200831714 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於電鍍處理系統所使用之導引裝置，詳細 爲：在塡充有電鍍處理液之電鍍處理用桶槽內，一面使印 刷基板等之被電鍍物移動，一面予以電鍍之電鍍處理系統 所使用之導引裝置。 【先前技術】 作爲電鍍印刷基板等之薄片狀長片形製品（以下稱： 工件）之電鍍處理系統，眾所周知，有於儲存於電鍍處理 用桶槽之處理液中，藉由從桶槽上方吊掛工件，一面對此 工件供電一面移動該工件，對工件表面施以電鍍之電鍍處 理系統。 詳細係如第12、1 3圖所示般，電鍍處理系統S係於 配置在桶槽902上方之長棒903，以吊掛工具905來吊掛 成爲電鍍對象之工件904，於將工件904浸漬於處理液A 之狀態下，沿著棒903移動吊掛工具90 5。然後，藉由對 其間從棒903供電至工件904，來對工件904進行電鍍處 理。 棒903係沿著移動工件904之桶槽902的長邊方向而 水平延伸，且作用爲陰極。因此，以後將棒9 0 3稱爲陰極 棒 903 〇 1 另外，於處理液A之中，延伸於與陰極棒9 0 3同方向 之一對陽極906，係以於桶槽902的寬度方向隔以特定間 200831714 (2) 隔來面對桶槽902的壁面之方式而設置，工件904係於彼 等一對陽極906、906之間平行地配置（參照第12圖）。 然後，在此狀態下，複數工件904係以直列狀態而移 動於電鍍液中，工件904依序被施以電鍍（參照第1 3圖 )。另外，配置於一對陽極906、906之間，且於工件904 ' 之兩側，與桶槽902的長邊方向平行地設置有：在工件 9 04移動於桶槽902內之間，用以使陰極與陽極之間的距 φ 離，具體而言，前述陽極906和與陰極棒903導通之工件 904之間的距離之極間距離保持一定之一對導引裝置901 (參照第12圖）。 藉由導引裝置90 1使極間距離保持一定，電鍍厚度變 得均勻。換言之，導引裝置901雖係用以於桶槽902內使 工件9〇4直直進行者，但是實際上，工件904係一面與導 引裝置901接觸、分開，一面被導引裝置901所導引而行 進於處理液A中。 Φ 然後，於行進中，工件904如與導引裝置901接觸時 ，附著於工件904之電鍍（銅）剝落而附著於導引裝置 9 01，其結果，產生分子的一部份被其他.原子（原子團） 所還原之還原反應，電鍍於導引裝置901析出，有形成短 路電路之虞。如不設置導引裝置90 1，雖不會形成短路電 路，但是爲了使電鍍厚度均勻，使極間距離保持一定之導 引裝置901之設置係不可欠缺。 另一方面，伴隨電鍍處理之進行，爲了使所消耗的處 理液A中的金屬之例如銅的含有量保持一定，需要補充含 -5- (3) 200831714 有多數銅之液體之新的處理液A。因此，考慮從工件904 的兩側噴出處理液A，控制工件的姿勢，倂同處理液a的 補充來使及間距離保持爲一定之方法。 因此本發明者，檢討如第1 4圖所示般，於設置於工 件9 04之兩側，且延伸於工件904的行進方向之一對電鍍 處理液補充用主管907、907，以等間隔排列延伸於對其軸 方向爲下垂之方向的複數枝管908，從多數地形成於枝管 φ 908的長邊方向之噴出孔981，以泵浦壓力朝工件904噴 射電鍍處理液A，藉此以非接觸式之狀態來導引工件904 是否可能。 要以非接觸式之狀態來導引工件904，得知需要：從 位於枝管908的末端之噴出孔981至位於基端之噴出孔 9 8 1爲止，要同樣地吐出電鍍處理液A，及針對排列於主 管907之枝管908之全部，要以同樣壓力均等地吐出電鍍 處理液A。 # 可是，泵浦壓力會依據主管907中之枝管90 8的排列 位置而不同，或儲存於桶槽902內之處理液A的液壓會依 據枝管908中之噴出孔981之形成位置而不同，很難均等 地吐出電鍍處理液A，在非接觸式之狀態導引工件904, 係非常地困難。 在此情形時，將泵浦壓力設定高些，使從噴出孔9 8 1 所吐出的處理液A之量成爲最大時，可以從任何噴出孔 981 —樣地噴出電鍍處理液A。但是，工件904也有其厚 度例如極薄至3 0 // m至5 0 /z m之程度，且撓性之印刷基 -6- 200831714
板。 因此，處理液A的吐出壓力如太強，工件9 〇 4經不起 作用於工件904之吐出力，工件904在桶槽902內移動中 會不規則移動。另外，於枝管908與枝管908之間，且處 理液A沒有吐出之部位，工件904不受到處理液A的吐 出壓力之影響，工件904通過該部位時，工件904偏向該 部位存在之側而行進。此種情形如存在時，工件9 04會有 φ 彎曲、或損傷之虞。 因此，可以考慮：以框構件對工件9 0 4的周圍加邊框 ，即使工件904與導引裝置90 1接觸，也不會對工件904 造成不好影響之方式，來使用邊框工具（未圖示出）。但 是在薄厚度之工件9 0 4的情形時，安裝邊框工具本身非常 麻煩。此外’銅附者於該工具’消耗多餘之銅。進而也有 電氣或熱消耗增加之問題。 [專利文獻1]專利第2943 070號公報 ❿ [專利文獻2]專利第3 065970號公報 [專利文獻3]日本專利特開2005-213641號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 本發明係有鑑於前述情形所發明者，其欲解決之課題 爲提供：具有即使不需要邊框工具，也可以提升施於工件 之電鍍處理的均勻性之非接觸式導引之電鍍處理系統。 200831714 (5) [解決課題之手段] (1 )爲了達成前述課題，本發明之使用於電鍍處理系 之導引裝置，其特徵爲：係具有：儲存電鍍處理用之處 液的桶槽、及在此桶槽內用以垂吊被施以電鍍處理之薄 狀長片形製品之吊掛工具、及沿著前述桶槽而設置，使 ^ 吊掛工具可以滑動地裝著，並具有作爲陰極功能之陰極 、及設置於前述處理液中，使電子從前述陰極棒移動， φ 前述薄片狀長片形製品夾於其間，且對前述薄片狀長片 製品爲平行地配置之一對陽極、及配置於該一對陽極的 側，於將該薄片狀長片形製品夾於其間之狀態下，將該 片狀長片形製品導引於其進行方向之呈平板狀的一對導 裝置；藉由一面對前述薄片狀長片形製品供電，一面使 述吊掛工具在前述陰極棒上滑動，讓垂吊於前述吊掛工 之前述薄片狀長片形製品在前述處理液中移動，來對前 薄片狀長片形製品施以電鍍之電鍍處理系統，前述一對 • 引裝置之各個，係具有：對於前述薄片狀長片形製品之 行方向爲斜向並聯有複數根，並且從前述桶槽之外部供 ^ 新的處理液之斜管，此斜管係具有：於其長邊方向延伸 _ 縫隙狀噴出孔，藉由經由該噴出孔，將前述新的處理液 向前述薄片狀長片形製品吐出。 本發明之導引裝置，係設置於電鍍處理系統之桶槽 導引裝置係被浸漬於電鍍處理用處理液。 然後，形成於斜管之噴出孔，係延伸於斜管的長邊 向之縫隙狀噴出孔，從噴出孔所被排出之處理液，係爲 統 理 片 該 棒 將 形 內 薄 引 __u一 刖 具 述 導 進 給 之 朝 方 呈 -8- 200831714 (6) 具有與形成有縫隙狀噴出孔之長度尺寸相同尺寸 狀態。 因此，從斜管之噴出孔所被排出之處理液’ 長邊方向並無中斷。換言之，於斜管中延伸於其 ' ，形成有前述處理液之噴出的縫隙狀噴出孔之區 ' 無噴出處理液與不噴出之處，係全部噴出處理液 不會有如以往技術中說明般，工件通過不吐出處 φ 位時，工件與導引裝置接觸，工件偏向有該部位 進。 另外，一對導引裝置之各個，係具有對於薄 形製品之進行方向爲斜向並聯有複數根之斜管， 相鄰之斜管彼此，產生於上下方向交叉之範圍。 會有於一對導引裝置之間與彼等平行配置之工件 進方向中，不被從兩側之斜管吐出的處理液所噴 因此，工件在行進中，藉由從斜管所噴出之 • 經常被推向兩側，而成爲位於一對導引裝置的中 ，從斜管所噴出之處理液的吐出壓力，當然係設 . 設置斜管之導引裝置，且導引裝置中之斜管的設 _ 產生差異。 此結果，工件一面以非接觸式狀態被導引一 桶槽內。換言之，一面保持極間距離成爲一定， 引裝置以非接觸式之狀態對工件進行電鍍處理。 使不需要在對極薄工件施以電鍍處理上必須之邊 也可以提升對工件所施行之電鍍處理的均勻性。 之帶狀的 在斜管之 長邊方向 域中，並 。因此， 理液之部 之側而行 片狀長片 於斜管中 因此，不 ，於其行 §J之處。 處理液， 央。另外 定成不因 置位置而 面行進於 一面對導 因此，即 框工具， -9- 200831714 (7) (2 )另外，本發明之使用於電鍍處理系統之導引裝置， 其特徵爲：係具有：儲存電鍍處理用之處理液的桶槽、及 在此桶槽內用以垂吊被施以電鑛處理之薄片狀長片形製品 之吊掛工具、及沿著前述桶槽而設置，使該吊掛工具可以 滑動地裝著，並具有作爲陰極功能之陰極棒、及設置於前 述處理液中，使電子從前述陰極棒移動，將前述薄片狀長 片形製品夾於其間，且對前述薄片狀長片形製品爲平行地 • 配置之一對陽極、及配置於該一對陽極的內側，於將該薄 片狀長片形製品夾於其間之狀態下，將該薄片狀長片形製 品導引於其進行方向之呈平板狀的一對導引裝置；藉由一 面對前述薄片狀長片形製品供電，一面使前述吊掛工具在 前述陰極棒上滑動，讓垂吊於前述吊掛工具之前述薄片狀 長片形製品在前述處理液中移動，來對前述薄片狀長片形 製品施以電鍍之電鍍處理系統，前述一對導引裝置之各個 ，係具有：從前述桶槽的外部所供給之新的處理液循環於 # 內部之呈框狀的主管、及位於此主管之框內，對於主管爲 斜向並聯有複數根，且以兩端部對主管連結之副管；此副 管係具有：延伸於長邊方向之縫隙狀噴出孔，藉由經由該 噴出孔，將供給至前述主管之新的處理液朝向前述薄片狀 長片形製品吐出。 本發明之導引裝置，係設置於電鍍處理系統之桶槽。 導引裝置係被浸漬於電鍍處理用之處理液。 副管係其兩端與主管連結’可以取得副管內之壓力平 衡，流動於副管內之處理液的壓力爲均勻。另外，形成於 -10· 200831714 (8) 副管之噴出孔，係延伸於副管的長邊方向之縫隙狀的噴出 孔，從噴出孔所被排出之處理液’係爲呈具有與形成有縫 隙狀噴出孔之長度尺寸相同尺寸之帶狀的狀態。 因此，從斜管之噴出孔所被排出之處理液，在斜管之 長邊方向並無中斷。換言之，於斜管中延伸於其長邊方向 ' ，形成有前述處理液之噴出的縫隙狀噴出孔之區域中，並 無噴出處理液與不噴出之處，係全部噴出處理液。因此， φ 不會有如以往技術中說明般，工件通過不吐出處理液之部 位時，工件與導引裝置接觸，工件偏向有該部位之側而行 進。 另外，一對導引裝置之各個，係具有位於呈框狀之主 管的框內，且對主管爲斜向並聯有複數根之副管，於副管 中相鄰之副管彼此，產生於上下方向交叉之範圍。因此， 不會有於一對導引裝置之間與彼等平行配置之工件，於其 行進方向中，不被從兩側之副管吐出的處理液所噴到之處 因此，工件在其行進中，藉由從副管所噴出之處理液 ’經常被推向兩側，而成爲位於一對導引裝置的中央。另 外’從副管所噴出之處理液的吐出壓力，不會因設置副管 之導引裝置，且導引裝置中之副管的設置位置而產生差異 〇 此結果，工件一面以非接觸式狀態被導引一面行進於 桶槽內。換言之，一面保持極間距離成爲一定，一面對導 引裝置以非接觸式之狀態對工件進行電鍍處理。因此，即 -11 - 200831714 (9) 使不需要在對極薄工件施以電鍍處理上必須之邊框工具， 也可以提升對工件所施行之電鍍處理的均勻性。 (3 )其中前述副管，係具有：連結於主管之管體、及形 成於此管體之長邊方向，且將供給至前述主管之前述處理 液予以排出之排出孔、及蓋該排出孔之方式而安裝於前述 ' 管體，用以形成將從該排出孔所被排出之前述處理液暫時 儲存起來之腔體之腔體形成體，於此腔體形成體形成有前 • 述縫隙狀噴出孔，該噴出孔係與前述腔體相通。 藉由於腔體暫時儲存由排出孔所排出之處理液，腔體 內的處理液之壓力得以均勻化。因此，處理液從與腔體相 同之縫隙狀噴出孔一樣地被吐出。 (4)前述腔體形成體，係具有：安裝於前述管體，且爲 了形成呈前述縫隙狀之噴出孔，以一端彼此相對之方式， 組合成尖屋頂形狀之一對組合板、及設置於此一對組合板 之間之至少一對三角板、及用以在位於該三角板的頂點之 • 兩相鄰的二邊安裝前述一對組合板之螺絲、及形成於前述 一對組合板，孔徑比前述螺絲直徑還大，可讓前述螺絲通 過之通孔。 此處所謂尖屋頂形狀，係指打開書本闔放之山形的屋 頂。 對一對組合板之各通孔穿過螺絲，於一對三角板的二 邊個別進行一對組合板之暫時固定。通孔係比螺絲直徑還 大，螺絲係以鬆驰嵌合狀被安裝於通孔。然後，——對組合 板係於以前數暫時固定狀態被安裝之三角板的前述二邊之 -12- 200831714 (10) 上，沿著該二邊的長邊方向而分別導引各組合板，藉此進 行呈縫隙狀噴出孔之間隙調整。如此只以組合板之滑動操 作，能夠簡單地進行間隙調整，所以非常合適。 (5 )斜向安裝於前述主管之副管，其傾斜角度係以前述 薄片狀長片形製品在桶槽內之搬運速度愈快，則從水平面 ^ 至近地點側之角度就愈小之方式來安裝。 藉由如此，即使搬運速度快，也可以提高藉由導引裝 φ 置之副管的非接觸式導引性。因此，依據本發明之導引裝 置，可以稱爲非接觸式導引裝置。 (6)進而本發明係關於使用前述導引裝置之電鍍處理系 統。 藉由使用該電鍍處理系統，工件係一面以非接觸狀態 被導引一面行進於桶槽內。 [發明效果] • 如依據本發明，工件係藉由非接觸式導引裝置而一面 以非接觸狀態被導引一面行進於桶槽內。換言之，一面保 • 持極間距離成爲一定一面以對導引裝置爲非接觸之狀態， 工件被施以電鍍處理。因此，即使不需要對極薄工件施以 電鍍處理上所必要之邊框工具，也可以提升對工件所施予 之電鍍處理的均勻性。此結果，得以提升所被電鍍之工件 的品質。 【實施方式】 -13- 200831714 (11) 針對本發明之實施形態之電鍍處理系統S 1，參照圖 面來做說明。另外，本發明與以往技術不同處，係導引裝 置之構造而已，工件對導引裝置之位置或動作等其他事項 ，係與以往技術中所說明者相同。因此，以導引裝置之說 明爲主，對於與以往技術所說明者相同的部分，只賦予相 同符號，省略其說明，或省略圖示本身。 具有一對之導引裝置1之各個，係具有：呈框形狀（ • 長四角形狀）之主管2、及斜向位於此主管之框內的副管 3 (參照第1〜第4圖）。此種導引裝置1係設置成與桶槽 9 02的長邊方向平行。另外，副管3由於係斜向之管，也 可以改稱爲斜管。副管3係對工件904之行進方向，斜向 傾斜角度α。 主管2係從桶槽902的外部被供應有含有很多銅之新 的處理液A，該新的處理液Α係循環於主管2的內部。然 後，主管2係具有：於將導引裝置1設置於桶槽內時，位 • 於桶槽的靠上部之處與靠下部之處，且個別延伸於水平方 向之一對水平管2 1、2 1、及配置於水平管2 1的兩端，且 . 延伸於垂直方向之左右一對垂直管22、及位於主管2的角 . 落部，連結水平管2 1與垂直管22之作爲連接管之4個90 °的彎管23。藉由將4個90°彎管23設置於主管2的角落 部，得以維持主管2之框形狀。 水平管21係具有：位於桶槽902的靠上部處之上部 水平管21U與位於靠下部處之下部水平管21D。符號21 係作爲此等水平管2 1 U、2 1 D之總稱，而在說明書中使用 -14 - 200831714 (12) 上部水平管2 1 U係以將從桶槽902的外部所供給的新 的處理液A導入導引裝置1內之1個導入管部211、及用 以將副管3連接於主管2之複數連結管部212、及位於倒 入管部2 1 1及連接管部2 1 2之間之中間管2 1 3相連結而成 爲一體之管。導入管部211、連接管部212都是呈三叉（ T形狀）（參照第1、3、4圖）。 導入管部211係三叉中之一管，設置時，突出上方之 上方突出管部211a係與未圖示出之處理液導入管連結。 然後，經由此處理液導入管，新的處理液A從桶槽902的 外部經由導入管部2 1 1而被導入主管2。 另外，在此實施形態中，與前述處理液導入管連接之 上方突出管部211a雖朝向上方，但是並不限定於此，也 可以朝向下方或其他方向。另外，三叉中之剩餘之管，於 設置導入管部2 1 1時，延伸於水平方向之水平管部2 1 1 b 及2 1 1 c係與中間管2 1 3連結。 連接管部212係成爲三叉中之一管，設置時，突出工 件9 04側之工件側突出管部212a係與副管3連結。然後 ，藉由連接管部2 1 2，新的處理液A從主管2循環於副管 3。工件側突出管部2 1 2a係朝向工件904側（參照第3圖 )。另外，三叉珠爭剩餘之管，於設置連接管部2 1 2時， 延伸於水平方向之水平管部212b及212c係與連接連接管 部212彼此之中間管212連結（參照第1、3圖）。於上 部水平管2 1 U中，連接管部2 1 2係有4根。 -15- 200831714 (13) 中間管2 1 3係因應主管2中之副管3的安裝處所，連 接管部212之主管2中之位置因而不同，所以尺寸並不相 同（參照第1、3、4圖）。另外，在上部水平管21U中， 中間管2 1 2爲6根。 * 面對上部水平管2 1 U之下部水平管2 1 D，在此實施形 _ 態中係只具有3根連接管部2 1 2及4根中間管213，並不 具有導入管部211。但是，也可以具有之。 φ 垂直管22係具有位於工件904之行進方向中之上游 (第1、4圖之右側）之上游側垂直管22U及位於工件 9 04之行進方向中之下游（第1、4圖之左側）之下游側垂 直管22L。任何一種都只具有複數的連接管部222及中間 管223，不具有相當於主管2之導入管部211之管，但是 也可以具有之。垂直管22的連接管部222及中間管223 與水平管21之連接管部212及中間管213，只是符號不同 而已，係爲相同形體。符號22係作爲此等垂直管22U、 • 22L之總稱而於說明書中使用。 另外，在本實施例中，於上游側垂直管22U設置有5 根連接管部222，於下游側垂直管22L設置有4根連接管 部222 (參照第4圖）。然後，此等連接管部222之間或 90°彎管23與連接管部222之間，於上游側垂直管2 2U配 置有合計6根中間管223，於下游側垂直管22L配置有合 計5根中間管223。 副管3係對主管2斜向並聯複數根（在此實施形態爲 7根）之狀態下，且對主管2於兩端部相連結。詳細而言 -16- 200831714 (14) ，於排列時，副管3係斜向安裝成下游側比上游側還位於 上方。另外’副管3之各管係依據與主管2連接之處所而 長度不同。 進而副管3係具有延伸於其長邊方向之縫隙狀噴出孔 (以下，縫隙狀噴出孔）3 1，藉由經由該噴出孔3 1，將供 給至主管2之新的處理液A朝向工件904吐出（參照第 1 1 圖）。 φ 作爲爲此之構成要素，副管3係具有：連結於主管2 之管體32、及於此管體32之外表面用以形成腔體C之腔 體形成體3 3、及爲了將副管3安裝於主管2，連結於管體 32的兩端之90°彎管34、34(參照第1、5圖）。 管體3 2係於長邊方向形成有用已將供給至主管2之 前述處理液A排出之多數的排出孔321 (參照第5〜11圖 )° 腔體形成體33係以覆蓋形成於管體32之該等多數排 # 出孔32 1之方式，延伸於其長邊方向而安裝於管體32。然 後，將從排出孔321所被排出之處理液A暫時儲放於藉由 腔體形成體3 3所形成之腔體C (參照第1 1圖以虛線來表 示引出線之處理液A )。然後，於此腔體形成體3 3形成 有縫隙狀噴出孔3 1，該縫隙狀噴出孔3 1係與腔體C相通 〇 爲此，腔體形成體3 3係具有：以一端彼此相對之方 式，組成尖屋頂形狀之一對組合板33 1、331、及設置於該 等一對組合板3 3 1、3 3 1之間之多數三角板3 3 2、及用以將 -17-
200831714 (15) 組合板331安裝於該三角板3 32之螺絲 成體3 3所形成之腔體C，係大致呈三角右 組合板3 3 1係其長度尺寸與管體3 2 一軸線上具有與三角板332的數目同數之 第6〜8圖）。另外，通孔3 3 1 h係以與三 間隔相同間隔而形成於組合板33 1的長_ 3 3 1 h係以比前述螺絲3 3 3的直徑還大徑π； 。另外，通孔3 3 1 h並不限定於圓形，也 之跑道形。在該情形時，長軸係以延伸於 長邊方向直行之方向來形成。 三角板3 3 2係立設於管體3 2的外表 圖），因此，抵接三角板332之底邊的部： 體32的曲率而彎曲。將該部分稱爲曲邊 於三角板3 3 2的頂點3 3 2b的兩鄰之二邊 絲3 3 3螺合之螺絲孔3 3 2h係從頂點3 3 2b 成（參照第6、7圖）。 另外，三角板3 32於此實施形態珠固 ，但是也可以如第9圖般，爲直角三角形 螺絲3 3 3係市售之螺絲。 使用由此種構成所形成之副管3， 3 3 1之各通孔3 3 1 h穿過螺絲3 3 3，於三角 別進行一對組合板3 3 1之暫時固定。通子 3 3 3還大直徑，螺絲3 3 3係鬆鬆嵌合狀安 然後，於一對組合板3 3 1以前述暫_ 3 3 3。藉由腔體形 芒狀之中空。 大致相同，於同 通孔3 3 1 h (參照 :角板3 3 2之設置 i方向。進而通孔 『讓螺絲3 3 3通過 【可以作成競技用 與組合板3 3 1的 :面32a(參照第6 汗332a係配合管 〖部。另外，於位 332s 、 332s ，螺 起同距離地形 i係二等邊三角形 體。 對該一對組合板 I板332之兩邊個 L 3 3 1 h係比螺絲 裝於通孔3 3 1 h。 ，固定狀態所安裝 -18- 200831714 (16) 之三角板 332之兩邊 332s、332s之上，藉由沿著二邊 3 32s、3 32s之長邊方向而個別使各組合板331滑動（參照 第1 〇圖之兩箭頭方向所示），來進行縫隙狀噴出孔31的 間隙調整（縫隙調整）。如此只以進行組合板3 3 1之滑動 操作之簡單操作，可以進行間隙調整，極爲合適。 另外，可以調整一對組合板3 3 1、3 3 1、及三角板3 3 2 、及組合板331之通孔331h、及螺絲333來進行縫隙狀噴 • 出孔3 1之間隙調整。 另一方面，安裝於副管3之兩端的9 0°彎管34係被當 成將副管3連結於主管2之接頭來使用。另外，藉由副管 3之主管2中之設置處所，90°彎管34係以單數或雙數被 使用於副管3之各端。於此實施形態中，連結上部水平管 2 1U與上游側垂直管22U之副管3之中，只在連結最長之 副管3的上部水平管21U與副管3之情形時，90°彎管34 係將中間管3 4 1當成接頭使用雙數個（參照第1圖）。 # 由此種構成要素所形成之副管3之對主管2之傾斜角 度α (參照第1圖），係以工件904之桶槽902內中之搬 運速度愈快爲佳而安裝得小些。另外，傾斜角度α係指從 水平面起之近地點側之角度。 接著，說明具備此種導引裝置1之電鍍處理系統S1 之作用效果。 副管3係其兩端連結於主管2，得以取得副管3內中 之壓力平衡。因此，流通於副管3內之處理液的壓力爲均 勻。因此，從副管3所噴出之處理液Α之吐出壓力，依據 -19- 200831714 (17) 副管3之所設置的導引裝置1、另外，導引裝置1中之副 管3之設置位置，不會有差異。 形成於副管3之噴出孔3 1，係延伸於副管3之長邊方 向之縫隙狀噴出孔3 1，從該縫隙狀噴出孔3 1所被排出之 處理液A，係成爲具有與形成縫隙狀噴出孔3 1之長度尺 寸與相同尺寸之帶狀的形態（參照第1 1圖中，以實線表 示引出線之處理液A)。 Φ 因此，從副管3之縫隙狀噴出孔3 1所被排出之處理 液A，於副管3之長邊方向並無中斷。換言之，於副管3 中，於其長邊方向延伸，且形成有處理液A之噴出的縫隙 狀噴出孔31的區域中，並無處理液A之噴出與不噴出之 處所，全部會噴出處理液A。 因此，工件904於行進在一對導引裝置1之間，如以 往技術之說明般，工件9 04通過不吐出處理液A之部位時 ，工件904與導引裝置接觸，工件904偏向有該部位側而 • 行進之問題，於電鍍處理系統S 1中並不會發生。 另外，作成平面狀之一對導引裝置1之各個，係具有 . :位於主管2的框內，且斜向複數根並列於主管2之副管 3，於副管3中相鄰接之副管3彼此中，產生上下方向交 叉之範圍。因此，於一對導引裝置1之間，與彼等平行配 置之工件904於其行進方向中，不會有從兩側之副管3所 吐出的處理液A不接觸到之處所。 因此，工件904於其行進中，藉由從副管3所噴出之 處理液A而經常被推向兩側，成爲位於一對導引裝置1之 -20- 200831714 (18) 中央。 此結果，工件904係一面被一對導引裝置1所導 一面與一對導引裝置1爲非接觸狀態行進於桶槽902 換言之，一面保持極間距離爲一定一面與導引裝置1 接觸之狀態對工件904施以電鍍處理。因此，即使不 在對極薄工件904施以電鍍處理上必須之邊框工具， 以提升對工件904所施行之電鍍處理的均勻性。 副管3係藉由暫時儲放從排出孔被排出從腔體C 理液A，使得腔體C內的處理液A之壓力均勻化。因 處理液A從通過腔體C之縫隙狀噴出孔3 1被吐出。 ，對工件904所施行之電鍍處理可以更爲均勻。 斜向安裝於前述主管2之副管3，其傾斜角度係 述薄片狀長片形製品之桶槽902內的搬運速度愈快爲 安裝成使從水平面起之近地點側的角度小些，搬運速 使快，也可以提高藉由導引裝置1之副管3的非接觸 引性。因此，導引裝置1可以稱爲非接觸式導引裝置 藉由使用導引裝置1，工件9 0 4係一面以非接觸 被導引一面行進於桶槽902內。換言之，可以一面保 間距離爲一定一面與導引裝置1爲非接觸狀態，對 9 04施以電鍍處理。因此，即使不需要在對極薄工件 施以電鍍處理上必須之邊框工具，也可以提升對工件 所施行之電鍍處理的均勻性。此結果，所被電鍍之 904的品質得以提升。 另外，本發明並不只限定於前述之圖示例子，在 引而 內。 爲非 需要 也可 之處 此， 因此 以前 佳而 度即 式導 1 ° 狀態 持極 工件 904 904 工件 不脫 -21 - 200831714 (19) 離本發明之要旨的範圍內，不用說可以加上種種變更。 【圖式簡單說明】 第1圖係電鍍處理系統之導引裝置的斜視圖。 第2圖係第1圖之橫剖面圖。 第3圖係第1圖之平面圖。 第4圖係第2圖之IV-IV線剖面圖。 # 第5圖係副管之斜視圖。 第6 ( a )圖係副管之橫剖面圖，（b )圖係（a )圖之 重要部位放大圖。 第7圖係第5圖之側面圖。 第8圖係第5圖之平面圖。 第9圖係表示三角板的變形例。 第1 0圖係說明進行間隙調整之狀態圖，（a )圖係表 示正進行三角板之位置調節之狀態圖，（b )圖係表示調 ® 整狀態之斜視圖。 第1 1圖係說明處理液從副管之縫隙狀噴出孔噴出之 . 狀態圖。 . 第1 2圖係說明以往之電鍍處理系統之圖。 第13圖係第12圖之XIII-XIII線剖面圖。 第1 4圖係說明以往技術之問題點之斜視圖。 【主要元件符號說明】 1 :導引裝置，2:主管，21:水平管，210:下部水 -22- 200831714 (20) 平管，21U:上部水平管，211 :導入管部，211a 出管部，2 1 1 b :水平管部，2 1 1 c :水平管部，2 之連接管部，212a :工件側突出管部’ 212b :水 212c:管部，213:水平管之中間管，22:垂直管 22L :下游側垂直管，22U :上游側垂直管，222 部，223:垂直管的中間管，23:主管之90°彎· 管（斜管），3 1 :縫隙狀噴出孔（噴出孔），3 2 3 2a :管體之外表面，321 :管體之排出孔，33 : 體，331 :組合板，33 lh :通孔，3 32 :三角板， 邊部，3 3 2h :螺絲孔，3 3 2b :頂點，33 2s、3 3 2s 之二邊，3 3 3 :螺絲，34 :副管之90°彎管，341 ，901:導引裝置，902:電鍍處理用桶槽，903 ，904 :附有抗蝕薄膜之圖案電鍍工件（薄片狀 品），905 :吊掛工具，906 :陽極，907 :主管， 管，98 1 :噴出孔，A :電鍍處理液（處理液）， ，S :電鍍處理系統，s 1 :電鍍處理系統，α : 管之傾斜角度 :上方突 12 :主管 平管部， :連接管 ί，3 :副 •管體， 腔體形成 332a ：曲 :三角板 :中間管 :陰極棒 長片形製 90 8 ：枝 C :腔體 副管對主 -23-