TW538516B - Components and methods with nested leads - Google Patents

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發明説明（ 發明範圍 本發明係關於用於製造微電子總成之元件與方法。 發明背景 ^ 堵如半導體晶片的微電子元件通常具有很多暴露於一元 件上之接觸件，例如，暴露於半導體晶片的前表面者。這 二接觸件必須連接到諸如一電路板上的接觸襯墊，以在晶 片及較大的電路之間進行電連接。複雜的半導體晶片在一 小面積中設有數百接觸襯墊。晶片上之接觸件之間的連接 必須係可靠的，且必須由經濟的過程製造。此外，連接必 須精巧。在特定的應用中，所欲者為，以一方式安裝晶 片’俾使所安裝的晶片佔用電路板的面積等於或只稍大於 晶片本身的表面積。雖然一晶片上的接觸件可以使用稱為 倒裝片接合”的技術直接接合至一電路板上的接觸襯 墊，但此方法若於某些顯著的缺點。總成係由總成操作時 在晶片中產生的熱加熱。當操作停止，總成再冷卻。當總 成加熱及冷卻時，晶片及基板膨脹及收縮的量不同。基材 上的接觸襯墊傾向於相對於晶片的接觸件移動，於是在銲 球上施加實質的應力。此可能導致執行連接時的疲勞失 敗，使總成不可靠。如美國專利5 148 265、5 148 266及 5，455，390號的某些較佳實施例所揭示者，其揭示以引用的 方式併入本文中，安裝一片狀_較佳為撓性_連接元件，以 覆蓋晶片的表面。連接元件的端子藉由撓性引線，連接至 晶片上的接觸件。連接元件的配置係，俾使端子可相對於 晶片而移動。例如，連接元件可設有順應層，其配置於> -4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 538516 A7 B7 五、發明説明（2 ) 子及晶片之間。連接元件及晶片的總成提供一封裝晶片， 其可安裝至一電路板。端子可諸如藉由將端子銲接或治金 學接合至電路板的接觸襯墊，而接合至電路板的接觸襯 墊。因為某些或全部端子位在晶片表面上方，故總成佔據 的面積約相同於晶片前表面的面積，或只稍大於此面積。 因為端子可以相對於晶片移動，故晶片及電路板的不同熱 膨脹未施加大應用於端子及電路板之間的接合。 美國專利5,518,964號（，· ·964號專利·，）-其揭示以引用的方 式併入本文中·揭示其他改進之處。如，964號專利的某些 較佳實施例所揭示者，一引線陣列可以形成於片狀介電質 連接疋件的第一表面上。每一引線具有一固定或錨接端及 :·夫、固足或錯接端永久接合至連接元件，尖端遠離銷 接响。引線的另一端典型上連接到片狀元件第二側上的端 子。引^的尖端可釋放地連接至連接元件。引線的尖端配 置在與晶片上之接觸件位置對應的位置。 曰$接兀件及晶片並列’而元件之引線支承第一表面面向 :^接觸件支承表面。連接元件對準晶卜以致於引線 的邵對準適當的端子，且引線的尖端接合至晶片上 的方θ ;。然後’連接元件在離開晶片的接觸件支承表面 的万向-通常稱皂"委亩”古内 ^ 移動預選的_，使引線 的穴味脫離連接元件，使引 曲，讓引續，： 向—垂直延伸的地方彎 後W ’·泉自由撓曲。使元件$ 4 常稱為，，舉升” 移動離開的步驟通 可固化饬轉π y ^期間或之後，使一 /姐引入晶片與連接元件之 〈間的芝間夂固化，以在 -5-

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晶片與連接元件之間形成一 順應層 因為在對準和接合過 程期間，引線的尖端保持在定位。故全部的引線尖端可以 在單-操作中接合。此過程特別適用於具有大量接觸件的 晶片。此過程可以使用於個別的晶片，或設有很多晶片的 疋件，諸如整個晶圓。全部連接係在單一接合操作中執 行，且全部引線可以在單一舉升操作中彎曲。在這些操作 以後，連接元件及晶圓可用於形成個別的封裝晶片單元， 每一單元包含一晶片或若干晶片及一部分與此單元中的晶 片或眾晶片有關的連接元件。藉由使連接元件的端子接合 至電路板’可以使此單元連接至電路板，如上述。在此， 再次地’連接元件上的端子可相對於晶片移動，以減少不 同的熱膨脹導致的應力。 964號專利揭示的其他實施例包含起初在晶片表面上提 供引線，而引線的固定端永久連接至晶片的接觸件，引線 的乂端釋放地連接至晶片。晶片對準一結構，諸如連接 元件或電路嵌板，其在面向晶片的表面上具有接觸襯螯。 尖端接合至接觸襯整，且二元件互相移離，以使引線的尖 端脫離晶片表面，且使引線以與上述相同的方式彎、曲。在 ’964號專利揭示的其他實施例中，可以連接晶片以外的元 件。例如，二連接元件可互相連接。引線設在連接元件之 一上，且引線的尖端接合至另一元件上的接觸件。二元件 互相移離，以使引線的尖端離開第一連接元件，且使引線 朝向一垂直延伸的地方彎曲。 在*964號專利指示的某些實施例中，在初始、未變形、 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) ^8516 A7 ____________Β7 五、發明説明（4 ) ^ 平面形狀沉的引绫，;κ ^ 、 〇 51、，果/〇考疋件的表面或承載引線的晶片，在 水平方向弓曲。於引線朝向一垂直延伸的地方彎曲以後， 此曲率使引線鬆弛。 964號專利指不的疋件及方法提供很多優點。例如，在 單-系列操作中可靠地執行很多連接的能力大大減少成 本，且使過程簡化。所得的單元或封裝晶片可具有一表面 積，其约等於晶片本身的表面積。雖然，964號專利揭示的 過程基本上可以應用至一晶片上之任何構造的接觸件，但 匕特別適用於與一元件形成連接，該元件具有配置於二維 陣列-通常稱為”面積陣列、中的接觸件。 儘管有這些改進之處，但其他改進之處係所欲者。在某 些狀況，一半導體晶片或其他元件具有配置於一面積陣列 中的接觸件，面積陣列具有小的接觸件至接觸件之距離或 間距。引線的尖端必須以對應小的中心距配置於匹配 元件上，於是整個引線必須裝在小的面積中。例如，在一 具有配置於二維面積陣列的接觸件之晶片中，該陣列在二 維的中心距或間距係3 0 0微米（〇 3公厘），陣列佔據的公 稱面積僅係每接觸件〇·〇9平方公厘。因為晶片上的接觸件 具有有限的尺寸，故無接觸件的清潔面積小於接觸件陣列 之每接觸件的公稱面積。每一引線必須安置為，當晶片及 連接元件互相嚙合時，引線的尖端對準晶片上之所欲的接 觸件，但引線的其他部分對準接觸件陣列之清潔面積，於 是避免嚙合於相鄰的接觸件。在避免引線及相鄰接觸件間 之不欲的連接時’此係需要的。由於公差的效應，進—步 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X 297公釐) " --_____ 538516 A7 B7 五、發明説明（5 ) 減少引線安置的可用面積。引線必須安置在連接元件上， 以致於當引線陣列對準相鄰接觸件時，引線與相鄰接觸件 之間具有某有限的餘隙，以致於即使引線略微錯置於連接 元件上或連接元件與晶片略微偏離晶片時，也不會發生不 欲的連接。引線也必須安置在元件上，以致於在舉升步驟 期間，引線朝一垂直地方彎曲以後，引線也不會互相接 觸。 所欲者為疋供足夠長度的引線，以包容垂直移動或舉 升操作’及使引線操作時的應力減至最小。具有長引線之 此型式的總成將比具有短引線之其他相對比的總成遭到較 低的彎曲應力。而且，引線典型上必須在它們的錨接端具 有放大的部分，以使錨接端固接至連接元件。引線通常在 它們的端子具有略放大的部分，以便接合至接觸件及幫助 製造某些可釋放的連結至元件下方的表面。 考慮這些因素全部，對於引線支承元件的引線結構之進 一步改進的需求有幫助。 發明概述 本發明之一特點提供元件，用於製造微電子總成。一依 據本發明（此特點的元件較佳為包含一本體，其具有一表 面及複數延伸於該表面上方的巢狀引線。每一巢狀引線具 有第一及第一端，以及一延伸於該端之間的長形主要部 分。引線係’’巢狀"，其中每一巢狀引線主要區段彎曲， 以部分圍繞另一引線的第一端。於是，每一巢狀引線的主 要部分較佳為環繞於表面上之一内面積，且每一巢狀引線 -8- 本紙張尺錢财^標準(_ ^7^X297公釐)

装 订

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的第-端配置於由另一巢狀引線圍繞的内面積中。 巢狀引線較佳為配置成群组或..單元,，，且每一巢狀引線 的第一端較佳為由相同群组巾之^ 外、，且Y《另 引線的主要部分環 繞。最佳為巢狀引線配置成對，且每一巢狀引線的第一端 由同對中之另-引線部分地環繞。在一較佳配置中，每一 巢狀引線大體上係鉤形，而一放大的碟狀區域形成引線的 第^ \ 1 — Μ的主要部分從第—端延伸於-部分迴路 中。成對的二引線係相同，但彼此相對轉動1。。第一端 在任意稱為Y水平方向的方向互相偏置，且位於一在Y方 向延伸的共同中心軸線上。引線㈣二端在與丫方向橫交 的X方向互相偏置，且配置於遠離中心軸線之處。如以下 進一步說明者，依據本發明之此特點的較佳元件提供唯一 精巧的引線配置，而引線具有實質長度的主要區段。'典型 上，每一引線的第一端當作錨接端，且固定至元件的本 體，而每一引線的第二端係尖端，其可釋故地連接至本 體，或可相對於本體移動。 本發明之又一特點提供連接的方法。.一依據本發明之此 特點的方法較佳為包含的步驟係提供第一與第二元件及複 數大體上為平面形而連接於這些元件之間的巢狀引線。每 一巢狀引線較佳為具有一連接至第一元件的第—端、一連 接至第一元件的第二端及一延伸於第一與第二端之間的長 形主要區段。此處，再次地，每一巢狀引線的主要區段較 佳為曲線形，以圍繞及部分環繞該巢狀引線中另—引線的 第一端。例如，引線可以設在如上述的元件上，其當作第 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 538516

了元件。此元件可與第二元件並列，且引線的第二端可連 接至第二元件上的接觸件。 依據本發明之此特點的方法較佳為包含又一步驟，其在 此稱為•，舉升步驟”，係使第一及第-分仕r』 ” 丨丁坟乐夂罘一兀件互相移離，而 一元件在垂直於引線平面的垂直方向移動，以使該巢狀引 線彎入一垂直延伸的地方。 從以下提出之較佳實施例的詳細說明，配置附圖，可以 更易於明白本發明的這些和其他目的、特徵及優點。 圖式簡單說明 圖1係示意透視圖，顯示使用在依據本發明之一實施例 的過程中的元件。 圖2係圖1所示元件之示意剖視圖，係在一曲線形切削 平面沿著單一引線的長度所作者。 圖3係圖1及2所示元件的分解平視圖，繪示此元件之一 表面的一部分。 圖4係圖3所示一尺寸放大的面積之分解平視圖。 圖5及ό係類似於圖2的視圖，但繪示在過程之後階段的 元件。 圖7係在圖1 - 6之過程中製成之總成的示意透視圖。 圖8係分解示芯平視圖’緣示一依據本發明另一實施例 的元件之一部分。 圖9係分解示意平視圖，繪示依據本發明又一實施例的 元件一部分。 圖1 0係類似於圖2的視圖，但繪示依據本發明再一實施 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐） 538516 A7 B7 五、發明説明（8 ) 例的元件。 圖1 1 - 1 3係分解剖視圖，繪示在依據本發明再一實施例 的過程中之連續階段的元件。 詳細說明 依據本發明一實施例的元件1 〇包含一片狀介電質元件 或基部1 2，諸如聚酸亞胺片，其尺寸可約相同於或略大 於將組合至元件的半導體晶圓u如，964號專利所揭示及共 同待審與共同讓渡之1998年1 〇月1 6日申請的美國專利申 請案09/173,797號與1998年1 0月1 6日申請的09/174,074號 進一步說明者，元件可在製造期間及與晶圓組合期間於一 剛性框架1 4中支持在定位。基部1 2包含大量個別區域 1 6 ’母區域將在使用期間提供端子及連接件至一在晶 圓上的晶片。為了清楚說明起見，個別區域丨6在圖1中由 界線指π。實際上，這些界線典型上在元件中係不可見 的。每一區域1 6的尺寸約相同於單一晶片的前表面。 介4 h片或基邵1 2具有在片之對立側的一第一大體上 平囬形表面18及一第二表面2〇。大量端子22暴露於片的 第二側。雖然圖2所示端子繪示成為自第二表面2〇突起， 但此不重要；端子可與第二表面齊平，或相對於第二表面 略微凹入，只要在使用由元件製成的產品期間，使端子暴 露以接觸接合材料即可。而且，端子可由一暫時層或眾暫 時層遮蓋，以在製造操作期間保護端子，且可剝離或蝕除 此暫時層或眾暫時層，以暴露端子。 ' 大量引線2 4設在元件上。這些引線延伸越過片或基部 -11 -

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1 2的第一表面i 8。此揭示中使用的敘述-引線延伸越過基 部之一表面-意指引線在表面上方。且大體上在平行於表 面的平面中延伸，即，沿著表面的平面方向延伸的引線之 界限大致上大於在垂直於表面的方向上延伸的引線之界 限。2而，引線不需要接觸於表面，且可偏離最佳平面 度。每一引線具有一第一或錨接端2 6、一在引線對立端 的第一或端子端28及一延伸於這些端之間的長形主要部 刀27。引線的第一或錨接端26永久連接至片或基部I〕。 在所=的特殊實施例中，每_引線的第_或㈣端26永 久，疋至片12，且藉由一延伸通過片12的金屬仲介物3〇 及藉由一延伸於仲介物3 〇與引線的第一或錨接端2 6之間 的金屬連接按鈕34,而連接至單一端子22。 引線的第二或尖端2 6及主要部分2 7可以相對於片或基 邵12移動。此揭示中參考引線之一特徵而使用的術語，，可 移動”意指特徵可相對於基部自由移動，或可釋放地連結 至棊部，《至文於藉由諸如將#徵剝_基部且不破壞引線或 基部’可使特徵脫離基部。最佳地，引線的尖端可釋放地 連結至基部，以致於尖端將在下述過程步驟期間保持在定 位。在所示的特殊實施例中，每一引線的尖端藉由一自第 一表面18延伸至引線本身的小金屬按鈕”，可釋放地連 接至基邵或片12，而主要部分27不連結至基部Η。 ，…號專利中更詳細說明者，一具有此可釋放連結的 兀件4製造可藉由提供銅或其他可姓刻金屬之—連續層於 基部上，嫩積於此層上的金或其他抗姓金屬形成;I線 12- 本紙張尺度適用中國國家^A4規格(2ι〇χ挪公釐) 538516 A7 B7 五、發明説明（10 2 4 元件可暴露於一蚀刻 然後 致上不攻擊金？丨線。蝕刻劑自引線的邊緣，漸漸攻擊層。 假設主要區段2 7的寬度小於端2 6及2 8，則過程可在蝕刻 劑已元全移除主要區段及片之間的層以後但在蚀刻劑已完 全移除端部之層以前的時刻停止。可以提供其他形式的可 釋放連結。例如，如共同待審、共同讓渡的美國專利申請 案09/566,273號所揭示，其揭示以引用的方式併入本文 中’藉由在片的第一表面1 8上直接提供引線及使用蝕刻 劑將片蝕刻，該蝕刻劑攻擊片的聚合物材料，但大致上不 攻擊引線的金屬，則可在尖端形成一可釋放連結。替代 地’藉由在引線矣端及片之間只導致微弱的黏結之狀況下 /尤％引線’可提供可釋放連結。 雖然基部或片丨2繪示成為簡單的聚合物材料片，但基 部可Μ額外的元件，諸如在基部内部中或在未由引線佔 據的囬積中之—或二表面上的金屬電位平面元件。基部可 又包含導電軌線，其在未由引線或端子 ， ^ 條的面積中I 一 或二表面上或在基部内部中延伸。引給 泉的固定端不需要直 接連接至配置在那些端上的端子。例如 +^，引線的固定端可 以連接到基部1 2中或上的内部軌線。 於疋，一引線的固 定端可連接至在元件相同區域1 6中> ▽ 、巧一位置的端子。 而且，引線可由軌線互相連接。某歧企 一止圖當作電源或接地 引線的引線可連接至基部1 2中或上的雷ρ ^ 见千面元件。 引線2 4的幾何形狀而與佈線圖、纟會示於同 ^ β 3與4。於圖3看 得最清楚，引線設置為群組或單元3 6。> 母—單元36包含 -13-

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-對引線24a及24b。每—群組或對“的引線互相巢接。 即，每一引線的長形主要區段 ^ Z /你四線形，以致於部分 衣么-内部面積’且相同對中m丨線的第—或 26配置於此内部面積中。例如’對36a中的第一引線之長 形王要區段27a(圖4)部分環繞第-表面U的内部面賴 j 8 a。相同對中夕策；—a μ α、 ,. 弔一引，.来的弟一或錨接端2 6 b配置於此 内邵面積中。相反地，相同對3“中之第二料的 要部分27b界定-内部面積38b，且第—引線的第_心 接端26a配置於此内部面積38b中。另言之，每一引線大 體士係鉤形’且二引線配置於相反的方向，以致於在對中 工每一引線的主要部分2 7部分地環繞相同對中之另—引 線的弟一端2 6。 每引，，泉的第-或描接端2 6之寬度大致上大於引線之 長形主要區段27的寬度。此揭示中參考一引線的特徵而 使用的術語”寬度，，意指在垂直於引線延長方向的方向之 特徵尺寸。針對-曲線形引線，其延長方向沿著引線的長 度而改變，則術語”寬度”意指在與長形的引線之最近部 刀的延長方向垂直的方向之尺寸。在所示特殊實施例中， 每一引線的第一或錨接端2 6大體上係圓形，且它的寬度 等於它的直徑。在所示特殊實施例中，每一引線的第一或 4¾接端2 6之直徑係〇 1 2 8公厘，而每一引線之主要區段2 7 的見度係0· 03公厘。一推拔形第一端過渡區段4 〇 a設在第 一引線2 4 a之第一端2 6 a及主要部分2 7 a之間的連結。引 線的宽度在此過渡區段4 0 a中於遠離第一端2 6 a的方向漸 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）

裝 訂

線 538516 A7 ___B7 _ 五、發明説明（~12 ) 一 〜 '^ 減。每一引線的第二或尖端2 8 a之寬度略大於主要部分 2 7 a的寬度，但小於第一或錨接端的寬度。在所示實施例 中，每一引線的第二或尖端2 8 a之寬度係0.052公座。 一推拔形第二端過渡區段4 6 a中，引線的寬度在遠離第一 端2 8 a的主要部分2 7 a之方向漸增。 引線的方向與定向引線的特徵可以參考傳統二維直角 X - Y座標系統，使用圖3與4標示的方向而說明。X與γ方 向係在一平行於基部的第一表面18之平面中。這些方^ 稱為”水平’•方向。每一對3 6中之二引線的第一端2 6配置 於一共同的中央軸線4 1上，其平行於座標系統的γ方向而 延伸。於是，每·一對中之第一引線2 4 a的第一端2 6 a對準 X方向中之相同對的第一引線的第一端2 6 b。然而，對中 之第二引線的第一端2 6 b在+ 丫方向偏置於對中之第〜％ 線的第一端2 6 a。第一端之間的距離在此稱為第一端單位 距離，且在所示實施例中係3 0 0微米。 一引線的第二端2 8配置於一共同橫向軸線4 2，其+ γ 於座標系統的X方向。於是，第二引線的第二端在γ方6 互相對準，但在X方向互相偏置，以致於第二端位於中央 軸線4 1的對位側。於是，第二引線的第二端2 8 b在_ X方 向與第一引線的第二端2 8 a偏置。引線對的第二或尖端2 之間的距離在此稱為第二單位距離。在所示實施例中，第 二單位距離等於第一單位距離，即，3 0 〇微米。在第_ ^ 位距離與第二單位距離相等之處，術語，，單位距離"揭自 稱為該距離。 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 538516 A7 B7

立、發明説明（13 ) 每一引線的第一端過渡區段4 0在相反方向彎離中央袖 線4 1。於是，第一引線2 4 a的第一端過渡區段4 〇 a及主要 部分2 7 a的緊鄰區域於+ γ方向自該引線的第一端2 6 a延 伸，且在-X方向傾斜離開中央軸線4 1。引線的這些部分 大體上在一弧（其曲率半徑在-X方向偏離引線）彎曲，且 併入一邊線4 4 a，其形式係一圓的扇形，該圓與引線對中 之對立引線的第一端2 6 b之圓形部分同心。邊緣4 4 a在它 的圓周之主要部分具有大致上為常數的半徑’但在它的連 結處之半徑係隨著第二端過渡部分4 6 a漸增。第一引線 27a的第二端過渡部分46a於-Y方向延伸，且在+ X方向 略微傾斜。 引線24a幾乎全部包覆於第二引線24b之第一端26b周 園。引線2 4 a以約3 0 〇 °的角，整個圍繞於第二引線之第 一端2 6 b的中心。包含於引線主要部分2 7 a中的邊線4 4 a 以略多於1 8 0。的角，圍繞於第二引線之第一端2 6 b的中 心周圍。在所示實施例中，邊線4 4 a的内徑約比第二端 26b的半徑大0.035公厘，以致於邊線44a的内部與第二引 線之第一端2 6 b的外邊緣之間有約0.035公厘的餘隙。 每一對3 6中的二引線係相同，但繞對之中心點-即，中 心軸線4 1與橫向軸線4 2的交集5 0轉動1 80。。於是，第二 引線2 4 b的特徵及第一引線2 4 a的特徵相同，不過方向相 反；第二引線的第一及橫向區段4 0 b自引線的第一端2 6 b 延伸於-γ方向，且在+ X方向傾斜，而第二及橫向區段 4 6 b延伸於+ Y方向（在圖4中向上），且在-X方向傾斜。 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x 297公釐) 538516 A7

發明説明 複數對或單元36配 基 之一陣列中, 、 或連接元件第一表面1 8上 ^ 半列中。如圖3所自，料“ ^系沿著與X及Y座標方向斜 人7 I復、、果5 2而配置。線係忐 中心點5α(圖4)之線所上由通過重複線上之引線對的 4 -斤|疋例如，對36a、36b及36c食 ,，表5^上’而對3心、36€及368位於次 —相鄰的重覆線5 2 b上。重覆岣 。^ — 反，、果配置在朝向X與y座標方甸 、用每—重複線上的相都對3 6之間的間隔係選擇 ί :俾使相鄰對的中心點之間的γ-方向偏置等於第—瑞 早位距離’即’等^每—對中之料的第-端26間之Υ- 方向距離4似地’相同重複線上的相鄰對的中心點之間 的X方向偏置等於第二端單位距離…等於單一對中么 引線的第二或尖端28間之距離。重複線之間的間隔係逡 擇為’俾使沿著X或γ座標測量的重複線之間的距離等於 二完整單位距離，即，在所示實施例中係6〇〇微米。於 是，重覆線之間沿著垂直於重覆線之線（未顯示）的最短瓞 離係2 /上單位距離，即，2/1 · 1 4 1單位距離。 對3 6配置在相鄰的重複線5 2上，以致於每一對的中心 點5 0 (圖3 )於X方向對準在次一相鄰重複線中之對的中心 點。不同對中之引線的第一及第二端形成延伸於χ方向的 列及延伸於Υ方向的行。引線第一端2 6的每一 X _方向列 包含相同重複線上之二不同對的二引線之第一端。作彳如， 此列之一包含對3 6 a中之第二引線的第一端2 6 b，接著係 在相同重複線5 上之對3 6 b的第一引線之第一端）6 a , 接著係在次一相鄰重複線5 2 b上·^對3 6 f的二引線之第一 -17· 本紙蒗尺度適用中國國家標準(CNS)A4规格(210X297公釐) 538516 五、發明説明（15 端，然後係重複線5 2上之對2广 ..~ v . , ^的第—引線之第一端等 寺。弔一端的母一 Y -万向行㊅八 s 一重複線上之單一對中 的二引線之第一端，接著係在汝〜， ^ ^ & > % 、上Ά w山 _人〜相鄰重複線之對的二引 線I弔一端寺寺。例如，第—二山 〃而的此γ -方向行之一包含 重複線5 2 a上之對3 6 b中的二引的、 仃 、’果之第一端2 6，及相鄰重 複線之對3 6 e的二引線之第—端。 ^ ^ ^ 不同對中的引線之第二端2 8 4 π t 另证作、人、& 4-己置在延伸於X方向的列 及延伸於Y万向的行。弟二端的^ 私μ - a祕、〜 母一 X -方向列包含一重複 線上之早一對的二引線又第二# ^ ^ ~ —嘀〜8，接著係次一相鄰重 稷線上 < 早一對的弟二端寺等。 叫如，此X方向列之一句 含相鄰線5 2上的對3 6 a中之第_、山 …仏 … ^ 2 8 a與2 8 b，接著係重 禝線5 2 b上之對3 6 f的引線之y 。 1〜端，及重複線5 2 c上之 另一對的第二端。每一 Y _方向 1丁包含相同重複線上之二 相鄰對中的引線之第二端2 8。伽y ^ 】如’此行之一包含對36b 中的二引線之第二端2 8 b，接著佴 贫係相同重複線上之相鄰對 3 6 a的第一引線之第二端2 8 a，技a “ 枝者係次一相鄰線5 2 b上 <對3 6 e的第二引線之第二端等芩。 而宁寺。圖3所示圖案只包含9 對引線；實際上，此圖案可以延伸人 产 、斤於連接元件基部的整個 第一表面上，或延伸於此表面的件付却 j丨- 1T淬分上，且可以包厶 數百或數千對。可以將圖案中斷，H ^ " ^ 且相同或不同的圖案可 以設在表面的另-部分上。例如’在連接元件㈣合於_ 晶圓或晶片6勺總成-其具有由空虛面積中斷之接觸件圖案-

之處，引線的圖案可以具有類似的空虛面積。 A 此圖案在一緊密封裝的配置-其維持適當@的餘隙_提供特 -18 -

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別長的引線。圖案提件引續〃 权、力線大端，其X及γ方向的尺寸具 有3 0 0微米的中心距。顯炊 _ # 只…、於母一引線的尖端2 8周圍具 有 > 貝的餘隙。在所示會说 ,, 仕所7^ R她例中，無其他引線配置成與一 引線之尖端2 8中心的距拖| 、人。 ^ 们距你小於〇·〇8公厘（8 0微米）。在某 些較佳只；^例中，每一引緩的$ 、 、 可 Ή ^的長埂（自它的第一或錨接端 2 ό a之中心沿著t要部分的由、 ' ’中心蜾測量至尖端2 8 a的中心） 係約0 . 6 2 5公厘。在圖3及4祕- U及4所不引線之平坦或未變形的 狀況’在相同重複線上之相j # ^ 足相鄰對中的引線之第二端過渡區 & 4 6 ίϋ非ϋ另-區段’即’在最接近的點$ $ (圖3 )，彼此 知在、2 5 5微米内。然而，如下述，在使用期間，此並 未導致相鄰引線之間短路。在装些較佳實施例中，一引線 之大袖2 8中心及端子中心之間的直線距離係約〇丨55_ 0. 1 60公厘。 在一依據本發明之實施例的方法中，包含上有引線2 4 之基部1 2的連接元件與單一晶圓6 〇並列（圖1及5 )。晶圓 6 0設有大量與”鋸齒巷”並排配置之個別的半導體晶片 6 2 ’ ”鋸齒巷”圍繞個別的晶片，且將晶片互相分離。每 一晶片6 2設有很多内部電子零件（未顯示）。鋸齒巷係晶 圓之小、條狀區域，其不包含使用晶片期間所需要的特 徵，在切開晶片時，將破壞銀齒巷。晶圓具有一前表面 6 4 (圖1中可看到的表面），而很多接觸件6 4暴露於前表 面。每一晶片的接觸件6 6配置於列及行的圖案中，而間 隔等於元件1 2上之引線第二端2 8的間隔。即，接觸件互 相隔離，而在晶片表面上的X及Y方向之距離等於引線陣 -19 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4规格(210 X 297公釐) 538516 A7 B7

列的單位距離。接觸件6 6的圖案具有在χ方向延伸的列及 在Y方向延伸的行。連接元件的基部1 2與晶圓並到，以 於基部的第一表面丨8朝向晶圓的前表面6 4。利用機哭视 覺系統，使元件之尖端2 8的圖案對準晶圓上之複合物6 6 的圖案。在此過程期間，晶圓6 〇可以支持於一夹持元件 6 8上（圖1 )，而元件！ 2及框架！ 4可以支持於一對立元件 7 0上 引線S 4 2 8接合至接觸件6 6。如圖5所示，这此 接合可以由承載於引線尖端上、在接觸件上或在二者t: 接合材料7 2提供。藉由迫使夾持元件68及7〇相向$或藉 由〉王入一雙壓的氣體於失持元件7 〇及基部1 2之間，戈^ 由施力於這些元件的方法中之任何裝置，可迫使元件基= 12及晶圓60相向。在接合材料和需要高溫以形成接:之 處，元件可維持於適當的高溫，以活化接合材材。與引線 尖端之材料不同的獨立接合材料之使用係不需要的。例 如|在引線尖端及接觸件具備金之處，引線尖端及接觸件 :以包含錫’以當作合金成分，4當作金上的極薄層。在 高溫，於引線矣端及接觸件的介面，％及金形成液相藉 由連續暴露於高溫，錫擴散至弓丨線尖端及接觸件之相鄰的 金内，以致於顯微液相漸漸釋放錫，且它的固態溫度上 升。此過程持續，直到固態溫度等於普遍的高溫為止，而 固：接合形成於引線尖端及接觸件之間。可以使用任何 α接m線“及接觸件。使元件對準晶 圓及使引線矣端接合至接觸件的步驟能_以-例如-與·964 號專利所述大致上相同的方式執行。$可以使用其他接合 -20 - 本紙張尺度適财目@家鮮(CNS) A4^(2l〇^^Jy---

裝 訂

538516 A7 _____ B7 _ 五、發明説明（18 ) 程序，諸如真空接合及紅外線接合。 在引線尖端已經接合至接觸件以後，連接元件的基部 1 2及晶圓6 0在垂直或Z方向互相移離預選的距離，如圖6 所示。在此步驟期間，其稱為”舉升”步驟，引線尖端2 8 保持接合至晶圓的接觸件6 6，而引線的描接或弟一 2 6 隨著基部1 2移動。於是，引線的主要部分2 7於垂直或Z 方向彎曲，離開基部1 2的第一表面1 8，朝向一垂直延伸 的地方，如圖6所示。當引線的第一端2 6於垂直方向移離 尖端2 8時，每一·引線的尖端2 8及每一引線的錨接端之間 的距離增加。在水平平面中之引線主要部分的原始曲率改 變。如平視圖所見（圖3及4 )，每一引，棒的第二端過渡區 段4 6傾向於向内擺動，朝向引線對的中央軸線4 1。此傾 向於使第二端過渡區段移離在相同重複線5 2上之另一對 的相鄰引線之第二端過渡區段。此絜助確認，在組合完成 的這些引線之間不會有無意中的接觸。此動作也使每一引 線的第二端過渡區段4 6更靠近在相同對中的另一引線之 第一端。例如，引線2 4 a的第二端過渡區段4 6 a (圖4 )傾 向於在-X方向移動，朝向在相同對中之第二引線的第一 端2 6 b。實際上，第二端過渡區段、邊線4 4 a的相鄰部分 或二者可在水平方向移動，以重疊於相同對中之對立引線 的第一端2 6 b。然而，此不會造成二引線之間接觸的危 險，原因在於第二端過渡區段4 6 b及邊線4 4 a的相鄰部分 在垂直或Z方向移動離開對立引線的第一端2 6 b。 在舉升步驟期間或之後，一可流動的材料注入元件12 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) ^38516

、發明說明（19 件Ώ 6 〇之間的芝間7 4。此可流動的材料EMC，以在元 厚2及晶圓60之間形成一層，其較佳為介電質、順應 :松者如介電質凝膠、泡沐或彈性體。諸如銲球76的接 後，可以施加至端子2 2 ° #施加接合材料以前或以 線士么七或兀件丨2及晶圓6 0可藉由沿著晶圓上方的鋸齒 刀剖，—以形成個別的單元78(圖7)，每一單元包含一晶 質屏70件12基邙 < -個別部分丨6及-部分順應的介電 62' 1每此頒早兀具有端子2 2，其連接至接觸件 和由將崎子2 2接合至電路嵌板的接觸襯墊，可使所 于3勺封裝晶片單元接合至心 安σ主吧路面板（未顯示）或其他結構。 c用上述特徵的很多變化及組合，不會偏離本發 的71如’可以改變上述尺寸。使—對的第-端26之間 :崎早位距離等於-對的第二端2 8之間的第二端單 =離…要。而且’引線的第-及第二端之角色可以 練的I—引線的第二端28可以永久接合至起初承載引 引I:而母一引線的第-端26可以移動。另言之， 51線的弟二端2 s可以各 當作关端。 田作知1接崎，而引線的第二端可以 而且…發明的廣大範圍中’提供成對的引線並不重 。：丨如’能以多於二引線的群組提供引線。圏9燴示具 有，引碌的群組，每—引線的第一端Μ配置於相同群组 的另-引線之邊心44所圍繞的内部面積中。彳以使用且 有四或更多引線的群組。這些群組可以舖設於表面上以 形成任何尺寸的陣列。Λ外’以所界定的群組提供引線完 22 紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(21〇x 297公釐)""""' —------ 538516 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 全不重要。例如，如國8所示，能夠以循序鏈丨3 6提供引 線，而每一W線的第一端126配置在由鏈中次一引線的邊 線1 4 4所圍繞的内邵面積中。額外的鏈1 3 6 b可以與鏈 1 3 6 a亚棑配置〔此處，再次地，因為每一引線的内部面 和、中的上間ir、由另一引線的第一端佔據，該配置提供相對 精巧的引線配置。 » 在上C‘例中，引線接合至一晶圓的接觸件。然而， 本發月可以用；^連接至—個別晶片或晶片的總 <，其並非 單-晶圓的-部分。例如’如美國專利5,798,286號所示， 其揭示以引用的方式併入本文中，很多個別晶片可以接合 至承載於連接τό件上的引線，jl可以執行舉升程序，以使 關聯於全部這些個別晶片的引線彎曲。而且，可以使用晶 片及連接元件以外的元件執行本發明。例如，二電路讲板 可以使用上述程序互相連接。 、

使用本發明以用於待連接之元件上的每一引線並、 要。例如，當一晶片或其他元件在它的表 叫工 < 一部分 有一稠密封裝的接觸件陣列，而其他接觸件 、 丨丁·Λ疋大的間 配置在它的表面上之另一部分時，稠密封搫 ★ τ3丁戾的接觸件可 使用本發明連接，而其他接觸件可以使闹嫌.土 哪以不同的引 連接。 引線可以設有任何導電金屬，例如，可以 鋼、金或^ 通稱為形狀記憶合金的合金，亦稱為’’假彈w人 t丨王3金”或，，超 彈性合金·’。此合金包含Nitinol1M，係向八4自π ^ 3 %及敘的合 金，且包含蛇及銦的某些合金，以及鋼〜叙—你 * & 〇金。可 -23-

538516 A7 _ B7 五、發明説明（21 ) 以使用其他導電材料，諸如導電性聚合物或載有金屬的聚 合物。而且，除了金屬或其他導電材料以外，引線可以包 含聚合物強化層。如美國專利5,9丨5,752號的某些較佳實施 例所示，其揭示以引用的方式併入本文中，具有金屬導體 的引線可以設有撓性聚合物強化物，諸如與金屬導體相鄰 的聚合物條。聚合物條可以由介電質材料形成，例如，由 元件基部的介電質材料形成。在又一變形中，每一引線可 以包含複數導fa 。如國際公告〇 9 7 /1 I 5 8 8及W 0 98/44564號所揭示者，其揭示以引用的方式併入本文中， 此引線的複數導體可以包含信號導體及接地或其他參考電 位導體的任何組合。在此類配置之一中，複數導體3 〇 1及 j 0 j由一介電貝水合物層3 0 5互相分離，介電質聚合物層 3 0 5也當作用於金屬層的物理強化物。導體在引線的描接 端3 2 6及尖端3 2 8之間延伸，不會互相接觸。 起初承載引線的基部保留在成品中並不重要。例如，如 1999年3月1 2曰申請的美國專利申請案〇9/267 〇58號及 1999年5月24曰申請的09/3 17,675號之某些實施例所揭示 者’長形引線的形成可藉由安置一片材於一暫時支撐戈^ 部上’及切穿該片以形成部分環繞該片之長形區域的開 口，以致於此長形區域在它們的大部分長度不連接至該 片。典型上，在連接引線至另一元件上的接觸件以後，移 除暫時支撐。依據本發明的引線能夠以此方式形成。而 且，如美國專利申請案09/3丨7,675號所揭示者，其揭示以 引用的方式併入本文中’引線可以設在具有—連接層之暫 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 一 ------ 538516

發明説明（22 寺支撑或基邵上，連接層係諸如可蚀刻金屬或黏劑，其可 施加堵如紮外光的輻射能量而退化。支撐結構可以使用預 選的處理加以處理，以自支撐結構釋放引線的尖端，於是 使引，.’泉的尖瑞可相對於支撐結構移動，而使錨接端保持接 合至基部。在圖1丨所示實施例中，基部或暫時支撐結構 ^ 2係由一材料形成的板，該材料具有可預測、等向的熱 膨脹係數，且對於退化帶_諸如破璃或藍寶石層中的輻射 能量而言係透明的。引線4 2 4透過由一材料形成的薄連接 層4 0 3而固定至基材，該材料可以由在退化帶·諸如紫外 光可退化的黏劑-中的輻射退化。引線可以在此層中形成 於疋位。於引線的尖端4 2 6對準且接合至對立元件上接觸 件4 6 6以後，在退化帶中的輻射能量4〇5諸如紫外光施加 通過基部4 1 2 ,以致於它施加於連接層4 〇 3之與尖端4 2 8 及主要部分4 2 7對準的那些部分，但不施加於層4〇3之與 描接端4 2 6對準的部分。例如，可以使用不透明罩幕 4 〇 1，以阻礙在錨接端的輻射能量。在舉升步驟以後，引 線在圖12所示狀況，及在引線周園形成一介電質層474以 後，輻射能量施加通過支撐的剩餘部分，使連接層的剩餘 部分403·退化，於是自支撐釋放引線的錨接端4 2 6，使錨 接端保持暴露於遠離元件4 6 0的層4 7 4之表面，如圖j 3所 示。 - 因為可以使用上逑特徵的這些及其他變化及組合’故較 佳實施例的前逑說明係闡釋性，而非本發明的限制。^ -25- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公憂)

Claims (1)

1. 538516 A BCD 第0911〇4693號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(92年4月) 六、申請專利範圍 1. 一種用於製造微電子組總成之元件，包含： (a)—本體，其具有一表面；及 (b )複數個延伸於該表面上方之巢狀引線，各巢狀引 線具有第一及第二端，以及一延伸於該端之間之長形主 要部分，各巢狀引線的主要區段彎曲，以圍繞及部分環 繞該表面之一内面積，各巢狀引線的第一端配置於由另 一該巢狀圍繞的内面積中。 2·如申請專利範圍第1項之元件，其中各巢狀引線之一端 係固定至該本體之錨接端，各引線之另一端係尖端，其 可相對於該本體移動，鄰近於尖端之主要區段的一部分 可相對於該本體移動。 3·如申請專利範圍第1項之元件，其中各巢狀引線之一端 係錯接端，各巢狀引線之另一端係尖端，該引線連接至 該基部，以致於該尖端可藉由一預先決定的處理而自該 基部釋放，該處理使該錨接端保持固定至該基部。 4. 如申請專利範圍第1項之元件，其中該巢狀引線配置成 群組’且各巢狀引線之第一端配置於由相同群組中之另 一引線環繞的内部面積中β 5. 如申請專利範圍第1項之元件，其中該巢狀引線配置成 對，且各巢狀引線之第一端配置於由同對中之另一引線 環繞的内部面積中。 6·如申請專利範圍第5項之元件，其中各巢狀引線的第一 端之寬度大於相同引線的主要區段的寬度。 7.如申請專利範圍第6項之元件，其中各巢狀引線的第一 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(21〇X 297公董） 538516 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 端之寬度大於相同引線的第二端之寬度。 8，如申請專利範圍第6項之元件，其中各巢狀引線之主要 區域繞一中心點，於相同對中另一引線的第一端中，延 伸至少約150。的角。 9·如申請專利範圍第8項之元件，其中各巢狀引線之第一 端大體上係圓形，且各大體上係圓形的第一端之直徑大 於此第一端附近的主要區段之宽度。 10·如申請專利範圍第9項之元件，其中各巢狀引線之主要 部分包含一拱形邊線，其與相同對中之另一引線之第一 端同心, 11_如申請專利範圍第6項之元件，其中各巢狀引線具有一 推拔形區段，其在此引線之第一端及主要區段之間。 12·如申請專利範圍第7項之元件，其中各巢狀引線之第二 端之寬度大於此尖端附近之主要區段之寬度。 13·如申請專利範圍第5項之元件，其中各對巢狀引線之引 線係相同。 14·如申請專利範圍第1 2項之元件，其中該巢狀引線包含複 數對巢狀引線，其在引線對的陣列中配置成相鄰。 15. 如申請專利範圍第2項4元件’其中各巢狀引線之第一 端係引線的錨接端，每一該巢狀引線之第二端係引線的 尖端。 16. 如申請專利範圍第3項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之关端。 17·如申請專利範圍第4項之元件，其中各巢狀引線之第一 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 538516 六、申請專利範圍 端係引線之錨接端，每一該巢狀引線之第二端係引線之 尖》端。 18·如申請專利範圍第5項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 19.如申請專利範圍第6項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 20·如申請專利範圍第7項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 21·如申請專利範圍第8項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 22·如申請專利範圍第9項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 23. 如申請專利範圍第丨〇項之元件，其中各巢狀引線之第一 场係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 24. 如申請專利範圍第1 1項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 25·如申請專利範圍第1 2項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 26. 如申請專利範圍第1 3項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 27. 如申請專利範圍第1 4項之元件，其中各巢狀引線之第一 端係引線之錨接端，各巢狀引線之第二端係引線之尖端。 28· —種用於製造微電子總成之元件，包含： (a) —具有一表面之基部，該表面上之地方由一座標 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4#格(210 X 297公釐)

   系統界定，座標系統包含+x方向、 ， 相對於該+X方向 之-X万向 '垂直於該X方向之”方向及相對於該 向之-Y方向；及 (b)複數對延伸於該表面上方之巢狀引線，各對引 包含-第-引線及-第二引線，各巢狀引線具有一第— 端'一第二端及一延伸於此端之間之長形主要部分，各 巢狀引線之主要部分係曲線形’以圍繞及部分環繞—相 同對之另一引線的第一端，且各對的第二引線在+γ方 向偏置於第一引線的第一端。 29.如申請專利範圍第16項之元件，其中各端之一端係固定 至該基部之錯接端，而各巢狀引線之另_端係可相對於 該基部移動的尖端。 30·如申請專利範圍第16項之元件，其中各巢狀引線之一端 係錨接端，各巢狀引線之另一端係尖端，該引線連接至 該基部，以致於該尖端可藉由一預先決定之處理而自該 基部釋放，該處理使該錨接端保持固定至該某部。 31·如申請專利範圍第1 6項之元件，其中該對沿著一或多個 重覆線，與該+ Υ方向配置成斜角。 32·如申凊專利範圍第1 9項之元件’其中該一或多個重覆線 包含複數互相平行延伸的重覆線，以致於在複數重覆線 中之引線對形成一在該X及Υ方向延伸之陣列，且引線 之第一端配置在平行於該X方向之列中。 33·如申請專利範圍第2 0項之元件，其中該對沿著該重覆線 而隔離，以致於除了在重覆線的端部以外，各對中之第 4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格（210 X 297公釐） A B c D 538516 六、申請專利範圍 二引線的弟一端位於與相同重覆緩卜 A 〈'入一接續f+ 6 A人 第一引線第一端相同的列上。 、’的 3屯如申請專利範圍第2 1項之元件，Α φ 宁不同重覆線上> 中的引線之至少某些第一端在乂方向互相對淮， 對準的第一端在平行於γ方向的行中延伸。τ W而此 35·如申請專利範圍第2 2項之元件，其中每_對 、 第一端在X方向互相對準，因而引線 :=?1線的 之一中心軸線，其平行於γ方向， μ f 且母一對中之 第一端位於該眾行中的同一行。 、术的 36·如申請專利範圍第23項之元件，其中各對中之第_全 的主要部分包含一近區域、一邊線及一遠區域，近== 自此引線之第一端往+Y方向延伸，邊線自近區^品二 各對之第二引線的第一端周圍延伸，遠區域在.γ方向於 自邊線延伸至此引線之第二端，且各對中 " Τ <罘二引線的 主要部分包含一近區域、一邊線及一遠區域，近區域自 此引線之第一端經Υ方向延伸，邊線自近區域，於各對 之第一引線的第一端周圍延伸，遠區域在+ γ方向， 邊線延伸至此引線之第二端。 37·如申請專利範圍第2 4項之元件，其中各對中之第一引線 的主要部分之近區域往-X方向延伸，且每一對中之第一 引線的主要部分之近區域往十X方向延伸。 38.如申請專利範圍第2 5項之元件，其中各對中之第一引線 的主要部分之近區域係曲線形，且具有一曲率中心，其 在-X方向偏於此近區域，且每一對中之第二引線的主要 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐）

   538516 8 8 8 8 A B c D 六、申請專利範圍 部分之近區域繞一曲率中心成曲線形，曲率中心在+ X 方向偏置於此近區域。 39.如申請專利範圍第2 4項之元件，其中各對中之引線的第 二端在Y方向互相對準。 40·如申請專利範圍第2 7項之元件，其中在該陣列中之引線 的第二端配置在平行於X方向而延伸的列中。 41. 一種用於微電子總成連接之方法，包含下列步驟： (a) 提供第一與第二元件及複數連接於這些元件之間 且大體上為平面形之巢狀引線，各巢狀引線具有一連接 至第一元件之第一端、一連接至第二元件之第二端及一 延伸於該端之間之長形主要區段，各巢狀引線之主要區 段為曲線形，以圍繞及部分環繞該巢狀引線中另一引線 之第一端；然後 (b) 在一舉升步驟中，使該第一及第二元件互相分 離，而一元件在垂直於引線平面的垂直方向移動，以使 該巢狀引線弯入一垂直延伸的地方。 42·如申請專利範圍第2 9項之方法，其中該巢狀引線配置成 群組，且各巢狀引線之第一端配置成由相同群組中的另 一引線之主要部分圍繞及部分地環繞。 43·如申請專利範圍第2 9項之方法，其中該巢狀引線配置成 對’且各巢狀引線之第一端配置成由相同群組中的另一 引線之主要部分圍繞及部分地環繞。 44.如申請專利範圍第3 1項之方法，其中在該舉升步驟期 間，鄰近於引線之第二端之各巢狀引線之一部分隨著一 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 538516 A B c D 六、申請專利範圍 水平元件的動作，朝向相同對中之另一引線的第一端而 移動。 45. 如申請專利範圍第2 9項之方法，其中提供該元件的步驟 包含提供該引線於該第一元件上，使該第一元件與該第 二元件並列，及使引線之第二端接合至第二元件上之接 觸件。 46. 如申請專利範圍第3 3項之方法，其中該第一元件包含一 連接元件，且該第二元件包含一或更多半導體晶片。 47. 如申請專利範圍第3 3項之方法，其中該第二元件上之接 觸件配置在小於約5 0 0微米的間距。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）