TW201718228A - 壓印用模具的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供不易產生轉印不良的壓印用模具的製造方法。根據本發明，所述壓印用模具的製造方法具備如下步驟：捲繞步驟，將具有形成有由所期望的微細凹凸圖案的反轉圖案構成的基體圖案的樹脂層的膜模具，以能夠在兩端的對接部形成不存在上述基體圖案的間隙的方式捲繞於圓柱形的轉印輥；樹脂填充步驟，向上述間隙填充樹脂組成物；以及，圖案形成步驟，將設置在圖案追加模具的轉印圖案按壓於上述樹脂組成物而將由上述轉印圖案的反轉圖案構成的追加圖案形成在上述樹脂組成物上；上述樹脂組成物以如下方式填充：在將上述圖案追加模具按壓於上述樹脂組成物之前或者將上述圖案追加模具按壓於上述樹脂組成物之時，上述樹脂組成物從上述間隙溢出而在上述樹脂層的表面上形成上述樹脂組成物的溢出部分。

Description

壓印用模具的製造方法

本發明涉及一種壓印用模具的製造方法。

所謂壓印技術，是藉由將具有所期望的微細凹凸圖案的反轉圖案的模具按壓於基板上的液態樹脂等轉印材料，從而將模具的反轉圖案轉印到轉印材料的微細加工技術。作為微細凹凸圖案的反轉圖案包括從10nm水準的奈米級圖案到100μm左右的圖案，廣泛應用於半導體材料、光學材料、存儲介質、微型機械、生物、環境等各種領域。

作為向轉印材料轉印反轉圖案的轉印方法，有如下方法：使用將膜模具捲繞於轉印輥而製成的輥狀的壓印用模具或者藉由金屬切削而製成的金屬輥，採用卷對卷(Roll to Roll)向轉印材料連續轉印反轉圖案。

從膜模具製作輥狀的壓印用模具需要將膜模具的兩端接合。作為膜模具的接合方法，專利文獻1中公開了如下方法：以在膜模具兩端的對接部形成不存在凹凸圖案的反轉圖案的間隙的方式，將膜模具捲繞於圓柱形的轉印輥，在上述間隙填充樹脂組成物，在填充的樹脂組成物上形成與上述反 轉圖案實質上相同的圖案。根據該方法，能夠在轉印輥的整周(whole circumference)設置連續的反轉圖案，藉由使用該轉印輥進行反轉圖案的轉印，能夠對轉印材料形成連續的凹凸圖案。

【先行技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】WO2014/080857號

然而，根據專利文獻1的方法，在形成於膜模具的反轉圖案與形成於上述間隙內的樹脂組成物的反轉圖案之間容易產生高低差。這些反轉圖案間的高低差也會反映在形成於轉印材料的凹凸圖案上，因而容易造成轉印不良。

本發明是鑒於上述情況而進行的，其提供一種不易發生轉印不良的壓印用模具的製造方法。

根據本發明，提供一種壓印用模具的製造方法，該方法具備如下步驟：捲繞步驟，將具有形成有由所期望的微細凹凸圖案的反轉圖案構成的基體 圖案的樹脂層的膜模具，以在兩端的對接部形成不存在上述基體圖案的間隙的方式捲繞於圓柱形的轉印輥；樹脂填充步驟，向上述間隙填充樹脂組成物；以及，圖案形成步驟，藉由將設置在圖案追加模具的轉印圖案按壓於上述樹脂組成物，而將由上述轉印圖案的反轉圖案構成的追加圖案形成在上述樹脂組成物上；上述樹脂組成物是藉由如下方式填充的：在將上述圖案追加模具按壓於上述樹脂組成物之前或者將上述圖案追加模具按壓於上述樹脂組成物之時，上述樹脂組成物從上述間隙溢出而在上述樹脂層的表面上形成上述樹脂組成物的溢出部分。

根據本發明，由於以樹脂組成物從膜模具兩端的對接部的間隙溢出而在樹脂層的表面上形成樹脂組成物的溢出部分的方式填充樹脂組成物，所以能夠抑制基體圖案與追加圖案之間產生高低差。

以下，對本發明的各種實施方式進行例示。以下示出的實施方式可以相互組合。

優選上述溢出部分在將上述圖案追加模具從上述樹脂組成物脫離時附著於上述圖案追加模具而被從上述樹脂層的表面除去。

優選上述圖案追加模具在基材上的一部分區域具備未進行剝離處理的非剝離處理區域，上述溢出部分附著於上述非剝離處理區域。

優選上述樹脂組成物為光固化性樹脂，上述圖案形成步驟中，藉由在將上述圖案追加模具的上述轉印圖案按壓在上述樹脂組成物的狀態下對上述樹脂組成物照射固化光而使上述樹脂組成物固化後，使上述圖案追加模具 從上述樹脂組成物脫離，從而在上述樹脂組成物上形成述追加圖案。

優選上述膜模具在樹脂基材上具備上述樹脂層，且在捲繞方向的端部具備未設置上述樹脂層的露出區域。

2‧‧‧膜模具

3‧‧‧基體圖案

3a‧‧‧追加圖案

4‧‧‧樹脂基材

4a‧‧‧樹脂基材兩端的對接部

4b‧‧‧端面

6‧‧‧樹脂層

6b‧‧‧端面

8‧‧‧雙面膠帶

8a‧‧‧雙面膠帶兩端的對接部

10‧‧‧隔離件

12‧‧‧轉印輥

14‧‧‧上游側輥

16‧‧‧下游側輥

18‧‧‧塗布機

20‧‧‧光照射器

22‧‧‧樹脂組成物

22a‧‧‧溢出部分

24‧‧‧圖案追加模具

25‧‧‧基材

27‧‧‧樹脂層

F‧‧‧搬運膜

G，G1，G2‧‧‧間隙

圖1是本發明的第1實施方式的膜模具的截面圖。

圖2是表示在圖1的膜模具粘貼有雙面膠帶的狀態的截面圖。

圖3是表示將圖2的帶有雙面膠帶的膜模具捲繞於轉印輥的步驟的截面圖。

圖4是在圖3的接續，是表示膜模具捲繞於轉印輥後的狀態的截面圖。

圖5是圖4中的區域A的放大圖。

圖6是圖5的接續，表示在膜模具兩端的對接部的間隙填充有樹脂組成物的狀態。

圖7是圖6的接續，表示對樹脂組成物進行追加圖案形成的步驟。

圖8是圖7的接續，表示在樹脂組成物上形成追加圖案後的狀態。

圖9是本發明的第2實施方式的膜模具的截面圖。

圖10是使用了圖9的膜模具的情況下的與圖5對應的圖。

圖11是圖10的接續，表示在膜模具兩端的對接部的間隙填充有樹脂組成物的狀態。

圖12是圖11的接續，表示對樹脂組成物進行追加圖案形成的步驟。

圖13是圖12的接續，表示在樹脂組成物上形成追加圖案後的狀態。

圖14是在使用了本發明的第3實施方式的膜模具的情況下的與圖5對應的圖。

圖15是圖14的接續，表示在膜模具兩端的對接部的間隙填充有樹脂組成物的狀態。

圖16是圖15的接續，表示對樹脂組成物進行追加圖案形成的步驟。

圖17是圖16的接續，表示在樹脂組成物上形成追加圖案後的狀態。

圖18是表示在本發明的第4實施方式中，以雙面膠帶與膜模具的捲繞方向的端部的位置一致的方式貼合兩者後的狀態的截面圖。

圖19是表示將圖18的雙面膠帶和膜模具捲繞於轉印輥後的狀態的、與圖5對應的圖。

圖20是表示在本發明的第4實施方式中，在填充於間隙G的樹脂組成物上形成追加圖案後的狀態。

以下，參照附圖對本發明優選的實施方式進行具體說明。

1.第1實施方式

使用圖1~圖8，對本發明的第1實施方式的壓印用模具的製造方法進行說明。本實施方式的壓印用模具的製造方法具備捲繞步驟、樹脂填充步驟和圖案形成步驟。

以下，對各步驟進行詳細說明。

1-1.捲繞步驟

在該步驟中，如圖1~圖5所示，將具有形成有由所期望的微細凹凸圖案的反轉圖案構成的基體圖案3的樹脂層6的膜模具2，以在兩端的對接部形成不存在基體圖案3的間隙G的方式捲繞於圓柱形的轉印輥12。

(1)膜模具2

膜模具2可藉由公知的壓印技術形成，在一個例子中，如圖1所示，在柔性的樹脂基材4上具備具有基體圖案3的樹脂層6。

具體而言，樹脂基材4例如可舉出由選自聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烴、聚醯亞胺、聚碸、聚醚碸、環狀聚烯烴和聚萘二甲酸乙二醇酯中的1種構成的樹脂基材。

另一方面，作為形成樹脂層6的樹脂，可舉出熱塑性樹脂、熱固化性樹脂或光固化性樹脂。作為樹脂，可舉出丙烯酸系樹脂、乙烯系樹脂、烯烴系樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚酯系樹脂、環氧樹脂、有機矽系樹脂、以及這些樹脂的混合物等。

上述樹脂層6的厚度通常為50nm~1mm，優選為500nm~500μm。若為這樣的厚度，則容易進行壓印加工。

形成樹脂層6的樹脂為熱塑性樹脂時，在將樹脂層6加熱至玻璃化轉變溫度(Tg)以上的溫度的狀態下，將基體圖案形成用的模具以0.5~50MPa的壓力保持10~600秒進行加壓後，將樹脂層6冷卻至Tg以下的溫度，並將模具從樹脂層6分離，由此可在樹脂層6上形成基體圖案3。另一方面，形成樹脂層6的樹脂為光固化性樹脂時，在將基體圖案形成用的模具按壓於液態的樹脂層6的狀態下對樹脂層6照射固化光(UV光、可見光、電子束等可使樹脂固化的能量線的總稱)而使樹脂層6固化，其後使模具分離，由此能夠在樹脂層6上形成基體圖案3。光可以從樹脂基材4側照射，在模具對光為透明的情況下，也可以從模具側照射。另外，形成樹脂層6的樹脂為熱固化性樹脂時，將基體圖案形成用的模具按壓於在液態的樹脂層6的狀態下將樹脂層6加熱至固化溫度而使樹脂層6固化，其後使模具分離，由此能夠在樹脂層6上形成基體圖案3。光可以從樹脂基材4側照射，在模具對光具有透射性的情況下，也可以從模具側照射。

基體圖案3的形狀沒有特別限制，優選週期10nm~2mm、深度10nm~500μm的圖案，更優選週期20nm~20μm、深度50nm~1μm的圖案。作為表面形狀，可舉出蛾眼形、現形、圓柱形、獨石柱形、圓錐形、多邊錐形、微透鏡形等。

樹脂層6可進行剝離處理。作為剝離處理的方法，可舉出如下方法：在樹脂層6的表面形成剝離層，或者採用剝離性樹脂(含剝離成分的樹脂)形成樹脂層6的方法。

作為形成剝離層(未圖示)的脫模劑，優選由選自氟系矽烷偶聯劑、具有氨基或羧基的全氟化合物、具有氨基或羧基的全氟醚化合物、氟系表面活性劑和有機矽系表面活性劑中的至少1種構成，更優選由選自氟系矽烷偶聯劑、單末端胺化全氟(全氟醚)化合物以及單末端羧基化全氟(全氟醚)化合物的單體或單體與複合物的混合物中的至少1種構成。若使用上述物質作為脫模劑，則與樹脂層6的密合良好，並且與進行壓印的樹脂的剝離性良好。剝離層(未圖示)的厚度優選為0.5~20nm，更優選為0.5~10nm，最優選為0.5~5nm的範圍內。應予說明，為了提高剝離層與樹脂層6的密合性，可以在樹脂層6中添加WO2012/018045中公開的、具有能與脫模劑鍵合的基團的添加劑。

另外，作為形成樹脂層6的剝離性樹脂，可使用聚二甲基矽氧烷(PDMS)等有機矽樹脂、丙烯酸系單體與有機矽系單體的共聚物、丙烯酸系單體與氟系單體的共聚物、丙烯酸系聚合物與有機矽系單體的混合物、丙烯酸系聚合物與氟系單體的混合物等。此時能夠省略在形成樹脂層6後在樹脂層6的表面形成剝離層的步驟，因而優選。

膜模具2的長度優選稍短於捲繞膜模具2的轉印輥12的外周長。此時，在將膜模具2捲繞於轉印輥12的狀態下，在膜模具2兩端的對接部之間自然地形成間隙G。

(2)雙面膠帶

膜模具2並非直接貼附於轉印輥12，因此在膜模具2的捲繞面側塗布粘合劑後將膜模具2轉印於轉印輥12，或者如圖2所示，在膜模具2的捲繞面側貼附雙面膠帶8，隔著該雙面膠帶8將膜模具2捲繞於轉印輥12。從操作性的觀點出發，優選後者，以下，對本實施方式中適宜使用的雙面膠帶8進行說明。應予說明，在雙面膠帶8的輥貼合面側設有保護雙面膠帶8的粘合層的隔離件10。

雙面膠帶8只要能將膜模具2貼附於轉印輥12，其構成就沒有特別限定，通常將聚對苯二甲酸乙二醇酯制膜(未圖示)作為芯材(core)，優選貼附於膜模具2的面(以下稱為“模具貼合面”)的粘合力比貼附於轉印輥12的面(以下稱為“輥貼合面”)的粘合力強，更優選輥貼合面為再剝離性。隔著雙面膠帶8將膜模具2貼附於轉印輥12而使用後，將雙面膠帶8和膜模具2一起剝離並廢棄。因此，為了防止雙面膠帶8與膜模具2的偏離，雙面膠帶8的模具貼合面優選地其粘合力盡可能強，另一方面，為了在使用後容易從轉印輥12剝離，雙面膠帶8的輥貼合面優選地具有使用上沒有問題的程度的粘合力並且具有再剝離性。上述作為芯材的膜的厚度優選12~100μm的範圍。若薄於12μm，則向轉印輥12貼附時的操作性降 低，若厚於100μm，則成為芯材的膜的斥力增加，所以容易在轉印輥12之間產生浮起，因而不優選。粘合劑層只要能滿足上述的剝離性能就沒有特別限定，從成本、處理、物性方面的觀點出發，優選由丙烯酸系粘合劑組成物或有機矽系粘合劑組成物構成。作為丙烯酸系粘合劑組成物，沒有特別限定，例如可舉出在丙烯酸系聚合物中混合有交聯劑等添加劑的組成物。對於粘合劑層的厚度，通常模具貼附面和輥貼附面均為5~50μm的範圍。若為該厚度的範圍，則粘合劑可發揮緩衝材料的功能，轉印精度得到提高等，因而優選。

另外，雙面膠帶8和膜模具2的捲繞方向的端部的位置可以一致，但優選地為錯位。在這種情況下隔著雙面膠帶8將膜模具2捲繞於轉印輥12時，由於雙面膠帶8兩端的對接部與膜模具2兩端的對接部的位置錯開，所以填充於膜模具2兩端的對接部的樹脂組成物22被填充在雙面膠帶8的對接部以外的部分，能夠防止樹脂組成物22附著於轉印輥12。

雙面膠帶8的長度優選地與轉印輥12的外周長實質性相等。此時，雙面膠帶8沒有間隙地貼合在轉印輥12的整周(whole circumference，整個周圍)。因此，在使膜模具2的長度稍短於轉印輥12的外周長的情況下，雙面膠帶8稍長於膜模具2。

隔離件10只要可保護雙面膠帶8的輥貼合面的粘合層，在向轉印輥12進行捲繞時容易剝離，其構成就沒有特別限定。

(3)向轉印輥12的捲繞

接著，對將膜模具2捲繞於轉印輥12的方法進行詳細說明。這裏，以使用圖3所示的裝置的情況為例進行說明，但裝置構成並不限定於此，捲繞方法不局限於這裏說明的方法。

圖3是用於對轉印材料壓印凹凸圖案的壓印裝置，膜模具2在轉印輥12上的捲繞通常在轉印輥12被安裝於壓印裝置的狀態下進行。該裝置具備：捲繞膜模具2的轉印輥12、配置在轉印輥12的上游側且將膜模具2夾在與轉印輥12之間的上游側輥14、以及配置在轉印輥的下游側的下游側輥16。在上游側輥14的上游配置有送出搬運膜F的送出輥(未圖示)，在下游側輥16的下游配置有捲繞搬運膜F的捲繞輥(未圖示)。另外，在送出輥與上游側輥14之間設置有用於在搬運膜上塗布光固化樹脂等轉印材料的塗布機(例如模塗布)18，在轉印輥12的下方設置有用於使轉印材料固化的光照射器(例如UV燈)20。在捲繞膜模具2時不使用塗布機和光照射器。

首先，如圖3所示，將貼合有帶隔離件10的雙面膠帶8的膜模具2配置在轉印輥12的切線上，邊向箭頭Y的方向剝下隔離件10邊將帶雙面膠帶8的膜模具2插入搬運膜F與轉印輥12之間。此時，各輥在各輥所示的箭頭方向旋轉，並藉由上游側輥14將帶雙面膠帶8的膜模具2按壓於轉印輥12，從而將雙面膠帶8的輥貼合面貼附於轉印輥12。

若在該狀態下使各輥旋轉，則帶雙面膠帶8的膜模具2整體被捲繞於轉印輥12，得到圖4~5所示的構成。圖5是圖4中的區域A的放大圖。

如圖5所示，雙面膠帶8貼附於轉印輥12的整周，成為在兩端的對接部8a實質上沒有間隙的狀態。但有一些空隙也沒有問題。在膜模具2兩端的對接部存在間隙G。間隙G的長度(將輥的圓周方向的長度稱為“長度”，將輥的旋轉軸方向的長度稱為“寬度”。)沒有特別限定，例如為0.1~10mm，優選為0.5~5mm。

1-2.樹脂填充步驟

在該步驟中，如圖6所示，向間隙G中填充樹脂組成物22。填充樹脂組成物22的方法沒有特別限定，例如可使用微量吸管進行。

如圖6所示，樹脂組成物22以從間隙G溢出而在樹脂層6的表面上形成樹脂組成物的溢出部分22a的方式填充。藉由這樣填充樹脂組成物，即使因在尺寸誤差而間隙G大於規定寬度的情況下，也可抑制在形成於膜模具2的基體圖案3與形成於間隙G內的樹脂組成物22的追加圖案3a之間產生高低差。應予說明，在圖案形成步驟中，優選以在按壓圖案追加模具24前的時刻已經形成了溢出部分22a的方式填充樹脂組成物22，但也可以以在間隙G中填充了樹脂組成物22的時刻未形成溢出部分22a而在將圖案追加模具24按壓於樹脂組成物22時形成溢出部分22a的方式填充樹脂組成物22。

樹脂組成物22為熱或光固化性樹脂。作為樹脂，可舉出丙烯酸樹脂、環氧樹脂、有機矽樹脂。若為熱或光固化性，則在圖案形成後能夠容易地固化而容易處理。

樹脂組成物22優選剝離性樹脂。若使用剝離性樹脂，則即使在樹脂組成物22上形成追加圖案3a後不形成剝離層，也能夠在對轉印材料轉印凹凸圖案時防止轉印材料的附著。作為剝離性樹脂，可舉出上述熱或光固化性樹脂與剝離劑的混合物、聚二甲基矽氧烷(PDMS)等有機矽樹脂、丙烯酸系單體與有機矽系單體(包括大分子單體)的共聚物、丙烯酸系單體與氟系單體(包括大分子單體)的共聚物等，優選熱或光固化性樹脂與剝離劑的混合物和有機矽樹脂。若為這些樹脂，則能夠以低價容易購得，並且能夠相對於藉由卷對卷(Roll to Roll)轉印圖案的轉印材料充分發揮剝離性。另外，若為光或熱固化性，則能夠在圖案形成後容易地進行固化，因此容易處理。應予說明，作為剝離劑，可舉出有機矽化合物、氟化合物、醇酸樹脂、長鏈烷基化合物、蠟等。

1-3.圖案形成步驟

在該步驟中，藉由將設在圖案追加模具24的轉印圖案27a按壓於樹脂組成物22，在樹脂組成物22上形成由轉印圖案27a的反轉圖案構成的追加圖案3a。追加圖案3a優選與基體圖案3實質上相同，但也可以是不同的圖案。

具體而言，樹脂組成物22為光固化性樹脂時，如圖7所示，在將圖案追加模具24的轉印圖案27a按壓於樹脂組成物22的狀態下使用光照射器26對樹脂組成物22照射固化光而使樹脂組成物22固化後，使圖案追加模具24從樹脂組成物22脫離，由此如圖8所示，在樹脂組成物22上形成追加圖案3a。對樹脂組成物22的溢出部分22a照不照射固化光均可。

圖案追加模具24優選對使樹脂組成物22固化的固化光具有投射性，此時，固化光可通過圖案追加模具24照射到樹脂組成物22。圖案追加模具24例如具備由樹脂或石英等材料構成的基材25和在基材25上的部分區域設置的樹脂層27。樹脂層27上形成有轉印圖案27a。樹脂層27可由與膜模具2的樹脂層6相同的材料形成，根據需要也可以進行剝離處理。轉印圖案27a優選以比間隙G的開口部大的面積形成。基材25由於未進行剝離處理，所以基材25上的、未設有樹脂層27的區域成為非剝離處理區域E。

如圖8所示，優選在使圖案追加模具24從樹脂組成物22脫離時，使溢出部分22a附著於圖案追加模具24而從樹脂層6的表面除去。溢出部分22a優選附著於設置在基材25上的非剝離處理區域E。如圖7~圖8所示，溢出部分22a由基材25與樹脂層6之間的溢出部分22b和樹脂層27與樹脂層6之間的溢出部分22c構成。

這裏，對樹脂組成物22與別的構材之間的剝離力的優選關係進行說明。以下，在說明中，F1~F4如表1所示進行定義。應予說明，剝離力是指使樹脂組成物22從其他部件剝離所需的力。

為了採用上述方法除去溢出部分22a，優選F1>F2。此時，若將基材25的非剝離處理區域E按壓於樹脂組成物22，則成為樹脂組成物22與基材25和樹脂層6兩者密合的狀態，若在該狀態下使圖案追加模具24從樹脂組成物22脫離，則樹脂組成物22從樹脂層6剝離而附著於基材25的非剝離處理區域E，從而溢出部分22b被從樹脂層6的表面除去。藉由對基材25的非剝離處理區域E不進行剝離處理而對樹脂層6進行剝離處理，能夠使F1>F2的關係成立。另外，由於溢出部分22b與溢出部分22c連接，所以溢出部分22c與溢出部分22b一起被從樹脂層6的表面除去。

為了在使圖案追加模具24從樹脂組成物22脫離時，間隙G內的樹脂組成物22附著於圖案追加模具24的樹脂層27而不被除去，優選F3>F4。 藉由對間隙G的基底不進行剝離處理而對樹脂層27進行剝離處理，能夠使F3>F4的關係成立。

考慮到以上觀點，剝離力的關係優選為F3>F1>F4、F2。F4與F2的關係可以是F4>F2、F4≒F2、F2<F4中的任一者。

應予說明，也可以使圖案追加模具24從樹脂組成物22脫離後另外設置除去溢出部分22a的步驟，來代替使溢出部分22a附著於圖案追加模具24而將其除去。

圖案追加模具24的圖案面(轉印輥12側的面)優選具有與轉印輥12實質上相等的曲率。此時，形成的追加圖案3a成為更適合轉印輥12外周的形狀。另外，圖案追加模具24優選為具有如膜模具那樣的柔軟性的模具。此時，藉由在以沿著轉印輥12外周形狀的方式使圖案追加模具24變形的狀態下使樹脂組成物22固化，能夠形成更適合轉印輥12外周的形狀的追加圖案3a。

藉由以上步驟，得到在轉印輥12整周不間斷地形成有圖案且抑制了高低差的產生的壓印用模具。

若使用該壓印用模具，則可在轉印材料上連續地形成凹凸圖案。具體而言，例如，使圖3所示的壓印裝置的各輥旋轉而邊輸送搬運膜F邊從塗 布機18噴出轉印材料(例如光固化性樹脂)，由此在搬運膜F上塗布轉印材料，對該轉印材料按壓捲繞於轉印輥12的無縫壓印用模具，並在該狀態下從光照射器20對轉印材料照射使轉印材料固化的光而使轉印材料固化，能夠在轉印材料上連續地形成凹凸圖案。採用上述方法製作的壓印用模具可抑制在基體圖案3與追加圖案3a之間產生高低差，因此可抑制因高低差引起的轉印不良。

2.第2實施方式

本發明的第2實施方式與第1實施方式類似，但相異點在於，在本實施方式中，如圖9所示，在模具2的捲繞方向的一端，設有不設置樹脂層6的露出區域5。

對於這種構成的膜模具2，膜模具2的長度(即樹脂基材4的長度)可以與捲繞膜模具2的轉印輥12的外周為相同程度。此時，在將膜模具2捲繞於轉印輥12後的狀態下，如圖10所示，成為在樹脂基材4兩端的對接部4a實質上沒有間隙的狀態，若在該狀態下將樹脂組成物22填充於間隙G，則如圖11所示，樹脂組成物22被填充在樹脂基材4上。與第1實施方式同樣地，以從間隙G溢出而在樹脂層6的表面上形成樹脂組成物的溢出部分22a的方式填充樹脂組成物22。

接著，如圖12所示，若採用與第1實施方式相同的方法在樹脂組成物22上形成追加圖案3a，則得到圖13所示的構成。溢出部分22a可採用與第 1實施方式相同的方法除去。應予說明，在第1實施方式中間隙G的基底為雙面膠帶8，但在本實施方式中間隙G的基底為樹脂基材4。

藉由以上步驟，得到在轉印輥12整周不間斷地形成有圖案且抑制了高低差的產生的壓印用模具。

藉由圖6與圖11的比較可知，在本實施方式中，由於樹脂組成物22填充在樹脂基材4上，因此如圖6所示，與在雙面膠帶8上填充樹脂組成物22的情況相比，能夠減少樹脂組成物22的量，可實現製造的高效化。

另外，在第1實施方式中，如圖1所示，由於樹脂基材4的端面4b與樹脂層6的端面6b的位置對齊，所以樹脂組成物22雖然填充在與端面4b鄰接的間隙G，但並不完全覆蓋端面4b，因此在裁斷膜模具2時的裁斷端部不平滑的情況下將膜模具2捲繞於轉印輥12時，容易在與樹脂基材4的端面4b相當的位置產生高低差。另一方面，在本實施方式中，如圖9所示，在膜模具2的捲繞方向上，樹脂基材4比樹脂層6長，樹脂基材4的端面4b與樹脂層6的端面6b的位置錯離。因此，若將樹脂組成物22填充於間隙G，則端面4b完全被樹脂組成物22覆蓋。根據這種構成，即使在裁斷膜模具2時的裁斷端部不平滑的情況下，在與樹脂基材4的端面4b相當的位置也不易產生高低差，因此能夠進一步抑制在基體圖案3與追加圖案3a之間產生高低差。

3.第3實施方式

本發明的第3實施方式與第2實施方式類似，但在本實施方式中，如圖14所示，其特徵在於，除了在樹脂層6的捲繞方向的對接部設有間隙G1以外，還在樹脂基材4的捲繞方向的對接部設有間隙G2，間隙G1大於間隙G2。

如圖15所示，在間隙G1、G2可採用與第2實施方式相同的方法填充樹脂組成物22。與第2實施方式同樣地，以從間隙G1、G2溢出而在樹脂層6的表面上形成樹脂組成物的溢出部分22a的方式填充樹脂組成物22。

接著，如圖16所示，若採用與第2實施方式相同的方法在樹脂組成物22上形成追加圖案3a，則得到圖17所示的構成。溢出部分22a可採用與第2實施方式同樣的方法除去。應予說明，在第2實施方式中，間隙G的基底為樹脂基材4，但在本實施方式中，間隙G2的基底為雙面膠帶8、間隙G1中的間隙G2以外的部分的基底為樹脂基材4。

在第2實施方式中，為了形成樹脂基材4兩端的對接部4a實質上沒有間隙的狀態，需要大幅提高膜模具2的剪裁尺寸的精度，但在本實施方式中，將膜模具2的剪裁尺寸設定為稍短於轉印輥12的外周長即可，因此膜模具2的剪裁尺寸精度也可以低一些。另外，在第2實施方式中，由於樹脂組成物22配置在樹脂基材4上，所以若對間隙G內的樹脂組成物22施加圓周方向的力，則樹脂組成物22從樹脂基材4剝離。與此相對，在本實 施方式中，由於在樹脂基材4的對接部的間隙G2內也填充樹脂組成物22，因此即使對間隙G1、G2內的樹脂組成物22施加圓周方向的力，樹脂組成物22也不易從樹脂基材4剝離。因此，根據本實施方式，使用將膜模具2捲繞於轉印輥12而得到的無縫壓印用模具進行壓印時，即使對樹脂組成物22施加圓周方向的力，也可抑制樹脂組成物22剝離而脫落。

4.第4實施方式

本發明的第4實施方式與第1實施方式類似，但在本實施方式中，如圖18所示，其特徵在於，雙面膠帶8與膜模具2的捲繞方向的端部的位置一致。

由於雙面膠帶8和膜模具的長度比轉印輥12的外周長稍短，所以若將雙面膠帶8和膜模具2捲繞於轉印輥12，則如圖19所示，在膜模具2兩端的對接部與雙面膠帶8兩端的對接部形成間隙G。

採用與第1實施方式相同的方法，對間隙G進行樹脂組成物22的填充和追加圖案3a的形成，得到圖20所示的構成。

對於上述第2~第3實施方式，同樣地也能夠使雙面膠帶8和膜模具2的捲繞方向的端部的位置一致。

2‧‧‧膜模具

3‧‧‧基體圖案

4‧‧‧樹脂基材

4b‧‧‧端面

6‧‧‧樹脂層

6b‧‧‧端面

Claims (5)

1. 一種壓印用模具的製造方法，具備如下步驟：捲繞步驟，將具有形成有基體圖案的樹脂層的膜模具以在兩端的對接部形成不存在所述基體圖案的間隙的方式，捲繞於圓柱形的轉印輥，所述基體圖案由所期望的微細凹凸圖案的反轉圖案構成；樹脂填充步驟，在所述間隙中填充樹脂組成物；以及圖案形成步驟，將設置於圖案追加模具的轉印圖案按壓於所述樹脂組成物，在所述樹脂組成物上形成由所述轉印圖案的反轉圖案構成的追加圖案；所述樹脂組成物以如下方式填充：在將所述圖案追加模具按壓於所述樹脂組成物之前或者將所述圖案追加模具按壓於所述樹脂組成物之時，所述樹脂組成物從所述間隙溢出而在所述樹脂層的表面上形成所述樹脂組成物的溢出部分。
2. 根據請求項1所述的壓印用模具的製造方法，其中，所述溢出部分在使所述圖案追加模具從所述樹脂組成物脫離時附著於所述圖案追加模具而從所述樹脂層的表面除去。
3. 根據請求項2所述的壓印用模具的製造方法，其中，所述圖案追加模具在基材上的一部分區域具備未進行剝離處理的非剝離處理區域，所述溢出部分附著在所述非剝離處理區域。
4. 根據請求項1~3中任一項所述的壓印用模具的製造方法，其中，所述樹脂組成物是光固化性樹脂， 所述圖案形成步驟中，在將所述圖案追加模具的所述轉印圖案按壓於所述樹脂組成物的狀態下，對所述樹脂組成物照射固化光而使所述樹脂組成物固化後，使所述圖案追加模具從所述樹脂組成物脫離，由此在所述樹脂組成物上形成所述追加圖案。
5. 根據請求項1~4中任一項所述的壓印用模具的製造方法，其中，所述膜模具在樹脂基材上具備所述樹脂層，且在捲繞方向的端部具有未設置所述樹脂層的露出區域。