TW200523751A - Machine control system - Google Patents

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200523751 08 1 63twf.doc/006 九、發明說明： 本申請案係依據美國專利法規35ϋ 於麗年5月6號向美國專利局申:^ =主張 第60/偏，323號的優先權，該專利申請案 係完整結合於本說明書中。 明案所揭路之内容 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於-種主機軟體，且 種可提高製程機台之函式處理效率的—種軟疋有關於一 【先别技術】 一 工作主機可用於例如工廠内之製 由於每-工作主機可能具有多種不同之組態作然而， 及程式語言，且一般的軟體使用者甚或軟;門二ί統以 ，人員需對陌生的機器或操作=軟=軟 導致時間與成本上的浪費。 域之開發， 此外，不相容的主機系統常常可 業環境中。舉例而言，-個加工環境中可能同的作 主機系統以及一較舊的主機系統，如新的 可提高不同主機系統之相容性的方法。 使而要—種 【發明内容】 本發明之實施㈣提出—種新技 統程式的更新。此外’本發明之實施例更可提 之不同主機系統的相容性，以使得原先使料似之一 系統的裝置，可有效率地使用其他的主機系統。例如，2 20〇52375wl.d〇c/006 用第一作業系統（如公司之OS/2⑧）之一第一主機， 以及使用第二作業系統（如微軟公司Microsoft之 Windows® NT⑧）之一第二主機。本發明之實施例具有一 種轉換模組，其可讓在⑧OS/2®操作系統下執行的應 用程式’對微軟公司之組件客體模式（Component Object Model，以下簡稱COM+)格式的槽案進行存取。 本發明之一實施例包括一路由模組（Routing Module)，其係可自一具有COM+格式之函式（Function) 的模組轉出及轉入資料。舉例而言，此路由模組係使用分 別稱為 TAPCOM、COMTAP、TAPCOMTAP 以及 COMTAPCOM的四個可選擇（Selectable )的程序路由 (Processing Route)。其中，TAPC〇M程序路由係對應 於由TAP模組至COM+模組之走向的資料流，而c〇MTAp 私序路由係對應於由COM+模組至TAP模組之走向的資 料流。此外，TAPCOMTAP程序路由係對應於由TAp模 組至COM+模組，並且再回到TAp模組之走向的資料流，、 而COMTAPCOM程序路由係對應於由c〇M+模組至TAp 模組，並且再回到C0M+模組之走向的資料流。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更 明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖 細說明如下： τ 【實施方式】 ，動化技術係普遍應用於例如工廢等製造環境，其 中大篁應⑽H進行生產製程之製造環境，其製程步驟之 2〇〇52375id 自動化更為常見，例如半導體製造之代工廠（Foundry) 即為一咼自動化之製造環境。此外，除文中所述之半導體 製造、以及IBM® OS/2⑧與Microsoft⑧Windows®操作系 統之外，本發明之技藝基於其原理以及優點，更可應用於 例如汽車製造、食品加工、藥物製造等其他類型的自動化 製造環境，以及其他的操作系統。 圖1繪示為一製造環境之主機系統的例子。半導體 製造代工廠以及其他較複雜的製造環境，通常具有較多相 互作用的主機系統。舉例而言，代工廠内的主機整合製造 (Computer Integrated Manufacturing，CIM)系統 100 通常 包括不同的系統，例如一製造執行系統（Manufacturing

Execution System，MES )102、企業資源規劃管理（Enterprise

Resource Planning, ERP)系統 104、排程軟體（Scheduling

Software )、工程系統（Engineering System )以及良率監 測系統（YieldMonitoring System)等。 製造執行系統（Manufacturing Execution System， MES) 102係控制最上級之產品製程，而此製造執行系統 102例如可為目前業界所使用之IBM公司的SiView標準 版。一般而言，一個代工廠所具有的製造執行系統並不多， 例如一個代工廠僅藉由一個製造執行系統運作。在一實施 例中，製ie執行糸統1〇2係相當於控制整個代工廠之製造 系統的一中央主機系統。當然，在合理的範圍内，製造執 行系統102村被分散，亦即藉由多個製造執行系統ι〇2 來控制一個代工廠。 200523751 08163twf.doc/006 製造執行系統102可耦接至一或多個機台控制系統 (Machine Control System，MCS )，而一個機台控制系統 110可耦接至一或多個製造裝置112，其中關於機台控制 系統110之詳細構造將配合後述之圖2進行說明。此外， 企業資源規劃管理系統104可整合例如企劃（planning)、 銷售（Sale)、存貨管理（inventory c〇ntr〇1)以及訂單追 蹤（Order tracking )等商業活動。 [機台控制系統110] 圖2係繪示本發明之較佳實施例的一種機台控制系 統110，而一製造環境中可能具有較多之機台控制系統。 在本實施例中’機台控制系統110係對應於一本區主機系 統’其係與製造執行系統102通訊（Communicate)，並 控制所對應之製造裝置112的運作。然而，由於機台控制 系統110可能被設定在習用之操作系統之下運作，例如 IBM⑧OS/2®，因此便可能發生經驗較為不足之軟體開 人員對此操作系統不熟悉的問題。 # x 請參考圖2，機台控制系、统110細接至製 統102、-或多個製造裝置112、-遠端資料庫模組(Rem〇;e Database Module ) 202、一資料庫顯示裴置（如沾咖 Display Device) 204以及其他適用的製造執行系統 當然’機台控制系統110以及繪示於圖1 盆 可與較圖2所示更多或較圖2所示為少的系統相更 圖2所It示之機#控·統UG包括—卫具 統（Tool Control System, TCS ) 210，—钱 ％ » 牙、 口貝核組（Access 200523751 08 1 63twf.d〇c/〇〇6

Module ) 212、一轉換模組（Transfer Module ) 214、— COM+ 模組216以及一本區資料庫模組（L〇calDatabaseModule) ’熟習此項技藝者當可得知，其可改變產品製程以生 產新的元件’並可改善良率、加速生產速度以及容許裝置 之變動等等。由於本發明之實施例包括機台控制系統，因 此有助於以較為快速且較有效率之方式進行修改與/或更 新0 工具控制系統210係對應於機台控制系統11〇所使 用之應用程式，以與製造執行系統102通訊 /^ommumcate)。因此，工具控制系統21〇可讓製造執 行系統102與耦接於機台控制系統11〇之製造裝置112通 Λ在實把例中，工具控制系統210係於Microsoft® Windows⑧以外之其他運作系統（如见“⑧〇s/2⑧）之下 運作。 [讀取模組212] ^讀取模組212包括一或多個TAP模組220,其中ΤΑρ 模組220係相當於工具控制系統21()所使用之^解釋器

Ume聊ter)，並對製造裝置112所提供之原始程式碼 (Source C〇de)進行解譯。在一實施例中，每一 置112係對應有一 TAp模組22〇。舉例而言，^心 可對應於IBM公司之TTc〇RTAPDLL槽案其係對庫 =動態連結程式庫檔案。此動態連結程式騎案可透^ 的=動=結iDLL槽，以提供函式及/或資料至其他 的應用’例如工具控制系統21〇。因此，ΤΑρ模組咖 10 2〇〇523?ad〇c/〇〇6 可設定、控制以及監測製造裳置112 中安TAP模組22。係、相當於延 父例 檔案。多種製造裝置112係可輕接至Tp f且：、 下係為可與文中所述之半導τ ^ A 棂、、且220，以 接之製造裝置的幾個例模組2、 送晶圓之機器人手臂、自動搬運或傳 需__二:；== 案之曝糾深紫外光機台、_用於所需圖荦2 描機台、用以植入離子之摻雜植入機台、用純氧 化之爐官、用錄騎料之_設備以及其他裝置等:乳 修改】台= 统係藉由TAP模組進行程式碼的 例中，tap模組細係相當於 =由項取核組212進行解譯之原始程式碼的模組。在另一 。，例中，TAP模組可包括已進行編譯（c卿之 ^式碼。TAP模組在設計上可能比藉由c〇M或c〇m+設 二難因此其軟體開發之效率相對較低。在習用的系統中， 當TAP模組有所改變時，習用的機台控制系統便處於無 去運作（Inoperative)的狀態。如此一來，不僅使得軟體 之開發成本昂貴，更使得整個機台控制系統無法使用於例 =碼⑹ing)、測試（Testing)以及除錯（Debugg^ 等需要延長時間週期之動作。 本發明之實施例讓TAP模組220之程式碼較為簡單， 因此有助於簡化軟體之開發，並可縮短機台控制系統11〇 之停機時間（Downtime)。TAP模組220之較為簡單的 200523751 08 1 63twf.d〇c/006 程式碼係參照（Reference )C〇M+模組216之功能程式碼。 舉例而言，在一實施例中，修正後之TAp模組223内的 原始程式碼係藉由增加一或多行具有關鍵字之程式碼， 如“funCTION，，，以進行修改。當讀取模組犯在程式石馬 内讀到此關鍵字時，便由轉換模組進行指令或參數之執 行，以進行進一步之程序。在上述之本發明的實施例中， 轉換模組212包括一前轉換模組222以及一路由模組 224，下文將有更詳細之描述。當讀取模組212讀到Tip 模組220之程式碼與/或參數内的關鍵字之指定，係由 COM+模組216進行進一步之步驟時，讀取模組212便連 結至轉換模組214 (經由前轉換模組222以及路由模組 224)，並與C0M+模組216連結。在一實施例中，由於 用以加入關鍵字及相關參數至合適的Tap模組220，以 及重新啟動機台控制系統110之總時間較短，因此有助於 縮短機台控制系統110的停機時間。有關於讀取模組 之使用上的例子，將於後述之圖3的相關敘述中詳細說 明。 [轉換模組214] 轉換模組214包括函式與/或資料，其係可由嵌入 (embeded )於TAP模組220之原始程式碼内的諸如函式 呼叫指令（function call)等進行讀取。在一習用的機台 控制糸統中’白用的轉換模組可相當於一 TTUrtap DLL 檔案。在本發明的實施例中，轉換模組214包括前轉換模 組222以及路由模組224，此兩者將於下文中詳細描述。 200523751 08 1 63 twf.doc/〇〇6 下面的例子係描述可被寫入TAP模組22〇之原始程 式碼内的一些類型之函式。舉例而言，TAp模組可 用以與基本運作系統（Underlying Operating System)通 訊。TAP模阻220更可用以透過工具控制系統21〇，而與 製造執行系統102通訊，以接受指令並提供狀態。TAp 模組220可用以控制並接收製造裝置112之狀態。τΑρ 模組220亦可用以執行計算動作，其中這些計算動作可被 編寫（Coded)至TAP模組中或C0M+模組216中，並可 參照自TAP模組220。TAP模阻220亦可用以供其他主 機系統（例如其他的製造執行系統2〇6)執行計篝 [C0M+模組 216] 在一實施例中，軟體開發人員可於機台控制系統11〇 仍在運作時，對C0M+模組内的適當檔案建立或修改原 始程式碼，因此有助於縮短機台控制系統11〇之停機時 間。在完成原始程式碼之修改之後，軟體開發人員可停止 機台控制系統110之運作，修改TAP模組至符合適當的 參照’例如一個“FUNCTION”呼叫參照以及相關參數（或 拷貝一離線修改的原始程式碼檔案至TAp模組），並重 新啟動機台控制系統11〇或讀取模組212來載入組態重置 (Reconfigured)之 TAP 模組。 在本發明之實施例中，COM+模組216可處理微軟公 司之COM或COM+格式的程式碼。組件客體模式係定義 客體以及客體間通訊的二位元標準。c〇M+模組216可包 括DLL檔案、執行檔以及上述二者之組合。此標準化動 f.d〇c/〇〇6 200523751 63 twf 軟體開發人員利用相對較多的時間實際編寫有作 私式碼，而利用較少的時間撰 ^ 之程式碼、移動資料之程式二 以:及其他程式碼等。此外’例如c〇m或c〇M: =用二之程式工具』 工具與/或軟義如包括W Ba祕、 於=執行1舰⑧〇S/2⑧之主機系統並不適用 ' 或COM+格式的處理程式碼。因此， ιιτ^\^ (Native ) „ ^ ^ ^ f，J ^ ^ ^ ^ ^ ^ 中，寫下#^ _贈⑧操作錢之程式碼） 寫下對於知式碼之修改或更新 =之機台控制系統之運作，軟體開發人員^ SI取模組212執行之原始程式碼。對讀取

Si::: 220或轉換模組-可能包含以丄 之軟體開發I員式碼’因而對於經驗不足 生。 在权式撰寫上較為困難也較為陌 本么月之實知例有助於讓軟 5 com ^ ^ 甚或备用之刪⑧os/2⑧的操作系統。此有助於讓機台控 14 200523751doc/006 ί :====!=新。舉例而 _模組加來執行。雖然這些;執:的 所對應的原始程式瑪亦可在機台控制系統或f COM+模組216内之可執行之程式碼的配^旦 修改之程式碼配置於機台控制系統丨i Q = ^丁 分。舉例而言，COM+模組216 易於5貝取的部 機#制系¥ If、、士 執行的程式碼利於在 機口控制糸、、充〇運作時進行修改。額外的函式亦可在 COM+模組216中執行，而TA 2 = 叫指令’以有效縮短機台控制系統11〇的停機時; 實施例中，COM’組216更選擇 : 系統施通訊，以糾檔案與連結。此動作可讓^〇執= 模組與例如其他代工廠共用與/或傳輸原 且216之詳細内容，將於後述之圖5A及5ΓΪ 模218可用以儲存資料，例如_ 。本區貧料庫模組218亦可_至遠端資料庫 _番篇 Γ f 儲存’並可接至資料庫顯示 進之檢查。資料庫顯示裝置綱係相 二於電腦螢幕、印表機、製圖機、揚聲器等裝置。值得- 提機械控制系統110更可輕接至資料輸入裝置，例 如鍵盤、滑鼠、移動式驅動器等裝置。 [月’J轉換核組222以及路由模組224] 200523751 08 1 63twf.doc/006 在本發明所述之實施例中，轉換模組214包括一前 轉換模組222以及一路由模、组224。在一實施例中，前轉 換模組222包括習用之轉換模組的功能，並且係一 dll 檔案。此外，前轉換模組222更包括藉由路由模组檢 復（Retrieve)額外函式與/或資料的功能。此有助於讓未 在前轉換模組222展示（Present)之函式透過前轉換模組 222進行檢復，因而可讓TAp模組讀取更多函式。在一 實施例中，前轉換模組222係使用同樣的關鍵字，例如τΑρ 模組所使用之“FUNCTION”，以讀取額外的函式。 路由模組224係對儲存有函式以及資料之c〇M+模 ，216所輸入或輸出的函式與/或資料進行轉換。c〇]v^ 模、、且216利於在Microsoft⑧Windows®的環境下使用。路 由拉組224係定義來自c〇M+模組之函式與/或資料的程 序路由（Processing Route)。在一實施例中，路由模組224 使用四個程序路由，在此分別稱作TAPCOM、COMTAP、 TAPCOMTAP以及C〇MTApc〇M。在另一實施例中路 由模，224係使用少於四個的程序路由，例如—個、兩個、 -個等選自上述族群的程序路由。在一實施例中，路由模 組224亦可為DLL檔案，並可於IBM® OS/2®之環境中 執订。此類型的路由模組可藉由以TAP模組220之函式 呼1的參數進行命名的程序路由來辨別。舉例而言， 勹函式呼叫指令可包括一關鍵字，例如“FUNCTION”，並 包括Ί程序路由，例如TAPC0MTAP，也包括所需函式 的名稱或其他例如槽案名稱、資料位置、資料大小等相關 200523751 08 1 63 twf.doc/006 資訊。 /APCOM程序路由係對應於由TAp模組細執行程 ，呼叫才曰令之後’經由前轉換模組222以及路由模组以， 而到達COM+模組216的資料流。TApc〇M程序路由利 22G進行函式呼叫，以決定進行例如儲 存/貝枓至本區資料庫模組叫或遠端資料庫模組2〇2，與 /或在資料庫顯示裝置2G4上展示資料等動作。本區資料 庫模組218或遠端資料庫模组逝所儲存之資料可在之

收回以進行分析。TAPC0M程序路由之過程係於圖4A 及其相關敛述中詳細說明。 * COMTAP程序路由係對應於由c〇M+模組到達 模組220,以執行程式呼叫指令的資料流。在一實施例中， COMTAP程序路由之資料流係為命令TAp模組22〇停止 製造裝置112之指令。舉例而言，c〇M+模組216可計算 了個程序何時停止，而C0MTAP程序路由係提供一路徑， 以使TAP模組220接收COM+模組216所發出之程序何 =停止的指令。在一實施例中，當TAp模組22〇在等待 資料由COM+模組216回送時，tap模組22〇可暫停指 令的程序。TAPCOM程序路由之過程係於圖4B及其相= 敘述中詳細說明。 ^ TAPCOMTAP程序路由係對應於由ΤΑρ模組22〇到 達COM+模組216，再回到TAP模組220執行程式呼叫 指令的資料流。舉例來說，TAPCOMTAP程序路由可傳 送資料至COM+模組216中，以使COM+模組216對資 20052¾¾ 1 63twf.doc/006 料進行一些分析計算，再將結果回傳至TAp模組22〇。 TAPCOMTAP程序路由之過程係於圖扣及其相關敛述中 詳細說明。 COMTAPCOM程序路由係對應於由c〇M+模組216 到達TAP模組220，再回到C0M+模組216的資料流。 COMTAPCOM程序路由可用以達到與c〇MTAp程序路 由相同之目的。此外，COMTAPC〇M程序路由可讓資料 回到COM+模組，因此TAP模組22〇所收集之程序資料 可被儲存在本區資料庫模組218或遠端資料庫模組2〇2 ⑩ 内，與/或可被展示於資料庫顯示裳置204中。 COMTAPCOM程序路由之過程係於圖4D及其相關敘述 中詳細說明。 [使用讀取模組212] 圖3係繪不本文之讀取模組212應用於步進機 (Stepper) —例之程序的流程圖。在一實施例中，讀取 模組212之程序係由TAP模組220之對應於步進機的原 始程式碼所明確指定，且原始程式碼係由讀取模組212内 之一解譯器進行解譯。在另一實施中，TAP模組220包 括以完成編譯（Compiled)之程式碼。值得一提的是，上 述之原理亦可應用於其他類型之製造裝置U2。在不脫離 本發明的精神範圍内’熟習此技藝者當能以多種不同的方 式對上述之程序進行修飾。舉例而言，在另—實施例中， 上述之程序的不同部分可相互結合、相互交替排序、或被 移除等。此程序係由第一狀態310開始，其中步進機係進 18 200523751 08 1 63 twf.d〇c/〇〇6 ::化的動作。接著，程序由第一狀態進入第二狀 牛推ίίΓ狀態320中，程序係與步進機通訊，以得到 訊，例如步進機之識別符碼（id_fc)、 狀能等等、步進機可能使用之罩幕（Mask)的 =棒接者，程序由第二狀態32。進入第一決策方塊 機之ΐί:決策方塊顶巾，程序係決定是錢新步進 機之攻疋值。程序可與工具控制系統21()通訊，以 否使用新奴值。料f使騎設 則，程序係由第一決策方塊33〇進入第一二否 以計算新的設定值。 私决朿方塊340, ，料係蚊在本區或遠端進彳 ^ = ^ 例中，程序係藉由尋找原始程式 馬中的關鍵子（例如“ FUNCTI〇N，，）來做決 於本區執行，例如當TAp模組22〇的 : mn甘J 第一決朿方塊340進入到第 二狀怨350 ’其中係由讀取模組212進行上述之計曾。此 端執行時，程序係由第二決策方塊340 進入到第四狀態360 在第四狀態360中’程序係轉換對應之參數至轉換 對設定值進行遠端運算。轉換模組214係 依原始私式碼來決定執行運算，或依序傳 由模組224以及C0M+模組216中。接著、程序由第四 19 200523 75wlfd〇c/〇〇6 狀態360進入第五狀態370。 在第五狀態370中，程序係接收由轉換模組214 透過轉換模組214而由C0M+模組216傳送而來的新二 定值，並由第五狀態370進入第六狀態38〇。 认 在第六狀態380中，程序係傳遞新的設定值至步進 機。其中，新的設定值可透過第三狀態35〇進行本區運$， 或透過第四狀態360進行遠端運算而得。接著，結束程^， 並可視需求再反覆操作。 [使用路由模組224] 圖4A係繪示選擇一 TAPC〇M程序路由之路由模組 224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神範圍 内，熟習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程序進 行修飾。此程序係由第一狀態4〇2開始。在第一狀態4〇2 中，路由模組224係連結至COM+模組216,以使用c〇M+ 模組216之資源。接著，程序由第一狀態4〇2進入 態 404。 — 、，在第二狀態404中，程序係轉換讀取模組212之資 料與/或指令至C0M+模組216中。當資訊轉換完成後，、 程序便移除與COM+模組216的連結。值得一提的是， 此私序亦可因應TAPCOM程序路由之呼叫而重複執行。

圖4B係繪示選擇一 C0MTAP程序路由之路由模組 224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神範園 内，熟習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程序進 行修飾。此程序例如可藉由一機台控制系統11〇之使用I 20 200523751 1 63twf.doc/006 進仃初始化。此程序係由第一狀態412開始，其中程序係 連結至讀取模組212。接著，程序由第一狀態412進入第 二狀態414。 在第二狀態414中，程序轉換c〇M+模組216之資 料與/或指令至讀取模組212中。此程序可藉由例如提供 一可將資料定位之資料，例如檔案名稱（Filename)、記 ，位址（Memory Address)與數元範圍（Byte Range)、 貧料庫記錄識別符碼（Database Record Identifier)等，來 增加資料轉換的速度。當資料之轉換結束後，程序便可移 籲 除與讀取模組212之連結。 圖4C係繪示選擇一 TAPCOMTAP程序路由之路由 模組224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神 範圍内，熟習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程 序進行修飾。此程序係由一第一狀態422開始。在第一狀 態422中，路由模組224係連結至c〇m+模組216，以使 用COM+模組216之資源。接著，程序由第一狀態422 進入第二狀態424。 在第二狀態424中，程序轉換讀取模組212之資料 _ 與/或指令至COM+模組216中。當資料之轉換結束後， 程序便可移除在第一狀態422中與C0M+模組216所形 成之連結。接著，程序係由第二狀態424進入第三狀^ 426。在一實施例中，程序從第二狀態424至第三狀態426 時需等候一過渡期，直到C0M+模組216完成提供所需 資料的準備。舉例而言，TAPCOMTAP程序路由可用以 21 200523751 〇8 1《3 twf.doc/0〇6 3製f裝置112傳送資料至COM+模組216中，以對資 ^^’並回收分析後的資料^序可等候直到0— f 準備好輸出分析後之資料為止。值得-提的是， ί Ϊ與^由多種方式判斷，例如自CO胳模組216 收-斷訊號、徵詢（P〇lling ) 一狀態旗諸（s咖 ） 等。 在第三狀態426甲，程序係連結至讀取模組2〗2，以

回傳相關#料。接著，程序由第三狀態426進入第四狀態 428 〇 j第四狀態428中，程序由c〇M+模組216轉換資 料至4取模組212。此程序可藉由例如提供一可將資料定 位之資料，例如檔案名稱（Filename )、記憶位址（Mem〇iy

Address)與數元範圍（ByteRange)、資料庫記錄識別符 碼（Database RecordIdentifler)等，來增加資料轉換的速 度。當資料之轉換結束後，程序便可移除與讀取模組212 之連結。 '

圖4D係緣不選擇一 COMTAPCOM程序路由之路由 模組224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神 範圍内，熟習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程 序進行修飾。此程序例如可藉由一機台控制系統11〇之使 用者進行初始化。此程序係由第一狀態432開始，其中程 序係連結至讀取模組212。接著，程序由第一狀態432進 入第一狀態434。 在第二狀態434中，程序轉換COM+模組216之資 22 2〇〇523751d〇c/〇〇6 料與/或指令至讀取模組212中。當資料之轉換結束後， 程序便可移除與讀取模組212之連結。在一實施例中，程 序從第二狀態434至第三狀態436時需等候一過渡期，直 到COM+模組216完成提供所需資料的準備。舉例而言， COMTAPCQM程序路由可用以從製造|置112傳送一命 々至COM+模組216巾’例如一停止程序的命令。此外， COMTAPCOM程序路由可用以接收製造裝置112回傳之 狀心例如特疋之程序是否成功執行之指示。程序可能需 等候’直到讀取模、组212輸出一指令，表示已在進入第三 狀態436之前完成第二狀態434之相關任務為止。值得一 提的是，資料就緒與否可由多種方式判斷，例如自讀取模 組216接收一中斷訊號、徵詢（p〇lling)一狀態旗誌（s^tus Flag)等。 在第三狀態436中，路由模組224係連結至c〇M+ 模組216，以回傳資料至c〇M+模組216。接著，程序由 第三狀態436進入第四狀態438。 在第四狀態438中，程序由讀取模組212轉換資料 至COM+模組216。當資料之轉換結束後，程序移 與COM+模組之連結。 移除 [使用COM+模組] 圖5A係繪示選擇一 TApc〇M程序路由戋 TAPCOMTAP程序路由之c〇M+模組216所進行之取^ 操作的流程圖。舉例而言，讀取模組212所解譯之一指人 可取決進行TAPCOM或TAPCOMTAP程序路由。在^ 23 8 1 63twf.d〇c/〇〇6 200523751 圍内，熟習此技藝者當能以多種不同 進行修部。舉例而言，在另-實施例 ϋ狡 序同部分可相互結合、相互交替排序、 或被移除等。此程序由第—狀態·開始。 之於510巾，程序係接收來自讀取模組212 ::”或貧料。值得-提的是，上述之指令盥/¾資料 資料’例如常駐於本區資料賴組= 退知貝料庫阻202之資μ 4立# 士 進入第二狀態520 4。接者，程序係由第一狀態510 隹弟 〜、 中，程序係執行由指令、所提供之 ^料等所指定之任務，复可Ab勺 b 八 ^ X 月匕包括靜恶分析等。當任務準 備凡成後:程序便由第二狀態別進人第三狀態53〇。 在第一狀恶530巾’程序依照指示配置資料。舉例 來說，若程序路由係由指令指定為—ΤΑρα)Μ路徑，則 =可儲雜算結果至本區㈣賴組2 ^搬中，並在資料庫顯示裝置綱中展示計算結果 1 寺。在另一例子中，程序路由係由指令指定為一 ^apcomtap路徑’難序可透過路由模組224回 算結果至讀取模組212中。 圖5B係繪示選擇一 c〇MTAp程序路由 COMTAPCOM程序路由之C0M+模组216所進行之取樣 操作的流程圖。在不脫離本發明的精神範圍内，熟習此技 藝者當能以多種不_方式對上述之程序進行修飾^例 而言’在另-實施射，上述之程序的不同部分可相互社 200523751 08 1 63 twf.doc/006 合、相互交替排序、或被移除等。此程序由第一狀態540 開始。 在第一狀態540中，程序係接收來自機台控制系統工1〇 =使=者的命令（command )或指示（Instmcti〇n )。值 得一，的是，上述之使用者並非限定為人員。命令係可取 自一資料輸入裝置，例如滑鼠或鍵盤，或可取自另一主機 系統。接著、，程序係由第一狀態54〇進入一決策方塊55〇。 在決策方塊550中，程序係決定程序路由選擇為 COMTAP程序路由或c〇MTApc〇M程序路由。當程序 路由為03MTAP型態時，程序係由決策方塊55〇進入一 第二狀態560。否則，程序則由決策方塊55〇進入一第三 狀態570。 、在第二狀態560中，程序轉換使用者選擇之資料與/ 或指令至讀取模組212内。舉例而言，上述之資料例如可 為一使製造裝置112停機之命令。接著，程序結束。 在第三狀態570中，程序亦會轉換使用者自c〇M+ 模組216所選擇之資料與/或指令至讀取模組212内。接 著，在由第三狀態570進入第四狀態58〇之前，程序便會 4待直到讀取模組212完成要求之動作。 在第四狀態580中，程序接收來自讀取模組212之 特定資訊，其例如可對應所選擇的命令是否由製造裝置 112成功執行。接著，程序結束，並可視需求再反覆操作。 雖然本發明已以佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 200523751 08 1 63twf.doc/〇〇6 和辄圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明 範圍當視_之申請專·圍所界定者鱗。 … 【圖式簡單說明】 圖1繪不為應用於製造環境之一主機系統的例子。 圖2繪不為本發明之較佳實施例的一種機台控制 、统。 ’、 圖3繪示為本文之讀取模組應用於步進機一例之 序的流程圖。 圖4A繪示為選擇一 TAPC〇M程序路由之路由模組 ❿ 所進行之程序的流程圖。 一 圖4B繪示為選擇一 C0MTAP程序路由之路由模組 所進行之程序的流程圖。 〜 圖4C繪示為選擇一 TAPC0MTAP程序路由之路由 模組所進行之程序的流程圖。 圖4D繪示為選擇一 COMTAPCOM程序路由之路由 模組所進行之程序的流程圖。 圖5A繪示為選擇一 TAPC0M程序路由或 TAPCOMTAP程序路由之C0M+模組所進行之取樣操作 ® 的流程圖。 μ 圖5Β繪示為選擇一 C0MTAP程序路由或 COMTAPCOM程序路由之COM+模組所進行之取樣操作 的流程圖。 μ 【主要元件符號說明】 100 :主機整合製造系統 26 200523751 0 8 1 6 3 twf. do c/0 0 6 102 製造執行系統 104 企業資源規劃管理系統 110 機台控制系統 112 裝置 202 遠端資料庫模組 204 資料庫顯示裝置 206 其他製造執行系統 210 工具控制系統 212 讀取模組 214 轉換模組 216 C0M+模組 218 本區資料庫模組 220 TAP模組 222 前轉換模組 224 路由模組 步驟310 :初始化 步驟320 :與步進機通訊 步驟330 :是否更新設定 步驟340 :是否使用轉換模組 步驟350 ··在本區計算新設定 步驟360 ··在遠端計算新設定 步驟370 :接收新設定 步驟380 ··傳送新設定至步進機 步驟402 :連結COM+模組 27 08 1 63twf.doc/006 200523751 步驟404 :轉換資料與/或指令 步驟412 :連結至讀取模組 步驟414 :轉換資料與/或指令 步驟422 :連結至COM+模組 步驟424 :轉換資料與/或指令 步驟426 :連結至讀取模組 步驟428 :轉換資料 步驟432 :連結至讀取模組 步驟434 :轉換資料與/或指令 ® 步驟436 :連結至COM+模組 步驟438 :轉換資料 步驟510 :接收指令與/或資料 步驟520 :執行要求之運算 步驟530 :依照指示配置資料 步驟540 :由使用者接收命令 步驟550 :決定路徑之類型 步驟560 :轉換資料與/或指令至讀取模組 _ 步驟570 :轉換資料與/或指令至讀取模組 步驟580:自讀取模組接收資訊 28

Claims (1)

1. 200523751 十、申請專利範圍： L一種機台控制系統，包括： 工具控制系統，用以與耦接至該機台控制系統 一製造執行系統通訊，以接收製造執行系統之一指二、、、，、 提供機台控制系統之狀態； 7 並 一讀取模組，用以與該工具控制系統以及至少— 造裝置通訊，其中讀取模組包括一解譯器，用以對一 i 式碼係適於控制該製造裝置； 一轉換模組，係與該讀取模組通訊，其中壹諸

   几心々;处狂LUlVl+格式之原始程式碼。

   I '4 |；7^彳否· 一前轉換模組， 模組之原始喊碼騎解譯，且該TAP馳之該原3

   用以控制該讀取模組與該 COM+模組 該指令傳送至該C〇M+模組；以及 一路由模組，用以控制該讀 間之資訊的通路。 機台控制系統，其中 4.如申請專利範圍第3項所述之 29 200523751 08 1 63twf.doc/006 該讀取模組、該前轉換模組以及該路由模組包括祖播 案’而COM+模組包括C0M+格式之播案。 ;5.如申專職圍第〗項所述之機台控制系統，其中 5亥TAP拉叙之原始程式碼包括可由該讀取模組解譯與執 行之指令，並包括呼叫輯取·之外部函式的指令。 6.如申請專利範圍第j項所述之機台控制系統，立中 該轉換模組係至少與選自 tapcomtap以及〇)MTAPC〇m四個程序路由的至少 其中之一相呼應（ResPGnsive)，該TAPCOM程序路由 係對應於由該TAP触至該〇)驗模組之走向的資料 流，而該COMTAP程序路由係對應於由該c〇M+模組至 該TAP模組之走向的資料流，該TApc〇MTAp程序路由 係對應於㈣TAP额至該CQM+Hji且再回到該 TAP模組之走向的資料流，而該c〇Mtapc〇m程序路^ 係對應於由該COM+模組至該TAP模組，並且 COM+模組之走向的資料流。 7.如申請專利範圍第6項所述之機台控制系統，其 該轉換模組更用以等待該TAPC0MTAP程序路由處ς一 指令，當提供該COM+模組資訊時，便開始等待的動作了 而在COM+模組準備好提供資料之後，便結束等待的動 8.如申請專利範圍第6項所述之機台控制系統，其 該轉換模組更用以等待該COMTAPCOM程序路由處^里一 指令，當提供該TAP模組資訊時，便開始等待的動作— 30 200523751 08 1 63twf.doc/0〇6 而在TAP模組準備好提供要求的資料之後，便結束等待 的動作。 9·一種控制製造裝置的方法，包括·· 與一製造執行系統通訊，而決定是否使用新設定； 自該製造執行系統接收關於新設定之一第一組參 數； 依據一第一組指令，而控制一製造裝置； 在該第一組指令内擷取關於新設定之一指令； 連結至一 COM+模組，以轉換該第一組參數至該 COM+模組；以及 卜等待直到該COM+模組完成對一第二組參數之運 算，其中忒第二組參數係由該第一組參數計算而得，並可 直接為該製造裝置所用。 10·如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該製造 裝置包括半導體製造裝置。 11·如申請專利範圍第9項所述之方法，更包括執行 該COM+模組内的程式碼，其係以c〇M+格式所寫成。 12·如申請專利範圍第u項所述之方法，其中該製造 虞置係由一第一操作系統控制，而於該c〇M+模組内執 行之程式碼係由不同於該第—操作系統之—第二操 所產生。 、％ ^ U·如申請專利範圍第12項所述之方法，其中該第一 操作系統係IBM® 〇獅，而該第二操作系 Microsoft⑧ Windows⑧。 糸 200523751 08 1 63twf.doc/〇〇6 • 14·如申請專利範圍第13項所述之方法，更包括使用 Visual Basic®、java以及C++至少其中之一所產生之可執 行的程式碼，以作為該第二操作系統之該COM+模組所 執行的程式碼。 b·如申請專利範圍第9項所述之方法，其中控制該 製造裝置係指對原始程式碼進行解譯。 16.—種控制一主機指令之程序路徑的方法，包括： 接收來自一 TAP模組之一指令，其係指定一讀取模 組遠端之一函式的執行，其中該TAP模組係於該讀取模 組内執行，且該TAP模組係控制一製造裝置之程序；、 檢閱該指令，以找出一對應參數，其係指定該遠端 所執行之一程序路徑； 連結至具有該函式之執行程式碼的該C〇m+模組， 且當該參數指定由該TAP模組至該C0M+模組之一程序 路徑時，提供該C0M+模組所對應之資訊；以及 連結至具有該函式之執行程式碼的該c〇M+模組， 提供該COM+模組所對應之資訊，等待該c〇M+模組完 成該函式的計算，當該COM+模組準備好提供資料時， 連結至用以執行來自該TAP模組之程式碼的該讀取模 、、且^該參數指疋由5亥TAP模組流出之一程序路徑時， 提供運算的結果，繼續進行至該C〇m+模組，並回到該TAp 模組。 17·如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該 COM+模組所對應之資訊包括資料與指令。 32 200523751 08 1 63twf.doc/〇〇6 18:如申請專利範圍第16項所述之方法，更包括： 自遠COM+模組接收一指令，以作為將於該TAp模 組内執行之一函式所用；以及 連結至該讀取模組，並提供該讀取模組對應之資訊， 以在該參數指定由該CQM+歡至該TAP模組之一程序 參數時，可為TAP模組所用。 19·如申請專利範圍第16項所述之方法，更包括： 自該COM+模組接收一指令，以作為將於該 TAP模 組内執行之-函式所用，其中該指令更指㈣τΑρ模組 # 回送一第二資訊；以及 連結至邊項取模組，並提供該讀取模組一第一資訊， 以使該TAP模組可使用該第一資訊，等待該TAp模組準 備好提供該第二資訊，自該讀取模組接收該第二資訊，當 該參數指定自該COM+模組流至該TAP模組，再回到二 COM+模組之一程序路徑時，提供該第二資訊至該c〇M^ 模組。 ^ 2〇·如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該TAp ^ 模組係對應至原始程式碼，且該讀取模組藉由對該ΤΑρ 模組之原始程式碼進行解譯，以執行該原始程式碼。 21·如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該製造 裝置包括半導體製造裝置。 人、 22·—種具有主機-可執行指令之主機—可讀式媒體 (Medium)，用以執行一方法，包括·· 接收來自一 TAP模組之一指令，其係指定一讀取模 33 200523751 08 1 63twf.doc/006 函式的執行’其中該TAP模組係於該讀取模 組内^丁，且該TAP模組係控制-製造裝置之程序’· 檢閱m旨令，域出—對應參數 定 所執行之一程序路徑； 响 連、、、口至具有该函式之執行程式碼的該⑶模組， TAP模組至該c〇m+模組之一程序 禮時，提供該COM+模組所對應之資訊；以及 連結至具有该函式之齡程柄之該CQM+模組， ^供該c〇M+模組所對應之資訊，等待該c〇m+模组完 函式的計算，f C0M+模組準備好提供資料時，連 : = 來㈣TAP模組之程式碼的該讀取模組， 指疋由TAP模組流出之一程序路徑時，提供運 异的、、、。果’繼續進行至CQM+模組，並_ TAp模组。 23—如巾料鄕圍第22顿叙魅機可讀式媒 一更匕括主機·可執行指令，以執行一方法，包括： 自該COM+模組接收一指令，以作為將於該ΤΑρ模 、，且内執行之一函式所用；以及 、 、連結至該讀取模組，並提供該讀取模組對應之資訊， 以在該參數指定由該COM+模組至該TAp模組之一程 參數時，可為TAP模組所用。 、、、 壬 24·如申請專利範圍第22項所述之該主機_可讀式媒 體，更包括主機-可執行指令，以執行一方法，包括： 自該COM+模組接收一指令，以作為將於該τΑρ模 組内執行之一函式所用，其中該指令更指定該τΑρ模= 34 200523751 08 1 63 twf.doc/006 回送一第二資訊；以及 連結至該讀取模組，並提供該讀取模組一第一資訊， 以使該TAP模組可使用該第一資訊，等待該TAP模組準 備好提供該第二資訊，自該讀取模組接收該第二資訊，當 該參數指定自該COM+模組流至該TAP模組，再回到該 COM+模組之一程序路徑時，提供該第二資訊至該COM+ 模組。