TWI896236B - 密封元件嵌入治具及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本創作提出一種密封元件嵌入治具，其用以將一密封元件嵌入於一靜電吸附承盤之一側壁面。密封元件嵌入治具包含一嵌入件，其具有一壓迫面，壓迫面向內凹陷形成弧面，且壓迫面能與側壁面互相貼合。該密封元件嵌入治具之使用方法包含使密封元件嵌入治具的嵌入件之壓迫面沿靜電吸附承盤的徑向方向向內擠壓密封元件；使嵌入件與密封元件分離；使嵌入件沿靜電吸附承盤的周向方向移動一距離，及重複前述步驟。本創作的嵌入件之壓迫面與側壁面的接觸範圍較大，因此能夠具有平均施力及節省整體的嵌入時間之功效。

Description

密封元件嵌入治具及其使用方法

本創作是關於一種製造設備的輔助工具，特別是關於一種用於輔助靜電吸附承盤之密封元件設置的治具。

靜電吸附承盤是一種利用靜電的電荷吸引並承托物品，藉此承載和運送物品的工具，由於靜電吸附承盤對所吸附的物品造成的壓力較小，能減少應力，進一步降低損壞的機率，因此在追求產品高良率的晶圓廠中常採用靜電吸附承盤作為晶圓加工時的載具。

使用靜電吸附承盤前，必須先在其側壁面上安裝密封元件。具體來說，靜電吸附承盤之側壁面上形成有一安裝槽，而密封元件被嵌合入該安裝槽。將密封元件嵌入安裝槽的過程包含三個主要步驟：定位、嵌入、以及壓整。傳統上，密封元件嵌入時使用的工具為一個圓柱件，操作人員以圓柱件的外周面接觸於靜電吸附承盤的側壁面，然後沿著靜電吸附承盤之周向方向，透過擠壓及滾動的方式，逐漸地將整圈的密封元件壓入安裝槽之中，接著再調整使其平整即可。

然而，因為圓柱件和靜電吸附承盤互相接觸時，接觸的面積僅有一條線，導致嵌入密封元件的過程相當耗時；此外，經驗不足的操作人員在嵌入密封元件時，很容易推擠到尚未被壓入的密封元件，導致沿著周向方向壓完一圈之後，卻累積一部分的密封元件凸出在安裝槽外，而需要將密封元件卸 除重做；另一方面，同一個操作人員的各壓入點之間距離可能不均勻，如此一來也會讓密封元件的受力不均勻，而不同的操作人員沿著側壁面嵌入密封元件的壓入點密集程度也可能不同，導致密封元件嵌入作業的品質不均而難以控管。

由此可知，一種用於密封元件嵌入的新的解決方案，實有其必要性。

本創作的主要目的在於，提出一種密封元件嵌入治具及其使用方法，其能夠輔助操作人員將密封元件嵌入於靜電吸附承盤的安裝槽內，達到節省時間之目的。

為達成上述目的，本創作提出一種密封元件嵌入治具，其用以將一密封元件嵌入於一靜電吸附承盤，該靜電吸附承盤具有一側壁面；該密封元件嵌入治具包含：一嵌入件，其具有一壓迫面，該壓迫面向內凹陷形成弧面，且該壓迫面能與該側壁面互相貼合；一軌道，其能沿該靜電吸附承盤的周向方向環繞設置於該側壁面；一滑車，其可移動地設置於該軌道；以及一滑軌，其連接於該嵌入件及該滑車，藉此該嵌入件能相對該滑車移動，該滑軌沿該靜電吸附承盤的徑向方向延伸。

此外，為達成上述目的，本創作還提出一種密封元件嵌入治具之使用方法，其用以將一密封元件嵌入於一靜電吸附承盤之一側壁面；該密封元件嵌入治具之使用方法包含： 步驟一：使一密封元件嵌入治具的一嵌入件之一壓迫面沿該靜電吸附承盤的徑向方向向內擠壓該密封元件；其中，該壓迫面朝向該靜電吸附承盤的該側壁面並往遠離該側壁面的方向凹陷，該壓迫面能與該側壁面互相貼合；步驟二：使該嵌入件與該密封元件分離；步驟三：使該嵌入件沿該靜電吸附承盤的周向方向移動一距離；及步驟四：重複步驟一至步驟三；其中，該密封元件嵌入治具進一步具有一軌道、一滑車、及一滑軌，該軌道沿該靜電吸附承盤的周向方向環繞設置於該側壁面，該滑車可移動地設置於該軌道，該滑軌連接該嵌入件及該滑車，且該滑軌沿該靜電吸附承盤的徑向方向延伸；其中：該步驟一進一步為：使該密封元件嵌入治具的該嵌入件藉由該滑軌移動接近該側壁面，以使該壓迫面沿該靜電吸附承盤的徑向方向向內擠壓該密封元件；該步驟二進一步為：使該嵌入件藉由該滑軌移動遠離該側壁面，以使該嵌入件與該密封元件分離；且該步驟三進一步為：使該嵌入件藉由該滑車沿該軌道移動一距離。

因此，本創作的優點在於，與先前技術相比，由於本創作的嵌入件之壓迫面，在靜電吸附承盤的周向方向上與側壁面的接觸範圍較大，因此每一次的壓迫動作可以同時使較多的密封元件被嵌入安裝槽內，繼而能夠具有平均施力及節省整體的嵌入時間之功效。

如前所述之密封元件嵌入治具，其中，該嵌入件進一步具有：至少一縱溝，其凹陷形成於該壓迫面，該至少一縱溝沿該嵌入件的高度方向延伸。

如前所述之密封元件嵌入治具，其中該密封元件嵌入治具進一步具有：一定位件，其固接於該嵌入件；且該軌道進一步具有：一主導軌，其環繞於該靜電吸附承盤，該滑車設置於該主導軌，且能沿該主導軌移動；以及 一副導軌，其環繞於該靜電吸附承盤，該副導軌與該主導軌同心設置，且該副導軌與該主導軌之間間隔設置，該定位件可移動地設置於該副導軌，該副導軌包含：一周向部，其沿該靜電吸附承盤的周向方向環繞該靜電吸附承盤；及複數徑向部，該等徑向部沿該周向部的延伸方向間隔分佈並連接於該周向部，且各該徑向部沿該靜電吸附承盤的徑向方向向內延伸。

如前所述之密封元件嵌入治具，其中，該副導軌進一步具有：複數定位部，該等定位部沿該周向部的延伸方向間隔分佈並連接於該周向部，且各該定位部沿該靜電吸附承盤的徑向方向向外延伸。

如前所述之密封元件嵌入治具，其中，該滑車進一步包含：一彈性件，其連接該嵌入件及該滑車，該彈性件能往遠離該靜電吸附承盤的方向牽引該嵌入件。

如前所述之密封元件嵌入治具，其中，該滑車進一步包含：一活動座，其位於該軌道外；一動滾輪，其可移動地連接於該活動座且延伸至該軌道內，該動滾輪能沿該靜電吸附承盤的徑向方向相對於該活動座移動；以及至少一定滾輪，其固接於該活動座且延伸至該軌道內。

如前所述之密封元件嵌入治具，其進一步具有：複數保護塊，其固接於該軌道朝向該靜電吸附承盤之一面，該等保護塊彼此之間間隔設置，當該軌道設置於該靜電吸附承盤的該側壁面時，該等保護塊夾設於該靜電吸附承盤與該軌道之間。

進一步而言，透過前述的密封元件嵌入治具及密封元件嵌入方法，壓迫面上進一步具有縱溝以容納壓迫密封元件時略為凸出於側壁面的部分，所以不會導致操作人員沿側壁面壓迫完一整圈之後將密封元件擠壓凸出一部分，導致必須卸除重新定位，或是造成密封元件受力不均勻的結果。另外，配合透過將軌道設置在靜電吸附承盤的側壁面，結合滑車與嵌入件即能以軌道 導引嵌入件以執行壓迫密封元件的操作。如此一來能減少純手工執行壓迫時可能造成的施力方向偏移、壓迫位置不平均等情形，也能使嵌入的過程標準化，減少不同操作人員之間執行嵌入的差異，獲得較為一致的嵌入結果。

10,10A,10B:嵌入件

11,11A,11B:壓迫面

111,111A:縱溝

12:修整面

13:貫穿孔

14A:定位件

20:軌道

21:主導軌

211:輪槽

22:副導軌

221:周向部

222:徑向部

223:定位部

23:保護塊

24:環壁

25:扣合部

26:扣合柱

30:滑車

31:活動座

311:長孔

32:動滾輪

33:定滾輪

34:彈性件

35:墊塊

40:滑軌

D:靜電吸附承盤

D1:側壁面

D2:安裝槽

D3:結合溝

S:密封元件

圖1為本創作的密封元件嵌入治具之第一實施例的立體外觀示意圖。

圖2為本創作的密封元件嵌入治具之第一實施例的上視示意圖。

圖3為本創作的密封元件嵌入治具之第一實施例的側剖示意圖。

圖4為本創作的密封元件嵌入治具之第二實施例的立體外觀示意圖。

圖5為本創作的密封元件嵌入治具之第二實施例的上視示意圖。

圖6為本創作的密封元件嵌入治具之第三實施例設置於靜電吸附承盤的立體外觀示意圖。

圖7為本創作的密封元件嵌入治具之第三實施例的立體分解示意圖。

圖8為本創作的密封元件嵌入治具之第三實施例的軌道設置於靜電吸附承盤的側視剖視示意圖。

圖9為本創作的密封元件嵌入治具之第三實施例的部分側剖示意圖。

圖10為本創作的密封元件嵌入治具之第三實施例的嵌入件及滑車的立體外觀示意圖。

圖11為圖10的立體分解示意圖。

圖12為圖10的上視示意圖。

圖13為圖10的側視示意圖。

圖14及圖15為本創作的密封元件嵌入治具之第三實施例的動作示意圖。

首先請參考圖3及圖14，本創作提出一種密封元件嵌入治具，其用以將一密封元件S嵌入於一靜電吸附承盤D之側壁面D1。一安裝槽D2凹陷形成於側壁面D1，且沿靜電吸附承盤D的周向方向延伸而環繞靜電吸附承盤D。

請參考圖1至圖3，本創作之密封元件嵌入治具的第一實施例包含一嵌入件10。嵌入件10為一塊體，其具有一壓迫面11、一修整面12、以及一貫穿孔13。

壓迫面11向內凹陷形成弧面，且壓迫面11能與側壁面D1互相貼合。本實施例中的靜電吸附承盤D係一圓盤，而側壁面D1係該圓盤的外周面，而本實施例中的壓迫面11之曲率半徑約略和側壁面D1的曲率半徑相等，因此壓迫面11和側壁面D1能互相配合而緊密貼靠，但並不以此為限。

壓迫面11凹陷形成有至少一縱溝111，而本實施例中的壓迫面11具有兩縱溝111，但不以此為限，也可以只有一縱溝111。各縱溝111沿嵌入件10的高度方向延伸，而兩縱溝111彼此之間間隔設置且互相平行。此外，也可以像是圖4及圖5中所示的第二實施例，嵌入件10B的壓迫面11B不具有縱溝。

修整面12和壓迫面11分別位於嵌入件10的相對兩端，但不以此為限，修整面12的位置可依需求調整。另外，在本實施例中，修整面12為向外突出的弧面，但不以此為限，修整面12的形式可依需求調整，例如也可以是不規則曲面或稜面。

貫穿孔13位於壓迫面11和修整面12之間，其沿嵌入件10的高度方向貫穿嵌入件10的相對兩面，藉此操作者能將手指伸入貫穿孔13，便於手持嵌入件10，但不以此為限，貫穿孔13也可以只貫穿其中一面，或沿其他方向貫穿嵌入件10。

配合前述的第一實施例，本創作提出一種密封元件嵌入治具之使用方法，其用以將密封元件S嵌入於靜電吸附承盤D之側壁面D1。本創作所提出之密封元件嵌入治具之使用方法包含下列步驟。

步驟一：使一密封元件嵌入治具的一嵌入件10之一壓迫面11，沿該靜電吸附承盤D的徑向方向向內擠壓該密封元件S；其中，該壓迫面11朝向該靜電吸附承盤D的該側壁面D1並往遠離該側壁面D1的方向凹陷，該壓迫面11能與該側壁面D1互相貼合。

步驟二：使該嵌入件10與該密封元件S分離。

步驟三：使該嵌入件10沿該靜電吸附承盤D的周向方向移動一距離。

步驟四：重複步驟一至步驟三。

以下針對前述步驟詳細說明。

在第一實施例中，操作者以手持嵌入件10的形式，以嵌入件10的壓迫面11對靜電吸附承盤D的側壁面D1，並對側壁面D1上經定位的密封元件S壓迫，以將其嵌入至側壁面D1上的安裝槽D2之中。接著，操作者將嵌入件10移開，然後使嵌入件10沿靜電吸附承盤D的周向方向移動一小段距離後，再對密封元件S壓迫，不斷重複直到密封元件S完整地嵌入側壁面D1上的安裝槽D2即可。

與先前技術相比，由於本創作的嵌入件10之壓迫面11，在靜電吸附承盤D的周向方向上與側壁面D1的接觸範圍較大，因此每一次的動作可以使較多的密封元件S被嵌入安裝槽D2內，節省整體的嵌入時間，同時也可達到平均施力之功效。此外，由於本創作的嵌入件10的壓迫面11上還具有縱溝111，其在壓迫面11壓迫時提供密封元件S略為凸出側壁面D1的空間，因此操作者將密封元件S沿周向方向依序嵌入安裝槽D2時，不會使密封元件S持續地沿同 一方向推擠而累積越來越多脫出於安裝槽D2的部分，或導致密封元件S受力不均。

將密封元件S嵌入完成之後，有可能還會有些微凹凸不平的情形，操作者可再使用嵌入件10的修整面12對密封元件S施壓，將其微調平整即可。

接著請參考圖6、圖9、及圖14，本創作之密封元件嵌入治具的第三實施例，其具有一嵌入件10A、一軌道20、一滑軌40、以及一滑車30。第三實施例與第一實施例的主要差異在於嵌入件10A的形式不同，且第三實施例的嵌入件10A能藉由軌道20、滑車30、及滑軌40的配合操作以嵌入密封元件S。

以下針對第三實施例詳細說明。

請參考圖11、圖14、及圖15，本實施例中，嵌入件10A具有壓迫面11A且壓迫面11A之形式與第一實施例相同，也同樣具有縱溝111A，但不以此為限；類似地，嵌入件10A的壓迫面11A也可以和第二實施例一樣不具有縱溝111A。壓迫面11A朝向靜電吸附承盤D的側壁面D1，但第三實施例的嵌入件10A不具有修整面及貫穿孔。

此外，本實施例還可具有一定位件14A，定位件14A固接於嵌入件10A。具體來說，定位件14A為一柱型件，其以一端連接於嵌入件10A的下表面，另一端向下延伸，但不以此為限。

請參考圖6至圖9，軌道20沿靜電吸附承盤D的周向方向可拆卸地環繞設置於側壁面D1。軌道20具有一主導軌21、一副導軌22、複數保護塊23、一環壁24、及一扣合部25。

主導軌21環繞於靜電吸附承盤D，本實施例中的主導軌21為環狀槽，其凹陷形成於軌道20的上側面。主導軌21內相對的兩槽壁面分別凹陷形 成有一輪槽211，兩槽壁面的輪槽211沿主導軌21延伸並環繞靜電吸附承盤D，但不以此為限，主導軌21的形式可依需求調整。

此外，本實施例中，軌道20還可具有一環壁24，其凸出形成於軌道20的上表面，且位於主導軌21的內側，但不以此為限。

副導軌22環繞於靜電吸附承盤D，副導軌22與主導軌21同心設置，且副導軌22與主導軌21之間間隔設置。本實施例中，副導軌22位在主導軌21的內側，但不以此為限。此外，本實施例中的副導軌22為導槽之形式，其凹陷形成於軌道20的上表面，而定位件14A可移動地穿設至副導軌22內，藉此副導軌22能對嵌入件10A的移動進行限位。

副導軌22包含一周向部221、複數徑向部222、以及複數定位部223。周向部221沿靜電吸附承盤D的周向方向環繞靜電吸附承盤D。徑向部222沿周向部221的延伸方向間隔分佈並連接於周向部221，且各徑向部222沿靜電吸附承盤D的徑向方向向內延伸。定位部223沿周向部221的延伸方向間隔分佈並連接於周向部221，且各定位部223沿靜電吸附承盤D的徑向方向向外延伸。

本實施例中，徑向部222彼此之間等距離分佈，而相鄰的兩徑向部222沿周向部221的間隔距離小於或等於嵌入件10A之壓迫面11A的寬度，以確保嵌入件10A分別在所有徑向部222的位置對側壁面D1壓迫後，不會有遺漏而沒壓迫到的部分。

本實施例中，徑向部222和定位部223數量相等，且徑向部222與定位部223的位置互相對應，藉此定位部223能輔助定位件14A對齊徑向部222，以利其移動進入徑向部222，也能作為指示徑向部222的位置之功能，但不以此為限，定位部223的數量及形式可以依據需求調整，或副導軌22也可以不具有定位部223。

保護塊23固接於軌道20朝向靜電吸附承盤D之一面，保護塊23彼此之間間隔設置，藉此當軌道20設置於靜電吸附承盤D的側壁面D1時，各保護塊23被夾設於靜電吸附承盤D與軌道20之間，以確保軌道20和靜電吸附承盤D之間距離的穩定。

請參考圖7及圖8，本實施例中，保護塊23的數量為四個，且保護塊23之間等距離的間隔設置。另外，本實施例的保護塊23之下緣在朝向靜電吸附承盤D之一側具有倒角結構，以便於軌道20相對靜電吸附承盤D的設置，也能避免設置軌道20時保護塊23和靜電吸附承盤D互相撞擊受損，或是意外將已經定位好的密封元件S移位，導致必須重新定位密封元件S，但不以此為限。

本實施例中，靜電吸附承盤D最外緣具有一結合溝D3，而軌道20在最內緣凸出形成扣合部25，一扣合柱26連接於扣合部25並向下延伸。當軌道20設置於靜電吸附承盤D時，扣合柱26伸入結合溝D3，藉此軌道20能扣住靜電吸附承盤D的外緣以穩定地結合，但不以此為限。

請參考圖6及圖9，滑車30可移動地設置於軌道20，具體來說，滑車30係設置於主導軌21，且滑車30係沿著主導軌21移動。

請參考圖11，滑車30包含一活動座31、一動滾輪32、至少一定滾輪33、一彈性件34、及複數墊塊35。

活動座31位於軌道20外，具體而言，活動座31係可移動地位在主導軌21之位置的上方，且活動座31在軌道20的徑向方向上朝內的一端抵靠於軌道20的環壁24，但不以此為限，活動座31的設置方式可依需求調整。

動滾輪32可移動地連接於活動座31且延伸至軌道20內，且動滾輪32能沿靜電吸附承盤D的徑向方向相對於活動座31移動。具體來說，動滾輪32的輪軸之一端可移動地設置在活動座31的一長孔311中，藉此整個動滾輪32 能沿長孔311的延伸方向移動，而輪軸的另一端沿伸入主導軌21，而動滾輪32的輪子係側向設置在主導軌21內的其中一輪槽211。

定滾輪33固接於活動座31且延伸至軌道20內，本實施例中，滑車30具有兩定滾輪33，兩定滾輪33的輪軸的一端係固接於活動座31，另一端伸入主導軌21中，而兩定滾輪33的輪子設置在主導軌21中的另一輪槽211。

藉由前述配置使滑車30能沿著主導軌21移動，且由於動滾輪32能相對活動座31移動，因此能使滑車30移動的過程更為平順。

彈性件34連接嵌入件10A及滑車30的活動座31，彈性件34往遠離靜電吸附承盤D的方向牽引嵌入件10A，由於活動座31抵靠於軌道20的環壁24，所以能夠作為彈性件34向外牽引嵌入件10A的施力基準點，而不會相對向內移動。墊塊35固設於活動座31，且可相對滑動地接觸於軌道20的上表面，使活動座31不與軌道20直接接觸，而讓滑車30移動能更加平順。

滑軌40連接於嵌入件10A及滑車30，滑軌40沿靜電吸附承盤D的徑向方向延伸，藉此嵌入件10A能沿徑向方向相對滑車30移動，以使壓迫面11A推擠密封元件S嵌入安裝槽D2。

配合前述之第三實施例，本創作所提出的密封元件嵌入治具之使用方法可進一步調整如下。

步驟一進一步為使密封元件嵌入治具的嵌入件10A藉由滑軌40移動接近該側壁面D1，以使壓迫面11A沿靜電吸附承盤D的徑向方向向內擠壓密封元件S。

步驟二進一步為使嵌入件10A藉由滑軌40移動遠離側壁面D1，以使嵌入件10A與密封元件S分離。

步驟三進一步為使嵌入件10A藉由滑車30沿軌道20移動一距離。

以下配合圖8、圖9、圖14及圖15進一步說明。

在第三實施例中，當滑車30沿主導軌21移動時，定位件14A也同時沿著副導軌22的周向部221移動；當定位件14A移動到其中一定位部223的位置時，彈性件34會將嵌入件10A連同定位件14A向外拉，使定位件14A移入定位部223中，此時操作者因透過定位件14A移入定位部223中所產生的振動，能感知到滑車30已移動至徑向部222的位置。

接著操作者朝靜電吸附承盤D的方向移動嵌入件10A以壓迫密封元件S，此過程中，由於滑軌40係沿靜電吸附承盤D的徑向方向延伸，加上副導軌22的徑向部222限制了定位件14A的移動路徑，所以確保嵌入件10A只沿徑向方向移動。

然後彈性件34沿徑向方向向外拉動嵌入件10A，讓嵌入件10A復位後，操作者即可將滑車30連同嵌入件10A沿軌道20移動一段距離，至下一個徑向部222的位置，以繼續嵌入密封元件S。

由於本實施例中的徑向部222彼此之間等距離分佈，且相鄰的兩徑向部222沿周向部221的間隔距離不大於嵌入件10A之壓迫面11A的寬度，故只要操作者在每一個徑向部222的位置都壓入密封元件S，即能確保密封元件S有被完整嵌入而不會遺漏。

同樣的，將密封元件S嵌入完成之後，若還有些微凹凸不平的情形，此時操作者可將軌道20連同嵌入件10A及滑車30卸除，再使用第一實施例中的嵌入件10之修整面12將其微調平整即可。

綜上所述，由於本創作的嵌入件10、10A具有壓迫面11、11A，故能夠節省嵌入密封元件S的整體時間，且由於壓迫面11、11A上具有縱溝111、111A能容納略為凸出於側壁面D1的密封元件S，所以不會導致沿側壁面D1壓迫完一整圈之後將密封元件S擠壓凸出一部分，導致必須卸除重新定位， 或是造成密封元件S受力不均勻的結果。另外，本創作還可以進一步具有軌道20和滑車30，透過將軌道20設置在靜電吸附承盤D的側壁面D1，結合滑車30與嵌入件10A，即可以軌道20導引嵌入件10A以執行壓迫密封元件S的操作。如此一來能減少純手工執行壓迫時可能造成的施力方向偏移、壓迫位置不平均等情形，也能使嵌入的過程標準化，以獲得較為一致的嵌入結果，減少不同操作人員之間執行嵌入的差異，甚至還能進一步配合機器達成自動化，以節省人力。

10A:嵌入件

20:軌道

30:滑車

D:靜電吸附承盤

Claims (8)

1. 一種密封元件嵌入治具，其用以將一密封元件嵌入於一靜電吸附承盤，該靜電吸附承盤具有一側壁面；該密封元件嵌入治具包含：一嵌入件，其具有一壓迫面，該壓迫面向內凹陷形成弧面，且該壓迫面能與該側壁面互相貼合；一軌道，其能沿該靜電吸附承盤的周向方向環繞設置於該側壁面；一滑車，其可移動地設置於該軌道；以及一滑軌，其連接於該嵌入件及該滑車，藉此該嵌入件能相對該滑車移動，該滑軌沿該靜電吸附承盤的徑向方向延伸。
2. 如請求項1所述之密封元件嵌入治具，其中，該嵌入件進一步具有：至少一縱溝，其凹陷形成於該壓迫面，該至少一縱溝沿該嵌入件的高度方向延伸。
3. 如請求項1所述之密封元件嵌入治具，其中該密封元件嵌入治具進一步具有：一定位件，其固接於該嵌入件；且該軌道進一步具有：一主導軌，其環繞於該靜電吸附承盤，該滑車設置於該主導軌，且能沿該主導軌移動；以及一副導軌，其環繞於該靜電吸附承盤，該副導軌與該主導軌同心設置，且該副導軌與該主導軌之間間隔設置，該定位件可移動地設置於該副導軌，該副導軌包含：一周向部，其沿該靜電吸附承盤的周向方向環繞該靜電吸附承盤；及複數徑向部，該等徑向部沿該周向部的延伸方向間隔分佈並連接於該周向部，且各該徑向部沿該靜電吸附承盤的徑向方向向內延伸。
4. 如請求項3所述之密封元件嵌入治具，其中，該副導軌進一步具有：複數定位部，該等定位部沿該周向部的延伸方向間隔分佈並連接於該周向部，且各該定位部沿該靜電吸附承盤的徑向方向向外延伸。
5. 如請求項1至4中任一項所述之密封元件嵌入治具，其中，該滑車進一步包含：一彈性件，其連接該嵌入件及該滑車，該彈性件能往遠離該靜電吸附承盤的方向牽引該嵌入件。
6. 如請求項1至4中任一項所述之密封元件嵌入治具，其中，該滑車進一步包含：一活動座，其位於該軌道外；一動滾輪，其可移動地連接於該活動座且延伸至該軌道內，該動滾輪能沿該靜電吸附承盤的徑向方向相對於該活動座移動；以及至少一定滾輪，其固接於該活動座且延伸至該軌道內。
7. 如請求項1至4中任一項所述之密封元件嵌入治具，其進一步具有：複數保護塊，其固接於該軌道朝向該靜電吸附承盤之一面，該等保護塊彼此之間間隔設置，當該軌道設置於該靜電吸附承盤的該側壁面時，該等保護塊夾設於該靜電吸附承盤與該軌道之間。
8. 一種密封元件嵌入治具之使用方法，其用以將一密封元件嵌入於一靜電吸附承盤之一側壁面；該密封元件嵌入治具之使用方法包含：步驟一：使一密封元件嵌入治具的一嵌入件之一壓迫面沿該靜電吸附承盤的徑向方向向內擠壓該密封元件；其中，該壓迫面朝向該靜電吸附承盤的該側壁面並往遠離該側壁面的方向凹陷，該壓迫面能與該側壁面互相貼合；步驟二：使該嵌入件與該密封元件分離；步驟三：使該嵌入件沿該靜電吸附承盤的周向方向移動一距離；及步驟四：重複步驟一至步驟三；其中，該密封元件嵌入治具進一步具有一軌道、一滑車、及一滑軌，該軌道沿該靜電吸附承盤的周向方向環繞設置於該側壁面，該滑車可移動地設置於該軌道，該滑軌連接該嵌入件及該滑車，且該滑軌沿該靜電吸附承盤的徑向方向延伸；其中：該步驟一進一步為：使該密封元件嵌入治具的該嵌入件藉由該滑軌移動接近該側壁面，以使該壓迫面沿該靜電吸附承盤的徑向方向向內擠壓該密封元件；該步驟二進一步為：使該嵌入件藉由該滑軌移動遠離該側壁面，以使該嵌入件與該密封元件分離；且該步驟三進一步為：使該嵌入件藉由該滑車沿該軌道移動一距離。