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Procédé et dispositif pour transporter, mettre en file d'attente et charger des substrats de grande taille dans des opérations de traitement à outils multiples
Electrostatic chuck, assembly type chucking apparatus having the chuck, apparatus for attaching glass substrates, and assembly type apparatus for attaching glass substrates
Dispositif pour contact par adherence a la surface d'une plaque de verre ou de semiconducteur (tranche) ou autre et systeme pour saisir une telle plaque comprenant un tel dispositif