BESCHREIBUNG Faseroptischer Quarz-Spannungs-Sensor
TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft einen faseroptischen Sensor zur Messung elektrischer Feldstärken oder Spannungen mit einem Quarzkörper gemäss dem Oberbegriff des
Patentanspruchs 1.
STAND DER TECHNIK
Faseroptische Sensoren dieser Art sind bekannt z.B. aus EP-A1-O 316 619, EP-A1-O 316 635 und EP-A1-O 433 824 sowie aus K. Bohnert, J. Nehring, Appl. Opt. 27, (1988) S. 4814 -4818 oder K. Bohnert, J. Nehring, Opt. Lett. 14, (1989) S. 290 - 292.
Das Messprinzip beruht bei den bekannten Sensoren darauf, dass eine kreisrunde, mit einer Glasfaser umwickelte
Scheibe aus einem piezoelektrischen Material (z.B. Quarz) im elektrischen bzw. E-Feld eine Umfangsänderung erfährt, welche durch die resultierende Längenänderung der Glasfaser interferometrisch gemessen werden kann. Dabei hat sich vor allem das Zweimoden-Interferometer als ein einfacher
Interferometertyp erwiesen, vgl. B. Y. Kim et al., Opt. Lett. 12, (1987) S. 729 - 731. Die Signalerfassung erfolgt z. B. durch Kompensation der zu messenden differentiellen Phasenverschiebung zwischen den Fasermoden.
Quarz ist als piezoelektrisches Sensormaterial sehr gut geeignet, weil es einen hinreichend grossen
piezoelektrischen Effekt und eine kleine
Dielektrizitätskonstante besitzt. Darüberhinaus kann man mit Quarzscheiben, die senkrecht zur kristallographischen x-Achse (Achsendefinition gemäss IRE Standard 1949, siehe weiter unten) geschnitten sind, selektiv E-Feldkomponenten
in x-Richtung messen, d.h. das Skalarpordukt (E, x) bilden. Durch eine entlang der Zylinderachse in x-Richtung
ausgedehnte, näherungsweise gleichmässige Bewicklung eines solchen Quarzkörpers, der sich in x-Richtung von der
Erdelektrode bis zur Hochspannungselektrode erstreckt, oder durch durch Hintereinanderschalten mehrerer derartiger Quarzscheiben entlang eines beliebigen Integrationsweges zwischen Erde und Hochspannungselektrode, wobei die x-Achse tangential zum Integrationspfad ausgerichtet ist und alle Quarzscheiben näherungsweise gleichmässig mit einer
durchgehenden Faser bewickelt sind, lässt sich das
Linienintegral des elektrischen Feldes ∫ E dx
approximieren und somit die Spannung unabhängig von der E-Feldverteilung messen (EP-A1-O 316 619, EP-A1-O 316 635).
Für die Meßsignalkompensation wird meistens ein
piezoelektrischer Keramikzylinder verwendet (EP-A1-O 433 824), dessen Piezoeffekte im Vergleich zu Quarz um
mindestens zwei Grössenordnungen stärker sind und dadurch eine erhebliche Spannungsuntersetzung ermöglichen.
Als nachteilig hat sich bei den bekannten Sensoren
erwiesen, dass ihre Messempfindlichkeit eine störende
Temperaturabhängigkeit zeigt. Mit dem bisher meistens verwendeten Fasertyp findet man eine Abnahme des Messignals um typischerweise einige Prozent zwischen - 20 °C und
+ 70 °C. Ursachen dafür sind einerseits die
Temperaturabhängigkeiten der piezoelektrischen
Koeffizienten und andererseits die Temperaturabhängigkeiten des Faserinterferometers.
In der EP-A1-O 433 824 wurde vorgeschlagen, die
Temperaturabhängigkeit dadurch zu eliminieren, dass der piezoelektrische Sensor und der Kompensator aus gleichem Material hergestellt und auf gleicher Temperatur gehalten werden. Die teraperaturbedingte Verfälschung des Messignals
(E-Feld bzw. elektrische Spannung) wird hierbei aktiv eliminiert bzw. reduziert, was einen nicht unerheblichen apparativen sowie regelungstechnischen Aufwand erfordert.
Aus der Uhrenindustrie sind für die dort zur
Frequenzstabilisierung verwendeten Schwingquarze
vielfältige Quarzschnitte bekannt zur Kompensation der Temperaturabhängigkeit der piezoelektrischen
Resonanzfrequenz der Quarze in 1., 2. oder 3. Ordnung (vgl, z.B. J. C. Brice, Review of Modern Physics 57 (1), (1985) S. 105 - 146; US-A-3,766,616; US-A-4,503,353; US-A-4,447,753; US-A-4,453,105). Bei dem hier betrachteten faseroptischen Sensor geht es jedoch nicht um die
Temperaturabhängigkeit einer Resonanzfrequenz eines
Schwingquarzes, sondern darum, wie sich eine
piezoelektrisch bedingte Dimensionsänderung eines
Quarzkörpers in eine Längenänderung eines mit ihm
verbundenen Längenabschnitts einer Glasfaser umsetzt, und um die Temperaturαbhängigkcit dieses Effektes.
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung, wie sie im Patentanspruch 1 definiert ist, löst die Aufgabe, bei einem faseroptischen Sensor der eingangs genannten Art die Temperaturabhängigkeit des
Messignals rein passiv zu eliminieren oder wenigstens teilweise zu kompensieren.
Die Erfindung berücksichtigt, dass Quarz auf Grund seiner Kristallsymmetrie (nur) zwei unabhängige piezoelektrische Koeffizienten besitzt. Es sind dies, wie noch eingehender erläutert wird, die Koeffizienten d11 und d14. Deren
Temperaturabhängigkeiten sind einander gerade
entgegengesetzt. Der Koeffizient d11 nimmt mit zunehmender Temperatur um ca. 2 % pro 100 K ab; Der Koeffizient d14 nimmt um ca. 13 % pro 100 K zu (vgl. J. Tichy, G. Gautschi, "Piezoelektrische Messtechnik", Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York (1950) S. 100 - 106, mit weiteren
Referenzen). Diese entgegengesetzte Temperaturabhängigkeit der beiden unabhängigen Koeffizienten macht sich die
Erfindung zunutze. Während bei den bekannten Sensoren zur Gewinnung des Messignals bisher ausschliesslich der
Koeffizient d11 ausgenutzt wurde, schlägt die Erfindung vor, die Temperaturabhängigkeit des Messignals (E-Feld bzw. elektrische Spannung) durch eine Mischung beider
unabhängiger Koeffizienten in gewünschter Weise zu
beeinflussen.
Im Rahmen des erfindungsgemässen Lösungskonzeptes sind verschiedene Mischungen der beiden unabhängigen
Koeffizienten möglich, da auf die Temperaturabhängigkeit des Messignals unter verschiedenen Kriterien Einfluss genommen werden kann. Das angestrebte Ziel muss dabei nicht notwendig in der vollständigen Eliminierung der
Temperaturabhängigkeit der piezoelektrisch verursachten, auf die Glasfaser zu übertragenden Deformation des
Quarzkörpers liegen. Insbesondere kann das angestrebte Ziel auch darin bestehen, die Temperaturabhängigkeit des
Gesamtsensors, d.h. einschliesslich der Detektionsmittel (Interferometer) zu eliminieren oder wenigstens teilweise zur kompensieren. Weiter sind im Rahmen des
erfindungsgemässen Lösungskonzeptes auch verschiedene
Geometrien bezüglich der kristallographischen Orientierung und Form des Quarzkörpers und/oder der Anordnung eines oder mehrerer Glasfaserabschnitte auf diesem möglich. Gewisse Geometrien erfordern zusätzlich eine bestimmte Orientierung des Quarzkörpers im zu messenden elektrischen Feld. Statt lediglich eines Quarzkörpers können insbesondere mehrere Quarzkörper in Kombination miteinander verwendet werden. Einige bevorzugte Ausführungsformen sind in den abhängigen Ansprüchen gekennzeichnet.
KURZE ERLÄUTERUNG DER FIGUREN
Die Erfindung soll nachfolgend im Zusammenhang mit den Figuren näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 unter a) und b) in zwei Ansichten einen
zylindrischen Quarzkörper mit elliptischem
Querschnitt, gemäss einer ersten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2 in einem Diagramm die Temperaturabhängigkeit der unabhängigen piezoelektrischen Koeffizienten d11 und d14 von α-Quarz (Linksquarz),
Fig. 3 in einem Diagramm den relativen
Temperaturkoeffizienten erster Ordnung Tdeff (1) als Funktion des Verhältnisses e von kleiner zu grosser Hauptachse des elliptischen Querschnitts des Quarzkörpers von Fig. 1 für verschiedene Rotationswinkel ψ der kleinen Ellipsen-Hauptachse gegenüber der kristallographischen y-Achse des Quarzkörpers,
Fig. 4 in einem Diagramm den zu Fig. 3 gehörigen
effektiven piezoelektrischen Koeffizienten 0. Ordnung deff (0) als Funktion von e des Quarzkörpers von Fig. 1 für die gleichen Rotationswinkel ψ der kleinen Ellipsen-Hauptachse gegenüber der kristallographischen y-Achse des Quarzkörpers,
Fig. 5 in einem Diagramm die Kombinationen von φ und ∈, für welche Tdeff (1) verschwindet,
Fig. 6 in einem Diagramm den zugehörigen effektiven
piezoelektrischen Koeffizienten 0. Ordnung deff (0) als Funktion von e des Quarzkörpers von Fig. 1,
Fig. 7 in einem Diagramm die Kombinationen von ψ und ∈, für welche Tdeff (1) den Wert von + 6 · 10-4 K-1 annimmt,
Fig. 8 in einem Diagramm den zugehörigen Verlauf von deff (0) als Funktion von e des Quαrzkörpers von Fig. 1,
Fig. 9 zwei zylindrische Quarzkörper mit elliptischem
Querschnitt gemäss einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 10 deff (1) in Abhängigkeit von e der beiden
elliptischen Quarzkörper von Fig. 9 für mehrere Kombinationen von Windungsverhältnissen M und Rotationswinkeln φ1 und φ2 jeweils der kleinen Hauptachse gegenüber jeweils der
kristallographischen y-Achse der Quarzkörper,
Fig. 11 Tdeff (1) in Abhängigkeit vom Windungsverhältnis M der Glasfaser auf beiden Quarzkörpern von Fig. 9 für zwei Kombinationen von φ1 und φ2 und ∈1 = ∈2 = 0,4,
Fig. 12 deff (0) als Funktion von M für die gleichen
Kombinationen von φ1 und φ2 und wiederum
∈1 = ∈2 = 0,4,
Fig. 13 deff (0) als Funktion von ∈ für den Fall, dass
Tdeff (1) verschwindet, wobei φ1 = 45°, φ2 = - 30° und ∈1 = ∈2 = ∈ gewählt wurden und M(e) aus Fig. 14 zu entnehmen ist (zum Vergleich gestrichelt der Fall einer Ellipse gemäss Fig. 6),
Fig. 14 die Abhängigkeit von M von ∈ zu Parametern von
Fig. 13,
Fig. 15 deff als Funktion von e für den Fall, dass
Tdeff (1) den Wert von + 6 · 10-4 K-1 annimmt, für φ1 = 45°, φ2 = - 30°; ∈1 = ∈2 = ∈ gewählt wurden und M(e) aus Fig. 16 zu entnehmen ist,
Fig. 16 die Abhängigkeit von M von e zu Parametern von
Fig. 15,
Fig. 17 ein als Scheibe ausgebildeter Quarzkörper,
welcher in seiner Scheibenebene die
kristallographische x-Achse enthält, gemäss einer dritten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 18 mehrere Quarzkörper der Art von Fig. 17 in einer
Linie zur Linienintegralmessung des elektrischen Feldes angeordnet und
Fig. 19 einen als kreisrunde Scheibe ausgebildeter
Quarzkörper, welcher in seiner Scheibenebene die kristallographische y-Achse sowie die zu messende
Komponente des E-Feldes enthält, gemäss einer vierten Ausführungsform der Erfindung.
WEGE ZUR AUSFUHRUNG DER ERFINDUNG
Für die Dimensionsänderung, welche ein piezoelektrischer Kristall auf Grund des inversen piezoelektrischen Effektes in einem elektrischen Feld erfährt, gilt eine lineare
Beziehung zwischen den Komponenten E
k des elektrischen Feldvektors E und den die Dimensionsänderung beschreibenden Komponenten des Dehnungstensors s
i j gemäß
Die insgesamt 27 piezoelektrischen Koeffizienten dkij bilden den piezoelektrischen Tensor, welcher ein Tensor dritter Stufe und symmetrisch bezüglich i und j ist. Auf Grund dieser Symmetrie sind höchstens 18 der 27
Koeffizienten unabhängig. Ersetzt man die Indizes i und j wie folgt durch lediglich einen einzelnen Index ij: 11 22 33 23, 32 31, 13 12, 21
1 : 1 2 3 4 5 6, so lässt sich der piezoelektrische Tensor übersichtlich in matrixähnlicher Form (kontrahierte Notation) schreiben:
d11 d12 d13 d14 d15 d16
dk1 = d21 d22 d23 d24 d25 d26 (2) d31 d32 d33 d34 d35 d36
wobei gemäss Konvention (siehe J. F. Nye, "Physical
Properties of Crystals", S. 125 und 126, Oxford University
Press, London and New York (1957)) dkl = dkii
(i, l = 1, 2, 3) und dkl = 2 · dkij (i = j; i, j = 1, 2, 3; l = 4, 5, 6) ist.
Betrachtet man nunmehr einen speziellen piezoelektrischen Kristall, so lassen sich von den 18 Koeffizienten dieses Schemas weitere auf Grund der Symmetrien des betrachteten Kristalls eliminieren. Für Quarz, auf den sich die
folgenden Ausführungen allein beziehen, ergibt sich
speziell folgendes Schema für den piezoelektrischen Tensor in kontrahierter Notation mit den bereits erwähnten
lediglich zwei unabhängigen piezoelektrischen Koeffizienten d11 und d14:
d11 -d11 0 d14 0 0
dkl = 0 0 0 0 -d14 -2d11 (3)
0 0 0 0 0 0.
Hierbei wurde für die Orientierung der kristallographischen Achsen (x, y, z) des Quarzes der IRE Standard 1949 (vgl. die eingangs genannte Veröffentlichung von J. Tichy, G. Gautschi, "Piezoelektrische Messtechnik", Seite 103,
Springer-Verlag Berlin, Heidelberg, New York (1980);
J. F. Nye, "Physical Properties of Crystals", Seite 125, Oxford University Press, London and New York (1975)) zugrunde gelegt. Dieser legt fest, dass für Rechts- und für Linksquarze einheitlich ein rechtshändiges
Koordinatensystem verwendet wird mit der x-Achse in
Richtung einer der drei zweizähligen elektrischen Achsen und mit der z-Achse (dreizählige Achse) in der Richtung der optischen Achse des Quarzes. Als Rechtsquarz (Linksquarz) wird ein Quarz definiert, welcher beim Zurückschauen in die Lichtquelle die Polarisationsebene linear polarisierten Lichts im (gegen den) Uhrzeigersinn dreht. Die positive x-Richtung zeigt dorthin, wo bei Dehnung eines Linksquarzes entlang der x-Achse eine positive Ladung durch den direkten piezoelektrischen Effekt entsteht. Bei einem Rechtsquarz entsteht eine negative Ladung. Bei dieser Wahl des
Koordinatensystems besitzen die Koeffizienten d11 und d14 immer das gleiche Vorzeichen, nämlich beide "+" für
Linksquarz und beide "-" für Rechtsquarz. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung sind beide Enantiomorphe des Quarzes einsetzbar, wobei dem Übergang von Rechts- zu Linksquarz ein Wechsel der Ex-Feldrichtung von "+x" zu "-x"
entspricht. Die folgenden Betrachtungen und Formeln
beziehen sich auf Linksquarz, der mit einer oder mehreren
vollständigen Glasfaserwicklungen auf seinem Umfang versehen ist. Auch teilweise Windungen sind möglich.
Als ein erstes Ausführungsbeispiel wird im folgenden eine Konfiguration betrachtet, wie sie Fig. 1 zeigt, mit einem Quarzkörper 1 und einer Glasfaser 2, wobei der Quarzkörper 1 die Form einer elliptischen Scheibe aufweist und die Glasfaser 2 in mindestens einer Windung straff um die Mantelfläche 3 der Scheibe gewickelt ist. Die
Scheibenflächen sollen gemäss der 1. Ausführungsform der Erfindung senkrecht zur kristallographischen x-Achse des dem Quarzkörper zugrunde liegenden Quarzkristalls
ausgerichtet sein.
Der Umfang U0 einer Ellipse ist durch die Länge ihrer beiden Hauptachsen a0 und b0 gegeben mit:
wobei Θ einen Integrationswinkel bedeutet.
Durch den piezoelektrischen Effekt ändert sich die Länge der Hauptachsen zu a = a0 · ( 1 + saa ) und
b = b0 · (1 + sbb). Die Umfangsänderung beträgt in erster Ordnung in den Dehnungen saa und sbb
ΔU ist eine lineare Funktion von d
11 und d
14, wobei die Temperaturabhängigkeit dieser Koeffizienten, welche im Diagramm von Fig. 2 dargestellt ist, näherungsweise
geschrieben werden kann als
d11 = d11(0) + d11(1) * (T - 295 K) +
+ d11(2) · (T - 295 K)2 + ... (6) d14 = d14(0) + d14(1) · (T - 295 K) +
+ d14(2) · (T - 295 K)2 + ... (7)
Das Diagramm von Fig. 2 ist aus der eingangs genannten Veröffentlichung von J. Tichy, G. Gautschi,
"Piezoelektrische Messtechnik", Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York, (1980), S. 106, Bild 6.4, entnommen. Es zeigt je 2 Messkurven von d11 und d14.
Für die weiteren Betrachtungen ist es von Vorteil, einen effektiven piezoelektrischen Koeffizienten gemäß: deff(T) = n · ΔU(T)/(n · U0 · E) = deff (0) +
+ deff (1) · (T - 295 K) + deff (2) · (T - 295 K)2 + ...(8) zu definieren, der unabhängig vom Ellipsenumfang U0 und der Windungszahl n der Glasfaser ist, wobei deff(0), deff (1), deff (2) die effektiven piezoelektrischen Koeffizienten 0., 1. sowie 2. Ordnung sind.
Im folgenden soll nun aufgezeigt werden, wie sich die
Grosse und das Temperaturverhalten von deff in Abhängigkeit von der Wahl der Geometrie, insbesondere mit der
Elliptizität e0 = b0/a0 und bei einer Rotation um die kristallographische x-Achse ändert.
Zunächst soll die Winkelabhängigkeit behandelt werden.
Betrachtet man ausgehend von einer Orientierung der
elliptischen Quarzscheibe mit der kristallographischen z-Achse entlang der grossen Hauptachse a und der
kristallographischen y-Achse entlang der kleinen Hauptachse b eine Rotation
1 0 0
R x(φ) = 0 cosφ sinφ (9)
0 -sinφ cosφ
der Koordinatenachsen um die x-Achse um den Winkel φ, so gilt für eine beliebige E-Feldrichtung
Nur die Ex- Feldkomponente kann eine von der Glasfaser (2) detektierbare, durch die Dehnungskomponenten sy'y' und sz'z' beschriebene piezoelektrische Deformation bewirken, da die piezoelektrischen Koeffizienten der Ey- und der Ez- Feldkomponenten für die Dehnungskomponenten sy'y' und sz' z' verschwinden.
Mit a0 = z0', b0 = yQ', eQ = b0/a0 < 1, saa = sz.z., sbb = sy,y, findet man: deff(T) = (α · cos 2 · ψ - 0,5) · d11(T) -
- (α · sin 2 · ψ) · d14(T) = A · d11 + B · d14 (13) mit
Es gilt 0 < a < 0,5 und somit - 1 < A < 0 und
- 1/2 < B < 1/2 in Abhängigkeit von φ und eQ. Durch Wahl
des Rotationswinkels und der Elliptizität kann man die piezoelektrischen Koeffizienten d11 und d14 und damit auch jeweils ihre Temperaturkoeffizienten d11 (i) und d14 (i) mischen, und zwar in den Grenzen
0,5 · {- d11 (i) - [d11 (i)2 + d14 (i)2]0,5} < deff (i) <
< 0,5 · {- d11 (i) + [d^ ^ 2 + d14(i)2]0'5} mit i = 0, 1, 2, ... Insbesondere kann man erreichen, dass der effektive piezoelektrische Temperaturkoeffizient 1. Ordnung deff(1) das gleiche Vorzeichen erhält wie der Koeffizient 0. Ordnung deff (0).
In Fig. 3 sind der relative Temperaturkoeffizient erster Ordnung Td
eff (1) gemäß:
und in Fig. 4 deff (0) als Funκxion der Elliptizität für verschiedene Rotationswinkel dargestellt. Für alle
Berechnungen wurden die Werte d11 (0) = 2 , 3 pm/V,
d11 (1) = - 4,531 · 10-4 pm V-1 K-1' d14 (0) = 0,68 pm/V und d14 (1) = 11,152 · 10-4 pm V-1 K-1 verwendet.
Anhand von Fig. 3 lässt sich erkennen, dass der relative Temperaturkoeffizient erster Ordnung Tdeff (1) in einem weiten Bereich variiert werden kann, vorzugsweise mit der Elliptizität e0 im Bereich von 0,1 < ∈0 < 0,9 und dem Rotationswinkel φ im Bereich von 10° < φ < 80°. Tdeff (1) kann insbesondere für mehrere Kombinationen von ∈0 und φ zum Verschwinden gebracht werden. Für diesen Fall erhält man aus d14 (1)/d11 (1) = - A/B (18) die entsprechende Beziehung zwischen ∈0 und φ zu
C= 0,5 · arccos {[1 ± D · [4 · (D2 + 1) · α2 - 1]0'5]/
[2 · (D2 + 1) · α]} (19)
wobei D = d14 (1)/d11 (1) ist. Gleichung (19) hat nur für ∈0 ≤ 0,59 Lösungen, nämlich φa(∈0) und φb(∈0 ) , die in Fig. 5 dargestellt sind.
Fig. 6 zeigt die zugehörigen Werte des Koeffizienten deff(0), welcher ein Mass für die absolute Grosse des piezoelektrischen Effektes ist.
Die Entscheidung für eine bestimmte Kombination von ∈0 und φ sollte in der Praxis unter Berücksichtigung insbesondere der folgenden beiden Kriterien getroffen werden: - Der Piezoeffekt sollte hinreichend gross sein, damit man interferometrisch ein ausreichendes Signal erhält (z. B. ⃒ deff ( 0)⃒ > 0,5 pm/V). - Der Wert von ∈0 sollte möglichst nahe bei 1 liegen,
damit die Kraftübertragung von der elliptischen
Quarzscheibe auf die Glasfaser möglichst gleichmässig ist.
Aus Fig. 5 und 6 lässt sich ablesen, dass man Tdeff (1) = 0 z. B. für ∈0 ≥ 0,4 und 34° ≤ φa ≤ 60° erhält, insbesondere für ∈0 = 0,59 und φa = 34°, wobei dann deff einen Wert von - 1,1 pm/V annimmt.
Nicht in jedem Falle ist es erwünscht, den effektiven piezoeiektrischen Temperaturkoeffizienten 1-ter Ordnung deff(1) zum Verschwinden zu bringen, dann nämlich, wenn auch die übrigen Komponenten des gesamten Sensoraufbaus eine gewisse Temperaturabhängigkeit bezüglich des
Messignals verursachen. In diesem Fall könnte versucht werden, durch geeignete Wahl von ∈0 und φ für den
Gesamtsensor einen verschwindenden Temperaturkoeffizienten
zu realisieren. Auf Grund von Erfahrungswerten mit bisher bekannten Sensoren müsste Tdeff (1) dazu etwa einen Wert von + 6 · 10-4 K-1 aufweisen. Wieder unter Verwendung von
Gleichung (19), in der allerdings D durch
D' = (d14 (1) - 6 · 10-4 K-1 · d14 (0))/
(d11 (1) - 6 · 10-4 K-1 · d11 (0)) (20) ersetzt werden muss, lassen sich die Kombinationen von ∈0 und φ berechnen, für die Tdeff (1) gerade diesen Wert erhält.
Lösungen φa (∈0 ) und φb(∈0 ) existieren nur für ∈0 < 0,115; sie sind in Fig. 7 dargestellt. Fig. 8 zeigt die
zugehörigen Werte für deff ( 0).
Auch hier muss wieder der vorerwähnte Kompromiss getroffen werden, wobei ∈0 allerdings z.B. zu 0.04 gewählt werden müsste, damit der Wert von deff (0) nicht kleiner als
0,5 pm/V wird.
Durch geeignete Wahl der vorstehend diskutierten Parameter lassen sich weitere spezielle und ggf. erwünschte Effekte erzielen. Einer dieser Effekte könnte beispielsweise darin bestehen, dass lediglich der quadratische Term deff (2) zum Verschwinden gebracht wird. Man erhält dann eine bis auf Terme 3. und höhereer Ordnung lineare
Temperaturabhängigkeit des Piezoeffektes.
Als weiteres Ausführungsbeispiel wird nunmehr eine
Konfiguration betrachtet, wie sie Fig. 9 zeigt, mit zwei Quarzkörpern 4 und 5 und einer Glasfaser 6, wobei beide Quarzkörper die Form einer elliptischen Scheibe aufweisen und die Glasfaser 6 in jeweils mindestens einer Windung um die Mantelfläche beider Scheiben gewickelt ist. Beide
Scheibenflächen sollen senkrecht zur kristallographischen x-Achse der den Quarzkörpern jeweils zugrunde liegenden Quarzkristalle ausgerichtet sein. Bezüglich des
elektrischen Feldes E sollen beide Quarzkörper mit
entgegengesetzter Orientierung der kristallographischen x-Achse angeordnet sein. Dann gilt:
deff(T)2Ellipsen = deff(∈1, φ1)/(1 + M) -
- M · deff(∈2, φ2)/(1 + M) ( 23 ) wobei die Indizes 1, 2 sich auf die beiden elliptischen Quarzkörper 5, 6 beziehen, n1, n2 die Anzahl der Windungen der Glasfaser auf den einzelnen Quarzkörpern bedeutet, M = n2/n1 und deff(∈,φ) den Gleichungen (13) - (16) zu entnehmen ist. Da deff wieder die Gestalt
A' · d11 + B' · d14 hat, wobei A' und B' Funktionen von ∈1 , φ1, ∈2, φ2 und M sind, gelten die oben für lediglich einen elliptischen Quarzkörper gemachten Aussagen sinngemäss.
Insbesondere lässt sich nun der effektive piezoelektrische
Temperaturkoeffizient 1. Ordnung deff ( 1)2 Ellipsen in den erweiterten Grenzen
- 0,5 · [d11 (1)2 + d14 (1)2]0,5 < deff (1) 2Ellipsen ≤
0,5 · {- d11 ( 1) + [d11 ( 1) 2 + d14 ( 1) 2]0,5}
variieren. Darüberhinaus hat die Verwendung zweier
elliptischer Quarzkörper praktische Vorzüge:
(i) Der relative Temperaturkoeffizient 1. Ordnung
Tdeff (1) kann schon bei geringerer Elliptizität (e näher bei 1) stärker positiv gewählt werden. In Fig. 10 ist deff d) als Funktion von e für
verschiedene Fälle dargestellt. Die Kurven 10, 11 und 14 beziehen sich auf einen elliptischen
Quarzzylinder 1 gemäß der 1. Ausführungsform der Erfindung. Kurve 10 stellt für deff (1) eine obere Grenze und Kurve 14 eine untere Grenze dar, die durch Variation von φ und ∈ erreicht werden können. Bei Kurve 11 hat der Parameter φ einen Wert von 34°. Die Kurven 12, 13 und 15 beziehen sich auf 2 elliptische Quarzzylinder 4 und 5. Kurve 12 zeigt deff (1) als Funktion von e für die Parameter φ1 =
45°, φ2 = - 30°, ∈1 = ∈2 = e und M = 1 und Kurve 13 für die Parameter φ1 = 45°, φ 2 = - 30°, ∈1 = ∈2 = ∈ und M = 5. Kurve 15 zeigt die untere Grenze für
deff (1), die durch Variation der Parameter φ1, φ2, ∈1, ∈2 und M erreicht werden kann,
(ii) Der Temperaturgang kann auch durch Variation des
Windungsverhältnisses zusätzlich in einfacher Weise beeinflusst werden. Fig. 11 zeigt für zwei
Winkelkombinationen die Abhängigkeit von Tdeff ( 1) vom Windungsverhältnis M. Fig. 12 zeigt für die gleichen Parameter die Abhängigkeit von deff ( 0) von M.
Äquivalent zu dieser Anordnung von Fig. 9 mit 2
Quarzkörpern 4, 5 mit entgegengesetzten x-Achsenrichtungen in einem parallelen elektrischen Feld ist eine Anordnung mit gleichen x-Achsenrichtungen in 2 antiparallelen
elektrischen Feldern. Für Gleichung (23) ist außerdem angenommen, daß an beiden Quarzzylindern eine gleich große Spannung anliegt.
Im folgenden sollen zur Veranschaulichung der 2.
Ausführungsform der Erfindung 3 Spezialfälle betrachtet werden:
(i) ∈1 = ∈2, φ1 = - φ2 , M = 1. In diesem Fall heben sich die Beiträge von d11 vollständig auf und übrig bleibt lediglich der (stark positive) Temperaturgang von d14:
deff(T)2Ellipsen = - α · sin (2 · φ1 ) · d14(T) (24)
Der erzielbare Piezoeffekt ist absolut allerdings klein: Mit φ1 = 45°, ∈1 = ∈2 = 0,4 (realistisch) wird deff (0) = - 0,2 pm/V. Mit ∈ 1 = ∈2 = 0,1 (unrealistisch) wird deff (0) = - 0,32 pm/V. Zum Vergleich: Im Falle lediglich eines elliptischen Quarzkörpers tritt deff ≈ d14 nur für ∈ -> 0 auf .
Durch Beimischung von d11 lassen sich jedoch wieder Effekte in der bisherigen Grössenordnung von deff(0) ≈ - 0,5 · d11(0) erzielen. In der Praxis
möchte man die Elliptizität, wie bereits erwähnt, möglichst nahe bei 1 wählen, um eine möglichst gleichmässige Aufwicklung und Kraftübertragung auf die Faser zu erreichen. Auch das Windungsverhältnis M sollte nahe bei 1 liegen, um bei gleich dicken Quarzkörpern möglichst viele Windungen realisieren zu können. Ausserdem wird man Ellipsen identischer Grösse und Form (∈1 = ∈2 ) bevorzugen. Im folgenden sei daher stets ∈1 = ∈2 = ∈ < 1 und
M = < 1 angenommen. Die Parameter φ1 und φ2 sowie ∈ und M bleiben in gewissen Grenzen beliebig wählbar, um die Grosse und das Temperaturverhalten des Piezoeffektes zu optimieren. Für verschwindenden oder positiven Temperaturkoeffizienten ist es vorteilhaft, φ 1 > 0 und φ2 < 0 zu wählen.
(ii) Tdeff (1) = 0. Dann kann man M als Funktion von φ 1 und φ2 sowie e darstellen und findet damit
deff (0)(∈, φ 1, φ2). deff (0) wird betragsmässig am grössten für φ 1≈ + 45° und φ2 ≈ - 45°, wobei Abweichungen um ± 10° keinen wesentlichen Einfluss haben. Im Fall φ 1 = + 45 ° und φ2 = - 30° lassen sich sowohl deff (0) gross machen als auch ∈ und M nahe bei 1 wählen. In den Figuren 13 und 14 sind die entsprechenden Abhängigkeiten von deff(0) und M graphisch dargestellt. Zum Vergleich ist in Fig. 15 die sich für lediglich einen elliptischen
Quarzkörper ergebende Kurve eingetragen.
(iii) Die Figuren 15 und 16 zeigen die gleichen
Abhängigkeiten wie die Figuren 13 und 14, jedoch für den Fall Tdeff (1) = + 6 · 10-4 K-1.
Als drittes Ausführungsbeispiel sei eine runde Quarzscheibe 7 gemäss Fig. 17 betrachtet, welche die kristallographische x-Achse als auch das zu messende E-Feld (parallel zu x) enthält.
Die Rotation Rx(φ) führt hier u
de f f ( T ) = 0 , 5 · ( 1 + cos 2 · φ) · d11 ( T ) -
0 , 5 · ( sin 2 · φ) · d14 ( T) ( 25 )
Es sollen zwei Spezialfälle näher betrachtet werden:
(i) deff = 0, d.h. verschwindender
Temperaturkoeffizient. Dies führt zu d11 (1)/d14 (1) = tan ( φ) . (26)
Daraus folgt: φ = - 22,1° und deff (0) = 2,21 pm/V.
(ii) deff(1) = max, d. h. maximaler Temperaturkoeffizient
1. Ordnung. Dies führt zu d14 (1)/d11 (1) = - tan (2 · φ ) . (27)
Daraus folgt: φ = - 56,1°, deff (0) = + 1,03 pm/V und deff (1)/deff (0) = + 3,65 %/100 K.
Die Vorteile dieser dritten Ausführungsform liegen vor allem darin, dass die Hersteliung elliptischer Quarzkörper entfällt, und dass die Anordnung nur auf die Ex-Feldkomponente empfindlich ist. Durch
Hintereinanderanordnung mehrerer gleichartiger Quarzkörper 7, wie dies Fig. 18 zeigt, lässt sich dann das
Linienintegral des elektrischen Feldes approximieren. Dabei muss die x-Achse jedes Quarzkörpers (7) tangential zum Integrationspfad zwischen 2 Punkten (16, 17) im
elektrischen Feld orientiert sein, zwischen denen die elektrische Spannung gemessen werden soll. Als eher
nachteilig ist es bei dieser Ausführungsform jedoch
anzusehen, dass das zu messende E-Feld in der Scheibenebene des Quarzkörpers liegt. Man kann deshalb das E-Feld auch nicht über Elektroden anlegen, und es treten darüberhinaus Feldverzerrungen auf.
Als viertes Ausführungsbeispiel soll eine runde
Quarzscheibe 8 betrachtet werden, welche gemäss Fig. 19 sowohl die kristallographische y-Achse als auch das zu messende E-Feld enthält.
Mit einer Rotation
der Koordinatenachsen um die y-Achse um den Winkel 2 erhält man für eine beliebige E-Feldrichtung die piezoelektrischen
Dehnungen
Für E-Felder, deren E2'-Komponente nicht verschwindet, ergibt sich wieder eine Mischung von d11 und d14. Dabei gehören Beiträge von d11 und d14 zu orthogonalen EFeldkomponenten, wodurch die Temperaturabhängigkeit des Piezoeffektes mit der E-Feldrichtung variiert. Für
Anwendungen dürfte das eher unerwünscht sein.
Als eine im Prinzip ebenfalls mögliche Ausführungsform soll schliesslich auch noch ein zylindrischer Quarzkörper mit schräg zur Zylinderachse aufgewickelter Glasfaser erwähnt werden, wobei die Richtung des angelegten E-Feldes von der Richtung der Zylinderachse des Quarzkörpers abweicht.
Es sind auch andere Befestigungen der Glasfaser (2, 6) und Formen des Quarzkörpers derart möglich, daß beide
Piezokoeffizienten d11 und d14 so zur Glasfaserdehnung beitragen, daß sich ihre Temperaturabhängigkeiten
mindestens teilweise kompensieren. Insbesondere kann man z. B. eine Faser auf einem Quarzplättchen, welches
senkrecht zur x-Achse geschnitten ist, entlang einer
Geraden befestigen, die unter einem Winkel φ zur
kristallographischen y-Achse verläuft. Man erhält dann einen effektiven Piezokoeffizienten
deff(T) = - cos2 φ · d11(T) + sin (2 · φ) · d14(T).
Von den vorstehend erläuterten Ausführungsformen sind die 1. und 2., bei welchen eine oder zwei ellipsenförmige
Quarzscheiben jeweils senkrecht zur kristallographischen x-Achse verwendet werden, als bevorzugt anzusehen.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Glasfaser (2, 6) einen Polyamidmantel aufweist, da eine solche Glasfaser keinen nennenswerten Beitrag zur Temperaturabhängigkeit des Meßsignals verursacht.