TW201724330A - 基板處理系統 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠抑制基板之污染且佈局之自由度較高之基板處理系統。本發明之FOUP搬送部300係由能夠調整長度之軌道32及能夠自行推進之FOUP保持部30構成。因此，可藉由單位軌道320之裝卸及基板處理裝置20之追加或去除之容易之作業而進行基板處理系統1之擴張或縮小(基板處理裝置20之追加或去除)。又，FOUP搬送部300將收納有基板之FOUP80搬送至各基板處理裝置20。因此，基板暴露於FOUP80外部之環境氣體之時間較短，從而可有效地抑制對基板之污染。

Description

基板處理系統

本發明係關於一種基板處理系統。

自習知以來，已知有搬送收納有複數個基板之載體，且自該載體取出基板進行處理之基板處理系統。

例如，引用文獻1中揭示有如下技術，即，於裝載、卸載部收容載體，且裝載、卸載部使載體移動至與基板處理系統鄰接之位置，基板處理系統內之搬送機構自載體取出基板，且將自該載體取出之基板搬送至基板處理系統內之各處理裝置進行處理。

又，引用文獻2中揭示有如下技術，即，使用自共有搬入埠朝向共有搬出埠延伸之專用搬送路徑搬送載體，於該搬送過程中於各處理裝置中自載體取出基板進行處理。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2006-237559號公報

[專利文獻2]日本專利第5392190號公報

然而，於專利文獻1之技術中，存在如下問題，即， 雖說係基板處理系統內，但由於以自載體取出之狀態將基板搬送至各處理裝置，故而基板暴露於載體外部之環境氣體之時間變長，基板容易被污染。

於引用文獻2之技術中，由於載體搬送係沿著一方向進行，故而例如必須按照處理順序配置各處理裝置等，使各處理裝置之配置受到限制。又，於引用文獻2之技術中，於追加或去除處理裝置之情形時，共有搬入埠或共有搬出埠之至少一者會移動。因此，於引用文獻2之技術中，基於進行基板處理系統與外部裝置之間之載體之交接之觀點，必須以抵消上述移動之影響之方式執行外部裝置之驅動控制，伴隨著基板處理系統之擴大或縮小(處理裝置之追加或去除)之勞力和時間增大。即，於引用文獻2之技術中，基板處理系統中之佈局之自由度較低。

因此，於本發明中，目的在於提供一種能夠抑制基板之污染且佈局之自由度較高之基板處理系統。

本發明之第1態樣之基板處理系統係自收納有基板之載體取出基板進行處理者，其特徵在於，其具備有：第1交接部，其於該基板處理系統與其外部之間交接上述載體；基板處理裝置群，其將複數個基板處理裝置配置成一行，且上述第1交接部沿著該排列方向於上述複數個基板處理裝置之一側鄰接；及載體搬送部，其沿著上述第1交接部及上述基板處理裝置群之排列方向於雙方向搬送上述載體；構成上述基板處理裝置群之各基板處理裝置具有：第2交接部，其於基板處理裝置與上述載體搬送部之間交接上述載體；複數個處理部，其對上述基板執行處理；及至少一個基板 搬送部，其於配置於上述第2交接部之上述載體與上述複數個處理部之間搬送上述基板。

本發明之第2態樣之基板處理系統係如本發明之第1態樣之基板處理系統，其中，上述載體搬送部具有：軌道，其於自上述第1交接部至上述基板處理裝置群中之另一側之基板處理裝置之區間，沿著上述排列方向延伸；及載體保持部，其能夠沿著上述軌道自行推進且保持上述載體。

本發明之第3態樣之基板處理系統係如第2態樣之基板處理系統，其中，上述軌道係將複數個單位軌道於上述排列方向上連結而構成，藉由上述單位軌道之裝卸而能夠調整上述軌道之上述排列方向上之長度。

本發明之第4態樣之基板處理系統係如本發明之第3態樣之基板處理系統，其中，上述單位軌道之上述排列方向之長度為基準長度，各基板處理裝置之上述排列方向之長度為與上述基準長度之整數倍對應之長度，該基板處理系統能夠執行：追加調整，其於對上述基板處理裝置群追加新的基板處理裝置之情況下，追加與該新的基板處理裝置之上述排列方向上之長度對應之數量之上述單位軌道而增加上述軌道之上述排列方向上之長度；及去除調整，其於自上述基板處理裝置群去除既有之基板處理裝置之情況下，將與該既有之基板處理裝置之上述排列方向上之長度對應之數量之上述單位軌道去除而縮短上述軌道之上述排列方向上之長度。

本發明之第5態樣之基板處理系統係如本發明之第1態樣之基板處理系統，其中，上述基板處理裝置群中之至少一個基板處理裝置具有處理內容互不相同之複數個處理部，且於該至少一 個基板處理裝置中，各基板於上述複數個處理部中依序被執行不同之處理。

本發明之第6態樣之基板處理系統係如本發明之第1態樣至第5態樣中任一項之基板處理系統，其中，上述基板處理裝置群中之至少一個基板處理裝置具有在配置於上述第2交接部之上述載體與上述複數個處理部之中間位置所配置之1個基板搬送部，且上述1個基板搬送部藉由使複數個基板保持手段分別個別地驅動，不自上述中間位置移動地，在配置於上述第2交接部之上述載體與上述複數個處理部之間搬送上述基板。

於本發明中，於基板處理系統之一側配置第1交接部。因此，可不移動第1交接部之位置而進行基板處理系統之擴張或縮小。於第1交接部之位置移動之情況下，基於進行基板處理系統與外部裝置之間之載體之交接之觀點，必須以抵消上述移動之影響之方式執行外部裝置之驅動控制。因此，本發明之態樣與例如日本專利第5392190號公報般伴隨著基板處理系統之擴張或縮小而第1交接部之位置移動之態樣相比，不需要上述驅動控制而較理想。

又，於本發明中，載體搬送部能夠沿著第1交接部及基板處理裝置群之排列方向於雙方向搬送載體。因此，於本發明之態樣中，與載體搬送部僅能沿著上述排列方向於一方向搬送載體之態樣相比，各基板處理裝置之配置之自由度較高而較理想。

又，於本發明中，收納有基板之載體藉由載體搬送部而被搬送至各基板處理裝置之第2交接部。因此，基板暴露於載體外部之環境氣體之時間較短，從而可有效地抑制對基板之污染。

1‧‧‧基板處理系統

10‧‧‧裝載埠

10a‧‧‧載置面

11‧‧‧擋板

20‧‧‧基板處理裝置

21‧‧‧第2交接部

22‧‧‧開閉部

23‧‧‧處理部

24‧‧‧基板搬送部

25‧‧‧裝置壁

30、30A‧‧‧FOUP保持部

31‧‧‧抓持部

32‧‧‧軌道

50‧‧‧控制單元

51‧‧‧記憶體

52‧‧‧CPU

80‧‧‧FOUP

81‧‧‧框體

82‧‧‧凸緣

83‧‧‧蓋

85‧‧‧第1凹部

87‧‧‧第2凹部

88‧‧‧底部

100‧‧‧裝載、卸載部

130、130a、130b‧‧‧搬送機器人

131‧‧‧支柱

132‧‧‧導軌

134a、134b、134c‧‧‧旋轉軸

136‧‧‧固定台

138a、138b‧‧‧臂

139‧‧‧前端部

139a‧‧‧突起部

140‧‧‧支架排列部

141‧‧‧收容空間

141a、141b、141c‧‧‧支架構件

142‧‧‧突起部

143‧‧‧上表面

145‧‧‧框架

146‧‧‧開口部

150、160‧‧‧載置部

200‧‧‧基板處理裝置群

211‧‧‧載置板

212‧‧‧升降部

221‧‧‧閂鎖部

222‧‧‧驅動部

241‧‧‧手

242‧‧‧手驅動機構

300‧‧‧FOUP搬送部

301‧‧‧框體

301A‧‧‧框體

302‧‧‧致動器(馬達)

303‧‧‧小齒輪

304、307‧‧‧馬達

305‧‧‧狹縫

306‧‧‧螺帽

308‧‧‧滾珠螺桿

320‧‧‧單位軌道

AR1‧‧‧箭頭

圖1係表示基板處理裝置之整體構成之立體圖。

圖2係表示FOUP之構成之立體圖。

圖3係表示基板處理系統之整體構成之俯視圖。

圖4係FOUP保持部及軌道之剖視圖。

圖5係裝載、卸載部之俯視圖。

圖6係裝載、卸載部之前視圖。

圖7係支架構件及FOUP之剖視圖。

圖8係FOUP搬送部及基板處理裝置之側視圖。

圖9係FOUP搬送部及基板處理裝置之側視圖。

圖10係FOUP搬送部及基板處理裝置之側視圖。

圖11係表示FOUP保持部及其周邊部之構成之俯視圖。

圖12係FOUP保持部及軌道之剖視圖。

以下，一面參照圖式一面對本發明之實施形態進行說明。於圖式中，對具有同樣之構成及功能之部分附註相同之符號，並省略重複說明。再者，以下之實施形態係將本發明具體化之一例，並非限定本發明之技術範圍之事例。又，於圖式中，為了容易理解，存在將各部之尺寸或數量誇張或簡化地圖示之情況。又，於圖式中，為了說明方向，存在附加XYZ正交座標軸之情況。座標軸中之+Z方向係鉛垂上方向，XY平面係水平面。

<1 實施形態> <1.1 基板處理系統之概略構成>

圖1係表示基板處理系統1之整體構成之立體圖。圖2係表示FOUP80之構成之立體圖。圖3係表示基板處理系統1之整體構成之俯視圖。圖4係以ZX平面切割FOUP保持部30及軌道32所得之剖視圖。圖5係裝載、卸載部100之俯視圖。圖6係裝載、卸載部100之前視圖。圖7係支架構件141a及FOUP80之剖視圖。

基板處理系統1係自分批次收納有複數個基板之前開式晶圓傳送盒(FOUP，front opening unified pod)80取出基板並對該複數個基板進行處理之系統。基板處理系統1主要具備裝載埠10、裝載、卸載部100、基板處理裝置群200、及FOUP搬送部300(載體搬送部)。

首先，參照圖2對FOUP80之構成進行說明。於FOUP80之框體81之內部形成有分別保持1片基板之複數個槽(未圖示)，可藉由該等複數個槽以於上下方向相互隔開之狀態保持數片基板。又，於FOUP80之框體81上部附設有凸緣82。下述FOUP保持部30(載體保持部)抓持該凸緣82，藉此，FOUP80以懸吊之狀態被保持。

又，於框體81之一面(自圖2中之箭頭AR1之朝向觀察之面)設置蓋83。於蓋83設置有相對於框體81之鎖定機構。若於將蓋83安裝於框體81之狀態下使鎖定機構發揮功能，則蓋83被固定於框體81而框體81內部成為被密閉之閉空間。藉此，可將蓋83安裝於框體81並使鎖定機構發揮功能從而將框體81內部設為密閉空間。因此，無論設置有基板處理系統1之無塵室之潔淨度如何，FOUP80內部維持為較高之潔淨度。另一方面，若解除上述 鎖定機構，則能夠將蓋83自框體81卸除，從而能夠自框體81之內部取出基板及將基板收納於框體81之內部。再者，例如，將25片基板使其各自之主面沿著水平方向並於上下方向相隔而收納於框體81。

又，於框體81之底部88，於靠近框體81之兩側面之位置形成有一對第1凹部85。進而，於底部88之中心位置附近形成有3個第2凹部87。於圖2中，以假想線示出有第1凹部85及第2凹部87之形成位置。3個第2凹部87以將其等連接而形成之三角形之一邊與蓋83之平面平行之方式形成。

裝載埠10係載置自基板處理系統1之外部之搬送裝置(例如，高架起重傳輸(OHT，Overhead Hoist Transfer))或基板處理系統1之操作員交接之FOUP80之載置台。如圖1所示，於裝載、卸載部100並設2台裝載埠10，於各裝載埠10之載置面10a上載置各1個FOUP80。

裝載、卸載部100作為將FOUP80暫時收容於其內部之FOUP收容部(緩衝區)發揮功能。如圖1及圖5所示，於裝載、卸載部100之裝載埠10側之側面設置有2個擋板11。若將擋板11打開，則形成連通基板處理系統1之外部空間與裝載、卸載部100之內部空間之開口部。

因此，裝載、卸載部100之搬送機器人130a能夠經由該開口部而於裝載埠10與裝載、卸載部100之內側空間之間進行FOUP80之搬送。於本實施形態中，如圖1所示，裝載、卸載部100配置於由裝載埠10與基板處理裝置群200夾持之部位。包含裝載埠10及裝載、卸載部100之構成作為於基板處理系統1與其外 部之間交接FOUP80之第1交接部發揮功能。

如圖1所示，基板處理裝置群200係6個基板處理裝置20配置成一行而構成。沿著複數個基板處理裝置20之排列方向(Y方向)，於複數個基板處理裝置20之一側(-Y方向側)供裝載、卸載部100鄰接。

於基板處理裝置群200中，可為於各基板處理裝置20中執行不同之基板處理之態樣，亦可為於各基板處理裝置20中執行相同之基板處理之態樣。以下，對在各基板處理裝置20中執行相同之基板處理(例如，基板清潔處理)之態樣進行說明。

如圖3及圖5所示，FOUP搬送部300具有：軌道32，其於自裝載、卸載部100至基板處理裝置群200中之+Y方向側之基板處理裝置20之區間沿著Y方向延伸；及FOUP保持部30，其能夠沿著軌道32自行推進，且保持FOUP80。因此，FOUP搬送部300能夠於Y軸之雙方向(±Y方向)上搬送FOUP80。

收納未處理之基板之FOUP80首先自基板處理系統1之外部經由裝載埠10而被搬入至基板處理系統1。該FOUP80自裝載埠10移動至裝載、卸載部100且暫時保持於設置於裝載、卸載部100內之複數個收容空間141(參照圖5、圖6)之任一者之後，藉由FOUP搬送部300而被搬送至基板處理裝置群200中之任一基板處理裝置20。基板處理裝置20對自FOUP80取出之各基板執行清潔處理，且將經處理過之各基板再次收納於FOUP80。收納經處理過之基板之FOUP80係藉由FOUP搬送部300而自基板處理裝置20被搬送至裝載、卸載部100。該FOUP80於裝載、卸載部100中暫時被保持之後，被移動至裝載埠10。然後，將該FOUP80(收納經 處理過之基板之FOUP)自裝載埠10向基板處理系統1之外部搬出。

圖1所示之控制單元50具備：記憶體51，其儲存程式或變數等；及CPU52，其執行依據儲存於記憶體51之程式之控制。又，基板處理系統1內之各部藉由未圖示之信號線而與控制單元50電性連接。因此，CPU52按照儲存於記憶體51之程式使該等各部(控制對象)於既定之時點動作。儲存於記憶體51之程式例如係關於FOUP搬送之程式，藉由執行該程式，搬送機器人130於裝載、卸載部100內搬送FOUP80或FOUP保持部30於FOUP搬送部300之內部搬送FOUP80。或者，儲存於記憶體51之程式係關於基板搬送之程式，藉由執行該程式，基板搬送部24(下述)於FOUP80與處理單元24之間搬送基板。

<1.2 各部之詳細之構成>

如圖5及圖6所示，裝載、卸載部100主要具備2個搬送機器人130(130a、130b)、支架排列部140、及載置部150、160。

如圖5所示，於裝載、卸載部100內配置有於XZ平面排列有複數個支架構件141之支架排列部140。又，於裝載、卸載部100內，搬送機器人130a及載置部150配置於支架排列部140與裝載埠10之間，搬送機器人130b及載置部160配置於支架排列部140與基板處理裝置群200之間。

支架排列部140係收容複數個(本實施形態中為16個)FOUP80之收容部。即，於支架排列部140中不僅收容有收容未處理基板之FOUP80，亦收容將基板取出之後之空的FOUP80。如圖5及圖6所示，支架排列部140係使複數個支架沿著鉛垂方向(Z 軸方向)及水平方向(X軸方向)二維地排列者。

複數個支架之各者具備一對支架構件141a。如圖7所示，各支架構件141a具有大致L字形之形狀，且以各支架構件141a之長條方向與Y軸方向大致平行之方式安裝於對應之框架145。又，對於支架構件141a，於載置FOUP80之側之面設置有與設置於FOUP80之底部88之第1凹部85對應之突起部142。因此，可藉由於FOUP80之第1凹部85嵌合一對支架構件141a之突起部142，而將FOUP80穩定地保持於一對支架構件141a。

如此，於本實施形態中，一對支架構件141a作為收容FOUP80之收容支架而使用，又，由一對支架構件141a夾持之區域作為收容FOUP80之收容空間141而使用。

又，於構成收容支架之2個支架構件141a之間形成有較搬送機器人130(130a、130b)之前端部139之尺寸大之開口部146。而且，如圖6所示，各開口部146沿著鉛垂方向(Z軸方向)配置。

因此，搬送機器人130之前端部139通過該等開口部146並且於支架排列部140之內部升降。即，支架排列部140所包含之複數個收容支架之各自之開口部146成為能夠使前端部139於鉛垂方向通過之通過部。

如圖5所示，搬送機器人130a、130b自支架排列部140觀察係分別配置於裝載埠10側及基板處理裝置群200側之搬送FOUP80之部分。即，搬送機器人130a隔著支架排列部140配設於與搬送機器人130b相反側。

再者，於本實施形態中，兩機器人130a、130b具有 大致相同之硬體構成。因此，於以下說明中，於不對搬送機器人130a及搬送機器人130b進行區別之情況下，簡稱為「搬送機器人130」。

搬送機器人130之前端部139係自下側保持FOUP80之保持要素，且具有大致三角形狀。於前端部139之上表面側之各頂點附近，設置有突起部139a。又，如前述般，於FOUP80之底部88設置有與突起部139a對應之3個第2凹部87(參照圖7：為便於圖示，記載3個中之2個)。又，前端部139經由與Z軸大致平行地設置之旋轉軸134b而安裝於臂138a，且能夠以旋轉軸134b為中心旋轉。因此，搬送機器人130藉由一面使前端部139旋轉一面使3個突起部139a嵌合於FOUP80之對應之第2凹部87而穩定地保持FOUP80。

進而，臂138a經由與Z軸大致平行地設置之旋轉軸134c而安裝於臂138b，臂138b經由旋轉軸134a而安裝於固定台136。又，固定台136可升降地設置於沿鉛垂方向(Z軸方向)延伸之支柱131。進而，支柱131能夠沿著於水平方向(X軸方向)延伸之導軌132滑動。

藉此，搬送機器人130(130a、130b)使保持於前端部139之FOUP80沿著支架排列部140於水平方向移動並且於鉛垂方向升降。因此，搬送機器人130a於支架排列部140之收容支架、裝載埠10、及載置部150之間搬送FOUP80。又，搬送機器人130b於支架排列部140之收容支架與載置部160之間搬送FOUP80。

搬送機器人130a進行如下處理：將載置於裝載埠10之FOUP80向支架排列部140搬送之處理；將載置於裝載埠10之FOUP80向載置部150搬送之處理；將載置於載置部150之FOUP80 向支架排列部140搬送之處理；將收納於支架排列部140之FOUP80向裝載埠10搬送之處理；及將載置於載置部150之FOUP80向裝載埠10搬送之處理。再者，搬送機器人130a於將FOUP80載置於載置部150之情況下，以蓋83之朝向成為+X朝向之狀態之方式載置FOUP80。又，搬送機器人130a於將FOUP80載置於裝載埠10及支架排列部140之情況下，以蓋83之朝向成為+Y朝向之方式載置FOUP80。

又，搬送機器人130b進行如下處理：將收納於支架排列部140之FOUP80向載置部160搬送之處理；及將載置於載置部160之FOUP80向支架排列部140搬送之處理。再者，搬送機器人130b於將FOUP80載置於載置部160之情況下，以蓋83之朝向成為+X朝向之狀態之方式載置FOUP80。又，搬送機器人130b於將FOUP80載置於支架排列部140之情形時，以蓋83之朝向成為+Y朝向之方式載置FOUP80。

於本實施形態中，搬送機器人130a、130b隔著支架排列部140對向地配置。因此，可藉由搬送機器人130a、130b大致同時執行複數個FOUP80之搬送，從而可提高作為裝載、卸載部100整體之處理量。又，除去存取於同一收容支架之情況，搬送機器人130a、130b可於空間上不相互干涉而執行FOUP80之搬送。因此，可不考慮搬送機器人130a、130b之干涉而設定各機器人之動作。

再者，於搬送機器人130(130a、130b)與支架排列部140之各收容支架之間進行之FOUP80之搬送係如下述般進行。即，於將FOUP80自搬送機器人130交接至收容支架之情況下，首 先，以收容於收容支架之FOUP80之底部88之高度位置(Z軸方向位置)高於支架構件141a(141b、141c)之上表面143(參照圖7)之高度位置之方式，使搬送機器人130之前端部139移動。其次，使前端部139下降，於FOUP80之第1凹部85嵌合一對支架構件141a(141b、141c)之突起部142。

然後，藉由使前端部139進而下降，而將FOUP80載置於一對支架構件141a(141b、141c)之上表面143，並且藉由使前端部139之突起部139a與第2凹部87隔離而完成將FOUP80自搬送機器人130交接至收容支架之處理。

另一方面，於將FOUP80自收容支架交接至搬送機器人130之情況下，首先，使搬送機器人130之前端部139移動至載置於收容支架之FOUP80之下方。其次，使前端部139上升，使前端部139之突起部139a嵌合於FOUP80之第2凹部87。

然後，藉由使前端部139進而上升，而將FOUP80保持於前端部139，藉由使突起部142與第1凹部85隔離，而完成將FOUP80自收容支架交接至搬送機器人130之處理。

如此，於在搬送機器人130與收容支架之間進行FOUP80之搬送之過程中，FOUP80移動至支架構件141a(141b、141c)之上方。因此，收容空間141之高度以大於FOUP80之高度之方式設定。

載置部160作為暫時保持自支架排列部140向基板處理裝置20搬送之FOUP80之載置部發揮功能。又，載置部160亦作為暫時保持自基板處理裝置20向支架排列部140搬送之FOUP80之載置部發揮功能。

載置部160具有載置FOUP80之支架構件141b。支架構件141b係具有-X方向觀察之側面形狀具有大致L字形之一對長條構件，且於載置FOUP80之面具有複數個(本實施形態中為3個)突起部之構件。如圖5及圖6所示，以支架構件141b之長條方向成為與X軸方向大致平行之方式配設。

載置部150作為暫時保持自裝載埠10及支架排列部140向基板處理裝置20搬送之FOUP80之載置部發揮功能。又，載置部150亦作為於將自基板處理裝置20搬送之FOUP80向裝載埠10及支架排列部140搬送時暫時保持FOUP80之載置部發揮功能。

載置部150具有載置FOUP80之支架構件141c。支架構件141c係如下構件，即，具有-X方向觀察之側面形狀具有大致L字形之一對長條構件，且於載置FOUP80之面具有複數個(本實施形態中為3個)突起部。如圖5及圖6所示，支架構件141c以其長條方向與X軸方向大致平行之方式配設。

如圖3所示，FOUP搬送部300具有：軌道32，其於自裝載、卸載部100至基板處理裝置群200中之+Y方向側之基板處理裝置20之區間沿著Y方向延伸；及FOUP保持部30，其能夠沿著軌道32自行推進，且保持FOUP80。

使用圖4對FOUP保持部30進行詳述。FOUP保持部30具有：中空之矩形剖面之框體301、安裝於框體301之內壁之致動器302、安裝於框體301之內壁且能夠於正反方向旋轉之馬達304、及安裝於該馬達304之旋轉軸之小齒輪303。於框體301中軌道32於Y軸方向貫通。於該軌道32之上表面切開有與小齒輪303齒合之齒條(未圖示)。藉此，若馬達302使小齒輪303於正反方向 旋轉，則FOUP保持部30沿著軌道32於±Y方向自行推進。

於框體301之與FOUP80對向之側之側面，於上下方向切開有長條之狹縫305。保持FOUP80之2個抓持部31經由狹縫305而連結於致動器302。致動器302使2個抓持部31相互接近分離並且於上下方向移動。

軌道32係將複數個單位軌道320於Y方向上連結而構成。更具體而言，軌道32係將配置於最靠-Y方向側且相對較短之1個單位軌道320與相對較長且具有與各基板處理裝置20相同之Y方向長度之6個單位軌道320連結而構成。軌道32能夠藉由單位軌道320之裝卸而調整Y方向上之長度。

於基板處理系統1中，於在基板處理裝置群200追加新的基板處理裝置20之情況下，執行根據該新的基板處理裝置20之Y方向上之長度追加單位軌道320而增加軌道32之Y方向上之長度之追加調整。又，於在基板處理系統1中自基板處理裝置群200去除既有之基板處理裝置20之情況下，執行根據該既有之基板處理裝置20之Y方向上之長度去除單位軌道320而縮短軌道32之Y方向上之長度之去除調整。

於如本實施形態般FOUP搬送部300係由能夠調整長度之軌道32及能夠自行推進之FOUP保持部30構成之情況下，如上述般，可藉由單位軌道320之裝卸及基板處理裝置20之追加或去除之容易之作業，而進行基板處理系統1之擴張或縮小(基板處理裝置20之追加或去除)。

於本實施形態中，基板處理系統1於與OHT等外部之FOUP搬送手段之間，於設置於基板處理系統1之一側(-Y方向 側)之第1交接部(裝載埠10及裝載、卸載部100)中進行FOUP80之交接。即便於基板處理系統1追加、去除基板處理裝置20，基板處理系統1之長度僅於另一側(+Y方向側)變化，第1交接部之位置不會變化。假設若根據基板處理裝置20之追加、去除，於與外部之FOUP搬送手段之間交接FOUP80之交接位置變化，則必須以補償該變化之方式驅動FOUP搬送手段。於此情況下，FOUP搬送手段之控制變得複雜。於本實施形態中，無論基板處理裝置20之追加、去除，FOUP80之交接位置不會變化，因此FOUP搬送手段不會變得複雜。此種態樣例如與如專利第5392190號公報般伴隨著基板處理系統之擴張或縮小而第1交接部之位置移動之態樣相比而較理想。

FOUP保持部30保持沿X方向延伸且於Y方向相隔之2個棒狀之抓持部31。FOUP保持部30可保持該2個抓持部31且使其等於其遠近方向(Y方向)位移。因此，FOUP保持部30能夠切換藉由使2個抓持部31靠近而抓持凸緣82之狀態與藉由使2個抓持部31遠離而不抓持凸緣82之狀態。

又，如圖6所示，FOUP保持部30包含使抓持部31沿著Z方向升降之升降機構(前述致動器302)。進而，FOUP保持部30可藉由馬達304(參照圖4)而沿著軌道32於Y方向滑動。因此，FOUP保持部30能夠沿著Y方向及Z方向移動。

圖8係自圖3之A-A剖面觀察之基板處理裝置20及FOUP搬送部300之側視圖。圖8~圖10係表示直至將藉由FOUP搬送部300搬送之FOUP80交接至基板處理裝置20，並對FOUP80內之各基板執行處理為止之流程之側視圖。

構成基板處理裝置群200之各基板處理裝置20具有：第2交接部21，其於基板處理裝置20與FOUP搬送部300之間交接FOUP80；開閉部22，其相對於配置於第2交接部21之FOUP80進行蓋83之開閉；複數個處理部23，其等對基板執行處理；及基板搬送部24，其於配置於第2交接部21之FOUP80與複數個處理部23之間搬送基板。

第2交接部21具有：載置板211，於其上表面載置FOUP80；及升降部212，其使載置板211升降。

藉由升降部212而移動至最上方時之載置板211之高度位置(交接位置)係藉由FOUP搬送部300而搬送之FOUP80之下表面之高度與載置板211之上表面之高度大致一致之位置。圖8係表示載置於裝載、卸載部100內之載置部150或載置部160(參照圖4)之FOUP80由FOUP搬送機構300沿Y方向搬送至與基板處理裝置群200內之所需之基板處理裝置20對向之第2交接部21之載置部211之後該FOUP80載置於載置部211之狀態之基板處理裝置20及FOUP搬送部300之側視圖。

於將FOUP80自FOUP保持部30交接至第2交接部21時，於處於交接位置之載置板211之正上方，自FOUP保持部30保持FOUP80之狀態使2個抓持部31隔開。藉此，自FOUP80被FOUP保持部30抓持之狀態向FOUP80載置於載置板211之狀態切換。另一方面，於將FOUP80自第2交接部21交接至FOUP保持部30時，於交接位置，於載置有FOUP80之載置板211之正上方FOUP保持部30使2個抓持部31靠近。藉此，自FOUP80載置於載置板211之狀態向FOUP80由FOUP保持部30抓持之狀態 切換。

於本實施形態中，如圖3所示，於各基板處理裝置20中，2個載置板211於Y方向鄰接設置，升降部212使該等2個載置板211個別地升降。藉此，於各基板處理裝置20中，可於在Y方向上鄰接之2個部位進行FOUP保持部30與第2交接部21之間之FOUP80之交接。

若將FOUP80交接至載置板211，則如圖8所示，載置板211藉由升降部212下降至最下方之高度位置(待機位置)。該待機位置係基板搬送部24能夠相對於載置於載置板211上之FOUP80內交接基板之位置。圖9係載置板211位於待機位置時之基板處理裝置20及FOUP搬送部300之側視圖。

基板搬送部24將配置於待機位置之FOUP80內之基板依序向各處理部23搬送，且將於各處理部23處理完成之基板依序向配置於待機位置之FOUP80內搬送。FOUP80於對原來收納於其內部之全部基板(1批次之基板)實施處理且經處理過之全部基板返回該FOUP80內之前於待機位置待機。若經處理過之全部基板返回FOUP80內，則升降部212使載置板211上升而該FOUP80移動至交接位置。然後，收納經處理過基板之該FOUP80由FOUP搬送部300向裝載、卸載部100搬送，且通過裝載埠10向基板處理系統1之外部搬送。

再者，載置板211基本上維持於待機位置，僅於與FOUP保持部30之間進行FOUP80之交接之時點上升至交接位置。藉此，可有效地抑制利用FOUP保持部30之FOUP80之搬送因位於交接位置之其他FOUP80之存在而被妨礙之事態。

於基板處理裝置20中設置有收容開閉部22、處理部23、及基板搬送部24之裝置壁25，第2交接部21與裝置壁25之-X側鄰接設置。於裝置壁25之-X側之側壁中，於與配置於位於待機位置之2個載置板211上之2個FOUP80之2個蓋83對應之位置設置有未圖示之2個擋板。若將該擋板打開，則形成連通裝置壁25之外部空間與裝置壁25之內部空間之開口部。

開閉部22主要具有閂鎖部221、及使閂鎖部221於Z方向及X方向移動之驅動部222。閂鎖部221以能夠與FOUP80之蓋83嵌合之形狀構成。因此，藉由驅動部222使閂鎖部221移動而閂鎖部221經由上述開口部到達至蓋83。於閂鎖部221被移動而到達至蓋83並嵌合之後，保持有蓋83之閂鎖部221返回至裝置壁25內之定位置，藉此，FOUP80之蓋83成為被打開之狀態。圖10係該時點之基板處理裝置20及FOUP搬送部300之側視圖。

於自基板搬送部24開始將FOUP80內之複數個基板搬送至各處理部23至基板搬送部24將於各處理部23經執行處理之複數個基板搬回至FOUP80內之期間，蓋83維持被打開之狀態。而且，若經處理過之全部基板返回至FOUP80內，則開閉部22相對於FOUP80安裝蓋83，從而將FOUP80密閉。

基板搬送部24具備用以支持基板之2根手241(基板保持手段)、及使2根手241獨立地移動之手驅動機構242。各手241藉由被手驅動機構242驅動而進行進退移動及升降移動，從而經由上述開口部與處於待機位置之載置板211上之FOUP80進行基板之交接。又，各手241藉由被手驅動機構242驅動而進行進退移動及升降移動，從而於與各處理部23之間進行基板之交接。

處理部23係於腔室內對基板執行清潔處理等既定之處理之部分。於本實施形態中，於各基板處理裝置20中，於上下方向堆積有4個處理部23之多段構成於Y方向鄰接設置有2個，合計設置8個處理部23(圖3及圖8~圖10)。再者，能夠對處理部23之數量或配置適當地進行設定。又，於本實施形態中，對各處理部23進行同一處理(基板清潔處理)之態樣進行說明，但亦可為各處理部23進行互不相同之處理之態樣。

於本實施形態中，以將未處理基板收納於FOUP80之狀態搬送至第2交接部21。第2交接部21為處理部23之附近，因此，可將未處理基板以與外部環境氣體隔離之狀態搬送至處理部23之附近。因此，基板暴露於FOUP80之外部環境氣體之期間為自基板搬送部24開始將FOUP80內之複數個基板搬送至各處理部23至基板搬送部24將於各處理部23經執行處理之複數個基板搬回至FOUP80內之期間。因此，於本實施形態中，與於裝載、卸載部100中將FOUP80打開之其他態樣(例如日本專利特開2006-237559號公報中記載之態樣)相比，基板暴露於FOUP80外部之環境氣體之時間較短，可有效地抑制對基板之污染。

又，於本實施形態中，基板處理裝置群200之各基板處理裝置20具有於配置於第2交接部21之FOUP80與複數個處理部23之中間位置配置之1個基板搬送部24。而且，該1個基板搬送部24藉由使2根手241於水平方向分別個別地驅動，不自中間位置移動而於配置於第2交接部21之FOUP80與複數個處理部23之間搬送基板。如此，於藉由不會自中央位置移動之1個基板搬送部24進行各基板之搬送之本實施形態之態樣中，與經由複數個基 板搬送部搬送基板之態樣、或以保持有基板之狀態使基板搬送部移動之態樣相比，基板暴露於FOUP80外部之環境氣體之時間較短，從而可更有效地抑制對基板之污染。

<2 變形例>

以上，對本發明之實施形態進行了說明，但本發明能夠於不脫離其主旨之範圍內於上述以外進行各種變更。

於上述實施形態中，對使用FOUP作為逐批次收納基板之載體之態樣進行了說明，但亦可使用其他基板收容器作為載體。

於上述實施形態中，對於各基板處理裝置20中執行相同基板處理(基板清潔處理)之態樣進行了說明，但亦可於各基板處理裝置20中執行不同之基板處理。於在各基板處理裝置20中執行相同之基板處理之態樣中，收納於某一基板處理裝置20中被執行基板處理之1批次之基板之FOUP80經由裝載、卸載部100而被搬送至裝載埠10，並向基板處理系統1之外部搬出。另一方面，於在各基板處理裝置20中執行不同之基板處理之態樣中，收納於某一基板處理裝置20中被執行基板處理之1批次之基板之FOUP80亦可被搬送至另一基板處理裝置20進而執行其他基板處理。於該情況下，於如上述實施形態般FOUP搬送部300能夠沿著基板處理裝置群200之排列方向於雙方向(±Y方向)搬送FOUP80之態樣中，與僅能夠沿著一方向搬送FOUP80之態樣不同，可不將各基板處理裝置20之配置限定於基板處理順序而自由地進行。

又，於上述實施形態中，對於各基板處理裝置20中 配置處理內容相同之複數個處理部23之態樣進行了說明，但亦可為於各基板處理裝置20中配置處理內容不同之複數個處理部23之態樣。於各處理部23中處理內容相同之態樣中，利用某一處理部23被執行基板處理之基板未經由其他處理部23而返回至FOUP80。另一方面，於各處理部23中處理內容不同之態樣中，利用某一處理部23執行了第1基板處理之基板亦可被搬送至另一處理部23而執行與第1基板處理不同之第2基板處理。如此，於複數個處理部中依序執行不同之處理之態樣中，與於複數個處理裝置中依序執行不同之處理之態樣相比，自某一處理至下一處理之時間間隔較短。因此，基板處理裝置具有處理內容不同之複數個處理部之態樣例如於在將基板加熱至既定溫度之加熱處理之後對該基板實施清潔處理之情況等欲縮短各處理間之時間間隔之情況下尤其有效。

於上述實施形態中，對於各基板處理裝置20中配置1個基板搬送部24之態樣進行了說明，但亦可為於各基板處理裝置20配置複數個基板搬送部24之態樣。

於上述實施形態中，對第2交接部21包含載置板211及升降部212之態樣進行了說明，但並不限於此。亦可為如下態樣，即，第2交接部21除載置板211及升降部212以外進而具有暫時保持FOUP80之緩衝區部。

於上述實施形態中，對軌道32係將配置於最靠-Y側且相對較短之1個單位軌道320與相對較長且具有與各基板處理裝置20相同之Y方向長度之6個單位軌道320連結而構成之態樣進行了說明，但並不限於此。例如，亦可為各單位軌道320之長度為 相同之長度(基準長度)，各基板處理裝置20之Y方向之長度為與基準長度之整數倍相應之長度。而且，於基板處理裝置群200追加新的基板處理裝置20之情形時，執行追加與該新的基板處理裝置20之Y方向上之長度相應之數量之單位軌道320而增加軌道32之Y方向上之長度之追加調整。又，於自基板處理裝置群200去除既有之基板處理裝置20之情況下，執行去除與該既有之基板處理裝置20之Y方向上之長度相應之數量之單位軌道320而縮短軌道32之Y方向上之長度之去除調整。於該態樣中，由於各單位軌道320之長度相同，故而各單位軌道320之管理較容易。又，由於各基板處理裝置20之Y方向之長度為與基準長度之整數倍相應之長度，故而藉由根據基板處理裝置20之追加或去除裝卸整複數個單位軌道320，能夠使基板處理裝置群200之Y方向上之長度與軌道32之Y方向上之長度對應。

於上述實施形態中，對藉由配設於內部之馬達304而沿著軌道32自行推進之FOUP保持部30進行了說明，但FOUP保持部30之移動手段並不限於此。例如，亦可於軌道32之±Y方向兩端配置滑輪，於該等一對滑輪間架設驅動帶，使該驅動帶連結FOUP保持部30，藉此而構成FOUP保持部30之移動手段。

又，亦可代替上述實施形態之FOUP保持部30而使用圖11及圖12所示之FOUP保持部30A。於本變形例中，沿著軌道32配置滾珠螺桿308。該滾珠螺桿308於Y方向貫通FOUP保持部30A之框體301A，且與配設於FOUP保持部30A之內部之螺帽306螺合。滾珠螺桿308之(-Y方向)側之端部連結於配置於裝載、卸載部100之馬達307。因此，藉由使馬達307之旋轉軸於正 反方向旋轉，滾珠螺桿308旋轉，從而可使FOUP保持部30沿著軌道32於±Y方向移動。

以上，對實施形態及其變形例之基板處理系統進行了說明，但其等係本發明較佳之實施形態之例，並不限定本發明之實施範圍。本發明於該發明之範圍內能夠進行各實施形態之自由之組合、或各實施形態之任意之構成要素之變形、或於各實施形態中進行任意之構成要素之省略。

1‧‧‧基板處理系統

10‧‧‧裝載埠

20‧‧‧基板處理裝置

21‧‧‧第2交接部

22‧‧‧開閉部

23‧‧‧處理部

24‧‧‧基板搬送部

30‧‧‧FOUP保持部

31‧‧‧抓持部

32‧‧‧軌道

80‧‧‧FOUP

82‧‧‧凸緣

100‧‧‧裝載、卸載部

200‧‧‧基板處理裝置群

300‧‧‧FOUP搬送部

320‧‧‧單位軌道

Claims (6)

1. 一種基板處理系統，其係自收納有基板之載體取出基板並進行處理者，其特徵在於，其具備有：第1交接部，其於該基板處理系統與其外部之間交接上述載體；基板處理裝置群，其將複數個基板處理裝置配置成一行，且上述第1交接部沿著該排列方向於上述複數個基板處理裝置之一側鄰接；及載體搬送部，其沿著上述第1交接部及上述基板處理裝置群之排列方向於雙方向搬送上述載體；構成上述基板處理裝置群之各基板處理裝置具有：第2交接部，其於基板處理裝置與上述載體搬送部之間交接上述載體；複數個處理部，其等對上述基板執行處理；及至少一個基板搬送部，其於配置於上述第2交接部之上述載體與上述複數個處理部之間搬送上述基板。
2. 如請求項1之基板處理系統，其中，上述載體搬送部具有：軌道，其於自上述第1交接部至上述基板處理裝置群中之另一側之基板處理裝置之區間，沿著上述排列方向延伸；及載體保持部，其能夠沿著上述軌道自行推進，且保持上述載體。
3. 如請求項2之基板處理系統，其中，上述軌道係將複數個單位軌道於上述排列方向上連結而構成，藉由上述單位軌道之裝卸，能夠調整上述軌道之上述排列方向上之長度。
4. 如請求項3之基板處理系統，其中，上述單位軌道之上述排列方向之長度為基準長度，各基板處理裝置之上述排列方向之長度為與上述基準長度之整數倍相應之長度，該基板處理系統能夠執行：追加調整，其於對上述基板處理裝置群追加新的基板處理裝置之情況下，追加與該新的基板處理裝置之上述排列方向上之長度相應之數量之上述單位軌道，而增加上述軌道之上述排列方向上之長度；及去除調整，其於自上述基板處理裝置群去除既有之基板處理裝置之情況下，去除與該既有之基板處理裝置之上述排列方向上之長度相應之數量之上述單位軌道，縮短上述軌道之上述排列方向上之長度。
5. 如請求項1之基板處理系統，其中，上述基板處理裝置群中之至少一個基板處理裝置具有處理內容互不相同之複數個處理部，於該至少一個基板處理裝置中，各基板於上述複數個處理部中依序被執行不同之處理。
6. 如請求項1至5中任一項之基板處理系統，其中，上述基板處理裝置群中之至少一個基板處理裝置具有在配置於上述第2交接部之上述載體與上述複數個處理部之中間位置所配置之1個基板搬送部，上述1個基板搬送部藉由使複數個基板保持手段分別個別地驅動，不自上述中間位置移動地，在配置於上述第2交接部之上述載體與上述複數個處理部之間搬送上述基板。