TW527523B - Polymer, resist composition and patterning process - Google Patents

Description

527523 A7 B7 五、發明説明（） 1 【發明之技術領域】 本發明係有關（1 ) 一種含有特定重複單位之高分子 化合物，（2 )含有此高分子化合物作爲基礎樹脂之光阻 材料，與（3 )使用此光阻材料的圖型之形成方法等發明 【先前技術】 近年來，隨著L S I之高集積化及高速度化，在尋求 圖型線路微細化之中，號稱下一世紀之微細加工技術之遠 紫外線蝕刻印刷術爲目前極有望之技術。其中極需實現以 K r F等離子雷射、A r F等離子雷射作爲光源之光蝕刻 印刷術以進行0 . 3 // m以下之超微細加工的技術。 K r F等離子雷射用光阻材料，目前以兼具有具有實 用性程度之透明性與耐蝕刻性之聚羥基苯乙烯作爲標準之 基礎樹脂使用。而A I* F等離子雷射用光阻材料，目前係 硏究使用含有聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸之衍生物或脂肪族 環狀化合物爲主鏈之高分子化合物，但目前仍分別具有優 缺點，故目前仍屬尙未決定標準樹脂之狀態。 即，使用聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸之衍生物所得之光 阻材料，因酸分解性基之反應性較高，故具有優良基板密 著性之優點，且於感度與解像性上亦具有較佳之結果，但 因樹脂主鏈較弱故蝕刻耐性極差，而不合實用。又，使用 含有脂肪族環狀化合物爲主鏈之高分子化合物所得之光阻 材料，因樹脂之主鏈極爲剛直，故於耐蝕刻性上雖可達實 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格( 210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局a(工消費合作社印災 -4- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 2 用程度’但酸分解性保護基之反應性較（甲基）丙烯酸系 化合物爲差’故其爲具低感度與低解像性，且因樹·脂之主 鏈過於剛直，故與基板之密著性亦極差，而不合使用。 又’（甲基）丙烯酸系、脂環主鏈系等雙方共通之問 題’係爲光阻膜之膨潤將會造成圖型之崩壞。此些反應系 之光阻材料’因曝光前後之溶解速度差極大，故可提高解 像性能’其結果’將會形成具有極高疏水性之光阻材料。 而高疏水性光阻材料，於未曝光部分可強力地維持膜之形 態’而過曝光部分則會使膜於瞬間產生溶解，但因廣大的 曝光區域在浸入顯像液時亦不會產生溶解，而產生膨潤現 象。於實際上用於A r F等離子雷射之極細微的圖型尺寸 中，因膨潤現象會造成鄰接之圖型產生黏著、或崩壞，因 而未能作爲光阻材料使用。因此，在尋求圖型更進一步微 細化之中’極需開發出一種可發揮出優良之感度、解像性 、貪虫刻耐性等性能，且可充分抑制膨潤現象之光阻材料。 本發明鑑於上述情事，即以提出一種有關（i )具有 優良反應性、剛直性與基板密著性，且顯像時具有極小膨 潤現象之高分子化合物；（2 )使用此高分子化合物作爲 基礎樹脂’可得到較以往物品具有更佳解像性與耐蝕刻性 之光阻材料’與C 3 )使用此光阻材料的圖型之形成方法 等爲發明之目的。 【發明之內容與發明之實施形態】 本發明者們爲達上述之目的經過深入檢討結果，得知 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產笱員工消費合作钍印焚 -5- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 3 依後述方法所製得之含有下式（1 一 1 )或式（1 一 2 ) 所示重複單位之重量平均分子量1， 〇〇〇至 500， 000之高分子化合物，因具有優良反應性、剛 直性與基板密著性，且對顯像液之丨谷解性具有較高之適應 性、較低之膨潤性，故使用此高分子化合物作爲基礎樹脂 使用的光阻材料，兼具有高解像性與高蝕刻耐性，故極適 用於光阻材料之精密的微細之加工。 即，本發明提供一種下記之高分子化合物。 〔I〕、一種重量平均分子量1，〇〇〇至 5 0 0, 000之高分子化合物’其係含有下記式（1 一 1 )與式（1- 2)所示重複單位者； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T

(1-1) R2

(1-2) 經濟部智慧財產局®工消費合作钍印发 (式中，R1、R2爲氫原子或碳數1至1 5之直鏈狀 、支鏈狀或環狀烷基；R 1與R 2可鍵結形成環，此時， R 1與R 2組合形成碳數2至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀 伸烷基；R3爲氫原子、或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀 或環狀烷基、醯基或烷磺醯基，或爲碳數2至1 5之直鏈 狀、支鏈狀或環狀烷氧羰基或烷氧烷基，其結構碳原子上 之氫原子的…部份或全部可被鹵素原子所取代；惟，R 1、 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -6- 527523 A7 ____B7 五、發明説明（） 4 R2、R3並不全爲氫原子；k爲0或1)。 〔II〕、如〔I〕之高分子化合物，其中，如上式 (1 - 1 )所示重複單位以外，尙含有下記式（2 - 1 ) 所示重複單位者；

TT

(式中，R4爲氫原子、甲基或CH2C〇2R6 ; R5 爲氫原子、甲基或C〇2R6 ; R6爲碳數1至1 5之直鏈 狀、支鏈狀或環狀之烷基；R7爲酸不穩定基；R8爲鹵素 原子、羥基、碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧 基、醯氧基、烷磺醯氧基，或碳數2至15之直鏈狀、支 鏈狀或環狀烷氧羰氧基或烷氧烷氧基，其結構碳原子上之 氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z爲單鍵或 碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（p + 2)價烴基 ，爲烴基之情形中，其1個以上之伸甲基亦可被氧原子所 取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一碳原子上之2個氫原子 亦可被氧原子取代而形成酮；k爲0或1 ，p爲〇、1或 2 )。 〔III〕、如〔I〕之高分子化合物，其中，如上 式（1 - 1 )所示重複單位以外，尙含有下記式（2 - 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財1局員工消費合作社印焚 527523

7 B 明 説明發 5

(2- 單 複 重 示 所

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R 基 烷 狀 環 或 狀 鏈 支 容 內至 之 1 同數 相碳 「已或 -三口 上子 與原 有氫 具爲 式示及示 上所 ，所 如}位} ， 4 單 3 中 C 複 C 其式重式 ， 記示記 物下所下 合有 } 有 化含 1 含 子尙 i 再 分，2 與 高外彳， 之以式位 } 位記單 I 單下複 f 複與重 如重位示 、 示單所 1 所該 }; V.} 或 4 者 I 1 位 ί 位 f I 單式單 1 複記複 ί 重下重 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局w工消費合作钍印製 容

S R5、 R4 〇 內 之 同 相 記 上 與 S 有 具 Y 70、 8 R 至 4 R ' P k 一中 式

V 如 式 上 如 中 其 物 合 化 子 分 高 之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 527523 A7 ____ B7 五、發明説明（） 6 1 - 2 )所示重複單位以外’尙含有下記式（2 一 2 )所 示重複單位者；

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，k、ρ、R4至R8具有與上記相同之內容） 〇 又’本發明提供下記之光阻材料。 〔VI〕、一種光阻材料，其係含有〔I〕至〔V〕 中任一項之高分子化合物者。 又，本發明復提供下記圖型之形成方法。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 〔VII〕、一種圖型之形成方法，其特徵係包含將 上記〔V I〕之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱 處理後介由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與 ，必要時於加熱處理後使用顯影液進行顯影之步驟。 含有上記式（1 一 1 )或（1 一 2 )所示重複單位之 高分子化合物，因含有具有交聯之脂環作爲主鏈，故具有 極高之剛直性。又，因主鏈內部具有極性極高之醚部位， 故與於離主鏈較遠之處導入極性基之情形不同，於浸入顯 像液時可迅速地使樹脂產生溶解，故幾乎不會產生膨潤現 象。此外，僅需導入少量上記式（1 — 1 )或（1 一 2 ) 本紙張尺度適用中關家標準（CNS )八4胁（21GX297公ft ) " 一 -9- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 7 所示重複單位後，即可充分發揮出降低膨潤現象之效果與 基板密著效果，故可相對地大量導入保護化羧酸單位等確 保溶解速度之單位’而可提高感度與解像度等。因此，使 用此高分子化合物作爲基礎材料所得之光阻材料，於感度 、解像性及蝕刻耐性上皆具有優良之性能，且可充分抑制 顯像時之膨潤現象，而極適合作爲微細圖案之形成材料。 又，上記式（1 一 1)或（1 — 2)中’可作爲支鏈 導入之官能基例如醚、酯、碳酸酯、或2級或3級醇等。 1級醇之提昇基板密著性之效果雖較前記官能基爲佳，但 會造成解像性大幅降低甚至趨向負型化，故本發明將其排 除於本發明之技術內容之外。 以下，將對本發明作更詳細之說明。 本發明之高分子化合物，係爲含有下記式（1 一 1 ) 或式（1 - 2 )所示重複單位之重量平均分子量 1， 000至500， 000之局分子化合物。

式中，R1、R2爲氫原子或碳數1至1 5之直鏈狀、 支鏈狀或環狀烷基，其具體例如甲基、乙基、丙基、異丙 基、η — 丁基、sec — 丁基、t e r t — 丁基、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •ΙΛ. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 527523 A7 B7_ 五、發明説明（） 8 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局S工消費合作社印¾ t e r t —戊基、η —戊基、η —己基、環戊基、環己基 、乙基環戊基、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基、 金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基等；R 1與R 2可 鍵結形成環，此時，R 1與R 2組合形成碳數2至1 5之直 鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基，具體之例如伸乙基、伸丙基 、伸丁基、伸戊基等外，例如上記烷基例示中去除1個氫 原子所得之伸烷基等；R3爲氫原子或碳數1至1 5之直鏈 狀、支鏈狀或環狀烷基、醯基或烷磺醯基，或爲碳數2至 1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧羰基或烷氧烷基，其結 構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代 ，其具體之例示如甲基、乙基、丙基、異丙基、η -丁基 、sec — 丁基、t e r t — 丁基、t e r t —戊基、η -戊基、n -己基、環戊基、環己基、乙基環戊基、丁基 環戊基、乙基環己基、丁基環己基、金剛烷基、乙基金剛 烷基、丁基金剛烷基、甲醯基、乙醯基、乙基羰基、三甲 基乙醯基、甲烷磺醯基、乙烷磺醯基、η - 丁烷磺醯基、 三氟乙醯基、三氯乙醯基、2，2，2 -三氟乙基羰基、 甲氧甲基、1—乙氧乙基、1—乙氧丙基、1 — t er t -丁氧乙基、1 一環己氧乙基、2 —四氫呋喃基、2 -四 氫吡喃基、甲氧基羰基、乙氧基羰基、t e r t - 丁氧羰 基等；：惟，RhR2、！^3並不全爲氫原子；k爲〇或 1 ° 又’本發明之高分子化合物，更具體而言，係具有下 記4種類。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 527523 A7 B7 五、發明説明（） 9 (1 )如上式（1 - 1 )所示重複單位以外，尙含有 下記式（2 - 1 )所示重複單位者；

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} $ - 經濟部智慧財產局員工消费合作钍印製 (式中，R4爲氫原子、甲基或CH2c〇2R6 ; R5 爲氣原子、甲基或C〇2R6 ; R6爲碳數1至1 5之直鏈 狀、支鏈狀或環狀之烷基；R7爲酸不穩定基；r8爲鹵素 原子、羥基、碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧 基、醯氧基、烷磺醯氧基，或碳數2至1 5之直鏈狀、支 鏈狀或環狀烷氧羰氧基或烷氧烷氧基，其結構碳原子上之 氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z爲單鍵或 碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（p + 2)價烴基 ’爲烴基之情形中，其1個以上之伸甲基亦可被氧原子所 取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一碳原子上之2個氫原子 亦可被氧原子取代而形成酮；p爲〇、1或2 )。 (2 )、如上式（1 一 1 )所示重複單位以外，尙含 有下記式（2 - 1 )與式（3 )所示重複單位者； 、τ

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 527523 Α7 Β7 五、發明説明（） 10

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) C式中，k、p、R4至R8具有與上記相同之內容， Y爲—〇—或—（NR9) —，R9爲氫原子或碳數1至 1么5之直鏈狀、支鏈狀或_環狀，烷基）。

1U (3 )、如上式（1 - 1 )所示重複單位以外，尙含 有下記式（4 )所示重複單位或該單位與下記式（2 - 1 )所示重複單位，及下記式（4 )所示重複單位.，與再含 有下記式（3 )所示重複單位者；

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，k、p、R4至R8、γ具有與上記相同之內 容）。 (4 )、如上式（1 — 2 )所示重複單位以外，尙含 有下記式（2 - 2 )所示重複單位者·， 本纸乐尺度適用中HD家縣（CNS ) ( 2ωχ297公廣） -. 527523 Α7 Β7

(式中’ k、p、R4至R8具有與上記相同之內容） 0 其中，R4爲氫原子、甲基或CH2C〇2R6 ; 具體例將於後說明；R 5爲氫原子、甲基或C〇2 R 6 ; R6爲碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，氧體 而Η例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η — 丁基、s e e —丁基、t e r t — 丁基、t e r t —戊基、η —戊_、 η -己基、環戊基、環己基、乙基環戊基、丁基環戊基、 乙基環己基、丁基環己基、金剛烷基、.乙基金剛烷基、了 基金剛烷基等；R 7爲酸不穩定基，其具體例係如後所述； R 3爲鹵素原子、羥基、碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈状或 環狀之烷氧基、醯氧基、烷磺醯氧基，或碳數2至1 5之 直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷氧烷氧基或烷氧羰氧基’其結 構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代 ，具體而言，例如氟、氯、溴、羥基、甲氧基、乙氧基、 丙氧基、異丙氧基、η -丁氧基、s e c -丁氧基、 t e r t — 丁氧基、t e r t -戊氧基、η —戊氧基、；q -己氧基、環戊氧基、環己氧基、乙基環戊氧基、丁基環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事一?再填寫本頁，> -訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 14- 527523 Α7 Β7 五、發明説明（） 12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慈財產局S工消費合作社印製 戊氧基、乙基環己氧基、丁基環己氧基、金剛烷氧基、乙 基金剛烷氧基、丁基金剛烷氧基、磺醯氧基、乙醯氧基、 乙基羰氧基、三甲基乙醯基、甲烷磺醯氧基、乙烷磺醯氧 基、η -丁烷磺醯氧基、三氟乙醯氧基、三氯乙醯氧基、 2 ，2 ，2 —三氟乙基羰氧基、甲氧甲氧基、1—乙氧乙 氧基、1一乙氧丙氧基、1 一 t e r t - 丁氧乙氧基、1 -環己氧乙氧基、2 -四氫咲喃氧基、2 -四氫哦喃氧基 、甲氧羰氧基、乙氧羰氧基、t e r t - 丁氧羰氧基等； Y爲一〇—或—（NR9) —，R9爲氫原子或碳數1至 1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，具體之例示係與R6爲 相同之內容；Z爲單鍵或碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或 環狀之（P + 2 )價烴基，爲烴基之情形中，其1個以上 之伸甲基可被氧原子所取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一 碳原子上之2個氫原子亦可被氧原子取代而形成酮，例如 P = 0時，具體而言例如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁 基、伸戊基、1 ，2 —丙烷二基、1 ，3 — 丁烷二基、1 一幾基一 2 -氧雜丙院一 1 ，3 —二基、3 —甲基_1一 鑛基一 2 —氧雜丁院—1 ，4 —二基等，p = 0以外之情 形中，例如上記具體例中去除η個原子之（p + 2 )價基 等。 又，R7之酸不穩定基，可作各種選擇，具體而言例如 下記式（L1)至（L4)所示之基，碳數4至20、較 佳爲4至1 5之二級院基’各院基爲碳數1至6之二院基 矽烷基，碳數4至2 0之羰烷基等。 本紙尜尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（21〇χ297公釐） -15- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 13

Run -C-orl (LI) (L2) ---(CH2)y—-c * 0Rl

式中，虛線爲連結鍵（以下相同）；R L。1、R L 0 2 爲氫原子或碳數1至18，較佳爲1至10之直鏈狀、支 鏈狀或環狀烷基，具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、 η - 丁基、s ec — 丁基、t e r t — 丁基、環戊基、環 己基、2 -乙基己基、n —辛基等；RL〇3爲碳數1至 1 8，較佳爲1至1 〇之可含有氧原子等雜原子之1價烴 基、直鏈狀、支鏈狀或環狀院基，或其氫原子之一部分可 被羥基、烷氧基、羰基、胺基、烷胺基所取代者，其具體 例如下記之經取代的烷基等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ·-· 訂 經濟部智慧財凌局Μ工消费合作社印发 ,ΟΗ !^。1與！^。2、RL〇i 與 RL〇3、RLQ2 與 r"3 可 相互鍵結形成環，形成環時，、RLi)2、RL。3各自 爲碳數1至1 8、較佳爲1至1 0之直鏈狀或支鏈狀之伸 烷基。 rLQ4爲碳數4至2 0、較佳爲4至1 5之三級烷基 、各烷基爲碳數1至6之三院基？夕院基 '碳數4至2 0之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -16- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 14 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 羰烷基或上記式（L 1 )所示之基；三級烷基之具體例如 t e r t — 丁基、t e r t -戊基、1 ，1—二乙基丙基 、2 -環戊基丙烷一 2 -基、2 -環己基丙烷—2 -基、 2 -（二環〔2 . 2 · 1〕庚烷一 2 -基）丙烷一 2 —基 、2 —(金剛烷—1 一基）丙烷一 2 —基、1—乙基環戊 基、1 一 丁基環戊基、1 -乙基環己基、1— 丁基環己基 ' 1—乙基一 2 —環庚烯基、1 一乙基一 2 -環己烯基、 2 -甲基—2 -金剛烷基、2 -乙基—2 -金剛烷基等； 三烷基矽烷基之具體例如三甲基矽烷基、三乙基矽烷基、 二甲基一 t e r t - 丁矽烷基等；羰烷基之具體例如3 一 羰基環己基、4 一甲基一 2 —羰基噁烷一 4 —基、5 —甲 基—5 -二氧五圜環一 4 —基等。y爲〇至6之整數。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R 爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或碳 數6至2 0之可被取代之芳基，可含有雜原子之1價烴基 例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η— 丁基、s e c -丁 基、ter t— 丁基、tei*t - 戊基、η—戊基、η -己基、環戊基、環己基等直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其 氫原子之一部份可被羥基、烷氧基、羧基、烷氧羰基、羰 基、胺基、烷胺基、氰基、氫硫基、烷硫基、磺基等所取 代之例示等；可被取代之芳基之具體例示如苯基、甲基苯 基、萘基、蒽基、菲基、芘基等。m爲〇或1 ，η爲〇、 1 、2 ' 3中之任一數，且爲滿足2m+n = 2或3之數 巨。 R1^06爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 527523 A7 B7 五、發明説明（） 15 碳數6至2 0之可被取代之芳基，其具體例如相 同內容者。R1^07至R1^16爲各自獨立之氫原子或碳數1 至1 5之可含有雜原子的1價烴基，例如甲基、乙基、丙 基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基 、t e r t -戊基、η —戊基、η —己基、η —辛基、η 一壬基、η -癸基、環戊基、環己基、環戊甲基、環戊乙 基、環戊丁基、環己甲基、環己乙基、環己丁基等直鏈狀 、支鏈狀或環狀烷基，其氫原子之一部份可被羥基、烷氧 基、羧基、烷氧羰基、酮基、胺基、烷基胺基、氰基、氫 硫基、烷硫基、磺基等所取代者；R ^ ^ 7至R ^ 1 6可相互 形成環（例如，R " 7 與 R L Q 8、R L ° 7 與 R L ° 9、R L 〇 8 與 RL1。、RL。9 與 RLiG、RLil 與 RLi2、RLi3 與 RU4等），此時，爲碳數1至15之可含有雜原子之2 價烴基，具體之例示如上記1價烴基之例示中去除1個氫 原子所得者；又，R " ^ 7至R l 1 6於相鄰接之碳進行鍵結 時可無須夾有其他原子而鍵結，或形成雙鍵（例如R ^ 01 7 與 rL0 9、rLQ9 與 rL15、rL13 與尺115等）。 上式（L 1 )所示酸不穩定基中，具有直鏈狀或支鏈 狀之取代基之具體例如下記之基。

丫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨^. 訂 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 -18- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 16 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上記式（L 1 )所示酸不穩定基中之環狀取代基之具 體例如四氫呋喃—2 -基、2 -甲基四氫呋喃—2 —基、 四氫吡喃一 2 —基、2 -甲基四氫吡喃—2 -基等。 上記式（L 2 )所示酸不穩定基中之具體例如 t e r t — 丁氧羰基、t e r t — 丁氧羰甲基、t e r t 一戊氧羰基、t e r t —戊氧羰甲基、1 ，i 一二乙基丙 氧羰基、1 ，1 一二乙基丙氧羰甲基、1—乙基環戊基氧 羰基、1 一乙基環戊基氧羰甲基、1 一乙基—2 -環戊烯 氧鑛基、1—乙基一 2 -環戊燦氧鑛甲基、1—乙氧乙氧 羰甲基、2 —四氫d比喃氧鑛甲基、2 -四Md夫喃氧碳甲基 等。 經濟部智慧財1局S工消費合作社印紫 上記式（L 3 )所示酸不穩定基之具體例示如1 -甲 基環戊基、1 一乙基環戊基、1 — η -丙基環戊基、1 一 異丙基環戊基、1 — η - 丁基環戊基、l_s ec -丁基 環戊基、1 一甲基環己基、1—乙基環己基、3 -甲基— 1 一環戊烯一 3 —基、3 —乙基一 1 一環戊烯一 3 -基、 3 —甲基—1 一環己燦_3 —基、3 -乙基—1 一環己燒 一 3 —基等。 上記式（L 4 )所示酸不穩定基之具體例示如下記所 示之基。

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 17 又，碳數4至2 0之三級烷基、各烷基各自爲碳數1 至6之三烷基矽烷基、碳數4至2 0之羰烷基之具體例示 係與R ^ ^ 4例示之內容相同。 上記式（1 - 1 )所示重複單位之具體例如下所示， 但本發明並不僅限定於此。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -20- 527523 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 18 上記式（1 - 2 )所示重複單位之具體例如下所示 但本發明並不僅限定於此。

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -21 - 527523 A7 B7 五、發明説明（） 19 上記式（2 - 1 )所示重複單位之具體例如下所示， 但本發明並不僅限定於此。

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財凌局員工消費合作钍印契 上記式（2 - 2 )所示重複單位之具體例如下所示， 但本發明並不僅限定於此。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 20

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上記式（4 )所示重複單位之具體例如下所示，但本 發明並不僅限定於此。

經濟部智慧財凌局員工消費合作社印繁 又，本發明之高分子化合物，於必要時，可再含有1 種或2種以上選自下記式（Ml )至（M8 — 2)所示重 複單位亦可。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -23- 527523 A7 B7 五、發明説明（21) r002 r001 R001 R°® p〇〇l p002 R00l μ .-一 Α-Λ

H (Ml) 〇〇jR H (M2) C〇^RU H CO2R0w H CO?R° (M3) 2 _ 2 1 (- Q： Ώ： ΞΣ Ώ

r〇〇^_4： _^咖 r0!Q_

/ J k L \、X〆 -R013 R00Z -R001. R002-

CO7R0<a H (M8-1) co2r' 015 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) R〇V^i)RM7 p0” p0l2 (M&l) H (M7-1)

(M8-2)

—R001 、C02R〇1S 訂 經濟部智慧財凌局員工消費合作社印災 (式中，R°q1爲氫原子、甲基或CH2C〇2R°°3 ;R002爲氫原子、甲基或C〇2R°。3 ; RQQ4爲碳數1 至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；爲氫原子或 碳數1至1 5之羧基或含羥基之1價烴基；R0""35至 R。。8中至少1個爲碳數1至1 5之羧基或含羥基之1價 烴基，其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至1 5之直鏈狀 、支鏈狀或環狀烷基；R005至R008可相互形成環，此 時R。。5至R。。8中至少1個爲碳數1至1 5之羧基或含 烴基之2價羥基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至1 5 之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；R009爲碳數2至 1 5之至少具有1種選自醚、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -24- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 22 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、醯胺、醯亞胺等部分結構之1價烴基；R ◦ 1。至R ^ 1 3 中至少1個爲碳數2至1 5之至少具有1種選自醚、醛、 酮、酯、碳酸酯、酸酑、醯胺、醯亞胺等部分結構之1價 烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至1 5之直 鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；至R013可相互鍵結形 成環，此時R。1。至R°13中至少1個爲碳數1至1 5之 至少具有1種選自醚、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺 、醯亞胺等部分結構之2價烴基，其他部分爲各自獨立之 單鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基； R014爲碳數7至1 5之多環式烴基或含多環式烴基之院 基；R〇15爲酸不穩定基；X爲CH2或氧原子；k爲0或 1 ) 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印¾ 其中，爲氫原子、甲基或CH2C〇2R°。3 ; R0()3之具體例係如後所述；R002爲氫原子、甲基或 C〇2R3;R003爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環 狀之烷基，具體而言例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η —丁基、sec - 丁基、ter t — 丁基、t er t —戊 基、n -戊基、n -己基、環戊基、環己基、乙基環戊基 、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基、金剛烷基、乙 基金剛烷基、丁基金剛烷基等；R0134爲氫原子或碳數1 至1 5之羧基或含羥基之1價烴基，具體而言例如，羧乙 基、羧丁基、羧環戊基、羧環己基、羧原菠烷基、羧金剛 烷基 '羥乙基、羥丁基、羥環戊基、羥環己基、羥原菠院 基、羥金剛烷基等；R Q。5至R。Q 8中至少1個爲碳數1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 527523 A7 _____B7 五、發明説明（） 23 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} IP-· 至1 5之羧基或含羥基之1價烴基，其他爲各自獨立之單 鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，碳數 1至1 5之羧基或含羥基之1價烴基之具體例如，_基、 羧甲基、羧乙基、羧丁基、羥甲基、羥乙基、羥丁基、2 —錢乙氧幾基、4 一竣丁氧幾基、2 -經乙氧鑛基、4〜 羥丁氧羰基、羧環戊氧基羰基、羧環己氧基羰基、竣原疲 烷氧基羰基、羧金剛烷氧基羰基、羥環戊氧基羰基、淫環 己氧基幾基、經原疲院氧基鑛基、經金剛院氧基駿基等； 碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基之具體例如與 R 〇 ◦ 3所示之內容相同；R。。5至R。Q 8可相互形成環，此 時RU5至Ra〇8中至少1個爲碳數1至1 5之羧基或含 羥基之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至 1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基，碳數1至1 5之 羧基或含羥基之2價烴基，具體之例如上記含有羧基或羥 基之1價烴基所例示之內容中去除1個氫原子者；碳數1 至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基之具體例如R()°3 所例示之內容中去除1個氫原子者。 經濟部智慧財1局S工消費合作社印製 R0。9之碳數2至1 5之至少具有1種選自醚、酸' 酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺、醯亞胺等部分結構之1價 烴基，具體而言例如甲氧甲基、甲氧乙氧基甲基、2 一一 氧五圜環—3 —基、2 —二氧五圜環一 4 —基、4 ’ 4 一 二甲基一 2 —二氧五圜環一 3 -基、4 一甲基一 2 —鑛基 噁烷一 4 一基、2 -羰基一 1 ，3 -二氧五圜環一 4 一基

本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 24 R〇i。至RQ13中至少1個爲碳數2至丄^之至少具 有1種選自醚、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺、醯亞 胺等部分結構之1價烴基’其他爲各自獨立之氫原子或碳 數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；碳數2至1 5 之至少具有1種選自醚、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯 胺、醯亞胺等部分結構之1價烴基，其具體例如甲氧甲基 、甲氧田氧甲基、甲醯基、甲基羰基、甲醯氧基、乙醯氧 基、三甲基乙醯基、甲醯氧甲基、乙醯氧甲基、三甲基乙 醯氧甲基、甲氧基羰基、2 -二氧五圜環- 3 -基氧羰基 、4 ，4 —二甲基一 2 —二氧五圜環—3 —基氧鑛基、4 一甲基一 2 —羰基噁烷—4 一基氧羰基、2 —羰基—1 ， 3 —二氧五圜環一 4 一基甲基氧羰基、5 -甲基—2 -二 氧五園環-5 -基氧鑛基等；碳數1至1 5之直鏈狀、支 鏈狀或環狀烷基，其具體例示例如與R ^ 13 3所示之內容相 同；RG1。至R013可相互形成環，此時R。1。至 RG13中至少1個爲碳數1至1 5之至少具有1種選自醚 、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺、醯亞胺等部分結構 之2價烴基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至1 5之直 鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；碳數1至1 5之至少具有 1種選自醚、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺、醯亞胺 等部分結構之2價烴基，其具體例如2 -氧雜丙烷- 1 ’ 3 —二基、1 ，1 一二甲基一氧雜丙烷—1 ，3 —二基、 1—氧雜丙烷—1 , 3 -二基、1 ，3 -二羰基—2 -氧 雜丙烷一 1 ，3 —二基、1 一羰基一 2 -氧雜丁院一 1 ’ 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財4局員工消費合作社印焚 -27- 527523 A7 B7 1 1 I·11 1 " 一 五、發明説明（） 25 4 —二基、1 ，3 -二羰基一 2 —氧雜丁烷一 1 ，4 一二 基等、及由上記碳數1至1 5之至少具有1種選自醚、醛 、酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺、醯亞胺等部分結構之1 價烴基中所例示之取代基中去除1個氫原子後所得之取代 基等；碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基之 具體例示例如與RQ。3所示內容中去除1個氫原子之內容 相同。 R。14爲碳數7至1 5之多環式烴基或含多環式烴 基之烷基，具體之例如原菠烷基、二環〔3·3·1〕壬 基、三環〔5 · 2 · 1 · 02’ 6〕癸基、金剛烷基、乙基 金剛烷基、丁基金剛烷基、原菠烷基甲基、金剛烷基甲基 等；R ^ 1 5爲酸不穩定基，其具體例如與前述之內容相同 ;X爲CH2或氧原子，k爲0或1。 上記式（Ml )至（M8 - 2)所示重複單位，係於 作爲光阻材料時，可賦予顯像液親和性、基板密著性、蝕 刻耐性等各種特性，故可適度地調整前述重複單位之含量 ，以對光阻材料之性能進行微調整。 又，本發明之高分子化合物之重量平均分子量，於聚 苯乙烯換算下之使用矽膠色層分析法（G P C )測定結果 爲1， 000至500, 000，較佳爲3, 000至 100, 000之範圍。超過此一範圍時，蝕刻耐性將極 端降低，而未能確保曝光前後之溶解速度差，而會有造成 解像性降低之情形。 本發明之高分子化合物之製造方法，係將下記式（1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 1«· 訂 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 -28- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 26 a )所示化合物作爲第1單體，並配合1至3種選自下記 式：（2 a ) 5 ( 4 a )所示化合物作爲第2至4單體，或 必要時’再配合1種或2種以上選自下記式（Ml a )至 (Μ 8 a )所示化合物作爲其後之單體，再以共聚合反應 方式製得。

(2a) -R4 (r8>p

R4 R7。’· （4a) p、R1至R8、Y具有與上記相同之內 OR7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 容）

Rm r〇〇i

(Mia)

經濟部智慧財產苟8工消費合作钍印契 R〇〇S——\ / -R008 R0,〇- 只 002 pOOl p003 ^α〇ΐ R0(C R001 H (M2a) 〇2R H _〇 C〇, Η (M4a)C〇^5 C) Ο Ο -R013 R002- ^001 Roa -R001 Ron ^012 (M6a) ^1. R006 (M5a) 陶 C〇,4 H _〇 Ο。，

(式中，k、R ° Q 1至R X具有與上記相同之 內容） 共聚合反應中，各單體之存在比例可進行適當之調節 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 27 ，以期於作爲光阻材料使用時可發揮出具有較佳性能& s 分子化合物。 本發明之高分子化合物，除 (i )上記式（1 a )所示單體， (i i)上記式（2a)至（4a)所示單體 (i i i)上記式（Mia)至（M8a)所示單體 以外，可再與 (i v )上記式（i )至（i i i )以外之含碳一碳 雙鍵之單體，例如甲基丙烯酸甲酯、巴豆酸甲g旨、馬$ _ 二甲酯、依康酸二甲酯等經取代丙烯酸酯類，馬來酸、富 馬酸、依康酸等不飽和羧酸、原菠烯、原菠_ __ 5 ___ 甲酯等經取代原菠烯類，依康酸酐等不飽和酸gf $ # {也m 體進行共聚合亦可。 本發明之高分子化合物中，以各單體爲基礎之各重複 單位較佳之比例，例如以下記範圍（莫耳％ )爲丨圭：但1 不僅限定於此。又，其中所稱％皆爲莫耳％。 (I )高分子化合物，係含有以上記式（1-1 )所 示重複單位與（2 - 1 )所示重複單位時，可各自含·有* ① 以式（1 a )之單體爲基礎之式（1 — 1 )所示重 複單位係含有1至9 0%，較佳爲含有5至8 0%，更佳 爲含有1 0至7 0 %， ② 以式（2 a )之單體爲基礎之式（2 - 1 )所示重 複單位係含有1至9 0%，較佳爲含有5至8 0%，更佳 爲含有1 0至7 0 %， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 -30- 527523 A7 ____B7_ 五、發明説明（） 28 ③ 以式（M5 a )至（M8 a )之單體爲基礎之式（ M5 - 1 )至（M8 - 1 )所示重複單位係含有〇至5 0 % ’較佳爲含有0至4 0%，更佳爲含有0至3 0%， ④ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至5 0%， 較佳爲含有0至4 0%，更佳爲含有0至3 0%者。 (I I )高分子化合物，係含有以上記式（1 一 1 ) 所示重複單位與（2 - 1 )所示重複單位與（3 )所示重 複單位時，可各自含有 ① 以式（1 a )之單體爲基礎之式（1 一 1 )所示重 複單位係含有1至4 9%，較佳爲含有3至4 5%，更佳 爲含有5至40%， ② 以式（2 a )之單體爲基礎之式（2 - 1 )所示重 複單位係含有1至4 9%，較佳爲含有3至4 5%，更佳 爲含有5至40%， ③ 以式（3 a)之單體爲基礎之式（3)所示重複單 位係含有5 0莫耳％， ④ 以式（M5 a)至（M8 a )之單體爲基礎之式（ M5 - 1 )至（M8 - 1 )所示重複單位係含有0至2 5 %，較佳爲含有0至2 0%，更佳爲含有0至1 5%， ⑤ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至2 5%， 較佳爲含有0至2 0%，更佳爲含有0至1 5%者。 (I I I )高分子化合物，係含有以上記式（1 一 1 )所示重複單位與式（4 )所示重複單位或式（2 - 1 ) 所示重複單位及（4 )所示重複單位與（3 )所示重複單 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ^1. 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製 -31 - 527523 A7 B7 五、發明説明（） 29 位時，可各自含有 ① 以式（1 a )之單體爲基礎之式（1 一 ；l )所$ m (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 複單位係含有1至4 9%，較佳爲含有3至4 5%， 爲含有5至4 0%， ② 以式（2 a )之單體爲基礎之式（2 - 1 )所 複單位係含有〇至4 0%，較佳爲含有0至3 5%， 爲含有0至3 0%， ③ 以式（4 a )之單體爲基礎之式（4)所示 位係含有1至8 0%，較佳爲含有1至7 0%，更丨圭胃# 有1至5 0 %， ④ 以式（3 a )之單體爲基礎之式（3)所示 位係含有1至4 9%，較佳爲含有5至4 5%，更（圭爲$ 有1 0至4 0 %， ⑤ 以式（Ml a)至（M8 a)之單體爲基礎之式（ Ml )至（M8 - 1 )所示重複單位係含有0至2 5%， 較佳爲含有0至2 0%，更佳爲含有0至1 5%， ⑥ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有0至2 ， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ 較佳爲含有0至2 0%，更佳爲含有0至1 5%者。 (I V )高分子化合物，係含有以上記式（1 一 2 ) 所示重複單位與（2 - 2 )所示重複單位時，可各自含有 ①以式（1 a )之單體爲基礎之式（1 — 2)所示重 複單位係含有1至9 0%，較佳爲含有5至8 0% ’更佳 爲含有10至70%， 0以式（2 a )之單體爲基礎之式（2 - 2)所示重 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 30 複單位係含有1至9 0% ’較佳爲含有5至8 0%，更佳 爲含有1 0至70%， ③ 以式（M5 a )至（M8 a )之單體爲基礎之式（ M5 — 2 )至（M8 - 2 )所不重複單位係含有q至5 〇 %，較佳爲含有0至40%，更佳爲含有0至30%， ④ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至5 0%， 較佳爲含有0至4 0%，更佳爲含有0至3 0%者。 製造本發明之高分子化合物之共聚合方法，可以各種 形式進行，較佳之方法例如自由基聚合、陰離子聚合或配 位聚合反應等方法。 自由基聚合反應之反應條件爲，（a )溶劑係使用苯 等烴類、四氫呋喃等醚類、乙醇等醇類、甲基異丁酮等酮 類，（b )聚合起始劑係使用2，2 < -偶氮雙異丁腈等 偶氮化合物，或過氧化苯甲醯、過氧化月桂隨等過氧化物 ，（c )反應溫度保持在0 °C至1 0 0 t之範圍，（d ) 反應時間以在0 . 5小時至4 8小時間之範圍爲佳，但反 應並不限定需在此範圍以內。 陰離子聚合反應之反應條件爲，（a )溶劑係使用苯 等烴類、四氫呋喃等醚類、或液態胺，（b )聚合起始劑 係使用鈉、鉀等金屬，η -丁基鋰、s e c -丁基鋰等鹼 金屬，縮酮，或格利雅反應劑，（c )反應溫度保持在 一 7 8 °C至0 °C之範圍，（d )反應時間以在〇 · 5小時 至4 8小時間之範圍，（e )停止劑使用甲醇等陽離子供 應性化合物，碘化甲酯等鹵化物，或其他親電子性物質等 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 P. 經濟部智慈財凌局員工消費合作钍印焚 -33- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 31 爲佳，但反應條件並不僅限定在此範圍以內。 配位聚合反應之反應條件爲，（a )溶劑係使用η 一 庚烷、甲苯等烴類，（b)觸媒係使用鈦等過渡金屬與烷 基鋁所得之齊格勒觸媒、鉻與鎳化合物負載於金屬氧化物 上之菲利浦斯觸媒、及以鎢與銶之混合觸媒爲代表之烯烴 -取代之混合觸媒等，（c )反應溫度保持在〇 t至 1 0 0 °C之範圍，（d )反應時間以在〇 · 5小時至4 8 小時間之範圍爲佳，但並非將此範圍以外之情形排除。 本發明之高分子化合物，極適合作爲光阻材料之基礎 聚合物，本發明，並提供一種含有此高分子化合物之光阻 材料，特別是增強化學性正型光阻材料。 本發明之光阻材料，係含有可感應尚能量線或電子線 以產生酸之化合物（以下簡稱酸產生劑）、有機溶劑，必 要時可再含有其他成分。 本發明所使用之酸產生劑例如： 下記式（Pla — 1) 、（Pla - 2)或（Plb )之鎗鹽， 下記式（P2)之二偶氮甲烷衍生物， 下記式（P3)之乙二肟衍生物， 下記式（P4)之雙磺酸衍生物， 下記式（P 5 )之N -羥基醯亞胺化合物之磺酸酯， Θ -酮磺酸衍生物， 二磺酸衍生物， 硝基苄基磺酸酯衍生物， 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財4局員工消費合作社印焚 -34- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 32 磺酸酯衍生物 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) plOlb

Rim«_i：_r〗〇 化 R101*-1-R,01b 1C K*

Pla-1 Pla*2 (式中，RHia、R1C)ib、R1。1。各自爲碳數1至 1 2之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基、烯基、羰烷基或羰烯 基，碳數6至2 0之芳基，或碳數7至1 2之芳烷基或芳 羰烷基等，此些基中氫原子之一部份或全部可被烷氧基等 所取代。又，R 1。1 b與R 1。1。可形成環，形成環時， Rl〇lb、各自爲碳數1至6之伸烷基。κ 一爲非 親核性對向離子）。 上記R 1。1 a、R 1。1 b、R 1 Q 1。可相互爲相同或不同 ，具體例中，烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η — 丁基、s e c - 丁基、t e r t -丁基、戊基、己基、庚 經濟部智慧財產局員工消費合作社印災 基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、環丙甲基、4 -甲 基環己基、環己甲基、原疲院基、金剛院基等。燒基例如 乙嫌基、燃丙基、丙燃基'丁烧基、己燒基、環己燒基等 。鑛院基例如2 -鑛基環戊基、2 -羰基環己基等、2 -羰基丙基、2 -環戊基—2 -羰基乙基、2 -環己基一 2 一羰基乙基、2 -（4 一甲基環己基）一 2 —羰基乙基等 ;芳基例如苯基、萘基等或，p -甲氧基苯基、m —甲氧 基苯基、〇 —甲氧基苯基、乙氧基苯基、p—t e r t-丁氧基苯基、m - ter t — 丁氧苯基等院氧苯基，2 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 527523 A7 B7 五、發明説明（ 33 甲基苯基、3 -甲基苯基、4 —甲基 — ter t — 苯基 氧基萘 基萘基 甲基萘 基等烷 ，二甲 烷基例如苄基 丁基苯 基、乙 氧基萘 氧基萘 、苯基 基、4 — 基萘基等 基，二甲 基、二乙 丁基苯 烷基萘 基萘基 氧基蔡 苯基、乙基苯基、4 基、二甲基苯基等焼 基，甲氧基萘基、乙 、二乙基萘基等二院 基等一·院基蔡基；方 乙基、苯乙基等；芳羰烷基例如2 -本基—2 —簾乙基、2 — (1—蔡基）一 2 —鑛乙基、2 一（2 —萘基）一 2 —羰乙基等2 -芳基—2 -羰乙基等 非親核 物離子 。K 等鹵化 鹽、全氟丁院 酸鹽、4 一戴 基磺酸鹽等芳 酸鹽等。 R104·- 性對向 ，三氟 磺酸鹽 苯基磺 基磺酸 32a pi〇2b 離子，例如氯化物離子、溴化物離子 甲酸鹽、1 ，1 等氟烷基磺酸鹽 酸鹽、1 ，2， 鹽，甲磺醯鹽 1 一三氟乙院礦酸 甲苯磺酸鹽、苯磺 3 ，4 ，5 -五氟苯 丁院酸鹽等院基擴 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印发

Plb (式中，R1。23、R1()2b各自爲碳數1至8之直鏈 狀、支鏈狀或環狀院基；RiClu爲碳數1至]_ Q之直鏈狀 、支鏈狀或環狀伸烷基；R1Q4a、R1Q4b各自爲碳數3 至7之2 -羰烷基；K 一爲非親核性對向離子）。 上記R R 基、異丙基、 、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環丙甲 、4 -甲基環己基、環己基甲基等。R1。3之具體例如 1 0

R 0 2 之具體例如甲基、乙基、戸 一 丁基、s e c -丁基 e r t 丁基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 34 甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基、伸庚 基、伸辛基、伸壬基、1 ，4 一伸環己基、1 ，2 一伸環 己基、1 ，3 —伸環戊基、1 ，4 一伸環辛基、1 4 一 伸環己二甲基等。R104a、R1Q4b例如2 —羰基丙基、 2 -羰基環戊基、2 -羰基環己基、2 -羰基環庚基等。 K —與式（PI a — 1)及（P 1 a - 2)所說明之內容 相同。

ri〇5_SO 丄。, P2 (式中，R 1。5、R 1 Q 6爲碳數1 支鏈狀或環狀烷基或鹵化烷基，碳數6 化芳基或碳數7至12之芳烷基）。 R1Q5、R1Q6之烷基例如甲基、 至1 2之直鏈狀、 至2 0之芳基或鹵 乙基、丙基、異丙 基、η— 丁基、sec - 丁基、ter t — 丁基、戊基、 己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、原疲院基 、金剛烷基等；鹵化烷基例如三氟甲基、1 ，1 ’ i 一三 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 P. 經濟部智慧財產局員工消費合作fi印製 丁基等；芳基例如 〇 —甲氧苯基、乙 氟乙基、1 ，1 ，1 一三氯乙基、九氟 苯基、P —甲氧苯基、m -甲氧苯基、 氧苯基、P— t e r t — 丁氧苯基、m— t e r t -丁氧 苯基等烷氧苯基；2 -甲基苯基、3 -甲基苯基、4 一甲 基苯基、乙基苯基、4— t e r t — 丁 苯基 基、 基苯基、4 一丁基 甲基苯基等烷基苯基；鹵化芳基之氟苯基' 2，3 ，4，5 —五氟苯基等；芳烷基例如；基 苯乙基等 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -37- 527523 A7 B7 五、發明説明（35)

r1〇7_SO

P3 (式中’ R1。7、R1。8、R1Q9爲碳數1至1 2之直 鏈狀、支鏈狀、環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至2 0之芳 基或鹵化芳基，或碳數7至1 2之芳烷基；R1。8、 R 1 ^ 9可相互鍵結形成環狀構造，形成環狀構造時， $、R1(39各自爲碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀之伸 R 1 0 8 烷基）。 R1。7、Ri。8、RlQ9之烷基、鹵化烷基、芳基、鹵 化芳基、芳烷基之例示與R 1 ◦ 5、R 1 Q 6之說明內容相同 ;又，R 1。8、R 1 ° 9之伸烷基則如伸甲基、伸乙基、伸 丙基、伸丁基、伸己基等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ,101

-S~R,0,b P4 (式中，R 1

R 1 0 具有與上記相同之內容 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 P5 (式中，R 1 1 0爲碳數6至1 0之伸芳基、碳數丄 至6之伸院基或碳數2至6之伸烯基，此些取代;基中氫原 子之一部份或全部可再被碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀之 烷基或烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代；Riii爲碳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -38- 527523 A7 __B7__ 五、發明説明（） 36 數1至8之直鏈狀、支鏈狀或經取代之烷基、烯基或烷氧 烷基、苯基、或萘基，此些取代基中氫原子之一部份或全 部可再被碳數1至4之烷基或烷氧基；碳數1至4之烷基 、烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代之苯基；碳數3一至 5之雜芳基；或氯原子、氟原子所取代亦可）。 其中，R 1 1。之伸芳基例如1 ，2 -伸苯基、1 ，8 一伸萘基等；伸烷基例如伸甲基、1 ，2 -伸乙基、1 ’ 3 —伸丙基、1 ，4 一伸丁基、1—苯基一 1 ，2 -伸乙 基、原菠烷一 2，3 —二基等；伸烯基例如1 ，2 -伸乙 烯基、1 一苯基一 1 ，2 -伸乙烯基、5 -原菠烷一 2， 3 —二基等。R111之烷基則與之內容 相同，烯基例如乙烯基、1-丙烯基、烯丙基、1 - 丁烯 基、3 — 丁烯基、異丁烯基、1—戊烯基、3 -戊烯基、 4 一戊烯基、二甲基烯丙基、1—己烯基、3 —己烯基、 5 -己烯基、1 一庚烯基、3 -庚烯基、6 -庚烯基、7 -辛烯基等；烷氧烷基例如、甲氧甲基、乙氧甲基、丙氧 甲基、丁氧甲基、戊氧甲基、己氧甲基、庚氧甲基、甲氧 乙基、乙氧乙基、丙氧乙基、丁氧乙基、戊氧乙基、己氧 乙基、甲氧丙基、乙氧丙基、丙氧丙基、甲氧丁基、乙氧 丁基、丙氧丁基、甲氧戊基、乙氧戊基、甲氧己基、甲氧 庚基等。 又，可再被取代之碳數1至4之烷基，例如甲基、乙 基、丙基、異丙基、η -丁基、異丁基、t e r t -丁基 等’碳數1至4之烷氧基，例如甲氧基、乙氧基、丙氧基 本纸張尺度適用巾1]@家標準（(：刚4侧^(2獻297公慶） '~'"" -39- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ 經濟部智慧財產局資工消費合作社印¾ 527523 Α7 Β7 五、發明説明（） 37 、異丙 等，碳 苯基， 氧基 η 丁氧基、異丁氧基、t e r t - 丁氧基 院基、烷氧基、硝基或乙醯基所取代之 數1至4之 例如苯基、甲苯基、p〜t e r t - 丁氧苯基 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製

P -乙釀苯基、p -硝基苯基等；碳數3至5之雜芳基例如 吡啶基 具 磺酸（ 酸二苯 、呋喃基等。 體而言，例如三氟 p — t e r 基确鐵、ρ )苯基碘鏺 -t e —t e ter 甲苯礦 苯磺酸 磺酸三 甲烷碳酸二 t 一丁氧苯基 一甲苯磺酸（ 酸三苯 二苯基 )苯基碘鏺、P -r t 一丁 P 一 t 氟甲烷磺 r t 一丁氧苯基） rt - 丁氧苯基）苯基銃 t — 丁氧苯基）銃、ρ 一 r t 一丁氧 酸（P - t 雙（P - t (P — t e 苯基銃、丁烷磺酸 -甲苯磺酸三甲基 環己基 銃、三 基硫、 己基苯 基（2 )甲基 戊基） )硫、ρ -氟甲烷磺酸 三氟甲烷磺 基硫、二氟 -羰基環己 (2 -羰基 锍三氟甲烷 e r t r t -三苯基 锍、三 甲苯磺 二甲基 酸二環 甲烷磺 基）锍 環己基 磺酸酯 一丁氧 丁氧苯 硫、二 氟甲烷 酸環己 苯基銃 己基苯 三萘基 、三氟 )硫、 Μ、三 、三氟 甲苯磺 苯基） 苯基） 基）統 氟甲烷 磺酸環 甲苯磺 氧苯基 酸（Ρ 雙（Ρ (Ρ — 三氟甲烷磺 氟甲烷磺酸 甲烷磺酸三 酸三苯基锍、Ρ -二苯基銃、Ρ -甲 苯基锍、Ρ —甲苯 、九氟丁烷磺酸三 磺酸三甲基锍、ρ 己甲基（2 -羰基 甲基（2 -羰基環 己基） ' Ρ -甲苯磺酸二甲基苯 Ρ -甲苯磺酸二環 氟甲烷磺酸環己甲 基疏、 硫、三 甲院磺 乙烯雙 ，2 一 酸（2 -原菠烷基 〔甲基（2 -羰環 -萘基幾甲基四氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） •40- 527523 Α7 Β7 五、發明説明（） 38 硫鹽三聚物等鑰鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（P 〜甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（二甲苯磺醯基）二偶氮 甲燒、雙（環己磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環戊磺醯基） 二偶氮甲烷、雙（η -丁基磺醯基）二偶氮甲烷 '雙（異 丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（s e c - 丁基磺醯基）二 偶氮甲烷、雙（η -丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丙 基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（t e I* t - 丁基磺醯基）二 偶氮甲烷、雙（η -戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異戊 基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（s e c -戊基磺醯基）二偶 氮甲烷、雙（t e r t -戊基磺醯基）二偶氮甲烷、1 一 環己基磺醯基一 1— ( t e I* t - 丁基磺醯基）二偶氮甲 院、1—環己基磺醯基一 1— ( t e r t -戊基磺醯基） ~偶氮甲院、1 一 t e r t -戊基礦釀基一 1 一（ t e r t - 丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍生物 ;雙一〇—（p —甲苯磺醯基）—α 一二甲基乙二肟、雙 一〇一（Ρ —甲苯磺醯基）一α —二苯基乙二肟、雙一〇 一（Ρ —甲苯磺醯基）—α -二環己基乙二肟、雙一〇一 (Ρ —甲苯磺醯基）一 2 ，3 —戊二醇乙二肟、雙一〇一 (Ρ —甲苯磺醯基）—2 -甲基一 3 ，4 一戊二酮乙二肟 、雙一〇—（η — 丁烷磺醯基）一α —二甲基乙二肟、雙 —〇一（η — 丁烷磺醯基）一α —二乙基乙二肟、雙一〇 一（η -丁烷磺醯基）—α —二環己基乙二肟、雙一〇一 (η— 丁烷磺醯基）一 2 ，3 —戊二醇乙二肟、雙一〇一 (η — 丁院碌醯基）一 2 —甲基—3，4 一戊二醇乙二3弓 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作fl印发 -41 - 527523 A9 B9 C9 D9 圖式 39 (請先閱讀背面之注意事項再行繪製) 、雙—(甲烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟、雙一〇 一（三氟甲烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟、雙—〇—（ 1 ，1 ，1—三氟乙烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟、雙 —( t e r t — 丁烷磺醯基）—α -二甲基乙二肟、 雙一 ◦一 （全氟辛烷磺醯基）—α —二甲基乙二肟、雙一 〇一（環己烷磺醯基）一α —二甲基乙二肟、雙—〇—（ 苯礦釀基）—0L — —*甲基乙一月5、雙—〇—（Ρ— ^基本 磺醯基）一α —二甲基乙二肟、雙—〇一 （p — t e r t 一丁基苯磺醯）一α —二甲基乙二肟、雙一〇—（二甲苯 磺醯基）一 二甲基乙二肟、雙一 ◦一 （莰烷磺醯基） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 —α —二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺醯甲烷、 雙三氟甲基磺醯甲烷、雙甲基磺醯甲烷、雙乙基磺醯甲烷 、雙丙基磺醯甲烷、雙異丙基磺醯甲烷、雙- Ρ -甲苯磺 醯甲烷··雙苯磺醯甲烷等雙磺醯衍生物；2 -環己基羰基 一 2 -（Ρ —甲苯磺醯）丙院、2 -異丙基礙醯基一 2 -(Ρ -甲苯磺醯基）丙烷等沒-酮碾衍生物；二苯基二碼 、二環己基二砸等二硕衍生物；Ρ —甲苯磺酸2，6 -二 硝基苯酯、Ρ -甲苯磺酸2，4 -二硝基苯酯等硝基苯基 磺酸酯衍生物；1 ，2，3 -三（甲烷磺醯基氧）苯、1 ，2，3 —三（三氟甲烷磺醯基氧）苯、1 ，2，3 —三 (ρ -甲苯磺醯氧基）苯等磺酸酯衍生物。Ν -羥基琥珀 醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯 、Ν -羥基琥珀醯亞胺乙烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺 1 -丙烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺2 -丙烷磺酸酯、 本姑‘張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） " ' -42- 527523 A9 B9 C9 D9 圖式 40 (請先閲讀背面之注意事項再行繪製) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印复 N -羥基琥珀醯亞胺1 -戊烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞 胺1 -辛烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺p -甲苯磺酸酯 、N -羥基琥珀醯亞胺p -甲氧苯基磺酸酯、N -羥基琥 珀醯亞胺2 -氯乙烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺苯基磺 酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺- 2，4，6 -三甲基苯磺酸 酯、N -羥基琥珀醯亞胺1 -萘磺酸酯、N -羥基琥珀醯 亞胺2 -萘磺酸酯、N -羥基- 2 -苯基琥珀醯亞胺甲烷 磺酸酯、N -羥基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基馬來 醯亞胺乙烷磺酸酯、N -羥基- 2 -苯基馬來醯亞胺甲烷 磺酸酯、N -羥基谷氨醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基谷氨 醯亞胺苯磺酸酯、N -羥基鄰苯二甲醯亞胺甲烷磺酸酯、 N -羥基鄰苯二甲醯亞胺苯磺酸酯、N -羥基鄰苯二甲醯 亞胺三氟甲烷磺酸酯、N -羥基鄰苯二甲醯亞胺p -甲苯 磺酸酯、N -羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基萘基 醯亞胺苯磺酸酯、N -羥基—5 -原菠烷基一 2，3 -二 羧基醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基一 5 -原菠烷基- 2， 3 -二羧基醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N -羥基-5 -原菠 烷基一 2，3 -二羧基醯亞胺p -甲苯磺酸酯等N -羥基 醯亞胺之磺酸酯衍生物等；三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟 甲烷磺酸（P - t e r t — 丁氧苯基）二苯基锍、三氟甲 烷磺酸三（P - t e r t - 丁氧苯基）銃、p —甲苯磺酸 三苯基銃、P -甲苯磺酸（P - t e r t - 丁氧苯基）二 苯基锍、p —甲苯磺酸三（p - t e r t - 丁氧苯基）锍 、三氟甲烷磺酸三萘基銃、三氟甲烷磺酸環己基甲基（2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -43- 527523 Α7 Β7 五、發明説明（） 41 -羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸-原菠烷基）甲基 (2 -羰基環己基）銃、1 ’ 2 / -萘羧甲基四氫硫苯鑰 三氯甲院等_鹽；雙（苯磺驢基）二偶氮甲院、雙（p 一 甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯基）二偶氮甲 烷、雙（η - 丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺醯 基）二偶氮甲烷、雙（s e c — 丁基磺醯基）二偶氮甲烷 、雙（η -丙基碳醯基）二偶氮甲院、雙（異丙基碌醯基 )二偶氮甲烷、雙（t e r t - 丁基磺醯基）二偶氮甲烷 等一偶氮甲院衍生物·，雙一〇一（ρ —甲苯擴基）一 α —二甲基乙二肟、雙一〇一 （η —丁烷磺醯基）—α -二 甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺酸甲烷等雙磺酸衍 生物等。又以Ν -羥基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν -羥基 琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺1 -丙 烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺2 -丙烷磺酸酯、Ν -羥 基琥珀醯亞胺1 -戊烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺ρ -甲苯磺酸酯、Ν -羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν -羥基 萘基醯亞胺苯磺酸酯等Ν -羥基醯亞胺化合物之磺酸酯衍 生物爲較佳。又，上記酸產生劑可單獨1種或將2種以上 組合使用。鎗鹽有提高矩形性之優良效果，二偶氮甲烷衍 生物及乙二肟衍生物具有優良之降低定在波之效果，兩者 之組合可對圖型外形進行微調整。 酸產生劑之添加量，以對基礎樹脂1 〇 〇份（重量份 ，以下相同）較佳爲0·1〜15份，更佳爲0·5〜8 份。若低於0 . 1份時會有感度惡化之情形產生，高於 本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財凌局8工消費合作社印製 -44- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 42 1 5份時會使透明性降低而會產生解像性惡化之情形。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明所使用之有機溶劑，只要是可以溶解基礎樹脂 、酸產生劑、其他添加劑等之有機溶媒皆可以使用。此有 機溶劑例如，環己酮、甲基—2 - η -戊酮等酮類；3 -甲氧基丁醇、3 —甲基—3 —甲氧基丁醇、1—甲氧基— 2 —丙醇、1 一乙氧基一 2 -丙醇等醇類；丙二醇單甲基 醚、乙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚 、丙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚等醚類；丙二醇單 甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙酮 酸乙酯、乙酸丁酯、3 -甲氧基丙酸甲酯、3 -乙氧基丙 酸乙酯、乙酸t e r t — 丁酯、丙酸t e r t — 丁酯、丙 酸乙二醇一單一 t e r t -丁醚乙酸酯等酯類，其可單獨 使用1種或將2種以上混合使用，且不限定於上述化合物 。本發明中，此些溶劑中對光阻成份中酸產生劑之溶解性 最優良的除二乙二醇二甲基醚或1 一乙氧基一 2 -丙醇以 外，其他如作爲安全溶劑之丙二醇單甲基醚乙酸酯及其他 混合溶劑皆可以配合使用。 經濟部智慧財/i局員工消費合作T1印製 有機溶劑之使用量，以對基礎樹脂1 0 0份爲2 0 0 至1， 000份，又以400至800份爲更佳。 本發明之光阻材料中，可再添加與含有上記式（i 一 1 )或（1 - 2 )所示重複單位的高分子化合物不同之其 他高分子化合物。 上記其他高分子化合物的具體例，如具有下式（R 1 )及/或下式（R2)所示之重量平均分子量1，〇〇〇 本纸悵尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' ' 527523 A7 B7 五、發明説明（） 43 〜500, 000，較佳爲5， 000〜100， 〇〇〇 之高分子化合物，但並不受此內容所限制。 R(02 R001 R°°2 r〇〇> R002 r001 r002 · R001

、CO2R0W H b〇2R' "icr (~~- 〇2R014 h )c7 ~~)df COjR015 *id7 , 〇s ~)e. =^0 (Ri) R008 Rq,q- -R013 Ra Rk- f R011 R〇12 co2r014 h co2r015

d016 (R0,7)„

，(or0,5)z (〇HV (R2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) JP-· 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 (式中，R。。！爲氫原子、甲基或CH2C〇2R ο 0 2 ^ ^ ^ ^ - n°°3;RGG3 爲碳數 1 〇 13 4爲氫原子或 0 0 5 0 0 3

;R〇。。爲氫原子、甲基或C〇2R 至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R 碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基；R 中至少1個爲碳數1至1 5之羧基或含羥基之1價 烴基，·其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至1 5之直鏈狀 、支鏈狀或環狀烷基；rQ^5至RQQ8可相互形成環，此 時R。。5至Re()3中至少1個爲碳數1至1 5之羧基或含 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -46- 527523 A7 B7 ' 丨丨丨 _-- — 1 1 -1----------- 五、發明説明（） 44 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 烴基之2價羥基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至1 5 之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；R009爲碳數2至 15之至少具有1種選自醚、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐 、醯胺、醯亞胺等部分結構之1價烴基；R。1 03至R 1 3 中至少1個爲碳數2至1 5之至少具有1種選自醚、醛、 酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺、醯亞胺等部分結構之1價 烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至1 5之直 鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R。1 13至R G 1 3可相互鍵結形 成環，此時R。1。至RQ13中至少1個爲碳數1至1 5之 至少具有1種選自醚、醛、酮、酯、碳酸酯、酸酐、醯胺 、醯亞胺等部分結構之2價烴基，其他部分爲各自獨立之 單鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基； R°14爲碳數7至1 5之多環式烴基或含多環式烴基之烷 基；RQ15爲酸不穩定基；RG16爲氫原子或甲基；R。17 爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；X爲C H2或 或 ο 爲 v k 子 原 氧 2 a 2 b 3 b 2 c 經濟部智慧財1局Μ工消費合作社印製 2 d 3 d 且 數 之 下 以 1± 上 以 ο 爲 a 足 滿 \ 1 1 II c ^ + e 2 a a 2 b + IX b 3 b d + 3 c + \ 2 c 足 滿 且 數 之 下

X y Ζ bo h 以 1 + 上 3 以 d ο + 爲 2 j d . V.

5 VII II X > VII 。 j 1 ) +足數 . 滿之 i 且 3 + ， VII ' 數' h 整 z +之 + > 3 〆 g至y+ ο νιι ' 爲 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4洗格（210X 297公釐） -47- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 45 又，其各自取代基之具體例如與先前之內容相同。 上記含有式（1 一 1 )與式（1 一 2)所示重複單位 之高分子化合物與其他高分子化合物之配合比例，以 100 ··0 至 10·· 90，又以 100:0 至 20:80 之重量比的範圍爲最佳。上記含有式（1 - 1 )與式（1 - 2 )所示重複單位之高分子化合物之配合比例低於此範 圍時，作爲光阻材料時並不能得到較佳之性能。又，可以 對上述配合比例作適當變更之方式，以對光阻材料之性能 進行調整。 又，上記其他高分子化合物並不僅限定添加1種，亦 可添加2種以上。一般以使用多數種高分子化合物之方式 即可對光阻材料之性能進行調整。 本發明之光阻材料，可再添加溶解控制劑。溶解控制 劑爲平均分子量100〜1， 000,更佳爲150〜 8 0 0之分子內具有2個以上苯酚性羥基之化合物，且該 苯酚性羥基中之氫原子受酸不穩定基以全體平均之0〜 1 0 0莫耳％的比例取代所得之化合物，或分子內具有羧 基之化合物且其羧基中之氫原子受酸不穩定基以全體平均 之5 0至1 0 0莫耳％之比例取代的化合物。 又，苯酚性羥基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率 ，平均而言係對苯酚性羥基全體爲0莫耳％以上，較佳爲 3 0莫耳％以上，其上限爲1 〇 〇莫耳％，較佳爲8 0莫 耳％ ;羧基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率，平均而 言係對羧基全體爲5 0莫耳％以上，較佳爲7 0莫耳％以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1«· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -48- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 46 上，且其上限爲100莫耳％。 此時，上記具有2個以上苯酚性羥基之化合物或具有 羧基之化合物，例如下式（D 1 )〜（D 1 4 )所示化合 物0 R20 D4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

(〇H)r 〇201 f /^>(〇H)r 1«·

R2〇is^_y D6

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印髮

R20V"T〇H)r R20,s"(OH)r D8

：OOH

H^COOH D13 D12

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X29*7公釐） -49- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 47 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，R2Q1、R2。2各自爲氫原子、或碳數1至 8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R2。3爲氫原子、或碳 數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基、或 一（11207) 11(：〇〇11;11204爲一((：^12) i - ( i =2至10)、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、 氧原子或硫原子；R2。5爲碳數1至1 〇之伸烷基、碳數 6至1 〇之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子； R2()6爲氫原子、碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯 基、或各自受烴基所取代之苯基或萘基；R2。7爲碳數1 至1 0之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R2(D8爲氫原子或烴基 ;』爲0至5之整數；u、h爲〇或1 ; s 、t 、s /、 t 、s t 爲各自滿足s+t=8、s + t — = 5 、s > * + t / ，且爲各苯酚骨架中至少 具有一個經基之數；a爲式（D8) 、（D9)之化合物 之分子量爲100至1, 000之數。） 上δ己式中’R 、R 例如氨原子、甲基、 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基；R 2 Q 3則例如與 R2。1、R2Q2爲相同之化合物，或一 c〇〇H、 —CH2C〇〇H ; R2。4例如伸乙基、伸苯基、羰基、磺 醯基、氧原子、硫原子等；R 2 13 5例如伸甲基、或與 R 2 4爲相同之化合物；R 2 ° 6例如氫原子、甲基、乙基 、丁基、丙基、乙烯基、環己基、各自受羥基取代之苯基 、萘基等。 其中，溶解控制劑之酸不穩定基，可作各種選擇，具 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -50- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 48 體之例如下記式（L 1 )至（L 4 )所示之取代基、碳數 4至2 〇之三級烷基、各烷基之碳數爲1至6之三烷基矽 烷基 '碳數4至2 0之羰烷基等。

Run I -C一fU (L1) (L2)

-OR103 -一 (CH^—y-〇RLW

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財1局8工消費合作社印說 (式中，RL。1、RLG2爲氫原子或碳數1至1 8之 直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；RL(D3爲碳數1至1 8之可 含有氧原子等雜原子之1價烴基；R L ^ 1與R L Q 2、 、1^〇2與111()3可形成環，形成環時， R1^1、RLQ2、RLQ3各自爲碳數1至1 8之直鏈狀或支 鏈狀之伸烷基；RLQ4爲碳數4至2 0之三級烷基、各烷 基爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至2 0之羰烷基 或上記式（L 1 )所示取代基；Rl()5爲碳數1至8之可 含有雜原子之1價烴基或碳數6至2 0之可被取代之芳基 ;R1^06爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或碳數 6至2 0之可被取代之芳基；RL。7至RL16爲各自獨立 之氫原子或碳數1至15之可含有雜原子之1價烴基； 至rlu可相互形成環，此時，可爲碳數1至1 5 之可含有雜原子之2價烴基；又，RU7至RU6於相鄰 接之碳進行鍵結時，可無須夾有其他原子而鍵結，或形成 雙鍵；y爲0至6之整數；m爲0或1 ，η爲〇、1 、2 訂 本纸乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -51 - 527523 A7 B7 五、發明説明（） 49 或3，且爲滿足2m+n = 2或3之數）。 又，各取代基之具體例示係與前記之內容相同。 上述溶解控制劑之添加量，以對基礎樹脂1 〇 〇份爲 0至5 0份，較佳爲0至4 0份，更佳爲0至3 0份，其 可單獨或將2種以上混合使用。添加量超過5 0份時，會 使圖型之膜產生衰減，而有使解像度降低之情形。 又，上記溶解控制劑中，對具有苯酚性羥基或羧基之 化合物，可以使用有機化學試劑以導入酸不穩定基之方式 合成。 此外，本發明之光阻材料可再添加鹼性化合物。 鹼性化合物以可抑制因酸產生劑產生之酸在光阻膜內 之擴散速度之化合物爲佳。添加鹼性化合物可抑制光阻膜 中酸之擴散速度而使解像度提高，進而抑制曝光後之感度 變化，降低基板或環境之依存性，而提昇曝光寬容度或圖 型之外形等。 此鹼性化合物例如可爲第1級、第2級、第3級脂肪 族胺類，混合胺類、芳香族胺類、雜環胺類，具有羧基之 含氮化合物、具有磺醯基之含氮化合物、具有羥基之含氮 化合物、具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物、醯 胺衍生物、醯亞胺衍生物等。 具體而言，第1級脂肪胺例如尿素、甲基胺、乙基胺 、η —丙基胺、異丙基胺、n -丁基胺、異丁基胺、 sec — 丁基胺、ter t — 丁基胺、戊基胺、ter t -戊基胺、環戊基胺、己基胺、環己基胺、庚基胺、辛基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財4局員工消費合作社印紫 -52- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 50 胺、壬基胺、癸基胺、月桂基胺、十六烷基胺、伸甲基二 胺、伸乙基二胺、四伸乙基戊胺等；第2級脂肪族胺類例 如，二甲基胺、二乙基胺、二—η -丙基胺、二異丙基胺 、二—η - 丁基胺、二異丁基胺、二一 5 e c -丁基胺、 二戊基胺、二環戊基胺、二己基胺、二環己基胺、二庚基 胺、二辛基胺、二壬基胺、二癸基胺、二月桂基胺、二鯨 蠟基胺、N，N -二甲基伸甲基二胺、N，N —二甲基伸 乙基二胺、N，N -二甲基四伸乙基戊胺等；第3級脂肪 族胺類例如，三甲基胺、三乙基胺、三一 n —丙基胺、三 異丙基胺、三一 η — 丁基胺、三異丁基胺、二—s e c -丁基胺、三戊基胺、三環戊基胺、三己基胺、三環己基胺 、三庚基胺、三辛基胺、三壬基胺、三癸基胺、三月桂基 胺、三鯨蠟基胺、N，N，-四甲基伸甲基二 胺、N，N，N' ，N^ —四甲基伸乙基二胺、N，N， ，N>—四甲基四伸乙基戊胺等。 又，混合胺類例如，二甲基乙基胺、甲基乙基丙基胺 、戊基胺、苯乙基胺、苄基二甲基胺等。芳香族胺類及雜 環胺類之具體例如，苯胺衍生物（例如苯胺、N -甲基苯 胺、N -乙基苯胺、N —丙基苯胺、N，N —二甲基苯胺 、2 —甲基苯胺、3 -甲基苯胺、4 一甲基苯胺、乙基苯 胺、丙基苯胺、三甲基苯胺、二硝基苯胺、3 -硝基苯胺 、4 一硝基苯胺、2，4 一二硝基苯胺、2，6 -二硝基 苯胺、3 ’ 5 —二硝基苯胺、N，N —二甲基苯胺等）、 二苯基（p—甲苯基）胺、甲基二苯基胺、三苯基胺、亞 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1« 訂 經濟部智慧財/i局w工消費合作社印製 -53- 527523 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ 五、發明説明（） 51 苯基二胺、萘基胺、二氨基萘、吡咯衍生物（例如吡咯、 2H—吡咯、1 一甲基吡咯、2 ，4 —二甲基吡咯、2， 5 -二甲基吡咯、n —甲基吡咯等）、噁唑衍生物（例如 η惡哩 '異噁唑等）、噻唑衍生物（例如噻唑、異噻唑等） 、咪唑衍生物（例如咪唑、4 -甲基咪唑、4 -甲基—2 -苯基咪唑等）、吡唑衍生物、呋喃衍生物、吡咯啉衍生 物（例如吡咯啉、2 —甲基一 1 —吡咯啉等）、吡咯烷衍 生物（例如吡咯烷、Ν -甲基吡咯烷、吡咯烷酮、Ν -甲 基吡咯烷酮等）、咪唑啉衍生物、咪唑並吡啶衍生物、吡 啶衍生物（例如吡啶、甲基吡啶、乙基吡啶、丙基吡啶、 丁基吡啶、4 -（ 1 -丁基苄基）吡啶、二甲基吡啶 '三 甲基吡啶、三乙基吡啶、苯基吡啶、3 -甲基-2 -苯基 吡啶、4 一 t 一丁基吡啶、二苯基吡啶、戊基吡啶、甲氧 基吡啶、丁氧基吡啶、二甲氧基吡啶、1一甲基一2-吡 咯酮、4 一吡咯烷酮吡啶、1 一甲基一 4 一苯基吡啶、2 一（1 一乙基丙基）吡啶、氨基吡啶、二甲基氨基吡啶等 )、噠嗪衍生物、嘧啶衍生物、吡嗪衍生物、吡唑啉衍生 物、吡唑烷衍生物、哌啶衍生物、哌嗪衍生物、嗎啉衍生 物、吲哚衍生物、異吲哚衍生物、1 Η -吲唑衍生物、吲 哚啉衍生物、喹啉衍生物（例如喹啉、3 -喹啉羧腈等） 、異喹啉衍生物、噌啉衍生物、喹唑啉衍生物、喹喔啉衍 生物、酞嗪衍生物、嘌呤衍生物、喋啶衍生物、咔唑衍生 物、菲繞啉衍生物、吖啶衍生物、吩嗪衍生物、1 ，1 0 -菲繞啉衍生物、腺嘌呤衍生物、腺苷衍生物、鳥嘌呤衍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨«. 訂 ^1. 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ：Ζ97公釐） -54- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 52 生物、鳥苷衍生物、尿嘧啶衍生物、尿嗪衍生物等等。 又，具有羧基之含氮化合物，例如氨基苯甲酸、吲哚 羧酸、氨基酸衍生物（例如尼古丁酸、丙氨酸、精氨酸、 天冬氨酸、枸椽酸、甘氨酸、組氨酸、異賴氨酸、甘氨醯 白氨酸、白氨酸、蛋氨酸、苯基丙氨酸、蘇氨酸、賴氨酸 、3 -氨基吡啶-2 —羧酸、甲氧基丙氨基）等例；具有 磺酸基之含氮化合物例如3 -吡啶磺酸、p -甲苯磺酸吡 啶鏡等；具有羥基之含氮化合物，具有羥苯基之含氮化合 物、醇性含氮化合物等例如，2 -羥基吡啶、氨基甲酚、 2，4 一喹啉二醇、3 —吲哚甲醇氫化物、單乙醇胺、二 乙醇胺、三乙醇胺、N —乙基二乙醇胺、N，N_二乙基 乙醇胺、三丙醇胺、2，2 > —亞氨基二乙醇、2 -氨基 乙醇、3 -氨基—1—丙醇、4 一氨基—1 一 丁醇、4 — (2 —羥乙基）嗎啉、2 — ( 2 _羥乙基）吡啶、1 一（ 2 -羥乙基）哌嗪、1—〔2 —（2 —羥乙氧基）乙基〕 哌嗪、哌嗪乙醇、1 — ( 2 -羥乙基）吡咯烷、1 — ( 2 —羥乙基）一 2 -吡咯烷酮、3 -吡咯烷酮基—1 ，2 - 丙二醇、3 -吡咯烷酮基一 1 ，2 -丙二醇、8 -羥久洛 尼啶、3 —喂啶醇、3 -托品醇、1 一甲基一 2 —吡啶乙 醇、1 -氮雜環丙烷乙醇、N -（2 -羥乙基）肽醯亞胺 、N - ( 2 -羥乙基）異尼古丁醯胺等等。醯胺衍生物例 如，甲醯胺、N —甲基醯胺、N，N —二甲基醯胺、乙醯 胺、N —甲基乙醯胺、N，N -二甲基乙醯胺、三甲基乙 醯胺、戊醯胺等。醯亞胺衍生物則例如酞醯亞胺、琥珀醯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、訂 P. 經濟部智慧財4局員工消費合作社印髮 -55- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 53 酵亞胺、馬來醯亞胺等。 又，可再添加1種或2種以上選自下式（B 1 )所示 之鹼性化合物。 N ( X ) n ( Y ) 3 - η Β 1 (式中，η = 1 、2或3 ; Υ爲各自獨立之氫原子或 直鏈狀、支鏈狀或環狀之碳數1至2 0之烷基，其可含有 羥基或醚基；X爲各別獨立之下記式（X 1 )〜（Χ3 ) 表示之基，且2個或3個X可鍵結形成環）。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) X3

R30Q-O—r3〇1 XI R302—O—R303 X2 3 0 2 至4之直鏈 子、或碳數 含有1個或 可爲單鍵或 ，例如，三 甲氧乙氧基 3 0 5 (式中，R 3。。、R 狀或支鏈狀之伸烷基；R 3 ^ 1、R 3。4爲氫原 1至2 0之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，且可 多數個羥基、醚基、酯基或內酯環等；R3〇3 碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀伸烷基）。 上述（Β 1 )所示鹼性化合物之具體內容 (2 —甲氧甲氧基乙基）胺、三丨2 — （2 —

R 爲碳數1 訂 :91. 經濟部智慧財產局a(工消費合作社印¾ —六氧一 1 ，4 ， 7 ， 1 8 -四氧一 1 )乙基丨胺、三{ 2 — (2 —甲氧乙氧基甲氧基）乙基} 胺、三丨2 — (1 -甲氧乙氧基）乙基}胺、三丨2 —( 1 一乙氧乙氧基）乙基丨胺、三丨2 — ( 1—乙氧丙氧基 )乙基}胺、三〔2 - {2 -（2 -羥乙氧基）乙氧基} 乙基〕胺、4，7，13，16，21，24 ，10 -二氮雜二環〔8，8，8〕二十六烷 〇 —二氮雜二環〔8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） -56- 527523 A7 B7 五、發明説明（) 54 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〕二十烷，1 ，4，10，1 3 —四氧—7，16 —二氮 雜二環十八烷，1—氮雜—12 -冠—4，1—氮雜—1 5 —冠一 5 ，1—氮雜一 18 -冠—6 ，三（2 —甲醯氧 經濟部智慧財4局員工消費合作社印焚 乙基）胺，三（2 —乙醯氧乙基）胺，三（2 —丙醯氧乙 基）胺，三（2 -丁醯氧乙基）胺，三（2 -異丁醯氧乙 基）胺，三（2 —戊醯氧乙基）胺，三（2 -己醯氧乙基 )胺，N，N -雙（2 -乙醯氧乙基）2 —(乙醯氧乙醯 氧基）乙基胺，三（2 -甲氧羰氧乙基）胺，三（2 — t e r t — 丁氧羰氧乙基）胺，三〔2— (2 -羰丙氧基 )乙基〕胺，三〔2 - （甲氧羰甲基）氧乙基〕胺，三〔 2·- (t e I* t — 丁氧羰甲基氧基）乙基〕胺，三〔2 -(環己基氧基羰甲基氧基）乙基〕胺，三（2 -甲氧羰基 乙基）胺，三（2 -乙氧羰基乙基）胺，N，N —雙（2 一羥乙基）2 —(甲氧羰基）乙基胺，N，N —雙（2 -乙醯氧基乙基）2 —(甲氧羰基）乙基胺，N，N —雙（ 2 -羥乙基）2 -（乙氧羰基）乙基胺，N，N —雙（2 一乙醯氧乙基；）2 —(乙氧羰基）乙基胺，N，N —雙（ 2 —羥乙基）2 -（甲氧乙氧羰基）乙基胺，N，N —雙 (2 -羥乙基）2 —(羥基乙氧羰基）乙基胺，N，N -雙（2 -乙醯氧乙基）2 -（乙醯氧乙氧羰基）乙基胺， N，N -雙（2 -羥乙基）2 -〔（甲氧羰基）甲氧羰基 〕乙基胺，N，N —雙（2 —乙醯氧乙基）2 —〔（甲氧 羰基）甲氧羰基〕乙基胺，N，N -雙（2 —羥乙基）2 —(羰丙氧羰基）乙基胺，N，N -雙（2 —乙醯氧乙基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -57- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 55 )2 —（羰丙氧羰基）乙基胺，N，N —雙（2 -羥乙基 )2 —（四氫氧茂甲氧羰基）乙基胺，N，N -雙（2 — 羥乙基）2 -〔2 -（羰基四氫呋喃一 3 -基）氧羰基〕 乙基胺，N，N -雙（2 —乙醯氧乙基）2— 〔 （2-羰 基四氫呋喃—3 —基）氧羰基〕乙基胺，N，N -雙（2 一羥乙基）2 -（4 一羥基丁氧羰基）乙基胺，N，N -雙（2 —甲醯氧乙基）2 -（4 一甲醯氧丁氧羰基）乙基 胺，N，N —雙（2 —甲醯氧乙基）2 —(甲醯氧乙氧羰 基）乙基胺，N，N -雙（2 —甲氧乙基）2 —(甲氧羰 基）乙基胺，N — (2 -羥乙基）雙〔2 -（甲氧羰基） 乙基〕胺，N — （2 -乙醯氧乙基）雙〔2 - （甲氧羰基 )乙基〕胺，N — (2 —羥乙基）雙〔2 —(乙氧羰基） 乙基〕胺，N — （2 -乙醯氧乙基）雙〔2 —(乙氧羰基 )乙基〕胺，N — (3 -羥基—1—丙基）雙〔2 -(甲 氧羰基）乙基〕胺，N - ( 3 -乙醯氧基—1 一丙基）雙 〔2 — （甲氧羰基）乙基〕胺，N —（甲氧乙基）雙〔2 —(甲氧羰基）乙基〕胺，N -丁基雙〔2 - （2 -甲氧 乙氧羰基）乙基-〕胺，N -甲基雙（2 -乙醯氧乙基）胺 ，N —乙基雙（2 —乙醯氧乙基）胺，N —甲基雙（2 — 三甲基乙醯氧氧乙基）胺，N —乙基雙〔2 - （ t e I* t 一丁氧羰氧基）乙基〕胺，三（甲氧羰甲基）胺，三（乙 氧羰甲基）胺，N -丁基雙（甲氧羰甲基）胺，N -己基 雙（甲氧羰甲基）胺，万一（二乙基胺）一 5 —戊內醯胺 等。 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1«· 、^1 經濟部智惡財1局員工消費合作社印^ -58- 527523 A7 ____ B7 五、發明説明（） 56 經濟部智慧財凌局Μ工消費合作社印製 又，可再添加 具有環狀構造之鹼1

R3。7 Μ—X (式中，X具 2至2 0之直鏈狀 數個碳基、醚結構 上記式（B 2 體例如，1 —〔 2 〔2 — （甲氧甲氧 氧基）乙基〕嗎啉 氧基〕乙基〕吡咯 甲氧基〕乙基〕_ 甲氧基〕乙基〕嗎 酸2 -喊陡基乙酉旨 吡咯基）乙酯、丙 啉乙酯、甲氧基乙 _ (甲氧羰氧基） 氧基）乙基〕 派 )乙基〕嗎啉3 -丙酸甲酯、3 —嗎 酸甲酯、2 —甲基 嗎啉基丙酸乙酯、 1 -吡咯基）丙酸

本紙張尺度適用中國國家標準（CN 1種或2種以上選 三化合物。 B2 有 與 上 記 相 同 之 內 支 鏈 狀 之 伸 烷 基 、酯結構或硫醚。 ) ) 所 示 具 有 環 狀 構 — ( 甲 氧 甲 氧 基 ) 基 ) 乙 基 ] 哌 啶 Λ 1 — ( 2 — C 2 院 1 — [ 2 — C 陡 4 — ( 2 一 C 啉 乙 酸 2 一 ( 1 乙 酸 2 — 嗎 啉 乙 酸 2 一 哌 啶 基 乙 酯 酸 2 — ( 1 — 吡 咯 乙 基 ] 嗎 啉 、 1 — 陡 4 — ( 2 — ( ( 1 — 吡 咯 基 ) 丙 啉 基 丙 酸 甲 酯 X 3 —3 — ( 1 —吡咯 3 -哌啶基丙酸甲 2 -羰基四氫呋喃 ;)八4規格（210'乂297公釐） 自下式（B 2 )所示 容；R 3 ◦ 7係爲碳數 ，且可含有1個或多 造之驗性化合物之具 乙基〕吡咯烷、1 一 4 — 〔 2 —(甲氧甲 一（甲氧乙氧基）甲 2 —(甲氧乙氧基） 2 — （甲氧乙氧基） 一吡咯基）乙酯、乙 酯、蟻酸2 -（ 1 一 、乙醯氧乙酸2 -嗎 基）乙酯、4 一〔 2 〔2 -（ t 一 丁氧羰 2 —甲氧乙氧羰氧基 酸甲醋、3 -呢u定基 -（硫基嗎琳基）丙 基）丙酸甲酯、3 — 氧羰基甲酯、3 -（ 一 3 -基、3 -嗎啉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 59- 527523 A7 B7 一（1 一吡咯基）丙酸2 五、發明説明（） 57 基丙酸2 -甲氧基乙酯 2 -甲氧乙氧基）乙酯、3 -嗎啉基丙酸丁酯、3 -哌啶 基丙酸環己酯、α —（1—吡咯基）甲基一 r 一丁內酯、 卢---哌啶基一r 一丁內酯、石一嗎啉基一 5 —戊內酯、1 一吡咯基乙酸甲酯、哌啶基乙酸甲酯、嗎啉基乙酸甲酯、 硫基嗎啉基乙酸甲酯、1 -吡咯基乙酸乙酯、嗎啉基乙酸 2 —甲氧基乙酯等。 又，可再添加1種或2種以上選自具有下記式（Β 3 )至（Β 6 )所示含有氰基之鹼性化合物。 B3 B4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (X)3.n~t^R30a-^-〇-R305--CN)n B5 R307 B6 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 (式中，X、R2G7、n係具有與上記相同之內容； R3G8、R3()9爲各自獨立之碳數1至4之直鏈狀、支鏈 狀之伸烷基。） 上記式（B 3 )至（B 6 )所示具有氰基之鹼性化合 物的具體例如，3 -（二乙基胺）丙腈、N，N —雙（2 一羥乙基）一 3 —胺基丙腈、N，N —雙（2 —乙醯氧乙 基）_3 -胺基丙腈、N，N -雙（2 -甲醯氧乙基）— 3 -胺基丙腈、N，N —雙（2 —甲氧乙基）一 3 —胺基 丙睛、N，N —雙〔2 —(甲氧甲氧基）乙基〕—3 -胺 基丙睛、N —（2 —氰乙基）一 N — (2 —甲氧乙基）一 3 —胺基丙酸甲酯、N —（2 -氰乙基）一 N —（2 -羥 本纸乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60- 527523 A7 B7 經濟部智慧財4局員工消费合作社印¾ 五、發明説明（ ) 1 58 1 I 乙基） — 3 — 胺基丙酸甲酯 、N - ( 2 — 乙醯氧乙基）- 1 1 I N - ( 2 — 氰 乙 基） 一 3 一 胺基丙酸甲酯 N — (2 -氰 1 1 乙基 ) — Ν — 乙 基— 3 — 胺基丙腈、N — ( 2 — 氰乙基） —ν 請 先 1 1 一 N — ( 2 — 羥乙基） — 3 -胺基丙腈 N 一 ( 2 —乙醯 閱 讀 背 1 1 氧乙 基 ) — Ν — (2 一 氰 乙 基）-3 — 胺基丙腈 、N -( 之 1 注 1 2 - 氰 乙 基 ) — N - ( 2 一 甲醯氧乙基 ) — 3 — 胺基丙腈 意 事 1 項 1 、N — ( 2 — 氰 乙基 ) 一 N -(2 -甲 氧 乙 基 ) —3 —胺 再 填 k 1 基丙腈 Λ Ν — ( 2 - 氰乙基）—N —〔 2 — ( 甲氧甲氧基 本 頁 )乙基 ] — 3 — 胺基丙腈 N - ( 2 - 氰 乙 基 ) -N -( 1 1 3 - 羥基 1 — 丙基） 一 3 — 胺基丙腈、 N — ( 3 一乙醯氧 1 1 基一 1 — 丙 基 ) -N — ( 2 —氰乙基） 一 3 一 胺基丙腈、 1 訂 N - ( 2 — 氰 乙 基） — N — (3 -甲醯氧基 — 1 一丙基） 1 一 3 — 胺基丙腈 、N — ( 2 —氰乙基） — N — 四氫咲喃基 1 1 -3 — 胺基丙腈 、N N — 雙（2 —氰 乙 基 ) 一 3 -胺基 1 1 丙腈 X 二 乙基胺乙腈 N N -雙（2 — 羥 乙 基 )胺基乙 1 1 I 腈、 N Ν 一 雙 (2 — 乙醯氧乙基）— 3 — 胺基乙腈、N ，N 一 雙 ( 2 — 甲醯氧乙基）一3—胺基乙腈 Ν，N - 1 1 雙（ 2 — 甲 氧 乙 基） — 3 — 胺基乙腈、 N j N — 雙〔2 - 1 1 (甲氧甲氧基） 乙基 ] — 3 -胺基乙猜 N — 氰 甲基一 N 1 1 一（ 2 — 甲 氧 乙 基） — 3 — 胺基丙酸甲酯 N — 氰甲基一 1 I ( 2 一 羥乙基） — 3 — 胺基丙酸甲酯 、 N — (2 -乙 1 1 醯氧乙基 ) 一 N 一氰 甲 基 — 3 -胺基丙酸甲酯 N —氰甲 1 1 基- N — ( 9 —· 羥乙基 ) 胺基乙腈、N — ( 2 一 乙醯氧乙 1 1 基）一 JST -（ 氰 甲基 ) 胺基乙腈、N - 氛 甲 基 ) —N —( 1 1 CN率標 冢 SIsrT - i

A

釐 公 7 9 2X -61 - 527523 A7 B7___ 五、發明説明（） 59 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財/t局員工消費合作社印^ 2 —甲醯氧乙基）一3 —胺基乙腈、N —氰甲基—N -（ 2 —甲氧乙基）胺基乙腈、N —氰甲基一N — 〔2 - （甲 氧甲氧基）乙基〕胺基乙腈、N —氰甲基一 N -（ 3 -羥 基1 一丙基）—3 —胺基乙腈、N— (3 —乙醯氧基—1 —丙基）—N —(氰甲基）—胺基乙腈、N —氰甲基一 N 一（3〜甲醯氧基一 1 一丙基）胺基乙腈、N，N —雙（ 氰甲基）胺基乙腈、1 -吡咯烷基丙腈、1 -哌啶基丙腈 、4 一嗎啉基丙腈、1 一吡咯烷基乙腈、1 -哌啶基乙腈 、4 —嗎啉基乙腈、3 —二乙基胺丙酸氰甲酯、N，N -雙（2 —羥乙基）一 3 —胺基丙酸氰甲酯、N，N -雙（ 2 —乙醯氧乙基）—3 -胺基丙酸氰甲酯、N，N -雙（ 2 -甲醯氧乙基）—3 —胺基丙酸氰甲酯、N，N -雙（ 2 —甲氧乙基）—3 —胺基丙酸氰甲酯、N，N —雙〔2 —(甲氧甲氧基）乙基〕一 3 —胺基丙酸氰甲酯、3 -二 乙基胺丙酸（2 -氰乙基）、N，N —雙（2 —羥乙基） 一 3_胺基丙酸（2 —氰乙基）、N，N -雙（2 -乙醯 氧乙基）—3 -胺基丙酸（2 —氰乙基）、N，N —雙（ 2 —甲醯氧乙基）—3-胺基丙酸（2 -氰乙基）、N， N -雙（2 -甲氧乙基）—3 —胺基丙酸（氰乙基）、N ，N —雙〔2 - （甲氧甲氧基）乙基〕一 3 -胺基丙酸（ 2-氰乙基）、1一吡咯烷基丙酸氰甲酯、1一哌啶基丙 酸氰甲酯、4 一嗎啉基丙酸氰甲酯、1 -吡咯烷基丙酸（ 2 —氰乙基）、1 一哌啶基丙酸（2 -氰乙基）、4 一嗎 啉基丙酸（2 -氰乙基）等。 本紙乐尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -62- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 60 上記鹼性化合物之添加量以對酸產生劑1份爲 〇 · 001至10份，較佳爲0 · 01至1份。添加量未 達0 · 0 0 1份時添加劑之效果未能充分發揮，超過1 0 份時解像度或感度會降低。 又，本發明之光阻材料，可再添加分子內具有 三C—C〇〇H基之化合物。 分子內具有三C — C〇〇Η基之化合物，例如可使用 1種或2種以上選自下記I群及I I群中之化合物，但並 不限定於此些物質。添加本成份後，可提高光阻之P E D 安定性，並可改善氮化膜基板上之邊緣粗糙等問題。 〔I群〕 下記式（A 1 )至（A 1 〇 )所示化合物中苯酌性經 基中氫原子之一部份或全部受 一 R401 — C〇〇H (R401爲碳數1至1〇之直鏈狀或 支鏈狀伸烷基）所取代，且分子中苯酚性羥基（C)與 三C-COOH所示之基（D)之莫耳比爲C / (C + D )=〇·1至1.0之化合物。 〔1 I 群〕 下記式（A1 1 )至（A1 5)所示之化合物。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財凌局員工消費合作社印災 -63- 61

527523 A7 B7 五、發明説明（ R404 A2 A〇^)a A3

A4

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

I〇H)t4 A10 經濟部智慧財產局員工消費合作社印契 (其中，R4。8爲氫原子或甲基；R4。2、R4Q3各自 爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或燒基； r4(34爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯 基，或一（R409) h— COOR /基（R>爲氫原子或 一 R409-C〇〇H) ;R405 爲一((:^12):-(1 = 2至10)、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧 原子或硫原子；R4Q6爲碳數1至1 0之伸烷基、碳數6 至1 0之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子； R407爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯 基、各自受羥基取代之苯基或萘基；R4Q9爲碳數1至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -64 - 527523 A 7 B7 五、發明説明（） 62 1 0之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；尺41(3爲氫原子或碳數1 至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基或- R411 - C〇〇H 基；R411爲碳數1至1 0之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；j 爲0至5之整數；u、h爲0或1 ; si、t 1、s2、 t2、s3、t3、s4、t4 爲各自滿足 sl + tl = 8、s 2 + t 2 = 5 ' 8 3+13 = 4' s 4 + t 4 = 6 ，且爲各苯基骨架中至少具有1個羥基之數。/c爲式（A 6)化合物中重量平均分子量爲1, 000至5， 〇〇〇 之數；λ爲式（A7)化合物中重量平均分子量爲 1, 000至10, 000之數。）

^R41 '-COOH (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

odOOH A12

H^-COOH A14 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印¾ A13

(r4 02、R4G3、r411具有與前記相同之內容； R412爲氫原子或羥基；s5、t5爲s5^0、t5-0，且爲滿足s5+t 5 = 5之數，爲〇或1。） 本成份之具體例如下記式A I - 1至1 4及A I I -1至1 0所示化合物，但並不限定於此些化合物。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -65- 527523 A7 B7 五、發明説明（）63

AI-5

R-

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) AI-7

OR· AMI

Re0.

OR. AI-12 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

R-0' ΛΙ-13 :h2coor· AI-14 (R〃爲氫原子或CH2C〇〇H基，各化合物中R" 之10至100莫耳％爲CH2C〇〇H基，α、/c具有與 前述相同之內容。） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） %*. -66- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 64

AII-3 :h2cooh AII-5

AII-7

AII-8 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

：H?COOH

經濟部智慧財產局肖工消費合作社印繁

；CH2CH20)yH AII-9 其中，上記分子內具有三C 一 C〇〇Η基之化合物， 可單獨使用1種或將2種以上組合使用。 上述分子內具有三C - C Ο Ο Η基之化合物的添加量 ，一般對基礎樹脂1 0 0份爲0至5份，較佳爲0 · 1至 5份，更佳爲0·1至3份，最佳爲0.1至2份，超過 5份時會使光阻材料之解像性降低。 又，本發明之光阻材料，可再添加作爲添加劑成份之 炔醇衍生物，添加此衍生物可提高保存之安定性。 炔醇衍生物以使用下式（S 1 )、 （ S 2 )所示化合 物爲佳。

；CH2CH20)yH 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -67- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 65 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ( 式 中 5 R 5 0 1 、R 5 0 2、R 5 0 3 > R 5 0 4 R 5 0 5 各 商 爲 氫 原 子 或爲 碳 數1至 8之直 鏈 狀 支 鏈 狀 或 環 狀 烷 基 X > Y 爲 0或 正 數，且 爲滿足 下 記 之 數 値 5 〇 X 3 0 > 0 Y ^ 3 0 ，0 S X + Y ^ ：4 0 ) 〇 炔 醇 衍 生 物較 佳 者爲過 苯酚6 1 j 過 苯 酚 8 2 9 過 苯 酚 1 0 4 ， 過: 苯酚 1 1 D 4 E， 1過苯酚1 0 4 Η 過 苯 酚 1 0 4 A 過 苯酚 Τ G ’過 苯酚P C 5 過 苯 酚 4 4 0 過 苯 酚 4 6 5 5 過苯 酚 4 8 5 (氣體 製 造 及 化 學 公 司 製 ) 過 苯 酚 E 1 0 0 4 (Ε 3信化學工業（ 株 ) 製 ) 等 〇 上 記 炔 醇 衍生 物 之添加 量，以 對 光 阻 材 料 1 0 0 重 量 % 中 爲 0 • 〇 1至 2 重量％ ，更佳 爲 0 參 0 2 至 1 重 量 % 〇 低 於 0 • 0 1重 量 %時， 則未能 得 到 充 份 的 塗 布 性 及 保 存 安 定 性 之 效 果， 超 過2重 量％時 則. 會 使 光 阻 材 料 之 解 像 性 降 低 〇 本 發 明 之 光阻 材 料，可 在爲提 局 塗 佈 性 之 S 的 上 添 加 上 記 成 份 以 外 之任 zslin 慣用成 份作爲 界 面 活 性 劑 〇 又 ， 此 任 意 成 份 之 添 加 量爲 在 不妨礙 本發明 效 果 之 範 圍 內 之 一 般 添 加 量 〇 其 中 ， 界 面活 性 劑以非 離子性 者 爲 佳 例 如 全 氟 院 基 聚 氧 乙 炔 醇 氟化烷酯、全氟烷基胺氧 化物 全 氟 院 基 E 〇 附 加 物 含氟 有 機矽氧 烷系化 合 物 等 〇 例 如 氟 萊 特 厂 F C — 4 3 0 J ' 厂 F C - 4 3 1 j ( 皆 爲 住 友 3 Μ 公 司 製 ) 、 沙 氟 隆 「S — 14 1 j ' Γ S — 1 4 5 J 厂 Κ Η — 1 0 j 厂 K Η — 2 0」 、「Κ Η — 3 0 j 厂 Κ Η — 本纸展尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -68- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 66 40」（皆爲旭硝子公司製）、優尼但「DS — 401」 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、，0 3 — 403」、「DS — 451」（皆爲大金工業 公司製）、美格贏「F - 8151」（大日本油墨公司製 )、「X- 70- 092」、「X 一 70 — 093」（皆 爲信越化學工業公司製）等等。其中較佳者爲氟萊特「 FC — 430」（住友3M公司製）、「KH — 20」、 「KH - 3 0」（皆爲旭硝子公司製）、Γχ— 7〇 一 093」（信越化學工業公司製）等等。 使周本發明之光阻材料以圖型之形成方法，可採用公 知之飽刻印刷技術等，例如於晶圓等基板上以旋轉塗佈方 式塗佈厚度0 · 2至2 · 〇//m之膜，將其於熱壓板上以 60至150 °C、1至1〇分鐘、較佳爲8〇至130 t 、1至5分鐘之預熱。其次在上記光阻膜上覆蓋欲形成目 的圖型之光罩後，以遠紫外線、等離子雷射線、X線等高 能量線或電子線在曝光量爲1至2 〇 〇m J/cm2左右， 較佳爲5至100mJ/cm2下照射後，在熱壓板上以 60至150 °C、1至5分鐘，較佳爲80至13〇。(：、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印发 1至3分鐘之後照射熱培（PEB)。其後使用〇 . 1至 5% ’較佳爲2至3%四甲基銨氫氧化物（THAM)等 鹼性水溶液之顯影液，以〇 · 1至3分鐘、較佳爲0 . 5 至2分鐘間，以浸漬（dip )法、微粒（puddle )法、噴撒 法（spray )法等常用顯影方法於基板上形成目的之圖型。 又，本發明之材料，最適合用於使用高能量線中2 4 8至 1 9 3 nm之遠紫外線或等離子雷射線、X線及電子線所 本紙展尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -69- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 67 進行之微細圖型描繪。又，超出上記範圍之上限或下限以 外時，可能會有無法得到目的圖型之情形產生。 【發明之效果】 使用本發明之高分子化合物作爲基礎樹脂之光阻材料 ，可感應高能量線，且具有優良的感度、解像性、耐蝕亥ij 性等，故極適合用於電子線或遠紫外線所進行之微細加工 。特別是對A I* F等離子雷射、K I* F等離子雷射等曝光 波長之吸收較少，故極適合形成微細且對基板爲垂直之圖 型。 【實施例】 以下將以合成例及實施例、比較例對本發明作更具體 之說明，但本發明並不受下記實施例所限制。 〔合成例〕 本發明之高分子化合物，係依以下所示配方予以合成 者。 〔合成例1〕Polymer 1之合成 將16 · 8g之5 —乙醯氧甲基—7 -氧雜二環 〔2 · 2 · 1〕一 2 -庚烯（將由呋喃、丙烯醯氯化物與 甲醇經由阿爾德反應所製得之5 -甲氧羰基- 7 -氧雜二 環〔2 · 2 · 1〕一 2 -庚烷還原，再經乙醯化而合成者 )、104 · Og之5 —原菠烯一 2 -羧酸2 —乙基—2 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財/i局員工消費合作社印紫 -70- 527523 A7 __ B7 五、發明説明（） 68 —原菠烷基與4 9 · 0 g之無水馬來酸溶解於1 5 Om 1 之四氫呋喃中，再加入1 · 8g之2，2 > -偶氮雙異丁 腈。於6 0 °C下攪拌1 5分鐘，減壓下進行濃縮。將所得 之殘留物溶解於4 0 Om 1之四氫呋喃中，再滴入1 〇公 升之η —己烷中。將所得固型物濾取，再以1 〇公升之n —己烷洗淨，於4 0 °C下真空乾燥6小時，得8 2 . 6 g 下記式Polymer 1所示之高分子化合物。產率爲48 . 7% 〇 〔合成例2〜8〕Polymer2〜8之合成 依上記相同方法，或公知之方法合成P〇lymer2〜8。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 %·. 經濟部智慧財1局員工>/)費合作社印踅 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -71 - 527523 A7 B7 五、發明説明（） 69 (Polymer 1) (x=0.10, d=0.40, e=0〇0t Mw=7p00) e~7—\ )x rr~r-)d

(Polymer 2) (x=0.10, d=0.40, e=0〇0, Mw=7,900)

卜r \卞

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer J) (x=0.10, d=0.40, e=〇00, Mw=7t4〇〇) e-T" V )x ^7- V )d

\c/ \

經濟部智慧財產局員工消費合作社印災 (Polymer 4) (x==0.10, d=0.40, e=0^〇, Mw=7,800) t-r· ^ )x ^cr ^"7 \~^ύ

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） -72- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 70 (Former 5) (Χ=0·10, d=0.40, e=0*50, Mws=l〇,l〇〇)

C- 7 -V

(Polymer 6) (x=0.40, d=0.60, Mw=14,400) 卜7—、)x e-7 v )d

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) O 卜

(Polymer 7) (1^=0.20, d=0.60, e=0.20, Mw=ll,〇〇〇) e~7 v Xc uh°

經濟部智慧財產局員工消費合作社印发 (Polymer 8) (x=0^0, d=0.50f Mw=12,800)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -73- 527523 A7 B7 五、發明説明（ 71 〔實施例〕 〔實施例I〕 對本發明之高分子化合物，評估其作爲基礎樹脂使用 所得之光阻材料時之降低膨潤現象之效果。 〔實施例 1 4與比較例 2 使用上記所示聚合物（Polymerl〜4 )與作爲比較使用 之下記式所示聚合物（Polymer 9、10)作爲基礎樹脂，再 將下記式所示酸產生劑（P A G 1 )、鹼性化合物與溶劑 ，依表1所不組成進行混合。隨後再其以鐵氟隆製過濾器 (孔徑：0 · 2 y m )過濾、，以製得光阻材料。 (Polymer 9) (d=0.50, e=0^0, Mw=7,700)

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer 10) (a=0.10, d=0.40, ¢=0.50, Mw=7,900) 經濟部智慧財/t局s工消費合作钍印災

OH

【0 14 7】 【化4 9】 f cf3so3- (PAG 1) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -74- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 72 將光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經9 0 °C、4 0秒 間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將此矽晶 圓進行1 1 0°C、9 0秒之熱處理，使其形成厚度〇 . 5 之光阻膜。其後藉由K r F等離子雷射處理器（理光 公司，NA = 〇 · 5)進行曝光，再於110t、90秒 下進行熱處理後，於2·38%之四甲基銨氫氧化物水溶 液中進行2 0 0秒之浸漬顯影。隨後測定顯影後晶圓之各 曝光點的膜厚，以其增加量之最大値（A )作爲膨潤量。 各光阻之組成及評估結果如表1所示。又，表1中， 溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係使用 含有0·01重量％2KH-20(旭硝子公司製）者。 P GMEA ··丙二醇甲基醚乙酸酯 T B A ··三丁基胺 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財i局員工消費合作社印焚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -75- 527523 A7 B7 五、發明説明（） 73 表1 觀旨 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解控制劑 (重量份） 鹼性化合物 (重量份） 溶劑 (重量份) 膨潤量 (A) 實施例 1-1 Polymer 1 PAG1 — TBA PGMEA 0以下 (80) (1) (0.078) (480) 1-2 Polymer 2 PAG1 — TBA PGMEA 0以下 (80) (1) (0.078) (480) 1-3 Polymer 3 PAG1 — TBA PGMEA 0以下 (80) (1) (0.078) (480) 1-4 Polymer 4 PAG1 — TBA PGMEA 0以下 (80) (1) (0.078) (480) 比較例 1 Polymer 9 PAG1 — TBA PGMEA 181 (80) (1) (0.078) (480) 2 Polymer 10 PAG1 — TBA PGMEA 89 I (80) (1) (0.078) (480) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局a(工消费合作社印製 依表1所示結果得知，本發明之高分子化合物，具有 極高之降低膨潤現象的效果。 〔實施例I I〕 對本發明之光阻材料，評估其使用K r F等離子雷射 曝光之解像性。 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS〉A4規格（210X 297公釐） -76- 527523

CF3S〇3*

♦ c4f9so3- (PAG 1) A7 B7 五、發明説明（） 74 〔實施例I I — 1〜1 7〕光阻解像性之評估 使用上記所示聚合物（Polymerl〜8 )作爲基礎樹脂， 再將下記式所示酸產生劑（P A G 1、2 )、下記式所示 溶解控制劑（D R R 1〜4 )、鹼性化合物、下記式所示 分子內具有三C — C〇〇H基之化合物（ACC1 、2) 與溶劑，依表2所示組成進行混合。隨後再其以鐵赢隆製 過濾器（孔徑：0 . 2 // m )過濾，以製得光阻材料。 (PAG2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作Ti印製 【0 15 3】 【化5 1】 ° (DRR1)

(ACC 1)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -77 一 527523 A7 B7 五、發明説明（） 75 將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經9 0 °C、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 0秒間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將 此矽晶圓進行1 1 0 °C、9 0秒之熱處理，使其形成厚度 0·5#m之光阻膜。其後藉由KrF等離子雷射處理器 (理光公司，ΝΑ = 0 · 5)進行曝光，再於1 1 Ot、 90秒下進行熱處理，於2.38%之四甲基銨氫氧化物 水溶液中進行6 0秒顯影，以製得線路空間爲1 : 1之圖 型。將顯影完成之晶圓切斷，使用截面S E Μ (掃描型電 子顯微鏡）進行觀察，以0 · 3 0 // m線路空間爲1 : 1 解像度的曝光量（最佳曝光量：Eop，mJ/cm2) 中所可分離之空間線路之最小線寬（// m )作爲評估光阻 之解像度。 各光阻之組成及評估結果如表2所示。又，表2中， 溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係使用 含有0 · 0 1重量- 20 (旭硝子公司製）者。 P GMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 T E A :三乙醇胺 經濟部智慧財1局S工消費合作社印焚 TMMEA:三甲氧基甲氧基乙基胺 TMEMEA :三甲氧基乙氧基甲氧基乙基胺 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -78- 527523

A 五、發明説明（） 76 【表2】 經濟部智慧財1局B(工消費合作社印製 實施例 樹脂 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解控制 劑 (重量份） 鹼性化合 物 (重量份） 溶劑 (重量份） 適當曝光量 (mJ/cm2) 解像度 (#m) 形狀 Π-1 Polymer 1 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 23.0 0.20 矩形 Π-2 Polymer 2 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 22.0 0.20 矩形 Π-3 Polymer 3 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 20.0 0.20 矩形 Π-4 Polymer 4 _ PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 24.0 0.22 矩形 Π-5 Polymer 5 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 20.0 0.20 矩形 Π-6 Polymer 6 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 22.0 0.20 矩形 Π-7 Polymer 7 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 21.0 0.20 矩形 Π-8 Polymer 8 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 23.0 0.22 矩形 Π-9 Polymer 5 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 23.0 0.20 矩形 Π-10 Polymer 5 (80) PAG1 (1) — TEA (0.063) PGMEA (480) 23.0 0.20 矩形 Π-11 Polymer 5 (80) PAG1 (1) — TMEMEA (0.063) PGMEA (480) 24.0 0.20 矩形 Π-12 Polymer 5 (70) PAG 2 (1) DRR1 (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 18.0 0.22 少許圓 頭狀 Π-13 Polymer 5 (70) PAG 2 (1) DRR2 (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 20.0 0.22 矩形 Π-14 Polymer 5 (70) PAG 2 (1) DRR3 (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 22.0 0.22 矩形 11-15 Polymer 5 (70) PAG 2 (1) DRR4 (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 19.0 0.20 矩形 Π-16 Polymer 5 (80) PAG 2 (1) ACC1 (4) TEA (0.063) PGMEA (480) 20.0 0.20 少許圓 頭狀 Π-17 Polymer 5 (80) PAG 2 (1) ACC 2 (4) ；TEA (0.063) PGMEA (480) 23.0 0.22 矩形 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本纸乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A衫見格（210X 297公釐） -79- 527523 A7 _____B7 五、發明説明（） 77 由表2之結果得知，本發明之光阻材料對於κ r F等 離子雷射之曝光，具有更高之感度與解像度。 〔實施例I I I〕 對本發明之光阻材料，評估其使用A r F等離子雷射 曝光之解像性。 〔實施例I I I 一 1、2〕光阻解像性之評估 與上記相同方法般，依表3內容組成內容製作光阻材 將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經9 0 °C、 9 0秒間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將 此矽晶圓進行1 1 0 °C、9 0秒之熱處理，使其形成厚度 0 · 5 //m之光阻膜。其後藉由A r F等離子雷射處理器 (理光公司，NA = 〇 · 5 5)進行曝光，再於1 1 〇°c 、9 0秒下進行熱處理後，於2 · 3 8%之四甲基銨氫氧 化物水溶液中進行6 0秒顯影，以製得線路空間爲1 ·· 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局KK工消費合作社印製 斷 ο 切以 圓 ， 晶察 之觀 成行 完進 影 } 顯鏡 將微 。 顯 型子 圖電 之型 描1 掃爲 C 間 Μ 空 Ε 路 S 線 面m 截// 用 5 使 2 m P ο E 量 光 曝 佳之 最路 C線 量間 光空 曝之 的離 度分 像可 解所 1 中

C m 光 估 評 爲 作 \lym /IV 寬 線 小 最 ， 用 中使 3 係 表劑 ， 溶 又， ο 又 示 。 所容 3 內 表記 如下 果如 結則 估明 評說 及之 成物 組合 。 之化 度阻性 像光鹼 解各及 之 劑 阻 溶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） -80- 經濟部智慧財4局a:工消費合作社印发 527523 A7 B7 五、發明説明（） 78 含有0 · 0 1重量- 20 (旭硝子公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 丁 E A :三乙醇胺 TMMEA:三甲氧基甲氧基乙基胺 【表3】 實施 例 樹脂 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解控制 劑 (重量份） 鹼性化合 物 (重量份） 溶劑 (重量份） 適當曝 、!/ 旦 尤里 (m J / c m ：) 解像 度 (V m) 形狀 IIM Polymer 5 PAG I — TEA PGMEA 17.0 0.15 矩形 (80) (1) (0.063) (4 80) III-2 Polymer 5 PAG 1 — TMMEA PGMEA 17.0 0.15 矩形 (80) (1) (0.063) (4 80) 由表3之結果得知，本發明之光阻材料對於A r F等 離子雷射之曝光，具有更高之感度與解像度。 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-81 -

Claims (1)

1. 527523 ί-—-1厶口个 ξΖ六、申請專利範圍 j 1·一種重量平均分子量1， 000至 5 0 0, 000之高分子化合物，其係含有下記式（1 1 )與式（1 — 2 )所示重複單位者；

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R1、R2爲氫原子或碳數1至1 5之直鏈狀 、支鏈狀或環狀烷基；R1與R2可鍵結形成環，此時， R1與R2組合形成碳數2至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀 伸烷基；R3爲氫原子、或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀 或環狀烷基、醯基或烷磺醯基，或爲碳數2至1 5之直鏈 狀、支鏈狀或環狀烷氧羰基或烷氧烷基，其結構碳原子上 之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；惟，R1、 R2、R3並不全爲氫原子；k爲〇或1)。 2 ·如申請專利範圍第1項之高分子化合物，其中， 如上式（1 一 1 )所示重複單位以外，尙含有下記式（2 - 1 )所示重複單位者； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------^------、玎------^ (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) -82- 527523 A8 B8 C8 D8 蛵濟部智慧財/1局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍

   (式中，R4爲氫原子、甲基或CH2C〇2R6 ; R·5 爲氫原子、甲基或C〇2R6 ; R6爲碳數1至1 5之直鏈 狀、支鏈狀或環狀之烷基；R7爲酸不穩定基；R8爲鹵素 原子、羥基、碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧 基、醯氧基、烷磺醯氧基，或碳數2至1 5之直鏈狀、支 鏈狀或環狀烷氧羰氧基或烷氧烷氧基，其結構碳原子上之 氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z爲單鍵或 碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（p + 2 )價烴基 ’爲烴基之情形中，其1個以上之伸甲基亦可被氧原子所 取代而形成鏈狀或環狀之醚，同一碳原子上之2個氫原子 亦可被氧原子取代而形成酮；k爲〇或1 ，p爲〇、1或 2 ) ° 3、如申請專利範圍第1項之高分子化合物，其中， 如上式（1 - 1 )所示重複單位以外，尙含有下記式（2 一1)與式（3)所示重複單位者； 本纸張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I n 訂 务 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -83- 527523 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍

   (式中，k、p、R4至R1 2 3 4具有與上記相同之內容， Y爲一 0 -或一（NR9) —，R9爲氫原子或碳數1至 15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基）。 4 .如申請專利範圍第1項之高分子化合物，其中， 如上式（1 - 1 )所示重複單位以外，尙含有下記式（4 )所示重複單位或該單位與下記式（2 - 1 )所示重複單 位’及下記式（4 )所示重複單位，與再含有下記式（3 )所示重複單位者；

   (式中，k ' p、R4至R8、Y具有與上記相同之內 容）。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   -84- 1 ·如申請專利範圍第1項之高分子化合物，其中， 2 如上式（1 - 2 )所示重複單位以外，尙含有下記式（2 3 -2)所示重複單位者； 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' 1 " 527523 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4

   (式中，k、p、尺4至尺8具有與上 記相同之內容） Θ · —種光阻材料，其係含有申請專利範圍第1項至 5項中任一項之高分子化合物者。 7 · —種圖型之形成方法，其特徵係包含將申請專利 範圍第6項之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處 理後介由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與， 必要時於加熱處理後使用顯影液進行顯影之步驟。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） -85-