UA54561C2 - Мікроструктурний фільтр - Google Patents

Мікроструктурний фільтр Download PDF

Info

Publication number
UA54561C2
UA54561C2 UA2000042346A UA00042346A UA54561C2 UA 54561 C2 UA54561 C2 UA 54561C2 UA 2000042346 A UA2000042346 A UA 2000042346A UA 00042346 A UA00042346 A UA 00042346A UA 54561 C2 UA54561 C2 UA 54561C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
filter
protrusions
passages
base plate
inlet
Prior art date
Application number
UA2000042346A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Клаус Кадель
Йоханнес Гезер
Йоахім Айхер
Бернхард Фройнд
Штефен Терренс Дунне
Вульф Бахтлер
Original Assignee
Бьорінгер Інгельхайм Інтернешнл Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Бьорінгер Інгельхайм Інтернешнл Гмбх filed Critical Бьорінгер Інгельхайм Інтернешнл Гмбх
Publication of UA54561C2 publication Critical patent/UA54561C2/uk

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/01—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements
    • B01D29/03—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements self-supporting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0053—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes
    • B01D67/006—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods
    • B01D67/0062—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods by micromachining techniques, e.g. using masking and etching steps, photolithography
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M15/00—Inhalators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2003—Glass or glassy material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2027—Metallic material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2068—Other inorganic materials, e.g. ceramics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
    • B01D46/12—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces in multiple arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/40—Particle separators, e.g. dust precipitators, using edge filters, i.e. using contiguous impervious surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/52—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filters embodying folded corrugated or wound sheet material
    • B01D46/521—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filters embodying folded corrugated or wound sheet material using folded, pleated material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/56—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition
    • B01D46/62—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition connected in series
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0053—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes
    • B01D67/0058—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by selective elimination of components, e.g. by leaching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0069—Inorganic membrane manufacture by deposition from the liquid phase, e.g. electrochemical deposition
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02—Inorganic material
    • B01D71/022—Metals
    • B01D71/0223—Group 8, 9 or 10 metals
    • B01D71/02232—Nickel
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/40—Filters located upstream of the spraying outlets
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/02—General characteristics of the apparatus characterised by a particular materials
    • A61M2205/0233—Conductive materials, e.g. antistatic coatings for spark prevention
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2275/00—Filter media structures for filters specially adapted for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D2275/20—Shape of filtering material
    • B01D2275/206—Special forms, e.g. adapted to a certain housing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/04—Characteristic thickness

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)
  • Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
  • Lubrication Details And Ventilation Of Internal Combustion Engines (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Audible-Bandwidth Dynamoelectric Transducers Other Than Pickups (AREA)
  • Catching Or Destruction (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)

Abstract

Мікроструктурний фільтр для рідини має вхідний отвір для невідфільтрованої рідини і вихідний отвір для відфільтрованої рідини і містить: безліч виступів (7), які розміщені, щонайменше, у два ряди (3) поруч один з одним, і які виступають із базової пластини (1), і які являють собою інтегральний компонент базової пластини, безліч проходів (8) між виступами (7) і покривною пластиною, яка з'єднана з базовою пластиною таким чином, що закриває виступи (7) і проходи (8), у якому проходи формують безліч наскрізних шляхів від вхідного отвору до вихідного отвору, причому зазначений вхідний отвір являє собою подовжену щілину (5) вхідного отвору для невідфільтрованої рідини, яка проходить приблизно по всій ширині фільтра і, що приблизно має висоту виступів (7), що виступають з базової пластини з боку вхідного отвору фільтра, і зазначений вихідний отвір містить подовжену щілину вихідного отвору для відфільтрованої рідини, яка проходить приблизно по всій ширині фільтра, і яка приблизно має висоту виступів (7), що виступають із базової пластини на вихідному боці фільтра. Фільтр згідно з даним винаходом залишається працездатним, навіть якщо частина площі фільтра буде блокована. Фільтр використовується, наприклад, у розпилювачі, за допомогою якого одержують аерозоль із рідини, яка містить медикамент.

Description

Опис винаходу
Даний винахід стосується мікроструктурних фільтрів для рідин. 2 Відомі різні фільтри, у яких середовище фільтра має мікропори розміром менше мікрона, при цьому розмір пор має статистичний розподіл в залежності від матеріалу. Зовнішні розміри середовища фільтра такого роду набагато порядків більші, ніж середній діаметр пор, і досвід вказує, що такі фільтри не можуть бути безпосередньо виготовлені досить малих розмірів.
Відомі також металеві смужки товщиною до 100 мікрометрів з мікроотворами, які використовуються для 70 друкування крізь трафарети, виконані, наприклад, із нікелю, при цьому отвори розподілені по смужці нерівномірно, а діаметр отворів становить декілька мікрометрів. Ці смужки виготовляються, наприклад, гальванічним способом. Металеві смужки такого типу не можуть бути скомпоновані разом із мікроструктурними компонентами.
В описі Європейського патенту Мо0231432 описується мікрофільтр поперечного потоку, у який подається 12 рідина, яку піддають фільтрації, і з якого виходить потік концентрату і потік фільтрату. Між камерою, в яку надходить рідина і камерою збору фільтрату розташовується ряд перемичок або перегородок, між якими є проходи. Ряд перемичок і проходів формує мікрофільтр напрямок проходів вигнутий під кутом від 90" до 135" стосовно напрямку потоку рідини/концентрату. Рідина, що подається перетворюється в концентрат, протікає крізь ряди перемичок. Фільтрат збирається в безлічі камер і виходить із фільтра перпендикулярно до поверхні фільтра або на поверхню фільтра крізь безліч проходів, які розташовуються між проходами для концентрату.
В описі міжнародної патентної заявки УУО 93/11862 описаний мікромеханічний фільтр виготовлений з трьох шарів. Поверх закритого нижнього шару у визначених областях розташовується проміжний шар, і поверх нього розташовується закривальний шар, і який має витягнутий отвір, що повторює форму області. Проміжний шар не є паралельним одній або обом подовжнім бокам отворів. У цих областях закривальний шар, виконаний у вигляді с консольної або навісної конфігурації. Поверх консольної частини шару, що закриває, приєднуючись до отвору, (3 виконана вузька щілина, яка має таку ж товщину, як і проміжний шар і таку ж довжину, як подовжений отвір.
Фільтрат протікає крізь цю щілину в камеру збору фільтрату, яка є більш товстою, ніж проміжна камера.
Закривальний шар, містить велику кількість подовжених отворів, що розташовані рядами паралельно один до одного. Ряди щілин можуть бути виконані в шарі, що закриває, у вигнутій конфігурації. Рідина протікає крізь -- безліч отворів, перпендикулярно поверхні фільтра, у безліч вхідних камер і видаляється з безлічі камер збору Ге) фільтрату крізь безліч отворів, перпендикулярно поверхні фільтра. Шари цього фільтра можуть бути виготовлені з кремнію, пластика або металу, необхідна структура може бути створена травленням, видавлюванням або о іншим механічним шляхом або обробкою на верстаті, може також використовуватися спосіб, що передбачає «І використання технології тонких плівок і осадження металу з пароподібної фази. 3о З цими і іншими раніше запропонованими пристроями зв'язаний цілий ряд проблем. Наприклад, було о відзначено, що, щонайменше, деякі з раніше запропонованих пристроїв зазнають блокування, після чого пристрій може перестати працювати. При спробі усунути цю проблему, було запропоновано використовувати фільтри більшого розміру, але ці великі фільтри мають небажано великий невикористовуваний об'єм. Крім цього, « деякі з раніше запропонованих пристроїв є надмірно складними, і, таким чином, дорого коштують, для їх З 50 виробництва потрібен тривалий час. Крім того, деякі з раніше запропонованих пристроїв виконані таким чином, с що їх не можна безпосередньо складати разом з іншими мікроструктурними компонентами. з» Відповідно до цього в основу даного винаходу покладене завдання створення мікроструктурного фільтра для рідини, у якому усуваються одна або декілька проблем, описаних у даному описі.
Відповідно з одним із аспектів даного винаходу пропонується мікроструктурний фільтр який має вхідний отвір для непрофільтрованої рідини і вихідний отвір для профільтрованої рідини, причому цей фільтр містить: і-й камеру фільтра, утворену між зазначеним вхідним отвором і зазначеним вихідним отвором, при цьому «їз» зазначена камера частково обмежена, власне кажучи, плоскою базовою пластиною, і покривною пластиною, що прикріплюється до неї; і і-й корпус фільтра, що має камеру фільтра, при цьому вказаний корпус фільтра сформований безліччю виступів,
Ге»! 20 кожен з яких містить інтегральний компонент зазначеної базової пластини, і кожен з яких виступає з неї, при цьому зазначені виступи відокремлені один від одного проходами, які формують шлях для рідини крізь камеру
З фільтра від зазначеного вхідного отвору до зазначеного вихідного отвору, при цьому зазначена покривна пластина, при установці на базовій пластині, накриває зазначені виступи і зазначені проходи; у якому зазначена безліч виступів встановлена, щонайменше, у два ряди в зигзагоподібній конфігурації 29 поруч один з одним по всій камері фільтра;
ГФ) кожен вхідний отвір і кожен вихідний отвір містить подовжену щілину, відповідно, для невідфільтрованої і юю для відфільтрованої рідини, при цьому кожна з щілин має, власне кажучи, таку ширину, як і ширина камери фільтра і, власне кажучи, таку висоту, як висота виступів з боку вхідного отвору і вихідного отвору корпуса фільтра, відповідно. 60 Кращий варіант здійснення даного винаходу спрямований на створення мікроструктурного фільтра для рідини, який має вхідний отвір для невідфільтрованої рідини і вихідний отвір для відфільтрованої рідини, у якому напрямок потоку рідини крізь увесь фільтр проходить по поверхні, і який має наступні відмінні риси: - безліч виступів, які розміщуються рядами поруч один з одним, і які виступають із, власне кажучи, плоскої базової пластини, і які виконані з цією базовою пластиною як єдине ціле, бо - безліч проходів між виступами,
- покривну пластину, переважно плоску, яка розташовується поверх виступів і, яка закриває проходи, у якому - проходи формують наскрізний шлях від вхідного боку до вихідного боку фільтра, і - відстань між базовою пластиною в області навколо виступів і покривною пластиною, у ряді виступів дорівнює, власне кажучи, ширині проходів з боку виступів, на якій рідина надходить в ряд проходів, і - подовжена вхідна щілина для невідфільтрованої рідини, яка проходить приблизно по всій ширині фільтра, і яка має, власне кажучи, таку ж висоту, як і висота виступів, що виступають із базової пластини на вхідному боці фільтра, і - подовжена вихідна щілина для відфільтрованої рідини, що проходить, власне кажучи, по всій ширині 7/0 фільтра, і яка, власне кажучи, має таку ж висоту, як і висота виступів, що виступають із базової пластини на вихідному боці фільтра.
Було б краще, щоб співвідношення висоти до ширини вхідної щілини і вихідної щілини становило 6 від 1:5 до 1:1000. Було б так само добро, якби вхідна щілина затримувала б великі частинки.
Безліч рядів виступів може бути встановлена в каскадній конфігурації. Було б добре, якби виступи, /5 Встановлені ближче до вхідного боку фільтра, мали б більший розмір, ніж виступи, що встановлені ближче до вихідного боку фільтра.
Проміжок між плоскою базовою пластиною і плоскою покривною пластиною в області навколо кожного ряду виступів, у яких ряд встановлений у каскадній конфігурації, переважно, має приблизно такий же розмір, як і ширина проходів з боку виступів, з боку якої рідина надходить в ряд проходів. Відстань, переважно, вибирається між половиною і подвійним розміром ширини проходів. Ця відстань, переважно, зменшується від одного ряду до другого, якщо дивитися в напрямку потоку. Проходи можуть, тому, мати власне кажучи, квадратний поперечний перетин на їхньому вхідному боці для рідини.
Відстань між плоскою базовою пластиною в області навколо виступів і плоскою покривною пластиною може бути постійною величиною у межах ряду виступів. У випадку ряду виступів, що встановлений у конфігурації сч ов ВИГИНУ або зигзагоподібної конфігурації, відстань може бути більшою в області кінця ряду, який знаходиться поблизу до боку вихідного отвору фільтра, ніж в області кінця ряду, що знаходиться поблизу до вхідного боку і) фільтра. Було б краще, якби ця відстань збільшувалася б, власне кажучи лінійно, від одного кінця ряду виступів до іншого.
Звернені один до другого боки двох розташованих поруч один з одним рядів виступів можуть обмежувати «- зо взаємоз'єднану камеру, в яку надходить рідина з усіх проходів між виступами першого ряду, і, з якої рідина витікає в усі проходи між виступами сусіднього ряду. Збиральна камера з подовженим поперечним перетином ікс, розташована перед першим рядом виступів, у яку подається невідфільтрована рідина, і з якої рідина протікає в ю усі проходи між виступами в першому ряду. Униз після останнього ряду виступів розташована збиральна камера подовженого поперечного перетину, у яку рідина надходить з усіх проходів останнього ряду, і з якої виходить - відфільтрована рідина. ю
Виступи можуть бути виконані у формі перемичок або перегородок, які, якщо розглядати в напрямки руху потоку, можуть бути прямими або вигнутими. Виступи також можуть бути виконані, власне кажучи, у формі прямих колонок будь-якого поперечного перетину, краще круглого або багатокутного поперечного перетину.
Довжина проходів між перемичками або перегородками, переважно, щонайменше, у два рази більша, ніж їх « висота з боку входу рідини. Було б краще, щоб поперечний перетин проходів був виконаний, власне кажучи, с квадратним або у формі бочки, або трапецеїдальним; в останньому випадку більш довгий бік трапеції може бути . сформований базовою пластиною. Проходи, наприклад, мають довжину від 5 до 5Омкм, від 2,5 до 25мкм у и?» висоту і від 2,5 до 25мкм у ширину. Ширина проходів може ставати більшою ближче до боку виходу.
Було б краще, якби відстань між рядами виступів була б у два рази більшою, ніж ширина проходу з боку
ВХОДУ. Ряди виступів можуть бути паралельними один до одного, або мати конфігурацію у вигляді меандру, або с зигзагоподібну конфігурацію. Ряди, встановлені у зигзагоподібні конфігурації, можуть бути нахилені стосовно один одного під кутом від 27 до 25". ве Коли фільтр має ряди виступів, які встановлені у формі меандру або в зигзагоподібній конфігурації, с частинки, які повинні бути відфільтровані, спочатку осаджуються в областях з боку входу рідини, які
Знаходяться ближче до боку виходу фільтра, причому простір між рядами виступів з боку входу прогресивно
Ме, збільшується, починаючи від області боку виходу фільтра. Фільтр стає, власне кажучи, цілком засміченим і як ємність фільтра буде вичерпана, коли вхідна камера між двома рядами виступів буде майже цілком заповнена відфільтрованими частинками.
Рівень фільтрації даного фільтра, переважно, визначений відносно різко крізь незначні флуктуації у ов розмірах проходів. Фільтр може не вимагати наявності розподільного пристрою для потоку рідини, що надходить і яка підлягає фільтрації, і пристрою, що збирає фільтрат, для відфільтрованої рідини. (Ф, Фільтр може бути виготовлений із використанням відомих способів виготовлення деталей з металу, кремнію, ка скла, кераміки або, наприклад, пластика. Базова пластина може бути виготовлена з того ж матеріалу, що і покривна пластина, так і з матеріалу, який відрізняється від матеріалу покривної пластини. Фільтр, переважно, бо може бути придатним для роботи під високим тиском, наприклад, до ЗОМпа (300 бар).
У мікроструктурному фільтрі, виконаному згідно з іншим варіантом втілення даного винаходу, мікроструктури! рідинні елементи встановлюються на тій же базовій пластині, наприклад, що і сопло для розпилення рідини або для одержання аерозолю, також і для роботи в діапазоні високого тиску.
Мікроструктурний фільтр, виконаний згідно з іншими варіантами втілення даного винаходу, може проявляти 65 деякі або усі з нижченаведених переваг: - оскільки фільтр має велику кількість проходів на малій площі, він може залишатися працездатним, навіть тоді, коли деякі проходи будуть блоковані забруднюючими домішками, що містяться в рідині. Це дозволяє покращати використання фільтра, коли він збирається разом із соплом для використання в якості розпилювача, тобто у випадках, коли він використовується в якості розпилювача для прийому медикаментів, коли помилка в роботі розпилювача протягом визначеного періоду використання може мати фатальні наслідки для користувача; - проходи можуть бути визначені в межах жорстких обмежень у відношенні форми, площі поперечного перетину і довжини (у більшості кращих варіантів втілення розміри всіх проходів у межах фільтра є однаковими); - поперечний перетин проходів може бути пристосований до додаткових умов, наприклад, до поперечного перетину сопла, яке приєднано далі після фільтра; 70 - велика площа поверхні фільтра може бути розташована в малому об'ємі фільтра; - перед тим, як рідина може бути пропущена крізь проходи, потік рідини може бути спрямований між рядами, встановленими у формі меандру або в зигзагоподібній конфігурації, власне кажучи, перпендикулярно потокові рідини в проходах; - відкрита поверхня фільтра (сума площі поперечного перетину всіх проходів) може становити, щонайменше, 7/5 З07о загальної площі фільтра; - фільтр може мати малий невикористаний об'єм; і - фільтр може бути зібраний з використанням простої форми разом з іншими мікроструктурними компонентами.
Мікроструктурний фільтр, описаний у даному описі, особливо має застосовуватися при використанні для фільтрування медикаменту, розчиненого в розчиннику для одержання аерозолю для інгаляційного прийому.
Придатним розчинником є, наприклад, вода або етанол, або їх суміші. Придатними медикаментами є, наприклад,
Беротек, Атровент, Беродуал, Салбутамол, Комбівент, Оксивент Ва 679, ВЕА 2108 ії інші (Вегоїес, Аїгомепі,
Вегодца!, зЗаіршатої, Сотрбімепі, Охімепі, Ва 679, ВЕА 2108 апа оїпегзв).
Фільтр, згідно з даним винаходом, може використовуватися в розпилювачі, такому, як описаний в описі с ов Міжнародної патентної заявки УМО 91/14468 або в міжнародній заявці РСТ/ЕРОБ/04351.
Мікроструктурний фільтр, описаний у даному описі, може бути отриманий таким чином: на безлічі і) взаємозалежних базових пластин, наприклад їх кількість може бути декілька тисяч, одночасно формується мікроструктура з великою площею поверхні, і її з'єднують в один етап з великою плоскою покривною пластиною (пакетний процес). Цей комбінований пакет (вузол) потім може бути розділений на деяку кількість окремих «- зо частин.
Такий спосіб виробництва має деякі конкретні переваги. З одного боку, пакетне виробництво, надає ікс, можливість робити особливо недорогі окремі частини з високим ступенем точності, із структурною точністю МУ порядку від декількох мікрометрів до рівня менше мікрометра, які можуть бути зроблені тільки при істотно великих витратах при процедурі послідовної обробки, у той час, як, з іншого боку, пакетне виробництво -
Зв Дозволяє ДОСЯГИ однакової визначеної якості у співвідношенні всіх частин, у результаті чого може бути ю досягнута можливість відтворення за такими же умовами обробки, і менше схильна до повільних змін, як можна було б очікувати, у випадку, наприклад, процедур послідовної обробки, через знос інструмента.
Крім цього, положення і розміщення частин в процесі також заздалегідь зумовлено конструкцією і немає необхідності регулювати і встановлювати їх за допомогою дорогих механізмів сортування і обробки, як у випадку « 70 деяких раніше запропонованих схем розміщення. в с Базова пластина може бути виготовлена, наприклад, за допомогою реактивного іонного травлення, гальванопластичної технології або, у випадку використання пластичного матеріалу, у відповідності зі способом ;» ПОМ, тобто літографії (ІІ), гальвано-пластики (5) і формування (М), (Іподгарну, даїмапо-зпаріпд апа тоцідіпя). Додатково може застосовуватися спосіб структурування, необхідний для одержання конкретної форми проходів. Проходи трапецеїдальної форми або форми у вигляді бочки в поперечному перетині можуть с бути отримані за допомогою конкретної технології додаткового травлення або неповного травлення. Такі форми можуть бути отримані як за допомогою сухого травлення, так і за допомогою процесу вологого травлення. о Трикутний поперечнний перетин проходів може бути отриманий за допомогою анізотропне працюючого процесу с травлення в монокристалічних базових пластинах, виконаних із кремнію. Було б доцільно, якби базова пластина була б структурована за допомогою ізотропного або анізотропного, вологого або сухого, травлення, або за
Ме, допомогою комбінації цих процесів, зокрема, краще, способом анізотропного сухого травлення.
Кк Мікроструктурована базова пластина і виступи на ній можуть бути з'єднані з плоскою покривною пластиною, наприклад, за допомогою анодних зв'язків кремнію і скла, наприклад, лужного боросилікатного скла. В одному прикладі, листове скло встановлюється поверх мікроструктурованої кремнієвої пластини і вводиться в контакт з ов електродом. Усе складання нагрівається до температури від 200 до 5007С і між кремнієвою пластиною і листовим склом прикладається негативна напруга, приблизно 10008. Завдяки цій напрузі позитивно заряджені
Ф) лужні іони проходять крізь скло на катод, де вони нейтралізуються. У склі і на переході між склом і кремнієм ка формується негативний просторовий заряд, який створює електростатичне тяжіння двох поверхонь, і який, на додаток до кисневих зв'язків, створює довгострокові хімічні зв'язки між поверхнею скла і поверхнею кремнію. во У вищеописаному ілюстративному процесі покривна пластина із скла є найкращою завдяки гарантії якості, обумовленої, з одного боку, високою якістю з'єднання і, з іншого боку, завдяки тому, що дефекти або частинки вкраплення, які призводять до неправильної роботи фільтра, можуть бути легко виявлені за допомогою оптичної перевірки.
Після виконання операцій складання пакет може бути розділений на окремі фільтри, переважно, за 65 Допомогою високошвидкісної дискової діамантової циркулярної пилки, при цьому вхідний бік і вихідний бік кожного з фільтрів можуть бути відкриті, якщо вони ще не були відкриті раніше. Розріз може бути встановлений із високим ступенем точності, у межах декількох мікрометрів.
Крім використання анодного з'єднання мікроструктурна базова пластина може бути з'єднана з плоскою покривною пластиною за допомогою ультразвукового зварювання, лазерного зварювання, склеювання або пайки або будь-яких інших способів, очевидних для фахівців у даній області техніки.
Варіанти втілення даного винаходу будуть надалі описані на нижченаведеному прикладі, із посиланням на креслення, що додаються, на яких:
Фіг.1 схематично ілюструє один із варіантів виконання фільтра;
Фіг.2 являє собою вигляд, що дає представлення про конструкцію виступів у рядах фільтра, зображеного на 70 Фіг.1, у збільшеному масштабі;
Фіг.3 являє собою поперечний перетин, виконаний уздовж лінії "А-А" на Фіг.2;
Фіг.4 являє собою набір різних виступів, схематичні зображення;
Фіг.5 представляє виступи іншого типу;
Фіг.6 схематично зображує ряд ілюстративних схем, відповідно до яких можуть розміщатися виступи;
Фіг.7 зображує один із варіантів орієнтації виступів; і
Фіг.8 являє собою зображення фільтра наприкінці ресурсу його роботи, отримане в растровому електронному мікроскопі.
Як це було зазначено вище, Фіг.1 зображує ілюстративний варіант втілення фільтра, при розгляді його із початкове відкритого боку, який потім закривається пластиною, що закриває, (на кресленнях не вказана). Базова 2о пластина 1 фільтра мікроструктурована між крайовими областями 2а і 20. Мікроструктурне утворення являє собою, у цьому прикладі, ряди З виступів, що розміщуються в зигзагоподібній конфігурації. Можна також бачити, що ряди З розташовані щодо один одного під кутом альфа.
У цьому прикладі на базовій пластині, на додаток до фільтра і перед ним по ходу рідини, є додатковий ряд виступів 4, які утворюють фільтр грубого очищення, і які слугують для перемішування рідини, що протікає крізь сч ов Нього. Перед, по ходу переміщення рідини, виступами 4 розташована вхідна щілина 5, крізь яку непрофільтрована рідина надходить до фільтра. У даному варіанті втілення, поруч із фільтром розміщене сопло і) 6, із якого може виходити відфільтрована рідина. Відповідно до цього пояснювального приклада сопло 6 було сформовано як складовий компонент базової пластини 1. Очевидно, що фільтр може бути сформований і без сопла 6 і фільтра 4 грубого очищення. «- зо Фіг.2 являє собою збільшене зображення частини фігури, що характеризує розміщення виступів у рядах 3. У цьому варіанті виконання виступи 7 являють собою прямокутні перемички або перегородки, але, як це буде ікс, зазначено нижче, вони можуть мати альтернативну конфігурацію. Можна бачити, що ряди З містять безліч ю виступів 7, які виступають із базової пластини 1, і які розташовуються на деякій відстані один від одного, формуючи в результаті цього рідинний фільтр тонкого очищення. «
Фіг.3 являє собою поперечний перетин, що проходить по лінії "А-А" на Фіг.2. У цьому варіанті втілення, ю виступи 7 мають увігнуті подовжні боки, між якими є проходи 8 бочкоподібного поперечного перетину.
На Фіг.4 зображено безліч варіантів втілення виступів, кожен з яких розглядається з початкового відкритого боку фільтра (тобто, зверху). Будь-який із зображених виступів, або їх комбінація, (або будь-які інші виступи) може використовуватися у фільтрі, описаному тут. Фіг4 зображує прямокутну перегородку 11, « подовжену перегородку 12 постійної ширини із закругленими вузькими краями, перегородку 13 у формі крила, ша) с перегородку 14 постійної ширини і з вузьким боком, що проходить під нахилом, і перегородку 12, що вигнута у формі сегмента кола. Зображена також квадратна колонка 16, трикутна колонка 17, кругла колонка 18 і ;» восьмикутна колонка 19. Як це вказувалося вище, будь-яка із перегородок, або їх будь-які комбінації, придатні для використання у фільтрі.
На Фіг.5 зображені поперечні перетини різних виступів, а саме виступ 21 має поперечний перетин с прямокутної форми, виступ 22 має поперечний перетин з увігнутими подовжніми боками, виступ 23 має поперечний перетин трапецеїдальної форми, у якому довгий бік трапеції з'єднаний з базовою пластиною 1, ве виступ 24 має поперечний перетин трапецеїдальної форми, у якому короткий бік трапеції з'єднаний з базовою с пластиною 1, а виступ 25 має поперечний перетин з двома закругленими подовжніми краями.
На Фіг.б зображені різні схеми установки виступів, відповідно до яких виступи, незалежно від їхньої
Ме, форми, позначені точками різних розмірів. Виступи можуть бути встановлені по матриці 31, або лінійно в ряд як 32, або у вигляді конфігурації 33 у вигляді меандру, або в зигзагоподібній конфігурації 34. Безліч виступів, встановлених у конфігурації 35 у вигляді ряду, або в конфігурації 36 у вигляді меандру, або в зигзагоподібній конфігурації, можуть бути встановлені послідовно в каскадному взаємозв'язку.
На Фіг.7 зображена орієнтація перегородок щодо вхідного напрямку 41 потоку рідини. Як вказано, деякі з перегородок (відзначені посиланням 42) встановлені паралельно напрямку вхідного потоку, інші перегородки
Ф) (відзначені посиланням 43) встановлені перпендикулярно напрямку вхідного потоку, а інші перегородки ка (відзначені посиланням 44) встановлені під різними кутами до вхідного напрямку потоку. З Фіг. 7 випливає, що перегородки не обов'язково повинні мати однакову орієнтацію стосовно вхідного напрямку потоку. Фактично, бо установка по-різному орієнтованих перегородок утворює деяку перевагу, оскільки різна орієнтація поліпшує ступінь перемішування рідини в міру проходу рідини крізь фільтр.
На Фіг8 вказане зображення, отримане за допомогою скандувального електронного мікроскопа, мікроструктурного фільтра, такого, як вказаний на Фіг.1, наприкінці його терміна служби. Це зображення було записане крізь пластину, що закриває, (непомітно), виконану із скла. Вказане зображення ілюструє фільтр, що 65 має ряди виступів, встановлених у зигзагоподібній конфігурації, проте самі виступу непомітні при даному рівні збільшення.
Під час використання фільтра рідина протікала крізь фільтр у напрямку, позначеному стрілками, і частинки, суспендовані в рідині, були захоплені розташованими поруч один з одним виступами. Як вказано на кресленні, ряди виступів покриті відфільтрованими частинками, при цьому видно, що ступінь покриття в зонах, що
Знаходяться поблизу від крайових областей 2а і 26, вище, ніж ступінь покриття в центральній області фільтра.
У просторі між рядами виступів, які знаходяться з боку вхідного потоку фільтра, практично немає частинок, і, таким чином, фільтр є цілком працездатним у цій області (тобто, рідина усе ще може проходити крізь нього). Як видно на Фіг.8, умовна гранична лінія між областю вільного фільтра і областю засміченого фільтра проходить, повторюючи, приблизно, форму параболи. Як це видно на Фіг.8, рідина може усе ще проходити крізь фільтр, 7/о навіть якщо значна частина площі поверхні фільтра заблокована.
Таким чином, можна бачити, що вищеописаний фільтр у меншому ступені схильний до закупорки в порівнянні із запропонованими раніше фильтрами такого типу, він усе ще може адекватно працювати, навіть тоді, коли відносно велика частина поверхні фільтра була заблокована. У результаті цих покращань корисний термін служби фільтра (і, таким чином, будь-якого пристрою, що включає цей фільтр) значно збільшений. Це цілком 7/5 Відрізняє його від пристроїв, що раніше пропонувалися, у яких відносно невеликий ступінь закупорки фільтра викликав неможливість правильної роботи пристрою в цілому.
Приклад: Мікроструктурний фільтр для розпилювача
Як було зазначено вище, фільтр, описаний у даному описі, може знайти широке застосування в розпилювачах і, зокрема, у розпилювачах для одержання аерозолю з рідини, що несе медикамент.
Опишемо тепер приклад одного з таких розпилювачів. У цьому ілюстративному прикладі фільтр сформований на базовій пластині разом із безліччю інших мікроструктурних компонентів. Базова пластина має ширину 2,бмм і довжину, приблизно, 5мм. По ширині, приблизно, 2мм вона містить 40 рядів виступів, причому ці ряди встановлені в зигзагоподібній конфігурації. Кожен ряд має довжину 1,3 мм. Виступи являють собою прямокутні перегородки довжиною 1Омкм і шириною 2,5мкм; і вони виступають із базової пластини на 5мкм. Між сч ов перегородками залишені проходи висотою 5мкм і шириною Змкм.
З боку входу рідини у фільтр розташовується ряд із 10 прямокутних перегородок довжиною 20Омкм і і) шириною 5Омкм; і вони виступають із базової пластини на висоту 100мкм. Між цими перегородками є проходи висотою 100мкм і шириною 150мкм. Десять прямокутних перегородок формують фільтр грубого очищення і засіб для перемішування рідини, що протікає крізь нього. На відстані, приблизно, ЗООмкм перед і навпроти ряду «- зо перегородок сформований зазор для введення рідини, який має ширину, приблизно, 2мм і висоту 100мкм.
Камера збору фільтрату сформована ззаду, по ходу руху рідини, рядів перегородок, встановлених у ісе) зигзагоподібній конфігурації. Камера збору фільтрату має розміри 5мкм у висоту і поступово звужується від 2МмМ ю ширини і зв'язана із соплом прямокутного поперечного перетину, яке має 5мкм у висоту і мкм у ширину. У цьому прикладі отвір сопла було виготовлено одночасно із створенням мікроструктури на базовій пластині. «
Базова пластина, яка має товщину 1,5мм, виконана з нікелю і була виготовлена способом гальванопластики (у з пластмасової формувальної вставки, яка містить взаємодоповнюючу структуру для 1083 фільтрів. Вона закривається плоскою нікелевою пластиною товщиною 0,8мм, яка потім припаюється до базової пластини.

Claims (24)

  1. Формула винаходу ч -
  2. с 1. Мікроструктурний фільтр, який містить вхідний отвір для невідфільтрованої рідини і вихідний отвір для :з» відфільтрованої рідини, камеру фільтра, обмежену скріпленими між собою плоскою базовою пластиною і покривною пластиною, при цьому на поверхні плоскої базової пластини виконані виступи, організовані, щонайменше, в два ряди по усій камері фільтра, і які утворюють проходи для рідини крізь камеру фільтра від с зазначеного вхідного отвору до зазначеного вихідного отвору, який відрізняється тим, що виступи розміщені в зигзагоподібній конфігурації поруч один з одним, при цьому кожний вхідний отвір і кожний вихідний отвір ї- містить подовжену щілину, відповідно, для невідфільтрованої і для відфільтрованої рідини, при цьому кожна з сл щілин має, по суті, таку ширину, як і ширина камери фільтра і, по суті, таку висоту, як висота виступів з боку вхідного отвору і вихідного отвору корпуса фільтра, відповідно. (о) 2. Фільтр за п. 1, який відрізняється тим, що відстань між базовою пластиною і покривною пластиною щк дорівнює, по суті, ширині проходів між суміжними виступами.
  3. З. Фільтр за п. 1, який відрізняється тим, що безліч рядів виступів встановлено у формі каскаду, поперечний переріз проходів перпендикулярний напрямку потоку рідини, якщо дивитися в напрямку потоку, зменшується від зв ряду до ряду; виступи, які виконані ближче до боку вхідного отвору фільтра більші, ніж виступи, які встановлені далі з боку вихідного отвору фільтра, і відстань між базовою пластиною і покривною пластиною в (Ф) області навколо кожного ряду виступів, по суті, така ж, як ширина проходів з боку виступів, у які рідина ГІ проходить у ряд проходів, при цьому ці ряди встановлені у формі каскаду.
  4. 4. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-3, який відрізняється тим, що зазначена покривна пластина є, по суті, бо плоскою.
  5. 5. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-4, який відрізняється тим, що зазначена щілина вхідного отвору має співвідношення висоти до ширини від 1:5 до 1:1000.
  6. 6. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-5, який відрізняється тим, що відстань між базовою пластиною в області навколо виступів і покривною пластиною в ряду виступів дорівнює від половини до подвійної ширини проходу з 65 боку виступів.
  7. 7. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-6, який відрізняється тим, що містить камеру збору, що має подовжений поперечний переріз і розташована між щілиною вхідного отвору Ї першим рядом виступів, в яку надходить невідфільтрована рідина і з якої рідина протікає в усі проходи між виступами в першому ряду, і камеру збору, що має подовжений поперечний переріз і розташована між останнім рядом виступів і щілиною вихідного отвору, Ууяку рідина надходить з усіх проходів останнього ряду і з якої виходить відфільтрована рідина.
  8. 8. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-7, який відрізняється тим, що зазначені виступи виконані або у формі кромок, які, якщо дивитися в напрямку потоку, виконані прямими або вигнутими, або у формі колонок.
  9. 9. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-8, який відрізняється тим, що зазначені проходи мають, по суті, постійний поперечний переріз, і мають довжину, яка, щонайменше, в два рази більша, ніж їх висота з боку входу 70 рідини.
  10. 10. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-9, який відрізняється тим, що зазначені проходи мають, по суті, постійний поперечний переріз по всій довжині проходу, і мають довжину від 5 до 50 мкм, висоту від 2,5 до 25 мкм і ширину від 2,5 до 25 мкм.
  11. 11. Фільтр за п. 10, який відрізняється тим, що зазначені проходи мають, по суті, квадратний поперечний /5 переріз.
  12. 12. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-10, який відрізняється тим, що зазначені проходи мають бочкоподібний або трапецеїдальний поперечний переріз.
  13. 13. Фільтр за пунктом 12, у якому більш довгий бік трапецеїдальних проходів сформований покривною пластиною.
  14. 14. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-10, у якому проходи мають, по суті, квадратний поперечний переріз з боку входу фільтра, який стає більш широким у напрямку до боку виходу фільтра.
  15. 15. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-14, у якому відстань між рядами виступів, по суті, у два рази більша, ніж ширина проходу з боку входу.
  16. 16. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-15, у якому зазначені виступи встановлені в ряди, що проходять сч паралельно один одному.
  17. 17. Фільтр за будь-яким із попередніх пунктів, у якому зазначена зигзагоподібна конфігурація містить ряди і) виступів, які нахилені відносно один одного під кутом Є від 27 до 25".
  18. 18. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-17, у якому відстань між базовою пластиною в області навколо виступів і покривною пластиною, у межах ряду виступів є, по суті, постійною. «- зо
  19. 19. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-17, у якому відстань між базовою пластиною в області навколо виступів і покривною пластиною, в ряду виступів є більшою в області кінця ряду, який знаходиться поблизу ікс, вихідного отвору фільтра, ніж в області кінця ряду, який знаходиться поблизу входу фільтра. ю
  20. 20. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-17, у якому відстань між плоскою базовою пластиною в області навколо виступів і плоскою покривною пластиною у ряду виступів лінійно збільшується від області кінця ряду, який « З5 Знаходиться поблизу боку вхідного отвору фільтра, у напрямку до області кінця ряду, який розташовується ю поблизу боку вихідного отвору фільтра.
  21. 21. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-20, у якому зазначена базова пластина структурована ізотропним або анізотропним, вологим або сухим, травленням або за допомогою комбінації цих процесів, краще за допомогою анізотропного сухого травлення. «
  22. 22. Фільтр за будь-яким із пунктів 1-21, у якому зазначена базова пластина виконана з кремнію і зазначена з с покривна пластина виконана із скла, при цьому зазначена базова пластина з'єднана з зазначеною покривною пластиною за допомогою анодного паяння. ;»
  23. 23. Розпилювач для інгаляційної терапії, що передбачає наявність мікроструктурного фільтра для рідини, має вхідний отвір для невідфільтрованої рідини і вихідний отвір для відфільтрованої рідини, при цьому зазначений фільтр містить базову пластину і безліч виступів, що встановлені, щонайменше, у два ряди поруч с один з одним, і які утворюють безліч проходів між виступами, які формують безліч наскрізних шляхів для рідини від вхідного отвору до вихідного отвору, і покривну пластину, яка закріплена на базовій пластині таким пи способом, що накриває виступи і проходи, який відрізняється тим, що зазначений вхідний і вихідний отвори с мікроструктурного фільтра являють собою подовжені щілини для проходу невідфільтрованої і відфільтрованої рідини, висота яких приблизно дорівнює висоті виступів, виконаних на боці, відповідно, вхідного і вихідного Ме, отворів фільтра. шк
  24. 24. Розпилювач за пунктом 23, який відрізняється тим, що містить сопло, з'єднане з зазначеним вихідним отвором. Ф) іме) 60 б5
UA2000042346A 1997-09-26 1998-08-28 Мікроструктурний фільтр UA54561C2 (uk)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19742439A DE19742439C1 (de) 1997-09-26 1997-09-26 Mikrostrukturiertes Filter
PCT/GB1998/002604 WO1999016530A1 (en) 1997-09-26 1998-08-28 Microstructured filter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA54561C2 true UA54561C2 (uk) 2003-03-17

Family

ID=7843652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA2000042346A UA54561C2 (uk) 1997-09-26 1998-08-28 Мікроструктурний фільтр

Country Status (41)

Country Link
US (3) US6846413B1 (uk)
EP (3) EP1772175A3 (uk)
JP (1) JP3706025B2 (uk)
KR (1) KR100575018B1 (uk)
CN (1) CN1142811C (uk)
AR (1) AR010946A1 (uk)
AT (2) ATE228386T1 (uk)
AU (1) AU748729B2 (uk)
BG (1) BG63966B1 (uk)
BR (1) BR9812526A (uk)
CA (1) CA2300908C (uk)
CO (1) CO4770988A1 (uk)
CY (1) CY1106585T1 (uk)
CZ (1) CZ298849B6 (uk)
DE (3) DE19742439C1 (uk)
DK (2) DK1243299T3 (uk)
EA (1) EA001876B1 (uk)
EE (1) EE04773B1 (uk)
EG (1) EG21958A (uk)
ES (2) ES2280451T3 (uk)
HR (1) HRP980526B1 (uk)
HU (1) HU222927B1 (uk)
ID (1) ID24484A (uk)
IL (1) IL134186A (uk)
ME (1) ME00760B (uk)
MY (1) MY138322A (uk)
NO (2) NO317969B1 (uk)
NZ (1) NZ502673A (uk)
PE (1) PE91599A1 (uk)
PL (1) PL189969B1 (uk)
PT (2) PT1243299E (uk)
SA (1) SA98190631B1 (uk)
SI (2) SI1243299T1 (uk)
SK (1) SK284288B6 (uk)
TR (1) TR200000853T2 (uk)
TW (1) TW446574B (uk)
UA (1) UA54561C2 (uk)
UY (1) UY25194A1 (uk)
WO (1) WO1999016530A1 (uk)
YU (1) YU49347B (uk)
ZA (1) ZA988730B (uk)

Families Citing this family (85)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19742439C1 (de) * 1997-09-26 1998-10-22 Boehringer Ingelheim Int Mikrostrukturiertes Filter
US7963955B2 (en) 1998-02-27 2011-06-21 Boehringer Ingelheim International Gmbh Container for a medicinal liquid
DE10131178A1 (de) 2001-06-29 2003-01-16 Boehringer Ingelheim Pharma Vernebler zur Applikation von Flüssigkeiten in die Augen
DE10216036A1 (de) 2002-04-11 2003-10-23 Boehringer Ingelheim Pharma Aerosolformulierung für die Inhalation enthaltend ein Tiotropiumsalz
DE10225470A1 (de) 2002-06-08 2003-12-18 Boehringer Ingelheim Int Vernebler mit Merkhilfe für das Therapieregiment
US20040166065A1 (en) 2002-08-14 2004-08-26 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Aerosol formulation for inhalation comprising an anticholinergic
US7699052B2 (en) 2002-09-05 2010-04-20 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Apparatus for the dispensing of liquids, container cartridge suitable for this, and system comprising the apparatus for the dispensing of liquids, and the container cartridge
US7056916B2 (en) * 2002-11-15 2006-06-06 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Medicaments for the treatment of chronic obstructive pulmonary disease
US7621266B2 (en) 2003-01-14 2009-11-24 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nozzle-system for a dispenser for fluids consisting of a nozzle and a nozzle-holder and/or screw cap
DE10300983A1 (de) 2003-01-14 2004-07-22 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Düsensystem für eine Ausbringungsvorrichtung für Flüssigkeiten bestehend aus Düse und Düsenhalter und/oder Überwurfmutter
DE10330370A1 (de) * 2003-06-30 2005-01-20 Boehringer Ingelheim International Gmbh Mikrostrukturiertes Filter mit Anti-Verdunstungseinrichtung
AU2004251432A1 (en) * 2003-06-30 2005-01-06 Boehringer Ingelheim International Gmbh Microstructured high pressure nozzle with an in-built filter function
US7896264B2 (en) * 2003-06-30 2011-03-01 Boehringer Ingelheim International Gmbh Microstructured high pressure nozzle with built-in filter function
BRPI0412673A (pt) 2003-07-16 2006-10-03 Boehringer Ingelheim Micropart processo para a produção de arranjos microfluidicos a partir de uma estrutura compósita em formato de placa
DE102004001451A1 (de) 2004-01-08 2005-08-11 Boehringer Ingelheim International Gmbh Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteiles
JP4520166B2 (ja) * 2004-02-02 2010-08-04 独立行政法人農業・食品産業技術総合研究機構 樹脂製マイクロチャネル基板及びその製造方法
SE0400662D0 (sv) * 2004-03-24 2004-03-24 Aamic Ab Assay device and method
US7575015B2 (en) * 2004-04-22 2009-08-18 Gilbarco, Inc. Secondarily contained in-dispenser sump/pan system and method for capturing and monitoring leaks
US20050272726A1 (en) * 2004-04-22 2005-12-08 Boehringer Ingelheim International Gmbh Novel medicaments for the treatment of respiratory diseases
US7946309B2 (en) 2005-04-26 2011-05-24 Veeder-Root Company Vacuum-actuated shear valve device, system, and method, particularly for use in service station environments
DE102004021789A1 (de) * 2004-05-03 2006-04-27 Boehringer Ingelheim International Gmbh Zerstäuber zum Ausbringen von Flüssigkeiten für medizinische Zwecke
US20050255050A1 (en) * 2004-05-14 2005-11-17 Boehringer Ingelheim International Gmbh Powder formulations for inhalation, comprising enantiomerically pure beta agonists
US20050256115A1 (en) * 2004-05-14 2005-11-17 Boehringer Ingelheim International Gmbh Aerosol formulation for the inhalation of beta-agonists
US7220742B2 (en) 2004-05-14 2007-05-22 Boehringer Ingelheim International Gmbh Enantiomerically pure beta agonists, process for the manufacture thereof and use thereof as medicaments
EP1917253B1 (de) * 2005-08-15 2015-01-07 Boehringer Ingelheim International Gmbh Verfahren zur herstellung von betamimetika
US7423146B2 (en) 2005-11-09 2008-09-09 Boehringer Ingelheim International Gmbh Process for the manufacturing of pharmaceutically active 3,1-benzoxazine-2-ones
CA2652699C (en) 2006-05-19 2014-11-04 Boehringer Ingelheim International Gmbh Propellant-free inhalation aerosol formulation containing ipratropium bromide and salbutamol sulfate
PE20080610A1 (es) 2006-08-22 2008-07-15 Boehringer Ingelheim Int Nuevos beta-agonistas enantiomericamente puros, procedimientos para su preparacion y uso como medicamentos
WO2008024070A1 (en) * 2006-08-22 2008-02-28 Agency For Science, Technology And Research Microfluidic filtration unit, device and methods thereof
WO2008099323A2 (en) * 2007-02-12 2008-08-21 Chang, Ken Dust/mist/gas/liquid/solid/heat purifying device and mist cotton ingredient thereof
EP2044967A1 (de) * 2007-10-01 2009-04-08 Boehringer Ingelheim Pharma GmbH & Co. KG Zerstäuber
EP2077132A1 (en) 2008-01-02 2009-07-08 Boehringer Ingelheim Pharma GmbH & Co. KG Dispensing device, storage device and method for dispensing a formulation
EP2093219A1 (de) 2008-02-22 2009-08-26 Boehringer Ingelheim International Gmbh Kristalline, enantiomerenreine Salzform eines Betamimetikums und dessen Verwendung als Arzneimittel
ES2459198T3 (es) 2008-04-20 2014-05-08 D2 Bioscience Group Ltd Utilización de óxido de deuterio como inhibidor de elastasa
JP5466853B2 (ja) * 2008-12-25 2014-04-09 日本無機株式会社 プリーツ型エアフィルタパック及びそれを用いたエアフィルタ
EP2414560B1 (de) 2009-03-31 2013-10-23 Boehringer Ingelheim International GmbH Verfahren zur beschichtung einer oberfläche eines bauteils
EP2432531B1 (de) 2009-05-18 2019-03-06 Boehringer Ingelheim International GmbH Adapter, inhalationseinrichtung und zerstäuber
GB0913523D0 (en) * 2009-08-03 2009-09-16 Vestfold University College Improved cross flow and counter flow fluid processing devices
US10016568B2 (en) 2009-11-25 2018-07-10 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer
MX2012005961A (es) 2009-11-25 2012-06-14 Boehringer Ingelheim Int Nebulizador.
WO2011064163A1 (en) 2009-11-25 2011-06-03 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer
WO2011154295A2 (de) 2010-06-08 2011-12-15 Boehringer Ingelheim International Gmbh Medizinisches gerät mit zählwerk mit voreingestelltem zählbereich gerät mit zählwerksvariation
EP2585151B1 (en) 2010-06-24 2018-04-04 Boehringer Ingelheim International GmbH Nebulizer
EP2593164B1 (de) 2010-07-16 2017-03-22 Boehringer Ingelheim International GmbH Filtersystem für den einsatz in medizinischen geräten
WO2012130757A1 (de) 2011-04-01 2012-10-04 Boehringer Ingelheim International Gmbh Medizinisches gerät mit behälter
US9827384B2 (en) 2011-05-23 2017-11-28 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer
CN103764250A (zh) 2011-09-04 2014-04-30 安捷伦科技有限公司 用于流体测量的在流体流动方向上凹部尺寸减小的碎屑过滤器
EP2650254A1 (de) * 2012-04-10 2013-10-16 Boehringer Ingelheim microParts GmbH Verfahren zur Herstellung einer Mikrodüse
WO2013152894A1 (de) 2012-04-13 2013-10-17 Boehringer Ingelheim International Gmbh Zerstäuber mit kodiermitteln
PL398979A1 (pl) * 2012-04-25 2013-10-28 Scope Fluidics Spólka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia Urzadzenie mikroprzeplywowe i uklad mikroprzeplywowy obejmujacy jedno lub wiecej urzadzen mikroprzeplywowych
US10040018B2 (en) 2013-01-09 2018-08-07 Imagine Tf, Llc Fluid filters and methods of use
JP6643231B2 (ja) 2013-08-09 2020-02-12 ベーリンガー インゲルハイム インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ネブライザ
EP2835146B1 (en) 2013-08-09 2020-09-30 Boehringer Ingelheim International GmbH Nebulizer
US9726653B2 (en) * 2014-03-26 2017-08-08 Hamilton Sundstrand Corporation Chemical detector
US9861920B1 (en) 2015-05-01 2018-01-09 Imagine Tf, Llc Three dimensional nanometer filters and methods of use
US10722666B2 (en) 2014-05-07 2020-07-28 Boehringer Ingelheim International Gmbh Nebulizer with axially movable and lockable container and indicator
CA2948071C (en) 2014-05-07 2022-08-30 Boehringer Ingelheim International Gmbh Container, nebulizer and use
HUE058904T2 (hu) 2014-05-07 2022-09-28 Boehringer Ingelheim Int Porlasztókészülék
US10730047B2 (en) 2014-06-24 2020-08-04 Imagine Tf, Llc Micro-channel fluid filters and methods of use
EP3160623A4 (en) * 2014-06-24 2018-01-24 Imagine TF, LLC Micro-channel fluid filters and methods of use
JP6509330B2 (ja) * 2014-09-05 2019-05-08 イマジン ティーエフ，エルエルシー 微細構造分離フィルタ
US10124275B2 (en) 2014-09-05 2018-11-13 Imagine Tf, Llc Microstructure separation filters
US10758849B2 (en) * 2015-02-18 2020-09-01 Imagine Tf, Llc Three dimensional filter devices and apparatuses
US10118842B2 (en) 2015-07-09 2018-11-06 Imagine Tf, Llc Deionizing fluid filter devices and methods of use
US10479046B2 (en) 2015-08-19 2019-11-19 Imagine Tf, Llc Absorbent microstructure arrays and methods of use
EP3202709B1 (de) 2016-02-04 2019-04-10 Boehringer Ingelheim microParts GmbH Abformwerkzeug mit magnethalterung
WO2018016059A1 (ja) * 2016-07-21 2018-01-25 三菱電機株式会社 空気清浄機および空気調和機
RU2761367C2 (ru) 2016-09-15 2021-12-07 Софтхейл Нв Клапан, в частности для устройства для введения жидкого лекарственного средства, и соответствующее устройство для введения жидкого лекарственного средства
RU2717226C1 (ru) * 2016-11-06 2020-03-18 Майкробейз Текнолоджи Корп. Микроструктурированная форсунка
EP3563894B1 (en) 2018-05-04 2021-12-22 Boehringer Ingelheim International GmbH Nebulizer and container
CN110433361B (zh) * 2018-05-04 2023-01-17 微邦科技股份有限公司 微结构喷嘴
WO2019210515A1 (en) * 2018-05-04 2019-11-07 Microbase Technology Corp Microstructured nozzle
US11390778B2 (en) 2018-07-29 2022-07-19 Bvw Holding Ag Patterned surfaces with suction
CN113165001B (zh) * 2018-09-28 2024-10-11 技术合伙公司 具有集成过滤器的微型喷嘴
JP7370695B2 (ja) * 2018-10-17 2023-10-30 日本無機株式会社 フィルタパック、及びエアフィルタ
JP6804579B2 (ja) * 2019-02-27 2020-12-23 イマジン ティーエフ，エルエルシー マイクロチャネル流体フィルタ及びその使用方法
CN112090603B (zh) * 2019-06-17 2022-11-08 苏州天健云康信息科技有限公司 微流体器件及其制造方法
US11786621B2 (en) 2019-10-10 2023-10-17 Carefusion 2200, Inc. Reusable tortuous path filters for sterilization containers
RU2732749C1 (ru) * 2020-03-11 2020-09-22 Евгений Иванович ВЕРХОЛОМОВ Щелевой фильтр
EP4203945A1 (en) 2020-08-28 2023-07-05 Universität Linz Use of leoligin in the prevention of tissue damage
KR102434663B1 (ko) * 2020-12-07 2022-08-19 재단법인 포항산업과학연구원 가스측정장치
CN217162788U (zh) * 2021-05-26 2022-08-12 杭州堃博生物科技有限公司 适用于多相流体的雾化导管及给药设备
CN113398387B (zh) * 2021-07-05 2023-07-07 山西瑞博隆生物科技有限公司 一种医用喷雾式快速上药器
CN118022111A (zh) * 2022-11-02 2024-05-14 长风药业股份有限公司 雾化装置
GB2641289A (en) * 2024-05-24 2025-11-26 Merxin Ltd A filter for a liquid delivery device

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE916879C (de) 1943-05-13 1954-08-19 Gustav Schlick Zerstaeubungsvorrichtung fuer unter Druck zugefuehrte Fluessigkeiten
GB1138401A (en) 1965-05-06 1969-01-01 Mallory & Co Inc P R Bonding
US3347473A (en) 1965-06-07 1967-10-17 Gen Motors Corp Fluid manifold
US3615054A (en) 1965-09-24 1971-10-26 Aerojet General Co Injectors
US3771724A (en) 1972-07-19 1973-11-13 Richards Of Rockford Inc Apparatus and process for spraying liquids
JPS5029165A (uk) 1973-07-17 1975-03-25
JPS5029166A (uk) 1973-07-17 1975-03-25
JPS5634322B2 (uk) * 1973-12-11 1981-08-10
JPS5412907B2 (uk) * 1974-03-06 1979-05-26
DE2505695A1 (de) 1974-09-30 1976-04-22 Bowles Fluidics Corp Vorrichtung zum verspruehen eines fluids, insbesondere fluidischer oszillator
US3921916A (en) 1974-12-31 1975-11-25 Ibm Nozzles formed in monocrystalline silicon
JPS537819A (en) 1976-07-12 1978-01-24 Hitachi Ltd Spraying nozzle
US4151955A (en) 1977-10-25 1979-05-01 Bowles Fluidics Corporation Oscillating spray device
US5035361A (en) 1977-10-25 1991-07-30 Bowles Fluidics Corporation Fluid dispersal device and method
US4184636A (en) 1977-12-09 1980-01-22 Peter Bauer Fluidic oscillator and spray-forming output chamber
DE2907319A1 (de) * 1979-02-24 1980-09-18 Bayer Ag Modulblock fuer osmotische trennverfahren
JPS56113367A (en) 1980-02-15 1981-09-07 Hitachi Ltd Liquid drop sprayer
DE3167426D1 (en) 1980-06-10 1985-01-10 Erich Pagendarm Fantail nozzle for producing a continuous gas or liquid veil, e.g. for burners
JPS57182452A (en) 1981-05-08 1982-11-10 Seiko Epson Corp Multinozzle head
GB8311167D0 (en) 1983-04-25 1983-06-02 Jenkins W N Directed spray
DE3441190A1 (de) * 1984-11-10 1986-05-15 Metallgesellschaft Ag, 6000 Frankfurt Einrichtung zur trennung von fluessigkeitsgemischen durch pervaporation
US4601921A (en) 1984-12-24 1986-07-22 General Motors Corporation Method and apparatus for spraying coating material
US4688056A (en) 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
DE3546091A1 (de) * 1985-12-24 1987-07-02 Kernforschungsz Karlsruhe Querstrom-mikrofilter
US4738398A (en) 1986-07-29 1988-04-19 Corsette Douglas Frank Sprayer having induced air assist
US4899937A (en) 1986-12-11 1990-02-13 Spraying Systems Co. Convertible spray nozzle
US4829324A (en) 1987-12-23 1989-05-09 Xerox Corporation Large array thermal ink jet printhead
US5084178A (en) * 1988-06-15 1992-01-28 Pall Corporation Corrugated filter arrangement with support layer and flow channels
US4828184A (en) 1988-08-12 1989-05-09 Ford Motor Company Silicon micromachined compound nozzle
US4915718A (en) 1988-09-28 1990-04-10 On Target Technology, Inc. Fabrication of ink jet nozzles and resulting product
US4875968A (en) 1989-02-02 1989-10-24 Xerox Corporation Method of fabricating ink jet printheads
GB8910961D0 (en) 1989-05-12 1989-06-28 Am Int Method of forming a pattern on a surface
JPH03267173A (ja) 1990-03-15 1991-11-28 Mitsubishi Motors Corp 光輝工法
SG45171A1 (en) 1990-03-21 1998-01-16 Boehringer Ingelheim Int Atomising devices and methods
GB2248891A (en) 1990-10-18 1992-04-22 Westonbridge Int Ltd Membrane micropump
EP0488675A1 (en) 1990-11-28 1992-06-03 Canon Kabushiki Kaisha Manufacturing method for liquid jet recording head and liquid jet recording head
IL100224A (en) 1990-12-04 1994-10-21 Dmw Tech Ltd Spray nozzle
DE69117193T2 (de) 1990-12-04 1996-06-27 Dmw (Technology) Ltd., Suffolk Düsenvorrichtung zum verhindern des rückflusses
EP0563120B1 (en) 1990-12-17 1997-10-01 Minnesota Mining And Manufacturing Company Inhaler
GB9109065D0 (en) 1991-04-26 1991-06-12 Dunne Miller Weston Ltd Atomising devices
EP0520737A1 (en) * 1991-06-28 1992-12-30 Pall Corporation Filter assembly with a spin welded end cap
US5334247A (en) 1991-07-25 1994-08-02 Eastman Kodak Company Coater design for low flowrate coating applications
US5160403A (en) 1991-08-09 1992-11-03 Xerox Corporation Precision diced aligning surfaces for devices such as ink jet printheads
US5215655A (en) 1991-10-28 1993-06-01 Tokheim Corporation Dispenser interlock fuel filter system disabled in response to filter removal
DE4140922C1 (uk) * 1991-12-12 1993-07-29 Danfoss A/S, Nordborg, Dk
SE469925B (sv) * 1992-02-21 1993-10-11 Gibeck Respiration Ab Filteranordning för anslutning till en persons andningsorgan innefattande ett hölje som innesluter ett fukt-värmeväxlande material och ett bakterieupptagande filter, som består av ett veckat, luftgenomträngligt material
WO1993020351A1 (fr) 1992-04-02 1993-10-14 Seiko Epson Corporation Microdispositif de regulation de debit de fluide, et procede de fabrication dudit dispositif
US5587128A (en) 1992-05-01 1996-12-24 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Mesoscale polynucleotide amplification devices
SE470479B (sv) * 1992-09-28 1994-05-24 Electrolux Ab Membranmodul och förfarande för dess framställning
IL107120A (en) 1992-09-29 1997-09-30 Boehringer Ingelheim Int Atomising nozzle and filter and spray generating device
US5543047A (en) * 1992-11-06 1996-08-06 Pall Corporation Filter with over-laid pleats in intimate contact
US5783067A (en) * 1993-04-13 1998-07-21 Facet International, Inc. Elongated filter system, filter element therefor and methods of making same
US5460720A (en) * 1993-08-12 1995-10-24 Schneider; Burnett M. Pleated membrane crossflow fluid separation device
EP0648524A1 (en) * 1993-10-19 1995-04-19 Millipore Corporation Filter cartridge construction
CH689836A5 (fr) 1994-01-14 1999-12-15 Westonbridge Int Ltd Micropompe.
US5770076A (en) * 1994-03-07 1998-06-23 The Regents Of The University Of California Micromachined capsules having porous membranes and bulk supports
US5591139A (en) 1994-06-06 1997-01-07 The Regents Of The University Of California IC-processed microneedles
EP0787030A1 (en) * 1994-10-21 1997-08-06 Pall Corporation Fluid processing apparatus
JPH11503963A (ja) * 1995-04-21 1999-04-06 ドナルドソン カンパニー，インコーポレイティド ひだ付きフィルタ及びその製造方法
US5651765A (en) * 1995-04-27 1997-07-29 Avecor Cardiovascular Inc. Blood filter with concentric pleats and method of use
US5632792A (en) * 1995-08-16 1997-05-27 Purolator Products Company Air induction filter hose assembly
DE19536902A1 (de) 1995-10-04 1997-04-10 Boehringer Ingelheim Int Vorrichtung zur Hochdruckerzeugung in einem Fluid in Miniaturausführung
RU2119817C1 (ru) * 1995-10-23 1998-10-10 Акционерное общество открытого типа "Полимерсинтез" Пористая фторуглеродная мембрана, способ ее получения и патронный фильтр на ее основе
CA2187963C (en) * 1995-11-03 2001-04-10 Stephen Proulx Filter cartridge construction and process for filtering particle-containing paint compositions
US5904846A (en) * 1996-01-16 1999-05-18 Corning Costar Corporation Filter cartridge having track etched membranes and methods of making same
GB9602625D0 (en) 1996-02-09 1996-04-10 Clegg Water Conditioning Inc Modular apparatus for the demineralisation of liquids
AU1723997A (en) * 1996-02-09 1997-08-28 Westonbridge International Limited Micromachined filter for a micropump
AU722679B2 (en) * 1996-04-26 2000-08-10 Donaldson Company Inc. Fluted filter media
US5762789A (en) * 1996-06-28 1998-06-09 Millipore Corporation Disposable membrane module with low-dead volume
US5820767A (en) * 1996-07-29 1998-10-13 Pall Corporation Method for quantitation of microorganism contamination of liquids
JP3267173B2 (ja) 1996-10-08 2002-03-18 旭化成株式会社 耐金属劣化性に優れた樹脂組成物
US6010458A (en) * 1997-05-02 2000-01-04 Porous Media Corporation Spirometer filter media and device
DE19742439C1 (de) 1997-09-26 1998-10-22 Boehringer Ingelheim Int Mikrostrukturiertes Filter
JP4670166B2 (ja) * 2001-03-21 2011-04-13 トヨタ紡織株式会社 フィルタの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
NO20001547D0 (no) 2000-03-24
SK4232000A3 (en) 2000-08-14
ZA988730B (en) 1999-03-26
EG21958A (en) 2002-04-30
EA001876B1 (ru) 2001-10-22
EP1772175A2 (en) 2007-04-11
ID24484A (id) 2000-07-20
ES2187998T3 (es) 2003-06-16
CZ298849B6 (cs) 2008-02-27
DK1243299T3 (da) 2007-06-18
EE04773B1 (et) 2007-02-15
HRP980526A2 (en) 1999-12-31
BG104134A (en) 2000-08-31
SA98190631B1 (ar) 2006-06-21
DE69809779D1 (de) 2003-01-09
ME00760B (me) 2005-07-19
DE69837451D1 (de) 2007-05-10
EP1243299A2 (en) 2002-09-25
DE69809779T2 (de) 2003-07-17
NO20001547L (no) 2000-03-24
PT1017469E (pt) 2003-04-30
ATE228386T1 (de) 2002-12-15
HU222927B1 (hu) 2003-12-29
US20040159319A1 (en) 2004-08-19
PL189969B1 (pl) 2005-10-31
HRP980526B1 (en) 2000-10-31
DK1017469T3 (da) 2003-03-17
EP1243299B1 (en) 2007-03-28
WO1999016530A1 (en) 1999-04-08
YU16800A (sh) 2002-09-19
HUP0102893A2 (hu) 2001-12-28
US7645383B2 (en) 2010-01-12
EP1017469A1 (en) 2000-07-12
EA200000338A1 (ru) 2000-10-30
NO331008B1 (no) 2011-09-05
PL339492A1 (en) 2000-12-18
JP3706025B2 (ja) 2005-10-12
MY138322A (en) 2009-05-29
CN1142811C (zh) 2004-03-24
EP1017469B1 (en) 2002-11-27
AR010946A1 (es) 2000-07-12
TR200000853T2 (tr) 2001-07-23
US6977042B2 (en) 2005-12-20
JP2001518377A (ja) 2001-10-16
CO4770988A1 (es) 1999-04-30
SI1243299T1 (sl) 2007-08-31
SK284288B6 (sk) 2005-01-03
CN1271296A (zh) 2000-10-25
KR100575018B1 (ko) 2006-05-02
PE91599A1 (es) 1999-09-30
EE200000085A (et) 2000-10-16
ES2280451T3 (es) 2007-09-16
BR9812526A (pt) 2000-07-25
NO317969B1 (no) 2005-01-17
CY1106585T1 (el) 2012-01-25
NO20041327L (no) 2004-03-26
AU8875698A (en) 1999-04-23
IL134186A0 (en) 2001-04-30
SI1017469T1 (en) 2003-06-30
CA2300908C (en) 2010-11-02
YU49347B (sh) 2005-07-19
NZ502673A (en) 2001-08-31
DE19742439C1 (de) 1998-10-22
DE69837451T2 (de) 2007-12-13
HUP0102893A3 (en) 2002-04-29
TW446574B (en) 2001-07-21
UY25194A1 (es) 1999-03-24
US20060032494A1 (en) 2006-02-16
US6846413B1 (en) 2005-01-25
EP1243299A3 (en) 2002-12-11
HK1030182A1 (en) 2001-04-27
PT1243299E (pt) 2007-05-31
BG63966B1 (bg) 2003-08-29
AU748729B2 (en) 2002-06-13
CZ20001085A3 (cs) 2001-04-11
EP1772175A3 (en) 2007-08-01
CA2300908A1 (en) 1999-04-08
KR20010030720A (ko) 2001-04-16
ATE357956T1 (de) 2007-04-15
IL134186A (en) 2002-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA001876B1 (ru) Микроструктурный фильтр
US20030080060A1 (en) Integrated micromachined filter systems and methods
CN111085025B (zh) 支撑和排泄物料、过滤器和使用方法
EP3643383A1 (en) Support and drainage material, filter, and method of use
CN111085022B (zh) 支撑和排泄物料、过滤器和使用方法
MXPA00002458A (en) Microstructured filter
RU1787491C (ru) Фильтрующее устройство
HK1030182B (en) Microstructured filter
CN1956792A (zh) 喷嘴装置的主体