308686 A7 B7 五、發明説明（） 本發明係 之資訊的製 輻射光束在 曝光，K形 被顯影而形 暉光起始和 也關於實胨 光學資訊載 一資訊單 的一部分。 和1 ，而一 具有值為1 分為一資訊 光m劑層上 直徑是在輻 處的局部強 由物鏡所形 物鏡之數值 區域，其具 ，在此資訊 ，沒有任何 關於一稗藉由 造一光學資訊 功率上被資訊 成一短和長的 成一資訊區域 間，由 的一種 記錄包含在一母片中之資訊單元 載餚的方法，其中掃描此母Η的 所調製，且使母片的一光阻劑層 曝光區域的花紋，其後光抗蝕刻 的花紋*對於每一個暘光區域之 相關的資訊S元所決定。本發明 配置及關於實行此方法所獲得的 ,1---„------「裝------訂------{ \ (請知閱請背'面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消費合作杜印製 持續期 此方法 體。 元是由 例如· 值為1 的信號 置元。 1所形成 射光點 度等於 成的艾 在一母 如果一 的信號 之時間 一曝光 之輻射 内二直 在輻射 片上之-單 數位資料 部分造成 的長度來 區域如果 光點直徑 徑方向曝 光點中最 里強度斷面，該 孔徑之商的一半。一資 有用 載體上 更多限 光區域•除非有其 在製造一光學資 層的曝光而刻在母 .複製程 的相翮 定的用 他的指 訊載體 片中。
序可Μ被 區域也稱 語”區域” 定0 的方法中 其後光SH 一特徵所 信號交替 一暍光區 決定；此 其長度小 的兩倍， 光的點之 大強度的 直徑等於 訊區域是 傳輸至資 為資訊區 表示在光 ，資訊首 劑暉被顯 表示之 地具有 域，其 資料信 於輻射 則稱為 間的距 資料流 一值0 長度由 號的部 光束在 短的* 離，該 —半。對於一 輻射光波長和 —在母Η上的 訊載照的特性 域。在下文中 砠劑中的一曝 先藉由光姐劑 影，结果資訊 -4 - 本紙張尺度逋用中國國家標準（0阳>'人4規格（210><297公釐〉 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（） 區域（例如坑的形狀）在嗶光區域的位置處形成。 «I然在下文中資訊區域通常稱為坑洞，很明顯地，這些 區域也包含小丘。其次，母Η具有一金屬層。當金匾層已 經從光阻劑®移去後，其形成—具有坑洞花樣之負片刻痕 的模。然後此模之坑洞的花樣，藉由一複製程序（例如， 一ϋ勝横造程序）傳輸至許多的光學資訊載體，其後資訊 載赌可Μ具有一或更多層使其反射及/或可铭刻的c在一 不能由使用者铭刻之資訊載體中，坑洞的花樣表示記錄的 使用者資訊。在一可銘刻的資訊澉骽中，坑洞的花樣不僅 可K表示使用者資訊，但也可追踪資訊，藉此，—闬來讀 取或寫入資訊的輻射光束可被導引在整個資訊載體。 在資訊載髖上的資訊密度可藉由安排坑洞之間較接近來 增加。然而，更稠密填寒的坑洞會引起當在資訊載體上資 訊被譲取時所產生之信號的品質降低，结果被讀取資訊的 可靠度BS低。品霣的降低特別表示其本身的抖動增加，亦 即信號之不規則随意變最的增加。在較高密度的情況中， 為了使一資訊信號能夠從具有一相當低抖動之資訊載體上 獲得’在母片上的坑洞應該具有一非常精確定義的位置和 形狀。限制資訊密度增加的問題之一是在此母片中之資訊 的記錄期間，輻射光束具有一常歟的功率，短的坑洞似乎 奰得比長坑洞窄。 美國專利第5,040,165號掲示一種製造一光學資訊戰賴 的方法，其目的在解決K上的問題。使光阻劑層曝光之『 射光束的功茧選在對於記錄短區域比記錄長區域高25?; 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） i ^裝 訂 f 4 (請t閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 308686 a? B7 五、發明説明（) 100¾。然而，在用此方法製造之資訊載體上傳導的試驗顯 示*設想之抖動的降低並未達到。此外，用K記錄短區域 和用K記錄長區域之功率之間的比率，顯示與使用在母片 上之光姐劑的形式和條件極度相關；因此由不同母片所獲 得的資訊載韓是不同的。 本發明的一個目的在於提供一襦在開頭段落中定義之形 式的方法，其不具有已知方法的缺點。 為達此目的，根搏本發明的方法其特徽為，在每一個記 鏵區域的整個長度上，ai光最實-際上為一常數的預設值， 其價與該長度無闞。 本發明係基於光陏劑層之對照曲線的形狀，對於在資訊 載體中坑洞的最後形狀具決定性之事實的認知。對照曲線 表示光阳劑的顯影速率是曝光最的函數，其為每單位面槙 對時間磧分的輻射最照射在一指定的位置。直到現在用作 光學記鏵的光姐劑具有一相當線性的對照曲線，亦即一具 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 高認是影顯強同當彩 較被徵顯，同不，所 有在特的上不二度後 具琨 一低以二成速影 於，第地值用造影顔 對洞的路界使會顯劑 。 坑劑忽臨。常的姐 率的姐可在加通同光 速確光 一 ,增* 不。 影明比生為地法有加 顯而對產徵速方域增 的小高最特快知區也 高成一 光二常已長異 倍形。曝第非的和差 二能劑的的數域短的 生了W值劑函區於率 產為光界，m的長對速 最· 的臨光最和致影 光錄比於比光域導額 曝記對低對暍區此 ， 的學高 一 高一短。時 大光用。一像入最加 倍之使限。率寫光增 二度要界寒速來曝比 有密為其速fi度的對 冬紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 308686 a7 B7 五、發明説明（） 成之短和長的坑洞的形吠（亦即，長度、寬度及/或深度 :因此*精確地取決於在曝光期間使用之輻射光功荽的差 異。 已知方法的第二個缺點為其感光度會改變對比曲線的形 状，其可在下文中瞭解。由一給定暍光量轉換之光砠劑材 料的最，對於溫度是相當地不敏感C相反地，顯影速度（ 亦即轉換的物質溶解在一顙影液中的速垄）強烈地與溫度 和光1目劑之特性二者K及顯影液的濟度有關。此對此曲線 的形狀由光胆劑和顯影液的特性-所決定，因此结果爰成強 烈地與光阻劑的溫度、成分和溝命有顒。因為對比曲線指 出曝光聶和顯影速率之間的關係，一對比曲線的改變將會 造成顯影速率的改變。當對於一高對比光阻劑的對比曲線 非常陡時，對於這柴光阻劑的顯影速率的變化很多且強烈 地與《確的暍光最有關。由於此原因，坑洞的形狀不能用 已知的方法滿意地控制。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 然而，根撺太發明的方法對於對比曲線的精確形狀非常 的不霉敏，由於光阻劑層曝光方法的结果。為此目的•輻 射光束的功率用此一在一曝光區域的整個長度上，a學光最 實際上為一常數值的方法來控制，對於不同長度的區域， 此值相等。霣際上，相等表示在大約+ /- 3% μ内相等。為 此*每一個區域的頭尾部分都已忽略，且曝光最沿曝光區 域的中心線測最。由於曝光最相等的结果，不考慮對比曲 媒的形狀下，對於每一區域顯影速率也相等。如果對比曲 媒的形狀侷離預定的形狀，則短和長區域二者的顯影速率 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（） 將會類W的改變。顯影速率的改變可κ簡單地藉由適當的 滴低或延長光阻劑層的顯影時間而修正。因此，短和長坑 洞將會指定想要的形狀，而與對比曲線的精確形狀無闞。 结果，抖動降低了，且因此坑洞的長度和坑洞之間的距離 可K減小，為了增加資訊載體上的資訊密度。 輻射光束在光砠劑層上形成一具有特定強度剖面的一顆 射點。在寫入期間，輻射點在光姐劑層上移動。因此在光 阴劑暉的一任意位置之曝光最由剖面和其位移的捲積所決 定。當一小的區域被暍光時，此Jg射光點的位移相於此輻 射光點的大小是小的，對比於一長區域，在該處位移比輻 射光點的大小為大i由於捲積效應的结果，在一小區域的 暍光最因而比在一長區域中的曝光最低。根據本發明之方 法的一薄特殊的具聘装置，因此其特徵為在短區域之_光 期間，蝠射光束的功率比在長區域之暘光期間，輻射光束 的功垄高如此之多，使在短和長區域中曝光量賁際上相等 。功垄的值是一 ¢1光區域之長度的函數，结果只需要對於 所有的區域，局部暍光最應該實際上有相同對比的預測值 0 在特定的情況中.，最後提及方法的具髑装置會造成在光 阻劑層中相當短的曝光區域，當寫入長資訊單元時，因此 產生相筲短的坑洞。此情況可用光阻劑層之稍長顯影來修 正。然而，其後短區域也被顯 < 較長，造成短坑洞變得較 長。根搏本發明之方法的一榉具體装置，因此其特徵為， —畏區域的暍光期間選擇比組合的資訊單元的期間長。延 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） .----------- t------iT------^ ^ • - { - ^ (請t閲讀t面之注意事項再填寫本ί ) 308686五、發明説明（ A7 B7 經濟部中央梂绛局員工消费合作社印袋 長’小輿街比曲線的斜率無瞄，且對於長區域介於幾個 百分比大约百分之20之間，對於短區域則是介於幾個百分 比到零之間。 根撺本發明之方法的—種特殊的具體裝置，其特勤為長 區域的曝光開始在組合的資訊里元開始之前。因為在光姐 劑中的記錄為~對稱的過程·延長的曝光時間懕該相對於 表面上區域的位置為對稱的，亦即曝光比一資訊單元所指 示的開始的早而停出的晚。 此幅射點的強度剖面通常具有一一高密度的中央突出部， 被（通常足環狀的）低密度的邊緣突出部所圍续。在寫入期 間録射點在整個光阱劑層上移動，其结果造成在光姐劑層 上的某些位置依次地被中央突出部和一個以上的邊突出部 所照射。琨在，在這呰位置上減低輻射光束的功率，根撺 本發明之方法的一種特殊具賴装置，其堪可能獲得—常數 的嗶光最在一曝光區域的整俩長度上。 當資訊截體上的資訊密度增加時，在母片上的區域必須 記錄得更靠近另一個。當—第一區域曝光時，—鄰近的第 二區域和介於這些區域之間光阻劑曝光部分二者，由於輻 射光點的大小脅有少量的曝光。在中間的區域中，曝光量 仍然低於對比曲換的界限，將不畲視為資訊區域的資訊。 在第二區域中，低的曝光最加入已經給予戎被給予以形成 此第二資訊區域的曝光最。此外加的最對於第二區域造成 比二區域雜得較瘪的情況中有稍高的曝光最。由於陡的對 比曲線，此第二區域之曝光最的輕微增加造成顕影速萊上 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •絮· -* Γ 經濟部中央樣準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（） 可察覺的增加。结果，彼此較靠近的資訊區域變得比較分 開的資訊區域大。此杻曲引起抖動增加。為了修正上面描 述的影饗，此方法可用二棰不同的方式來修正。 根撺本發明的第一 _修正方法中，其特色為，在二郯近 區域的記錄期間，每一個位於最近另一區域的區域的部分 用一輻射光束的功率記錄，其為二區域之間距離的罝調非 減函數。在寫入期間，輻射光束的功率K此一方法來控制 ，與鄱近區域的距離有關，在此區域中暍光最具有所要求 的常數值，因此沒有任何與瑄些域之間距離有關的杻曲 發生。 根撺本發明的第二種修正方法中，其特色為，在二區域 之間通過期間，輻射光束具有比用Μ記錄這些區域的功率 為低的功率，且此功率與二區域之間距離有一罝調非減關 傜。瑄樣其完成一具有給予一固定外加的曝光之郯近區域 而與和其他區域間的距離無關。現在抖動降低了，因為所 有區域都具有相同的杻曲。外加的曝光最應該比預定的常 數暍光最值大约小三個百分比。 根搾本發明，提供一種實行此方法的安排，此安排包含 一装置兩Κ在一母.片中記錄資訊，賴由一輻射光束根撺一 短和長暉光區域的樣式來暉光；此装置包含一用來產生輻 射光束的輻射源，一強度調變器，和與該調變器組合的控 制装置，一用來藉輻射光束，在母片上形成輻射光點的光 S糸统，W及用W移動母片和相對於另一個的輻射光點的 装置。此装置之特徵為，此控制装置適合於控制此調變器 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 1 「裝 訂 ί·^ (請t閱讀t面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 有一 * 週之 用資通此结而 铳影也 此向结 位此 具為 為的一 路示訊。。- 系被域 為方， 相由 上稱m元之 霄表資流理垄 學位區 m 入低 形II 際也 特單數 碼碼此料處頻， 光相光 特寫降 矩， 實置 其訊參 编此而資地脈 有和曝 其在板 。一 而 最装 ，資等 I , 然行行時 具幅果 -使位果示然 光一 置是率 含元。平平的 奸振结 置狀相结顯。 暍此 裝面功 包M合一中高 最的， 装形形的號度 上。 體方和 置訊结為率常 置射小 髀的圓佳5長 度關 具一期 装資址示頻非 装輻減 具圓一較52的 長無 的存週 制一，位表脈成 此使寸 的橢比一 1’徑 個度 殊儲、 控轧一可時計 ，鏡尺 殊此能生41直 整長 特來始 此中的碼的設 料光的 特。垄產0,猜 的該 種用開 ，訊體此低要 資濾部 稽板功硌第光 域與 一 ,的 中資憶-為需 钱：I 出 I 位的策用之 區值 的髑光 置的紀流.訊不 記。突 的相部人應铳 光其 置錄曝 装錄與料資件 的徴央 置.的出寫利臬 暘， 装記少 體記並資此元。度特中 装圓突的專學 一值 之一至 具被，列比的件密的之 之椭邊明洲光 在定。明含面 的在度串在置元高鏡點。明一 之發歐於 式預器發包方〇佳姶長一夠装维有光光小發含面本意等 方的錄本置一 偁較碼的為能制搮具澳射較太包剖搏注 一 此數記撺裝另關 一一 元示此控是於一輻揖搏鏡度根須有 K 常 Η 根制和的在指罝表因，w對栝，變根光強，必里： ,一母 梓：期間 K訊常碼果可 包饗可 滅中果 板 ^—裝 訂 ！冰. . ( , . (請4?閲讀背'面之注意事項再填寫本I) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） —相位板，不可能形成一適合於一母片記錄器的輻射光點 ，此光點在二方向上應該具有小的尺寸。 藉由根揀本發明之方法所製造的一光學資訊載體，其特 激為，資訊區域的長度偏差比組合之資訊S元的長度小 10¾ 。此偏差量比不是用根據本發明之方法製造的資訊載 餺小。此較小的侷差最造成在從資訊載體獲得之讀取信號 中枓動的降低。 此光學資訊載賴更具有相鄰資訊區域之間距離的偏差比 組合的資訊罝元之間的距離小5 (L η m的特徵。相鄰資訊區 域之間距離的一榑更精確的定義，像資訊區域之長度的更 精確的定義，也造成一減輕的抖動。 此光®資訊載髑更具有資訊區域之寬度的展開小於3 0 r> m的特勧。此資訊區域的一明確的寬度產生讀取信號之明 確的大小。此也造成抖動的降低。 太發明的某些具餚裝置現在將更细節的描述，藉由例子 並參考圖例。在圖中， 圖1表示製造資訊載體的一種装置， 圖2表示用來在一母片上記錄資訊的一種装置， 圖3為強度和暍光最是在母片上位置的函數， 圖4a表示對於一低對比光阻劑之暘光最和顯影速茧之間 的關係， 圖4 b表示對於一高對比光砠劑之暍光最和顯影速垄之間 的關係， 圖5表示汐有寫人策輅所記錄之E F Μ資訊罝元的顎影剖 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 「裝 訂 - , { - (請£-閲讀背'面之注意事項再填寫本頁) 308686 A7 B7 五、發明説明（） (請閲讀r面之注意事項再填寫本頁) 面， 圖6表示具有第一寫人策硌所記錄之EFM資訊S元的顯 影剖面， 圖7表示根據此第一寫入策路之輻射光束的功率是寫入 區域之長度的函數， _ 8表示具有第二寫入策路所記錄之EFM資訊罝元的顯 轵剖面， 阖9表示根撺此第二寫入策路之輻射光束的功垄是寫入 區域之長度的函數。 -- 圖1 0表示在不同距離之連讀二短區域的暍光最· 圖11表示與圖Γ0中之夤之剖面结合之顯影剖面， 圖〗2表示根撺對於一連讀寫入區域之第三寫入策硌之輻 射光束的功率* 3表示根捭對於一連績寫入區域之第四寫入策略之輻 射光束的功率， 圃]4表示根捭第四寫入策硌；對於在不同距離之連缬二 铕區域的曝光最， 圖1 5表示在圖1 4的中間區域的暍光最， 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 圖1 6表示與阃1 4中最剖面结合之顯影剖面， 圖1 7表示具有強度剖面之邊綠突出部之影響的一強度和 摄的剖面， 圃18表示具有一過薄的輻射光束所記錄之EFM資訊罝元 的顯影剖面， 圖〗9表示根撺第五寫入策鉻之輻射光束的一強度剖面和 -13- 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 功苤， 圖20表示具有一椭圓的相位板之母片記錄器之物鏡的光 阔， 圖2 1表示具有和下具有相位板之I 9信號的顯影剖面， 圖22表示此母片記錄器之控制装置的第一具體裝置， 圖23表示此控制装置的第二種具體装置， 圖2 4表示此控剌装置的第三榑具餺装置，Μ及 圈丨25表示此控制裝置的第四種具體装置。 圖1表示用來製造一光學資訊_戴餚的一種裝置，此一裝 置通常包含一資訊處理罝元1 * 一用來在母片3中記錄資 訊的裝置，或母片記錄器2 ，一用來處理母片的装置4並 ϋ由母片製造馍子5 ，Κ及一複製装置β用以在資訊載體 7中製造模子的印痕。記錄在資訊載體上的資訊8供给資 訊离理罝元〗的一輸入。此資訊包括記錄在一例如追踪溝 槽或追踪坑洞之幾何圖形中的資訊，使能夠識別在資訊載 賴上特定位置的位址資訊，使能夠其後修正讀取誤差，且 如果需要資訊可Μ由資訊載體的使用者所讀取。此資訊處 理處理罝元1從輸入資訊8中導出用Μ控制母片記錄器2 的信號9 。由於控制信號的幫肋，母片記錄器在母片3中 記錄資訊，在一光砠劑層中之曝光區域的花樣。在一曝光 區域中*光束的輻射被吸收，使在光砠劑中的材料局部地 被轉換，而光阻劑的溶解度改箩。因此光阻劑層的溶解度 和顯影速莖增加，當暍光最堉加時。此母片記錄器為此装 置之一電要部分，將會在下文中更细節的討論。母片3的 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） Γ ^裝 訂 }· ' f - * (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 光阴劑層在裝置4中被顯影，因此將曝光花樣轉換成在光 阻劑層中坑洞及./或溝槽之形式中一資訊區域的花樣。此 外，一金矚層附著於此光砠劑層上。從光阻劑曆移去此金 鼷暉從形成一具有坑洞花樣之刻痕的撗子5 。賴由此一模 子複製装置ft在資訊載體中製造坑洞花樣的刻痕，藉由， 例如，基於光聚合作用之一塑膠模造程序或一複寫過程， 所謌的2 P過程。由一罝一的母片3可K製造許多的馍子5 ，而用每一個模子可Μ製造數百至數千個資訊戢體7 ，因 此用一罝躅的母片可Κ製造出«U千至數Η萬個相同的資訊 載髀。此方法可包含許多的複製步驟，其中許多構子由一 罝一的择子所產生δ 圖2表示一用以刻在圓盤母Η3上之母片記錄器2的具 體装置。很明顙地，稍徽修正此一記錄器也適合刻記其他 形式的母片，例如用來製造矩形光學資訊卡之矩形母片， 或延長母片Μ製造光學帶。母片記錄器2包含一輻射光源 12*例如一氬雜子雷射，其產生一輻射光束〗3。此輻射光 東的功苤用一電光或漀光調變器]4作脈衝調變，與一控制 装置〗0的輸出信號1 ]有關，其具有一來自於資訊處理S元 1之輸入接收信號9 。此控制装置將信號9轉換成適合控 製調燙器14的信號。當一輻射光循可Κ被快速地調爰時， 像例如使用一半導賴雷射，此雷射可直接由控制装置1 〇來 控制，而輻射光源1 2和調變器1 4會形成一罝獨的装置。一 來自於調變器1 4之強度調變輻射光束1 5在母Η 3的光阻劑 暉2 0上聚舆形成一辐射光點1 9，例如用一光束加寬器1 6 * -1 5 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ：---^------Ί裝------訂------f 冰 . . { - * (請tM讀f面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 A7 _B7 五、發明説明（） —反射鏑17和一物鏑18。藉由沿一旋轉軸21旋轉母片，及 同時在一徑向22上移動光學元件17和18，可K在光阻劑中 寫入同心圓的或螺旋狀的軌道。由於輻射光點和光阻劑層 相對於彼此移動的结果，一資訊單元的時間長度和结合的 曝光時間可K轉換成一資訊單元和暍光的長度。在記錄期 間，輻射光束保持聚焦在此光阻劑層上，其中物鏡丨8經由 反蝕遵循母1=1之垂直方向的移動。如果母片以一常數角速 度旋轉，輻射光束中的功率應該增加呈軌道半徑的線性函 數寫入，W維持一常數的曝光最此功率的媛慢變量可以 由調變器〗4所影響。 在光姐劑廣中一區域的記錄期間，輻射光點]9和母片3 相互位移的影響，參考圖3來說明。在光砠劑層中當一區 域被記錄時，此光阻劑層被輻射光點19所照射。圖3中的 爾媒2 5表示此輻射光點的強度剖面成位置的函數。此輻射 光點的柊動方向中，在光姐劑層上的位置X ，沿水平軸耋 出，強度I沿垂直軸晝出。為了簡化的緣故，強度表示成 一鋳形曲線*雖然此曲線通常具有一所謌的艾里剖面*其 為由一具有圓形孔徑之透鏡所形成之一繞射極限的輻射光 點的特徵。曲線25表示輻射光束打開之暍光一區域時的剖 面，而一曲媒26表示在一由箭號27所表示的位置之後，此 暘光结束時的剖面。在曝光區域中光阻劑層的曝光量是強 度剖面和位移的捲槙。此曝光量剖面（其為曝光量是一位 置的函數）在此圈中Μ —霣線曲線2S表示，為此曝光最ε 沿垂直轴書出。在顯示情況中曝光區域的長度與此輻射光 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) -裝· 訂 308686 A7 B7 五、發明説明（） 點之強度剖面的直徑相較是短的，參考圖中的w 。 _ 3也表示一相當長區域之曝光的情況。當曝光開始時 ，由虚線29所给定的強度剖面，其和強度剖面25有相同的 形狀，最後由曲線30所給定的*當剖面的中心已由一箭號 31所表示之行程所完成後，其長度比強度剖面29之直徑的 兩倍大。由曲線32所表示之組合的瞜光最剖面具有—平的 最大值，其比曲線28的最大值稍高。曲線32的最大曝光β R有在強度剖面已經移動超過大於約剖面直徑二倍的距51 之區域才能達到。 ~ 經濟部中央樣準局負工消费合作社印裝 在顯影過程期間，光阻劑層的曝光區域在一顯影劑液中 被溶解。此光胆劑層的對比曲線表示溶解速率之間的關.係 ，也稱為顯影速率，而暍光最如圖4a中所示。圈中的右上 象限表示對於一具有相當低對比之光阻劑層的典梨對比曲 線35 *嗶光最E沿水平軸畫出，而顯影速率沿垂直軸畫出 。一臨界堉36表示曝光最比其低時，一曝光具有可忽路地 小的顯影速銮。右下象限表示二區域的瞜光董剖面，亦即 嗶光蚤為在光砠劑層上位置X的函數。第一區域之瞜光最 剖面37的最大值比第二區域之曝光量剖面38的最大值稍高 ，其差值可能用參考躅3來解釋。藉由表示於右上象限的 對比曲線，在右下象限的暍光量琨在可K解釋成表示於s 上角的顯影璲率，其速垄再次表示為在光阻劑位置X的函 數。因此曝光最剖面37和38相對地產生顯影剖面39和40。 茌顙影期間，光砠劑層以一正比於顯影剖面的速銮溶解。 存閉影剖面3 9和4 0的位置*此造成在光G8劑餍中資訊區域 -17- 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4· ( 210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 為坑洞的形式*其深度、長度和寬度與對比曲線和顯影時 間的形狀成正比。此坑洞的精確形狀不完全由顯影剖面的 形狀決定，但也與在顯影過程中的其他因子有關。這些因 子之一為顯影速垄的方向缌是垂直於顯影表面，因此顯影 過程的開頭，此速率垂直於光阻劑層，但垂直於已形成坑 洞的傾斜的躋。因為光砠劑層的厚度通常等於一資料區域 或坑洞之期望深度，其深度相當小，一短顯影時間已經造 成一深度等於此光砠劑層之厚度的坑洞。此凹俗長暍光不 會造成深度的改要*只會使坑洞_别長度和寬度正比於顯影 速度的增加，在光砠劑層上一指定的位置。 一坑洞的長度可K用不同的方法定義，例如像一坑洞之 該部分的長度，其具有等於光阻劑層之厚度的深度，或位 於存頭尾邊緣上之位置之間坑洞的該部分的長度，在該處 深度等於光阻劑厚度的一半。對於一給定的顯影程序，此 深度d (其值與被採用的定義有關）在一時間t達到，其遵 循t = d/ D ，其中D為顯影速率。顯影剖面39和40的點在時 間t己缕顯影至一深度d位於一所謂的顯影直線，在圖 4a中K 一直猓4 1表示。過程结束以後，顯影的坑洞具有表 示為箭號4 2和4 3的長度。在較長顯影時間的情況中，直線 41位於一較低顙影速銮D ，因為對此顯影直線，t和D的 乘積為常數，而此顯影直線與此深度d的一特別的常數值 相结果。结果，奋生的坑洞的長度增加。坑洞糖的斜垄由 剖面3 9和40的斜垄來決定，這些剖面與直線4 1交叉由於 在對比曲線3 5中相當低的界限3 β，此二剖面3 7和3 8的逄緣 -1 8 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 裝 訂 f'^ . , f - * (請先閱讀背"之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 突出部或較小突出部可能造成坑洞的延長。在圖4 a中剖面 37和38暉光最的呰微差異造成不同長度的二坑洞，K箭號 42和43表示。對比曲線35在圖的右下象限中關聯顯影直線 至一曝光最直澡44 =與曝光量剖面37和38交叉的點45和 46表示最终形成之坑洞的長度。箭號45和4Γ)的長度相對地 等於箭號42和43的長度。 類似圖4 a，圔4 b表示曝光最和顯影速度之間的關燥，但 是現在闬一高比的光姐劑取代低對比的。高對比表示其本 身在對比曲線35的斜銮和高臨界-36’ 。在圖4b中的曝光量 剖面3 7和3 8等於在圖4 a中的曝光量剖面。然而，對應產生 的顙影剖面39 ·和40' ’胬考豳地偏離剖商39和40。在第一位 置中，較陡的對比曲線造成坑洞較陡的糖，因此在較窄的 坑洞中此外，由於較高的界限3 6，，此二剖面3 7和3 8的 邊緣突出部不舍造成ία洞的延長。结果，因此形成的坑洞 可W.較小日_可更®緊，因此資訊載體的資訊密度增加。其 次，雖然在剖商3 7和3 8的最大曝光最之間有相當小的差異 ，蓠際上存二剖商39 ’和40，的最大顯影速率之間有_差值 。事實上，小的差異造成大的影響是由於對比曲線35，的 陡峭和一曝光最直線4 4 ’靠近剖面3 7和3 8的最大值。當使 用一高對比的光B目'劑時，產生之坑洞的長度和寬度因此與 在曝光區域中瞜光最的精確值非常有關。由顯影剖面3 9 , 所形成的坑洞，會比由剖面4 0，所形成之坑洞長且寛。此 外’此二坑洞的形狀之間的差值與顯影過程的精確條件有 關。藉由表示於圃4β中的棒端情況來說明，對於—特別的 _ -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ' ~ — Ί裝 訂 ; C 外 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 308686 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明 1 ) I I 1 1 顯 Ψ. 程 序 » 顯 ψ. 直 媒 41 '和顯影剖面3 9 交 叉 » 且 位 於 剖 面 1 1 請 I 40 ' 上 面 0 剖 面 39 ' 造 成 顯 影 至 要 求 之 深 度 的 坑 洞 i 然 而 先- 閱 1 .1" 剖 面 40 ' m 生 - 不 具 有 要 求 深 度 的 坑 洞 0 在 母 片 中 坑 洞 之 讀 背— 1 深 度 % 度 和 面 I 長 度 所 產 生 的 變 化 賴 由 複 製 過 程 傳 輸 至 資 料 之 注 I 載 餺 » 且 在 資 訊 載 η m 取 的 期 間 導 致 抖 動 的 增 加 0 曝 光 最 意 事 1 I 的 差 異 在 顯 過 程 的 期 間 不 能 用 顯 影 時 間 的 改 變 來 修 正 項 再 i|T 1 —t 〇 寫 本 裝 I 坑 洞 的 形 狀 不 11 由 暉 光 最 所 Ψ. m 也 受 顯 影 過 程 的 參 數 η 1 1 Ψ· 響 0 用 作 光 m. m 暉 之 光 Bft 劑 n Μ 化 * 光 m 劑 成 分 之 濃 度 1 I 的 化 和 顯 影 m 濃 度 的 化 都 會 造 成 斜 率 和 對 比 曲 線 1 1 3 5和 3 5 » 之 臨 界 值 的 m 化 〇 此 造 成 顯 影 剖 面 3 9 40和 對 應 1 訂 的 3 9 ' f 40 ' 的 改 變 0 這 些 改 變 只 能 藉 由 一 較 長 或 較 短 的 顯 時 間 部 分 地 修 正 0 1 1 通 常 記 錄 於 母 片 上 的 資 訊 單 元 具 有 不 同 的 捋 壙 時 間 1 1 造 成 不 同 長 度 的 曝 光 fm 域 0 對 於 任 何 任 意 長 度 之 曝 光 區 域 1 的 曝 光 最 可 K 由 輻 射 光 點 之 強 度 剖 面 和 輻 射 光 點 之 位 移 的 .wjC 捲 積 而 決 定 其 方 法 參 考 圖 3 中 所 描 述 的 0 其 後 對 於 不 同 1 I 區 域 的 顯 影 m 率 1 可 經 由 圖 4a 和 m 4b中 對 比 曲 線 35和 35 t 1 來 決 定 〇 在 光 姐 劑 m 中 > 希 望 的 曝 光 區 域 的 長 度 由 希 望 的 1 資 訊 強 度 和 賣 訊 m 號 方 法 所 指 定 0 為 獲 得 高 的 密 度 * 最 短 1 區 域 的 長 度 減 至 最 小 〇 在 其 情 況 下 夤 希 望 — 長 度 的 記 錄 1 區 域 比 輻 射 光 點 之 直 徑 的 二 倍 短 亦 卽 在 — 里 強 度 剖 面 的 情 況 中 » 比 輻 射 光 波 長 和 物 鏡 之 數 值 孔 徑 的 商 為 短 0 一 - 1 1 禪 慣 用 之 编 碼 數 位 信 號 的 方 法 是 所 1™ 的 8 至 14 調 Ψ： (E F Μ ) 1 1 I 擊 20 — 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（) 。茌下文中，EPM锔碼已經用作例子，但是本發明並不限 制此揮编碼。在E F Μ編碼的情況中，在數位資訊信號中資 訊罝元之時間的長度是一固定基本時間的整數乘積，此乘 積介於3和1 1之間。具有基本時間週期之資訊信號的一部 分稱為一位元罝元。此基本時間可Κ經由在整個光阻劑層 上之輻射光點的移動速度而轉換成一基本長度。此資訊單 元和組合的資訊區域因此指定為I 3和Π 1而與其長度有關 。儲存於所謂光碟上的資訊是E F Μ編碼的。 圖5表示具有一基本長度208 m之EF Μ區域13至IU的 顧影剖面，一具有一X里強度剖面的脈衝輻射光點和在此 脈衡期間一常數的功率，與記錄區域的長度無關；Μ及使 用一高對比光阻劑。此剖面在記錄在母片上的期間，藉由 一波長為4 5 8 n m时輻射光束和一數值孔徑為0 . 4 5的物鏡 1 8已經獲得一高資訊密度。此剖面顯示應用於用輻射光點 寫入一軌道的釉* X是沿此軸的距離。此圖表示短區域 I 3 , I 4和I 5在中心，亦即對於X = 0 *具有與較長區域相較 之一相當低的顯影速垄。此由於短區域接收比16和長區域 低的最大曝光最之事實所造成。其中在圖3中由曲媒32所 表示之最大曝光最被達成。由於捲積效懕的结果（參考上 文圖3的解釋），對於短區域的顯影速度實際上比長區域 為低。如果顯影直線位於表示於圖5中的位階，由I 3、 ί 4和I 5區域所形成的坑洞簧際上比組合資訊罝元的長度短 ，亦即3. 4和5倍EFM锔碼的基本長度，然而較長坑洞的 長度稍微大短了點。短坑洞之長度和長坑洞長度之偏差之 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） >---'-------裝------訂------^ ^ - - f - . (請先閱讀t面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 間的寿異造成由！I些坑洞產生之讀取信號非常的不可靠。 該美國專利號碼5，040 , 1 65提出一種方法，其改進短坑洞 的長度係使輻射光束的功率在記錄此短區域的期間比長區 域的記錄期間高。此造成對於短區域有一最大的暘光最和 一最大的顯影速率。雖然此已知方法產生一坑洞長度的改 善，但仍存在如前面章節中描述之與坑洞的形狀在精確的 曝光最和在顯影程序之參數值非常有關的問題。 根搏本發明，想要的坑洞長度和寬度或資訊區域的煽差 1，藉由指定所有區域，短區域JD長區域二者之暍光最剖 面（篱際上相同的最大_光最）而顯著的降低。由於此结果 ，所有顙影剖面的最大顯影速垄變成相同，因此沒有任何 與顯影過程有關之坑洞長度和寬度之不想要的變化發生。 實際上相同的装置同樣在3個百分點。對於所有區域修正 ，一 Si光最蒡得太高或太低是可能的，如果曝光最高於臨 界值*由稍微降低或堉加顯影時間，使獲得想要的坑洞形 状。根掉本發明的曝光方法也降低在顯影過程參數上坑洞 形狀的相關性。此暍光方法確保所有顯影剖面37和38在與 暍光最直線44交叉點的位置上具有相同的斜率。如果所有 顯影剖面變的較低，由於對此曲線改華的结果，對於相同 的區域坑洞變得較窄且較短，當顯影條件維持不變時。顯 影過稃期間，每一坑洞的長度實際上增加相同的量，使由 於相對於it常鼦影時間稍徹增加顯影時間而獲得想要的長 度0 β表示對於F, F Μ锔磘信號13罕m ，顯影剖面囱使罔 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^---Γ-----"Ί裝------訂丨—；---f 冰 (請t閏讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 根楝本發明之第一寫入策珞所獲得，對於此在曝光區域中 最大暘光最已經被等化。在輻射光束中之功率與在圖7中 之方法中資訊罝元的長度有關；其中，資訊罝元之基本長 度的數目已沿水平軸晝出，而輻射光束之歸一化的功率沿 垂直方向書出。當此區域的長度減小時，比短之區域的 功垄堉加。此減少可K由一對數函數作數學上地近似。在 圖中，I 3的功垄比I 1 ]高1 5 Ϊ；。對於相同曝光貴之功率的 大小可由輻射光點之強度剖面和其位移的捲積計算而得。 存圖7中顯示的例子，在雷射兔東中的功m由改殍霄射光 束中調蒡器1 4的傳送而被調變。其也可能藉由改要雷射輻 射光之短脈衝的複寫頻垄來改變筲射光束的功率。扰複寫 網莖很高使得一列此短脈衝簧際上在一母片上造成像一單 一長脈靳的相同照射花樣。一短資訊罝元像I 3用一較高複 寫頻率之短哌衝取代像π]之長資訊罝元來記錄。此較高 之複寫頦率堉加輜射光束的平均功率，其被要求用來記錄 短資訊罝元= 此第一策珞的更大的優，除了在顯影過程參數中要化 的不敏感度之外，坑洞的寬度和坑洞的長度無關，與該美 國專利號5 , 0 4 0 , 1 6 5相比。如果短坑洞比長坑洞窄，像沒 有仔何寫入策铭之記錄的情況，由短坑洞產生之謓取信號 _#相常小。如旲短坑洞比長坑洞寛，如已知之該美國專利 之裒入策硌造成由短坑洞產生之諫取信號的振蝠會較大， 但讓取佶號的抖動也相當高。此外，由於寬度較大，此資 訊_賴的軌道不能彼此放置靠得很近，其限制資訊密度的 -2 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） ； !"裝 訂1^ f 冰 ' ί (請t閲讀f面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（） 堉加。其顯示讀取信號的抖動在短坑洞和長坑洞寬度相等 的情況下最小，其為當使用本發明之第一寫入策珞時的情 況。 在特定環境下可能發生（與資訊區域的基本長度、光學 糸統的數值孔徑和輻射光束的波長有關）在第一寫入策硌 的情況中*產生之短坑洞的長度太大或此短洞的長度太小 。為解決此問題，本發明提供一第二寫入策略。根搾此策 路，長區域的_光時間首先稍微增加。其次為了維持此資 訊區域的正常位置，在每一長資_Jl S元的頭和尾端都對稱 地向外延伸。第三，如果需要，顯影時間可增加或潢少至 此最短的資訊區域具有想要的資訊單元的長度的區域。此 一顯影時間的降低或堉加相對地相當於在圖β中顯影直線 49向上或向下的俱移。此造成所有資訊區域變短或延長。 圖δ表示由第二寫入策珞獲得之區域I 3至U 1的顯影剖面 。圖9表示蝠射光束相當的功率是一資訊罝元長度的函數 。與圖7相較（第二寫入策路未使用）可明顯地看出，用第 二寫入策略，對於區域I 4和較長區域的實際曝光在資訊單 元開始之前開始，亦即在圖中之水平軸上的長度零之前。 當輻射功加由一短脈衡之光束傳送時，平均功率可Κ用改 變此脈衝之複寫賴垄來調整。長資訊罝元的暘光量增加· 可由改變短哌断之相位來完成。 到目前為止，R有考琪當絕緣區域被_光發生時的影響 。如果資料密度增加會產生問題，因為不僅此區域本身， 連此區域之間的距離也會契小。鄰近區域之曝光最剖面此 -24- 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS > Α4規格（210 Χ297公釐〉 I .~裝 訂^ , f (請^閱讀^面之注意事項再填寫本頁) 308686 A7 B7 五、發明説明（） 蒔# S褥旦產生之資料區域的形狀會變成與相鄰區域之間 的距離有闞。圖1 0說明對於一列鄰近I 3曝光量剖面對的影 響。如果資料密度增加會產生問題，因為不僅此區域本身 ，連此區域之間的距離也會變小。鄰近區域之曝光最剖面 此時會重叠且產生之資料區域的形狀會變成與相郯區域之 間的距雜有闞。圖1 0說明對於一列鄰近I 3曝光最剖面對的 影響，一中間區域位於每一對之二剖面之間，其中間區域 具有一基太長度倍數的長度，如圖中所示。相關於一 0.45的N A和一458 nm的λ的剖面」像對於上述的母片記錄 器，和此資訊罝元之1 6 2 η πι的一基本長度。最明顯的影響 是茌此中間區域有相當高的曝光量。此外，當區域之間的 距雜減小時，在曝光區域本身中最大曝光最有一微小的增 畺。圖Η表示對於一高對比光阻劑與圖1 〇的暍光量剖面相 结合的顯影剖面。由於對比曲線之臨界值的结果，中間區 域相當高的_光最不會使顯影速率增加。相反地，彼此之 間最接近區域的稍高最大曝光量，由於對比曲線的斜率， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 1 據的得間暍區 另 根入獲中央光 近 ，寫最二中曝 接 決前光和入許 於 解先曝區寫允 位 來於數光於外 , 輅合常曝對以 果 策適望的算度 结 入垄希鱭計長 。 寫功一 連要的 加 三的此個需域 增 第中在三此區 的 種束，於因間 義一 光離對，中 意 的射距。合 了 有明|§的度組除 的。發，之域長棟。 率大本域區的 一 垄 速太揀區人域每功 影得根 一寫區的之 顯寒；用錄後個度需 大洞題記其锫長所 最坑問來和過之域 成的此用域超域區 造個 此區自區光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 A7 B7 五、發明説明（） 域本身的長度，因為輻射光束的功率，和重叠的影響，根 擠與在此區域的長度有關的第一寫入策珞。圖1 2圖示根撺 第三寫入策路，用K記錄一列區域之輻射光束的功垄P ， 為了明瞭此額定的功率在一脈衝中假設與比脈衝的長度無 關。脈衝5 4具有額.定的功垄*因為其與鄰近脈衝距離很遠 ，因此_光鼉剖面不會重疊。脈衝5 5在其左側具有額定功 垄，因為距脈衝5 5的最大距離。在右手邊因為與下一脈衝 5 6结合之暍光最剖而的重裼，此功垄應該稍徵降低。同樣 的，在脈衝5 6左手邊的功率必須揭低。此功率降低的大小 可K由輻射光點之強度剖面的形狀和脈衝之間的距離來決 定。由於脈衡5 6和下一哌衝5 7之間相當短的距離，二脈衝 應該表示超過一較大距離的相當大的功率降低，如圖所示 。脈衝57的最大功率不會達到額定值，因為此脈銜相當短 ft在郸近脈衝的兩遴都位於一短距離。如圖中所示不需逐 步的胳低脈衝的功率。根撺，例如，一直線或一平滑曲線 ，降低也是可能的。為了簡化第三寫入策硌的完成，功垄 晓低僅能用於具有最短空間之脈衝對，對於這些脈衝，_ 楊效醪最強。 一第四策略提供另一解決太大資訊區域的效應，由於期 間的一短距雜。在此策硌中，中間區域是有計鴦地照射。 磨用於寫入區域之間曝光最的大小隨這呰區域之間的距離 而增加，而仍然低於對比曲線的臨界值。中間區域的曝光 造成在郯近區域的位置上具有邊緣突出部的一暘光夤剖面 。琨存由一居先區域之曝光最剖面的邊緣突出部和中間區 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ; 「裝 訂^ (請先閱讀t面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 域之暍光最剖面的邊緣突出部二者提供一鄰近區域的額夕卜 皞光。當此二區域之間的距離時，給額外曝光的第一貢獻 濟少，但是根摊本發明，第二貢獻增加，使記錄區域的額 外暘光與區域之間的距離無關。在中間區域的曝光期間， 蝠射光束的功垄可K由輻射光點的度剖面來決定。每一記 鏵區域因此#開始和结束乾接收一額外的曝光最。此額外 的曝光β應該比此曝光夤的常數預定值大小於百分之三。 因此每一個產生的資訊區域在開始和结束處是稍徽加寬。 因為此加寬對於所有的資訊區域-都相同，（長或短的二者 )此不會造成抖動的惡化。第四寫入策路和第三策硌相較 的一個優黑|；是供應给中間區域的功率只和曝光區域之間的 距離有II，而與寫入區域的長度無闢，如在第三策略中的 。此簡化了在母Η記錄器中的功垄控制。 圖]3 Κ阃形表示根捸第四策珞記錄一列區域期間，輻射 光束中的功率。所有的脈衝具有額定功率*為了明瞭此圖 例，假設與脈衡的長度Μ關。在哌衝5 9和6 0之間的中間區 域，功率維持存一相當低的值β 1 ·為了在脈衝5 9的末端和 哌衝6 0的開顗所需要的額外曝光。脈衝β 0和下一脈衝6 2之 間的距難比脈衝5 9.和β 0之間的距凝短，因此脈衝6 0和6 2之 間的功垄β 3比功率β 1為低。脈断6 2和6 4之間Κ及6 4和6 5之 間的距雜很小因此不筲要額外的曝光。圖1 4表示一列成對 的》近I 3曝光最剖面，每一對都具有由於使用第四策珞所 獲得的如圖所示之長度的中間區域。在每一記錄區域中的 傷大&f光蚤相等，目與二記錄區域之間的距雞無關。另一 -27 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） I ^ 訂一Γ ^-^ (請先閱請背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 方面，在中央區域的曝光量（亦即x = 0周圍）和圖10中沒有 此策略的情況相比已锊增加。在中間區域的暘光最表示於 圖]5中*沿垂直紬所畫的值·表示像在圖〗4中相同的單位 。對於最短的中間區域，亦即I 3的曝光量為0 。圖1 β表示 對於具有陡的對比曲線之光砠劑，相對於圖〗4中之曝光量 的顯影剖面。現在所示的所有顯影剖面具有相同的彤狀， 與剖面之間的距離無關。顯影產生之資訊區域因此具有相 同的尺寸。剖面之間的顯影速率不管在瑄些位置上相當高 的朗fi最，實際上是S，如圖14冲所示。瑄些慢點是由於 一高對比光砠劑之相當高的臨界值所得的。 · 第三和第四策鉻可Κ有利地结合而形成一第五策珞。此 策路首先具有在中間區域中輻射光束的功率具有一相當低 的值的特徽，當此中間區域的長度增加時會增加；其次， 宑一寫入區域的開頭和末端處的功率具有一稍低於額定值 的固定值。此中間區域的曝光造成在此區域之開頭和末端 有一固定的額外曝光，如第四策路所解釋的。在開頭和末 端功率的降低，由於額外曝光之固定最的補償，並確保在 每一區域的長度中曝光最是常數而與此區域之間的距離無 關。牵生之簧訊區.域因此具有等寬度，而與鄰近區域之間 的距雜無關。在荦五策略中功垄的控制就像在第四策路中 一樣的簡罝，因為在中間區域的功垄只和中間區域的長度 有間；g.因為對於所有記錄區域的功率Μ —類似的方式修 ，與此區域的長度和SB近區域之間的距韜無關。 ® β和8表示根搪第一和第二琦鉻，對於記錄區域之顯 _-28-_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2丨0X297公釐） τ γ I^衣 訂—； . ^-^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 嶔剖而並沒有一平的最大值，但顯示稍微的偏最，其與此 區域的長度有關。此偏量主要影W產生之資訊區域的寬度 。例如，在此顯影剖面的情況中，在圖8中的資訊區域 ί 1 1對於X = 0 ，顯影速率稍高於X = 0 · 6 w m。在垂直於X方
向或寫入方向*亦即垂直於繪圖平面之方向中*此顯影剖 面決定資訊區域的寬度。對於X = 0 ，因此此剖面比X = 〇 . R "m的買。因此，產牛之資訊區域，對於X = 〇比X = 〇 . β " m 為寬。此資訊區域的非常數寬度造成讀取信號的抖動增加 。此原因發現係由於此強度剖面·朝遴緣突出部具有此強度 剖面ft]其位移之捲積的影響，並在高度非線性的對比曲線 中。此將參考圖1 7來解锷。此圖的上半表示在光姐劑層上 於一區域的記錄期間，輻射光點的強度剖面，此剖面移動 超過從遽值67的起始位置至蛏值δ9所表示之末端位置的距 雜Μ箭號68表示。此剖面的底具有二邊緣突出部70，7 1 * 其為艾里剖面之第一亮環的特徵。左手邊緣突出部7 0在記 钱期間的位移Κ箭號7 2表示，右手遏緣突出部的Μ箭號 7 3表示。此圖的下半部表示在光眼劑上相懕之_光最的暘 光悬剖面。此暍光晕剖而由於強度剖面之邊緣突出部7 0和 7 1的ί«光而有遏饯.突出部7 4 * 7 5。此嗶光最剖面的部分 7 (5由邊緣突出部7 0和強度剖面之蜷6 7的暍光所造成，很明 顯由箭號68和72的重疊看出。曝光最剖面的部分77為一峰 β 7和墁綠突出部7 1之暘光的和。此曝光最剖面之中央突起 的部分7 8由強度剖面之邊緣突出部7 0、邊緣突出部7 1和峰 6 7的Bf光所楦成，很明韜可由箭號β 8、7 2和7 3的寅#看出 _-29-_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） _,, ^裝 訂一J ^ i (請Λ·閔讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 308686 五、發明説明（） 。因為強度剖面實際上是旋轉對稱的，很明顯地在中央部 分的暘光最，其啬稍高於郯近部分76和77，在中央部分的 位置上牽生一垂直於_圖平面之方向的稍寬的暘光量剖面 。此曝光最剖面之相當小的契寬（其由強度剖面之邊緣突 出部7 0、7 1曝光的重#所造成）由於對比曲線之陡的斜率 ，造成顙影剖面的實質上的加寬。此外，產生之資訊區域 ，其長度在中間比在端點寬。在辐射光點的位移比圖1 7中 表示的小的情況中，曝光最剖面會上升使成一中央凹下， 其表示此資訊區域的局部壓締。…此寬度變化造成抖動增加
C 上面寬度變化的問題逐漸發生在具有一過滹的物鏡的母 片記錄器中。過淹的目的在於改變從物鏡射出之輻射光的 振蝠或相位，在此一方法中存最大強度之一半位階之辐射 光點的權斷面很％•，其使能夠具有一高密度的記錄：然而 過鴻造成此輻射光點之強度剖面的邊緣突出部中功垄的增 加。此造成暍光量之蒡化最的增加，和資訊區域之寬度的 萝化S堉加。圖1 8表示在一具有陡的對比曲線之光砠劑中 根捭第二策略記錄在具有162 ntn之基本長度的EFM資訊罝 元，在顆影剖面中華最的例子，具有0 = 458 ^，一 N A = 0 . 4 5的物鏡和一包含圆形1 8 0 °相位平板的逋波器放 置在物鏡之光瞋的中央*且其半徑等於光腌半徑的0 . 3倍 。很明顧的，在此情況中，邊緣突出部會影響產生之資訊 區域的寬度和長度二者。 在資訊區域上遇緣突出部的反效應，如果用根搏太發明 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） J 訂 J 上·^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 的第六策硌可K補償。第六策路對於由強度剖面之邊緣突 出部所造成之此區域中央之額外曝光量做補償。邊緣突出 部的高度和強度剖面之從邊緣突出部至峰的距離可κ由波 長、物_的數值孔徑，整個物鏡之光瞳的強度分布，和如 果有的話，相位板的形吠來十分精確地計算。由強度剖面 和此剖面之位移的捲積，可Μ計萆出為了在蹩個區域的長 度獲得一常歟的曝光最，在位移期間任何時刻所箱要之輻 射光束中之功垄。像例如圖1 7中之邊緣突出部7 4和7 5之曝 光暑剖面的邊緣突出部之修正並-不霖要，因為這些比對比 曲線的臨界堉小，巨會造成一可忽略的顯影速銮。圖1 9表 示二第六策略之效應的例子。此圖的上半部表示用以記錄 對應之相當短和相當長區域的二強度剖面8 0、8 1的起始位 置。箭號8 2、8 3表示在記錄期間強度剖面之蜂的相對位移 。箭號84、85和S6, 87表示此強度剖面之左手和右手邊緣 突出部的位移。此圖的下半部表示輻射光束功率P的組合 笋量是罔以在整個光明劑上記鏵短區域和長區域之輻射光 點的位移的函數。在功率分布剖面8 S和8 9中的虛線表示在 沒有使用仟何寫入策略的情況中的功率。對於短區域，此 功率分布剖面表示在此剖面之開頭和末端的功率比沒有寫 入策路之剖面的情況中為低，用虛線表示。具有降低之功 率之二區域的長度相當於對應之箭號82、S4和82、86重醬 的長度。常記錄長區域時，在整個長度上功寒分布剖面 8 9降低。在剖商中央的一額外凹處9 0，補償箭號8 3，8 5和 片7的三壻S #。此三揹電裼相宵於_ 1 7中暘光S剖面的上 -31 - 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） Γ ΙΊ,批衣 訂 ~„ «. ^-^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7五、發明説明（) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 孙部分78。 上面描述之第六策硌補償此輻射光點之強度剖面的邊緣 突出部的效應。然而，當邊緣突出部較明顯時，此補償寒 得較無效。為此允許物鏡上滹波器的設計。因此，相位平 板最好不是圓形而是橢阆形。圖20表示此物鏡的光瞳92, 其中放置一180°相位板93，其相位板包含二半圓形零件 94，i〕5 *每一個都具有一半徑r和一具有長度丨的矩形零 件9 6。由於此形狀，在邊緣突出部中一部分的功率從圖 i 〇中的水平方向傳輸至垂直方向一，或關於寫入過程，從寫 入方向至一與其垂直的方向。在最後提及之方向，在顯影 過程中邊緣突出部影響很小，因為在此方向總的瞜光量仍 然低於對比曲媒的臨界值。塒间相位板的另一個谩點是由 其造成之強度流失比阆形相位板所造成的小，對於一類似 窄的中央突出部。根撺本發明，此相位板的參數r和1是 光蹿半徑的一部分，在0<r<0.4和0<1<0.5的區域内，且最 奸約為r = 0 . 1 8和1 =0 · 3 。在最後提及的例子中水平或寫入 方向之邊緣突出部的最大強度只近似於在垂直方向（亦即 垂直於寫入方向的方向）中邊緣突出部之最大強度的40¾ Ο 此橢丨83相位板K —類似於阆彤相位板的方法，使強度剖 而的中央突出部變窄，因此短的記錄區域甚至可Μ變得更 锊。然而，當長區域被瞜光時*非常強的邊緣突出部與中 央突出部畢疊；因此，一暘光區域延長了。此延長可Κ有 利地使罔來代替或加上獲得自第二策珞的延長，其也可使 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） A7 B7五、發明説明（） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 長區域延長。闔21表示在相當長之19資訊蜇元的顯影剖商 上声位板的影W。一貢線9 8表示未使用相位板所獲得之顯 影剖而，一《線9 9表示用阓形相位板所獲得的剖面，K及 點線1 00表示用椭圓形相位板所獲得的剖面，這些情況中 都未使用根揀太發明的策硌。此圃濟楚地表示由圓形相位 板所造成之剖面的延長。由於在寫入方向中邊緣突出部較 小，槠阆相位板所造成延長稍微小一點。在顯影剖面之峰 倩的陷洱，對於圓形相位板是1 7 Ϊ：，對於櫚圓相位板只有 8%。此外*由第六策硌對於剖面00補償比對剖面99容易 。一虡一點直線1 0】表示用圓形相位板所獲得之補償的剖 面。當非常長的结構，像例如，軌道溝槽被記錄時，最好 在此平板的平而中旋轉塯圓相位板90° 1使相位板的主軸 在寫入方向延伸，K獲得較窄的溝槽。 根撺太發明的各種寫人策路，每一個都可以個別使用， 或二個W上之策硌的胡合。藉由寫人策硌，可K獲得長度 為λ /(2 N A)數最级的資訊區域。由此策路的使用產生之資 訊載實際上所有資訊區域具有和組合之資訊罝元的長度 之偏差最小於50 n in的長度。當使用根撺本發明之第二策 硌時，長度的搮维.偏差最小於14 n m ;而當使用第二策略 和一個K上的其他策硌结合時，偏差最小於〗0 n m c中間 區域的長度與想要的長度有類似的偏差最。在資訊載餺上 資訊區域和中間區域之長度的偏差最可藉由時間區間分析 儀最得。藉由此一測最，其也可推導資訊單元的長度，因 此該侷寿晕也可以被決定，對於一夫指定之資料區域長度 _-33-_ 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） ；'— 訂 J Γ ^^ (請先閔讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 的資訊載餺。此資訊區域寛度的撺展小於3 0 n m ，亦即在 一資訊載賴上，最寬和最窄的資訊區域之間的差值小於 30 nm ，而不管一些不正確形成的資訊區域。擴展的低限 1 ηιη，可Μ經由從在文件中表示完全相等寬度之資訊區域 的圖的界定來取得。然而，此圖未表示真實的情況，旦該 文猷也尚未承認目前發明所提供之解答的問題。根撺本發 明所獲得之資訊區域之長度和寛度的小侷差量，造成當謓 取此資訊載體時產生之調取信號中，有一可接受之低的抖 動。 -- 根撺太發明完成此寫入策路，表示於阃2中的母Η記錄 器2應該適合一特別的方法。抟制装置1 〇應該將表示資訊 被記錄之輸入信號9轉換成輸出信號1 1 *在此方法中由此 装置控制之調笋器1 4產牛.此一輻射光束1 5的功率調荽，在 0S光區域的ϋ個長度中，曝光最是常數。阖2 2表示一控制 奘置1 0的例子，其根捭第二寫入策略搾制_光量。一分析 儀霄路1 03由資訊罝元所導得，在輸入信號9中，一罈發 信號10 4 ，其表示在該時刻，資訊罝元開始，和一長度信 號1 0 5 ，其表示此資訊罝元的長度。一哌衝整形器電路 106簧際上產生一脈衝信號1 〇7 ，用觸發和長度信號的幫 肋。在信號1 0 7中每一個脈衝的開始，相對於由資訊蜇元 之長度所決定之時間區間的觸發信號前進。前面已經討論 過的圖9给予一個對栌E F Μ编碼資訊罝元輸出脈衡之與長 度有關之增進的例子。輸出脈衝的長度已經延伸與資訊罝 元的長度有闞，圖9也有一個例子。一振蝠電路1 0 8 ，將 -3 4 - 本紙張尺度逋用中國國家橾隼（〔阳）人4规格（210乂297公釐> .. 裝 訂 J j.1.沐 (請先Κ讀背面之注意事項再填寫本頁) 308686 A7 B7五、發明説明（） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 長度信號105轉換成振蝠倌號1 09 ，使用如圖9中所示之 控制輻射光束之功垄。最後，一振韫調變器1 1 0產生脈衝 輸出信號1 ]，其哌衝開始時該和長度與信號1 0 7有關，且 其振幅與振幅信號1 〇 9有關。對於E F Μ编碼資訊罝元*這 些脈衝可W具有如圖9中所示的形狀。輸出信號1 ]挖制調 變器]4，Μ控制在輻射光束中的功率。 圖2 3表示抟制装置]0的第二埔具餺装置，其控制根據第 二，第五和第六寫入策硌的曝光最。一分析儀信號η 2甶 輸入信號9推導得，一第一長度一信號1〗3 ，其表示在輸入 佴號9中一資訊Μ元的長度和起始時刻；和一第二長度信 虢1 1 4 ，表示居先的目前的資訊罝元之間的額定距韃。第 —長度信號1 ] 3用於一記憶電路1 1 5的_入，其中儲存了 不同長度和振蝠的哌衝波形。一陬衝波形的選擇與長度信 號的侑有關，旦當一輸出脈衡的_出一信號1 1 6 =翰出脈 衝的開顗已經相對於此資訊罝元起始有偏差，而輸出脈衝 的長度相對於此蜇元已锷增加，所有二者都由第二策珞所 指示。此輸出脈衝的振韫由第五和第六策硌所指示的方法 中》取衝的長度可要。第二長度信號1 1 4由一振娼霄路11 7 提供，其根撺第五策鉻將長度轉換成信號1〗S ，其振tg與 荦二長度信號的堉有關，目其表示此記錄區域之間輻射光 束之功垄。一加法霄路11 ς>將信號U β和11 8相加K形成_ 出信號11 c 圖2 4表示控制装置1 0 ”的第三稗具賴装置，其具有寫入 策輅的一相常撓件考廣的配合。此外，其具有記錄的資料 -35- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） A7 B7五、發明説明（） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 罝元可W高樓即時的處理的優點，因為在處理的一些吠態 下，資料以平行代替串列瞜理。此輸入信號9的資訊罝元 _入存一移位暫存器1 2 0中。移位暫存器的尺寸是1 2格， 適合處理E F Μ锔碼的信號。然而，此暫存器可K具有對於 一特定的碼所需的任何尺寸。此資訊罝元Μ —時序信號的 每時陬一泣元柊子的速銮通過暫存器移位。在每一個時脈 ，暫存器之格子的内容可闬於暫存器的輸出0 1至Q 1 2 。此 輸岀Q 1至Q 1 2連接到一编碼霄路1 2 1 。此编碼電路產一_ 出信號1 2 2 *每一次_出011的·厲和輸β ] 2的值不同。在 那時刻，编碼電路決定連续之二進位值”丨”或” 〇 ”的數目， 在_出信號中直到εη】。如果，例如信號Q8至ο 12具有值 0 11 1 0 ，刖缤碼電路脅偵測到一I 3資訊罝元來記錄。此锔 磘霉路指定唯一的碼給由在鋦碼電路中结合之第一搜尋表 之_入信號的姐合。此査詢表對於每一列” 1”和每一列 ” 0 ”部有一輞入□，其可能發生在輸入信號9中。 此碼镄耥一平行輸出信號1 2 2至一荦二查詢表1 2 3 。甭 詢表1 2 3對於每一個碼指定一振蝠值的序列當作輸出信號 11傳給調變器〗4。為了在_出信號1 1中提供足夠的時間分 析，輸入信號9的每一位元格子分成3 2個連缲的小格。因 此，弯詢表1 2 3在其輸入對於每一碼給予許多振幅憤，在 一蜗入丨24等於32倍屬於此碼之位元格子的數目。《詢表 1 2 3的Ιί)出用一時序信號C 1 2來計時，其與計時信號C 1 1 同時。_入杳詢表1 2 3的碼#好包含一位址和一長度值。 丨rh位址挎向第一振幅倌的位值，在覇於此暍的杳詢表中， -36- ^ I — 訂 J ； ^ ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 308686 at B7 五、發明説明（） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 然而長度表示驅於此碼之振幅值的數目。一旦一新的碼傳 至査詢表1 2 3 ，在此傳輸的位址上謓取開始及許多時序周 期後结束，如傳_長度所表示的。在覇於此碼之振椹值的 讀取完成時，在查詢表123的輸入處，下一碼可K使用， 且下一個颉取周期開始。振幅的值是象徵的值，表示一位 階，例如高、中或低，對於一之階的振幅控制。此控制最 奸使用256陛，每一编碼為8位元。此振幅當作一 32位元 平行輸出信號1 2 4來傳_，亦即平行傳送四個振蝠值。時 序信號C 1 2因此執行此時序信號1 1快3 2 / 4 = 8倍。 耥出信號〗24在倍減器125中由32位元倍減至S位元寛 的信號，其在一時序信號C〗3上執行，再此與時序信號 Cl 1面時目紈行此C 11快32倍。此倍減器的8位元平行輸 出信號1 2 ft是在一相當小且快的查詢表1 2 7中的輸入，翻 譯在其輸入處之象徵性的振椹值成為真實振幅值在其輸出 。此查詢表1 27之輸出信號]28連接至一快速數位類比轉 換器〗2 9 K轉數位輸入值成為類比輸出值。此轉換茧等於 3'2倍時序信號Cl 1的頻率。用輸出信號1丨組成之類比輸出 價用K控制調變器1 4和輻射光束的功率。倍減器1 2 5 、査 詢表1 2 7和轉換器1 2 9是商業上的可用於一所謌的快速影 像RAM-DAC之形式中的罝一罝元。 存弯詢表1 2 3中象徵性值的使用，具有在_人倌號中對 於所有資訊罝元，一寫入策硌不褥考葙振辐的正確值而可 完成。此振蝠的值儲存於杳詢表1 2 7中，容易適用於特別 的記錄和顗影條伴，不雷要修王相當大區域的查詢表1 2 3 -37- (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) A- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） A7 B7五、發明説明（） 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 。在此情況中撓性是不需的，真實的振幅可以儲存在查詢 表1 2 3中，而查詢表1 2 7可Μ被執行。雖然控制裝置1 0 ” 的功能已在第一策路的完成中描述*僅修正輻射光束的功 率，根搏太發明的其他策珞也可以在此控制装置中完成。 第二寫入策輅可用在查詢表1 2 3中饜於一碼的振蝠值的數 目增加來完成，因此提供此策路所需的頭尾值。在查詢表 1 23中振蝠價的數目對於中間區域必須減少。在第三策硌 中，振蝠與記錄之區域的長度有關，也與中間區域之先前 和其後的長度有關。因此一完麻泡含一長度等於最長的記 錄區域的長度加上最長中間區域的長度的二倍的移位暫存 器，亦即對於一E F Μ輸入信號為3 3格。锔碼信號必須給每 一個記錄區域和二鄰近的中間區域的組合一個唯一的碼。 圖25表示此控制裝置1 〇 ”的第四禰具髑装置，其中第三 種具髒装置的移位暫存器12 3由一計數器130所取代。此 計數器計算在_入信號9中瑰續的二進位值0和1的數目 。在輸入信號中從〇到1的轉變時計數開始。到下一個1 至0的轉蒡時計數停止，一第一暫存器1 的内容傳輸至 -第二暫存器1 32 ，下一計數表示從計數器1 30至第一暫 存器1 31傳_之資訊罝元的長度，而計數器設定為〇 。在 輸入信號中該1至0的轉變，計數器U0開始計算輸入信 號中連績0的數目。下一0至1的轉變，〇的數目被傳送 至暫存器131 *當此暫存器的内容已經傳送至暫存器132 Κ後。因此，暫存器1 3 1 ，暫存器1 3 2和計數器1 3 0的_ 出，表7Κ —被記錄的資訊區域和先前及其後中間區域的長 _____- 3 8 -_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ---Μ------------訂 J-------1 ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7五、發明説明（） 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 度，或中間區域的長度或先前和其後資訊區域的長度。當 抟制装置適用於第一寫入策路時亦即用以寫入一資料區域 的輻射光束的功率修E後與相鄰中間區域的長度無II，只 需要計數器的輸出戎暫存器之一的輸出。當控制装置適用 於第三揮策硌時，其中功萊與鄰近的中間區域的長度有關 ，此計數器1 3 0的輸出*和暫存器]3 1和暫存器1 3 2的輸 出部锊要。 計數器1 3 1 、暫存器1 3 1和暫存器1 3 2的輸出連接至一 第一查詢表U 3 ，在該處其形成_—位址。此查詢表的入口 屬於包含一位址和一長度值的位址，比得上锔碼装置之第 三稀具體装置的編碼電路1 21中《查詢表的輸入。此位址 和長度值傳輸至一第二奇詢表1 3 5 ，經由一先人先出 (F I F I'〕衝器1 3 4 。每一位址的信指向在第二査詢表中的 特定泣置。在每一位置，亦卽對於每一資訊區域或中間區 域，一列相當於輻射光束功垄的振幅值被儲存。此序列的 長度等於由第一奇詢表所給的長度值。此振幅值為象激性 的倌，因為存256階中煽δ馬，像在第三種具聘装置的鸯詢 表丨2 3 °此控制装置的時間析度由提供一柴振ΐ|值，例如 3 2來堉加，對於每一輸人信號9的位元格子。例如當一位 元柊子的周期是250 ns，第二杳詢表在此2 50 ns内提供 3 2個8位元的值耥出。此第二查詢表的時序頻垄被平行地 _出3 2個位元之振蝠值所降低。 第二査詢表的振蝠值輸入一倍減器，第三査詢表和數位 至類比轉換器的組合 > 其可K是一所謂的影像R A Μ - D A C -39- ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） Γ I— ~ n n m *1T—Ί n Γ n,1知 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7五、發明説明（） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 136 。此倍埤器改變32位元寬的輸入信號成為4串8位元 W的信號，因此增加4倍之時序頻率。此由8位元寬信號 表示之象徵性振蝠值由第三查詢表鞞換成真實的振韫值。 此快速數位至類比轉換器在輸入信號9中Μ 3 2倍於位元格 子之速垄的速率改變數位的真實振幅值至類比振幅值。此 類此振惕值構成用來控制調雯器]4和輻射光束功率的輸出 信號11。 —銷相塯路霄路1 3 7表生一具有3 2倍於輸入信號9之位 元柊子镅率之頻麥的時序信號1 3名。時序信號用作R A Μ -DAC 13β的耥人。FIFO鑀衝器134在第一査詢表133之輸 岀上暫存來自於表V33的位址和長度堉，在其輸人查詢表 1 3 5之前。此缓衝器辣償由電路1 3 7所引入之時序信號 1 3 8中之時間蒡最。緩衝器1 3 4也補償由第一查詢表1 3 3 所產牛之長度和位址的值的速率和第二查詢表1 3 5之镝入 所要的值的速茧之間的差異。例如，在輸入信號9中當跟 隨U中間區域而來的Π 1資訊罝元出現時，對於m區域 的位址和長度值立刻在I ] 1结束之後產生，且產生對於 13中間區域之三個位元格子時間在其後之位址和長度值。 當11 1位址和長度.值輸人第二查詢表1 3 5時*其花費1 1位 元柊子時間Μ _出所有振幅值。只有在所有振幅值已經輪 出後，ί 3位址和長度值可以輸入第二杳詢表中。因此， ί 3位址和長度價必須存猙衝器1 3 4中等待约S個位元格子 的時間。 呔挖制装置的第四種具顙装置對於寫入策路和編砗的適 -4 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐〉 ---,—----^裝------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（） 懸性和第三榷具賴装置具有相同的換性。 從上面的描述中很明顯地看出，根據本發明之策珞可Η 使用在任何想要的組合，並完成於母Μ記錄器2的控制装 置1 0中。通常，當記錄之資訊的密度增加時，必須使用更 多的策硌。已羥發現瑄些策硌的使用能使母片具有此由設 計用來記錄瑄些傳統緊緻碟Η之母片的母Η記錄器所記錄 的傳統緊緻碟片高4倍的資訊密度。 雖然根撺本發明的策路當使用高對比光1¾劑時提供實質 上的優黏，當使用低對比光砠劑-時也產生優點》gp使較低 。存一母片上記錄資訊本來是一特別形式的寫入花紋，在 —S板上光阳劑層中用一輻射光束寫入帶有緊密细節的花 纹，其也可用來製造，例如缲射光柵。因此，上面描述之 方法和資訊載轉也懕瞭解包含此方法和基板。 flu nn ^J««J ϋ^— —^in flflu 綱 1 ^^§iw i > (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -41- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）