WO2001066341A1 - Procede de deplacement de coulisseau pour une machine hydraulique, generateur de commande de mouvement, procede destine a empecher le piegeage d'une pompe a piston axiale utilisee pour ladite machine, et cette pompe - Google Patents

Description

明細書

液圧装置における ラム移動方法およびラ ム移動制御装置 並びにその装置に使用する アキシアルプラ ンジャ ポ ンプ の閉 じ込み防止方法及びそのポ ンプ 技術分野

本発明は、 双方向ポ ンプを使用 した復動シ リ ンダによ り 、 ラムを上下移動させてワーク にプレス加工等を行う 液圧装置における ラ ム移動方法および液圧装置における ラム移動制御装置、 並びにアキ シアルプラ ンジャ ポ ンプ においての閉 じ込み現象を防止する方法及びそのアキシ アルプラ ンジャ ポ ンプに関する ものであ り 、 さ ら に詳細 には、 アキシアルプラ ンジャ ポンプに備えた弁板を僅か に回動可能に構成したアキシアルプラ ンジャ ポ ンプに関 する ものであ る。 背景技術

双方向ポ ンプによ り 復動シ リ ンダを作動させて ラムを 上下移動させる液圧装置の場合、 ラムの移動を開始する 際の復動シ リ ンダの圧力 は負圧状態にある。 こ のため、 双方向ポンプを作動させて作動油を復動シ リ ンダに供給 してラム を移動させるためには、無駄な時間が発生する。 こ の ラムの無駄時間によ っ てラム に シ ョ ッ クが発生する ため、 この シ ョ ッ ク現象を回避するためにウ ォ ー ミ ング ア ッ プを行っ てい る。 こ のため、従来の液圧装置における ラム移動方法では、 ラ ム移動パター ンに従っ て ラ ムの移動を開始する と 、 最 高速度に達する前に所定速度で一定タイ マ時間だけラ ム に対する速度分配指令をク ラ ンプして、 ゥ ォ一 ミ ングァ ッ プを行う よ う に している。

しか しながら こ のよ う な双方向ポンプを使用 した液圧 装置にあっ ては、 直前の動作状態の違いによ り ラ ムの無 駄時間が一定ではない と い う 問題がある。 すなわち 、 一 定タイ マ時間を用 いた方法では、 タイ マ時間が短すぎて シ ョ ッ ク が発生 した り 、 逆に夕イ マ時間が長すぎてタ ク ト タイ ムに影響が出た り する場合がある。

一方、 上記双方向ポ ンプと して採用 されている アキ シ アルプラ ンジャ ポ ンプにおいては、複数のプラ ンジャ（ ピ ス ト ン） を往復動自在に内装したシ リ ンダブロ ッ ク をケ —シ ング内に回転自在に備え、 このシ リ ンダブロ ッ ク を 回転する こ と によ っ て各プラ ンジャ が順次往復動される 構成であ り 、 上記各プラ ンジャ が上死点位置 （シ リ ンダ ブロ ッ ク に対して最も深く 嵌入 した係合状態の位置） か ら次第に下死点位置 （シ リ ンダブロ ッ ク に対して最も浅 く 嵌入係合 した状態の位置） へ移動する と きに作動油を 吸込み、 逆に下死点位置か ら上死点位置へ各プラ ンジ ャ が移動する と き に作動油を吐出する構成である。

そ して、 上記シ リ ンダブロ ッ ク に対応してケー シ ング に固定して設け られた弁板には、 前記プラ ンジャ の吸込 み工程， 吐出 し工程の移動位置に対応して円弧状の吸込 みポー ト及び吐出 しポー 卜 が設け られている。

上記吸込みポー ト と吐出 しポー ト は僅かに離れて設け られてお り 、 上記吸込みポー ト と吐出 しポー ト との間の 領域が前記プラ ンジャ の上死点位置及び下死点位置に相 当する位置となっ てお り 、 プラ ンジャ の上死点位置及び 下死点位置においてプラ ンジャ を内装したプラ ンジャ揷 入孔が遮閉 されて閉 じ込み現象を生 じる。

上記閉 じ込み現象において、 プラ ンジャが下死点位置 に位置する場合には、 これか ら吐出 し工程に移行する と きで、 閉 じ込め られた作動油は低圧であるか ら あま り 大 きな問題とな らないが、 上死点位置においては高圧の作 動油が閉 じ込め られる こ と にな り 、 そ して、 上死点位置 か ら吸込みポー ト側へ移動する と大きな圧力変動があ り 振動や騒音の原因 となっ ている。

そ こで、 プラ ンジャ の上死点位置での閉 じ込み現象を 防止するために、 こ の閉 じ込み位置と吐出 しポー ト と を 連通する切欠き を弁板に設ける こ とが行われている。

アキシアルプラ ンジャ ポ ンプにおいては、 シ リ ンダブ ロ ッ ク を正回転する場合のみに限る ものではな く 、 逆回 転 して使用する こ と もある。 こ の場合、 吸込みポー ト と 吐出 しポー ト は逆になる も のであ るか ら、 閉 じ込み現象 を防止するために、 吸込みポー ト と吐出 しポー ト と にそ れぞれ前述 した切欠きを設ける こ と も可能であ る。

しか し、 弁板と シ リ ンダブロ ッ ク は密着 している も の ではな く 、 運転状態によ っ て も異な るが、 弁板と シ リ ン ダブロ ッ ク との間には約 0 . 0 1 m m程度の微少間隙が 存在する ものであるか ら、 前記切欠きは作動油の漏れと 関連 してお り 、 大きすぎる とポ ンプ性能の低下を もた ら し、 小さすぎる と振動防止， 騒音防止の効果が期待でき ず、 適正な切欠きを形成する こ とが難し い と い う 問題が ある。

こ の発明の 目 的は、 以上のよ う な技術な問題点に着 目 してなされた ものである。

従っ て、 本発明の第 1 の 目 的は、 ラ ムの無駄時間が変 化 しても、 シ ョ ッ ク な く 最短の時間でラムを移動させる こ とのできる液圧装置にお ける ラム移動方法および液圧 装置における ラム移動制御装置を提供する こ と にある。 本発明の第 2 の 目 的は、 振動防止及び騒音防止を効果 的になす こ とができる アキシアルプラ ンジャ ポ ンプの閉 じ込み防止方法及びそのポ ンプを提供する こ と にある。 発明の開示

上記の 目 的を達成するため に、 第 1 のアスペク ト によ る発明の液圧装置における ラム移動方法は、 当該方法に おいて、 サーポモータ によ り 駆動される双方向ポンプを 用いて復動シ リ ンダを制御する液圧装置における ラム移 動方法であっ て、 以下のステ ッ プを含む ： 前記ラムの移 動を指令する ； 及び前記指令を した後に、 前記ラ ムが所 定のウ ォー ミ ングア ッ プ解除速度に達する まで ラム指令 速度を 目標速度以下の一定のウ ォ ー ミ ン グア ッ プ速度に 抑える。

従っ て、 ラムの移動指令が発せ られた ら、 ラムの移動 速度が所定のウ ォ ー ミ ングア ッ プ解除速度に達する まで は、 指令速度を 目標速度以下のある一定のウ ォー ミ ング ア ッ プ速度に抑えて指令するので、 ラ ム移動開始時のシ ョ ッ ク を防止する こ とができる。 また、 所定のゥ ォ一 ミ ングア ッ プ解除速度を超えた ら ウ ォー ミ ングア ッ プ速度 を解除 して、 目標速度まで加速させる ので、 ラム移動の 無駄の時間を無 く して最短時間で目標速度に達する こ と ができる。

第 1 のァスぺク 卜 に従属する第 2 のァスぺク ト によ る 発明の液圧装置における ラム移動方法は、 当該ラム移動 方法において、 前記ラムの指令速度を、 ラムの移動指令 後一定時間は目標速度以下の一定のウ ォ ーミ ングア ッ プ 速度に抑える。

従って、 ラムの移動指令後一定時間は、 ラム指令速度 を 目標速度以下のあ る一定のウ ォ ー ミ ングア ッ プ速度に 抑えて指令する ので、 ラム移動開始時における ラム移動 の無駄時間が変化 しても、 ラム移動開始時のシ ョ ッ ク を 防止する こ とができる。 また、 一定時間を経過 し且つ ラ ムの移動速度が所定のウ ォー ミ ングア ッ プ解除速度を超 えた ら ウ ォー ミ ングア ッ プ速度を解除 して、 目標速度ま で加速させる ので、 ラム移動の無駄の時間を無く して最 短時間で目標速度に達する こ とができ る。

第 1 のまたは第 2 のアスペク ト に従属する第 3 のァス ぺク ト によ る発明の液圧装置における ラ ム移動方法は、 当該ラ ム移動方法において、 前記ラムの移動速度を、 こ の ラムの位置を検出する ラム位置検出手段か ら の位置信 号の変化か ら検出する。

従っ て、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度の解除の基準となる ラムの移動速度を、 ラム位置検出手段によ り 検出される ラム位置の変化か ら求める こ と によ り 、 ウ ォ ー ミ ングァ ッ プ速度の解除を判断する こ とができ る。

第 1 乃至第 3 のァスぺク 卜 の内のいずれかひとつのァ スぺク ト に従属する第 4 のァスぺク ト による発明の液圧 装置における ラム移動方法は、 当該ラム移動方法におい て、 前記ラ ムの移動速度を、 このラ ムの位置を検出する ラム位置検出手段か らの位置信号と指令値と のラム位置 偏差量または こ のラム位置偏差量の変化か ら検出する。

従っ て、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度の解除の基準となる ラムの移動速度を、 ラム位置検出手段によ り検出される ラム位置と指令値とのラム位置偏差量または この ラム位 置偏差量の変化か ら求める こ と によ り 、 ウ ォーミ ングァ ッ ブ速度の解除を判断する こ とができる。

第 1 乃至第 4 のアスペク ト の内のいずれかひとつのァ スぺク 卜 に従属する第 5 のァスぺク ト によ る発明の液圧 装置における ラム移動方法は、 当該ラム移動方法におい て前記ラムの移動速度を、 制御側シ リ ンダ内の圧力か ら 検出する。

従っ て、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度の解除の基準となる ラムの移動速度を、 検出された制御側シ リ ンダ内の圧力 か ら変化か ら求める こ と によ り 、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速 度の解除を判断する こ とができ る。

第 1 乃至第 5 のァスぺク 卜 の内のいずれかひとつのァ スぺク 卜 に従属する第 6 のァスぺク ト によ る発明の液圧 装置における ラム移動方法は、 当該ラム移動方法におい て、 前記ラ ムの移動速度を、 前記サーポモータ の回転数 指令の変化量か ら検出する。

従っ て、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度の解除の基準 となる ラムの移動速度を、 双方向ポンプを駆動するサ一ボモー 夕の回転数指令の変化量か ら求める こ と によ り 、 ウ ォ ー ミ ングア ッ プ速度の解除を判断する こ とができる。

第 7 のァスぺク ト による発明の液圧装置における ラム 移動制御装置は、 サーボモータ によ り駆動される双方向 ポンプを用 いて復動シ リ ンダを制御する液圧装置におけ る ラム移動制御装置であっ て、 以下を含む ： 前記ラム を ラム移動パタ ー ンに従っ て移動させるベく 前記サーポモ —夕 を制御する速度分配処理部 ； 前記ラムの移動速度を 算出する ラム移動速度算出部 ； 及び前記ラムの速度が予 め設定されている ウ ォー ミ ングア ッ プ解除速度を超えた か否かを判断する解除速度判断部 ； 上記構成において、 前記速度分配処理部が、 前記解除速度判断部によ り ラ ム 移動速度がウ ォ ー ミ ングア ッ プ解除速度を超えた と判断 される まで ラ ム指令速度を 目標ラ ム速度以下の一定のゥ ォー ミ ングア ッ プ速度に抑える ； 及び前記解除速度判断 部によ り ラ ム移動速度がウ ォーミ ングア ッ プ解除速度を 超えた と判断さ れた ら 目標ラム速度まで加速すべ く 指令 する。

従っ て、 ラム移動パター ンに従っ て速度分配処理部か ら ラムの移動指令が発せ られた ら 、 ラム移動速度算出部 によ り 算出 される ラムの移動速度が所定のウ ォー ミ ン グ ア ッ プ解除速度に達 した と解除速度判断部が判断する ま では、 ラム指令速度を 目標速度以下のあ る一定のウ ォ ー ミ ングア ッ プ速度に抑えて指令するので、 ラム移動開始 時のシ ョ ッ ク を防止する こ とができる。 また、 ラム移動 速度算出部によ り 算出される ラムの移動速度が所定のゥ ォーミ ングア ッ プ解除速度を超えた と解除速度判断部が 判断した ら 、 ウ ォ ー ミ ングア ッ プ速度を解除 して、 目標 速度まで加速させる。

第 7 のアス ペク ト に従属する第 8 のアス ペク ト によ る 発明の液圧装置における ラム移動制御装置は、 更に以下 を含む ： 前記ラ ムの移動開始か ら の時間を計測するタイ マ ； 上記構成において、 前記速度分配処理部が、 前記解 除速度判断部の判断にかかわ らず、 前記タイ マによ り 所 定の時間カ ウ ン トする まで前記ラムの指令速度を 目標ラ ム速度以下の一定のウ ォー ミ ングア ッ プ速度に抑えるベ く 指令する。

従っ て、 ラ ムの移動指令後タイ マが一定時間を経過す る までは、 解除速度判断部がラムの移動速度がウ ォー ミ ングア ッ プ解除速度に達 した と判断して も ラ ム指令速度 を 目標速度以下のある一定のウ ォー ミ ングア ッ プ速度に 抑えて指令 し、 こ の一定時間を経過し且つラムの移動速 度が所定のウ ォー ミ ン グア ッ プ解除速度を超えた と判断 された ら 、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度を解除して、 目標速 度まで加速させる ので、 ラ ム移動の無駄の時間 を無 く し て最短時間で 目標速度に達する こ とができる。

第 7 の又は第 8 のァスぺク ト に従属する第 9 のァ スぺ ク ト によ る発明の液圧装置における ラム移動制御装置は 更に以下を含む ： 前記ラムの移動速度を、 この ラ ムの位 置を検出する ラム位置検出手段か らの位置信号の変化か ら検出する ラム移動速度算出部。

従っ て、 ラム移動速度算出部が、 ウ ォ ーミ ングア ッ プ 速度の解除の基準となる ラムの移動速度を、 ラ ム位置検 出手段によ り 検出される ラ ム位置の変化か ら求め る こ と によ り 、 ウ ォーミ ングア ッ プ速度の解除を判断する こ と ができる。

第 7 乃至第 9 のァスぺク ト の内のいずれかひ とつのァ スぺク ト に従属する第 1 0 のァスぺク ト による発明の液 圧装置における ラ ム移動制御装置は、 更に以下を含む ： 前記ラムの移動速度を、 こ の ラムの位置を検出する ラム 位置検出手段か ら の位置信号と指令値と の ラム位置偏差 量またはこ の ラム位置偏差量の変化か ら検出する ラム移 動速度算出部。

従っ て、 ラ ム移動速度算出部が、 ウ ォ ー ミ ン グア ッ プ 速度の解除の基準となる ラ ムの移動速度を、 ラ ムの位置 を検出する ラ ム位置検出手段か ら の位置信号と指令値 と の ラム位置偏差量またはこ のラム位置偏差量の変化か ら 求める こ と によ り 、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度の解除を判 断する こ とができ る。

第 7 乃至第 1 0 のァスぺク ト の内のいずれかひとつの アスペク ト に従属する第 1 1 アスペク ト による発明の液 圧装置における ラム移動制御装置は、 更に以下を含む ： 前記ラムの移動速度を制御側シ リ ンダ内の圧力か ら検出 する ラム移動速度算出部。

従っ て、 ラム移動速度算出部が、 ウ ォーミ ングア ッ プ 速度の解除の基準となる ラムの移動速度を、 制御側シ リ ンダ内の圧力か ら求める こ と によ り 、 ウ ォーミ ン グア ツ プ速度の解除を判断する こ とができる。

第 7 乃至第 1 1 のアスペク ト の内のいずれかひとつの ァスぺク ト に従属する第 1 2 ァスぺク ト による発明の液 圧装置における ラム移動制御装置は、 更に以下を含む ： 前記ラムの移動速度を前記サーボモー夕 の回転数指令の 変化量か ら検出する ラム移動速度算出部。

従っ てラム移動速度算出部が、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速 度の解除の基準となる ラムの移動速度を、 サーボモー夕 の回転数指令の変化量か ら求める こ と によ り 、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度の解除を判断する こ とができる。

第 1 3 のァスぺク ト によ る発明のアキシアルプラ ン ジ ャ ポ ン プの 閉 じ込み防止方法は、 以下の ス テ ッ プを含 む ： アキシアルプラ ンジャ ポ ンプにおける シ リ ンダブ口 ッ ク の回転方向へ、 弁板を僅かに回動する ； 及び前記弁 板に備えた吐出 しポー 卜 の 1 部をプラ ンジャ の上死点位 置と重な り 合せる こ と によ り 、 前記プラ ンジャ の上死点 位置における閉 じ込みを防止する。

第 1 4 のアスペク ト によ る発明のアキ シアルプラ ンジ ャ ポ ンプは、 以下を含む ： 複数のプラ ンジャ を往復動自 在に内装 したシ リ ンダブロ ッ ク であっ て、 該シ リ ンダブ ロ ッ ク が回転自在に設け られている ； 円弧状の吐出 しポ 一 卜及び吸込みポー ト を形成した弁板 ； 上記構成におい て、 前記弁板は、 前記シ リ ンダブロ ッ ク の回転方向の変 換時に、 該シ リ ンダブロ ッ ク の回転方向へ僅かに回動可 能に設け られている。

以上の本発明のアキシアルプラ ンジャ ポンプの閉 じ込 み防止方法及びそのアキシアルプラ ンジャ ポンプによれ ば、 駆動軸， シ リ ンダブロ ッ ク の回転方向へ弁板を僅か に回動可能に設けて、 プラ ンジャ の上死点位置を吐出 し 側のポ一 卜 の 1 部に掛る よ う に したので、 上死点位置で の閉 じ込み現象を防止でき、 振動防止及び騒音防止を効 果的になすこ とができ る アキシアルプラ ンジャ ポ ンプの 閉 じ込み防止方法及びそのポンプを提供する こ とができ る。 図面の簡単な説明

図 1 は、 本願発明に係る液圧装置における ラ ム移動制 御装置を示すブロ ッ ク 図であ る。 図 2 は、 液圧装置の一例 と してのプレス ブレーキの全 体を示す正面図である。

図 3 は、 図 2 中 I I I 方向か ら見た側面図であ る。

図 4 は、 本願発.明に係る液圧装置における ラ ム移動方 法によ る ラ ムであ る上部テーブル

の移動状態を示すタ イ ムチヤ 一 ト である。

図 5 は、 本願発明を説明するための上部テーブルの移 動状態を示すタイ ムチヤ 一 ト であ

る。

図 6 は、 本願発明を説明するための上部テーブルの移 動状態を示すタイ ムチヤ 一 ト であ

る。

図 7 は、 本願発明の実施の形態に係る プラ ンジャ ボ ン プの断面説明図である。

図 8 は、 弁板の説明図である。

図 9 は、 図 7 における主要部分の拡大説明図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 こ の発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に 説明する。

図 2 および図 3 には、 液圧装置と しての一例の例えば 油圧式のプレス ブ レーキ 1 の全体が示されている。 こ の プレス ブレーキ 1 では、 左右に立設された側板 3 L 、 3 R を有 し、 こ の側板 3 L 、 3 R の上部前端面にはラム と しての上部テーブル 5 Uが上下移動自在に設け られてい る と共に、 側板 3 L 、 3 R の下部前面には固定 した下部 テーブル 5 L を備えている。

上部テーブル 5 Uの下端部には、 中間板 7 を介 してパ ンチ P が交換自在に設け られている。 また、 下部テープ ル 5 L の上端部には、 ダイ べ一ス 9 を介 してダイ Dが交 換自在に設け られている。

なお、 上部テーブル 5 Uの高さ位置を測定するための ラ ム位置検出手段と しての リ ニアスケール 1 1 が設け ら れてお り 、 既知である 中間板 7 およびパンチ P の高さ を 用 いてダイ D と の間隔を求める こ とができる。

左右の側板 3 L 、 3 R の上部前面には油圧シ リ ンダ 1 3 L、 1 3 R が各々 設け ら れてお り 、 こ の油圧シ リ ンダ 1 3 L、 1 3 R の ピス ト ン 1 5 L、 1 5 R に装着されてい る ビス ト ン ロ ッ ド 1 7 L、 1 7 R の下端に前述の上部テ —ブル 5 Uが取 り 付け られている。 なお、 詳細は後述す るが上部テーブル 5 Uの移動等を制御する ラム移動制御 装置と しての制御装置 1 9 がプレス ブレーキ 1 に隣接 し て設け られている。

次に、 図 1 を参照 して、 この発明に係る ラム移動方法 を実施する油圧回路および制御装置 1 9 について説明す る。 なお、 左右の油圧シ リ ンダ 1 3 L、 1 3 R に対して、 ま っ た く 同様の油圧回路が設け られる と共に制御装置 1 9 によ り 同様に制御される ので、 以下においては、 左側 の油圧シ リ ンダ 1 3 L につ いて説明する。

ラ ムであ る上部テーブル 5 U を上下移動さ せる油圧シ リ ンダ 1 3 L のシ リ ンダヘ ッ ド側シ リ ンダ室 2 1 は、 配 管 2 3 を介 して双方向ポ ンプ 2 5 の一方の側に接続され ている。 前記双方向ポンプ 2 5 は、 アキ シアルプラ ンジ ャ ポ ンプが最適であ り 、 その詳細な構成については、 後 に述べる。

配管 2 3 の途中 には配管 2 7 が接続さ れてお り 、 チェ ッ ク弁 2 9 を介 してオイ リレタ ンク 3 1 に接続されている < なお、 双方向ポ ンプ 2 5 は、 サーポモー夕 3 3 によ り 作 動する。 また。 シ リ ンダヘ ッ ド側シ リ ンダ室 2 1 は、 配 管 3 5 によ り プレフ ィ ル弁 3 7 を介 してオイ ルタ ンク 3 1 に接続されている。

一方、 油圧シ リ ンダ 1 3 L のロ ッ ド側シ リ ンダ室 3 9 には、口 ッ ド側のシ リ ンダ側配管 4 1 が接続されてお り 、 カ ウ ン夕バラ ンス弁 4 3 と速度切換え弁 4 5 が並列に設 け られている。 これらカ ウ ンタノ ラ ンス弁 4 3 と速度切 換え弁 4 5 は、 双方向ポ ンプ側配管 4 7 によ り 双方向ポ ンプ 2 5 の他方の側に接続されている。

また、 双方向ポ ンプ側配管 4 7 の途中 には配管 4 9 が 接続されてお り 、 こ の配管 4 9 はチェ ッ ク弁 5 1 を介 し てオイ ルタ ンク 3 1 に接続されている。

上記構成によ り 、 サーポモー夕 3 3 の回転によ り 双方 向ポンプ 2 5 を正方向へ回転させ、 オイ ルタ ンク 3 1 か らチェ ッ ク弁 5 1 、 配管 4 9 を経て配管 2 3 を通っ て シ リ ンダへ ッ ド側シ リ ンダ室 2 1 に作動油 を供給する と、 ビス ト ン 1 5 L が下降 して上部テーブル 5 Uおよびパ ン チ P が下降する。

一方、 サーボモ一夕 3 3 によ り 双方向ポ ンプ 2 5 を逆 方向に回転させる と 、 作動油はオイ ルタ ンク 3 1 か らチ エ ッ ク弁 2 9 、配管 2 7 を経て双方向ポンプ側配管 4 7 、 速度切換え弁 4 5 のチェ ッ ク弁およびシ リ ンダ側配管 4 1 を通っ て ロ ッ ド側シ リ ンダ室 3 9 に供給され、 ピス ト ンロ ッ ド 1 7 L が上昇 して上部テーブル 5 Uおよびパ ン チ P を上昇させる。

なお、 上部テーブル 5 Uの上下位置は リ ニアス ケール 1 1 によ り 検出 される。 また、 ロ ッ ド側シ リ ンダ室 3 9 の圧力が所定値よ り も高 く なる と、 パイ ロ ッ ト 信号 5 3 によ り プレフ ィ ル弁 3 7 が開き、 シ リ ンダへッ ド側シ リ ンダ室 2 1 か ら ブレ フ ィ ル弁 3 7 を通っ て作動油が直接 オイルタ ンク 3 1 に送 られるよ う になつ ている。

制御装置 1 9 では、 ラムである上部テーブル 5 U の 目 標位置や移動速度等の移動指令に対する種々 のパラ メ一 夕 を入力する 目標位置等入力手段 5 5 が設け ら れてお り 、 この目標位置等入力手段 5 5 によ り 入力 されたパ ラ メ 一 夕 に応 じて ラ ム速度分配処理部 5 7 が上部テーブル 5 U の移動パター ンを指令する。 そ して、 こ の ラム速度分配 処理部 5 7 か ら の指令信号か ら指令位置カ ウ ンタ 5 9 力 上部テーブル 5 1) の指令位置を読み取る。

一方、 上部テーブル 5 U の位置を検出する リ ニアス ケ ール 1 1 か ら の現実の位置信号を、 図中、 線図 8 1 で示 すよ う に、 実位置カ ウ ンタ 6 1 が読み取っ てフ ィ ー ドバ ッ ク し、 こ のフ ィ ー ドバッ ク 信号と前述の指令位置カ ウ ン夕 5 9 によ り 読み取 られた指令位置を加算器 6 3 が加 算する。 こ の加算器 6 3 によ り 加算された信号に上部テ 一ブル位置ループゲイ ンを上部テーブル位置ループゲィ ン乗算部 6 5 で乗算する。

そ して、 こ の信号を D / A 変換器 6 7 によ り D Z A変 換してサーボア ンプ 6 9 を介 してサーポモータ 3 3 に伝 える。 なお、 サーボモー夕 3 3 にはロータ リ ーェ ンコ一 ダ 7 1 が取 り 付け られてお り 、 サーボモータ 3 3 の回転 数をサーポア ンプ 6 9 にフ ィ ー ドノ ッ ク して、 所定の回 転数を確保するよ う に してい る。

なお、 前述の実位置カ ウ ン夕 6 1 には上部テーブル 5 Uの移動速度を算出する上部テーブル移動速度算出部 7 3 が接続されてお り 、 この上部テーブル移動速度算出部 7 3 および速度分配処理部 5. 7 には、 上部テーブル移動 速度算出部 7 3 によ り 算出された上部テーブル 5 Uの移 動速度を予め設定されている ウ ォー ミ ングア ッ プ解除速 度 V F Wを超えたか否かを判断する解除速度判断部 7 5 が接続されている。 また、 速度分配処理部 5 7 には、 ゥ ォ一ミ ングア ッ プ時間 W T を計測する夕イ マ と してゥ ォ 一ミ ングア ッ プ夕 イ マ 7 7 (図中、 " W U P 夕 イ マ "） が接続されている。

次に、 図 4 を参照 して、 速度分配処理部 5 7 における 処理内容について説明する。 尚、 同図は、 縦軸が速度 V 及び横軸が時間 T を現している。 1 01626

17 速度分配処理部 5 7 では、 テーブル移動パター ンに従 つ て上部テーブル 5 Uを指令速度で移動させる。 すなわ ち、 図 4 中実線で示されてい るよ う に、 指令速度に基づ く テーブル移動パター ン 0 V Tでは、 停止状態の上部テ 一ブル 5 Uの移動を開始 （分配開始） する と、 ウ ォー ミ ングア ッ プ速度 V Wまで加速する。

こ こで、 ウ ォ ー ミ ングア ッ プ速度 V Wは、 ウ ォ ー ミ ン グア ッ プを行っ ている ときの上部テーブル 5 Uの指令速 度を示すパ ラ メ一夕であ り 、 例えば目標最高速度を 1 0 0 と して％で示される。 そ して、 ウ ォーミ ングア ッ プ速 度 V Wを一定時間 （W T ) 保持 し、 その後ウ ォー ミ ング ア ッ プ速度を解除 して、 目標の最高速度 V H T まで加速 するよ う に指令する。

しか しなが ら 、 双方向ポ ンプ 2 5 を用いた油圧回路に おいては、 移動開始する際の油圧シ リ ンダ 1 3 L の圧力 は負圧状態に あ るため、 サーポモータ 3 3 によ り 双方向 ポ ンプ 2 5 を駆動させて作動油を油圧シ リ ンダ 1 3 L に 供給し、 上部テーブル 5 U を移動させるため には、 無駄 な時間が発生する。

このむだ時間は、 移動開始する際の油圧シ リ ンダ 1 3 L の圧力状態 （必ず負圧と は限 らな いため） によ っ て異 なるため、 一定時間である ウ ォーミ ングア ッ プ時間 D W Tだけウ ォ ー ミ ングア ッ プを行う よ う にする と、 図 5 に 破線のダイ ヤ グラ ムで示されている よ う に、 むだ時間が 長い場合には、 シ ョ ッ ク を発生し、 上部テーブル実速度 A V Tが波打っ て変化する。 また図 6 に示されている よ う に、 むだ時間が短かい場合には、 図中 に破線で示され ている よ う に、 上部テーブル 5 Uの実速度 A V Tが、 最 高速度 V H T に達する までの時間が長 く なつ て し ま う 。 そ こで、 こ の発明に係る ラ ム移動方法では、 図 4 中 に二 点鎖線で示される ウ ォー ミ ングア ッ プ解除速度 V F Wを しきい値 と して設定する。 そ して、 図 4 中 に破線で示さ れる上部テーブル 5 Uの実速度 A V Tの変化パター ンに 示すよ う に、 リ ニアスケール 1 1 によ り 検出される上部 テーブル 5 Uの位置の変化か ら得 られる実際の上部テー ブル 5 Uの移動速度 A V Tが、 ウ ォ ー ミ ングア ッ プ解除 速度 V F Wを超えた ら ウ ォ ー ミ ングア ッ プを解除（図中、 F Wで示さ れる位置で解除） する。

こ こで、 ウ ォーミ ングア ッ プ時間は、 前記ウ ォー ミ ン グア ッ プタイ マ 7 7 によ り カ ウ ン ト されて、 分配開始か ら ウ ォー ミ ングア ッ プを継続させる時間を示すパラ メ一 夕であ り 、 例えば 0〜 9 . 9 9 秒の範囲で設定される。 また、 ウ ォ ーミ ングア ッ プ解除速度は、 ウ ォー ミ ングァ ッ プを解除する しきい値 と しての上部テーブル 5 Uの指 令速度であ り 、 例えばウ ォー ミ ングア ッ プ速度を 1 0 0 と して％ で示される。

但し、 上部テーブル 5 Uの実速度 A V T は、 速度切換 え弁 4 5 を切換えた後等の分配開始時に不安定な場合が ある ので、 分配開始後 W U P タイ マ 7 7 で設定されてい る一定時間、 つま り ウ ォ ー ミ ングア ッ プを経過する まで は、 上部テーブル 5 Uの実速度がしきい値であ る ウ ォ ー ミ ングア ッ プ速度を超えて も、 ウ ォ ー ミ ングア ッ プの解 除を行わずにウ ォ ー ミ ン グア ッ プ速度のク ラ ンプを継続 するよ う にする。

そ して、 ウ ォー ミ ングア ッ プタイ マ 7 7 によ り 設定さ れている ウ ォー ミ ングア ッ プ時間をカ ウ ン ト し、 且つ、 実際の上部テーブル 5 Uの移動速度 A V Tがウ ォ ー ミ ン グア ッ プ解除速度 V F Wを超えた ら ウ ォーミ ングア ッ プ を解除して、 上部テーブル 5 Uの指令速度 D V T を 目標 最高速度 V H T まで加速する。

以上の結果か ら 、 直前の動作状態の違いによ り 、 分配 開始時における上部テーブル 5 Uの移動の無駄時間が変 ィ匕しても、 シ ョ ッ ク な く 最短の時間で上部テーブル 5 U を移動する こ とができ る。

なお、 この発明は前述の発明の実施の形態に限定され る こ とな く 、 適宜な変更を行う こ と によ り 、 その他の態 様で実施 し得る も のであ る。 すなわち、 前述の発明の実 施の形態においては、 上部テーブル 5 Uの速度を リ ニア スケール 1 1 によ り検出される上部テーブル 5 Uの位置 か ら判断したが、 その他、 上部テーブル 5 Uの位置偏差 量、 上部テーブル 5 Uの位置偏差量の変化量、 油圧シ リ ンダ 1 3 L 、 1 3 R のへ ッ ド側シ リ ンダ室 2 1 または口 ッ ド側シ リ ンダ室 3 9 に設け られた油圧セ ンサによ り検 出 さ れる制御側シ リ ンダ内の圧力、 あ る いは、 サーボモ —夕 3 3 の回転指令の変化量等、 上部テーブル 5 Uの位 置信号以外か ら判断する こ と もでき る。

次いで、 前述の第 1 の実施の形態において使用 さ れた 前記双方向ポンプ 2 5 と して， 最適なアキシアルプラ ン ジャ ポンプを採用 した形態で、 以下にアキシアルプラ ン ジャ ポンプ 1 0 1 を図 7 〜図 9 に沿っ て詳細に説明する。

図 7 に示すよ う に、 本実施の形態に係る アキシアルプ ラ ンジャ ポンプ 1 0 1 は、 筒状のシ リ ンダブロ ッ ク ケー シング 1 0 3 の一端側に斜板ケ一シ ング 1 0 5 を固定 し、 他端側に軸受ケー シング 1 0 7 を固定した態様である。

前記シ リ ンダブロ ッ ク ケーシング 1 0 3 内には筒状部 材 1 0 9 が嵌合固定してあ り 、 こ の筒状部材 1 0 9 内に は、 軸受 1 1 1 を介してシ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 が回転 自在に嵌合支持されている。 こ のシ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 の同一円周上には複数のプラ ンジャ 挿入孔 1 1 5 が等 間隔に設けてあ り 、 各プラ ンジャ揷入孔 1 1 5 にはプラ ンジャ （ ピス ト ン） 1 1 7 がそれぞれ出入する方向へ摺 動自在に嵌入 してある。

上記各プラ ンジャ 1 1 7 の先端は球状に形成してあ り こ のプラ ンジャ 1 1 7 の球頭部 1 1 9 は、 円板状の押え 板 1 2 1 に支持されたシユ ー 1 2 3 に摺回動自在に支持 されている。 そ して、 上記押え板 1 2 1 は、 前記斜板ケ 一シ ング 1 0 5 内に固定した斜板 1 2 5 の傾斜面に摺動 自在に摺接されている。

前記シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 を回転するために、 軸受 ケ一シ ング 1 0 7 にベア リ ン グ 1 2 7 を介 して駆動軸 1 2 9 が回転自在に支持さ れてお り 、 かっ こ の駆動軸 1 2 9 の先端部は前記シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 と適宜に連結 してあ る。 また、 前記駆動軸 1 2 9 の先端部にはバネ 1 3 1 によ っ て突出する方向へ付勢されたプラ ンジャ 1 3 3 が設け られてお り 、 こ のプラ ンジャ 1 3 3 は、 先端部 に備えたボール 1 3 5 を介 して前記押え板 1 2 1 を前記 斜板 1 2 5 の傾斜面へ押圧している。

前記軸受ケーシ ング 1 0 7 と シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 と の間には円形の弁板 1 3 7 が介在してある。 こ の弁板 1 3 7 は、 軸受ケーシ ング 1 0 7 に設けた ピン係合孔 1

3 9 (図 9 参照） に弁板 1 3 7 に備えた ピン 1 4 1 を係 合する こ と によっ て回動を規制されている。 また、 上記 弁板 1 3 7 には、 図 8 に示すよ う に、 円弧状の吸込みポ ー ト 1 4 3 と吐出 しポー ト 1 4 5 が設け られている。 上記吸込みポー ト 1 4 3 と 吐出 しポー ト 1 4 5 は、 前 記斜板 1 2 5 の傾斜面に沿っ て押え板 1 2 1 が回動する こ と によ り 、 前記シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 における ブラ ンジャ挿入孔 1 1 5 ヘプラ ンジャ 1 1 7 が最も深 く 入 り 込んだ係合状態の上死点位置 1 4 7 (図 7 において最左 端位置。 図 7 の下方側に、 破線で示すプラ ンジャ 1 1 7 の位置） と、 上記プラ ンジャ挿入孔 1 1 5 に対 してブラ ンジャ 1 1 7 が最 も浅 く 入 り 込んだ係合状態の下死点位 置 1 4 9 (図 7 において最右端位置。 図 7 の上方側に、 実線で示すプラ ンジャ 1 1 7 の位置） と の間に長 く 形成 してあ る。 なお、 上記吸込みポー ト 1 4 3 と吐出 しポ一 ト 1 4 5 は、 シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 を図 8 にお いて時 計方向に回転させた場合の作用 · 機能に基づき定義 して 名を付 したが、 前記シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 の回転方向 が逆になる こ と によ っ て、 吸込み、 吐出 しの機能が逆に なる ものであ る。

そ して、 前記軸受ケーシング 1 0 7 には、 上記吸込み ポー ト 1 4 3 , 吐出 しポー ト 1 4 5 に対応 して吸込み口 1 5 1 , 吐出 し 口 1 5 3 が形成してある。 こ の吸込み口 1 5 1 及び吐出 し 口 1 5 3 は、 前記シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 の回転方向が逆になる と、 その機能が逆になる もの である。

以上の ごと き構成において、 駆動軸 1 2 9 の正回転に よっ てシ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 が、 図 8 において （図 8 にはシ リ ンダブロ ッ ク は省略） 時計回 り 方向に回転する と、 プラ ンジャ 1 1 7 が上死点位置 1 4 7 (図 8 におけ る最下端） か ら下死点位置 1 4 9 (図 8 にお ける最上端） へ回動される に従っ て、 プラ ンジャ 1 1 7 が図 7 におい て右方向に移動する。 そ して、 シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 のプラ ンジャ挿入孔 1 1 5 内へ作動油を吸込みポー ト 1 4 3 , 吸込み口 1 5 1 力ゝ ら吸込む。 更に、 下死点位置 1 4 9 か ら上死点位置 1 4 7 へ回動される に従っ て、 ブラ ンジャ 1 1 7 が図 7 において左方向に移動し、 プラ ンジ ャ挿入孔 1 1 5 内の作動油を吐出 しポー ト 1 4 5 , 吐出 し 口 1 5 3 か ら 吐出す こ と になる。

前記駆動軸 1 2 9 が逆回転する と、 シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 が逆回転されて、 該シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 が図 8 において反時計回 り 方向に回転する こ と とな り 、 吐出 しポー ト 1 4 5 か ら作動油を吸込み、 吸込みポー ト 1 4 3 か ら作動油を吐出す こ と になる ものである-。すなわち、 駆動軸 1 2 9 を正回転又は逆回転する こ と によ り 、 作動 油の流れ方向が逆になる ものであ り 、 吸込みポー ト 1 4

3 ， 吐出 しポー ト 1 4 5 の吸込み、 吐出 しの機能が逆に なる ものである。 以下、 時計方向を基準に して説明する。 と こ ろで、 プラ ンジ ャ 1 1 7 が上死点位置 1 4 7 に回 動及び摺動された とき には、 図 8 に破線で示す位置 （ 1

4 7 ) にプラ ンジャ 1 1 7 が位置するため、 プラ ンジャ 挿入孔 1 1 5 は吐出 しポー ト 1 4 5 及び吸込みポー ト 1 4 3 に連通する こ とな く 閉 じた状態 となる。 従っ て、 吐 出 しポー ト 1 4 5 に吐出 しきれずに該プラ ンジャ 1 1 7 内に残留 した少量の作動油を閉 じ込める状態 （以下、 "閉 じ込み現象 "） になる 。 そ して、 前記状態を維持 し なが ら、 更に、 前記プラ ンジャ 1 1 7 が斜板 1 2 5 の傾斜で 僅かに図 7 の左方向に移動 して最左端 （上死点） に移動 するため、 該プラ ンジャ 1 1 7 内で高圧を発生する。 そ して、 シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 が僅かに回動さ れて 吸込みポー ト 1 4 3 に連通 した瞬間に、 上記高圧が急激 に開放されるので、 こ の開放時に振動や騒音を発生する こ と になる。

そ こ で、 本実施の形態にお いては、 前記駆動軸 1 2 9 の回転方向 と同 じ方向に弁板 1 3 7 を僅かに回転させ、 前記上死点位置 1 4 7 と吐出 しポー ト 1 4 5 (逆回転時 には吸込みポー ト 1 4 3 ) と を連通させ、 上死点位置 1 4 7 での閉 じ込み現象を防止するよ う に構成してあ る。 すなわち 、 図 9 に詳細に示すよ う に、 ピ ン 1 4 1 が係 合 した ピン係合孔 1 3 9 を僅かに大き く 又は円弧状の長 孔に形成して、 弁板 1 3 7 を僅かに回動可能に構成 して あ り 、 この弁板 1 3 7 の回動範囲はピン係合孔 1 3 9 に よ っ て ピン 1 4 1 が規制される こ と によ っ て規定 してあ る。 なお、 上記弁板 1 3 7 の回動範囲は、 前記駆動軸 1 2 9 の正回転によ る シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 の正回転時 には前記吐出 しポー ト 1 4 5 の端部が上死点位置 1 4 7 へ僅かに掛 り 、 逆回転時には前記吸込みポー ト 1 4 3 の 端部が上死点位置 1 4 7 へ僅かに掛つ て、 上死点位置 1 4 7 においての閉 じ込み現象によ り 発生する高圧を防止 できる範囲であ る。

前記駆動軸 1 2 9 の回転方向へ弁板 1 3 7 が回動する よ う に、 駆動軸 1 2 9 と弁板 1 3 7 と の間に適宜の摩擦 を生じせしめるための摩擦係合手段 1 5 4 が設けてあ る。 よ り 詳細には、 上記摩擦係合手段 1 5 4 の 1 例 と して、 本例においては、 駆動軸 1 2 9 の適数箇所には、 係止部 材と してのポール 1 5 5 を突出する方向へパネ 1 5 9 等 によ っ て付勢したボールプラ ンジャ 1 5 7 が設けてあ り 、 上記ポール 1 5 5 は、 前記弁板 1 3 7 の内周面に適宜範 囲に亘つ て形成した溝又は孔状の係止部 1 6 1 と係合離 脱自在に係合 してあ る。 なお、 係止部材 1 5 5 と係止部 1 6 1 と は相対的な関係にあ り 、 弁板 1 3 7 の内周面側 に係止部材 1 5 5 を設け、 駆動軸 1 2 9 側に係止部 1 6 1 を形成 してもよ い ものである。

上記構成によ り 、 駆動軸 1 2 9 を正回転する と 、 前記 摩擦係合手段 1 5 4 の作用すなわち係止部材と してのボ —ル 1 5 5 が係止部 1 6 1 に係合するので、 弁板 1 3 7 は駆動軸 1 2 9 の回転方向へ回動する。 しか し弁板 1 3 7 が同方向へ僅かに回動される と、 弁板 1 3 7 に備えた ピ ン 1 4 1 がピン係合孔 1 3 9 に当接して回動を停止す る。 そ して、 前記係合部 1 6 1 か ら前記ボール 1 5 5 力 離脱する ので、 弁板 1 3 7 は上述のよ う に僅かに回動 し た位置に停止した状態にあ る。 逆に、 前記駆動軸 1 2 9 が逆回転したときには、 弁板 1 3 7 は駆動軸 1 2 9 の回 転に従っ て逆回転方向へ僅かに回動される ものであ る。 したがっ て、 駆動軸 1 2 9 及びシ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 の正回転時には、 図 8 において弁板 1 3 7 が時計回 り 方向へ僅かに回動されて、 吐出 しポー ト 1 4 5 の図 8 に おける下方側の端部が上死点位置 1 4 7 へ僅かに掛 り 、 両者が連通 し、 前述の閉 じ込み現象を回避できる。 逆に、 駆動軸 1 2 9 の逆回転時には、 弁板 1 3 7 が図 8 におレ て反時計回 り 方向へ僅かに回動さ れて、 吸込みポー ト 1 4 3 の端部が上死点位置 1 4 7 へ僅かに掛る こ と になつ て、 前記駆動軸 1 2 9 の逆回転による シ リ ンダブロ ッ ク 1 1 3 の逆回転時に、 上死点位置 1 4 7 での閉 じ込み現 象を解消する こ とができる。 従っ て、 前記閉 じ込み現象 によ る振動及び騒音の発生を回避する こ とができ る。 なお、 本発明は前述の ごと き実施の形態のみに限る も のではな く 、 適宜の変更を行 う こ と によ り 、 その他の形 態でも実施可能である。 すなわち、 図 8 に想像線で示す よ う に、 弁板 1 3 7 に レバー 1 3 7 L を設けて、 ケーシ ングに形成したス リ ッ ト （図示省略） か ら上記 レバ一 1 3 7 L を外部へ突出 し、 こ の レバー 1 3 7 L に連動連結 した小型の油圧シ リ ンダゃソ レ ノ ィ ド等の ごと き適宜の ァ ク チユエ一夕 A C によっ て前記弁板 1 3 7 を正逆方向 へ僅かに回動する構成とする こ と も可能である。

こ のよ う な構成とする こ と によ り 、 大きな力で弁板 1 3 7 を回動する こ とができ、 弁板 1 3 7 を確実に回動す る こ とができる ものである。

更に、 別の形態と して、 前記斜板 1 2 5 を平面ではな く 、 カム板の ごと き曲面にする こ と も可能である。 つま り 、 プラ ンジャ 1 1 7 が上死点付近に位置する と きに、 当該プラ ンジャ 1 1 7 が位置する場所の傾斜面を図 7 に おいて垂直な面を部分的に形成する こ と によ り 、 プラ ン ジャ 1 1 7 が上死点付近に位置 しても、 該プラ ンジャ 1 1 7 が、それ以上は図 7 において左側に移動 しないため、 前記閉 じ込み現象が発生 して も プラ ンジャ 1 1 7 ないの 圧力 の上昇を停止させる こ とができる。

なお、 上記説明は、 斜板式のアキシアルプラ ンジャ ポ ンプの場合について例示したが、 斜軸式のアキシアルプ ラ ンジ ャ ポ ンプに も容易 に実施可能であ る。

Claims

請求の範囲

1 . 液圧装置における ラ ム移動方法であ っ て、 サーボ モー夕 によ り 駆動される双方向ポ ンプを用いて復動シ リ ンダを制御する液圧装置における ラ ム移動方法が、 以下 のステ ッ プを含む ：

前記ラ ムの移動を指令する ； 及び

前記指令を した後に、 前記ラ ムが所定のウ ォーミ ングァ ッ プ解除速度に達する までラ ム指令速度を 目標速度以下 の一定のウ ォーミ ングア ッ プ速度に抑える。

2 . 請求の範囲第 1 項に記載の液圧装置における ラム移 動方法において、

前記ラムの指令速度を、 ラムの移動指令後一定時間は 目標速度以下の一定のウ ォ ー ミ ングア ッ プ速度に抑える

3 . 請求の範囲第 2 項に記載の液圧装置における ラム移 動方法において、

前記ラムの移動速度を、 こ の ラムの位置を検出する ラ ム位置検出手段か ら の位置信号の変化か ら検出する。

4 . 請求の範囲第 3 項に記載の液圧装置における ラム移 動方法において、

前記ラム の移動速度を、 こ の ラムの位置を検出する ラ ム位置検出手段か らの位置信号 と指令値との ラム位置偏 差量または こ のラ ム位置偏差量の変化か ら検出する。

5 . 請求の範囲第 4 項に記載の液圧装置における ラム移 動方法において、

前記ラムの移動速度を、 制御側シ リ ンダ内の圧力か ら 検出する。

6 . 請求の範囲第 5 項に記載の液圧装置における ラム移 動方法において、 '

前記ラムの移動速度を、 前記サ一ポモータの回転数指 令の変化量か ら検出する。

7 . 液圧装置における ラム移動制御装置であっ て、 サー ポモ一夕 によ り駆動される双方向ポ ンプを用いて復動シ リ ンダを制御する液圧装置における ラム移動制御装置が 以下を含む ：

前記ラ ム を ラム移動パター ンに従っ て移動さ せるベ く 前記サーボモータ を制御する速度分配処理部 ；

前記ラ ム の移動速度を算出する ラ ム移動速度算出部 ； 及び

前記ラ ム の速度が予め設定さ れてい る ウ ォ ー ミ ングァ ッ プ解除速度 を超え たか否か を判断す る 解除速度判断 部 ；

上記構成において、 前記速度分配処理部が、 前記解除 速度判断部によ り ラム移動速度がウ ォ ー ミ ングア ッ プ解 除速度を超えた と判断される までラ ム指令速度を 目標ラ ム速度以下の一定のウ ォー ミ ングア ッ プ速度に抑える ； 及び

前記解除速度判断部によ り ラム移動速度がウ ォ ー ミ ン グア ッ プ解除速度を超えた と判断された ら 目標ラ ム速度 まで加速すべ く 指令する。

8 . 請求の範囲第 7 項に記載の液圧装置における ラ ム 移動制御装置は； 更に以下を含む ：

前記ラムの移動開始か ら の時間を計測するタイ マ ； 上記構成において、 前記速度分配処理部が、 前記解除 速度判断部の判断にかかわ らず、 前記タイ マによ り 所定 の時間カ ウ ン 卜する まで前記ラムの指令速度を 目標ラ ム 速度以下の一定のウ ォー ミ ングア ッ プ速度に抑えるべ く 指令する。

9 . 請求の範囲第 8 項に記載の液圧装置における ラム移 動制御装置は、 更に以下を含む ：

前記 ラ ムの移動速度を、 こ の ラ ムの位置を検出する ラ ム位置検出手段か ら の位置信号の変化か ら検出する ラ ム 移動速度算出部。

1 0 . 請求の範囲第 9 項に記載の液圧装置における ラム 移動制御装置は、 更に以下を含む ：

前記 ラ ム の移動速度を、 こ の ラ ム の位置を検出する ラ ム位置検出手段か ら の位置信号と指令値 との ラム位置偏 差量または こ のラム位置偏差量の変化か ら検出する ラ ム 移動速度算出部。

1 1 . 請求の範囲第 1 0 項に記載の液圧装置にお ける ラ ム移動制御装置は、 更に以下を含む ：

前記ラムの移動速度を制御側シ リ ンダ内の圧力か ら検 出する ラム移動速度算出部。

1 2 . 請求の範囲第 1 1 項に記載の液圧装置における ラ ム移動制御装置は、 更に以下を含む ：

前記ラムの移動速度を前記サーポモー夕の回転数指令 の変化量か ら検出する ラム移動速度算出部。

1 3 . アキ シアルプラ ンジ ャ ポ ンプの閉 じ込み防止方 法が、 以下のステ ッ プを含む ：

アキ シアルプラ ンジャ ポ ンプにおける シ リ ンダブ口 ッ ク の回転方向へ、 弁板を僅かに回動する ； 及び

前記弁板に備えた吐出 しポ一 卜 の 1 部をプラ ンジャ の 上死点位置と重な り 合せる こ と によ り 、 前記プラ ンジャ の上死点位置における閉 じ込みを防止する。

1 4 . アキシアルプラ ンジャ ポンプが、 以下を含む ： 複数の プラ ンジ ャ を往復動自在に内装 した シ リ ンダ ブロ ッ ク であっ て、 該シ リ ンダブロ ッ ク が回転自在に設 け られてい る ； 及び 円弧状の吐出 しポ一 ト及び吸込みポー ト を形成した弁 板 ；

上記構成において、 前記弁板は、 前記シ リ ンダブロ ッ ク の回転方向の変換時に、 該シリ ンダブ口 ッ クの回転方向 へ僅かに回動可能に設けられている。