TWI654126B - 物品保管設備 - Google Patents

物品保管設備

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TWI654126B
TWI654126B TW104139919A TW104139919A TWI654126B TW I654126 B TWI654126 B TW I654126B TW 104139919 A TW104139919 A TW 104139919A TW 104139919 A TW104139919 A TW 104139919A TW I654126 B TWI654126 B TW I654126B
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Abstract

本發明提供一種物品保管設備。在劃分行進路徑之路徑劃分壁部上所形成的搬送用移動體可通過的開口部上，設置有可將沿著第2方向的門體用搖動軸作為軸心而搖動自如的門體。門體是構成為可將形態自如地切換成：以沿路徑劃分壁部的形態閉塞開口部的封閉形態、及位於上述內部空間側而將開口部開放為使搬送用移動體可通過的開放形態。具備有閉塞體，該閉塞體是：以在搬送用移動體的第1方向的存在範圍內包含開口部的搬送用移動體的位置作為對象位置，在將門體的形態切換為開放形態與封閉形態之間的中間形態或開放形態，而且，使搬送用移動體停止在對象位置的狀態中，可切換成將連通內部空間與外部空間的部分閉塞之閉塞狀態。

Description

物品保管設備 發明領域
本發明是關於一種物品保管設備，其具備有：物品收納架，在沿著水平方向的第1方向及沿著上下方向的第2方向上具備有複數個將收容有半導體基板之容器收納的收納部；搬送用移動體，在物品收納架的前面沿著第1方向而設置的行進路徑上，沿著第1方向移動自如；及壁狀體，設置在配置有物品收納架及搬送用移動體的內部空間之側周圍，並在平面視下區分外部空間與內部空間。
發明背景
如上述的物品保管設備之一例已揭示在例如，日本專利特開2007-326686號公報(專利文獻1)中。在專利文獻1的物品保管設備中，在平面視下區分外部空間與內部空間的壁狀體上，具備有用於供作業人員進出的開口、以及可將形態切換成開放形態及封閉形態的門體。在此，開放形態是將該開口開放成作業人員可以通過的形態，封閉形態是將該開口閉塞的形態。在專利文獻1的物品保管設備中，作業人員是從上述開口進入內部空間，並在內部空間內進行搬送用移動體的保養維修作業。
又，物品保管設備的另一例，如日本專利特開2013-142009號公報(專利文獻2)所示，是構成為可使收納在內部空間的容器內之半導體基板不受污染。在專利文獻2的物品保管設備中，為了將內部空間維持為灰塵較少的乾淨環境，是構成為將清淨空氣在內部空間中以從天花板側流動到地板面側的方式進行供給。又，在專利文獻2的物品保管設備中，為了抑制在容器內的半導體基板之汙染，所進行的是將氮氣等之惰性氣體供給至容器內之作法。
發明概要 課題、用以解決課題之手段
在專利文獻2的物品保管設備中，為了以惰性氣體置換容器內部的氣體，並維持以惰性氣體充滿容器內部的狀態，必須持續地或間歇地將惰性氣體供給至容器中。因此，會將惰性氣體從容器排出到內部空間，而使內部空間比外部空間變得惰性氣體濃度更高。亦即，內部空間有氧氣濃度相對變低的傾向，而有使內部空間成為作業人員難以作業的環境之虞。
因此，在專利文獻2的物品保管設備中，也與專利文獻1的物品保管設備相同，下列作法也被考慮到：在壁狀體上形成開口，並設置開閉該開口的門體，從該開口將搬送用移動體取出至外部空間以進行搬送用移動體的保養維修作業。又，即使是不像專利文獻2的物品保管設備一般進行惰性氣體之供給的物品保管設備，就作業性的觀點來 看，也應考慮將搬送用移動體取出至外部空間以進行搬送用移動體的保養維修作業之作法。
為了從內部空間將搬送用移動體取出至外部空間，可考慮例如，構成為將行進路徑以被壁狀體劃分的狀態跨內部空間與外部空間而連續形成，在壁狀體中的劃分行進路徑的部分之路徑劃分壁部上，設置搬送用移動體可通過的開口部，以透過該開口部使搬送用移動體從內部空間移動到外部空間。
為了防止惰性氣體從開口洩漏到外部空間之情形、或者為了在內部空間之內部中維持從天花板側往地板面側的氣流(下向流(downflow))，所要求的是，將上述開口部在使搬送用移動體通過時設成開放形態，在不使搬送用移動體通過時設成封閉形態。
在設置物品保管設備的半導體製造設備等中，即使是在保養維修時，也希望對物品保管設備的周邊空間之影響可儘可能地少。也就是說，所要求的是，在外部空間中搬送用移動體佔有的區域儘可能地少。然而，在保養維修時以將門體設成封閉形態之狀態來使搬送用移動體位於外部空間時，搬送用移動體的第1方向的位置，會使儘量靠近封閉形態之門體的位置成為界限，因而會有保養維修時搬送用移動體在外部空間佔有的區域變大的問題。
因此，期望有可以在保養維修時將搬送用移動體佔有的外部空間的佔有量儘量縮小的物品保管設備。
有鑑於上述之物品保管設備的特徵構成在於以 下之點：其具備：物品收納架，在沿著水平方向的第1方向及沿著上下方向的第2方向上具備複數個將收容有半導體基板的容器收納的收納部；搬送用移動體，在前述物品收納架的前面沿著前述第1方向而設置的行進路徑上沿著前述第1方向移動自如；及壁狀體，設置在配置前述物品收納架及前述搬送用移動體的內部空間的側周圍，且在平面視下區分外部空間與前述內部空間，前述搬送用移動體具備在前述收納部與其本身之間將前述容器移載自如的移載裝置，前述行進路徑是以被前述壁狀體劃分的狀態跨前述內部空間與前述外部空間而連續形成，在前述壁狀體中的劃分前述行進路徑的部分之路徑劃分壁部上，形成前述搬送用移動體可通過的開口部，於前述開口部上設置以沿前述第2方向之門體用搖動軸為軸心而搖動自如的門體，前述門體是構成為可將形態自如地切換成：以沿前述路徑劃分壁部的形態閉塞前述開口部的封閉形態、及位於前述內部空間側而使前述搬送用移動體可通過地開放前述開口部的開放形態，具備有閉塞體，該閉塞體是：以在前述搬送用移動體的前述第1方向的存在範圍內包含前述開口部的前述搬送用移動體的位置作為對象位置，在將前述門體的形態切換為前述開放形態與前述封閉形態 之間的中間形態或前述開放形態，而且，使前述搬送用移動體停止在前述對象位置的狀態中，可切換成將連通前述內部空間與前述外部空間的部分閉塞之閉塞狀態。
亦即，當將門體設為開放形態，並使搬送用移動體停止在對象位置上後，藉由以將門體設成中間形態或開放形態的狀態來將閉塞體切換為閉塞狀態，即能做到將搬送用移動體取出至外部空間。
因此，與例如，藉由以將搬送用移動體的整體在第1方向上使其位於開口部的外側之狀態，來將門體設為封閉形態，而將搬送用移動體取出至外部空間的構成相較之下，能夠減少搬送用移動體佔有的外部空間的佔有量。
又，其中，所謂閉塞狀態是設成：並非僅是將內部空間與外部空間之間的氣體的流通完全地遮斷的狀態，也包含容許內部空間與外部空間之間的少量的氣體的流通之狀態。
因此，可以提供一種可以在保養維修時將搬送用移動體佔有的外部空間的佔有量儘量縮小的物品保管設備。
1‧‧‧半導體容器保管庫
10‧‧‧物品收納架
20‧‧‧搬送用移動體
21‧‧‧行進台車
22‧‧‧升降柱
23‧‧‧上部框
24‧‧‧升降體
25‧‧‧移載裝置
50‧‧‧作業台
51‧‧‧第1踏板
52‧‧‧第2踏板
53‧‧‧第3踏板
54‧‧‧第4踏板
1G‧‧‧外部空間
1K‧‧‧開口部
1Ka‧‧‧第1開口部
1Kb‧‧‧第2開口部
1N‧‧‧內部空間
1S‧‧‧收納部
1W‧‧‧壁狀體
1Wa‧‧‧路徑劃分壁部
1Wb‧‧‧左右方向壁部
20A‧‧‧第1搬送用移動體
20B‧‧‧第2搬送用移動體
21m‧‧‧行進驅動部
24m‧‧‧升降驅動部
B‧‧‧容器
C‧‧‧控制部
D‧‧‧門體
D1‧‧‧上部門體
D2、D2a、D2b‧‧‧下部門體
D3、D3a、D3b‧‧‧子門體
Dh1‧‧‧門體用搖動軸
Dh2‧‧‧閉塞體用搖動軸
H‧‧‧閉塞體
L‧‧‧梯子
P‧‧‧搖動角
R‧‧‧行進軌道
R1‧‧‧下部軌道
R2‧‧‧上部軌道
S1‧‧‧第1檢測感測器
S2‧‧‧第2檢測感測器
圖1是半導體容器保管庫之局部切除的概要立體圖。
圖2是顯示半導體容器保管庫的主要部位之縱剖視圖。
圖3是顯示將門體設為開放形態之狀態的半導體容器 保管庫之主要部位立體圖。
圖4是顯示將門體設為封閉形態之狀態的半導體容器保管庫之主要部位平面圖。
圖5是顯示將門體設為開放形態之狀態的半導體容器保管庫之主要部位平面圖。
圖6是顯示將下部門體設為中間形態之狀態的半導體容器保管庫之平面圖。
圖7是顯示將下部門體設為中間形態而將子門體設為閉塞用形態之狀態的半導體容器保管庫之平面圖。
圖8是顯示使保養維修對象的搬送用移動體位於外部空間而將子門體設為閉塞用形態之狀態的半導體容器保管庫之平面圖。
圖9是顯示將下部門體設為中間形態而將子門體設為閉塞用形態，並將上部門體設為封閉形態之狀態的半導體容器保管庫之立體圖。
圖10是顯示將外部保養維修用立足點切換為搭乘用形態之狀態的半導體容器保管庫的平面圖。
圖11是顯示外部保養維修用立足點的水平形態與搭乘用形態之切換的立體圖。
圖12是控制方塊圖。
用以實施發明之形態
以下，根據圖式來說明物品保管設備的實施形態。在此，說明將物品保管設備應用於半導體容器保管庫的情 況之實施形態。
如圖1和圖2所示，半導體容器保管庫1具備有物品收納架10及搬送用移動體20。物品收納架10在左右方向及上下方向上具備有複數個收納部1S，該收納部1S是用以收納收容有半導體基板的FOUP等容器B。搬送用移動體20是構成為能在物品收納架10的前面於沿著左右方向設置的行進軌道R中沿著左右方向移動自如。搬送用移動體20具備有在收納部1S及其本身之間將容器B移動自如的移載裝置25。在本實施形態中，左右方向相當於「沿著水平方向的第1方向」，上下方向相當於「沿著上下方向的第2方向」。
物品收納架10，在上下方向及左右方向上將複數個載置部排列而設置，該等載置部是用以載置支持容器B。在本實施形態中，在載置部與該載置部之上層的載置部之間，而且在左右方向上與鄰接於左邊的載置部及鄰接於右邊的載置部之間，均形成有收納部1S。再者，圖示雖然省略，但在載置部上設置有惰性氣體供給部，用以對容器B內供給氮氣等的惰性氣體。
又，物品收納架10，是以使存取容器B之側相向的形態，在容器B的存取方向使其相間隔而成一對被設置。在一對的物品收納架10之間，沿左右方向設置有搬送用移動體20行進的行進軌道R。在本實施形態中，是將在左右方向上的行進軌道R的存在範圍設定為行進路徑。
上述一對的物品收納架10及搬送用移動體20是配置在被壁狀體1W(相向的一對路徑劃分壁部1Wa及相向 的一對左右方向壁部1Wb)所包圍的內側(也就是內部空間1N中)。壁狀體1W在平面視下是設置為矩形形狀，且在平面視下區分外部空間1G與內部空間1N。
亦即，壁狀體1W是設置在配置有物品收納架10及搬送用移動體20的內部空間1N之側周圍，而在平面視下區分外部空間1G與內部空間1N。
再者，圖示雖然省略，但半導體容器保管庫1的天花板部設置有朝向下方來使空氣流動的氣流產生裝置，而構成為在內部空間1N的內部形成從天花板側朝向地板側的氣流(下向流(downflow))。
如圖1及圖2所示，搬送用移動體20具備有：行進台車21，沿著作為行進軌道R的下部軌道R1而行進移動自如；升降柱22，豎立設置在行進台車21上；及升降體24，被升降柱22引導而升降移動。升降柱22是豎立設置在行進台車21中的比該行進台車21的行進方向之中央部更靠向其中一側的部分。亦即，升降柱22是豎立設置在行進台車21中的比左右方向的中央部更靠向左右方向的其中一側的第1側之部分上。又，下部軌道R1的上方設有上部軌道R2。上部軌道R2是用來引導設置在升降柱22上端的上部框23上之引導輪。
又，升降體24是以在行進台車21中於行進方向上，朝與升降柱22所在之側的端部之相反側延伸出的狀態而被設置。亦即，升降體24是設置為從升降柱22朝向上述第1側的相反側延伸而出。
又，如圖12所示，設置有控制部C，該控制部C是用以控制行進台車21中所具備的行進驅動部21m、使升降體24升降的升降驅動部24m之作動、移載裝置25的移載作動等。亦即，設置有控制搬送用移動體20的搬送作動的控制部C。
如圖2所示，在平面視下朝於左右方向(搬送用移動體20的行進方向)中的行進路徑(行進軌道R)之兩端的每個接近而定位的一對路徑劃分壁部1Wa上，分別形成有搬送用移動體20可通過的開口部1K。行進軌道R是通過開口部1K以跨內部空間1N側與外部空間1G側而被設定。
亦即，是將行進路徑以被壁狀體1W所劃分的狀態跨內部空間1N與外部空間1G而連續形成。並且，在壁狀體1W中的劃分行進路徑的部分之路徑劃分壁部1Wa上，形成有搬送用移動體20可通過的開口部1K。
又，作為搬送用移動體20，設置有在行進路徑(在本例中為單一的行進路徑)上個別地行進的第1搬送用移動體20A、及第2搬送用移動體20B。在搬送用移動體20的行進方向上，是將第1搬送用移動體20A負責的行進區域與第2搬送用移動體20B負責的行進區域設定為彼此不重複。
第1搬送用移動體20A及第2搬送用移動體20B各自位於內部空間1N時，是以在行進台車21中於行進方向上使升降柱22所接近的端部，接近其本身所存在之側之門體D的形態而被設置。亦即，搬送用移動體20分別以上述第1側成為朝向門體D之側的朝向而被設置。具體而言，第1搬送用移動 體20A是以第1側成為朝向後述之第1門體之側的朝向而被設置，且第2搬送用移動體20B是以第1側成為朝向後述之第2門體之側的朝向而被設置。
以下，針對設置在開口部的門體D進行說明。門體D是分別設置在設於一對路徑劃分壁部1Wa的每個的開口部1K上。一對路徑劃分壁部1Wa是分別接近行進路徑的兩端的每個而定位。亦即，如圖2所示，在壁狀體1W中的第1搬送用移動體20A側的端部之路徑劃分壁部1Wa上，設置有作為開口部1K的第1開口部1Ka。再者，壁狀體1W中的第1搬送用移動體20A側的端部，即是指在壁狀體1W中的沿左右方向從第2搬送用移動體20B朝向第1搬送用移動體20A之側的端部。並且，在第1開口部1Ka上設置作為門體的第1門體，並對應於第1門體而設置有作為閉塞體的第1閉塞體。在本實施形態中，第1閉塞體是以已安裝在1門體的狀態設置在第1開口部1Ka。又，在壁狀體1W中的第2搬送用移動體20B側的端部之路徑劃分壁部1Wa上，設置有作為開口部1K的第2開口部1Kb。再者，在壁狀體1W中的第2搬送用移動體20B側的端部，即是指在壁狀體1W中的沿左右方向從第1搬送用移動體20A朝向第2搬送用移動體20B之側的端部。並且，在第2開口部1Kb上設置作為門體D的第2門體，並對應於第2門體而設置有作為閉塞體的第2閉塞體。在本實施形態中，第2閉塞體是以已安裝在第2門體的狀態設置在第2開口部1Kb。在本實施形態中，設置在第1門體的子門體D3相當於第1閉塞體，設置在第2門體的子門體D3相 當於第2閉塞體。
又，由於一對的路徑劃分壁部1Wa之每個的開口部1K中的門體D為同樣的構成，故在以下的說明中，是以其中一邊的開口部1K為例作說明。
如圖1~圖3等所示，開口部1K上設置有上部門體D1及下部門體D2，該上部門體D1是以沿上下方向的門體用搖動軸Dh1(參照圖4~圖7)為軸心而搖動自如且位於上下方向的上方，該下部門體D2是以門體用搖動軸Dh1為軸心而搖動自如且在上下方向上位於下方。在本實施形態中，門體D具備有上部門體D1及下部門體D2。
上部門體D1及下部門體D2分別構成為可將形態自如地切換成：以沿著路徑劃分壁部1Wa的形態閉塞開口部1K的封閉形態(參照圖1、圖4)、以及位於內部空間1N側而將開口部1K開放為使搬送用移動體20可通過之開放形態(參照圖3、圖5)。
在本實施形態中，上部門體D1及下部門體D2分別相當於分割部分(上下分割部分)。亦即，在本實施形態中，門體D在上下方向被分割為複數個分割部分，在本例中，是將分體D分割成上部門體D1及下部門體D2之2個分割部分。並且，上部門體D1及下部門體D2分別構成為可將形態自如地切換成開放形態及封閉形態。
又，在下部門體D2上，如圖6~圖10所示，設置有子門體D3。子門體D3是構成為可在將下部門體D2的形態切換為開放形態及封閉形態之間的中間形態，且使搬送用 移動體20停止於取出用停止位置(在圖8中的第1搬送用移動體20A的位置)的狀態中，切換成將連通內部空間1N與外部空間1G的部分閉塞的閉塞狀態(參照圖7)。取出用停止位置是在搬送用移動體20的左右方向的存在範圍內開口部1K所在之(包含開口部1K之)搬送用移動體20的位置。亦即，取出用停止位置相當於「對象位置」。在本實施形態中，子門體D3相當於閉塞體H。
如圖6及圖7所示，子門體D3是相對於下部門體D2被安裝成以閉塞體用搖動軸Dh2為軸心而搖動自如。閉塞體用搖動軸Dh2是在下部門體D2中在平面視下設置於與門體用搖動軸Dh1相反側的端部上。
亦即，複數個分割部分之中的至少一個分割部分(在本例中為一個分割部分)上，設置有子門體D3。
子門體D3是構成為在平面視下可將形態自如地切換成沿著下部門體D2的收納用形態(參照圖6)及閉塞用形態(參照圖7)。在此，在平面視下將下部門體D2與子門體D3在閉塞體用搖動軸Dh2中形成的角度作為搖動角P(參照圖7)，閉塞用形態為與收納用形態相比使搖動角P形成較大的角度之形態。在本實施形態中，如圖6所示，收納用形態下的搖動角P為0度。
然後，構成為藉由將下部門體D2的形態切換為中間形態，並且將子門體D3切換為閉塞用形態，以將子門體D3形成閉塞狀態。
再者，將上部門體D1設成封閉形態，將下部門 體D2設成中間形態後，再將子門體D3設成閉塞用形態時，雖然在上下方向於上部門體D1與下部門體D2相鄰接的部分中，在平面視下會形成被上部門體D1、下部門體D2及子門體D3所包圍的梯形形狀之間隙，但由於通過該間隙從內部空間1N向外部空間1G漏出的氣體量不多，因此在此揭示的閉塞狀態中也包含形成如上述之間隙的狀態的情形。
如圖6及圖7所示，在上部門體D1及下部門體D2中，設置有近接檢測式的第1檢測感測器S1，以檢測該上部門體D1或下部門體D2是否為封閉形態。又，在子門體D3上設置有近接檢測式的第2檢測感測器S2，以檢測該子門體D3是否為閉塞狀態。如圖12所示，第1檢測感測器S1及第2檢測感測器S2的檢測資訊是構成為被輸入至控制部C。在本實施形態中，第1檢測感測器S1及第2檢測感測器S2相當於門狀態檢測部，用來檢測門體D是否為封閉形態、及子門體D3是否為閉塞狀態。
在本實施形態中，由於是設置第1門體及第2門體作為門體D，因此門狀態檢測部是對應於該等各個門體D而各自設置。亦即，第1門體上設置有第1門狀態檢測部，用以檢測第1門體是否為封閉形態、以及第1閉塞體是否為閉塞狀態，第2門體上設置有第2門狀態檢測部，用以檢測第2門體是否為封閉形態、以及第2閉塞體是否為閉塞狀態。
並且，控制部C是構成為以第1作動許可狀態之情形為條件，使第1搬送用移動體20A搬送作動，且以第2作動許可狀態之情形為條件，使第2搬送用移動體20B搬送 作動。在此，第1作動許可狀態是以下的任一個：以第1門狀態檢測部檢測出第1門體為封閉形態之情形的狀態，或以第1門狀態檢測部檢測出第1閉塞體並非閉塞狀態之情形的狀態。又，第2作動許可狀態是以下的任一個：以第2門狀態檢測部檢測出第2門體為封閉形態之情形的狀態，或以第2門狀態檢測部檢測出第2閉塞體並非閉塞狀態之情形的狀態。
如此，控制部C是構成為以第1檢測感測器S1檢測出門體D為封閉形態之情形的狀態，或以第2檢測感測器S2檢測出子門體D3並非閉塞狀態之情形的狀態的任一作動許可狀態之情形作為條件，來使搬送用移動體20搬送作動。
接著，根據圖10及圖11說明外部作業的作業台50。
路徑劃分壁部1Wa的外側面側上，設置有包括支柱及橫樑而且組合成高台狀的支持框體，且沿著路徑劃分壁部1Wa的外側面安裝有用於供作業人員在支持框體的內部升降的梯子L。又，在上下方向上於上部門體D1的存在高度中，設置有用於供作業人員在高處作業而搭乘的第1踏板51、第2踏板52、第3踏板53及第4踏板54。第1踏板51是構成為以繞水平軸心的方式搖動自如地設置在梯子L的背面側上，且可將形態自如地切換成沿著水平方向的搭乘形態及沿著上下方向的收納形態。第1踏板51是在作業人員在梯子L中升降時使搖動端部搖動至上方而形成收納形態，並於作業 人員在梯子L中爬升而通過該第1踏板51的設置高度後，將搖動端部搖動至下方而形成搭乘形態，藉此，即能成為作業人員作業用的立足點。
又，第2踏板52及第3踏板53是在左右方向上鄰接而設置，並從接近路徑劃分壁部1Wa之側開始依第3踏板53、第2踏板52之順序配置。又，在平面視下以挾持行進軌道R的方式將第4踏板54設置在第1踏板51的相反側上。第4踏板54無法搖動，並以水平形態固定在支持框體上。由於在使搬送用移動體20停止在取出用停止位置的狀態下，會使升降柱22從上部門體D1遠離，故可使第3踏板53存在於升降柱22與上部門體D1之間(參照圖10)。因此，藉由將第3踏板53設成搭乘形態，作業人員可將包圍升降柱22的第1踏板51、第3踏板53、第4踏板54作為立足點來進行作業。
接著，說明在本實施形態的半導體容器保管庫1中，保養維修搬送用移動體20時的工序。
首先，當搬送用移動體20故障等而需要保養維修時，將搬送用移動體20切換為使作業人員以手動指令來使其動作的手動動作模式。
之後，如圖5所示，作業人員將下部門體D2及上部門體D1切換為開放形態，並使搬送用移動體20移動到於搬送用移動體20的左右方向之存在範圍內開口部1K所在的取出用停止位置上。又，並且降下升降體24以使其位於升降下限位置。
使搬送用移動體20位於取出用停止位置後，接著 如圖9所示，將上部門體D1設為封閉形態，並且將下部門體D2設為中間形態。
在此，在下部門體D2中，使左右一對的下部門體D2a、D2b搖動至圖6所示之中間形態後，使搖動自如地安裝在該左右一對的下部門體D2a、D2b的每個上之子門體D3a、D3b，搖動至成為閉塞用形態(參照一點鏈線箭頭)。
藉此，如圖7及圖8所示，即可在已將搬送用移動體20取出至外部空間的狀態下，形成將連通內部空間1N與外部空間1G的部分閉塞的閉塞狀態。又，如圖8所示，由於可以做成使外部空間1G進入至內部空間1N側的狀態，因此可以使行進台車21中的內部空間1N側的部分或在升降體24中的內部空間1N側的部分位於該進入的部分。亦即，可使行進台車21及升降體24以在左右方向上從路徑劃分壁部1Wa朝內部空間1N側進入的狀態位於外部空間1G，整體而言可將搬送用移動體20在左右方向上在比路徑劃分壁部1Wa還外側處所佔有的區域縮小。又，由於是藉由將上述門體D1設為封閉形態，將下部門體D2設為中間形態後再將子門體D3設為閉塞用形態，以將外部空間1G與內部空間1N劃分，因此如圖8所示，要使並非保養維修對象之搬送用移動體20(在圖8所示之例中為第2搬送用移動體20B)在成為保養維修對象之搬送用移動體20(在圖8所示之例中為第1搬送用移動體20A)的行進區域中安全地行進是可能的。因此，可以做到儘可能地避免設備整體的運轉效率之低下。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，雖然作為搬送用移動體而說明了具備有在行進台車21上豎立設置有升降柱22，且沿該升降柱22設有升降自如之升降體24的堆高式起重機之構成，但並不以此種構成為限，可以例如藉由沿著行進軌道行進的自走式台車構成搬送用移動體等，搬送用移動體是沿著行進軌道行進而搬送物品的各種移動體來構成。
(2)在上述實施形態中，雖然說明了在門體D中於平面視下將設置於與門體用搖動軸為相反側的端部上之軸心作為閉塞體用搖動軸，而將閉塞體H做成以閉塞體用搖動軸作為軸心而搖動自如地被安裝在門體D上的子門體D3之構成，但只要是能將連通內部空間1N與外部空間1G的部分閉塞之構成，也可以將例如做成在左右的門體D上安裝獨立的板狀體之構造等各種的構成採用作為閉塞體H。
(3)在上述實施形態中，雖然說明了將門體D分割為2個而為上部門體D1及下部門體D2之構成，但並不以此種構成為限，亦可做成在上下方向上將門體D分割為3個以上的構成。又，亦可做成在上下方向上設置連續的單一或一對的門體D，且在該門體D上設置閉塞體之構成。
(4)在上述實施形態中，雖然說明了將門體D做成左右個別地開閉的左右對開式之門的構成，但亦可取代此種構成而做成以下的構成：做成具備在左右其中一側的端部上沿上下方向的搖動軸而搖動自如的門體，且在該門體的搖動端部側設置第2搖動門，並在該第2搖動門的搖動端部側設置第3搖動門。在此情況下，可構成為例如，使門體、 第2搖動門及第3搖動門以在平面視下以梯形形狀或矩形形狀進入內部空間側的狀態，來將連通內部空間1N與外部空間1G的部分閉塞。
又，在上述實施形態中，雖然說明了以將下部門體D2設成開放形態與封閉形態之間的中間形態之狀態，來將子門體D3形成閉塞用形態，但是並不以此種構成為限，亦可構成為以將下部門體D2設成開放形態之狀態來將子門體D3形成閉塞用形態。
(5)在上述實施形態中，雖然說明了構成為使2台搬送用移動體20(搬送用移動體20A、20B)在相同的行進路徑中行進，但做成具備1台或3台以上的搬送用移動體20之構成亦可，搬送用移動體20的數量是可以任意變更的。又，具備3台以上的搬送用移動體20時，較佳是具備可替換位於行進路徑的兩端部的搬送用移動體20及位於其間的搬送用移動體20之位置的機構，或做成在行進路徑的兩端部之外設置搬送用移動體20的取出用之門體的構成。
(6)在上述實施形態中，雖然說明了對在相同的行進路徑中行進的2個搬送用移動體20A、20B的每個，以將各自負責的行進區域設定在不重複之狀態的構成，但並不以此種構成為限，也可以做成在使各個搬送用移動體負責的行進區域之一部分或全部重複的狀態下運用之構成。
(7)在上述實施形態中，雖然說明了作為門狀態檢測部，而做成具備檢測門體D是否為封閉形態的近接檢測式的第1檢測感測器S1，以及檢測閉塞體是否為閉塞狀態的 近接檢測式的第2檢測感測器S2之2種感測器之構成，但亦可取代此種構成，而可採用例如設置拍攝門體D的照相機，以控制部C分析照相機的拍攝影像，再判斷門體是否為封閉形態、以及閉塞體是否為閉塞狀態等，可檢測門體D是否為封閉形態、以及閉塞體是否為閉塞狀態之各種檢測方式，來作為門狀態檢測部。
(8)在上述實施形態中，雖然是做成當將上部門體D1設成封閉形態，並將下部門體D2設成中間形態後，再將子門體D3設成閉塞用形態時，不將在上下方向上於使上部門體D1與下部門體D2相鄰接的部分形成的間隙閉塞之構成，但亦可做成具備將上述間隙閉塞之閉塞體的構成。
[上述實施形態的概要]
以下，針對上述已說明的物品保管設備之概要進行說明。
物品保管設備具備：物品收納架，在沿著水平方向的第1方向及沿著上下方向的第2方向上具備複數個將收容有半導體基板的容器收納的收納部；搬送用移動體，在物品收納架的前面沿著前述第1方向而設置的行進路徑上沿著前述第1方向移動自如；及壁狀體，設置在配置前述物品收納架及前述搬送用移動體的內部空間的側周圍，且在平面視下區分外部空間與前述內部空間，前述搬送用移動體具備在前述收納部與其本身之間將前述容器移載自如的移載裝置，前述行進路徑是以被前述壁狀體劃分的狀態跨前述內 部空間與前述外部空間而連續形成，在前述壁狀體中的劃分前述行進路徑的部分之路徑劃分壁部上，形成前述搬送用移動體可通過的開口部，於前述開口部上設置以沿前述第2方向之門體用搖動軸為軸心而搖動自如的門體，前述門體是構成為可將形態自如地切換成：以沿前述路徑劃分壁部的形態閉塞前述開口部的封閉形態、及位於前述內部空間側而使前述搬送用移動體可通過地開放前述開口部的開放形態，具備有閉塞體，該閉塞體是：以在前述搬送用移動體的前述第1方向的存在範圍內包含前述開口部的前述搬送用移動體的位置作為對象位置，在將前述門體的形態切換為前述開放形態與前述封閉形態之間的中間形態或前述開放形態，而且，使前述搬送用移動體停止在前述對象位置的狀態中，可切換成將連通前述內部空間與前述外部空間的部分閉塞之閉塞狀態。
亦即，當將門體設為開放形態，並使搬送用移動體停止在對象位置上後，藉由以將門體設成中間形態或開放形態之狀態來將閉塞體切換為閉塞狀態，即能將搬送用移動體取出至外部空間。
因此，與例如，藉由以將搬送用移動體的整體在第1方向上使其位於開口部的外側之狀態，來將門體設為封閉形態，以將搬送用移動體取出至外部空間的構成相較之下，能夠減少搬送用移動體佔有的外部空間的佔有量。
又，其中，所謂閉塞狀態是設成：並非僅是將內部空間與外部空間之間的氣體的流通完全地遮斷的狀態，也包含容許內部空間與外部空間之間的少量的氣體的流通之狀態。
因此，可以提供一種可以在保養維修時將搬送用移動體佔有的外部空間的佔有量儘量縮小的物品保管設備。
在此，較佳是做成以下的構成：前述閉塞體是以閉塞體用搖動軸為軸心而相對於前述門體搖動自如地被安裝之子門體，前述閉塞體用搖動軸是：在前述門體中於平面視下配置在與前述門體用搖動軸為相反側的端部，並將在平面視下前述門體與前述子門體在前述閉塞體用搖動軸上形成之角度作為搖動角，前述子門體構成為可將形態自如地切換成下列形態：在平面視下沿前述門體的收納用形態、以及與前述收納用形態相比前述搖動角成為較大的角度的閉塞用形態，且構成為藉由將前述門體的形態切換成前述中間形態，並且將前述子門體的形態切換成前述閉塞用形態，藉此使前述閉塞體成為前述閉塞狀態。
亦即，藉由將安裝在門體上的子門體切換成閉塞用形態，可將連通內部空間與外部空間的部分閉塞。因此，與將閉塞體與門體當作獨立的物體而設置，並在形成閉塞狀態時將該獨立的閉塞體安裝至門體的構成相較之下，能 將閉塞體切換成閉塞狀態的作業變容易。
又，較佳的是，前述門體在前述第2方向上分割為複數個分割部分，且前述複數個分割部分個別地構成為可將形態自如地切換為前述開放形態及前述封閉形態，在前述複數個分割部分中的至少一個分割部分上，設置有前述子門體。
亦即，子門體是相對於門體附加地被安裝之構成之故，因此比起僅具備門體的情況會使構成變複雜。根據本構成，由於可以配合搬送用移動體的形狀，在複數個分割部分中必要的部分設置子門體，故能作為整體而將設備的構成精簡化。
又，較佳的是，前述搬送用移動體具備沿著前述行進路徑行進移動自如的行進台車、豎立設置在前述行進台車的升降柱、及被前述升降柱引導而升降移動的升降體，前述升降柱是豎立設置在比前述行進台車中的前述第1方向的中央部更靠前述第1方向之其中一邊側的第1側之部分，前述升降體是以從前述升降柱朝向前述第1側之相反側延伸出的狀態設置，前述搬送用移動體位於前述內部空間時，是以前述第1側成為朝向前述門體之側的朝向設置。
亦即，使搬送用移動體停止在對象位置時，是使升降柱在第1方向上位於比開口部更加外側(亦即外部空間)。 於是，在行進台車及升降體不存在而僅有升降柱存在的第2方向之區域(高度)上，即使形成不具備子門體的門體，也能將連通開口部中的內部空間與外部空間的部分閉塞。又，在使搬送用移動體停止在對象位置時，根據升降柱相對於行進台車的位置以及升降體相對於升降柱的突出量，會有形成使開口部位於行進台車及升降體在第1方向中的存在範圍內的狀態之情況。於是，在這種情況下，只要在形成行進台車及升降體存在的高度(第2方向之區域)的門體上具備子門體之構成，就可以在行進台車及升降體存在的高度上，將連通開口部中的內部空間與外部空間的部分閉塞。
又，較佳的是具備：門狀態檢測部，檢測前述門體是否為前述封閉形態、以及前述閉塞體是否為前述閉塞狀態；及控制部，控制前述搬送用移動體的搬送作動，且將前述控制部構成為以即下列之任一者之作動許可狀態為條件來使前述搬送用移動體進行搬送作動：藉由前述門狀態檢測部檢測出前述門體為前述封閉形態的狀態、或者藉由前述門狀態檢測部檢測出前述閉塞體並非前述閉塞狀態的狀態。
亦即，在藉由門狀態檢測部檢測出門體為開放形態之情形的情況下，或在藉由門狀態檢測部檢測出閉塞體為閉塞狀態之情形的情況下，即有下列可能性：搬送用移動體故障而必須保養維修，或門體為開放形態而形成作業人員可侵入內部空間的狀態，且不宜再繼續進行搬送用移 動體的搬送作動。藉由本構成，由於是將搬送用移動體的作動條件設成以藉由門狀態檢測部檢測出門體為封閉形態之情形的狀態、或者藉由門狀態檢測部檢測出閉塞體並非閉塞狀態之情形的狀態的任一情形為條件，來使搬送用移動體搬送作動，故能在沒有門體或閉塞體干涉搬送用移動體的疑慮的恰當狀態下，使其進行搬送作動。
又，較佳的是具備：2台前述搬送用移動體，在前述行進路徑上個別地行進的第1搬送用移動體及第2搬送用移動體；第1開口部，作為前述開口部，並設置在前述壁狀體中的沿前述第1方向從前述第2搬送用移動體朝向前述第1搬送用移動體之側的端部；第1門體，作為前述門體，並設置在前述第1開口部；第1閉塞體，作為前述閉塞體，並對應前述第1門體而設置；第1門狀態檢測部，檢測前述第1門體是否為前述封閉形態、以及前述第1閉塞體是否為前述閉塞狀態；第2開口部，作為前述開口部，並設置在前述壁狀體中的沿前述第1方向從前述第1搬送用移動體朝向前述第2搬送用移動體之側的端部；第2門體，作為前述門體，並設置在前述第2開口部；第2閉塞體，作為前述閉塞體，並對應前述第2門體而設置；及第2門狀態檢測部，檢測前述第2門體是否為前述封閉 形態、以及前述第2閉塞體是否為前述閉塞狀態，且將前述控制部構成為：以即下列之任一者之第1作動許可狀態為條件來使前述第1搬送用移動體進行搬送作動：藉由前述第1門狀態檢測部檢測出前述第1門體為前述封閉形態的狀態、或者藉由前述第1門狀態檢測部檢測出前述第1閉塞體並非前述閉塞狀態的狀態，並且，以即下列之任一者之第2作動許可狀態為條件來使前述第2搬送用移動體進行搬送作動：藉由前述第2門狀態檢測部檢測出前述第2門體為前述封閉形態的狀態、或者藉由前述第2門狀態檢測部檢測出前述第2閉塞體並非前述閉塞狀態的狀態。
亦即，由於在第1門體並非封閉形態的情況下、或第1閉塞體為閉塞狀態的情況下，不使第1搬送用移動體搬送作動，因此做成將第1門體形成為開放形態等使作業人員能接近第1搬送用移動體的狀態，使作業人員能夠避開非預期的第1搬送用移動體的作動，而可以確保作業人員的安全。又，由於在此情況下，在第2門體為封閉形態時、或第2閉塞體並非閉塞狀態時，第2搬送用移動體會繼續進行搬送作動，故能抑制設備的運轉效率的低下。
又，同樣地，由於在第2門體並非封閉形態的情況下、或第2閉塞體為閉塞狀態的情況下，不使第2搬送用移動體搬送作動，因此做成將第2門體形成為開放形態等使作業人員能接近第2搬送用移動體的狀態，使作業人員能夠避開非預期的第2搬送用移動體的作動，而可以確保作業人 員的安全。又，由於在此情況下，在第1門體為封閉形態時、或第1閉塞體並非閉塞狀態時，第1搬送用移動體會繼續進行搬送作動，故能抑制設備的運轉效率的低下。
像這樣，作為搬送用移動體，而在行進路徑上設置有個別地行進的2個搬送用移動體的情況下，即可儘可能地減少設備的運轉效率的低下並且確保作業人員的安全。

Claims (6)

  1. 一種物品保管設備，具備以下：物品收納架，在沿著水平方向的第1方向及沿著上下方向的第2方向上具備複數個將收容有半導體基板的容器收納的收納部；搬送用移動體，在前述物品收納架的前面沿著前述第1方向而設置的行進路徑上沿著前述第1方向移動自如；及壁狀體，設置在配置前述物品收納架及前述搬送用移動體的內部空間的側周圍，且在平面視下區分外部空間與前述內部空間，其中，前述搬送用移動體具備在前述收納部與其本身之間將前述容器移載自如的移載裝置，其具有以下特徵：前述行進路徑是以被前述壁狀體劃分的狀態跨前述內部空間與前述外部空間而連續形成，在前述壁狀體中的劃分前述行進路徑的部分之路徑劃分壁部上，形成前述搬送用移動體可通過的開口部，於前述開口部上設置以沿前述第2方向之門體用搖動軸為軸心而搖動自如的門體，前述門體是構成為可將形態自如地切換成：以沿前述路徑劃分壁部的形態閉塞前述開口部的封閉形態、及 位於前述內部空間側而使前述搬送用移動體可通過地開放前述開口部的開放形態，具備有閉塞體，該閉塞體是：以在前述搬送用移動體的前述第1方向的存在範圍內包含前述開口部的前述搬送用移動體的位置作為對象位置，在將前述門體的形態切換為前述開放形態與前述封閉形態之間的中間形態或前述開放形態，而且，使前述搬送用移動體停止在前述對象位置的狀態中，可切換成將連通前述內部空間與前述外部空間的部分閉塞之閉塞狀態。
  2. 如請求項1之物品保管設備，其中，前述閉塞體是以閉塞體用搖動軸為軸心而相對於前述門體搖動自如地被安裝之子門體，前述閉塞體用搖動軸是：在前述門體中於平面視下配置在與前述門體用搖動軸為相反側的端部，並將在平面視下前述門體與前述子門體在前述閉塞體用搖動軸上形成之角度作為搖動角，前述子門體構成為可將形態自如地切換成下列形態：在平面視下沿前述門體的收納用形態、以及與前述收納用形態相比前述搖動角成為較大的角度的閉塞用形態，且構成為藉由將前述門體的形態切換成前述中間形態，並且將前述子門體的形態切換成前述閉塞用形態，藉此使前述閉塞體成為前述閉塞狀態。
  3. 如請求項2之物品保管設備，其中，前述門體在前述第2方向上分割為複數個分割部分，且前述複數個分割部分個別地構成為可將形態自如地切換為前述開放形態及前述封閉形態，在前述複數個分割部分中的至少一個分割部分上，設置有前述子門體。
  4. 如請求項3之物品保管設備，其中，前述搬送用移動體具備沿著前述行進路徑行進移動自如的行進台車、豎立設置在前述行進台車的升降柱、及被前述升降柱引導而升降移動的升降體，前述升降柱是豎立設置在比前述行進台車中的前述第1方向的中央部更靠前述第1方向之其中一邊側的第1側之部分，前述升降體是以從前述升降柱朝向前述第1側之相反側延伸出的狀態設置，前述搬送用移動體位於前述內部空間時，是以前述第1側成為朝向前述門體之側的朝向設置。
  5. 如請求項1至4中任一項之物品保管設備，更具備以下：門狀態檢測部，檢測前述門體是否為前述封閉形態、以及前述閉塞體是否為前述閉塞狀態；及控制部，控制前述搬送用移動體的搬送作動，其中，前述控制部是構成為以即下列之任一者之作動許可狀態為條件來使前述搬送用移動體進行搬送作動：藉由前述門狀態檢測部檢測出前述門體為前述封閉 形態的狀態、或者藉由前述門狀態檢測部檢測出前述閉塞體並非前述閉塞狀態的狀態。
  6. 如請求項5之物品保管設備，更具備以下：2台前述搬送用移動體，在前述行進路徑上個別地行進的第1搬送用移動體及第2搬送用移動體；第1開口部，作為前述開口部，並設置在前述壁狀體中的沿前述第1方向從前述第2搬送用移動體朝向前述第1搬送用移動體之側的端部；第1門體，作為前述門體，並設置在前述第1開口部；第1閉塞體，作為前述閉塞體，並對應前述第1門體而設置；第1門狀態檢測部，檢測前述第1門體是否為前述封閉形態、以及前述第1閉塞體是否為前述閉塞狀態；第2開口部，作為前述開口部，並設置在前述壁狀體中的沿前述第1方向從前述第1搬送用移動體朝向前述第2搬送用移動體之側的端部；第2門體，作為前述門體，並設置在前述第2開口部；第2閉塞體，作為前述閉塞體，並對應前述第2門體而設置；及第2門狀態檢測部，檢測前述第2門體是否為前述封閉形態、以及前述第2閉塞體是否為前述閉塞狀態，其中，前述控制部構成為： 以即下列之任一者之第1作動許可狀態為條件來使前述第1搬送用移動體進行搬送作動：藉由前述第1門狀態檢測部檢測出前述第1門體為前述封閉形態的狀態、或者藉由前述第1門狀態檢測部檢測出前述第1閉塞體並非前述閉塞狀態的狀態，並且，以即下列之任一者之第2作動許可狀態為條件來使前述第2搬送用移動體進行搬送作動：藉由前述第2門狀態檢測部檢測出前述第2門體為前述封閉形態的狀態、或者藉由前述第2門狀態檢測部檢測出前述第2閉塞體並非前述閉塞狀態的狀態。
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TW (1) TWI654126B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6443264B2 (ja) * 2015-08-12 2018-12-26 株式会社ダイフク 物品収納設備
SG11201907587UA (en) * 2017-02-23 2019-09-27 Murata Machinery Ltd Stocker and method for forming work platform
DE102020202438A1 (de) * 2020-02-26 2021-08-26 Mias Maschinenbau, Industrieanlagen & Service Gmbh Mastanordnung für ein regalbediengerät
JP7494813B2 (ja) * 2021-07-08 2024-06-04 株式会社ダイフク 物品収容設備
IL316566A (en) * 2022-05-09 2024-12-01 Murata Machinery Ltd Stacker

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM341097U (en) 2008-05-06 2008-09-21 Cyuan Jin Technology Ltd Company Improved structure of electrically-operated folding door
TW201016933A (en) 2008-07-03 2010-05-01 Tokyo Electron Ltd Substrate treatment device and support frame used thereby
TWM487954U (zh) 2014-06-20 2014-10-11 chao-xing Zheng 多片式隱藏門結構

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0640513A (ja) * 1992-07-24 1994-02-15 Daifuku Co Ltd 荷保管設備
US20070065259A1 (en) * 2005-08-30 2007-03-22 Talley Paul A Automated self storage system
JP4626821B2 (ja) 2006-06-08 2011-02-09 株式会社ダイフク 物品保管装置
WO2008008727A2 (en) * 2006-07-10 2008-01-17 Applied Materials, Inc. Scheduling method for processing equipment
JP4378659B2 (ja) * 2007-06-28 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備
JP5403358B2 (ja) * 2009-12-10 2014-01-29 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5429559B2 (ja) * 2010-02-01 2014-02-26 株式会社ダイフク 倉庫設備
JP5500371B2 (ja) * 2010-07-23 2014-05-21 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5598734B2 (ja) 2012-01-06 2014-10-01 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5713203B2 (ja) * 2012-03-27 2015-05-07 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP6304045B2 (ja) * 2015-01-06 2018-04-04 株式会社ダイフク 物品保管設備

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM341097U (en) 2008-05-06 2008-09-21 Cyuan Jin Technology Ltd Company Improved structure of electrically-operated folding door
TW201016933A (en) 2008-07-03 2010-05-01 Tokyo Electron Ltd Substrate treatment device and support frame used thereby
TWM487954U (zh) 2014-06-20 2014-10-11 chao-xing Zheng 多片式隱藏門結構

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Publication number Publication date
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