TW201212308A - Piezoelectric vibrator and oscillator using the same - Google Patents

Description

201212308 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關在形成於基板間的空腔中封入壓電振動 片之壓電振動子及使用彼之振邊器，特別是有關小型的壓 電振動子。 【先前技術】 近年來，在行動電話或攜帶型資訊終端機的時刻源或 時序源使用利用水晶等的壓電振動子。壓電振動子有各式 各樣爲人所知，其一是表面安裝型的壓電振動子爲人所知 。表面安裝型的壓電振動子，有藉由基底基板及蓋體基板 來從上下夾入形成有壓電振動片的壓電基板之3層構造型 者爲人所知。壓電振動片是被收納於基底基板與蓋體基板 之間所形成的空腔內。最近有2層構造型的壓電振動子被 開發。此型是在基底基板或蓋體基板的內面形成由凹部所 構成的空腔，在基底基板的表面安裝壓電振動片，在基底 基板的周圍直接接合蓋體基板，而於該空腔收納壓電振動 片。此2層構造型的壓電振動子相較於3層構造型，可謀求 薄型化等的點較優（例如參照專利文獻1 )。 圖5是說明2層構造型的壓電振動子100的圖。圖5 (a )爲壓電振動子1〇〇的剖面模式圖，（b )爲下側基板的基 底基板1 0 1的上面模式圖，（c )爲上側基板的蓋體基板 102的上面模式圖。另外，圖5(a)是表示在圖5(b)、 (c)的上面圖所示的部分CC的剖面。 201212308 如圖5(a)所示，壓電振動子100是由基底基板101、 及在基底基板101的外周上面經由接合材106來接合的蓋體 基板102、及在基底基板101的上面以單方固定狀態來安裝 的壓電振動片103所構成。在蓋體基板102之基底基板101 側的表面形成有由凹部所構成的空腔1 1 0，收納壓電振動 片 103。 壓電振動片103爲使用水晶板。在基底基板101中埋入 有貫通電極l〇4a、10 4b，在外面連接至外部電極105a、 105b，在內面連接至繞拉電極l〇7a、107b。在繞拉電極 107a、107b上安裝有壓電振動片103。 如圖5(b)所示，2個的貫通電極l〇4a、104b是大致 形成於對角部，繞拉電極107b是從上邊的角部形成到下邊 角部，繞拉電極1 07a是形成於貫通電極1 〇4a的上面及其附 近的基底基板101上。然後，在繞拉電極107a' 107b的各 個上面形成有安裝構件108，且在其上，壓電振動片1〇3會 被保持成單方固定狀。 在壓電振動片103的兩面對向形成激發電極i〇9a、 109b，電性連接至形成於壓電振動片103的下邊端部之端 子電極111a、111b’且經由安裝構件108來連接至各繞拉 電極107a、107b。因此’外部電極105&是經由貫通電極 l〇4a、繞拉電極107a、安裝構件1〇8、端子電極111a來電 性連接至激發電極l〇9a。並且，外部電極1〇5b是經由貫通 電極104b、繞拉電極107b、安裝構件108、端子電極lllb 來電性連接至激發電極109b。亦即，可從外部電極i〇5a、 201212308 105b來對激發電極109a、109b給予驅動電力而使壓電振動 片103振盪，取出一定周期的訊號。 [先行技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]特開2009-232449號公報 【發明內容】 (發明所欲解決的課題） 近年來，隨著攜帶型機器或攜帶型端末的小型化，壓 電振動子100也被要求小型化。一旦使壓電振動子100小型 化，則壓電振動片1 0 3或繞拉電極1 〇 7的尺寸或接合材1 0 6 的面積也需要縮小。但，例如壓電振動片1 〇 3爲使用水晶 板時’一旦縮小壓電振動片1 0 3，則CI値（c r y s t a 1 impedance値）會變大而振動特性劣化。並且，空腔i丨〇內 爲了使壓電振動片103的振動安定，需要自大氣遮斷。例 如’將空腔1 10內維持於真空。爲此，接合材106需要使具 有某程度的寬度。 並且’一旦繞拉電極107b與激發電極1〇9之間的寄生 電容被形成’則振動特性會劣化。爲此，繞拉電極1 〇 7 b與 激發電極109需要形成平面視不重疊。而且，在使基底基 板101與蓋體基板102經由接合材1〇6來接合時加熱。於是 繞拉電極1 〇 7 a、1 〇 7 b的配線電阻會有增加的情形。基於該 等的情事’在將壓電振動子1 〇 〇小型化時，無法將壓電振 201212308 動片103的大小或接合材106的寬度縮小到所需以上，其結 果，會有繞拉電極l〇7b的電極寬度變窄，其電阻增加而振 動特性劣化的課題。 本發明是有鑑於上述課題而硏發者，以提供一種可不 使振動特性劣化下小型化的壓電振動子爲目的。 (用以解決課題的手段） 本發明的壓電振動子，係具備： 基底基板： 壓電振動片，其係於上述基底基板的表面所形成的安 裝部中以單方固定狀態來保持·，及 蓋體基板’其係接合於上述基底基板，以能夠覆蓋上 述壓電振動片的方式收納， 其特徵爲： 上述壓電振動片係於其外表面具有驅動用的第一及第 二激發電極， 上述基底基板係具有：從其表面貫通至相反側的背面 之第一及第二貫通電極、及形成於上述表面，一端連接至 上述第一貫通電極，另一端連接至上述安裝部之第一繞拉 電極、及電性連接至上述第一繞拉電極，位於上述安裝部 的附近之第一連接部與位於上述第一貫通電極的附近之第 二連接部， 在上述基底基板與上述蓋體基板所接合的接合面係形 成有導體膜，上述第一繞拉電極與上述導體膜係於上述第 201212308 —及第二連接部電性連接， 上述第一激發電極係經由上述安裝部和上述第一繞拉 電極及上述導體膜來與上述第一貫通電極電性連接，上述 第二激發電極係經由上述安裝部來與上述第二貫通電極電 性連接。 又，上述壓電振動片係具有平板形狀，上述第一激發 電極與上述第二激發電極係分別與上述平板形狀的表面及 背面對面形成，上述第一繞拉電極係使上述基底基板由其 表面的法線方向來看時，設置於不與上述第一及第二激發 電極重疊的位置。 又，上述蓋體基板係具有用以收納上述壓電振動片的 凹部，構成上述凹部的側壁的上面係接合於上述基底基板 ，在上述側壁的上面與上述凹部的底面之間形成有第一及 第二階差部，從上述側壁的內側面到上述第一及第二階差 部的上面分別形成有第一及第二階差電極，上述第一階差 電極係電性連接上述導體膜與上述第一連接部，上述第二 階差電極係電性連接上述導體膜與上述第二連接部。 本發明的振盪器係具備：上述任一記載的壓電振動子 ，及對上述壓電振動子供給驅動訊號的驅動電路。 [發明的效果] 若根據本發明，則由於將安裝部與第一貫通電極之間 的配線設爲··形成於基底基板上的第一繞拉電極與形成於 接合蓋體基板和基底基板的接合面的導體膜之並聯 > 因此 -9- 201212308 可提供一種降低配線電阻，防止振動特性的低落之小型的 壓電振動子。 【實施方式】 本發明的壓電振動子是具備：基底基板、及在基底基 板的表面於安裝部以單方固定狀態來保持的壓電振動片、 及以能夠覆蓋壓電振動片的方式收納，在基底基板周邊部 的接合部接合的蓋體基板。壓電振動片是具有用以使壓電 振動片震盪於其表面及背面的第一激發電極及第二激發電 極。基底基板是具有：從其表面貫通至相反側的背面的第 一及第二貫通電極、及形成於其表面，一端連接至第一貫 通電極，另一端連接至安裝部的第一繞拉電極、及與第一 繞拉電極電性連接，位於安裝部的附近的第一連接部及位 於第一貫通電極的附近的第二連接部。更在基底基板與蓋 體基板所接合的接合面形成有導體膜，第一繞拉電極與導 體膜是在上述第一及第二連接部電性連接。其結果，第一 激發電極是經由安裝部和第一繞拉電極及導體膜來與第一 貫通電極電性連接，第二激發電極是經由安裝部來與第二 貫通電極電性連接。 若縮小壓電振動子的外形，則難以在基底基板的一邊 接近形成第一及第二貫通電極。於是，將第一及第二貫通 電極形成於基底基板面儘可能離間的位置。另一方面，壓 電振動片需要單方固定狀地設置於安裝部。因此，需要在 基底基板上形成繞拉電極，從彼此離間的第一及第二貫通 -10- 201212308 電極的其中一方或兩方來牽引繞拉電極連接至安裝部。本 發明是將第一繞拉電極形成於基底基板，且使形成於接合 基底基板與蓋體基板的接合部之導體膜與第一繞拉電極經 由第一及第二連接部來電性連接，將形成於接合部的導體 膜作爲繞拉電極利用。亦即，安裝部與第一貫通電極之間 是並聯形成於基底基板上的第一繞拉電極與形成於接合部 的導體膜，使能夠降低安裝部與第一貫通電極之間的電阻 〇 另外，可將基底基板及蓋體基板設爲玻璃基板。若形 成玻璃基板，則與使用陶瓷基板時作比較，成型加工容易 。又，由於玻璃材料熱傳導率低，所以外部溫度變化難以 傳達至壓電振動片，可不易受急劇的溫度變化的影響。又 ，由於玻璃基板爲透明，所以在裝於封裝後亦可利用雷射 光來修整。又，由於基底基板與蓋體基板可爲介在導體膜 的陽極接合，所以可長期間保持封裝內的氣密性。又，亦 可取代陽極接合，而使用導電性接著劑。 壓電振動片可使用AT模式的水晶基板。安裝部可使 用導電性接著材或金屬凸塊。若使用金屬凸塊，則可短時 間安裝壓電振動片，因此單方固定狀地接著變得容易。第 一及第二連接部可將形成於陽極接合時的導體膜或第一繞 拉電極延伸設置至接合面利用。並且，藉由導電性接著劑 來接合基底基板與蓋體基板時，可利用該導電性接著劑。 第一及第二安裝部可利用金屬凸塊或導電接著劑。 並且，使第一激發電極與第二激發電極隔著壓電振動 -11 - 201212308 片來對面形成，第一繞拉電極是使基底基板由其表 線方向來看時，位於不與第一及第二激發電極重疊 。藉此，可使形成於第一及第二繞拉電極與第一及 發電極之間的寄生電容降低，可使壓電振動片的振 0 而且，可在蓋體基板形成用以收納壓電振動片 。將此凹部的側壁上面接合於基底基板的周邊部。 ，在凹部的底面與側壁上面之間形成第一及第二階 從側壁的內側面到第一及第二階差部的上面形成第 二階差電極。此第一階差電極是電性連接導體膜與 接部，第二階差電極是電性連接導體膜與第二連接 如此’只要在第一及第二連接部所被設置的位 形成第一及第二階差部，經由此第一及第二階差電 接至導體膜，便可降低第一及第二連接部的高度。 只要使壓電振動片的安裝部側的表面與第一及第二 的上面形成離基底基板的表面同程度的距離，便可 工程同時形成安裝部與第一及第二連接部。例如， 屬凸塊來形成安裝部與第一及第二連接部時，可在 程載置同一金屬的凸塊，以同一工程來連接（覆晶 。以下’利用圖面來詳細說明。 (第一實施形態） 利用圖1及圖2來說明本發明的第一實施形態的 動子1。圖1是壓電振動子1的說明圖，圖丨（a)爲 面的法 的位置 第二激 動安定 的凹部 此情況 差部， 一及第 第一連 部。 置分別 極來連 例如， 階差部 在同一 藉由金 同一工 連接） 壓電振 壓電振 -12- 201212308 動子1的外觀圖，圖1 (b)爲分解立體圖。圖2是壓電振動 子1的說明圖，圖2(a)爲基底基板2的上面模式圖，圖2 (b)爲部分BB的剖面模式圖，圖2(c)爲部分AA的剖面 模式圖。對於同一部分或具有同一機能的部分附上同—符 硫。 如圖1所不，壓電振動子1是具備：基底基板2、及安 裝於基底基板2的表面之壓電振動片4、及形成凹部16,經 由接合構件13來接合凹部16的側壁上面與基底基板2的周 邊部之蓋體基板3。在此，壓電振動片4是使用以AT模式 來振動的水晶板。基底基板2與蓋體基板3是使用玻璃材料 。基底基板2與蓋體基板3是藉由陽極接合來接合。矩形狀 的壓電振動子1的長邊是數mm以下，厚度是0.1mm以下。 基底基板2是具有矩形形狀。基底基板2是在其對角區 域具備從表面Η貫通至背面R的2個貫通電極l〇a、l〇b,在 其表面Η的周邊部具有接合構件13。基底基板2是在其表 面Η的一方的短邊附近接合構件1 3的內周側具備第一及第 二繞拉電極5a ' 5b '及形成於第一及第二繞拉電極5a、5b 上的第一及第二安裝部9a、9b。基底基板2是在其表面Η的 另一方的短邊附近接合構件13的內周側具備從上述一方的 短邊附近延伸設置的第一繞拉電極5 a。接合構件1 3是例如 由鋁或矽等的導體膜所形成。 基底基板2更具備在第一安裝部9a的附近及第一貫通 電極l〇a的附近延伸設置接合構件13的第一連接部7a及第 二連接部7b。第一連接部7a是在第一安裝部9a的附近電性 -13- 201212308 連接第一繞拉電極5a及接合構件13，第二連接部7b是在第 —貫通電極10a的附近電性連接第一繞拉電極5a及接合構 件13。因此’第一安裝部9£1與第—貫通電極10a之間的電 阻是降低接合構件1 3的電流路徑所增加的部分。基底基板 2是具備：形成於其背面R的一方的短邊的另一方的角部之 第二外部電極Ub、及形成於另一方的短邊的一方的角部 之第一外部電極11a、及形成於其他的角部之虛擬電極Uc 。第二外部電極lib與第二貫通電極i〇b、及、第一外部電 極11a與第一貫通電極l〇a是分別電性連接。 壓電振動片4是由矩形形狀的薄板所構成，在其兩表 面分別具備用以驅動壓電振動片4的第一或第二激發電極 6a、6b (參照圖2 ( b ))。壓電振動片4更從一方的短邊 附近的一方的表面經由該短邊的側面來到另一方的表面具 備第一及第二端子電極12a、12b，第一端子電極12a是連 接至第一激發電極6a，第二端子電極12b是連接至第二激 發電極6 b。壓電振動片4是以單方固定狀態來安裝於第一 及第二安裝部9a、9b。蓋體基板3是在其基底基板2側的表 面具備凹部16，收納壓電振動片4。凹部16的底面15爲平 坦面。 利用圖2來更具體地說明。在基底基板2的外周部設置 例如由鋁或矽等的導體膜所構成的接合構件1 3。在形成於 基底基板2的外周部之接合構件1 3的內周側，一方的短邊 (以下稱爲下邊）及右邊的角部區域設置第二貫通電極 l〇b，在另一方的短邊（以下稱爲上邊）及左邊的角部區 -14- 201212308 域設置弟~貫通電極l〇a。第一及第二貫通電極10a、l〇b 可使用導電接著材或金屬。若使用金屬來將其表面與玻璃 材料融著，則可長期間保持氣密性。 在基底基板2的表面Η，接合構件1 3的內周側，使第 一及第二繞拉電極5a、5 b彼此電性分離而形成。第一繞拉 電極5a是從接合構件13的內周側的下邊及左邊的角部區域 沿著左邊來延伸至另一方的短邊（以下稱爲上邊），覆蓋 第一貫通電極10a的上面，而與第一貫通電極10 a電性連接 。第二繞拉電極5b是在接合構件1 3的內周側的下邊及左邊 的角部區域覆蓋第二貫通電極10b的上面，而與第二貫通 電極1 Ob電性連接。在蓋體基板3之壓電振動片4側的表面 形成凹部1 6，經由接合構件1 3來陽極接合凹部1 6的側壁上 面與基底基板2的周邊。第一及第二繞拉電極5a、5b可使 用金屬膜，例如Au/Cr等。 在下邊附近的第一及第二繞拉電極5a、5b之上設置彼 此分離的第一及第二安裝部9a、9b (參照圖1)，且在其 上將壓電振動片4安裝成單方固定狀。並且，在下邊及左 邊的角部區域與上邊及左邊的角部區域的第一繞拉電極5a 之上形成使接合構件13延伸的第一及第二連接部7a、7b。 第一及第二安裝部9a、9b可使用導電性接著材或金屬凸塊 。若使用金屬凸塊，則在壓接壓電振動片4時以短時間固 化，且往橫方向的擴展也少，所以可容易電性分離第一安 裝部9a與第二安裝部9b，合適於壓電振動片4的單方固定 狀安裝。另外，作爲第一及第二連接部7a、7b，亦可將第 -15- 201212308 —繞拉電極5a延伸設置於接合面而連接至接合構件13，取 代使接合構件13延伸至第一繞拉電極5a的側。又，亦可從 第一連接部7a到第二連接部7b連續性地連接作爲形成於接 合面的導體膜的接合構件13與第一繞拉電極5a。 第一安裝部9a是與形成於壓電振動片4的下邊之第一 端子電極12a電性連接，第二安裝部9b是與形成於壓電振 動片4的下邊之第二端子電極12b電性連接。並且，第一繞 拉電極5a與接合構件13是在第一連接部7a與第二連接部7b 導通。而且，由基底基板2的表面Η的法線方向來看，形 成於壓電振動片4的第一及第二激發電極6a、6b與第一及 第二繞拉電極5a、5b是設置成不重疊。 此結果，第一激發電極6a是經由第一端子電極12a、 第一安裝部9a、第一繞拉電極5 a與接合構件13、及第一貫 通電極10a來電性連接至第一外部電極11a，第二激發電極 6b是經由第二端子電極12b、第二安裝部9b、第三繞拉電 極5c及第二貫通電極10b來與第二外部電極lib電性連接。 藉此，對第一及第二外部電極1 1 a、n b給予驅動用的電力 來使壓電振動片4振動，而可從第一及第二外部電極lla、 1 lb取出頻率訊號。 由於第一繞拉電極5a與接合構件13是在第一及第二連 接部7a、7b電性連接，所以形成並聯，可降低繞拉電阻。 又，由於第一及第二繞拉電極5a、5b與第一及第二激發電 極6a、6b是形成平面視不重疊，因此繞拉電極的寄生電容 會降低，可謀求振動的安定化。另外，上述第一實施形態 -16- 201212308 是在蓋體基板3形成凹部，但亦可取得代之，在g 形成凹部。此情況’只要將第一繞拉電極5 a或第 安裝部9a、9b形成於凹部底面，第—及第二連接 是從凹部上面經由其內側面來形成於凹部底面即 (第二實施形態） 圖3是本發明的第二實施形態的壓電振動子i 。圖3 (a)爲蓋體基板3的上面模式圖，圖3 (b) a )的部分B B的壓電振動子1的剖面模式圖，圖 圖3 ( a )的部分A A的壓電振動子1的剖面模式圖 實施形態相異的部分是在蓋體基板3的凹部16的 底面1 5之間設置階差部1 7，從該階差部1 7的表面 的上面設置階差電極1 8的點、及在階差電極1 8與 5之間設置連接部7的點，其他的部分則是與第一 相同。因此，以下主要說明有關與第一實施形態 分。對相同的部分或具有同一機能的部分附上同 如圖3所示，在蓋體基板3的基底基板2側設 ，在此凹部1 6的側壁與底面1 5之間，下邊與左邊 上邊與左邊的角部分別形成第一階差部1 7a及第 17b。從第一及第二階差部l7a、17b的各階差上 部1 6的內側面到凹部1 6的上面，形成與接合構件 接的第一及第二階差電極18a、18b。更在接近第 9a的下邊與左邊的角部的第一繞拉電極5 a之上設 接部7a，在接近第一貫通電極l〇a的上邊與左邊 6底基板2 一及第二 部 7 a ' 7 b 可。 的說明圖 1爲圖3 ( 3 ( c )爲 。與第一 內側壁與 到內側面 繞拉電極 實施形態 相異的部 一符號。 置凹部16 的角部及 二階差部 面經由凹 1 3電性連 一安裝部 置第一連 的角部的 -17- 201212308 第一繞拉電極5a之上設置第二連接部7b。第一連接部7 a的 上面會接觸於第一階差電極18a而電性連接，第二連接部 7b的上面會接觸於第二階差電極18b而電性連接。藉此， 從基底基板2的下邊到上邊，第一繞拉電極5 a與接合構件 1 3是並聯。另外，接合構件1 3的電流通路是存在左邊側與 下邊、右邊及上邊側的2個，因此可使從第一安裝部9a到 第一貫通電極1 〇a之間的電阻更降低。 使從第一及第二階差部1 7a、1 7b的各階差上面到基底 基板2的表面Η的距離大槪形成與從壓電振動片4的基底基 板2側的表面到表面Η的距離幾乎相同。爲此，在第一及 第二連接部7a、7b形成與第一及第二安裝部9a、9b相同的 安裝構件，例如金屬凸塊，可藉由覆晶接合壓電振動片4 來同時形成。第一及第二繞拉電極5a、5 b是形成不與形成 於壓電振動片4的兩面之第一及第二激發電極6a、6b平面 視重疊。 另外，第一及第二階差部17a、17b亦可取代只形成於 下邊與左邊的角部及上邊與左邊的角部，而形成於左邊的 內側壁全體，或形成於凹部1 6的內側壁全體《並且，在上 述第一或第二實施形態中，將第一及第二貫通電極丨〇a、 l〇b設置於矩形狀基底基板2的對角區域，但本發明並非限 於此’亦可將第一或第二貫通電極10a、10b分別設置於對 向的邊，或設置於一個的邊。 (第三實施形態） -18- 201212308 圖4是本發明的第三實施形態的振盪器40的上面模式 圖。如圖4所示般，振盪器40是具備：基板43、設置於此 基板上之上述第一或第二實施形態的壓電振動子1、積體 電路4 1及電子零件42。壓電振動子1是根據給予外部電極 11a、lib的驅動訊號來生成一定頻率的訊號，積體電路41 及電子零件42會處理從壓電振動子1所供給之一定頻率的 訊號，而生成時脈訊號等的基準訊號。由於本發明的壓電 振動子1可形成高可靠度且小型，因此可使振盪器40的全 體構成更小型。 【圖式簡單說明】 圖1是本發明的實施形態的壓電振動子的說明圖。 圖2是本發明的實施形態的壓電振動子的說明圖。 圖3是本發明的實施形態的壓電振動子的說明圖。 圖4是本發明的實施形態的振盪器的上面模式圖。 圖5是以往周知的壓電振動子的說明圖。 【主要元件符號說明】 1 :壓電振動子 2 :基底基板 3 :蓋體基板 4 :壓電振動片 5a:第一繞拉電極 5b:第二繞拉電極 -19- 201212308 6a :第一激發電極 6b :第二激發電極 9a :第一安裝部 9b :第二安裝部 l〇a:第一貫通電極 1 Ob :第二貫通電極 1 1 a :第一外部電極 1 lb :第二外部電極 12a :第一端子電極 12b :第二端子電極 1 3 :接合構件 17a :第一階差部 1 7 b :第二階差部 18a :第一階差電極 40 :振盪器

Claims (1)

1. 201212308 七、申請專利範圍·· 1. 一種壓電振動子，係具備： 基底基板； 壓電振動片，其係於上述基底基板的表面所形成的安 裝部中以單方固定狀態來保持；及 蓋體基板，其係接合於上述基底基板，以能夠覆蓋上 述壓電振動片的方式收納， 其特徵爲： 上述壓電振動片係於其外表面具有驅動用的第一及第 二激發電極， 上述基底基板係具有：從其表面貫通至相反側的背面 之第一及第二貫通電極、及形成於上述表面，一端連接至 上述第一貫通電極，另一端連接至上述安裝部之第一繞拉 電極、及電性連接至上述第一繞拉電極，位於上述安裝部 的附近之第一連接部與位於上述第一貫通電極的附近之第 二連接部， 在上述基底基板與上述蓋體基板所接合的接合面係形 成有導體膜，上述第一繞拉電極與上述導體膜係於上述第 一及第二連接部電性連接， 上述第一激發電極係經由上述安裝部和上述第一繞拉 電極及上述導體膜來與上述第一貫通電極電性連接，上述 第二激發電極係經由上述安裝部來與上述第二貫通電極電 性連接》 2. 如申請專利範圍第1項之壓電振動子，其中，上述 -21 - 201212308 壓電振動片係具有平板形狀，上述第一激發電極與上述第 二激發電極係分別與上述平板形狀的表面及背面對面形成 » 上述第一繞拉電極係使上述基底基板由其表面的法線 方向來看時，設置於不與上述第一及第二激發電極重疊的 位置。 3 .如申請專利範圍第1項或第2項之壓電振動子，其中 ，上述蓋體基板係具有用以收納上述壓電振動片的凹部， 構成上述凹部的側壁的上面係接合於上述基底基板， 在上述側壁的上面與上述凹部的底面之間形成有第一 及第二階差部， 從上述側壁的內側面到上述第一及第二階差部的上面 分別形成有第一及第二階差電極， 上述第一階差電極係電性連接上述導體膜與上述第一 連接部，上述第二階差電極係電性連接上述導體膜與上述 第二連接部。 4.一種振盪器，其特徵係具備： 如申請專利範圍第1〜3項中的任一項所記載之壓電振 動子；及 對上述壓電振動子供給驅動訊號的驅動電路。 -22-