TW201736227A - 物品搬送設備 - Google Patents

物品搬送設備 Download PDF

Info

Publication number
TW201736227A
TW201736227A TW106106389A TW106106389A TW201736227A TW 201736227 A TW201736227 A TW 201736227A TW 106106389 A TW106106389 A TW 106106389A TW 106106389 A TW106106389 A TW 106106389A TW 201736227 A TW201736227 A TW 201736227A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
adjustment
article
traveling
mounting table
mounting
Prior art date
Application number
TW106106389A
Other languages
English (en)
Inventor
堀井高宏
和田吉成
Original Assignee
大福股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 大福股份有限公司 filed Critical 大福股份有限公司
Publication of TW201736227A publication Critical patent/TW201736227A/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G19/00—Conveyors comprising an impeller or a series of impellers carried by an endless traction element and arranged to move articles or materials over a supporting surface or underlying material, e.g. endless scraper conveyors
    • B65G19/02—Conveyors comprising an impeller or a series of impellers carried by an endless traction element and arranged to move articles or materials over a supporting surface or underlying material, e.g. endless scraper conveyors for articles, e.g. for containers
    • B65G19/025—Conveyors comprising an impeller or a series of impellers carried by an endless traction element and arranged to move articles or materials over a supporting surface or underlying material, e.g. endless scraper conveyors for articles, e.g. for containers for suspended articles
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3202—Mechanical details, e.g. rollers or belts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/16—Applications of indicating, registering, or weighing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C9/00—Travelling gear incorporated in or fitted to trolleys or cranes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3214—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicle
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3218—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3221—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H10P72/3308—Vertical transfer of a single workpiece
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H10P72/3312—Vertical transfer of a batch of workpieces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control And Safety Of Cranes (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)

Abstract

本發明提供一種技術，其可以更靈活地設定調整用載置面，且能有效率地進行物品搬送車的調整。一種物品搬送設備，其具備有被設置在天花板的行走軌道懸吊支撐，且將物品懸吊支撐並從成為搬送起點之載置台搬送到成為搬送目的地之載置台的物品搬送車，並具備調整用載置台，該調整用載置台具有可用和將物品載置於載置台上之形態相同的形態，來載置用於調整搬送用設定檔資訊的調整用裝置的載置面。調整用載置面可在預先規定的上限高度與下限高度之間，無分段式地設定為不同的高度。

Description

物品搬送設備
發明領域 本發明是有關於一種物品搬送設備，其具備有被設置在天花板的行走軌道懸吊支撐而行走，且將物品懸吊支撐而從成為搬送起點的載置台搬送到成為搬送目的地的載置台的物品搬送車。
發明背景 利用懸吊於設置在天花板的軌道的物品搬送車，以自動地搬運物品之物品搬送設備目前已經實用化。為了以高精度移載物品，具體而言，為了在搬送起點上將物品精度良好地保持、搬送，並精度良好地載置到搬送目的地之預定位置，較佳是精度良好地調整物品搬送車的停止位置或支撐物品的支撐部進行支撐動作的位置。例如，在日本專利特開2009-35403號公報(專利文獻1)中，揭示有與這種調整(教示)相關的技術(段落[0049]-[0064]，圖1～圖3等)。在專利文獻1中， 是藉由使物品搬送車進行搬送動作來進行調整，且該搬送動作是實際上使用了載置物品的載置台之動作。如此，使用實際上載置物品的載置台來進行調整時，在進行調整的期間，即無法利用該載置台，恐有使物品搬送設備的設備利用率降低之虞。
因此，已被考慮到的有另外設置構成為可以在因應於實際的載置台高度(從地上起算的高度、或從天花板側的軌道到載置台的載置面之距離)的位置上載置物品的調整用載置台(例如，參照圖14)。此調整用載置台400是構成為可以將替代物品而載置於調整用載置台400的調整用單元C載置於不同高度的調整用載置面P(P101～P103)上。在這個例子中，調整用載置台400具備有樑部BG以及架設在樑部BG上的載置部SS。載置部SS是以可藉由圖中未示的致動器所進行之擺動，而在調整用載置面P為沿著垂直方向(上下方向)的狀態、與調整用載置面P為沿著水平方向的狀態之間變更姿勢的方式來構成。但是，在這種構造中，要因應實際的載置台的高度而靈活地設定調整用載置面P的高度是困難的。又，在不同的調整用載置面P的高度之差較小的情況下，恐有使在上下方向上相鄰的載置部SS彼此干涉之虞，且要以較短的間隔來設定調整用載置面P也是困難的。
發明概要 有鑑於上述背景技術，所期望的是提供一種可以更靈活地設定調整用載置面，且可有效率地進行物品搬送車的調整之技術。
作為1個態樣，有鑒於上述之物品搬送設備為具備有下述之物品搬送設備： 行走軌道，設置在天花板； 複數個載置台，沿著前述行走軌道而設置在地上側；及 物品搬送車，被前述行走軌道懸吊支撐，且沿著藉由前述行走軌道所形成的行走路徑而行走，來將物品懸吊支撐並從成為搬送起點之前述載置台搬送到成為搬送目的地之前述載置台， 前述物品搬送車具備沿著前述行走路徑行走的行走部、被前述行走部支撐且把持並懸吊支撐前述物品的支撐部、在前述行走部已停止的狀態下使前述支撐部相對於前述行走部而升降的升降部、及儲存搬送用設定檔資訊的設定檔儲存部，且該搬送用設定檔資訊至少包含用於在各載置台上移載前述物品之前述支撐部及前述升降部的作動量之資訊， 前述物品搬送設備並具備： 調整用裝置，用於調整前述搬送用設定檔資訊；及 調整用載置台，具有調整用載置面，該調整用載置面可用與於前述載置台上載置前述物品之形態相同的形態來載置前述調整用裝置， 前述調整用裝置可用與前述物品相同的形態被前述支撐部懸吊支撐，並且用與前述物品相同的形態且藉由前述物品搬送車而被載置到前述載置台，以於相對於前述調整用載置面的移載之時，取得前述支撐部及前述升降部的作動量之資訊來調整前述搬送用設定檔資訊， 前述調整用載置面可在預先規定的上限高度與下限高度之間以無分段方式來設定為不同的高度。
由於調整用載置台可無分段地對調整用載置面的高度進行調整，因此可以靈活地設定調整用載置面的高度。例如，在構造上，當調整用載置面的高度為固定時，因應於物品搬送設備的規格(例如與地板面及天花板面的距離等)，來變更調整用載置面的高度並不容易。即便是可以多段式設定高度之形式的構造，也未必設置有符合所要求的調整用載置面高度之段級。根據本構成，可以利用具有可無分段地調整高度之調整用載置面的調整用載置台，來調整搬送用設定檔資訊。因此，可以使成為基準的設定檔資訊共用化，而減輕調整設定檔資訊時的演算負荷。在物品搬送設備具有多台物品搬送車的情況下，可以縮短調整所需的總時間，且可以提升物品搬送設備的設備利用率。如此，根據本構成，能提供一種技術，其可以更靈活地設定調整用載置面，而可有效率地進行物品搬送車的調整。
物品搬送設備的進一步的特徵及優點，透過以下之參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。
用以實施發明之形態 以下，根據圖式來說明物品搬送設備之實施形態。圖1是示意地顯示物品搬送設備的構成例。在本實施形態中，是以下述之物品搬送設備為例進行說明：具備有在對半導體基板進行薄膜形成、光刻、蝕刻等各種處理的複數個半導體處理裝置(處理裝置2)之間，沿著行走路徑L朝一個方向搬送物品W之物品搬送車(天花板搬送車1)。行走路徑L是藉由被支撐托架支撐且設置在天花板側的行走軌道R(參照圖2及圖3)而形成。在行走路徑L上，具有路徑分歧之分歧部J1及路徑合流的合流部J2。圖2是顯示行走路徑L分歧的分歧部J1之放大圖。在本實施形態中，如圖3所示，物品搬送車是被懸吊支撐在行走軌道R的天花板搬送車1。以下，將天花板搬送車1行走的方向設為行走方向Y，且將在平面視角下相對於該行走方向Y正交的方向(在水平面上與行走方向Y正交的方向)稱為橫向方向X來進行說明。
在本實施形態中，參照圖3且如後述之內容，物品W是被稱為FOUP(Front Opening Unified Pod(前開式晶圓傳送盒))且收容複數片半導體基板的容器。物品W具有凸緣部6及收容部5，而在收容部5的前面(例如行走方向Y之側)上，形成有用來取出及放入半導體基板的基板出入口(圖中未示)。此基板出入口可藉由可裝卸的蓋體(圖中未示)而封閉。處理裝置2是對收容於容器(物品W)的基板(半導體基板)進行如上述之各種的處理。為了在各處理裝置2之間搬送容器(物品W)，在各處理裝置2上會以相鄰於各自的處理裝置2的狀態在地面上(地上側)設置有載置台3(載置台)。這些載置台3是天花板搬送車1的物品W之搬送對象地點(搬送起點及搬送目的地)。
亦即，物品搬送設備具備有設置於天花板之行走軌道R、複數個沿著行走軌道R(行走路徑L)而設置於地上側的載置台3、與天花板搬送車1。天花板搬送車1是被行走軌道R懸吊支撐，且沿著由行走軌道R形成的行走路徑L行走，而將物品W從成為搬送起點的載置台3搬送到成為搬送目的地的載置台3。
如圖1所示，於物品搬送設備上設置有至少2個不同屬性的區域(第1區域E1及第2區域E2)。行走路徑L包含設置在第1區域E1的第1路徑L1、與相對於第1路徑L1分歧及合流並且設置在第2區域E2的第2路徑L2。第1區域E1為具備有上述之處理裝置2，並在各處理裝置2(載置台3)之間藉由天花板搬送車1搬送物品W的區域。第2區域E2是設置在與第1區域E1不同的區域，且為利用後述的調整用單元C來進行天花板搬送車1的調整之區域。在第2區域E2中，是將具備有後述的被檢測體M(參照圖10)之作為檢查對象地點的調整用載置台4設置在地面上。再者，調整用載置台4及調整用單元C，是構成為以和在載置台3上載置物品W的形態相同之形態，在調整用載置台4上載置調整用單元C。
第1路徑L1包含於圖1中顯示於中央部之相對較大的環狀的主路徑Lp、與顯示於主路徑Lp的外側之相對較小的環狀之副路徑Ls。從主路徑Lp到副路徑Ls的分歧部分之分歧部J1上，如圖2所示，設置有引導軌道G。分歧部J1也存在於從第1路徑L1到第2路徑L2的分歧部分上，且同樣地設置有引導軌道G。又，雖然省略圖示及詳細的說明，但從副路徑Ls到主路徑Lp的合流部分之合流部J2上也設置有同樣的引導軌道G。針對其他的分歧部分及合流部分(例如，在圖1之上部相對於主路徑Lp而連接的外部連接路徑(入場路徑L3及退場路徑L4)與主路徑Lp的分歧部分及合流部分)，也是同樣。
圖3是顯示天花板搬送車1的側面圖(從正交於行走方向Y的方向所見的圖)。 天花板搬送車1具備有行走部22與本體部23，該行走部22是沿著行走路徑L行走，該本體部23具備有支撐部24，該支撐部24被行走部22懸吊支撐成位於行走軌道R的下方且支撐物品W。於行走部22上具備有在沿著行走路徑L設置的行走軌道R上滾動的行走車輪22a、使該行走車輪22a旋轉的行走用馬達(TRVL-MTR)22m。
如圖2及圖3所示，於行走部22上也具備有被設置在行走路徑L的分歧部J1及合流部J2之引導軌道G引導的引導輥22b。引導輥22b是構成為從沿著行走部22的行走方向Y之方向來看可以在左右方向(橫向方向X)上進行姿勢變更。引導輥22b的姿勢變更是藉由引導輥螺線管(GR-SOL)22s(參照圖2、圖4)來進行。引導輥螺線管22s會將引導輥22b的位置切換為朝向行走方向Y而為右側(右方向XR側)的第1位置、及為左側(左方向XL側)的第2位置，而且將引導輥22b保持在該位置上。引導輥22b在位於第1位置時，從沿著行走方向Y的方向來看是抵接於引導軌道G的右側面，而沿著未分歧側之引導軌道(在此是相對地朝向行走方向Y而於右側延伸的引導軌道(直進側引導軌道GR))來引導行走部22。又，引導輥22b在位於第2位置時，從沿著行走方向Y的方向來看是抵接於引導軌道G的左側面，而沿著於左側延伸的引導軌道(分歧側引導軌道GL)來引導行走部22。
如圖3所示，物品W的凸緣部6是設置在物品W的上端部(比收容部5更上方)，且被天花板搬送車1的支撐部24所支撐。天花板搬送車1是以藉由支撐部24懸吊支撐凸緣部6的狀態來搬送物品W。如圖3所示，於收容部5的底面(物品W的底面)設置有朝向上方凹陷的3個溝狀之底面凹部7。3個底面凹部7的每一個是形成為愈往上方愈細之頭細形狀，且形成為使底面凹部7的內側面成為傾斜面。針對這些底面凹部7的功能將在後面描述。又，如圖3所示，凸緣部6的上表面(物品W的上表面)形成有朝向下方凹陷為圓錐形狀的上表面凹部8。此上表面凹部8是形成為愈往下方愈細之頭細形狀，且形成為使上表面凹部8之內側面成為傾斜面。針對上表面凹部8的功能也將在後面描述。
天花板搬送車1的本體部23具備有支撐部24、升降部25、滑動部26、旋轉部27及罩體28。支撐部24是懸吊支撐物品W的機構。升降部25是使支撐部24相對於行走部22升降移動的驅動部。滑動部26是使支撐部24相對於行走部22在橫向方向X上滑動移動的驅動部。旋轉部27是使支撐部24相對於行走部22繞著未圖示的縱軸心(垂直方向的軸心)旋轉的驅動部。如圖3所示，罩體28是在支撐有物品W的支撐部24上升到後述之上升設定位置的狀態下，覆蓋物品W的上方側及路徑前後側的構件。再者，所謂上升設定位置是指在支撐有物品W等的物品的狀態下使天花板搬送車1沿著行走軌道R行走之時，作為支撐部24所在的上下方向(垂直方向)的位置而預先規定的位置。
圖4的方塊圖是示意地顯示物品搬送設備及天花板搬送車1的系統構成。第1控制裝置(CTRL1)H1是成為物品搬送設備的核心之系統控制器。第1控制裝置H1是相對於天花板搬送車1的上位控制器，且主要是成為用於控制第1區域E1中的天花板搬送車1之作動而搬送物品W之搬送控制的核心之控制裝置。第2控制裝置(CTRL2)H2是成為進行天花板搬送車1的調整之調整控制核心的上位控制器，且是控制第2區域E2中的天花板搬送車1之作動的控制裝置。在本實施形態中，雖然是像這樣在第1區域E1及第2區域E2的每一個中，另外設置成為天花板搬送車1的控制核心之控制裝置，但並不排除在兩個區域(E1、E2)中藉由共通的控制裝置來控制天花板搬送車1之形態。
如圖4所示，天花板搬送車1具備有通訊控制部(COM-CTRL)10、作動控制部(OP-CTRL)11、設定檔儲存部(PRFL-STR)12及調整用通訊部15。通訊控制部10是藉由例如對應於無線LAN等的天線及通訊控制電路等所構成，且至少與第1控制裝置H1及第2控制裝置H2進行無線通訊。作動控制部11是藉由微電腦等所構成，並根據來自第1控制裝置H1及第2控制裝置H2的指令，藉由自主控制來使天花板搬送車1作動。
設定檔儲存部12是由記憶體等儲存媒體所構成，並儲存搬送用設定檔資訊，該搬送用設定檔資訊包含用於在各載置台3上移載物品W的位置及作動量之資訊。於位置資訊中包含用於在各載置台3上搬送及移載物品W的搬送用停止目標位置資訊及搬送用移載基準作動量資訊。雖然詳細內容會在之後描述，但搬送用停止目標位置資訊是顯示在行走軌道R(行走路徑L，特別是指第1路徑L1)上使行走部22停止的目標位置(搬送用停止目標位置)之資訊。又，搬送用移載基準作動量資訊是顯示以下內容之資訊：在行走軌道R(行走路徑L，特別是第1路徑L1)上停止的狀態下，使支撐部24相對於行走部22而移動(升降、旋轉、滑動；詳細內容如後述)之作動量(搬送用移載基準作動量)。
調整用通訊部15是例如，以對應於近距離無線通訊規格的天線及通訊控制電路所構成。雖然詳細內容會在之後描述，但調整用通訊部15會與調整用單元C的單元通訊部16進行無線通訊，並接收已更新的搬送用設定檔資訊、或更新用的設定檔資訊(例如差分資訊)。
於構成本體部23的支撐部24上具備有一對把持爪24a(參照圖3)、及把持用馬達(GRP-MTR)24m(參照圖4)。如圖3所示，一對把持爪24a的每一個從側面來看(從X方向來看)是形成為L字形，以藉由各把持爪24a的下端部從下方支撐凸緣部6。一對把持爪24a是藉由把持用馬達24m的驅動力，而沿著水平方向互相接近及遠離。支撐部24是構成為可切換為支撐狀態及支撐解除狀態，且是使一對把持爪24a藉由相接近而成為支撐狀態，藉由相遠離而成為支撐解除狀態。
如圖3所示，懸吊支撐物品W的支撐部24，是藉由與支撐部24同樣地構成本體部23的升降部25，而以可相對於行走部22升降的方式被支撐。於升降部25上具備有捲繞體25a、捲取帶25b及升降用馬達(V-MTR)25m(參照圖4)。捲繞體25a是被後述之旋轉體27a所支撐。捲取帶25b是被捲繞在捲繞體25a上，並於前端部連結支撐有支撐部24。升降用馬達25m會給予用於使捲繞體25a旋轉的動力。藉由升降用馬達25m使捲繞體25a朝正方向旋轉，來捲取捲取帶25b，且藉由升降用馬達25m使捲繞體25a朝逆方向旋轉，來送出捲取帶25b。藉此，使支撐部24及被支撐部24所支撐的物品W可升降移動。再者，於升降部25上還具有藉由脈衝數測量捲繞體25a的送出量之編碼器(圖未示)。作動控制部11是根據此脈衝數來控制支撐部24的升降高度。
於同樣地構成本體部23的滑動部26上，具備有中繼部26a(參照圖3)及滑動用馬達(SLIDE-MTR)26m(參照圖4)。中繼部26a會被行走部22支撐成可相對於行走部22沿著橫向方向X滑動移動。滑動用馬達26m會給予用於使中繼部26a沿著橫向方向X滑動移動的動力。滑動部26是藉由滑動用馬達26m的驅動而使中繼部26a沿著橫向方向X滑動移動，藉此使支撐部24及升降部25沿著橫向方向X移動。
於同樣地構成本體部23之旋轉部27上，具備有旋轉體27a(參照圖3)及旋轉用馬達(ROT-MTR)27m(參照圖4)。旋轉體27a是以可繞著沿著垂直方向(上下方向)之縱軸心旋轉的方式相對於中繼部26a被支撐。旋轉用馬達27m會給予用於使旋轉體27a繞著縱軸心旋轉的動力。旋轉部27是藉由旋轉用馬達27m的驅動而使旋轉體27a旋轉，藉此使支撐部24及升降部25沿著縱軸心的周圍旋轉。
例如，搬送用移載基準作動量是依據旋轉作動量、滑動作動量與下降作動量而決定，該旋轉作動量是規定支撐部24相對於行走部22之繞縱軸心的旋轉量，該滑動作動量是規定支撐部24相對於行走部22之在橫向方向X上的移動量，該下降作動量是規定支撐部24相對於行走部22之在上下方向上的作動量。在此情況下，較佳是將行走部22於行走軌道R行走之時的支撐部24的縱軸心周圍的位置設為旋轉基準位置，將行走部22行走之時的支撐部24的橫向方向X上的位置設為滑動基準位置，將行走部22行走之時的支撐部24之上下方向上的位置設為上升設定位置。亦即，使支撐部24在縱軸心周圍位於旋轉基準位置，而且在橫向方向X上位於滑動基準位置，且在上下方向上位於上升設定位置之位置為支撐部24的行走用位置。天花板搬送車1是在支撐部24位於行走用位置的狀態下沿著行走軌道R行走。
然而，如參照圖1且如上所述地，於物品搬送設備上設置有至少2個不同屬性的區域(第1區域E1及第2區域E2)。天花板搬送車1在第1區域E1中，是在複數個載置台3之間搬送物品W。第2區域E2是進行天花板搬送車1的調整之區域，作為檢查對象地點的調整用載置台4是設置在地面上。儲存在設定檔儲存部12的設定檔記資訊中，除了用於在各載置台3上搬送及移載物品W之搬送用停止目標位置資訊及搬送用移載基準作動量資訊之外，還可包含調整用停止目標位置資訊及調整用移載基準作動量資訊。
調整用停止目標位置資訊是顯示在行走軌道R(行走路徑L，特別是指第2路徑L2)上使行走部22停止的目標位置(調整用停止目標位置)之資訊。又，調整用移載基準作動量資訊是顯示以下內容之資訊：天花板搬送車1停止在行走軌道R(行走路徑L，特別是第2路徑L2)上的狀態下，使支撐部24相對於行走部22移動(升降、旋轉、滑動)的作動量(調整用移載基準作動量)。
作動控制部11會根據來自作為上位控制器之第1控制裝置H1及第2控制裝置H2的搬送指令，而執行搬送控制及調整控制。作動控制部11會在搬送控制及調整控制的執行之時，將設置在天花板搬送車1中的各種致動器驅動控制。首先，針對搬送控制進行說明。搬送控制是以下的控制：藉由從搬送起點之載置台3接收物品W，且將該物品W移交至搬送目的地之載置台3，而將物品W從搬送起點之載置台3搬送到搬送目的地之載置台3。回應於將物品W從搬送起點之載置台3搬送到搬送目的地之載置台3的搬送指令，而依接收行走處理、接收升降處理、移交行走處理、移交升降處理的順序來執行處理。
在接收行走處理中，作動控制部11是根據針對被指定為搬送起點之載置台3的搬送用停止目標位置資訊，控制行走用馬達22m，使行走部22行走到搬送起點之載置台3的搬送用停止目標位置，且使行走部22停止在該搬送用停止目標位置。
在接收升降處理中，作動控制部11是根據針對搬送起點之載置台3的搬送用移載基準作動量資訊，控制升降用馬達25m、滑動用馬達26m及旋轉用馬達27m等，使支撐部24從行走用位置移動到物品W的附近。再者，作動控制部11會控制把持用馬達24m，使把持爪24a移動到接近位置，且把持物品W的凸緣部6。之後，作動控制部11會控制升降用馬達25m、滑動用馬達26m及旋轉用馬達27m等，以在懸吊有物品W的狀態下使支撐部24移動到行走用位置。藉此，原本被搬送起點之載置台3支撐的物品W，會被位於行走用位置的支撐部24所支撐。
在移交行走處理中，作動控制部11是根據針對被指定為搬送目的地之載置台3的搬送用停止目標位置資訊，控制行走用馬達22m，以在懸吊有物品W的狀態下使行走部22行走，且使其停止在該搬送用停止目標位置上。
在移交升降處理中，作動控制部11是根據針對搬送目的地之載置台3的搬送用移載基準作動量資訊，控制升降用馬達25m、滑動用馬達26m及旋轉用馬達27m等，以在懸吊有物品W的狀態下，使支撐部24從行走用位置移動到載置台3的附近。此外，作動控制部11會控制把持用馬達24m，使把持爪24a朝遠離位置移動。藉此，將原本被支撐部24支撐的物品W載置到搬送目的地之載置台3。之後，作動控制部11會控制升降用馬達25m、滑動用馬達26m、旋轉用馬達27m等，並使支撐部24移動到行走用位置。
另外，如圖3所示，於凸緣部6的上表面(物品W的上表面)形成有上表面凹部8。上表面凹部8是構成為在使支撐部24如圖5所示地下降移動時，使支撐部24所具備的按壓部24c從上方卡合。在例如接收升降處理中，天花板搬送車1使支撐部24下降移動之時，會有支撐部24相對於載置台3上所載置支撐的物品W在水平方向上偏離的情況。即便是在此情況下，仍可藉由使按壓部24c接觸於上表面凹部8的內表面而被引導的方式，來將支撐部24的水平方向上的位置引導到相對於物品W合適的位置。
又，如圖3所示，於物品W的底面具備有3個溝狀的底面凹部7。如圖6所示，底面凹部7是設置在於如圖6所示地將物品W載置到搬送目的地之載置台3上時，可供載置台3所具備有的定位構件9從下方卡合的位置上。在例如移交升降處理中，使支撐部24下降移動而將物品W移載到載置台3時，會有物品W相對於載置台3的適當支撐位置在水平方向上偏離的情況。即便是在此情況下，仍可藉由使定位構件9接觸於底面凹部7的內側面並使物品W在水平方向上移動，而將物品W的水平方向上的位置修正到載置台3的適當支撐位置。
如此，在接收升降處理及移交升降處理中的若干的誤差，可以藉由支撐部24及載置台3之機械性的構造來使其減低。但是，當因天花板搬送車1的長期變化及耗損等而使誤差變大時，藉由該種機械性的構造的對應會無法緩和誤差，而有變得無法適當地移載物品W等物品的情況。因例如行走車輪22a的磨耗等，而有使搬送用停止目標位置資訊所表示的搬送用停止目標位置從理想的搬送用停止目標位置偏離之情況。又，也有伴隨著升降部25的長期劣化及消耗，而使搬送用移載基準作動量資訊所表示的搬送用移載基準作動量、與理想的搬送用移載基準作動量之偏差逐漸地變大的情況。一般來說，會規定期間並進行定期檢查等，且在該期間時實施調整。但是，也有因各天花板搬送車1的設備利用率之差異、以及個體差異等，而使誤差比定期檢查更早變大的情況。因此，所期望的可在因應於各個天花板搬送車1之適當的時期進行適當的調整。
作為1個態樣而可被考慮的有，另外設置構成為可以在因應於實際的載置台3的高度(從地上起算的高度、或從行走軌道R到載置台之載置面的距離)的位置載置物品W的調整用載置台上來進行調整之作法(參照例如圖14)。此調整用載置台400是構成為可以將替代物品而載置於調整用載置台400的調整用單元C載置於不同高度的調整用載置面P(P101～P103)上。在這個例子中，調整用載置台400具備有樑部BG以及架設在樑部BG上的載置部SS。載置部SS是以可藉由圖中未示的致動器所進行之擺動，而在調整用載置面P為沿著垂直方向(上下方向)的狀態、與調整用載置面P為沿著水平方向的狀態之間變更姿勢的方式來構成。但是，在這種構造中，要因應實際的載置台3的高度而靈活地設定調整用載置面P的高度是不容易的。又，在不同的調整用載置面P的高度之差較小的情況下，恐有使在上下方向上相鄰的載置部SS彼此干涉之虞，且要以較短的間隔來設定調整用載置面P也是困難的。
於是，在本實施形態中是如圖7所示地利用調整用載置台4，該調整用載置台4可在預先規定的上限高度HL與下限高度LL之間以無分段的方式將調整用載置面P設定到不同的高度上。可在調整用載置面P上用與於載置台3上載置物品W之形態相同的形態來載置調整用單元C。
調整用載置台4具備有豎立設置在垂直方向上的導軌41及升降帶43。上表面形成有調整用載置面P之載置部S，是將至少水平方向的一端支撐於導軌41上。在本實施形態中，載置部S是藉由導軌41及升降帶43來支撐兩端。升降帶43是藉由升降致動器44而被驅動。升降致動器44是例如馬達，藉由該馬達朝正方向旋轉，載置部S即沿著導軌41上升，且藉由該馬達朝逆方向旋轉，載置部S即沿著導軌41下降。也就是說，升降致動器44會使載置部S沿著導軌41升降。
載置部S的垂直方向的位置是藉由位置檢測感測器45來檢測。在圖7中，作為位置檢測感測器45，是舉雷射測距儀例示說明。雷射測距儀會對載置部S的背面側照射雷射，以測量雷射測距儀與載置部S的距離。在此，雖然作為位置檢測感測器45而舉這種雷射測距儀例示說明，但藉由編碼器等來測量升降帶43的移動量之形式亦可。位置檢測感測器45的檢測結果，會被傳達到調整台控制裝置48。調整台控制裝置48是藉由來自第2控制裝置H2的指令(包含調整用載置面P的位置(調整用高度)之指示)，並根據位置檢測感測器45的檢測結果來對升降致動器44進行驅動控制，以使載置部S升降。藉此，調整用載置面P即會被設定到預先規定的調整用高度上。
調整台控制裝置48是根據來自第2控制裝置H2的指令、或者根據作業者對調整台控制裝置48所具備之操作面板49的操作，使載置部S升降。例如，根據作業者對操作面板49的操作來使載置部S升降亦可，根據已內建在第2控制裝置H2中的程式等而自動地使載置部S升降亦可。在像這樣自動地使載置部S升降的情況下，要將搬送用設定檔資訊的調整的整個作業步驟自動化也是可行的。
再者，較佳的是將調整用高度因應於在載置台3上載置物品W之物品載置面(參照圖5)的高度來規定。若調整用高度是因應於在載置台3上載置物品W的高度(物品載置面的高度)而被規定時，即可做到與利用實際的載置台3來調整之作法等效的調整。再者，在物品搬送設備上所具備的複數個載置台3的全部中，物品載置面的高度並不一定都相同。也有複數個載置台3為包含物品載置面的高度不同的複數種載置台3之情況。在此情況下，天花板搬送車1是對複數種載置台3進行物品W的搬送。因此，若調整用高度是因應於各個物品載置面的高度而規定有複數個，即可以因應於複數種載置台3的每一個的物品載置面之高度，來適當地調整搬送用設定檔資訊。
又，較佳的是，調整用高度是因應於支撐部24從預先規定的上升設定位置移動到在載置台3上載置物品W之時的下降設定位置時的升降部25的作動量來規定。再者，物品載置面的高度與各載置台3之物品載置面的位置是相依的。雖然只要是相同種類的載置台3，基本上下降設定位置就會成為相同的，但由於也有依據載置台3而使物品載置面的位置不同的情況，因此下降設定位置在1個物品搬送設備中並不見得是1個。另一方面，由於上升設定位置是成為天花板搬送車1行走之時的基準之位置，因此原則上在1個物品搬送設備中是只有1個的值。
如上所述，在搬送用設定檔資訊中會包含搬送用移載基準作動量資訊。搬送用移載基準作動量資訊包含使支撐部24相對於行走部22移動之時的支撐部24的作動量，且該作動量至少是升降部25的作動量。用來移載物品W之支撐部24及升降部25的作動量之資訊，是依據載置台3的上表面(物品載置面)與上升設定位置的距離來決定。
地板面與物品載置面的距離，不論用於使地板面成為基準而設置物品搬送設備的地方如何，幾乎是一定的。但是，天花板相對於地板面的高度是有各種各樣的。用於將懸吊支撐天花板搬送車1的行走軌道R設置在天花板的托架等，大致上是因應於工業規格的標準尺寸。因此，物品載置面與上升設定位置的距離會有依據物品搬送設備所設置的地方而不同之可能性。又，支撐部24及升降部25的作動量，也有依據懸吊支撐部24的皮帶等相對於行走部22之送出量、或送出之時旋轉的滑輪(pulley)等之旋轉數等來規定之情形。並且，這種送出量或旋轉數，會有即使支撐部24的移動距離(作動量)相同，仍會依據天花板搬送車1的規格而有所不同的情況。例如，在1個物品搬送設備中使用複數種天花板搬送車1的情況下，會有相對於1個載置台3的搬送用移載基準作動量也存在複數種的情況。因此，較佳的是，調整用高度可因應於支撐部24從預先規定的上升設定位置移動到在載置台3上載置物品W之時的下降設定位置時的升降部25的作動量來規定。
較佳的是，調整用載置面P可以設定成：即使如上述之載置台3的上表面(物品載置面)與上升設定位置的距離、或支撐部24及升降部25的作動量(送出量或旋轉數)不同，仍可以適當地調整搬送用設定檔資訊。因此，較佳的是，規定調整用載置面P的高度之調整用高度是因應於以下之至少其中一者來規定：物品載置面的高度、以及支撐部24從上升設定位置移動到下降設定位置之時的升降部25的作動量。
以下，針對搬送用設定檔資訊的調整進行說明。例如，第1控制裝置H1可對成為調整對象之天花板搬送車1(調整對象車)給予使其從第1區域E1脫離到第2區域E2之指令(脫離指令)。成為調整對象之天花板搬送車1的指定，可以是由作業者進行之手動的指定，也可以是根據第1控制裝置H1或其他的控制裝置之天花板搬送車1的管理資訊之指定。被指定為調整對象車的天花板搬送車1之作動控制部11，是根據來自第1控制裝置H1的脫離指令，使天花板搬送車1(調整對象車)從分歧部J1進入到第2路徑L2。該天花板搬送車1(調整對象車)的作動控制部11是根據儲存在設定檔儲存部12的相對於調整用載置台4之調整用停止目標位置資訊，來使天花板搬送車1行走到調整用停止目標位置並使其停止。
在本實施形態中，在第2區域E2中，天花板搬送車1(調整對象車)是根據第2控制裝置H2的指令來動作。第2控制裝置H2會相對於天花板搬送車1(調整對象車)而傳送調整指令。天花板搬送車1(調整對象車)的作動控制部11會回應來自第2控制裝置H2的調整指令，而如後所述，進行利用了調整用單元C(調整用裝置)的調整作動。作動控制部11更根據藉由此調整作動而得到的結果，更新儲存在設定檔儲存部12的搬送用設定檔資訊。
當調整完成時，該天花板搬送車1(調整對象車)即根據第1控制裝置H1的指令而成為可搬送物品W的狀態。調整已完成時，可由該天花板搬送車1來對第1控制裝置H1進行通知亦可，由第2控制裝置H2來對第1控制裝置H1進行通知亦可。第1控制裝置H1是根據來自生產管理裝置等的更加上位的控制器的搬送要求，指定要派遣天花板搬送車1(調整對象車)的載置台3(載置台)，並將搬送指令傳送至該天花板搬送車1。天花板搬送車1的作動控制部11會使天花板搬送車1(調整對象車)從第2區域E2合流至第1區域E1，並根據搬送指令來進行物品W的搬送。
以下，說明搬送用設定檔資訊的調整順序之具體例。在本實施形態中，是使天花板搬送車1取代物品W而將調整用單元C(調整用裝置)從調整用載置台4進行接收，並移交到調整用載置台4，藉此進行調整。較佳的是，天花板搬送車1在接收調整用單元C後，懸吊支撐調整用單元C並行走，而將調整用單元C移交到已設定為與接收到調整用單元C之時不同高度之調整用載置台4上。調整用單元C(調整用裝置)會在藉由天花板搬送車1(調整對象車)的升降部25而被升降之時，取得調整用資料。藉由此調整用資料，可以演算與支撐部24的升降、旋轉及滑動相關的誤差。又，可以根據天花板搬送車1懸吊支撐調整用單元C而行走之時的作動量、以及調整用單元C所取得的調整用資料，來演算搬送用停止位置資訊的誤差。調整用單元C會演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊(更新用之設定檔資訊)，且將該搬送用設定檔資訊作為更新用資料並傳達至調整對象車。再者，更新用資料並不限於搬送用設定檔資訊，也可以是與原本的搬送用設定檔資訊之差分資訊。
在第2區域E2中具備有調整用載置台4，該調整用載置台4具有可用與在載置台3上載置物品W之形態相同的形態來載置調整用單元C的調整用載置面P。如上所述，配置在第1區域E1的載置台3中也有從地上起算的高度不同者。因此，較佳的是，在第2區域中實施的調整控制中，是將調整用單元C載置在不同高度的調整用載置面P(P1、P2、P3…)上，且於升降之時從該調整用載置面P(P1、P2、P3…)的每一個取得調整用資料。
調整用單元C是從載置於不同高度之狀態，藉由升降部25而升降，且根據從各自的高度的升降時所取得之調整用資料，演算搬送用設定檔資訊。在本實施形態中，調整對象車是沿著第2路徑L2移動，並且將調整用單元C移載到不同高度的調整用載置面P。調整用單元C是按複數個高度的調整用載置面P逐個取得調整用資料。
例如，如圖7所示，調整用單元C是將第1調整用載置面P1、第2調整用載置面P2、第3調整用載置面P3之內的任1個高度的調整用載置面P(例如第1調整用載置面P1)作為保管地方，而載置在調整用載置台4上。作為調整對象車的天花板搬送車1，首先是進行對第1調整用載置面P1所載置的調整用單元C的接收行走處理及接收升降處理，並對在懸吊支撐有調整用單元C的期間已變更高度之載置部S(例如第2調整用載置面P2)進行移交升降處理。調整用單元C會在每逢各個處理時取得調整用資料，並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。
支撐部24會在已將調整用單元C載置到第2調整用載置面P2的狀態下暫且先上升到上升設定位置。接著，天花板搬送車1會進行對第2調整用載置面P2所載置的調整用單元C的接收升降處理，且對在懸吊支撐有調整用單元C的期間已變更高度之載置部S(例如第3調整用載置面P3)進行移交升降處理。調整用單元C同樣地會在每逢各個處理時取得調整用資料，並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。支撐部24會在已將調整用單元C載置在第3調整用載置面P3的狀態下原樣暫且先上升到上升設定位置。最後，天花板搬送車1會進行對第3調整用載置面P3所載置的調整用單元C的接收升降處理，且對在懸吊支撐有調整用單元C的期間已變更高度之載置部S(例如第1調整用載置面P1)進行移交升降處理。調整用單元C同樣地會在每逢各個處理時取得調整用資料，並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。再者，亦可在對第3調整用載置面P3所載置的調整用單元C的接收升降處理之後，且通過第2區域E2中所設的學習用路徑Lt(參照圖1)而進行移交行走處理後，對載置部S(第1調整用載置面P1)進行移交升降處理。
將這一連串的移載處理及演算設為1個迴路(loop)，將同樣的移載處理及演算重複複數次。例如，可考慮測定誤差等而將該移載處理及演算重複3個迴路，並利用平均或標準偏差來決定更新用的搬送用設定檔資訊。當然，只要可得到充分的精度，以1個迴路就使其結束亦可。
在上述的例子中，所例示的是僅在最後1次通過學習用路徑Lt來進行移交行走處理的形態，但也可以是每逢變更調整用載置面P的高度時，就通過學習用路徑Lt來進行移交行走處理。與上述的例子同樣地，調整用單元C是形成將第1調整用載置面P1作為保管地方，而載置在調整用載置台4上。作為調整對象車的天花板搬送車1，首先是進行對第1調整用載置面P1所載置的調整用單元C的接收行走處理及接收升降處理，且對在懸吊支撐有調整用單元C的期間已變更高度之載置部S(例如第2調整用載置面P2)，於通過學習用路徑Lt並進行移交行走處理後，進行移交升降處理。調整用單元C會在每逢各個處理時取得調整用資料，並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。
接著，進行對第2調整用載置面P2所載置的調整用單元C的接收升降處理，並對第3調整用載置面P3進行移交行走處理及移交升降處理。調整用單元C同樣地會在每逢各個處理時取得調整用資料，並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。最後，進行對第3調整用載置面P3所載置的調整用單元C的接收升降處理，並對第1調整用載置面P1進行移交行走處理及移交升降處理。調整用單元C同樣地會在每逢各個處理時取得調整用資料，並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。與上述同樣地，將這一連串的移載處理及演算設為1個迴路，而將同樣的移載處理及演算重複複數次亦可。當然，只要可得到充分的精度，以1個迴路就使其結束亦可。
圖8及圖9所例示的是天花板搬送車1從調整用載置台4取代物品W而接收調整用單元C之時的舉動。又，圖10之放大圖所顯示的是調整實施時之調整用載置面P與調整用單元C的位置關係。如上所述，天花板搬送車1是取代物品W而支撐調整用單元C，且和搬送物品W的方式同樣地搬送調整用單元C是可能的。如圖10所示，與物品W同樣地，調整用單元C的上端部也設有單元凸緣部13，並可將此單元凸緣部13藉由天花板搬送車1的支撐部24來懸吊支撐。比單元凸緣部13更下方，且對應於物品W的收容部5的地方設置有單元本體部14。單元本體部14上支撐有距離感測器(RNG-FND)18及影像感測器(IM-SEN)19。
於單元本體部14的底面(調整用單元C的底面)，與物品W同樣地，具備有朝上方凹陷的3個溝狀之底面凹部(單元底面凹部7b)。又，調整用載置台4的上表面，與載置台3同樣地，在從調整用單元C的下方卡合的位置上具備有定位構件9。因此，將調整用單元C移載到調整用載置台4時，即使調整用單元C相對於載置台3的適當支撐位置在水平方向上偏離，仍可藉由使定位構件9接觸於單元底面凹部7b的內側面來使調整用單元C在水平方向上移動，以將調整用單元C的水平方向上的位置修正到適當支撐位置。藉此，在對位於調整用載置台4中的任意的高度上之載置部S的調整用單元C的移交行走處理及移交升降處理中即便有誤差，也可以始終使調整用單元C載置到規定的位置上。因此，可以適當地進行相對於該調整用載置台4的接下來的接收行走處理及接收升降處理。
又，於單元凸緣部13的上表面(調整用單元C的上表面)，與物品W同樣地形成有朝下方凹陷的圓錐形狀之單元上表面凹部(圖中未示)。單元上表面凹部是構成為在使支撐部24如圖8所示地下降移動時，使支撐部24所具備的按壓部24c從上方卡合。例如，在接收升降處理中，在天花板搬送車1使支撐部24下降移動時，會有支撐部24相對於被載置支撐在調整用載置台4上的調整用單元C在水平方向上偏離的情況。即使是在此情況下，仍可藉由使按壓部24c接觸於單元上表面凹部的內表面而被引導之作法，來將支撐部24的水平方向上的位置相對於調整用單元C引導到適合的位置。
如圖4所示，於天花板搬送車1上具備有用於藉由無線通訊而在與調整用單元C的單元通訊部16之間傳送接收各種資訊的調整用通訊部15。又，於調整用單元C上具備有距離感測器18、影像感測器19、單元通訊部16及單元控制部(UNIT-CTRL)17。參照圖10且如後所述，距離感測器18是例如雷射測距儀，並測量調整用載置面P與調整用單元C的底部之距離。影像感測器19是例如二次元影像感測器，且是用於拍攝調整用載置台4(較佳是調整用載置面P)所具備的被檢測體M之感測器。單元通訊部16具備天線及通訊控制電路，並藉由近距離無線通訊而在與天花板搬送車1之間傳送接收各種資訊。單元控制部17是以微電腦等為核心所構成，控制距離感測器18、影像感測器19及單元通訊部16的作動，並且對由影像感測器19形成的被檢測體M之攝影圖像進行圖像辨識，並根據該結果演算更新用之搬送用設定檔資訊等之更新用資料。
如圖8所示，朝向調整用載置面P使調整用單元C下降的情況下，首先，到調整用單元C坐落於調整用載置面P為止(被載置為止)，天花板搬送車1會驅動升降用馬達25m而將捲取帶25b送出。如上所述，捲取帶25b的送出量是藉由編碼器而設成脈衝數來計數。調整用單元C是否已坐落於調整用載置面P是例如由升降部25或作動控制部11藉由施加在捲取帶25b的張力之變化來判定。在判定為調整用單元C已坐落於調整用載置面P後，天花板搬送車1會驅動升降用馬達25m並以低速開始捲取捲取帶25b。
藉由捲取帶25b的捲取，如圖10所示，調整用單元C會從調整用載置面P上浮。藉由距離感測器18，以測量調整用載置面P與調整用單元C的底部之距離，且將該測量結果傳達至天花板搬送車1。當該距離進入預先規定之相對於調整用分開距離D的容許範圍內時，捲取帶25b的捲取即停止。藉此，調整用單元C會成為相對於調整用載置面P，以僅相距調整用分開距離D的狀態，而被支撐部24懸吊支撐的狀態。將對捲取帶25b施加有張力之狀態下的脈衝數設為捲取帶25b的送出量而取得，且傳達至調整用單元C。再者，調整用分開距離D是例如5～10[mm]左右，且在正負兩方向上可容許2.5～3[mm]左右的誤差。例如，調整用分開距離D為5[mm]且容許誤差為±2.5[mm]的情況下，調整用單元C會成為以調整用載置面P與調整用單元C的底部之距離為2.5～7.5[mm]的範圍內之狀態，而被支撐部24懸吊支撐的狀態。在此狀態下，影像感測器19會對被檢測體M進行攝影。
例如，被檢測體M是具備有二維條碼而構成。調整用單元C(單元控制部17)是根據以影像感測器19所拍攝到的被檢測體M的大小、角度、位置等，判別被檢測體M相對於影像感測器19在行走方向、寬度方向及在縱軸心周圍上的偏離量。由於影像感測器19的位置是被固定在調整用單元C之中，故可判別被檢測體M相對於調整用單元C在行走方向、寬度方向及上下軸心周圍上的偏離量。再者，也可以不具備距離感測器18，而由單元控制部17從藉由影像感測器19所拍攝到的被檢測體M的大小，來演算調整用載置面P與調整用單元C之底部的距離。又，即使是在具備距離感測器18的情況下，由於在該距離上可如上所述地容許有誤差，因此根據以影像感測器19所拍攝到的被檢測體M之大小來補正該距離，且進一步補正捲取帶25b的送出量亦可。
例如，在新建構物品搬送設備的情況下，對於在該物品搬送設備的全部的天花板搬送車1之中成為基準的天花板搬送車1(基準搬送車)，整備搬送用設定檔資訊。此搬送用設定檔資訊是該物品搬送設備之相對於其他的全部的天花板搬送車1成為基準的設定檔資訊(基準設定檔資訊)。基準設定檔資訊是藉由對於包含調整用載置台的全部的載置台(亦即第1區域E1的全部的載置台3、以及第2區域E2的全部的調整用載置台4)實際地搬送及移載物品W及調整用單元C(或取代這些的基準物品)而生成(基準設定檔整備階段)。
在對該物品搬送設備追加基準搬送車以外的天花板搬送車1的情況下，會在追加對象的天花板搬送車1之設定檔儲存部12中寫入基準設定檔資訊。接著，將該天花板搬送車1送至第2區域E2，並進行如上述的調整。由於調整之時的接收走行處理、接收升降處理、移交行走處理、移交升降處理是根據基準設定檔資訊而執行，因此會將基準搬送車與追加對象的天花板搬送車1之個體差異作為差分資料而提取出來。根據基準設定檔資訊與差分資料，可生成對該天花板搬送車1固有的搬送用設定檔資訊，並寫入到設定檔儲存部12中。已設定固有的搬送用設定檔資訊之天花板搬送車1會被投入到第1區域E1。
使物品搬送設備運轉後，需要調整的天花板搬送車1(調整對象車)會從第1區域E1脫離到第2區域E2，且進行如上所述之調整。當調整完成時，新的搬送用設定檔資訊會被儲存到調整對象車的設定檔儲存部12。已調整完成的天花板搬送車1會再次被投入到第1區域E1中。
[其他的實施形態] 以下，針對其他的實施形態進行說明。再者，以下說明的各實施形態之構成，並不限於以各自單獨的方式被應用之構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他實施形態之構成組合來應用。
(1)參照圖7，在上述中所例示的是調整用載置台4具備藉由升降致動器44而被驅動的升降帶43，且載置部S被升降帶43與導軌41所支撐而升降之形態。但是，如圖11所示，也可以做成調整用載置台4(4A)具備行程長度較長的電動汽缸47，且載置部S被電動汽缸47與導軌41支撐而升降之形態。再者，也可做成取代於電動汽缸47，而讓作業者操作把手等，以手動方式使載置部S升降之形態。
(2)天花板搬送車1在檢查或修理等維護之時，考慮到作業效率及安全性，經常會降到地上側。因此，在大多數的情況下，為了將天花板搬送車1降到地上側(亦即，使其脫離到地板側)，在物品搬送設備上會設置有如圖12所示之維護升降機80(維護用升降裝置)。在圖12中以假想線所示之天花板搬送車1，所顯示的是藉由維護升降機80而往地上側下降之狀態。於維護升降機80上是將升降機用軌道Ra設置成與行走軌道R接續來形成行走路徑L。此升降機用軌道Ra是藉由利用了馬達83、金屬線84及配重(balance weight)85之牽引方式的升降機構，而可在假想線所示的地上側、以及與行走軌道R接續的天花板側之間升降。天花板搬送車1是藉由使行走車輪22a位於升降機用軌道Ra上，且在藉由升降機用軌道Ra懸吊支撐有天花板搬送車1的狀態下使升降機用軌道Ra下降，而往地上側下降。
當升降機用軌道Ra下降到圖12中以假想線表示之位置時，升降機用軌道Ra會與設於台車88上之台車用軌道Rs接續而形成路徑。當使天花板搬送車1往台車88之側移動時，天花板搬送車1會成為使行走車輪22a位於台車用軌道Rs上，且被台車用軌道Rs懸吊支撐的狀態。藉由在此狀態下使台車88移動，即可以搬運天花板搬送車1。
若在這種維護升降機80之外另外(在如圖1所示之平面視角下與維護升降機80不同的位置上)設置調整用載置台4時，恐有使物品搬送設備的有效面積減少的疑慮。如圖13所示，藉由與維護升降機80一起而設置調整用載置台4B(4)，可以抑制為了維護所需要的空間。再者，圖13是從沿著行走方向Y的方向來觀看維護升降機80之圖。像這樣，若與維護升降機80一起而設置調整用載置台4B(4)時，於天花板搬送車1的檢查或修理之時，由於也可以一併進行搬送用設定檔的調整，因此在整備或調整等上可以抑制該天花板搬送車1脫離第1區域E1的時間，因而也可以抑制該天花板搬送車1的設備利用率的降低。再者，雖然亦可將維護升降機80配置在如圖1所示之迴路狀的學習用路徑Lt上，但亦可配置在從分歧部J1分歧後，成為盡頭的路徑端部上。
(3)在上述中，例示了以下形態：使調整用單元C以單體形式構成調整用裝置，且使調整用單元C的單元控制部17演算搬送用設定檔。但是，配置在第2區域E2的調整用裝置，也可以將調整用單元C、與固定地設置在地上側的調整用控制裝置(圖中未示)組合來構成。再者，在此情況下，調整用單元C與調整用控制裝置較佳是進行無線通訊。
(4)再者，在上述之各實施形態所揭示的構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他的實施形態所揭示的構成組合而應用。關於其他的構成，在本說明書中所揭示的實施形態在全部之點上均只不過是例示。因此，在不脫離本發明的主旨之範圍內，可進行適當的、各種的改變。
[實施形態之概要] 以下，簡單地說明在上述所說明之物品搬送設備的概要。
作為1個態樣，有鑒於上述之物品搬送設備為具備有下述之物品搬送設備： 行走軌道，設置在天花板； 複數個載置台，沿著前述行走軌道而設置在地上側；及 物品搬送車，被前述行走軌道懸吊支撐，且沿著藉由前述行走軌道所形成的行走路徑而行走，來將物品懸吊支撐並從成為搬送起點之前述載置台搬送到成為搬送目的地之前述載置台， 前述物品搬送車具備沿著前述行走路徑行走的行走部、被前述行走部支撐且把持並懸吊支撐前述物品的支撐部、在前述行走部已停止的狀態下使前述支撐部相對於前述行走部而升降的升降部、及儲存搬送用設定檔資訊的設定檔儲存部，且該搬送用設定檔資訊至少包含用於在各載置台上移載前述物品之前述支撐部及前述升降部的作動量之資訊， 前述物品搬送設備並具備： 調整用裝置，用於調整前述搬送用設定檔資訊；及 調整用載置台，具有調整用載置面，該調整用載置面可用與於前述載置台上載置前述物品之形態相同的形態來載置前述調整用裝置， 前述調整用裝置可用與前述物品相同的形態被前述支撐部懸吊支撐，並且用與前述物品相同的形態且藉由前述物品搬送車而被載置到前述載置台，以於相對於前述調整用載置面的移載之時，取得前述支撐部及前述升降部的作動量之資訊來調整前述搬送用設定檔資訊， 前述調整用載置面可在預先規定的上限高度與下限高度之間以無分段方式來設定為不同的高度。
由於調整用載置台可無分段地對調整用載置面的高度進行調整，因此可以靈活地設定調整用載置面的高度。例如，在構造上，當調整用載置面的高度為固定時，因應於物品搬送設備的規格(例如與地板面及天花板面的距離等)，來變更調整用載置面的高度並不容易。即便是可以多段式設定高度之形式的構造，也未必設置有符合所要求的調整用載置面高度之段級。根據本構成，可以利用具有可無分段地調整高度之調整用載置面的調整用載置台，來調整搬送用設定檔資訊。因此，可以使成為基準的設定檔資訊共用化，而減輕調整設定檔資訊時的演算負荷。在物品搬送設備具有多台物品搬送車的情況下，可以縮短調整所需的總時間，且可以提升物品搬送設備的設備利用率。如此，根據本構成，能提供一種技術，其可以更靈活地設定調整用載置面，而可有效率地進行物品搬送車的調整。
作為1個態樣，較佳的是，前述調整用載置台具備：導軌，豎立設置於垂直方向；載置部，至少水平方向的一端是被前述導軌所支撐並在其上表面形成前述調整用載置面；升降致動器，使前述載置部沿著前述導軌升降；位置檢測感測器，檢測前述載置部在垂直方向上的位置；及調整台控制裝置，根據前述位置檢測感測器的檢測結果來控制前述升降致動器，以將前述調整用載置面設定為預先規定的調整用高度。
根據此構成，即可藉由升降致動器的控制，使載置部在垂直方向上以無分段的方式移動。由於在載置部的上表面形成有調整用載置面，因此可以無分段地將調整用載置面設定為不同的高度。
在此，較佳的是，將前述調整用高度因應於以下的至少其中一者來規定：於前述載置台上載置前述物品之物品載置面的高度、以及前述支撐部從預先規定的上升設定位置移動到在前述載置台上載置前述物品之時的下降設定位置時的前述升降部的作動量。
於搬送用設定檔資訊中所包含之用於移載物品的支撐部及升降部的作動量之資訊，是依據載置台的上表面與上升設定位置的距離來決定。地板面與載置台的上表面之距離，不論用於使地板面成為基準而設置物品搬送設備的地方如何，幾乎是一定的。但是，由於物品搬送車是被設置在天花板的行走軌道懸吊支撐，而用於將行走軌道設置在天花板的托架等，大致上是因應於工業規格的標準尺寸，因此載置台的上表面與上升設定位置之距離，會有因設置物品搬送設備的地方而有所不同之可能性。又，支撐部及升降部的作動量，也有依據懸吊支撐部的皮帶等相對於行走部之送出量、或送出之時旋轉的滑輪等之旋轉數等來規定之情形。並且，這種送出量或旋轉數，會有即使支撐部及升降部的移動距離(作動量)相同，仍會依據天花板搬送車的規格而有所不同的情況。再者，也有在1個物品搬送設備中使用有複數種物品搬送車的情況。
較佳的是，調整用載置面可以設定成：即使如上述之載置台的上表面與上升設定位置的距離、或支撐部及升降部的作動量(送出量或旋轉數)不同，仍可以適當地調整搬送用設定檔資訊。因此，較佳的是，規定調整用載置面的高度之調整用高度是因應於以下之至少其中一者來規定：物品載置面的高度、以及支撐部從上升設定位置移動到下降設定位置之時的前述升降部的作動量。
又，較佳的是，複數個前述載置台包含使前述物品載置面之高度不同之複數種，且前述調整用高度是因應於各個前述物品載置面的高度來規定。
在1個物品搬送設備中，複數個載置台的高度也未必只有1種。也有利用距地板面的高度不同之複數種載置台的情況。由於物品搬送車是相對於這樣的複數種載置台進行物品搬送，因此較佳的是，可以將調整用載置面設定成可以因應複數種載置台的每一個的物品載置面高度，來適當地調整搬送用設定檔資訊。
作為1個態樣，較佳的是，前述調整用載置台具備有使前述行走軌道所懸吊支撐的前述物品搬送車往地板側脫離的維護用升降裝置。
被設置在天花板的行走軌道懸吊支撐之物品搬送車，在檢查或修理等維護之時，考慮到作業效率及安全性，經常會降到地上側。因此，在大多數的情況下，為了將物品搬送車降到地上側(也就是說，使其從設置在天花板的行走軌道脫離到地板側)，物品搬送設備上會設置有維護用升降裝置。除了這種維護用升降裝置之外，若在與維護用升降裝置不同的地點設置調整用載置台時，恐有使物品搬送設備的有效面積減少的疑慮。藉由在維護用升降裝置上具備調整用載置台，可以抑制為了維護所需要的空間。又，物品搬送車的檢查或修理之時，由於也可以一併進行搬送用設定檔的調整，因此在整備或調整等上可以抑制該物品搬送車脫離的時間，因而也可以抑制該物品搬送車的設備利用率的降低。
1‧‧‧天花板搬送車(物品搬送車)
2‧‧‧半導體處理裝置(處理裝置)
3‧‧‧載置台
4、4A、4B、400‧‧‧調整用載置台
5‧‧‧收容部
6‧‧‧凸緣部
7‧‧‧底面凹部
7b‧‧‧底面凹部(單元底面凹部)
8‧‧‧上表面凹部
9‧‧‧定位構件
10‧‧‧通訊控制部
11‧‧‧作動控制部
12‧‧‧設定檔儲存部
13‧‧‧單元凸緣部
14‧‧‧單元本體部
15‧‧‧調整用通訊部
16‧‧‧單元通訊部
17‧‧‧單元控制部
18‧‧‧距離感測器
19‧‧‧影像感測器
22‧‧‧行走部
22a‧‧‧行走車輪
22b‧‧‧引導輥
22m‧‧‧行走用馬達
22s‧‧‧引導輥螺線管
23‧‧‧本體部
24‧‧‧支撐部
24a‧‧‧把持爪
24c‧‧‧按壓部
24m‧‧‧把持用馬達
25‧‧‧升降部
25a‧‧‧捲繞體
25b‧‧‧捲取帶
25m‧‧‧升降用馬達
26‧‧‧滑動部
26a‧‧‧中繼部
26m‧‧‧滑動用馬達
27‧‧‧旋轉部
27a‧‧‧旋轉體
27m‧‧‧旋轉用馬達
28‧‧‧罩體
41‧‧‧導軌
43‧‧‧升降帶
44‧‧‧升降致動器
45‧‧‧位置檢測感測器
47‧‧‧電動汽缸
48‧‧‧調整台控制裝置
49‧‧‧操作面板
80‧‧‧維護升降機(維護用升降裝置)
83‧‧‧馬達
84‧‧‧金屬線
85‧‧‧配重
88‧‧‧台車
BG‧‧‧樑部
C‧‧‧調整用單元(調整用裝置)
D‧‧‧調整用分開距離
E1‧‧‧第1區域
E2‧‧‧第2區域
G‧‧‧引導軌道
GL‧‧‧分歧側引導軌道
GR‧‧‧直進側引導軌道
H1‧‧‧第1控制裝置
H2‧‧‧第2控制裝置
HL‧‧‧上限高度
J1‧‧‧分歧部
J2‧‧‧合流部
L‧‧‧行走路徑
L1‧‧‧第1路徑
L2‧‧‧第2路徑
L3‧‧‧入場路徑
L4‧‧‧退場路徑
LL‧‧‧下限高度
Lp‧‧‧主路徑
Ls‧‧‧副路徑
Lt‧‧‧學習用路徑
M‧‧‧被檢測體
P、P101～P103‧‧‧調整用載置面
P1‧‧‧第1調整用載置面
P2‧‧‧第2調整用載置面
P3‧‧‧第3調整用載置面
R‧‧‧行走軌道
Ra‧‧‧升降機用軌道
Rs‧‧‧台車用軌道
S、SS‧‧‧載置部
W‧‧‧物品
X‧‧‧橫向方向
XL‧‧‧左方向
XR‧‧‧右方向
Y‧‧‧行走方向
圖1是示意地顯示物品搬送設備的構成之圖。 圖2是分歧部之放大圖。 圖3是天花板搬送車的側面圖。 圖4是示意地顯示物品搬送設備及天花板搬送車之系統構成的方塊圖。 圖5是顯示天花板搬送車及載置台的側面圖。 圖6是顯示天花板搬送車及載置台的側面圖。 圖7是顯示調整用載置台之一例的側面圖。 圖8是顯示調整用載置台上的調整用單元與天花板搬送車的關係之側面圖。 圖9是顯示被懸吊支撐的調整用單元與檢查台的關係之側面圖。 圖10是顯示調整實施時的調整用載置面與調整用單元之位置關係的放大圖。 圖11是顯示檢查台的其他例子之側面圖。 圖12是顯示維護升降機的一例之圖。 圖13是顯示調整用載置台與維護升降機一體化的例子之圖。 圖14是顯示固定有段式之檢查台的一例之側面圖。
1‧‧‧天花板搬送車(物品搬送車)
4‧‧‧調整用載置台
24‧‧‧支撐部
25‧‧‧升降部
41‧‧‧導軌
43‧‧‧升降帶
44‧‧‧升降致動器
45‧‧‧位置檢測感測器
48‧‧‧調整台控制裝置
49‧‧‧操作面板
C‧‧‧調整用單元(調整用裝置)
L‧‧‧行走路徑
R‧‧‧行走軌道
P‧‧‧調整用載置面
P1‧‧‧第1調整用載置面
P2‧‧‧第2調整用載置面
P3‧‧‧第3調整用載置面
HL‧‧‧上限高度
LL‧‧‧下限高度
S‧‧‧載置部

Claims (5)

  1. 一種物品搬送設備，具備設置在天花板的行走軌道、複數個沿著前述行走軌道而設置在地上側之載置台、及被前述行走軌道懸吊支撐，且沿著藉由前述行走軌道所形成的行走路徑而行走，來將物品懸吊支撐並從成為搬送起點之前述載置台搬送到成為搬送目的地之前述載置台的物品搬送車， 其為將以下作為特徵之物品搬送設備： 前述物品搬送車具備沿著前述行走路徑行走的行走部、被前述行走部支撐且把持並懸吊支撐前述物品的支撐部、在前述行走部已停止的狀態下使前述支撐部相對於前述行走部而升降的升降部、及儲存搬送用設定檔資訊的設定檔儲存部，且該搬送用設定檔資訊至少包含用於在各載置台上移載前述物品之前述支撐部及前述升降部的作動量之資訊， 前述物品搬送設備並具備用於調整前述搬送用設定檔資訊的調整用裝置、及調整用載置台，該調整用載置台具有調整用載置面，該調整用載置面可用與於前述載置台上載置前述物品之形態相同的形態來載置前述調整用裝置， 前述調整用裝置可用與前述物品相同的形態被前述支撐部懸吊支撐，並且用與前述物品相同的形態而藉由前述物品搬送車被載置到前述載置台，以於相對於前述調整用載置面的移載之時，取得前述支撐部及前述升降部的作動量之資訊來調整前述搬送用設定檔資訊， 前述調整用載置面可在預先規定的上限高度與下限高度之間以無分段方式來設定為不同的高度。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中前述調整用載置台具備： 導軌，豎立設置於垂直方向上； 載置部，至少水平方向的一端是被前述導軌所支撐，且於上表面形成前述調整用載置面； 升降致動器，使前述載置部沿著前述導軌升降； 位置檢測感測器，檢測前述載置部在垂直方向上的位置；及 調整台控制裝置，根據前述位置檢測感測器的檢測結果來控制前述升降致動器，以將前述調整用載置面設定為預先規定的調整用高度。
  3. 如請求項2之物品搬送設備，其中將前述調整用高度因應於以下的至少其中一者來規定：於前述載置台上載置前述物品之物品載置面的高度、以及前述支撐部從預先規定的上升設定位置移動到在前述載置台上載置前述物品之時的下降設定位置時的前述升降部的作動量。
  4. 如請求項3之物品搬送設備，其中複數個前述載置台包含使前述物品載置面之高度不同之複數種，且前述調整用高度是因應於各個前述物品載置面的高度而規定。
  5. 如請求項1至4中任一項之物品搬送設備，其中前述調整用載置台具備有使前述行走軌道所懸吊支撐的前述物品搬送車往地板側脫離的維護用升降裝置。
TW106106389A 2016-02-29 2017-02-24 物品搬送設備 TW201736227A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016037786A JP2017154840A (ja) 2016-02-29 2016-02-29 物品搬送設備

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201736227A true TW201736227A (zh) 2017-10-16

Family

ID=59678402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106106389A TW201736227A (zh) 2016-02-29 2017-02-24 物品搬送設備

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20170247190A1 (zh)
JP (1) JP2017154840A (zh)
KR (1) KR20170101795A (zh)
CN (1) CN107128658A (zh)
TW (1) TW201736227A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI816000B (zh) * 2018-12-14 2023-09-21 日商村田機械股份有限公司 搬送車
TWI870631B (zh) * 2020-11-18 2025-01-21 日商村田機械股份有限公司 搬送車系統

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019147796A1 (en) * 2018-01-26 2019-08-01 Bumblebee Spaces Inc. Hoist system with household object payload motion control utilizing ambient depth data
JP7052611B2 (ja) * 2018-07-13 2022-04-12 株式会社ダイフク 物品仕分け設備
CN110758974A (zh) * 2018-07-26 2020-02-07 北京京东振世信息技术有限公司 货物拣选传输装置、货物拣选系统及方法
CN114126988B (zh) * 2019-06-20 2023-11-10 村田机械株式会社 搬送车
JP7276468B2 (ja) * 2019-08-29 2023-05-18 村田機械株式会社 走行車システム
KR20220100670A (ko) 2019-11-20 2022-07-15 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송차
EP3862839B1 (en) * 2020-02-10 2023-05-24 Ricoh Company, Ltd. Transport system and transport method
KR102785001B1 (ko) * 2020-04-06 2025-03-21 세메스 주식회사 반송 트랙 및 반송 장치
JP7294224B2 (ja) * 2020-04-22 2023-06-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7310713B2 (ja) * 2020-05-25 2023-07-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7363686B2 (ja) * 2020-07-02 2023-10-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7310774B2 (ja) * 2020-10-07 2023-07-19 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法
JP7268667B2 (ja) * 2020-11-04 2023-05-08 株式会社ダイフク 搬送車
JP7342841B2 (ja) * 2020-11-06 2023-09-12 株式会社ダイフク 搬送車
JP7306364B2 (ja) * 2020-11-10 2023-07-11 株式会社ダイフク 搬送車
EP4361065A4 (en) * 2021-06-24 2025-06-25 Murata Machinery, Ltd. Transport vehicle system
CN114955358B (zh) * 2022-08-01 2022-12-09 弥费实业(上海)有限公司 传送晶圆盒的驱动机构、装置、方法及存储库
WO2026083641A1 (ja) * 2024-10-17 2026-04-23 村田機械株式会社 天井搬送車システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI816000B (zh) * 2018-12-14 2023-09-21 日商村田機械股份有限公司 搬送車
TWI870631B (zh) * 2020-11-18 2025-01-21 日商村田機械股份有限公司 搬送車系統

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017154840A (ja) 2017-09-07
KR20170101795A (ko) 2017-09-06
CN107128658A (zh) 2017-09-05
US20170247190A1 (en) 2017-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201736227A (zh) 物品搬送設備
TWI698383B (zh) 物品搬送設備
KR102418303B1 (ko) 물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법
KR102424034B1 (ko) 물품 반송 설비 및 검사 유닛
KR101305265B1 (ko) 물품 반송 설비에 있어서의 학습 장치 및 학습 방법
JP6206748B2 (ja) キャリアの搬送システムと搬送方法
CN101837871A (zh) 桥式输送系统及物品的移载方法
WO2015194264A1 (ja) キャリアの一時保管装置及び一時保管方法
JPWO2015194267A6 (ja) キャリアの搬送システムと搬送方法
TW201841815A (zh) 高架搬運車系統及教學單元
KR20180028907A (ko) 물품 반송 설비
TW201820517A (zh) 高架搬送車及高架搬送車之控制方法
JP7173290B2 (ja) 搬送車システム
KR20230116699A (ko) 물품 반송차
JP5267853B2 (ja) 物品搬送設備における学習装置
KR20210146219A (ko) 천장 반송차, 티칭 유닛, 및 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법
JP7310774B2 (ja) 天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法
JP5339118B2 (ja) 物品搬送設備における学習装置及び学習方法
KR20180076300A (ko) 학습용 지지 장치
KR20260035732A (ko) 반송 설비