WO1998028781A3 - Schicht mit porösem schichtbereich, eine solche schicht enthaltendes interferenzfilter sowie verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Schicht mit porösem schichtbereich, eine solche schicht enthaltendes interferenzfilter sowie verfahren zu ihrer herstellung Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Schicht mit einem aus porösem Material gebildeten Bereich, welcher von der Oberfläche der Schicht sich in das Innere dieser Schicht erstreckt und wobei die Abmessung des porösen Schichtbereichs in der zur Schichtoberfläche senkrechten Richtung unterschiedliche Werte aufweist. Desweiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Schicht mit einem porösen Schichtbereich oder Schichtsystem, wobei dieser poröse Schichtbereich durch Ätzung gebildet wird und Mittel eingesetzt werden, die bewirken, daß eine mit der Ätzgeschwindigkeit des Ätzvorgangs korrelierende physikalische Größe zur Bildung wenigstens eines Ätzgradienten gewählt wird.
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