TW439093B - Holding device - Google Patents

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439093: kl B7 部十卑而只-τ消抡合H7'·印$ 五、發明説明 ( f ) Γ 本 發 明 偽 關 於 一 種 止 動 裝 置 例 如 * 在 真 空 設 備 中 所 ί | 使 用 之 止 動 裝 置 (S t 0 P d e v i ce)或固定裝置（ HO 1 d i η g 1 1 d e V i c e )均是， 此外， 該止動裝置之作用， 例如， 可在一 請 t 先 1 中 間 室 内 從 一 蓮 輸 機 構 上 接 受 一 圓 盤 形 的 工 作 之 後 而 移 閱 讀 i 1 動 至 一 轉 運 位 置 内 在 該 位 置 内 則 在 一 下 端 位 置 内 設 一 面 I 之 \ 升 降 台 並 將 相 同 的 X 作 上 舉 至 一 操 作 位 置 内 > 其 中 該 升 ί王 意 1 事 1 降 台 則 在 升 降 蓮 動 過 程 中 可 達 到 一 上 端 位 置 内 0 在 操 作 項 再 1 位 置 内 工 件 之 上 倒 面 則 位 於 —· 處 理 室 内 並 可 實 施 一 次 操 填 本 \ 裝 I 作 步 驟 〇 於 操 作 結 束 之 後 該 升 降 台 可 將 該 工 件 降 低 而 再 頁 1 I 進 入 轉 蓮 位 置 内 > 在 該 處 該 工 作 再 被 蓮 輸 機 構 所 接 受 9 1 1 I 一 種 適 當 的 真 空 設 備 可 參 考 在 英 國 專 利 编 號 EP -A -C 34 3 1 i 5 3 0中所述。 1 訂 在 此 種 類 型 之 止 動 裝 置 中 則 期 望 其 止 動 軸 環 盡 可 能 精 1 確 地 被 定 心 * 工 件 則 被 放 置 在 轉 運 位 置 内 之 止 動 軸 環 上 1 1 » 而 茌 支 承 板 的 對 面 該 工 件 則 靠 接 在 操 作 操 作 位 置 内 I I > 在 該 位 置 上 工 件 刖 被 加 熱 或 冷 卻 C 因 而 r 在 支 承 板 之 1 1 邊 m 上 的 内 隙 應 保 持 最 小 y 而 對 止 動 軸 環 之 支 座 而 言 則 Γ 該 内 隙 有 其 必 要 性 > 工 件 之 操 作 9 諸 如 塗 層 ♦ 加 熱 或 冷 ί [ 卻 或 支 承 板 對 工 件 之 可 能 發 生 的 其 他 影 遒 均 應 保 持 均 勻。 1 1 „- 種 習 知 此 種 類 型 之 止 動 裝 置 則 如 在 英 國 專 利 编 號 1 | E P -A -0 4 5 2 7 7 9中 所 述 〇 在 該 裝 置 中 [L· 動 軸 環 構 成 支 1 I 承 板 並 包 圍 在 一 環 的 周 圍 由 於 可 能 在 兩 種 不 同 熱 膨 脹 1 1 的 部 件 之 間 則 必 須 保 持 一 定 的 徑 向 距 離 9 但 是 * 在 該 裝 I 置 之 結 構 中 並 未 提 供 對 -3 支 承 板 之 軸 绵 使 止 動 軸 環 之 精 確 1 1 i i 1 本紙張尺度1¾川中國1¾家標苹{「NS ) Λ4規格（210X297公漦） 43 90 93 A7 B7 經漭部中决找:i-^h-T"fr合作社印"- 五、發明説明 ( > ) ί 定 心 的 措 施 0 由 於 夾 緊 環 是 對 止 動 軸 環 定 心 1 同 樣 地 該 1 I 夾 緊 環 必 然 對 支 承 板 未 精 確 定 心 〇 1 ! 因 此 * 本 發 明 應 設 法 補 救 9 根 據 本 發 明 所 開 發 的 _- 種 請 ] 先 1 it 動 裝 置 則 具 有 諸 如 在 串 請 專 利 範 圈 中 各 項 之 特 待 m * 閱 # f 1 其 中 支 承 板 止 動 軸 環 及 夾 緊 環 均 利 用 與 所 提 及 各 部 件 dj 之 1 處 於 結 合 狀 態 之 定 心 裝 置 並 對 —^ 共 同 軸 線 而 定 心 » 而 且 意 1 1 事 1 > 所 提 及 各 部 件 之 不 同 熱 膨 m 亦 不 致 影 m 該 定 心 裝 置 之 項 再 f I 功 能 但 是 9 不 妨 礙 所 提 及 各 部 件 所 必 要 的 相 互 軸 向 4 % 本 1 裝 1 間 之 移 動 0 頁 1 1 一 種 曽 建 議 對 一 透 鏡 之 固 定 採 用 適 當 防 止 熱 膨 脹 的 非 1 I 敏 is£ 定 心 上 之 基 本 功 能 原 理 則 在 羅 馬 尼 亞 專 利 编 號 1 1 RU -C -2 0 4 7 1 97 中 説 明 9 其 中 在 一 外 殼 固 定 之 各 徑 向 小 1 訂 ! I 板 則 分 别 在 透 鏡 的 邊 框 上 之 各 適 當 徑 向 槽 内 相 接 合 » 在 該 固 定 裝 置 内 並 不 容 許 各 部 件 在 相 互 軸 向 内 移 動 0 1 1 根 據 本 發 明 所 能 逹 成 之 優 點 則 在 於 可 確 保 圓 盤 形 的 工 ! 1 件 可 在 支 承 板 上 之 同 心 定 位 * 而 且 * 由 於 夾 緊 環 對 支 承 1 1 板 之 精 確 定 位 t 因 而 使 工 件 之 遴 緣 廢 料 極 少 〇 此 種 止 動 Γ 裝 置 待 別 3-·Ά; 適 用 於 諸 如 儲 存 板 一 類 工 件 上 * 例 如 * 固 定 板 1 I > 磁 光 儲 存 板 雷 射 唱 Η (C D s )， 尤其是， 半導體晶片 1 i (S e讯 i - C 0 n d u C to Γ w a f e r) 〇 1 1 本 發 明 將 參 照 附 圖 並 以 實 例 方 式 詳 述 於 後 » 圖 式 簡 at» 卓 1 I 說 明 如 下 • I 1 第 1 圖 偽 根 據 本 發 明 之 止 動 裝 置 在 一 剖 開 部 分 之 透 視 1 分 解 圖 〇 -4 - I Γ 1 1 本紙张尺度il川中家標枣（（’NS ) /\4規格（210X297公釐} 439093 A7 B7 經满部屮夾榀^l^d,消贽合作社印公

五、發明説明 ( ) 1 第 2 圖 僳 該 圖 的 右 側 為 根 據 本 發 明 之 止 動 裝 置 在 一 下 1 I 端 位 置 内 之 第 一 徑 向 剖 面 圖 9 在 該 下 端 位 置 内 工 件 則 可 1 1 能 被 轉 移 ♦ 而 在 該 圖 的 左 倒 為 根 據 本 發 明 之 相 同 止 動 裝 請 1 先 ! 置 並 在 上 JJU m 位 置 内 之 一 對 應 第 二 徑 向 之 剖 面 @ > 在 該 上 閱 讀 | 端 位 置 内 工 件 則 可 能 被 操 作 〇 背 1¾ 1 I 之 1 止 動 裝 置 (最重要者， 參考第2 圖右倒） 包 含 一 升 降 台1 注 意 1 事 1 該 升 降 台 構 成 在 實 質 對 —* 軸 線 2 之 旋 轉 對 稱 並 具 有 項 真 1 1 雙 指 管 (D 0 U b 1 e b r a c i η g f U b e ) 3 » 該 雙 撐 管 則 ϋ 在 國 中 填 寫 本 1 裝 I 未 繪 出 的 一 適 當 裝 置 之 肋 而 可 對 軸 線 2 平 行. 上 升 及 下 降 頁 1 I ? 而 其 内 管 3a m 承 載 一 基 板 4 * 一 支 承 板 5 則 被 固 定 在 1 1 該 基 板 上 * 其 外 管 3 b則 承 載 一 圓 環 6 » 在 其 外 緣 上 具 有 1 1 „· 牽 動 軸 環 (D r i vi ng C 〇 1 1 a r) 7 * 該 圆 環 6 m 包 圍 在 基 1 訂 板 4 的 周 圍 並 保 持 一 同 心 距 離 0 在 圓 環 6 之 下 面 利 用 包 1 圍 在 m 指 管 3 固 圍 之 一 金 屬 波 紋 管 (H e t a 1 b e 1 1 〇 w s ) 8 而 1 1 與 在 一 固 定 壁 9 内 —* 開 P 之 邊 m 氣 密 地 相 連 接 t 所 提 及 1 I 之 雙 撐 管 刖 在 該 開 P 内 被 引 導 9 支 承 板 5 則 按 照 該 装 置 1 I 所 設 想 之 真 空 室 而 被 加 熱 或 冷 卻 或 被 加 熱 及 冷 卻 其 形 Γ 狀 則 取 決 於 可 操 作 的 工 作 之 形 狀 〇 - 般 均 為 圖 中 所 示 之 1 I 圓 形 ) 當 妖 t 亦 可 能 為 其 他 的 形 狀 > 例 如 9 可 能 為 一 矩 1 1 形 T 在 該 支 承 板 之 中 心 内 則 與 一 導 入 氣 amt 腊 之 導 管 10相 連 I | 通 0 1 I 在 三 根 支 柱 11 上 > 其 各 位 置 構 成 一 等 邊 三 角 形 軸 線2 1 1 則 位 於 該 等 邊 角 形 的 中 心 内 各 支 柱 最 好 係 用 非 導 體 t 特 別 是 9 陶 瓷 材 料 製 -5 成 並 分 別 裝 設 在 壁 9 上 之 各 下 端 \ 1 1 1 I 本紙張尺度適川中國围家標卒（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） Λ 〇 -

Α7 Β7 經滅部中决梂卒局只工消於合竹社印％ 五、發明説明 ( i ) \ 1 位 置 内 因 而 各 支 柱 被 固 定 支 撐 在 該 壁 上 〇 支 柱 11分 別 1 I 被 m 入 及 過 圓 環 6 内 之 一 鑽 孔 並 從 該 鑽 孔 内 突 出 及 穿 1 1 過 在 基 板 4 内 設 有 一 導 襯 (圖中未繪出） 之 m 孔 内 » 因 而 請 1 先 i 該 鑽 孔 之 内 徑 在 適 當 的 高 度 上 顯 然 大 於 支 柱 1 1 之 直 徑 9 閱 | 在 支 柱 1 1 上 被 支 撐 之 定 心 銷 12則 反 而 構 成 較 大 幾 乎 為 最 背 1¾ 1 I 之 1 I 後 所 稱 之 鑽 孔 的 内 徑 或 兀 全 相 當 於 導 襯 之 直 徑 9 使 得 該 注 意 1 1 事 1 定 心 銷 可 在 相 同 的 纘 孔 内 於 軸 向 移 動 » 但 是 此 外 在 寅 項 再 1 1 質 上 為 無 間 隙 之 引 導 〇 大 約 在 半 的 高 度 上 則 在 該 定 心 銷 填. 寫 本 1 裝 I 1 2上 並 在 相 同 的 銷 釘 周 圍 固 定 一 止 動 環 1 3 其 下 倒 面 則 頁 1 1 構 成 在 基 板 4 的 對 面 對 定 心 銷 1 2 之 軸 向 移 動 性 的 有 限 度 ] 1 1 之 止 動 面 〇 1 1 在 止 動 環 之 上 側 而 上 則 放 置 止 推 環 14 該 止 推 環 則 1 訂 設 有 一 徑 向 » 即 在 該 環 之 中 心 對 面 方 向 之 槽 9 該 槽 可 容 1 纳 部 分 止 動 環 13 t 而 止 動 環 之 厚 度 略 大 於 該 槽 之 深 度 1 ί 1 其 寬 度 (或内徑） 刖 大 於 止 動 環 之 直 徑 * 該 止 動 環 則 向 1 I 上 伸 長 並 穿 過 一 徑 向 方 位 之 長 方 形 孔 > 利 用 該 孔 刖 定 心 1 1 銷 1 2可 在 其 方 向 角 内 在 實 質 上 可 寅 施 無 間 隙 的 移 動 9 使 丨 得 該 支 承 環 1 4利 用 三 個 定 心 銷 1 2在 實 質 上 不 能 旋 轉 並 在 1 I 軸 線 2 之 橫 向 被 固 定 而 不 能 移 動 〇 反 之 » 在 値 別 定 心 銷 1 1 ]2 及 支 承 璟 1 4 之 間 刖 可 能 限 制 其 徑 向 蓮 動 0 I 1 環 繞 在 支 承 板 5 周 圍 並 保 持 __. 點 距 離 之 支 承 環 14 在 其 i I 内 内 緣 上 構 成 在 各 定 心 銷 1 2之 方 向 角 位 董 内 三 個 朝 向 上 1 1 方 之 支 架 16 > 各 支 架 之 内 側 面 上 設 有 各 凸 出 部 分 以 供 可 I 靠 容 纳 諸 如 晶 Η 之 工 -G 件 17 之 用 〇 各 支 架 16被 裝 設 在 適 J ! 1 1 1 本纸張尺度適川中國囚家標举（rNS ) Λ4規格（210X297公嫠） A7 B7 43 90 93 五、發明説明（） 當的槽18(第1圖）内，各槽則被埋入支承板5之外綠内 «各支架16亦在徑向内被隔開，支承板5之表面則由於

I 各槽18之關傺而稍微變小，此外，亦可能裝設更多或其 他的支架，或者，僅裝設唯一的支架，該支架則穿過支 承板或部分使支承板中斷並繞過支承板，例如，形成蹄 鐵形。 在定心銷1 2的外刨，但是，在相同的方位角位置内則 在壁9上固定各支撐定位銷19,在各定位銷上則支掙一 痼中間環2(1,而且，在該中間環之下倒面上構成槽21， 各槽則可分別容納該撐條定位銷1 9之各尖端，該中間環 略呈HL”形的横剖面並具有朝向内側之一凸緣，在該凸緣 之靜位置内一夾緊環22則靠接在該凸緣上，該夾緊環顯 著地向中間環2Q的内倒突出並在突出部分之下倒面上同 樣構成各徑向槽23，該徑向槽則適於分別容纳各定心銷 12之上端範圍，而且，亦同樣容許各定心銷随時在徑向 的運動，但是，在方位角之横向各定位銷之端部範圍則 在實質上為無間隙並分別在各槽23内相接合。夾緊環22 在其内倒面上刖構成略呈向上突出之内凸緣24,該内凸 緣則以略向下彎曲並配合工作形狀之圓形邊縳，如画中 所示。搭接在支架16上，然而，該内凸緣亦可構成痼別 的觸頭以代替封閉的邊緣，圍繞在凸緣周圍之外環上則 中間環2 Q承載一保護輪廓2 5 ,該輪廓則以其朝向内倒之 凸緣遮蓋在夾緊環22的上面，但是，内凸緣24則不在被 遮蓋的範圍内。 本紙张尺度適用中國S家標卒（CNS )糾規_格（2!〇X297公釐） (請先閱讀背而之注意事項再續寫本頁) -裝- '11 43 90 93 A7 B7 經濟部屮夾棉準局A-TiJli抡合竹社印5ί 五、發明説明 ( ί ) i ί 在 第 2 圖 左 倒 所 示 止 動 裝 置 之 下 端 位 置 内 可 藉 裝 載 機 1 I m 人 2 6之 J 助 將 工 件 1 7放 置 在 支 承 環 1 4 之 各 支 架 1 6上 並 對 1 1 支 承 板 5 定 心 〇 例 如 * 其 定 位 之 精 確 性 則 可 達 土 0 . 1 3公 請 先 1 厘 〇 妖 後 j 工 件 1 7 則 對 支 承 板 5 以 適 當 的 精 確 性 而 被 定 閱 讀 l 背 1 心 〇 於 裝 載 機 器 人 2 G 撒 退 之 後 則 可 開 始 升 降 台 1 之 升 程 面 之 1 蓮 動 〇 首 先 支 承 板 5 可 因 而 與 工 件 1 7 之 下 隹!1 面 相 接 觸 注 意 窜 ί 1 並 將 該 工 件 從 支 承 環 14之 各 支 架 1 6上 舉 起 9 緊 接 箸 基 板4 再 1 1 可 到 達 由 止 動 環 1 3 之 下 制 面 所 構 成 的 止 動 面 9 而 在 繼 續 寫 本 裝 之 升 程 蓮 動 中 各 定 心 銷 1 2 則 被 牽 動 0 由 於 止 推 環 1 4在 其 頁 1 I 靜 止 位 置 内 靠 接 在 各 止 動 環 1 3上 面 9 亦 因 而 使 該 止 推 環 1 I 開 始 被 上 舉 y 在 基 板 及 各 止 動 環 間 之 止 e£L 動 面 亦 可 調 整 9 1 1 當 支 承 板 使 工 件 到 逹 或 接 近 至 一 預 定 的 最 小 距 離 時 » 該 1 訂 1 I 支 承 環 已 準 備 被 牽 動 0 在 m 绩 升 程 蓮 動 之 運 行 中 則 各 定 銷 12分 別 嵌 入 在 夾 緊 1 1 環 2 2 之 下 倒 面 上 的 各 槽 23内 > 而 且 9 嵌 入 的 深 度 直 至 其 1 1 上 端 範 圍 實 際 上 在 方 位 角 内 為 無 間 隙 狀 態 下 被 容 納 ) 但 1 是 可 在 徑 向 移 動 > 因 而 夾 緊 環 2 2亦 可 對 支 承 板 5 定 心 1 1 在 各 定 心 銷 之 尖 端 快 要 達 到 各 對 應 槽 2 3的 底 部 之 前 t 則 ί Ι 工 件 1 7 之 表 面 衝 擊 在 夾 m 環 2 2 的 内 凸 緣 2 4之 邊 線 上 * 使 \ 1 得 該 夾 緊 環 從 其 靜 止 位 置 内 被 上 m 1 並 靠 接 在 X 件 1 7上 1 1 兩 者 均 在 其 位 置 内 被 固 在 支 架 16及 支 承 板 5 上 » 稍 後 1 I 不 久 * 驅 動 軸 環 7 則 到 達 中 間 環 2 0之 下 m 而 上 因 而 在 1 1 m m 的 升 程 蓮 動 中 該 中 間 環 亦 被 牽 動 〇 田 工 作 17被 放 置 I 時 > 實 際 上 僅 在 該 工 件 -ί 之 下 而 出 現 磨 擦 使 得 由 於 粒 子 1 1 1 1 f 本紙张尺度適川中园围家摞?(*- ( (’NS ) Λ4規格（2ΙΟΧ 297公釐} A7 43 90 93 B7 五、發明説明（7 ) 所産生污染之危機大為降低。 在止動裝置之上端位置（第2圖左倒）內工件1 7 B到逹 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

J 其操作位置，在該位置内工件之表而則可操作處理，例 如，可噴鍍一層鋁層或二氧化矽，浸蝕或其他處理，其 下側商則因而可在支承板5上被加熱或冷卻，因而，利 用導管10之氣體導入，刖可在支承板5及工件之下镅面 間産生氣墊，該氣墊則可確保均勻的熱傳遞。 具有支承板5之升降台1 ,則有各支架16之支承環14 以及具有保護輪鄆25之夾緊·環22和中間環20最好採用導 電材料，特別是金屬製成》使各部件互相被隔開之各定 心銷1 2則反而由絶緣材料，特別是陶瓷材料製成，如同 在基板4内之各導套，使得在前面所提及之各部分均互 相在電氣上互相絶緣並能保持在不同的電位上，在不同 的操作過程中此種電位可被利用並可控制在處理室内之 電場，陶瓷材料亦具有較小的滑動磨擦俱數（Coefficient of sliding),使得在導套或定心銷或兩者上之應用均為 有利，而且，陶瓷材料不易形成粒子，其甚小的熱膨脹 僳數則可確保能繼鑛保持尺寸之穩定性，即使在裝置之 熱負荷下亦然。利用It動裝置之旋轉對稱構造及同軸的 導绵结構則可顯箸地降低在電流上不受控制流動之危險 ，例如，在射頻偏壓（Rakio Freguency- Bias)上之應用 以及在測最及調整單元上之干擾場（Infer ference field) 等。 於操作過程完成之後〖!：動裝置則再被移至下端位置内 -9 - 本纸张尺度適用中國囤家標华（「奶）/\4规格（210'乂 297公斯> 439093 A7 ^"部中决樣^-^^只^消於"0私印"· 4 納 升控 Η 提固動用 大環脹及内板不由在各12動諸保 接 由及餐可以止供 重推膨14角基而，和及銷移中及 所 經械保而加。可 有止熱環位在隙移15提心上式20 26均機的因再換之 具，同承方。間偏孔所定環方環 人 動由要，必更備 ，5 不支在合面向形而各朝的間 器 蓮經需成不被設 琨板之對，接倒徑長，及向同中 機 的均所達而地空 出承件12是之的在之難琛徑相刖 載 有動，内，速真 差支部銷但隙夠可内困一在本 ， 裝 所蓮且間可迅於 度凡些心，間足1214無任而基心 被 於種而時即而利 溫中這定隙無有銷環亦中脹在定 可 由各，載上易有 的置在各間為具心推長琛膨 -2 並 ，，生裝放容果 大裝可則的上均定It伸各熱變線 内 軸生産的被可敫 有之亦，夠質11各在向在的不軸 置 動産式皙僅件的 常明心的足實架則及徑。同持對 位 驅而方短件部生 通發定目持在支 ，以的小不保22 運 一低的在部各産 。中本互此保件各脹長23很於仍環 轉 成降單可多 ，所y)程據相達向部於膨伸槽樣由置緊 ) 於。構及簡動許時性it過根之欲徑有由之之各同則位夾 /)處回僅高極蓮。要待11作在22，在所 ，板向之亦置之及 ( 再撤置升以其量必種ah操則環變均之中基徑内脹位心14 明17後裝之而。料在此]1在，緊不22稱脹該在22膨觸中環 Μ 件向—動 1 術少進故之va於者夾持環所膨礙槽環熱接其承 明 工及lh台技亦其，置 U 由義及保緊與熱紡各緊之之而支 發 β 以 降制件高定裝性 意14中夾則之致於夾環間，如 ' 五 I - 1-- t -'- - - - ill*^. I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙悵尺度適用中Κ®家標擎（rNS ) Λ4規格（hOX 297公漦） A7 43 90 93 B7 五、發明説明（9 ) 護輪廓2 5刖對與軸線2 —致之一固定軸線定心。 其實支承板，支承環及夾緊環亦可利用兩個定心元件

I J---r -----Hi έτ ---------- 丁 >v3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在不受不同熱膨脹影蜜之方式中而被定心，只要由相同 的部件及軸線所確定的平面内包含之一角度关180度，而 所稱之部件，例如，刹用一定心元件構成朝向徑向之平 板可確保能防止對一垂直軸線之相互旋轉即可，然而最 好能同時提供如前面所逑之三痼定心元件以供支承環14 的支架之用，而該支架之位置必須精確地確定，若至少 提供三傾定心元件，各元件則對軸線保持相同距離，則 比較有利，雖然後者並非絶對必要，各定心元件之位置 最好能構成有規則的多角形，待別是三角形，軸線則位 於其中心内》根據所提及各同心部件成對定心之相同原 理，則可想像止推環可對支承板，而夾緊環可對止推環 ，然而，此種结構並不能導致一種緊密而結實及簡單的 構造。 本紙ίίί尺度进用中SS家標卑（CNS ) Λ4規格（210X 297公f ) 43 90 93 五、發明説明（w ) A7 經淖部中次榡準局^:工消合作社印聚 考符 號説明 1… ..升降台 ! 2… ..軸線 3… ..雙撐管 4… ..基板 5… ..支承板 3a… ...内管 3b… ...外管 6… ..圓環 7… ..牽動軸環 8… ..金屬波纹管 9… ..固定壁 10.. ...導管 11.. ..·支柱 12.. ...定心銷 13.* ...止動環 14,. ...止推軸環 15.. ...長孔 16,. ..支架 17.. …工件 18.. …槽 19.. ...支撐定位銷 2 0.. ...中間環 2 1.. ..槽 -12- J— U -ί I n Hi n m - - - 士^- - - - - n» T .-ff (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適;fl中园丨玄家標率（C'NS ) Λ4規格（2丨OX 297公漦） 439093 A7 B7 五、發明説明（"） 22.....夾緊環 2 3.....槽 j 24 . i ...内凹緣 2 5.....保護輪廓 26.....裝載機器人 ^13" 本紙張尺度適扣中國S家摞卑（rNS ) Λ4现格（210X 297公漦） J---Γ------^------1T (請先閱讀背面之注意事項再试寫本頁)

Claims (1)

1. 43 9093 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第871211*79號「止動裝置」專利案 (89年7月修正） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 六、申請專利範圍： 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 1. 一種止動裝置，其在真空設備內用於輸送特別是圓盤 形之工件（17)，該止動裝置具有一可在下端位置及上 端位置間變換之升降台（1)，在下端位置內可放置或移 除工件（17)，而在上端位置內可操作該工件（17)，該 升降台可上升或下降，另有一個支承板（5)，基本上此 支承板（5)形狀相當該於工件（17)之形狀，此支承板（5) 特別是至少具有一圍繞垂直軸線（2)而接近旋轉對稱之 形式，另有一止推軸環（14)以便容納下端位置中之工 作（17)，而在上端位置內則在支承板（5)上方裝設一可 垂直移動之夾緊環（22)以供固定工件（17)於上端位置 中之用，其特徵爲：該止動裝置欲使止推軸環（14)及 夾緊環（22)以軸線（2)爲中心，則至少在上端位置內須 具有與所稱同心部件相接合之定心裝置，該定心裝置 至少具有兩個分別與軸線（2>相隔開之定心元件，而此 二個定心元件並非同在—平面內，該定心元件實質上 在方位角內與所稱部件是無間隙的，而且可與至少兩 個部件在徑向及軸向中以移動方式接合，因而，另外 亦可確保各部件可相互對一垂直軸線旋轉。 2如申請專利範圍第1項之止動裝置，其中用作定心元 件之定心裝置至少具有三個圍繞在軸線（2)周圍之定心 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） 439093 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 銷（1 2 )，各定心銷則被固定在各同心部件中之一部件 內而不能在徑向移動1該定心銷至少在上端位置內接 合在其餘各同心部件之徑向槽或溝內。 3. 如申請專利範圍第2項之止動裝置，其中各定心銷（12) 均與軸線（2)平行並與該軸線保持相同的距離。 4. 如申請專利範圍第2或3項之止動裝置，其中支承環 (14)可垂直移動，該支承環與升降台（1)在作用上相關 連，使該升降台開始之後此支承環即被其往上移動所 牽動。 5. 如申請專利範圍第4項之止動裝置，其中各定心銷（12) 在下端位置內被支撐在固定位置上並可在升降台U)內 於軸向移動，此外則在實質上爲無間隙地受到引導且 利用支承環（14)而至少在軸向徑向中心移動方式而進 行引導，而各定心銷對升降台（1)之向下運動及對止推 軸環（1 4 )之向上運動均受到一止動件之限制。 6. 如申請專利範圍第5項之止動裝置，其中支承環（14) 具有徑向之長孔（15)以便至少在方位（azimutal)角中 實質上可以無間隙方式容納定心銷（12)。 7. 如申請專利範圍第5項之止動裝置，其中各止動件均 利用一圍繞在定心銷（1 2 )周圍之止動環（1 3 )的上側面 或下側面而構成。 8. 如申請專利範圍第6項之止動裝置，其中各止動件均 利用一圍繞在定心銷（12)周圍之止動環（13)的上側面 諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 峡！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X29?公釐） 43 90 93 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A8 B8 CS D8六、申請專利範圍 或下側面而構成。 9. 如申請專利範圍第2或3項之止動裝置，其中夾緊環 (22)在其下側面上具有徑向槽（23)’至少在操作位置 內各定心銷（1 2)之尖端則在方位角內實質上以無間隙 方式接合在徑向槽（23)中° 10. 如申請專利範圍第4項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在其下側面上具有徑向槽（23>’至少在操作位置內各 定心銷（12)之尖端則在方位角內實質上以無間隙方式 接合在徑向槽（23)中《 11. 如申請專利範圍第5項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在其下側面上具有徑向槽（23)，至少在操作位置內各 定心銷（12)之尖端則在方位角內實質上以無間隙方式 接合在徑向槽（23)中。 U如申請專利範圍第6項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在其下側面上具有徑向槽（23)，至少在操作位置內各 定心銷（12)之尖端則在方位角內實質上以無間隙方式 接合在徑向槽（23)中。 ia如申請專利範圍第7項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在其下側面上具有徑向槽（23)，至少在操作位置內各 定心銷（12)之尖端則在方位角內實質上以無間隙方式 接合在徑向槽（23)中。 如申請專利範圍第9項之止動裝匱，其中夾緊環（22) 具有一朝向內側並與支架<16)搭接之內凸緣（24)，其 (錆先閱讀背面之注^h項再填寫本頁) ，11. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X297公嫠） 439093 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 具有向下彎曲之內邊緣。 15. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之止動裝置’其 中支承環（14)具有至少三個向上直立之支架（16)以供 容納工件（17)之用，各支架之位置至少在上端位置時 是位於各垂直槽（18)內，而各槽均分別埋入支承板（5) 之邊緣內。 16. 如申請專利範圍第4項之止動裝置，其中支承環（14) 具有至少三個向上直立之支架（16)以供容納工件（17) 之用，各支架之位置至少在上端位置時是位於各垂直 槽（18>內，而各槽均分別埋入支承板（5)之邊緣內。 17；如申請專利範圍第5項之止動裝置，其中支承環（14) 具有至少三個向上直立之支架（16)以供容納工件（17) 之用*各支架之位置至少在上端位置時是位於各垂直 槽（18)內，而各槽均分別埋入支承板（5)之邊緣內。 见如申請專利範圍第6項之止動裝置，其中支承環（14) 具有至少三個向上直立之支架（16)以供容納工件（17) 之用，各支架之位置至少在上端位置時是位於各垂直 槽（18)內，而各槽均分別埋入支承板（5)之邊緣內。 B如申請專利範圍第7項之止動裝置，其中支承環（14) 具有至少三個向上直立之支架（16)以供容納工件（17) 之用，各支架之位置至少在上端位置時是位於各垂直 槽（18>內•而各槽均分別埋入支承板（5)之邊緣內。 20.如申請專利範圍第9項之止動裝置，其中支承環（14) -4- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本莨) 訂 d 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） 439093 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 具有至少三個向上直立之支架（16)以供容納工件（17) 之用，各支架之位置至少在上端位置時是位於各垂直 槽（18)內，而各槽均分別埋入支承板（5)之邊緣內》 21.如申請專利範圍第14項之止動裝置，其中支承環（14) 具有至少三個向上直立之支架（16)以供容納工件（17) 之用，各支架之位置至少在上端位置時是位於各垂直 槽（18)內，而各槽均分別埋入支承板（5)之邊緣內。 2Z如申請專利範圍第1至3項中任一項之止動裝置，其 中夾緊環（22)在靜止位置中是位於中間環（20>上，夾 緊環（22)在升降台（1>之升程運動中由於與工件（17)接 觸而由靜止位置被上舉，該中間環則以位置固定之方 式被支撐著。 23·如申請專利範圍第4項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在靜止位置中是位於中間環（20)上，夾緊環（22>在升 降台（1)之升程運動中由於與工件（17)接觸而由靜止位 置被上舉，該中間環則以位置固定之方式被支撐著。 24如申請專利範圍第5項之止動裝置’其中夾緊環（22> 在靜止位置中是位於中間環（20)上*夾緊環（22)在升 降台（1)之升程運動中由於與工件（17)接觸而由靜止位 置被上舉，該中間環則以位置固定之方式被支撐著。 25.如申請專利範圍第6項之止動裝置’其中夾緊環（22) 在靜止位置中是位於中間環（20)上’夾緊環（22)在升 降台（1)之升程運動中由於與工件（17)接觸而由靜止位 -5- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 蝮 本紙張尺度適用中國國家標卓（CNS ) Μ規格(―2丨0X.297公釐） 43 9093 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 置被上舉，該中間環則以位置固定之方式被支撐著° 26如申請專利範圍第7項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在靜止位置中是位於中間環（20)上，夾緊環（22)在升 降台（1)之升程運動中由於與工件（17)接觸而由靜止位 置被上舉，該中間環則以位置固定之方式被支撐著° 27.如申請專利範圍第9項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在靜止位置中是位於中間環（20)上’夾緊環（22)在升 降台（1)之升程運動中由於與工件（17)接觸而由靜止位 置被上舉，該中間環則以位置固定之方式被支撐著。 28_如申請專利範圍第14項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在靜止位置中是位於中間環（20)上，夾緊環（22)在升 降台（1)之升程運動中由於與工件（17)接觸而由靜止位 置被上舉，該中間環則以位置固定之方式被支撐著》 2ft如申請專利範圔第15項之止動裝置，其中夾緊環（22) 在靜止位置中是位於中間環（20)上，夾緊環（22)在升 降台（1)之升程運動中由於與工件（Π)接觸而由靜止位 置被上舉，該中間環則以位置固定之方式被支撐著。 30. 如申請專利範圍第22項之止動裝置，其中此中間環（2 0) 在其靜止位置中之支撐是利用各垂直之支撐螺栓（19) 而達成，而各螺栓則圍繞在軸線（2)的周圍且其尖端分 別在各徑向槽（21)中接合於中間環的下側面上，使得 各螺栓同時以軸線（2 )爲中心。 31. 如申請專利範圍第22項之止動裝置，其中此中間環（20) -6- (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) 訂 螋！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 在其靜止位置中之支撐是利用各垂直之支撐螺检（19) 而達成，而各螺桂則圍繞在軸線（2)的周圍且其尖端分 別在各徑向槽（21)中接合於中間環的下側面上，使得 各螺栓同時以軸線（2 )爲中心。 汶如申請專利範圍第30項之止動裝置，其中此中間環（2〇) 在其靜止位匱中之支撐是利用各垂直之支撐螺检（19) 而達成，而各螺栓則圍繞在軸線（2)的周圍且其尖端分 別在各徑向槽（21)中接合於中間環的下側面上，使得 各螺栓同時以軸線（2)爲中心。 33如申請專利範圍第22項之止動裝置，其中升降台（1)具 有一牽動具，在升降台之升程運動時該牽動具可牽動 上述之中間環（20)。 災如申請專利範圍第30項之止動裝置，其中升降台（1)具 有一牽動具，在升降台之升程運動時該牽動具可牽動 上述之中間環（2 0 )。 35如申請專利範圍第31項之止動裝置，其中升降台（1)具 有一牽動具，在升降台之升程運動時該牽動具可牽動 上述之中間環U0)。 36如申請專利範圍第1至3項中任一項之止動裝置，其 中支承板（5)*支承環（14)及夾緊環（22 >均採用導電性 材料製成，且至少在上端位置內互相隔開並在電性上 被絕緣- 37·如申請專利範圍第4項之止動裝置，其中支承板（5)， -7- 本紙張尺度適用中國國家橾率（CNS ) A4規格（210X297公羞) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本莨) 訂 蝮 經濟.那智慧財產局員工消費合作社印製 經·濟部智慧財產局員工消費合作社印製 439093 8 A〇 B8 C8 __ D8六、申請專利範圍 支承環（14)及夾緊環（22 >均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 3&如申請專利範圍第5項之止動裝置|其中支承板（5)， 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣》 39如申請專利範圍第6項之止動裝置，其中支承板（5)， 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 4Q如申請專利範圍第7項之止動裝置，其中支承板（5)， 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 41.如申請專利範圍第9項之止動裝置，其中支承板（5), 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 42如申請專利範圍第14項之止動裝置，其中支承板（5)， 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣》 43如申請專利範圍第15項之止動裝置，其中支承板（5)， 支承環（14)及夾緊環（22 >均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 44如申請專利範圍第22項之止動裝置，其中支承板（5)， 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、iT 本紙張尺度適用中國固家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 439093 8 οο δ 8 ABCD 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 45如申請專利範圍第30項之止動裝置，其中支承板（5)， 支承環（丨4)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 妮如申請專利範圍第31項之止動裝置，其中支承板（5), 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣。 47如申請專利範圍第33項之止動裝置，其中支承板（5)， 支承環（14)及夾緊環（22)均採用導電性材料製成，且 至少在上端位置內互相隔開並在電性上被絕緣》 期如申請專利範圍第31項之止動裝置，其中至少在上 端位置內上述之保護輪廓（25)是與支承板（5)，止推軸 環（14)及夾緊環（22)相隔開並在電性上被絕緣》 49如申請專利範圍第33項之止動裝置，其中至少在上 端位置內上述之保護輪廓（25)是與支承板（5)，止推軸 環（14)及夾緊環（22)相隔開並在電性上被絕緣。 5Q如申請專利範圍第36項之止動裝置，其中至少在上 端位置內上述之保護輪廓（25)是與支承板（5)，止推軸 環（14)及夾緊環（22)相隔開並在電性上被絕緣。 51如申請專利範圍第2或3項之止動裝置，其中各定心 銷（12)是配置在一規則之多邊形之各角隅點內 氐如申請專利範圍第4項之止動裝置，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內》 53如申請專利範圍第5項之止動裝置，其中各定心銷（12) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格{ 210X297公釐} ABCD 43 90 93 六、申請專利範圍 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 54如申請專利範圍第6項之止動裝置，其中各定心銷U2) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 55如申請專利範圍第7項之止動裝置，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 56如申請專利範圔第9項之止動裝匱，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 57.如申請專利範圍第14項之止動裝置，其中各定心銷（1 2 ) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 58如申請專利範圍第15項之止動裝置，其中各定心銷（1 2 ) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內3 99.如申請專利範圍第22項之止動裝置，其中各定心銷（1 2 ) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 6Q如申請專利範圍第30項之止動裝置，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 61.如申請專利範圍第31項之止動裝置，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 位如申請專利範圍第33項之止動裝置，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 6S如申請專利範圍第36項之止動裝置，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 64如申請專利範圍第48項之止動裝置，其中各定心銷（12) 是配置在一規則之多邊形之各角隅點內。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX29?公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本f ) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 43 9093 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 65如申請專利範圍第2或3項之止動裝置，其中各定心 銷（1 2 )係由陶瓷材料所構成。 66如申請專利範圍第4項之止動裝置，其中各定心銷Π2) 係由陶瓷材料所構成。 67如申請專利範圍第5項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 68如申請專利範圍第6項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 69.如申請專利範圍第7項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 7Q如申請專利範圍第9項之止動裝匱，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 71如申請專利範圍第14項之止動裝置，其中各定心銷（1 2 ) 係由陶瓷材料所構成。 72如申請專利範圍第15項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 7¾如申請專利範圍第22項之止動裝置，其中各定心銷（1 2 ) 係由陶瓷材料所構成° 74如申請專利範圍第3〇項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 75如申請專利範圍第31項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 76.如申請專利範圍第33項之止動裝置，其中各定心銷（12) -1 1 - (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 43 90 93 AS Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 係由陶瓷材料所構成。 77如申請專利範圍第36項之止動裝置，其中各定心銷（1 2 ) 係由陶瓷材料所構成D 78_如申請專利範圍第48項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 79如申請專利範圍第51項之止動裝置，其中各定心銷（12) 係由陶瓷材料所構成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0x297公釐）