TW201522901A - 位移感測器 - Google Patents

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Abstract

目的在於抑制以受光部受光的光量減少。 位移感測器(10)，係具有：將檢測光和反射檢測光加以分歧的偏光分光鏡(23)；以及將前往可變焦距鏡(27)的入射光和反射光加以分歧的偏光分光鏡(25)，並且具備將檢測光及反射檢測光之偏光加以變更的法拉第旋轉器(24)、以及1/4波長板(26)。偏光分光鏡(23、25)是藉由法拉第旋轉器(24)及1/4波長板(26)，使分歧之兩道光的偏光角度設定為各自之偏光分光鏡的P偏光和S偏光。因此，可以藉由偏光分光鏡(23、25)將兩道光加以分歧，並且抑制藉由偏光分光鏡(23、25)分歧而使受光部受光的光量減少。

Description

位移感測器
本發明有關於光學式位移感測器。
以往是採用光學式位移感測器作為以非接觸方式測量被測量對象之位移的位移感測器(參照專利文獻1)。此位移感測器是在將從投光部射出的光束往被測量對象射出，且以受光部來受光從被測量對象所反射之光束的構造中，將往被測量對象射出之光束的投光光軸，以及從被測量對象所反射之光束的受光光軸來配置於同軸上。而且，依據從投光部至被測量對象的光路長度，以及藉著使從被測量對象至受光部的光路長度連續變化而產生變化之受光部的射出訊號，取得關於到達被測量對象距離的資訊。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1 日本特開2003-240509號公報
不過，於以往的構造中是採用半鏡，來作為將投光側之光束和受光側之光束加以分歧的分歧構件。當使用半鏡作為分歧構件時，在使用半鏡將從投光部射出的光束導引至投光光軸之際，光量將會減半。另外，使用半鏡將從被測量對象反射之光束導引至受光部時，光量會減半。因此，產生了以受光部受光的光量減少的問題。
於本說明書中揭示可以抑制以受光部受光之光量減少的技術。
本說明書所揭示的位移感測器，是具備：投光部，是將第1偏光狀態的檢測光射出；第1分歧構件，是具有將入射之光分歧成具第1偏光狀態之光和具第2偏光狀態之光而射出的性質，且讓從前述投光部入射之第1偏光狀態的檢測光通過；第1偏光旋轉構件，是將從前述第1分歧構件入射之第1偏光狀態的檢測光旋轉成第3偏光狀態的檢測光；反射構件，是配置在從前述第1偏光旋轉構件至被測量對象的光路中，且相對於光軸方向垂直配置；第2分歧構件，是具有將入射之光分歧成具第3偏光狀態之光和具第4偏光狀態之光而射出的性質，且讓從前述第1偏光旋轉構件入射之第3偏光狀態的檢測光通過而導引至前述反射構件的同時，將以前述反射構件反射之檢 測光導引至被測量對象，並且將由被測量對象反射的反射檢測光，在檢測光導引至該被測量對象的光路中往反方向導引；受光部，是將從前述第2分歧構件入射之反射檢測光透過前述第1偏光旋轉構件及前述第1分歧構件進行受光；第2偏光旋轉構件，是配置於前述第2分歧構件至前述反射構件之光路中；移動控制部，是使檢測光的焦點位置朝光軸方向移動；位置決定部，是由前述受光部的受光量決定光軸方向之被測量對象的位置；前述第2偏光旋轉構件是使從前述第2分歧構件入射之第3偏光狀態的檢測光旋轉為第4偏光狀態的檢測光後回到前述第2分歧構件，且從前述第2偏光旋轉構件入射之第4偏光狀態的檢測光是通過前述第2分歧構件而導引至被測量對象，作為第4偏光狀態的反射檢測光通過前述第2分歧構件再度射出至前述反射構件，前述第2偏光旋轉構件進一步使從前述第2分歧構件入射之第4偏光狀態的檢測光旋轉為第3偏光狀態的檢測光後回到前述第2分歧構件，且從前述第2偏光旋轉構件入射之第3偏光狀態的反射檢測光是通過前述第2分歧構件而射出至前述第1偏光旋轉構件，前述第1偏光旋轉構件，是將從前述第2偏光旋轉構件入射之第3偏光狀態的檢測光旋轉成第2偏光狀態的檢測光；前述第1分歧構件是讓從前述第1偏光旋轉構件入射之第2偏光狀態的檢測光通過而導引至前述受光部。
於此位移感測器中具有第1偏光旋轉構件和第2偏光旋轉構件。第1偏光旋轉構件，是將從第1分歧 構件入射之第1偏光狀態的檢測光作為第2偏光狀態的反射檢測光來入射於第1分歧構件。第2偏光旋轉構件，是將從第2分歧構件入射於反射構件之第3偏光狀態的檢測光作為第4偏光狀態之檢測光來入射於第2分歧構件，將第4偏光狀態的反射檢測光作為第3偏光狀態的反射檢測光來入射於第2分歧構件。也就是因為第1偏光旋轉構件及第2偏光旋轉構件，是將與第1分歧構件及第2分歧構件之射出光的偏光狀態不同之偏光狀態的入射光返回，所以第1分歧構件及第2分歧構件可利用偏光將射出光和入射光加以分歧。
並且，於這些分歧構件中，入射光的偏光狀態在第1分歧構件設定為第1偏光狀態及第2偏光狀態，在第2分歧構件設定為第3偏光狀態及第4偏光狀態。因此，前往分歧構件的入射光不分歧地通過，且與前往分歧構件的入射光通過分歧構件時被分歧的情況做比較，由於不會因分歧使受光部受光的光量減少，可以抑制分歧構件所導致之光量減少。
另外，上述之位移感測器亦可構成：前述反射構件是可變焦距鏡，該可變焦距鏡具備有薄板狀的鏡部以及將前述鏡部往與其表面垂直方向可移動地支撐的基座部，前述移動控制部是藉著對前述可變焦距鏡施加電壓來使前述鏡部的位置相對於前述基座部朝光軸方向移動而讓前述鏡部的曲率變化，且使檢測光的焦點位置朝光軸方向移動。
於此位移感測器中反射構件為可變焦距鏡。可變焦距鏡因為其本身發揮了作為聚光透鏡或擴散透鏡的功能，所以相較於在除了可變焦距鏡再配置聚光透鏡或擴散透鏡的情況，可以削減裝置的製造成本。
藉由本發明可以抑制以受光部受光的光量減少。
10‧‧‧位移感測器
11‧‧‧光纖
12‧‧‧光源
23‧‧‧偏光分光鏡
24‧‧‧法拉第旋轉器
25‧‧‧偏光分光鏡
26‧‧‧1/4波長板
27‧‧‧可變焦距鏡
27A‧‧‧鏡部
27B‧‧‧基座部
31‧‧‧光二極體
41‧‧‧位置檢測部
45‧‧‧移動控制部
51‧‧‧CPU
W‧‧‧被測量對象
第1A圖是位移感測器的概略構造圖
第1B圖是焦點位置的放大圖
第2圖是說明檢測光之偏光狀態的圖
第3圖是說明反射檢測光之偏光狀態的圖
第4圖是其他實施方式之位移感測器的概略構造圖
第5圖是其他實施方式之位移感測器的概略構造圖
<實施方式>
將一實施方式使用第1圖至第3圖進行說明。
1.位移感測器10的構造
如第1圖所示般，位移感測器10是以下述構件作為主體所構成：將檢測光射出的光纖11；用來接受以被測量對象W反射之反射檢測光的光二極體31；使來自光纖11的檢測光會聚而射出至被測量對象W，並且使來自被測量對象W的反射檢測光會聚而射出至光二極體31的光學構件群21；用來使檢測光的焦點位置朝光軸方向移動的移動控制部45；以及CPU51。光纖11是投光部的一例，光二極體31是受光部的一例，CPU51是位置決定部的一例。
位移感測器10是同軸對焦系統，換言之形成為在射出至被測量對象W之檢測光的光軸、以及以被測量對象W反射之反射檢測光的光軸是被配置於同一個光軸C1上，並且在檢測光的焦點產生於被測量對象W上的情況(以下，稱為對焦時)下，光二極體31的受光量為最大的光學系統，可以從對焦時之檢測光的焦點位置決定被測量對象W在光軸C1方向上的位置。
光學構件群21為複數光學構件構成，具有：準直透鏡22，偏光分光鏡23、25，法拉第旋轉器24，1/4波長板26，可變焦距鏡27，及焦點透鏡29等。偏光分光鏡23、25是將入射之光分歧為P偏光和S偏光，且讓P偏光穿透並將S偏光反射。偏光分光鏡23是第1分歧構件的一例，且偏光分光鏡25是第2分歧構件的一例。另外，於光二極體31前方配置具有針孔30A的光圈部30。
當從CPU51朝向光源12送出光源控制訊號 Sa時，點亮光源12且從連接於光源12之光纖11射出直線偏光的檢測光。然後，檢測光以準直透鏡22變換為平行光後，入射於偏光分光鏡23。如第2圖所示般，偏光分光鏡23是以使來自光纖11的檢測光與偏光分光鏡23的P偏光一致的方式配置，且檢測光是不分歧地穿透偏光分光鏡23而入射於法拉第旋轉器24。偏光分光鏡23的P偏光是第1偏光狀態的一例，且於第2圖、第3圖中標示為P1。偏光分光鏡23的S偏光是第2偏光狀態的一例，且於第2圖、第3圖中標示為S1。另外，法拉第旋轉器24是第1偏光旋轉構件的一例。
法拉第旋轉器24使通過之檢測光在直線偏光的狀態下旋轉其偏光角度45°。因此，入射於偏光分光鏡25之檢測光的偏光角度成為偏光分光鏡23的P偏光和S偏光的中間角度。另一方面，偏光分光鏡25是以使來自法拉第旋轉器24的檢測光與偏光分光鏡25的S偏光一致的方式配置，且檢測光是不分歧地被偏光分光鏡25反射而入射於1/4波長板26。偏光分光鏡25的S偏光是第3偏光狀態的一例，且於第2圖~第4圖中標示為S2。偏光分光鏡25的P偏光是第4偏光狀態的一例，且於第2圖~第4圖中標示為P2。
1/4波長板26是設置於從偏光分光鏡25至可變焦距鏡27的光路中。1/4波長板26是相對於檢測光之波長的1/4波長板，被偏光分光鏡25反射之檢測光以可變焦距鏡27之反射面Re反射而回到偏光分光鏡25時， 使檢測光之偏光角度旋轉90°。因此，從1/4波長板26返回之檢測光的偏光角度與偏光分光鏡25的P偏光一致，且檢測光不分歧地穿透偏光分光鏡25。檢測光是藉著以往上側凸起之可變焦距鏡27的反射面Re反射來聚光而射出至被測量對象W。1/4波長板26是第2偏光旋轉構件的一例。
來自被測量對象W的反射檢測光是入射至偏光分光鏡25。偏光分光鏡25是將反射檢測光在檢測光導引至被測量對象W的光路中朝反方向導引。如第3圖所示般，入射於偏光分光鏡25時的反射檢測光之偏光角度，是射出至被測量對象W之檢測光之偏光角度，也就是維持在偏光分光鏡25的P偏光，且偏光分光鏡25是讓具有偏光分光鏡25之P偏光的反射檢測光不分歧地穿透而入射於1/4波長板26。
1/4波長板26是與檢測光的情況相同地，通過偏光分光鏡25之反射檢測光以可變焦距鏡27之反射面Re反射而回到偏光分光鏡25時，使檢測光之偏光角度旋轉90°。因此，從1/4波長板26返回之反射檢測光成為偏光分光鏡25的S偏光，且反射檢測光是不分歧地被偏光分光鏡25反射而入射於法拉第旋轉器24。此時，反射檢測光是藉著以可變焦距鏡27的反射面Re反射，變換為平行光而入射於法拉第旋轉器24。
法拉第旋轉器24與檢測光的情況相同地，使通過之反射檢測光在直線偏光的狀態下旋轉其偏光角度 45°。因此，入射於偏光分光鏡23之反射檢測光的偏光角度，是與偏光分光鏡23的S偏光一致。也就是法拉第旋轉器24，是藉著檢測光和反射檢測光通過使偏光角度旋轉90°，且將偏光分光鏡23之具有P偏光的檢測光，變更為偏光分光鏡23之具有S偏光的反射檢測光。
因此，反射檢測光是不分歧地被偏光分光鏡23反射而以焦點透鏡29會聚(聚光)。而且，反射檢測光是通過光圈部30的針孔30A入射至光二極體31受光。以光二極體31受光之反射檢測光，是在光二極體31內進行光電變換後，作為依照該受光量的受光訊號Sb而輸出至CPU51。
可變焦距鏡27具備有薄板狀的鏡部27A以及可將鏡部27A往與其表面垂直方向移動地支撐的基座部27B，且設置於從偏光分光鏡23至被測量對象W的光路中。鏡部27A是相對於光軸C1方向垂直配置且下側面具有反射面Re。於基座部27B設置有未圖示的固定電極，移動控制部45是電性連接於是鏡部27A及固定電極。可變焦距鏡27是反射構件的一例。
移動控制部45是當從CPU51送來控制訊號Sc時，於鏡部27A和固定電極之間供給即定頻率的脈衝電壓或交流電壓。因此，靜電力在鏡部27A和固定電極之間作用，鏡部27A之中央部是相對於基座部27B朝光軸C1方向移動。鏡部27A之中央部的移動量是隨著脈衝電壓或交流電壓的即定頻率變化，且鏡部27A是相對於基座 部27B以該即定頻率振動。因此，鏡部27A的曲率是以即定頻率變化。
當鏡部27A的曲率變化時，檢測光的焦點位置產生變化。如第1圖以虛線所示般，鏡部27A於光軸C1方向上朝離開被測量對象W之方向移動時，於光軸C1方向上檢測光的焦點位置是朝接近可變焦距鏡27的方向移動(參照第1B圖)。另外，如第1圖以雙虛鏈線所示般，鏡部27A於光軸C1方向上朝接近被測量對象W之方向移動時，於光軸C1方向上檢測光的焦點位置是朝離開可變焦距鏡27的方向變化(參照第1B圖)。
CPU51是使用位置檢測部41檢測出鏡部27A之中央部的位置，也就是鏡部27A的曲率。位置檢測部41，是具備雷射二極體42和光二極體43及雷射驅動控制回路44，且以三角測量方式來檢測可變焦距鏡27之鏡部27A的位置。當從CPU51對雷射驅動控制回路44送出發光訊號Sd時，從雷射驅動控制回路44流通了驅動電流至雷射二極體42，而從雷射二極體42射出雷射光。雷射光是入射於鏡部27A的反射面Re的背面來反射，且入射至光二極體43進行受光。以光二極體43受光之反射雷射光，是在光二極體43內進行光電變換後，作為對應該受光量的受光訊號Se而輸出至CPU51。受光訊號Se是位置訊號的一例。
CPU51是從受光訊號Sb為最大之對焦時的受光訊號Sb，檢測出鏡部27A的曲率且求出檢測光的焦點 位置。對焦時，由於被測量對象W存在於檢測光的焦點位置，所以可以定位被測量對象W在光軸C1方向上的位置。
2.本實施方式的效果
(1)本實施方式之位移感測器10具有法拉第旋轉器24。法拉第旋轉器24，是將從偏光分光鏡23入射之偏光分光鏡23之具有P偏光的檢測光，作為偏光分光鏡23之具有S偏光的反射檢測光來入射於偏光分光鏡23。也就是法拉第旋轉器24，是將與從偏光分光鏡23射出的檢測光不同之偏光角度的反射檢測光返回，所以作為將檢測光和反射檢測光加以分歧的光學構件，可以使用藉由偏光進行分歧的偏光分光鏡。
(2)而且，於本實施方式之位移感測器10中，入射於偏光分光鏡25之檢測光的偏光角度是藉由法拉第旋轉器24等，設定為偏光分光鏡25的P偏光或S偏光。因此，入射至偏光分光鏡25之檢測光及反射檢測光不分歧地通過(穿透及反射)。所以，相較於在通過偏光分光鏡25時檢測光及反射檢測光被分歧的情況，不會由於分歧減少受光部所受光的光量，因而可以抑制分歧構件所造成的光量減少。
(3)本實施方式之位移感測器10具有1/4波長板26。1/4波長板26是設置於從偏光分光鏡25至可變焦距鏡27的光路中，且將從偏光分光鏡25入射之偏光分 光鏡25之具有S偏光的檢測光作為偏光分光鏡25之具有P偏光的檢測光來入射於偏光分光鏡25。另外，將從偏光分光鏡25入射之偏光分光鏡25之具有P偏光的反射檢測光，作為偏光分光鏡25之具有S偏光的反射檢測光來入射於偏光分光鏡25。也就是1/4波長板26，是將與從偏光分光鏡25射出的射出光不同之偏光角度的入射光返回，所以作為將射出光和入射光加以分歧的光學構件，可以使用藉由偏光進行分歧的偏光分光鏡。
(4)而且，於本實施方式之位移感測器10中，入射於偏光分光鏡25之檢測光的偏光角度是藉由1/4波長板26等，設定為偏光分光鏡25的P偏光或S偏光。因此，入射至偏光分光鏡25之檢測光及反射檢測光不分歧地通過(穿透及反射)。所以，相較於在通過偏光分光鏡25時檢測光及反射檢測光被分歧的情況，不會由於分歧減少受光部所受光的光量，因而可以抑制分歧構件所造成的光量減少。
(5)本實施方式之位移感測器10具有可變焦距鏡27。可變焦距鏡27因為其本身發揮了作為聚光透鏡的功能，所以相較於在除了可變焦距鏡27再配置聚光透鏡的情況，可以削減裝置的製造成本。
<其他實施方式>
本發明並非限定於藉由上述敘述及圖式所說明的實施方式，例如下述般之各種態樣亦包含於本發明之技術範 圍。
(1)上述實施方式中，使用以來自法拉第旋轉器24的檢測光與偏光分光鏡25的S偏光一致的方式配置，且可變焦距鏡27與被測量對象W隔著偏光分光鏡25相對向配置的例子來進行說明，但不限於此。例如，在以來自法拉第旋轉器24的檢測光與偏光分光鏡23的P偏光一致的方式配置的情況下，亦可如第4圖所示般，可變焦距鏡27與法拉第旋轉器24隔著偏光分光鏡25相對向配置。
(2)同樣地，相對於偏光分光鏡23之光纖11和光二極體31的位置，亦不限於上述實施方式。例如，在以來自光纖11的檢測光與偏光分光鏡23之S偏光一致的方式配置的情況下，第1圖所示之光纖11和光二極體31的位置亦可反轉配置。
(3)上述實施方式中，使用將準直透鏡22配置於檢測光之光路中的光纖11和偏光分光鏡23之間的例子進行說明，但不限於此。例如，準直透鏡22亦可配置於偏光分光鏡23和法拉第旋轉器24之間。在此情況下，因為準直透鏡22可以發揮將反射檢測光聚光的功能，所以除了準直透鏡22不須要另外配置焦點透鏡29。
(4)上述實施方式中，利用在將檢測光聚光時僅使用可變焦距鏡27進行聚光的例子進行說明，但不限於此。例如，亦可如第5圖所示般，在檢測光之光路中的偏光分光鏡25和被測量對象W之間從被測量對象W側以物鏡28而擴散透鏡32的順序配置。此外，在此情況 下，可變焦距鏡27之鏡部27A不僅可往上側凸起亦可往下側凸起，作為擴散透鏡發揮功能。當檢測光之光路中的偏光分光鏡25和被測量對象W之間配置有物鏡28和擴散透鏡32時，相較於未配置這些透鏡28、32的情況，可縮小檢測光的光點直徑，且可以不受形成於被測量對象W之表面的花紋影響，對被測量對象W在光軸C1方向上的位置進行定位。另外，亦可省略擴散透鏡32，僅配置物鏡28。
(5)上述實施方式中，使用了在接受反射檢測光時，接受通過光圈部30的針孔30A，且入射至光二極體31之反射檢測光的例子進行說明，但不限於此。例如，亦可將受光用的光纖設置在針孔30A的位置，來作為這些的替代。藉著使用受光用的光纖，可將受光元件從被測量對象W遠離而實現頭部之小型化，並且成為抗雜訊措施，可以高精度地對被測量對象W在光軸C1方向上的位置進行定位。
(6)上述實施方式中，使用光纖11作為將檢測光射出的元件進行說明，但不限於此。亦可使用例如雷射二極體、發光二極體等。其中，由於光纖11相較於雷射二極體來說檢測光之發散角穩定於大致固定之值，因而決定光學構件群21之選擇或配置的光學設計更為容易。另外，光纖11由於其本身不發光，所以相較於如雷射二極體般本身會發光的元件，光學構件群21的溫度上昇受到抑制，且可以抑制光學構件群21的溫度上昇所造 成之檢測精度惡化。
(7)上述實施方式中，作為對可變焦距鏡27之鏡部27A的位置進行檢測的位置檢測部41，使用光學式位移感測器且以三角測量方式來檢測位置的例子進行說明，但不限於此。例如，亦可以對焦系的光學式位移感測器來檢測可變焦距鏡27之鏡部27A的位置。
(8)另外，用來檢測可變焦距鏡27之鏡部27A的位置的元件，可不限於光學式位移感測器。在可變焦距鏡27之鏡部27A藉由從移動控制部45所供給之即定頻率的脈衝電壓或交流電壓進行位移的情況下，亦可從脈衝電壓之上升或下降時序或從交流電壓之位相，來檢測出可變焦距鏡27之鏡部27A的位置。
(9)上述實施方式中，使用藉由可變焦距鏡27及移動控制部45使檢測光的焦點位置在光軸C1方向上移動的例子進行說明，但不限於此。例如，先前技術所述般，可配置曲率固定之平面反射鏡和中間透鏡，使該鏡和中間透鏡之間的距離變化來移動檢測光的焦點位置，亦可使用音叉使中間透鏡振動來作為使鏡和中間透鏡之間的距離變化的手段，但是，在使用音叉讓中間透鏡振動的情況下，由於焦點位置相對於光軸C1方向發生轉動，因而造成檢測光的聚光性惡化。因此，較佳為使用不會發生上述問題，而且不須要中間透鏡的可變焦距鏡27。
(10)上述實施方式中使用偏光分光鏡作為「分歧手段」進行說明，但不限於此。例如，亦可使用偏 光全像、直線偏光板等。
(11)上述實施方式中，使用1/4波長板作為「第2偏光旋轉構件」進行說明，但不限於此。例如，亦可使用法拉第旋轉器。
10‧‧‧位移感測器
11‧‧‧光纖
12‧‧‧光源
21‧‧‧光學構件群
22‧‧‧準直透鏡
23‧‧‧偏光分光鏡
24‧‧‧法拉第旋轉器
25‧‧‧偏光分光鏡
26‧‧‧1/4波長板
27‧‧‧可變焦距鏡
27A‧‧‧鏡部
27B‧‧‧基座部
29‧‧‧焦點透鏡
30‧‧‧光圈部
30A‧‧‧針孔
31、43‧‧‧光二極體
41‧‧‧位置檢測部
42‧‧‧雷射二極體
44‧‧‧雷射驅動控制回路
45‧‧‧移動控制部
51‧‧‧CPU
W‧‧‧被測量對象
C1‧‧‧光軸
Re‧‧‧反射面
Sa‧‧‧光源控制訊號
Sb、Se‧‧‧受光訊號
Sc‧‧‧控制訊號
Sd‧‧‧發光訊號

Claims (2)

  1. 一種位移感測器，係具備：投光部，是將第1偏光狀態的檢測光射出；第1分歧構件，是具有將入射之光分歧成具第1偏光狀態之光和具第2偏光狀態之光而射出的性質，且讓從前述投光部入射之第1偏光狀態的檢測光通過；第1偏光旋轉構件，是將從前述第1分歧構件入射之第1偏光狀態的檢測光旋轉成第3偏光狀態的檢測光；反射構件，是配置在從前述第1偏光旋轉構件至被測量對象的光路中，且相對於光軸方向垂直配置；第2分歧構件，是具有將入射之光分歧成具第3偏光狀態之光和具第4偏光狀態之光而射出的性質，且讓從前述第1偏光旋轉構件入射之第3偏光狀態的檢測光通過而導引至前述反射構件的同時，將以前述反射構件反射之檢測光導引至被測量對象，並且將由被測量對象反射的反射檢測光，在檢測光導引至該被測量對象的光路中往反方向導引；受光部，是將從前述第2分歧構件入射之反射檢測光透過前述第1偏光旋轉構件及前述第1分歧構件進行受光；第2偏光旋轉構件，是配置於前述第2分歧構件至前述反射構件之光路中；移動控制部，是使檢測光的焦點位置朝光軸方向移動；以及 位置決定部，是由前述受光部的受光量決定光軸方向之被測量對象的位置，前述第2偏光旋轉構件是使從前述第2分歧構件入射之第3偏光狀態的檢測光旋轉為第4偏光狀態的檢測光後回到前述第2分歧構件，且從前述第2偏光旋轉構件入射之第4偏光狀態的檢測光是通過前述第2分歧構件而導引至被測量對象，作為第4偏光狀態的反射檢測光通過前述第2分歧構件再度射出至前述反射構件，前述第2偏光旋轉構件進一步使從前述第2分歧構件入射之第4偏光狀態的檢測光旋轉為第3偏光狀態的檢測光後回到前述第2分歧構件，且從前述第2偏光旋轉構件入射之第3偏光狀態的反射檢測光是通過前述第2分歧構件而射出至前述第1偏光旋轉構件，前述第1偏光旋轉構件，是將從前述第2偏光旋轉構件入射之第3偏光狀態的檢測光旋轉成第2偏光狀態的檢測光；前述第1分歧構件是讓從前述第1偏光旋轉構件入射之第2偏光狀態的檢測光通過而導引至前述受光部。
  2. 如申請專利範圍第1項之位移感測器，其中，前述反射構件是可變焦距鏡，該可變焦距鏡具備有薄板狀的鏡部以及將前述鏡部往與其表面垂直方向可移動地支撐的基座部，前述移動控制部是藉著對前述可變焦距鏡施加電壓來使前述鏡部的位置相對於前述基座部朝光軸方向移動而讓 前述鏡部的曲率變化，且使檢測光的焦點位置朝光軸方向移動。
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