TW201716736A - 過熱水蒸氣處理裝置及其運轉方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 169
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 101
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 98
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 98
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 71
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001257 Nb alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910001362 Ta alloys Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 19
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 16
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 15
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 15
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 15
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 3
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000008236 heating water Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D7/00—Forming, maintaining or circulating atmospheres in heating chambers
- F27D7/02—Supplying steam, vapour, gases or liquids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D7/00—Forming, maintaining or circulating atmospheres in heating chambers
- F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/34—Methods of heating
- C21D1/42—Induction heating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/0006—Details, accessories not peculiar to any of the following furnaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D11/00—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
- F27D11/06—Induction heating, i.e. in which the material being heated, or its container or elements embodied therein, form the secondary of a transformer
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D21/00—Arrangement of monitoring devices; Arrangement of safety devices
- F27D21/0014—Devices for monitoring temperature
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D7/00—Forming, maintaining or circulating atmospheres in heating chambers
- F27D7/04—Circulating atmospheres by mechanical means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D7/00—Forming, maintaining or circulating atmospheres in heating chambers
- F27D7/02—Supplying steam, vapour, gases or liquids
- F27D2007/023—Conduits
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
一種過熱水蒸氣處理裝置及其運轉方法，過熱水蒸氣處理裝置包括：過熱水蒸氣生成部與過熱水蒸氣收容部，過熱水蒸氣生成部對在內部形成有流道的、由導電性材料構成的流道形成體通電加熱並對流過流道的水蒸氣進行加熱，生成過熱水蒸氣；在該過熱水蒸氣收容部配置有流道形成體的一部分或全部，導入由流道形成體生成的過熱水蒸氣，流道形成體由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，過熱水蒸氣生成部能夠以將流道形成體的溫度切換為小於氧化開始溫度的溫度和氧化開始溫度以上的溫度的方式運轉。
Description
本發明係關於一種從水生成過熱水蒸氣的過熱水蒸氣生成裝置和使用了該過熱水蒸氣生成裝置的處理方法。
近年來，開發了使用過熱水蒸氣對被處理物進行清洗、乾燥或殺菌的過熱水蒸氣處理裝置。
如專利文獻1所示，該過熱水蒸氣處理裝置具備生成過熱水蒸氣的過熱裝置、以及由該過熱裝置生成的過熱水蒸氣所供給的熱處理爐，該過熱水蒸氣處理裝置對該熱處理爐中收容的被處理物進行清洗、乾燥或殺菌。
在該處理裝置中，在熱處理爐的內部設有噴出由該過熱裝置生成的過熱水蒸氣的蒸汽管（導入管）。
在此，在熱處理爐的內部充滿水蒸氣或過熱水蒸氣的狀態下，由於氧不存在或濃度極低，所以難以發生因蒸汽管的氧化導致的劣化。
可是，在熱處理爐的內部未充滿水蒸氣或過熱水蒸氣的狀態下，成為了高溫的蒸汽管與殘留於熱處理爐的內部的大氣中的氧結合並發生氧化。其結果，導致蒸汽管劣化，從而使裝置壽命降低。
現有技術文獻
專利文獻1：日本專利公開公報特開2006-226561號。
有鑑於此，本發明提供一種從水生成過熱水蒸氣的過熱水蒸氣生成裝置和使用了該過熱水蒸氣生成裝置的處理方法，用於解決前述的問題，主要目的是抑制被加熱到高溫的流道形成體的氧化。
本發明提供一種過熱水蒸氣處理裝置，其包括：過熱水蒸氣生成部，對在內部形成有流道的、由導電性材料構成的流道形成體進行通電加熱並對流過該流道的水蒸氣進行加熱，由此生成過熱水蒸氣；以及過熱水蒸氣收容部，在該過熱水蒸氣收容部配置有該流道形成體的一部分或全部，由該流道形成體生成的過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，該流道形成體由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，該過熱水蒸氣生成部能夠以將該流道形成體的溫度切換為小於該氧化開始溫度的溫度和該氧化開始溫度以上的溫度的方式運轉。
在此，氧化開始溫度是比100℃高的溫度，是在大氣中導電性材料的氧化急速進展的溫度。即，在小於氧化開始溫度的溫度下，在大氣中導電性材料的氧化速度小、是實質上能夠無視的程度；在氧化開始溫度以上的溫度下，在大氣中導電性材料的氧化速度變大，因氧化導致的腐蝕大。
按照這種過熱水蒸氣處理裝置，由於能夠以將具有100℃以上的氧化開始溫度的、由導電性材料形成的流道形成體的溫度切換為小於氧化開始溫度的溫度和氧化開始溫度以上的溫度的方式進行運轉，所以只要在使流道形成體小於氧化開始溫度的溫度下運轉並使過熱水蒸氣收容部被水蒸氣或過熱水蒸氣充滿，此後以使流道形成體的溫度成為氧化開始溫度以上的溫度的方式運轉，就能夠防止流道形成體被大氣中的氧氧化。
具體地說，優選的是，在該過熱水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過熱水蒸氣之前，該過熱水蒸氣生成部以使該流道形成體的溫度成為小於該氧化開始溫度的方式運轉並將水蒸氣或過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，在該過熱水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過熱水蒸氣之後，該過熱水蒸氣生成部以使該流道形成體的溫度成為該氧化開始溫度以上的方式運轉並將過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部。
例如，如果在氧化開始溫度以上運轉的狀態下打開過熱水蒸氣收容部的門並取出被處理物，則空氣從外部流入，會導致過熱水蒸氣生成部的流道形成體氧化。因此，優選的是，在從該過熱水蒸氣收容部被過熱水蒸氣充滿且該流道形成體為該氧化開始溫度以上的狀態到成為從該過熱水蒸氣收容部的外部流入過熱水蒸氣以外的氣體的狀態之前，該過熱水蒸氣生成部以使該流道形成體的溫度成為小於該氧化開始溫度的方式運轉。
作為該過熱水蒸氣生成部的具體結構，優選的是，2N個作為該流道形成體的導體管以成為彼此平行的方式配置，N是1以上的整數，2N個該導體管的一端部彼此電連接，在2N個該導體管的另一端部上以與彼此相鄰的另一端部連接的單相交流電源的極性不同的方式交替連接有單相交流電源的U相和V相。按照該結構，由於流過彼此相鄰的導體管的電流成為彼此反向，所以由各個電流產生的磁通彼此抵消，能夠降低導體管產生的阻抗，能夠改善電路功率因數。因此，能夠提高流體加熱裝置的設備效率。
作為該過熱水蒸氣生成部的另一具體結構，優選的是，3N個作為該流道形成體的導體管以成為彼此平行的方式配置，N是1以上的整數，3N個該導體管的一端部彼此電連接，在3N個該導體管的另一端部上以與連續排列的三個另一端部連接的三相交流電源的極性分別不同的方式交替連接有三相交流電源的U相、V相和W相。按照該結構，由於以與連續排列的三個另一端部連接的三相交流電源的極性分別不同的方式連接有三相交流電源的U相、V相和W相，所以由流過連續排列的三個導體管的電流產生的磁通彼此抵消，能夠降低導體管產生的阻抗，能夠改善電路功率因數。因此，能夠提高流體加熱裝置的設備效率。
優選的是，該過熱水蒸氣收容部具有排出部，該排出部將被供給的水蒸氣或過熱水蒸氣排出。按照該結構，能夠總是供給水蒸氣或過熱水蒸氣，並能將過熱水蒸氣收容部總是保持為低氧狀態。
在生成高溫的過熱水蒸氣的情況下，因為過熱水蒸氣收容部內的溫度成為高溫，所以過熱水蒸氣收容部外的流道形成體或與流道形成體連接的流道連接部（例如通電構件和外部配管）也大多成為高溫。在此，過熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部如果成為氧化開始溫度以上，則會導致流道形成體或流道連接部的壽命降低。
因此，優選的是，在該流道形成體或與該流道形成體連接的流道連接部，該過熱水蒸氣收容部外的部分的通電截面面積比該過熱水蒸氣收容部內的部分的通電截面面積大，或者該過熱水蒸氣收容部外的通電部分的電阻比該過熱水蒸氣收容部內的通電部分的電阻小。按照該結構，能夠抑制過熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部的發熱，能夠維持為小於氧化開始溫度，能夠抑制壽命降低。
此外，如果能夠把過熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部冷卻到小於氧化開始溫度，則能夠抑制流道形成體或流道連接部的壽命降低。因此，除了該過熱水蒸氣收容部以外，另外設置有水蒸氣導入部，該流道形成體或與該流道形成體連接的流道連接部貫穿該水蒸氣導入部，並且水蒸氣導入該水蒸氣導入部。按照該結構，通過向水蒸氣導入部導入100℃以上且小於氧化開始溫度的水蒸氣，能夠將過熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部維持為小於氧化開始溫度，能夠抑制壽命降低。
在此，可以從外部將溫度調整過了的過熱水蒸氣導入水蒸氣導入部，也可以在水蒸氣收容部設置過熱水蒸氣產生部，從外部導入飽和水蒸氣並由該過熱水蒸氣產生部產生過熱水蒸氣。
該流道形成體當然必須在熔點以下的溫度下使用。因此，雖然優選的是儘量使用熔點高的材質形成流道形成體，但是在實用上，易得性和加工性、以及材料成本和加工成本都是重要的因素。
例如，具有2000℃以上的熔點的金屬有如下的金屬：
鎢（熔點：3443℃）、鉭（熔點：3027℃）、鋨（熔點：2697℃）、鉬（熔點：2622℃）、鈮（熔點：2500℃）、鈳（熔點2500℃）、銥（熔點：2454℃）、釕（熔點：2427℃）、鋯（熔點：2127℃）。
在該些金屬中，熔點為2000℃以上、易得性和加工性較好且針對高溫過熱水蒸氣不易發生化學變化的是純銥和銥合金。圖7是將鎢、鉭、鉬、鈦和銥在1000℃以上的過熱水蒸氣氣氛中放置了1.5～6小時後的試驗資料。銥的重量減少率為1.4%，為測量誤差的程度，但是鉬的重量減少率為50.5%、鉭的重量減少率為30.8%、鎢的重量減少率為15.7%，都是較大的值，實用化是困難的。而鈦則增加了24.4%，認為這是因為與水分子中的氧原子或氫原子化合後生成了氧化物等導致重量增加了。該情況的材質也變化為其他物質，實用化是困難的。
作為檢測該流道形成體的溫度的具體實施方式，過熱水蒸氣處理裝置可以具備溫度檢測機機構，該溫度檢測機構根據該流道形成體的電阻值，計算該流道形成體的溫度。具體地說，過熱水蒸氣處理裝置包括：電壓檢測部，檢測施加到該流道形成體上的交流電壓；電流檢測部，檢測流過該流道形成體的電流；以及溫度檢測機構，根據通過由該電壓檢測部得到的電壓值和從該電流檢測部得到的電流值得到的阻抗與該流道形成體的溫度的關係，計算該流道形成體的溫度。按照該結構，通過對流道形成體通電，能夠電氣性地測量流道形成體的溫度，能夠容易地測量溫度。此外，過熱水蒸氣處理裝置也可以包括：直流電源，對該流道形成體施加直流電壓；電流檢測部，檢測流過該流道形成體的直流電流；以及溫度檢測機構，根據通過該直流電壓和從該電流檢測部得到的電流值得到的電阻值與該流道形成體的溫度的關係，計算該流道形成體的溫度。
優選的是，除了該流道形成體以外，在過熱水蒸氣收容部內另外設置有金屬體，該金屬體具有100℃以上的氧化開始溫度，該過熱水蒸氣處理裝置還包括溫度檢測機構，該溫度檢測機構根據該金屬體的電阻值，計算該過熱水蒸氣收容部內的氣氛溫度。通過在過熱水蒸氣收容部內設置金屬體，在對金屬體不通電的狀態或流過不會大幅發熱程度的微弱的電流的狀態下，金屬體與過熱水蒸氣收容部內的氣氛溫度成為同等的溫度。根據該金屬體上施加的電壓與流過的電流的關係或者根據間歇性通電時的施加電壓和電流值計算電阻值，並根據該電阻值計算溫度，由此能檢測過熱水蒸氣收容部內的氣氛溫度。在此，優選的是，該金屬體由氧化開始溫度為100℃以上的材質構成，並且其熔點溫度比過熱水蒸氣收容部內的氣氛溫度高。例如，金屬體可以由與流道形成體相同的材料形成。由於這樣使金屬體由具有100℃以上的氧化開始溫度的材質構成，所以能防止金屬體的氧化。
此外，本發明還提供一種過熱水蒸氣處理裝置，其包括：水蒸氣收容部，收容水蒸氣；加熱用構件，設置在該水蒸氣收容部內，由導電性材料構成；以及感應加熱部，設置在該水蒸氣收容部外，對該加熱用構件進行感應加熱，通過被該感應加熱部感應加熱了的該加熱用構件，加熱該水蒸氣收容部內的水蒸氣，由此生成過熱水蒸氣，該加熱用構件由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，該感應加熱部能夠以將該加熱用構件的溫度切換為小於該氧化開始溫度的溫度和該氧化開始溫度以上的溫度的方式運轉。
按照該過熱水蒸氣處理裝置，由於能夠以將由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成的加熱用構件的溫度切換為小於氧化開始溫度的溫度和氧化開始溫度以上的溫度的方式進行運轉，所以只要使加熱用構件在小於氧化開始溫度的溫度下運轉並使水蒸氣收容部被水蒸氣或過熱水蒸氣充滿，此後使加熱用構件的溫度在氧化開始溫度以上的溫度下運轉，就能夠防止加熱用構件被水蒸氣收容部內的大氣中的氧氧化。
此外，本發明提供一種過熱水蒸氣處理裝置的運轉方法，該過熱水蒸氣處理裝置包括：過熱水蒸氣生成部，對在內部形成有流道的、由導電性材料構成的流道形成體進行通電加熱並對流過該流道的水蒸氣進行加熱，由此生成過熱水蒸氣；以及過熱水蒸氣收容部，在該過熱水蒸氣收容部配置有該流道形成體的一部分或全部，由該流道形成體生成的過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，該流道形成體由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，在該過熱水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過熱水蒸氣之前，以使該流道形成體的溫度成為小於該氧化開始溫度的方式使該過熱水蒸氣生成部運轉，並將水蒸氣或過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，在該過熱水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過熱水蒸氣之後，以使該流道形成體的溫度成為該氧化開始溫度以上的方式使該過熱水蒸氣生成部運轉，並將過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部。
另外，本發明還提供一種過熱水蒸氣處理裝置的運轉方法，該過熱水蒸氣處理裝置包括：水蒸氣收容部，收容水蒸氣；加熱用構件，設置在該水蒸氣收容部內，由導電性材料構成；以及感應加熱部，設置在該水蒸氣收容部外，對該加熱用構件進行感應加熱，該過熱水蒸氣處理裝置通過被該感應加熱部感應加熱了的該加熱用構件，加熱該水蒸氣收容部內的水蒸氣，由此生成過熱水蒸氣，該加熱用構件由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，在該水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過熱水蒸氣之前，邊以使該加熱用構件成為小於該氧化開始溫度的溫度的方式使該感應加熱部運轉邊將水蒸氣或過熱水蒸氣導入該水蒸氣收容部，在該水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過熱水蒸氣之後，以使該加熱用構件成為該氧化開始溫度以上的溫度的方式使該感應加熱部運轉。
按照這樣構成的本發明，通過使流道形成體在小於氧化開始溫度的溫度下運轉並使過熱水蒸氣收容部被水蒸氣或過熱水蒸氣充滿，此後使流道形成體的溫度在氧化開始溫度以上的溫度下運轉，由此能夠防止流道形成體被大氣中的氧氧化。
以上之關於本揭露內容之說明及以下之實施方式之說明，係用以示範與解釋本發明之精神與原理，並且提供本發明之專利申請範圍更進一步之解釋。
以下在實施方式中詳細敘述本發明之詳細特徵以及優點，其內容足以使任何熟習相關技藝者，瞭解本發明之技術內容並據以實施，且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式，任何熟習相關技藝者可輕易地理解本發明相關之目的及優點。以下之實施例係進一步詳細說明本發明之觀點，但非以任何觀點限制本發明之範疇。
此外，以下將以圖式揭露本發明之實施例，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到的是，這些實務上的細節非用以限制本發明。另外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之，甚至部分的圖式省略了走線(纜線、或排線)等結構以保持圖面整潔，於此先聲明之。
再者，除非另有定義，本文所使用的所有詞彙，包括技術和科學術語等具有其通常的意涵，其意涵能夠被熟悉此技術領域者所理解。更進一步的說，上述之詞彙的定義，在本說明書中應被解讀為與本發明相關技術領域具有一致的意涵。除非有特別明確的定義，這些詞彙將不被解釋為過於理想化的或正式的意涵。
如圖1所示，本實施方式的過熱水蒸氣處理裝置100包括：通電加熱方式的過熱水蒸氣生成部2，通過加熱水蒸氣而生成過熱水蒸氣；以及過熱水蒸氣收容部3，導入由過熱水蒸氣生成部2生成的過熱水蒸氣。
過熱水蒸氣生成部2通過對導體管21施加交流電壓進行直接通電並利用由導體管21的內部電阻產生的焦耳熱加熱導體管21，由此加熱流過該流道R的水蒸氣，該導體管21是在內部形成有流過水蒸氣的流道R的、由導電性材料構成的流道形成體。
具體地說，如圖2所示，過熱水蒸氣生成部2的兩個導體管21以彼此成為平行的方式配置，該兩個導體管21的作為水蒸氣導入側的一端部21a彼此電連接。各導體管21是呈直管狀的圓筒管，具有相同形狀。
此外，導體管21由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成。即，導體管21在小於氧化開始溫度的溫度下，通過與大氣中的氧結合後形成的氧化膜，處於腐蝕不進展、或者即使腐蝕進展也實質上可以無視的狀態。另一方面，導體管21在氧化開始溫度以上的溫度下，形成於表面的氧化膜被破壞，氧侵入內部而使導電性材料的氧化進一步發展、氧化速度顯著增大。該氧化開始溫度是由導體管21所使用的導電性材料的材質、設想的導體管21的壽命等決定的溫度。
作為形成導體管21的具體的導電性材料，可以使用奧氏體系不銹鋼或因科內爾鎳合金。此外，作為兼備高耐熱性的導電性材料，可以使用熔點溫度為2000℃以上的純銥或銥合金等。
作為所述的各導電性材料的氧化開始溫度的具體例子，例示如下：
奧氏體系不銹鋼：500℃～700℃；
因科內爾鎳合金：900℃；
純銥或銥合金：600℃。
具體地說，兩個導體管21的一端部21a，通過由與導體管21同一材料構成的分流管22電連接。該分流管22與兩個導體管21的一端部21a連接，並且將水蒸氣或過熱水蒸氣分流到該兩個導體管21。此外，在本實施方式中，導體管21和分流管22一體構成。
此外，兩個導體管21的另一端部21b封閉，在導體管21的中途（一端部21a和另一端部21b之間）的側壁上設有多個流體噴出噴嘴23。該多個流體噴出噴嘴23可以在導體管21的側壁上形成在整個周向上，也可以在導體管21的側壁上形成在垂直於排列方向的一側。此外，多個流體噴出噴嘴23在側壁上從一端部21a到另一端部21b等間隔地設置，但是不限於此。
另外，在由分流管22的上游側開口構成的流體導入口上形成有凸緣部221，使得能夠與外部配管（未圖示）連接，該外部配管與感應加熱方式或通電加熱方式的飽和水蒸氣生成部200連接。
此外，單相交流電源24與兩個導體管21的作為流體導出側的另一端部21b連接。具體地說，單相交流電源24的U相與兩個導體管21的另一端部21b的一方連接，單相交流電源的V相與兩個導體管21的另一端部21b的另一方連接。與各導體管21的另一端部21b連接的電極25，是與導體管21同一材質（例如奧氏體系不銹鋼）的實心材料，電極寬度尺寸為導體管21的直徑以下，電極25配置在導體管21的延長線上且呈直線狀。另外，電極寬度尺寸是指與導體管21的管軸方向垂直的方向上的尺寸。此外，電極25的、與導體管21連接的連接部的外表面，與導體管21的外側周面在同一個面上或位於徑向內側。由此，可以簡單地插入過熱水蒸氣收容部3。此外，在電極25上形成有用於連接外部佈線的連接孔251。
在這樣構成的過熱水蒸氣生成部2中，如果從單相交流電源24通過電極25向導體管21施加單相交流電壓，則流過一方的導體管21的電流的流向與流過另一方的導體管21的電流的流向相反。如果這樣做，則由各個電流產生的磁通抵消，能夠使導體管2產生的阻抗降低，能夠改善電路功率因數。因此，能夠提高過熱水蒸氣生成部2的設備效率。
過熱水蒸氣收容部3是形成處理室31的室，該處理室31利用從導體管21的流體噴出噴嘴23噴出的過熱水蒸氣對被處理物W進行熱處理（例如清洗、乾燥、燒成或殺菌）。在此，被處理物W可以利用傳送帶等輸送機構連續地向該處理室31輸送。
具體地說，導體管21以貫穿室3的左側壁32和右側壁33的方式插入設置。此時，在導體管21插入室3的左側壁32和右側壁33的狀態下，多個流體噴出噴嘴23位於室3的左側壁32和右側壁33之間亦即室3的內部空間。
此外，在導體管21插入室3的狀態下，與該導體管21連接的電極25位於室3的外側。由此，僅僅通過在室3的左側壁32和右側壁33上形成用於安裝導體管21的孔，就能夠簡單地裝拆設有電極25的導體管21。即，當將導體管21插入室3進行安裝時或把導體管21從室3拔出進行取下時，能夠防止電極25與左側壁32和右側壁33幹擾而成為障礙。此外，與導體管21連接的單相交流電源24，設置在設於室3的外部的電源室（未圖示）內。這樣設置在與室3不同的空間中的單相交流電源24，通過電氣佈線與導體管的電極25電連接。
此外，在室3中形成有將被供給的水蒸氣或過熱水蒸氣排出的排出部34。該排出部34可以是與外部配管連接的排出口，也可以是向大氣開放的排出口，還可以是與室外部連通的間隙。
接著，參照圖3說明本實施方式的過熱水蒸氣處理裝置100的運轉。
在該過熱水蒸氣處理裝置100中，過熱水蒸氣生成部2能切換為第一運轉和第二運轉，該第一運轉以使導體管21的溫度成為100度以上且小於氧化開始溫度的第一溫度範圍的方式運轉，該第二運轉以使導體管21的溫度成為氧化開始溫度以上的第二溫度範圍的方式運轉。
具體地說，過熱水蒸氣生成部2在作為過熱水蒸氣收容部3的室被水蒸氣或過熱水蒸氣充滿前亦即在室3內殘留有大氣期間，以使導體管21的溫度成為100度以上且小於氧化開始溫度的第一溫度範圍的方式進行第一運轉。在該第一運轉中，控制過熱水蒸氣生成部2的控制裝置4從設在導體管21上用於檢測導體管21的溫度的溫度感測器（未圖示）取得測量值並以使該導體管21的溫度成為第一溫度範圍的規定值的方式對單相交流電源24進行回饋控制。
在該第一運轉中，控制裝置4可以通過從計時器等取得表示開始第一運轉後經過了規定時間的規定時間經過信號來使第一運轉結束。此外，也可以通過由用戶使用外部的輸入裝置向該控制裝置4輸入第一運轉結束信號來使第一運轉結束。此外，還可以在室3的處理室31內設置氧感測器（未圖示），取得來自該氧感測器的測量值，當氧濃度成為零或規定的閾值以下時，使第一運轉結束。
通過這樣進行第一運轉，室3的處理室31內成為被水蒸氣或過熱水蒸氣充滿的狀態，即成為室3內未殘留大氣的狀態。在該狀態下，過熱水蒸氣生成部2以使導體管21的溫度成為氧化開始溫度以上的第二溫度範圍的方式進行第二運轉。在該第二運轉中也和第一運轉中同樣，控制裝置4從設在導體管21上用於檢測導體管21的溫度的溫度感測器（未圖示）取得測量值並以使該導體管21的溫度成為第二溫度範圍的規定值的方式對單相交流電源24進行回饋控制。
在該第二運轉中，控制裝置4可以通過從計時器等取得表示開始第二運轉後經過了規定時間的規定時間經過信號來使第二運轉結束。此外，也可以通過由用戶使用外部的輸入裝置向該控制裝置4輸入第二運轉結束信號來使第二運轉結束。此外，還可以通過取得來自檢測部的檢測信號，當被處理物W的處理結束時使第二運轉結束，該檢測部檢測處理室31內的被處理物W的狀態。
在結束該第二運轉後從過熱水蒸氣收容部取出被處理物時，在導體管21的溫度為氧化開始溫度以上的情況下，從外部流入空氣，會造成過熱水蒸氣生成部的流道形成體氧化。因此，過熱水蒸氣生成部2在從過熱水蒸氣收容部3被過熱水蒸氣充滿且導體管21處於氧化開始溫度以上的狀態到成為空氣流入過熱水蒸氣收容部3的狀態前，以使導體管21的溫度成為小於氧化開始溫度的方式運轉。具體地說，控制裝置4從結束了第二運轉的時點起控制過熱水蒸氣生成部2，使導體管21的溫度成為小於氧化開始溫度。
按照這樣構成的過熱水蒸氣處理裝置100，由於能夠切換為以使導體管21的溫度成為難以被大氣中的氧氧化的溫度範圍的方式進行運轉的第一運轉、和以使導體管21的溫度成為容易被大氣中的氧氧化的溫度範圍的方式進行運轉的第二運轉，所以能夠在室3被水蒸氣或過熱水蒸氣充滿前邊進行第一運轉邊向室內導入水蒸氣或過熱水蒸氣，在室3被水蒸氣或過熱水蒸氣充滿後進行第二運轉向室3內導入過熱水蒸氣。由此，即使在由過熱水蒸氣生成部2生成氧化開始溫度以上的過熱水蒸氣的情況下，也能夠防止導體管21被室3內殘留的大氣中的氧氧化。
另外，本發明不限於該實施方式。
例如，在該實施方式中，向過熱水蒸氣生成部2供給的飽和水蒸氣，來自設置於外部的飽和水蒸氣生成部200，但是也可以與過熱水蒸氣生成部2一起具備飽和水蒸氣生成部。
在該實施方式中，過熱水蒸氣生成部2接收由設置於前段的飽和水蒸氣生成部200生成的飽和水蒸氣，但是在飽和水蒸氣生成部200將飽和水蒸氣進一步加熱生成過熱水蒸氣的情況下，過熱水蒸氣生成部2也可以接收過熱水蒸氣並把接收到的過熱水蒸氣進一步加熱，生成向過熱水蒸氣收容部3供給的所希望的溫度的過熱水蒸氣。
此外，在該實施方式中，說明瞭具有兩個導體管21的過熱水蒸氣生成部2，但是過熱水蒸氣生成部2也可以具有2N個（N是2以上的整數）導體管21。此外，在2N個導體管21的一端部21a通過連接向2N的流道分路的一個分流管22而實現電連接。此外，在2N個導體管21的另一端部21b上以與彼此相鄰的另一端部21b連接的單相交流電源24的極性不同的方式交替連接有單相交流電源24的U相和V相。
此外，如圖4所示，三個導體管21以成為彼此平行的方式配置，該三個導體管21的作為水蒸氣導入側的一端部21a彼此電連接。各導體管21是呈直管狀的圓筒管，並具有相同形狀。此外，三個導體管21在同一平面上等間隔配置。
此外，三個導體管21的另一端部21b封閉，在導體管21的中途（一端部21a和另一端部21b之間）的側壁上設有多個流體噴出噴嘴23。該多個流體噴出噴嘴23可以在導體管21的側壁上形成在整個周向上，也可以在導體管21的側壁上形成在垂直於排列方向的一側。此外，多個流體噴出噴嘴23在側壁上從一端部21a到另一端部21b等間隔地設置，但是不限於此。
此外，三相交流電源與三個導體管21的作為流體導出側的另一端部21b連接。具體地說，在三個導體管21的另一端部21b中，第一個另一端部21b連接有三相交流電源的U相，第二個另一端部21b連接有三相交流電源的V相，第三個另一端部21b連接有三相交流電源的W相。
在這樣構成的過熱水蒸氣生成部2中，如果從三相交流電源通過電極25對導體管21施加三相交流電壓，則由流過三個導體管21的電流產生的磁通抵消，能夠使導體管21產生的阻抗降低，能夠改善電路功率因數。因此，能夠提高過熱水蒸氣生成部2的設備效率。
此外，除了具有三個導體管21的過熱水蒸氣生成部2以外，過熱水蒸氣生成部2也可以具有3N個（N是2以上的整數）導體管21。此外，在3N個導體管21的一端部21a通過連接向3N的流道分路的一個分流管22而實現電連接。此外，在3N個導體管21的另一端部21b上以與連續排列的三個另一端部21b連接的三相交流電源的極性分別不同的方式交替連接有三相交流電源的U相、V相和W相。
在該實施方式的導體管21中，除了設置流體噴出噴嘴23，也可以在側壁上設置多個流體噴出口。該流體噴出口可以在導體管21的側壁上形成在整個周向上，也可以在導體管21的側壁上形成在垂直於排列方向的一側。此外，多個流體噴出口在側壁上從一端部21a到另一端部21b形成在長邊方向上的大體整體上，也可以形成在長邊方向上的一部分上，例如形成在導體管21的長邊方向上的從中央部到另一端部21b上。
此外，也可以通過不封閉導體管的另一端部21b而設置凸緣部等，使該另一端部21b能與外部配管連接。
該實施方式的過熱水蒸氣收容部3，也可以是保溫容器，該保溫容器形成用於收容過熱水蒸氣並保溫的收容室。收容在該保溫容器中的過熱水蒸氣，從設置於保溫容器的流體導出口向外部導出並被利用。在該情況下，收容容器可以具有對收容的過熱水蒸氣進一步加熱的加熱機構，也可以具有用於對過熱水蒸氣進行溫度調節的溫度調節功能。
在導體管21或與導體管21連接的流道連接部中，可以使過熱水蒸氣收容部3外的部分的通電截面面積大於過熱水蒸氣收容部3內的部分的通電截面面積。在此，流道連接部例如是與導體管21連接並與導體管21一起被通電的配管、或與導體管連接卻不被通電的配管等。按照該構成，能夠抑制過熱水蒸氣收容部3外的導體管21或流道連接部的發熱，能夠維持為小於氧化開始溫度，能夠抑制壽命降低。
此外，在導體管21或與導體管21連接的流道連接部中，可以使過熱水蒸氣收容部3外的通電部分的電阻小於過熱水蒸氣收容部3內的通電部分的電阻。例如，可以使過熱水蒸氣收容部3外的通電部分的材質的電阻，低於過熱水蒸氣收容部3內的通電部分的材質的電阻。按照該構成，能夠抑制過熱水蒸氣收容部3外的導體管21或流道連接部的發熱，能夠維持為小於氧化開始溫度，能夠抑制壽命降低。
如圖5所示，在該實施方式的過熱水蒸氣處理裝置100的結構以外，也可以具備冷卻機構，該冷卻機構將過熱水蒸氣收容部3外的導體管21或流道連接部冷卻到100℃以上且小於氧化開始溫度。具體地說，除了過熱水蒸氣收容部3以外，過熱水蒸氣處理裝置100另外具備水蒸氣導入部5，導體管21或與導體管21連接的流道連接部貫穿該水蒸氣導入部5，並且水蒸氣導入該水蒸氣導入部5。
該水蒸氣導入部5設置在過熱水蒸氣收容部3外，形成包圍過熱水蒸氣收容部3外的導體管21或流道連接部的規定範圍的收容空間，使該規定範圍的溫度降低到100℃以上且小於氧化開始溫度。具體地說，水蒸氣導入部5具有：導入口51，導入飽和水蒸氣或過熱水蒸氣；以及導出口52，導出飽和水蒸氣或過熱水蒸氣。在此，可以從外部向水蒸氣導入部5導入溫度調整過的過熱水蒸氣，也可以在水蒸氣導入部5設置過熱水蒸氣產生部（未圖示），從外部導入飽和水蒸氣並通過過熱水蒸氣產生部產生過熱水蒸氣。
按照該構成，通過向水蒸氣導入部5導入100℃以上且小於氧化開始溫度的水蒸氣，能夠使過熱水蒸氣收容部3外的導體管21或流道連接部維持為小於氧化開始溫度，能夠抑制壽命降低。
此外，優選的是，水蒸氣導入部5內的導體管21或流道連接部的通電截面面積大於過熱水蒸氣收容部3內的導體管21或流道連接部的通電截面面積。按照該構成，能夠與該的冷卻機構一起，將過熱水蒸氣收容部3外的導體管21或流道連接部維持為小於氧化開始溫度，能夠抑制壽命降低。
此外，也可以不具有用於測量導體管21的溫度的溫度感測器。具體地說，過熱水蒸氣處理裝置100包括：電壓檢測部，檢測施加到導體管21的交流電壓；電流檢測部，檢測流過導體管21的電流；阻抗計算部，根據通過電壓檢測部得到的電壓值和從電流檢測部得到的電流值，計算阻抗；關係資料存儲部，存儲用於表示阻抗和導體管21的溫度的關係的關係資料；以及溫度計算部，根據通過阻抗計算部得到的阻抗和存儲在關係資料存儲部中的關係資料，計算導體管21的溫度。在此，阻抗計算部、關係資料存儲部和溫度計算部由電腦構成，由這些部分構成溫度檢測機構。此外，例如使用作為基準的導體管21得到該關係資料，關係資料存儲部可以設定在電腦的內部記憶體的規定區域，也可以設定在外設在電腦上的外部記憶體的規定區域。按照該構成，通過對導體管21通電，能夠電氣性地測量導體管21的溫度，能夠容易地測量溫度。
此外，過熱水蒸氣處理裝置100包括：變壓器，生成對導體管21施加的交流電壓；電壓檢測部，檢測變壓器的一次側的交流電壓；電流檢測部，檢測變壓器的一次側的電流；阻抗計算部，根據通過電壓檢測部得到的電壓值和從該電流檢測部得到的電流值，計算阻抗；阻抗修正部，進行從通過該阻抗計算部得到的阻抗除去變壓器的阻抗的修正；關係資料存儲部，存儲表示阻抗和導體管21的溫度的關係的關係資料；以及溫度計算部，根據通過阻抗修正部得到的修正阻抗和存儲在關係資料存儲部中的關係資料，計算導體管21的溫度。在此，阻抗計算部、阻抗修正部、關係資料存儲部和溫度計算部由電腦構成，由這些部分構成溫度檢測機構。此外，例如使用作為基準的導體管21得到該關係資料，關係資料存儲部可以設定在電腦的內部記憶體的規定區域，也可以設定在外設在電腦上的外部記憶體的規定區域。
此外，在該實施方式中，過熱水蒸氣處理裝置為通電加熱方式的過熱水蒸氣處理裝置，但是過熱水蒸氣處理裝置也可以是感應加熱方式的過熱水蒸氣處理裝置。
具體地說，如圖6所示，過熱水蒸氣處理裝置Z1包括：水蒸氣收容部Z11，收容水蒸氣；加熱用構件Z12，設置在水蒸氣收容部Z11內，由導電性材料構成；以及感應加熱部Z13，設置在水蒸氣收容部Z11外，對加熱用構件Z12進行感應加熱。
水蒸氣收容部Z11從感應加熱方式或通電加熱方式的飽和水蒸氣生成部200導入飽和水蒸氣，具有導入水蒸氣的導入口Z11a以及導出水蒸氣的導出口Z11b。此外，水蒸氣收容部Z11在內部收容被處理物W。
加熱用構件Z12由與該實施方式相同的材料形成，在本實施方式中是以覆蓋水蒸氣收容部Z11的內表面的一部分或全部的方式設置的平板狀構件。另外，加熱用構件Z12無需以與內表面接觸的方式設置，只要設置在水蒸氣收容部Z11的內部即可。
感應加熱部Z13具有用於使加熱用構件Z12產生感應電流的感應線圈Z131、以及對該感應線圈Z131施加交流電壓的交流電源Z132。另外，與該實施方式同樣地，交流電源Z132由控制裝置控制。
此外，該過熱水蒸氣處理裝置Z1在水蒸氣收容部Z11被來自飽和水蒸氣生成部200的飽和水蒸氣充滿前，邊以使加熱用構件Z12成為小於氧化開始溫度的方式使感應加熱部Z13運轉邊向水蒸氣收容部Z11導入飽和水蒸氣。此外，過熱水蒸氣處理裝置Z1在水蒸氣收容部Z11被飽和水蒸氣或過熱水蒸氣充滿後，以使加熱用構件Z12成為氧化開始溫度以上的方式使感應加熱部Z13運轉。
按照該構成，由於能夠以將由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成的加熱用構件Z12的溫度切換為小於氧化開始溫度的溫度和氧化開始溫度以上的溫度的方式進行運轉，所以只要使加熱用構件Z12在小於氧化開始溫度的溫度下運轉並將水蒸氣收容部Z11用水蒸氣或過熱水蒸氣充滿，隨後使加熱用構件Z12在氧化開始溫度以上的溫度下運轉，就能夠防止加熱用構件Z12被水蒸氣收容部Z11內的大氣中的氧氧化。
此外，本發明不限於該實施方式，在不脫離本發明宗旨的範圍可以進行各種變形。
可以相互組合本發明的各個實施方式（實施例）中所記載的技術特徵形成新的技術方案。
雖然本發明以前述之實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。在不脫離本發明之精神和範圍內，所為之更動與潤飾，均屬本發明之專利保護範圍。關於本發明所界定之保護範圍請參考所附之申請專利範圍。
100‧‧‧過熱水蒸氣處理裝置
2‧‧‧過熱水蒸氣生成部
21‧‧‧流道形成體（導體管）
3‧‧‧過熱水蒸氣收容部（室）
2‧‧‧過熱水蒸氣生成部
21‧‧‧流道形成體（導體管）
3‧‧‧過熱水蒸氣收容部（室）
圖1係為根據本發明之一實施例所繪示之過熱水蒸氣處理裝置結構的示意圖。 圖2係為根據本發明之一實施例所繪示之導體管的結構的六面視圖。 圖3係為根據本發明之一實施例所繪示之過熱水蒸氣處理裝置結構的運轉示意圖。 圖4係為根據本發明之另一實施例所繪示之導體管的結構的六面視圖。 圖5係為根據本發明之另一實施例所繪示之過熱水蒸氣處理裝置的示意圖。 圖6係為根據本發明之另一實施例所繪示之過熱水蒸氣處理裝置的示意圖。 圖7是表示將鎢、鉭、鉬、鈦和銥在1000℃以上的過熱水蒸氣氣氛中放置了1.5～6小時後時的重量變化的試驗資料。
2‧‧‧過熱水蒸氣生成部
3‧‧‧過熱水蒸氣收容部
4‧‧‧控制裝置
21‧‧‧導體管
21a‧‧‧端部
21b‧‧‧端部
22‧‧‧分流管
23‧‧‧流體噴出噴嘴
24‧‧‧單相交流電源
25‧‧‧電極
31‧‧‧處理室
32‧‧‧左側壁
33‧‧‧右側壁
34‧‧‧排出部
100‧‧‧過熱水蒸氣處理裝置
200‧‧‧飽和水蒸氣生成部
221‧‧‧凸緣部
W‧‧‧被處理物
Claims (16)
- 一種過熱水蒸氣處理裝置，包含：一過熱水蒸氣生成部，對在內部形成有流道的、由導電性材料構成的一流道形成體進行通電加熱並對流過該流道的水蒸氣進行加熱，由此生成過熱水蒸氣；以及一過熱水蒸氣收容部，在該過熱水蒸氣收容部配置有該流道形成體的一部分或全部，由該流道形成體生成的過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，該流道形成體由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，該過熱水蒸氣生成部能夠以將該流道形成體的溫度切換為小於該氧化開始溫度的溫度和該氧化開始溫度以上的溫度的方式運轉。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，在該過熱水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過熱水蒸氣之前，該過熱水蒸氣生成部以使該流道形成體的溫度成為小於該氧化開始溫度的方式運轉並將水蒸氣或過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，在該過熱水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過熱水蒸氣之後，該過熱水蒸氣生成部以使該流道形成體的溫度成為該氧化開始溫度以上的方式運轉並將過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，在從該過熱水蒸氣收容部被過熱水蒸氣充滿且該流道形成體為該氧化開始溫度以上的狀態到成為從該過熱水蒸氣收容部的外部流入過熱水蒸氣以外的氣體的狀態之前，該過熱水蒸氣生成部以使該流道形成體的溫度成為小於該氧化開始溫度的方式運轉。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，該過熱水蒸氣生成部的2N個作為該流道形成體的導體管以成為彼此平行的方式配置，N是1以上的整數，2N個該導體管的一端部彼此電連接，在2N個該導體管的另一端部上以與彼此相鄰的另一端部連接的單相交流電源的極性不同的方式交替連接有單相交流電源的U相和V相。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，3N個作為該流道形成體的導體管以成為彼此平行的方式配置，N是1以上的整數，3N個該導體管的一端部彼此電連接，在3N個該導體管的另一端部上以與連續排列的三個另一端部連接的三相交流電源的極性分別不同的方式交替連接有三相交流電源的U相、V相和W相。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，該過熱水蒸氣收容部具有一排出部，該排出部將被供給的水蒸氣或過熱水蒸氣排出。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，在該流道形成體或與該流道形成體連接的一流道連接部，該過熱水蒸氣收容部外的部分的通電截面面積比該過熱水蒸氣收容部內的部分的通電截面面積大，或者該過熱水蒸氣收容部外的通電部分的電阻比該過熱水蒸氣收容部內的通電部分的電阻小。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，除了該過熱水蒸氣收容部以外，另外設置有一水蒸氣導入部，該流道形成體或與該流道形成體連接的一流道連接部貫穿該水蒸氣導入部，並且水蒸氣導入該水蒸氣導入部。
- 如請求項8所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，在該水蒸氣導入部設置有一過熱水蒸氣產生部。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，該流道形成體由純銥或銥合金形成。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，還包括一溫度檢測機構，該溫度檢測機構根據該流道形成體的電阻值，計算該流道形成體的溫度。
- 如請求項1所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，除了該流道形成體以外，在該過熱水蒸氣收容部內另外設置有一金屬體，該金屬體具有100℃以上的氧化開始溫度，該過熱水蒸氣處理裝置還包括一溫度檢測機構，該溫度檢測機構根據該金屬體的電阻值，計算該過熱水蒸氣收容部內的氣氛溫度。
- 如請求項12所述之過熱水蒸氣處理裝置，其中，該金屬體由純銥或銥合金形成。
- 一種過熱水蒸氣處理裝置，包含：一水蒸氣收容部，收容水蒸氣；一加熱用構件，設置在該水蒸氣收容部內，由導電性材料構成；以及一感應加熱部，設置在該水蒸氣收容部外，對該加熱用構件進行感應加熱，通過被該感應加熱部感應加熱了的該加熱用構件，加熱該水蒸氣收容部內的水蒸氣，由此生成過熱水蒸氣，該加熱用構件由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，該感應加熱部能夠以將該加熱用構件的溫度切換為小於該氧化開始溫度的溫度和該氧化開始溫度以上的溫度的方式運轉。
- 一種過熱水蒸氣處理裝置的運轉方法，該過熱水蒸氣處理裝置包括一過熱水蒸氣生成部以及一過熱水蒸氣收容部，該過熱水蒸氣生成部對對在內部形成有流道的、由導電性材料構成的一流道形成體進行通電加熱並對流過該流道的水蒸氣進行加熱，由此生成過熱水蒸氣，在該過熱水蒸氣收容部配置有該流道形成體的一部分或全部，由該流道形成體生成的過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，該流道形成體由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，其中，在該過熱水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過熱水蒸氣之前，以使該流道形成體的溫度成為小於該氧化開始溫度的方式使該過熱水蒸氣生成部運轉，並將水蒸氣或過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部，在該過熱水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過熱水蒸氣之後，以使該流道形成體的溫度成為該氧化開始溫度以上的方式使該過熱水蒸氣生成部運轉，並將過熱水蒸氣導入該過熱水蒸氣收容部。
- 一種過熱水蒸氣處理裝置的運轉方法，該過熱水蒸氣處理裝置包括一水蒸氣收容部、一加熱用構件以及一感應加熱部，該水蒸氣收容部收容水蒸氣，該加熱用構件設置在該水蒸氣收容部內，由導電性材料構成，該感應加熱部設置在該水蒸氣收容部外，對該加熱用構件進行感應加熱，該過熱水蒸氣處理裝置通過被該感應加熱部感應加熱了的該加熱用構件，加熱該水蒸氣收容部內的水蒸氣，由此生成過熱水蒸氣，該加熱用構件由具有100℃以上的氧化開始溫度的導電性材料形成，其中，在該水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過熱水蒸氣之前，邊以使該加熱用構件成為小於該氧化開始溫度的溫度的方式使該感應加熱部運轉邊將水蒸氣或過熱水蒸氣導入該水蒸氣收容部，在該水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過熱水蒸氣之後，以使該加熱用構件成為該氧化開始溫度以上的溫度的方式使該感應加熱部運轉。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015220187 | 2015-11-10 | ||
| JP2015-220187 | 2015-11-10 | ||
| JP2016032928A JP6697897B2 (ja) | 2015-11-10 | 2016-02-24 | 過熱水蒸気処理装置及びその動作方法 |
| JP2016-032928 | 2016-02-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201716736A true TW201716736A (zh) | 2017-05-16 |
| TWI687638B TWI687638B (zh) | 2020-03-11 |
Family
ID=58768775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW105135960A TWI687638B (zh) | 2015-11-10 | 2016-11-04 | 過熱水蒸氣處理裝置及其運轉方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6697897B2 (zh) |
| KR (1) | KR102503455B1 (zh) |
| CN (1) | CN107036448B (zh) |
| TW (1) | TWI687638B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6985734B2 (ja) * | 2017-12-21 | 2021-12-22 | トクデン株式会社 | 過熱水蒸気生成装置及びそのメンテナンス方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB587341A (en) * | 1945-01-05 | 1947-04-22 | George Edward Daniel Weston | Improvements in or relating to the insulation of electrical conductors |
| JPS492644B1 (zh) * | 1970-11-09 | 1974-01-22 | ||
| US4818311A (en) * | 1987-01-21 | 1989-04-04 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Technologies Inc. | Methods of and apparatus for heating a moving metallic strand material |
| JP2006226561A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Muramatsu Fuusou Setsubi Kogyo Kk | 熱処理装置 |
| JP2011086443A (ja) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Izumi Food Machinery Co Ltd | 流動物の通電加熱装置 |
| US8274018B2 (en) * | 2010-02-25 | 2012-09-25 | Corning Incorporated | Apparatus for use in direct resistance heating of platinum-containing vessels |
| CN201636833U (zh) * | 2010-04-07 | 2010-11-17 | 天津宝成机械集团有限公司 | 一种新型电加热过热蒸汽锅炉 |
| CN203258845U (zh) * | 2012-02-09 | 2013-10-30 | 特电株式会社 | 流体加热装置 |
| CN103634950B (zh) * | 2012-08-21 | 2016-09-28 | 特电株式会社 | 流体加热装置 |
| JP6466641B2 (ja) * | 2013-03-08 | 2019-02-06 | トクデン株式会社 | 流体加熱装置 |
| CN206235168U (zh) * | 2015-11-10 | 2017-06-09 | 特电株式会社 | 过热水蒸气处理装置 |
-
2016
- 2016-02-24 JP JP2016032928A patent/JP6697897B2/ja active Active
- 2016-10-21 KR KR1020160137294A patent/KR102503455B1/ko active Active
- 2016-10-21 CN CN201610920951.XA patent/CN107036448B/zh active Active
- 2016-11-04 TW TW105135960A patent/TWI687638B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2017092018A (ja) | 2017-05-25 |
| KR102503455B1 (ko) | 2023-02-24 |
| TWI687638B (zh) | 2020-03-11 |
| KR20170054986A (ko) | 2017-05-18 |
| JP6697897B2 (ja) | 2020-05-27 |
| CN107036448B (zh) | 2019-11-08 |
| CN107036448A (zh) | 2017-08-11 |
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