而，在上述先|技術中，由於係分別製作光開關和光 可變衰減器等之光零件，故在此等光零件之製作上較為耗 時，同時亦提高製作成本。 【發明内容】 本發明之目的係提供能以低成本而易於製作之光模組、 光分岐插入裝置及光傳送裝置。 本％明係具有土少1個之光開關和至少1個之光可變衰減 器之光模組，其特徵在於具備： 平面導波路，其係具有構成光開關的一部份之第丨光電路 和構成光可變衰減器的一部份之第2光電路；以及 致動裝置構造體，其係接合於平面導波路，並具有構成 光開關的一部份之第1致動裝置部和構成光可變衰減哭的 一部份之第2致動裝置部。 在如此之本發明當中，係由平面導波路之第1光電路和致 動裝置構造體之第1致動裝置部而構成光開關，並由平面I 86472 200424558 波路^第2光電路和致動裝置構造體之第2致動裝置部而構 成光可k衰減咨。藉由將如此之第丨光電路和第2光電路予 以集積於一個平面導波路之措施，由於能整批地製作光開 關的一部份和光可變衰減器的一部份，故能輕易且廉價地 進行光開關和光可變衰減器之製作。此外，藉由使用具有 如此之第1光電路和第2光電路之平面導波路之措施，則在 有必要連接光開關和光可變衰減器時，非以光纖維而連接 兩者即可％成。據此，gp能減低連接損失，同時能達成光 模組之小型化。 理想上，第1光電路係具有挟住設置於平面導波路之溝部 而形成父叉狀4光導波路，第丨傳送裝置部係設置成能插入 於溝π内（狀悲’並具有將通過光導波路之光予以反射之 可動式反射！竟、以及能移動可動式反射鏡之驅動手段。例 如，可動式反射鏡係位於特定位置時，則通過光導波路之 光係由可動式反射鏡予以反射，並對溝部而引導至位於相 同側m卜的光導波路。在該狀態下，藉由驅動手段而移 動可動反射鏡時，通過光導波路之光係貫穿溝部’並對溝 部而引導至位於相反側之另外的光導波路。如此，即能以 簡單之構成而實現由第1光電路和第m動裝置部所組成之 光開關。 -π π π狀主汉直％、卞囬章 之溝部而形成交又狀之光導沽敗 贫。&设空、

子疚路，罘2致動裝置邵係設I 能插入於溝部内之狀態，並且右 上具有將通過光導波路之光3 反射之可動式反射鏡、以另Α 兄 及此移動可動式反射鏡之驅食 86472 200424558 2:如’可動式反射鏡係位於特定位置時，通過光導波 係由可動式反射鏡予以全反射’並對溝部而引導至 二:相同：之另外的光導波路結果’光衰減量即形成 反射：狀態。在該狀態τ，當藉由驅動手段而移動可動式 反射鏡時’則僅通過光導波路之光的一 射鏡予以反射，其結果，光衰減量即增加。如此，= :用可：式反射鏡之光的反射之簡單構成而實現由第2光 私路和第2致動裝置邵所組成之光可變衰減器。 上述〈情形日# ’理想上，可動式反射鏡係安裝於單面支 牙於平面導波路上之單面樑，且驅動手段係具有設置於平 面導波路上心電極、以及在單面樑和電極之間產生靜電力 手奴如此〈藉由利用靜電而驅動可動式反射鏡之措施 ，由於未流通電流即可完成，故能減少消費電力。 、進而更理想者，光開關和光可變衰減器係分別以5〇〜 :下〈寬幅而配置成複數個陣列狀。據此，即能達成具有 複數個光開關和複數個光可變衰減器之光模組之小型： 南積體化。 、此外’本發明係具有至”個光開關和至h個光耦合器 之光模組，其特徵在於具備： °口 平面導波路，其係具有構成光開關的一部份之第丨光電路 和構成光耦合器之第2光電路；以及 兒 致動裝置構造體，其係接合於平面導波路，並構成光開 關的—部份。 在如此之本發明當中，係由平面導波路之第】光電路和致 86472 200424558 力衣置構4體而構成光開關，並由平面導波路之第2光 而構成光奈黑哭# l ^ » 巷 以集積於―； 第1光電路和第2光電路予 木/、、固平面導波路之措施，由於能整批地製作 和光㈣，故能輕易且廉價地進行開 二…導波路之措施，則在有必要連接光開關和光 減：：:Γ光纖維而連接兩者即可完成。據此，即能 料彳歧’ _能料純組之小型化。 ::::罘1光電路係具有挾住設置於平面導波路之溝部 /成X又狀之光導波路， 入於，、盖Wβ ㈣袈置構^係設置成能插 、、… 狀[並具有將通過光導波路之光^以反射 ::動式反射鏡、以及能移動可動式反射鏡之驅動手段。 =:ί::單之構成而實現如上述之由第1光電路和致 力裝置構k眼所組成之光開關。 該情形時，理相卜，__p # ， 心可動式反射鏡係安裝於單面支撐於平 网令及路上足單面經，η 上之電極、以及在係具有設置於平面導波路 此 Υ早叫和電極之間產生靜電力之手段。據 未流通電流即可完成，故能減少消費電力。 本發明之光分岐插人裝置’其特徵在於具備 。例如光模組係具有光聞^ 又尤桡、，且 係由平面導波路之第光可變哀減器時’由於光開關 境路和致動裝置構造體之第1致動 裝置4所構成，且光可變衰減器係 路和致動裝置構造體之第？5“ ^^2^. ，輕易且廉價地進行光^動裝置部所構成，故能如上述 丁元開關和光可變衰減器之製作。 86472 200424558 本發明之光傳送裝置，i转 〃存政在於具備上述之光模組。 違N形時，由於光模組之# 咏 先開闕係由平面導波路之第1井兩 路和致動裝置構造體所構成， 弟】先包 品，# 成且先杈組足光耦合器係由平 面導波路之第2光電路所構成 、# y , 故此如上逑，輕易且廉價地 進伃光開關和光耦合器之製作。 【實施方式】 以下’參閱圖式而說明有關於本發明之光模組、光分岐 插入裝置及光傳送裝置之最佳實施形態。 圖"系表示本發明之光模組之一實施形態之概略構成圖 在圖1當中，本貫施形態之光模组丨係具有平面導波路2。 在該平面導波路2係設置有由2χ2交又光導波路a广所形 成 < 光可交衰減益用之光電路4。光導波路B丨和光導波路八2 係直接連接。 在平面導波路2上，係接合有使用微型電子機械系統 (MEMS)技術而形成之晶片狀之致動裝置構造體5。該致動 裝置構造體5係由光開關用之致動裝置部6和光可變衰減器 用之致動裝置部7所形成。 此外’由平面導波路2之光電路3和致動裝置部6而構成2 X 2光開關8，且由平面導波路2之光電路4和致動裝置部7而 構成光可變衰減器9。 射光開關8之構成予以表示於圖2和圖3。在此等之圖中， 在平面導波路2係設置有溝部10 ’並挾住該溝部1〇而形成交 又狀之光導波路A丨〜Di。 光開關8之致動裝置部6係以倒裝片接合法等而定位於平 86472 -10- 200424558 2才波路2的上面並施以接合。致動裝置部6係具有單面支 牙万、平面導波路2的上面之單面樑丨丨，且在該單面樑丨丨之前 端侧部份，係設置有複數個梳狀齒12。 在單面樑π之前端部係固定著將通過光導波路Αι、^之 光朝向光導波路Bl、Dl而反射之可動式反射器i3。該可動 =反射鏡13係以裝入至平面導波路2之溝部1〇内之狀態而 月匕私動於溝邯1 0的長邊方向而構成。又，在溝部1 〇係設置 用規制可動式反射鏡1 3的移動量之擋塊1 4。此外，在 可動式反射鏡13的前面係設置有位置保持用突出構件15。 十此外，致動裝置部6係具有設置於平面導波路2的上面之 兒極1 6。在孩電極丨6係設置有插入於單面樑丨丨的各梳狀齒工2 間之複數個梳狀齒1 7。 又，單面樑11、可動式反射鏡13、以及電極16，自低成本 化之觀點而言，由具有導電性之以而形成。 早面樑11和電極16係中介電壓源18而連接，並藉由該電壓 ’原1 8而施加特定電壓（脈衝訊號）於單面樑丨丨和電極1 ^之間 ，而於兩者之間產生靜電力。因此，因該靜電力而使單面 梃11的前端側部份係被拉引至電極16而彎曲，且伴隨於此而 使可動式反射鏡13係以插入於溝部1〇内之狀態而移動至電 核16側（參閱圖4)。 如此，由於在單面樑丨丨和電極16之間產生靜電力而驅動可 動式反射鏡1 3，故能達成省電力化。此外，由於在單面樑η 係設置有梳狀齒12，且在電極16係設置有梳狀齒口，故能 使單面樑11和電極16的表面積係整體性地變大。因此，由於 86472 200424558 僅該部份使產生於單面樑i i和電極i 6之間之靜電力增大，故 能減低施加於兩者間之電壓。 進而致動裝置部6係具有配置於可動式反射鏡13的前面 側〈位置保持機構19。該位置保持機構㈠係在可動式反射 鏡U為反射光之遮斷位置和可動式反射扣為通過光之 貫穿位置當中，以A雷力古斗、^ 田丁 ”、、^力万式叩自我保持可動式反射鏡13 者。 ，位置保持機構19係具有Τ字型之可動部2〇,且在該可動 :20的基端係設置有複數個梳狀齒。。在可動部2〇係連結 者具有推壓於可動式反射鏡13側的彈力之彈性體22，且該 彈性體22的兩端部係固定於平面導波路2的上面。此外： 在平面導波路2的上面係設置有電極23，且在該電極^係 設置有插入於可動部2〇的各梳狀齒21間之複數個梳狀齒 24又如此 < 位置保持機構1 9之各部，亦由具有導電性 之Si而形成。 彈性體22和電極23係中介電壓源25而連接，f藉由該電 I源25而施加特定電壓（脈衝訊號）於彈性體22和電極23之 間而A兩者（間產生靜電力。因此，因該靜電力而使彈 性體22係反抗推壓力而呈收縮，而連結於彈性體η之可動 部20係被拉引至電極23側。 在如此足光開關8當中，電壓源1 8之電壓之供應為非導通 之狀態時係而如圖2所示，單面樑11係往前照直地延伸，而 可動式反射鍉1 3係在遮斷位置。此時，電壓源2 5之電壓之 i、iC亦王非導通狀態，而可動部2 〇的前端係扣止於可動式 86472 200424558 據此而可動式 反射鏡1 3的前面之位置保持用突出構件^ $ 反射鏡1 3係自我保持於遮斷位置。 在孩狀態下，自光導波路Αι而射出之光係由可動式反射 鏡13予以反射而射人至料波路Βι，自光導波路Cl而射出 之光係由可動式反射鏡13予以反射而射人至光導波㈣。 在如此之初期狀態下，當藉由電壓源25而施加電壓於彈 性體22和電極23之間時，因產生於可動部2Q和電極之間 之靜電力而使可動部20係移動至電極23側，並解除可動部 20的前端之扣止狀態。在該狀態當中，#藉由電壓源^而 施加電壓於單面樑U和電極16之間時，則如圖4所示，因產 生於單面樑11和電極16之間之靜電力而使單面樑u係移動 至電極1 6側，伴隨於此而使可動式反射鏡丨3係移動至言穿 位置為止。因此，當停止電壓源25之電壓之施加時，則如 圖4所示，因彈性體22之附加力而使可動部2〇移動至可動式 反射鏡13，並使可動部20的前端係扣止於可動式反射鏡。 的4面之位置保持用笑出構件丨5，且可動式反射鏡丨3係 我保持於貫穿位置。 在該狀態下，自光導波路、而射出之光係貫穿溝部1〇而 射入至光導波路D!，自光導波路Cl而射出之光係貫穿溝部 1 0而射入至光導波路B i。 繼之，將光可變衰減器9之構成予以表示於圖5和圖6。在此 筝之圖當中，平面導波路2係設置有和上述之溝部丨〇相異之溝 部26，並挾住該溝部26而形成交又狀之光導波路a2〜d2。 光可變衰減器9之致動裝置部7係以倒裝片接合法等而定 86472 200424558 位於平面導波路2的上面並施以接合。致動裝置部7係具有 單面支撐於平面導波路2的上面之單面樑27，且在該單面樑 27的前端側部份，係設置有複數個梳狀齒28。 在單面樑2 7之別端邵係固定著將通過光導波路八2之光朝 向光導波路I而反射之可動式反射鏡29。該可動式反射鏡 29係以裝入至平面導波路2的溝部％内之狀態而能移動於 溝部26之長邊方向而構成。又，在溝部％係設置有用以規 制可動式反射鏡2 9的移動量之擂塊3 〇。 此外致動裝置邵7係具有設置於平面導波路2的上面之 電極3丨。在該電極31係設置有插入於單面樑” 28間之複數個梳狀齒32。 ^狀㈤ 又，單面樑27、可動式反射鏡29、以及電極3ι，係和光 開關8之致動裝置邵6相同地，由具有導電性之以而形成。 單面樑27和電極31係中介電壓源33而連接，並藉由該電 壓源33而施加電壓於單面樑27和電極31之間，而^兩:二 間產生靜電力。因此’因該靜電力而使單面樑27的前端: 邵份係被拉引至電極3丨而彎曲，且伴隨於此而使可動式反 射鏡29係以插入於溝部26内乏壯能三^ ’ 内之狀怨而移動至電極31側（參閱 圖7)。 在如此之光可變衰減器9當中’電壓源33之電壓之供應) 非導通之狀態時係如圖5所示’單面樑27係往前照直地 。該狀態下’由於自光導波路八2而射出之光係

射鏡29予以，反射而射入至光導波路&，故光衰減器L 能係能獲得最小之光衰減量。 86472 • 14 - 200424558 在如此之初期狀態下，當藉 面樑η和電極31之間時，因^、人；:原33而她加電壓於單 之靜兩夬 、、 万；單面樑27和電極3 1之間 命电力而使可曹六斗、 1 ，子、兄29係移動至電極3 1側。爷壯 係由於僅自#道、士物λ 丨」 及狀怨 … 路2而射出之光的-部份，為由可重η 反射鏡29予以反 由了動式 入二尖道☆ 尤寸/皮路Β2，且殘留之光係射 土寸；路〇2 ’故其光衰減量係變大。 因此，當更加提升施加於單面樑27和電極31之間的電屙 丄圖7所示，可動式反射鏡29係自光導波路A2、u π王地脫離。該狀態下’由於自光導波路〜而射出之光係 非由可動式反射鏡29而予以反射，而全部射入至光導波路 D2，故其光衰減量係無限大（所謂快門狀態）。 如此之光可變衰減器9係藉由類比性地改變施加於單面 ‘27和電極31之間之電壓，並使可動式反射鏡μ之反射光 的光里改變之措施，而調整光衰減量。此時，在單面樑27 係設置有梳狀齒28，而在電極31係設置有梳狀齒^，且單 面樑27的前端侧部份和電極31係相接近。因此，由於形成 極佳4相對於施加電壓之光衰減量之線形性，故能輕易地 進行光衷減量之控制。 本實施形態之光模組1係分別具有複數個上述之光開關8 和光可變衰減器9。亦即，在平面導波路2係設置有複數個 光開關用之光電路3和複數個光可變衰減器用之光電路4。 此外’在平面導波路2的上面係接合有複數個光開關用之致 動裝置部6和複數個光可變衰減器用之致動裝置部7。而且 ’由複數個光電路3和複數個致動裝置部6而構成光開關陣 86472 -15 - 200424558 列34 =並由稷數個光電路4和複數個致動裝置部7而構成光 可變衰減器陣列35(參閱圖8)。 此處’為了達成光模組丨之小型化和高積體化，而光開關 陣列34又各開關8和光可變衰減器陣列乃之各光可變衰減 态9 ’係以500叫以下之寬幅而配置成陣列狀。 在構成光開關8和光可變衰減器9的一部份之平面導波路 2之兩端面係如圖8所示’保持多芯光纖維捲心線36之光纖 ，·隹义纖維陣列川系？周芯連接，並藉由光纖維而將光取出於 外4此外，+面導波路2、致動裝置構造體5、以及纖維 陣列37，係收容於丨個封裝部“内。致動裝置構造體5之電 極喊子（未圖不）和設置於封裝部38之外部電極端子39,係藉 由導線接合（未圖示）之方式而連接。 返至圖1 ’在如上述而構成之光模組1當中’光開關8為非 導通狀悲時’則輸入至光導波路Αι之光訊號係通過光導波 路Β!、A2 ’並經由光可變衰減器$而衰減，且自光導波路& 而出。知入至光導波路^之光訊號係自光導波路Di而輸 出。另一方面，光開關8為導通狀態時，輸入至光導波路Αι 之光訊號係自光導波路〇1而輸出。輸入至光導波路q之光 訊號係迫過光導波路Βι、Α”並經光可變衰減器9而衰減， 且自光導波路B 2而輸出。 如以上义本實施形態之光模組丨，由於係作成將構成光開 關8的一部份之光程和構成光可變衰減器9的一部份之光程 形成於-個平面導波路2，並予以積體化之構成，故能整批 地製作光開關8和光可變衰減器㊀之光電路，同時能減少光 86472 -16 - 200424558 開關8和光可變衰減器9所 製作光開關和光可變衰減 行光開關和光可變衰減器 維而連接光開關之光路和 在一個平面導波路2當中 減器9之光程 需要之零件。因此，相較於分別 杰之情形，即能輕易且廉價地進 又製作。此外，由於並非以光纖 光可變衰減器之光路，而作成能 連接光開關8之光路和光可變衰 故能減低連接損失，且其光學特性變佳。此 外，在該情形下，由於無需用以整頓光纖維之空間，故能 將光模組作成小型化。 圖9係表示應用上述之光模組丨之光分岐插入裝置 (OADM)< —例之圖示。光分岐插入裝置係具有自波長多重 化之訊號當中將任意波長之訊號施以Add/Dr〇p之功能。 在圖9中’光分岐插入裝置4〇係具有光模組4丨，且該光模 組4 1係具有由複數個光開關42所組成之光開關陣列43、以 及由複數個光可變衰減器44所組成之光可變衰減器陣列45 。各光開關42和各光可變衰減器44係中介導波路46而連接 。各光開關42係中介輸入用導波路47而和分波器48相連接 。該分波為4 8係在每一波長將傳送1條的光纖維4 9之波長相 異之複數個光訊號進行分波。各光可變衰減器44係中介輸 出用導波路50而和合波器5 1相連接。該合波器5 1係將各波 長之光訊號進行合波，並予以引導至1條之光纖維52。在各 輸出用導波路50係設置有光監視器53，其係檢測以光可變 衰減器44而衰減之光的功率。此外，在各光開關42係連接 著Add用導波路54和Drop用導波路55。 光開關陣列43、光可變衰減器陣列45、以及光監視器53 86472 200424558 係和控制器5 6相遠接。兮松细$ c r > 逆佞 S控制咨56係具有供應電壓於各光 開關42之複數個電餍源、乂 见上/席以及供應電壓於各光可變衰減器 4 4之複數個電壓源。奸制哭^ △仏 土愿&制备56係將電壓訊號予以送出至各 光開關42’並進行光導波路46、仏54、55之光程切換。 此外幺制為56係依據光監視器53之檢測值而將電壓訊號 予以送出至各光可t衰減器44,則吏輸出力量能成為期望υ 值。 圖10係表示本發明之光模組之另外的實施形態之概略構 成圖。圖中，和上述之實施形態相同或同等之構件係賦予 相同的符號，並省略其說明。 在圖10當中，本實施形態之光模組60係具有互相並排而 配置之光開關8和光可變衰減器9，且能使此等之光開關8和 光可交展減為9能獨立使用之構成。亦即，在平面導波路2 係並排設置有交叉光導波路Al〜Di和交叉光導波路a2〜d2。 此外，在平面導波路2的上面係接合著致動裝置構造體5之 致動裝置部6、7。 在如此之光模組60當中，光開關8係非導通之狀態時，輸 入至光導波路A!之光訊號係自光導波路b !而輸出，而輸入 至光導波路Ci之光訊號係自光導波路〇1而輸出。另一方面 ，光開關8係導通狀態時，輸入至光導波路a i之光訊號係自 光導波路D!而輸出，而輸入至光導波路C i之光訊號係自光 導波路B i而輸出。此外，輸入至光導波路a2之光訊號係經 光可變衰減器62而衰減，並自光導波路B2而輪出。 圖11係表示本發明之光模組之更另外的實施形態之概略 -18- 86472 200424558 構成圖，圖中，和上述之實施形態相同或同等之構件係賦 予相同的符號，並省略其說明。 在圖11當中，本實施形態之光模組70係具有平面導波路7ι 。在該平面導波路71係設置有由2X 2交叉光導波路A广〜而 形成之光開關用之光電路72、由2 X 2交叉光導波路八广仏而 形成之光開關用之光電路7 3、以及由光導波路而形成之光 搞合器74。光導波路仏和光導波路q係直接連接，且光導 波路Di和光耦合器74係直接連接。在平面導波路71上係接 合著致動裝置部7 5、7 6。該致動裝置部7 5、7 6之構成係和 上述之光開關用之致動裝置部6相同。 此外，由平面導波路71之光電路72和致動裝置部75而構 成2 X 2光開關77，且由平面導波路7 1之光電路73和致動裝置 部76而構成2 X 1光開關78。 在如此之光模組70當中，當光開關77、78均為非導通狀態 時，輸入至光導波路Ai之光訊號係自光導波路1而輸出。輸 入至光導波路A;之光訊號係通過光導波路Bp Ci、D!並中介 光耦合器7 4而輸出。此外，當光開關7 8為非導通狀態，而光 開關7 7為導通狀態時，則輸入至光導波路A!之光訊號係通過 光導波路D!並中介光搞合器7 4而輸出。當光開關7 7為非導通 狀態，而光開關78為導通狀態時，則輸入至光導波路c3之光 訊號係通過光導波路B;、C1、D i，並中介光耦合器74而輸出 。當光開關77、78均為導通狀態時，輸入至光導波路c3之光 訊號係通過光導波路B3、C1、B!而輸出。 如以上之本實施形態之光模組7 〇，由於係將構成光開關 -19- 86472 200424558 7 7 7 8的"卩彳77之光電路和構成光搞合器7 4之光電路予以 %體化於一個又平面導波路7 1，故能整批地製作此等之光 電路。據此，即能輕易且廉價地進行光開關和光耦合器之 製作。 圖12係表不應用上述之光模組7〇之光分岐插入裝置之 例之圖示。 在圖12當中，光分岐插入裝置8〇係具有由複數個光開關“ 所組成之光開關陣列82。各光開關8丨係中介輸入用導波路U 而和分波器（未圖示）相連接，同時中介輸出用導波路Μ而和 合波器（未圖7F)相連接。此外，各光開關81係中介Add用導波 路85而和光開關86相連接，同時中介Dr〇p用導波路87而和光 耦合器88相連接。藉由如此之構成，即能自波長多重化之訊 唬當中，將任意波長之訊號作成Add/Dr〇p狀態。 圖13係表示本發明之光模組之更另外之實施形態之概略 構成圖。目中，和上述之實施形態相同或同等之構件係賦 予相同之符號，並省略其說明。 在圖1 3當中，本實施形態之光模組9〇係具有互相並排配 置之光開關77和光耦合器74，且能使此等之光開關”和光 耦合器：獨立使用之構成。亦即，在平面導波路”係並排 汉置有父叉光導波路Ai〜Di和光耦合器Μ。而且，在平面導 波路71的上面係接合著光開關77之致動裝置部π。 圖1 4係表示應用 圖示。 上述之光模組90之光傳送裝置之一例之 在圖14當中 光傳送裝置91係進行雙方向之光傳送，並 86472 -20- 200424558 具有2組之光模組92A、92B。此等之光模組92A、92B係具 有互相並排而配置之光開關93和光耦合器94。光模組92 A之 光開關93和光模組92B之光耦合器94係中介光纖維95、96而 相連接’而光模組92A之光耦合器94和光模組92B之光開關 93係中介光纖維97、98而相連接。 在如此之光傳送裝置91當中，一般係光模組92A、92B之 光開關93均呈導通狀態。在該狀態下，輸入至光模組92八之 光訊號係通過光纖維95而傳送至光模組92B，且輸入至光模 組9 2 B之光成號係通過光纖維9 7而傳送至光模組9 2 A。另一 方面，在光纖維95、97產生故障等之情形時，光模組92A、 92B之光開關93則均呈非導通狀態。在該狀態下，輸入至光 模組92A之光訊號係通過光纖維96而傳送至光模組92B，且 輸入至光模組92B之光訊號係通過光纖維％而傳送至光模 組 92A。 又，本發明並不限定於上述之實施形態。例如，上述實 施形態雖係由各別之晶片而構成光開關用之致動裝置部和 光可變衰減器用之致動裝置部，但，以i個之相同的晶片而 構成此等之致動裝置部亦可。 此外，上述貫施形態雖係將光可變衰減器作成利用可動 式反射鏡之反射光之反射型’但’亦可作成設置具有狹缝 之光學元件’並藉由改變該光學元件之透過光量而能改變 光衰減量之透過型’以取代可動式反射鏡。採用如此之透 過型之光可變衰減器時，亦可將形成於平面導波路之光導 波路不作成2X2交又料波路，而作成直線導波路。 86472 -21 - ^匕夕卜，卜，、戒 狀態時，雖作二开/怨係光開關和光可變衰減器為非導適 但並非特別限定:Π動式反射鏡而將光進行反射之構成， 通時，亦可万“’在將光開關和光可變衰減器予以導 構成。 A能使可動式反射鏡為移動於光反射位置之

此外，上、十、A 關和光可變=形態雖係藉由靜電致動裝置而驅動光開 磁力而吧動γ K可動式反射鏡，g，亦可使用利用電 力而驅動可動式反射鏡之電磁致動裝置等。 第i "月由於係作成將具有構成光開關的一部份之 面導波二和構成光可變衰減器的-部份之第2光電路之平 和構成光二t具有構成光開關的-部份之第1致動裝置部 g又哀減器的—部份之第2致動裝置部之致動裝 置構造體予以接入 又切衣 古1 接3 <構成，故能以低成本且輕易地製作且 有;^關和光可變衰減器之光模組。 3 、一根據本發明，由於係作成將具有構成光開關的一 路、第1光、兒路和構成光耦合器之第2光電路之平面導波 各以及構成光開關的一部份之致動裝置構造體予以接合 構成故说以低成本且輕易地製作具有光開關和光耦八 咨之光模組。 口 【圖式簡單說明】 圖1係表7F本發明之光模組之一實施形態之概略構成圖 圖2係圖1所示之光開關之平面圖。 圖3係圖1所示之光開關之垂直方向之截面圖。 圖4係表示圖2所示之致動裝置部的動作狀態之平面圖。 86472 -22- 200424558 圖5係表示圖1所示之光可變衰減器之平面圖。 圖6係表圖1所示_^来可變查分^、 下（尤」又哀減态之垂直方向之截面 圖。 圖7係表$圖5所示之致動裝置部的動作狀態之平面圖。 圖8係表示將圖1所示之光開關和光可變衰減器予以收容 於封裝部的狀態之截面圖。 圖9係表示應用圖丨所示之光模組之光分岐插入裝置之一 例之構成圖。 圖1 〇係表示本發明之光模組之另外的實施形態之概略構 成圖。 圖11係表示本發明之光模組之更另外的實施形態之概略 構成圖。 圖1 2係表示應用圖11所示之光模組的光分岐插入裝置之 /例之構成圖。 圖1 3係表示本發明之光模組之更另外的實施形態之概略 構成圖。 圖1 4係表示應用圖1 3所示之光模組之光傳送裝置之一例 之構成圖。 【圖式代表符號說明】 1，4 1，6 0，7 0，光模組 9〇，92Α，92Β 2，7 1 平面導波路 3, 4, 72, 73 光電路 5 致動裝置構造體 86472 -23 - 200424558 6, 7, 75, 76 致動裝置部 8, 42, 77, 78, 光開關 81，86, 92 9, 44, 62 光可變衰減器 10, 26 溝部 11,27 單面樑 12，17, 21， 梳狀齒 24, 28, 32 13, 29 可動式反射鏡 14, 30 擋塊 15 位置保持用突出構件 16, 23, 31 電極 18, 25, 33 電壓源 19 位置保持機構 20 可動部 22 彈性體 34, 82 光開關陣列 35 光可變衰減器陣列 36 多芯光纖維捲心線 37 纖維陣列 38 封裝部 39 外邵電極端子 40, 80 光分岐插入裝置 86472 - 24 - 200424558 43 開關陣列 46 導波路 47, 83 輸入用導 波路 48 分波器 49, 52, 95， 光纖維 96, 97, 98 50, 84 輸出用導 波路 51 合波器 53 光監視器 54, 85 Add用導波路 55, 87 Drop用導 波路 56 控制器 74, 88, 94 光耦合器 91 光傳送裝 置 86472 -25 -

Claims (1)

1. 200424558 拾、申請專利範圍： 1. 一種光模組，其係具有至少1個之光開關和至少1個之光 可變衰減器，其特徵在於具備： 平面導波路’其係具有構成前述光開關的一部份之弟 1光電路和構成前述光可變衰減器的一部份之第2光電 路；以及 致動裝置構造體，其係接合於前述平面導波路，並具 有構成前述光開關的一部份之第1致動裝置部和構成前 述光可變衰減器的一部份之第2致動裝置部。 2 ·如申凊專利範圍第1項之光模組，其中 别述第1光電路係具有光導波路，其係挾著設置於前 述平面導波路的溝邵而形成交叉狀， 别述第1致動裝置邵係設置成能插入於前述溝部内之 狀態，並具有： 可動式反射鏡，其係將通過前述光導波路之光予以 射；以及 驅動手段，其係移動前述可動式反射鏡。 3·如申請專利範圍第1項之光模組，其中 可述第2光電路係具有光導波路，其係挾著設置於前 述平面導波路的溝部而形成交叉狀， 前述第2致動裝置部係設置成能插入於前述溝部内之 狀態，並具有： 可動式反射鏡’其係將通過前述光導波路之光予以反 射；以及 86472 200424558 驅動手段，其係能移動前述可動式反射鏡。 4·如申請專利範圍第2項或第3項之光模組，其中 别述可動式反射森係安裝於單側支撐於前述平面導 波路上之單面樑， 前述驅動手段係具有設置於前述平面導波路上之電 極、以及在前述單面樑和前述電極之間產生靜電力之手 段。 5 ·如申請專利範圍第1〜4項之中之任意一項之光模組，其 中 月’]述光開關和前述光可變衰減器，係分別以5〇〇 μηι以 下之寬幅而配置成複數個陣列狀。 6 . —種光模組’其係具有至少1個光開關和至少1個光耦合 器，其特徵在於具備： 平面導波路’其係具有構成前述光開關的一部份之第 1光電路和構成前述光耦合器之第2光電路；以及 致動裝置構造體，其係接合於前述平面導波路，並構 成别述光開關的一部份。 7_如申請專利範圍第6項之光模組，其中 前述第1光電路係具有光導波路，其係挾住設置於前 述平面導波路的溝部而形成交叉狀， 前述致動裝置構造體係設置成能插入於前述溝部内 之狀態，並具有： 可動式反射鏡，其係將通過前述光導波路之光予以反 射；以及 86472 200424558 驅動手/又，其係移動前逑可動式反射鏡。 8.如:請專利範圍第7项之光模組，其中 、則述可動式反射鏡係安裝於單面支撑於前逑平面導 波路上之單面揉， 前述驅動手段係具有設置於前述平面導波路… 極、以及在前述單面樑和前述電接之間產生靜電力之： 段。 9. -種光分岐插入裝置，其特徵在於·· 具備申請專利範圍第][〜8項之中 甲艾任意一項之光模 組。 1 0 · —種光傳送裝置，其特徵在於： 具備申請專利範圍第6〜8項之中之任意-項之光模組 86472