WO2002103298A2 - Appareil d'examen micrometrique d'une surface - Google Patents

Appareil d'examen micrometrique d'une surface Download PDF

Info

Publication number
WO2002103298A2
WO2002103298A2 PCT/FR2002/002009 FR0202009W WO02103298A2 WO 2002103298 A2 WO2002103298 A2 WO 2002103298A2 FR 0202009 W FR0202009 W FR 0202009W WO 02103298 A2 WO02103298 A2 WO 02103298A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
crown
rotation
drive
guide rail
carriage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/FR2002/002009
Other languages
English (en)
Other versions
WO2002103298A3 (fr
Inventor
Antoine Foucaut
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to AU2002347583A priority Critical patent/AU2002347583A1/en
Publication of WO2002103298A2 publication Critical patent/WO2002103298A2/fr
Publication of WO2002103298A3 publication Critical patent/WO2002103298A3/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/30Supports specially adapted for an instrument; Supports specially adapted for a set of instruments
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901Optical details; Scanning details

Definitions

  • the invention relates to an apparatus intended for micrometric examination of a surface, of any application, in particular medical, comprising a reading device, of optical or other type, capable of being positioned in front of said surface through of a suitable support structure capable of being subjected to scanning by displacement in a plane under the impulse of appropriate control means.
  • the present invention relates to the field of metrology and technical, scientific and medical instrumentation and relates, more particularly, to devices intended for micrometric examination of a surface, of any application and in particular medical.
  • the data acquisition by the reading device is done by horizontal scanning of the whole of the rectangular surface defined by the said rails.
  • Each carriage run on the first axis is followed by a movement of the door rail carriage relative to the second axis, defining a step, the scanning continuing alternately from right to left, then from left to right, or always in the same direction with return to the end of the rail after each scanning, until reaching the stop on the rail materializing the second axis.
  • the number of scans is equal to the number of steps on said rail, plus one, corresponding to the first scan, prior to the first movement on the second axis.
  • the present invention therefore aims to respond to these problems by optimizing the scanning as a function of the interest of the area to be observed, by limiting the mechanical wear of the parts in contact through the elimination of the acceleration cycles and slowdown.
  • this invention is intended to achieve these objectives through an extreme simplification of the means used using only one actuator.
  • the invention relates to an apparatus intended for micrometric examination of a surface, of any application and in particular medical, comprising a reading device, of optical or other type, capable of being positioned in front of said surface through a suitable support structure and capable of being subjected to scanning by displacement in a plane under the impulse of appropriate control means.
  • the latter are constituted by support means with rectilinear displacement of which the lifting device is integral, which means are moreover subjected to means circular drive to subject this reading device to a spiral scan.
  • the support means with rectilinear displacement consist of a carriage provided capable of moving along a guide rail mounted in rotation about an axis which is perpendicular thereto via a main flywheel of which it is integral and constituting said circular drive means.
  • the circular drive means are supplemented by a drive motor acting on said main flywheel.
  • the apparatus also comprises means for subjecting the carriage to rectilinear displacement, according to a defined amplitude, along its guide rail for rotation of the main flywheel by a determined angle, in particular under the impulse of said drive motor.
  • a vertical displacement means completes said control means.
  • Figure 1 is a schematic representation in section of an apparatus for the mi ⁇ rometric analysis of a surf ce, according to the invention.
  • Figure 2 shows schematically the spiral scan described by the device for reading this device.
  • the invention relates to an apparatus 1 for micrometric examination of a surface 2 of any application and in particular medical.
  • a device can consist of a dermatological micro scanner
  • FIG. 1 of the attached drawings it comprises a reading device 3, such as an optical transceiver, capable of being subjected to micrometric scanning in front of a surface 2, represented plane in solid lines.
  • a reading device 3 such as an optical transceiver, capable of being subjected to micrometric scanning in front of a surface 2, represented plane in solid lines.
  • this device 1 comprises a support structure 4 which is particularly suitable for positioning the lifting device 3 in front of said surface 2, while control means 5 are designed capable of subjecting this lifting device 3 to displacement in a plane substantially parallel to this surface 2.
  • said control means 5 are constituted by support means 6 capable of subjecting the lifting device 3 to rectilinear displacement, which means 6 are moreover subjected to circular drive means 7. As will be described further forward, the two movements are combined and preferably generated by a single actuator.
  • said support means 6 are in the form of a carriage 8 mounted mobile along a guide rail 9 held by said support structure 4.
  • This guide rail 9 is, moreover, subjected to a rotational movement about an axis 10 which is perpendicular thereto, this by means of said circular drive means 7.
  • these circular drive means are defined in the form of a main flywheel 11 rotatably mounted in a cylindrical casing 12 defining, at least in part, the support structure 4.
  • circular drive means 7 are further supplemented by a drive motor 13, in particular an electric motor, acting on a first drive pinion 14 engaged with a driving crown 15 associated with the main flywheel 11 and of axis coinciding with axis 10 rail rotation 9.
  • the apparatus also includes means for translational control 16 of the carriage 8, with which the lifting device 3 is associated, this along the guide rail 9.
  • These translation control means 16 are defined through a cam 17, shown in FIG. 1 in the form of a ring 18 which is eccentric with respect to the axis 10 and with which a drive roller 19 associated with the carriage cooperates. 8.
  • these translation control means 16 are further supplemented by means for driving the crown 18 in rotation corresponding to the cam 1.
  • this ring 18 is mounted in free rotation inside the main flywheel 11 supporting the rail 9 and, therefore, the carriage 8, while a second pinion drive 22, again likely to be driven in rotation, just like the first drive pinion 14, by the motor 13 engages on a driving crown 23 associated with said secondary flywheel 21.
  • a different transmission ratio is chosen between, on the one hand, the first pinion of drive 14 and the drive ring 15 associated with the main flywheel 11 and, on the other hand, between the second drive pinion 22 and the drive ring 23 of the secondary flywheel 21.
  • a vertical displacement means 24 completes said control means 5.
  • Such functionality can be associated either directly with the support structure 4, or with the main flywheel 11, of which the guide rail 9 is made integral, this main flywheel 11 being mounted vertically movable in the casing 12.
  • the apparatus 1 which has just been described has the function that of subjecting a reading device 3, more particularly of the optical type, to a spiral scanning, it can be employed, judiciously and through suitable reflection means 25, to transform this spiral scan into a scan cylindrical type. More particularly, such means 25 can be, as shown in broken lines in FIG. 1, in the form of a reflection cone placed in the axial extension of the device, under said reading device 3. Thus, the beam optic of the latter, by performing a spiral scan above this reflection cone, is returned to describe, finally, a cylindrical scan.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

L'invention a trait à un appareil destiné à l'examen micrométrique d'une surface (2), d'application quelconque et notamment médicale, comportant un dispositif de relevé (3), du type optique ou autre, susceptible d'être positionné au-dessus de ladite surface (2) au travers d'une structure support (4) et apte à être soumis à un déplacement dans un plan sensiblement parallèle à ladite surface (2) sous l'impulsion de moyens de commande (5) appropriés. Cet appareil est caractérisé par le fait que ces derniers sont constitués par des moyens supports (6) à déplacement rectiligne du dispositif de relevé (3), lesquels moyens (6) étant par ailleurs soumis à des moyens d'entraînement circulaires (7).

Description

APPAREIL D'EXAMEN MICROMETRIQUE D'UNE SURFACE, D'APPLICATION QUELCONQUE ET NOTAMMENT MEDICALE.
L'invention concerne un appareil destiné à l'examen micrométrique d' une surface, d' application , quelconque et notamment médicale, comportant un dispositif de relevé, de type optique ou autre, susceptible d' être positionné au devant de ladite surface au travers d'une structure support adaptée et apte à être soumis à un balayage par déplacement dans un plan sous l' impulsion de moyens de commande appropriés.
La présente invention concerne le domaine de la métrologie et de l'instrumentation technique, scientifique et médicale et a trait, plus particulièrement, à des appareils destinés à l'examen micrométrique d'une surface, d'application quelconque et notamment médicale .
Il existe un grand nombre d' appareillages de mesure métrologiques ou autres composés de deux axes croisés perpendiculaires, matérialisés par des rails, supportés par un châssis horizontal, sur lesquels se déplace un chariot porte dispositif de relevé. Ces appareillages sont protégés des chocs et vibrations et positionnés au dessus de la surface d' observation par une structure mécanique rigide adéquate de type carter. Dans ces appareillages le chariot porte dispositif de relevé se déplace le long d'un rail matérialisant un premier axe, par exemple celui des x ou des abscisse . Ce rail est lui même mobile par rapport à deux autres rails parallèles, par exemple par l'intermédiaire de roulettes, dont l'un matérialise un deuxième axe, par exemple celui des y ou des ordonnées. L'acquisition des données par le dispositif de relevé se fait par balayage horizontal de l'ensemble de la surface rectangulaire définie par les dits rails . Chaque parcours du chariot sur le premier axe est suivi d'un mouvement du rail porte chariot par rapport au deuxième axe , définissant un pas , le balayage se poursuivant alternativement de droite à gauche, puis de gauche à droite, ou bien toujours dans le même sens avec retour en extrémité de rail après chaque balayage, jusqu'à arriver en butée sur le rail matérialisant le deuxième axe. Le nombre de balayages est égal au nombre de pas sur ledit rail, plus un, correspondant au premier balayage, antérieurement au premier déplacement sur le deuxième axe.
Ce type d'appareillage à structure croisée, dite cartésienne, n'est pas sans présenter un certain nombre d'inconvénients, parmi lesquels :
- Le champ d' observation ayant rarement une forme quadrangulaire, mais étant plus souvent proche d'un cercle, du temps et de l'énergie sont perdus lors du balayage des zones proches des angles du quadrangle. Inversement, la zone centrale de la surface à observer ne bénéficie pas d'une densité de points de relevés accrue .
- Les nombreux balayages nécessitant de nombreux déplacements du chariot sur son rail entraînent une usure accélérée des éléments mécaniques en contact et donc une perte de précision au vieillissement. De plus cette usure n'est pas uniforme du fait des variations de vitesse et d' accélération des pièces mécaniques selon leurs positions relatives .
- Ces balayages nécessitent de nombreux cycles d' accélération et de ralentissement à chaque extrémité du rail porte-chariot. Il en résulte les mêmes effets que précédemment, ainsi qu'une perte de précision au vieillissement et une consommation d'énergie accrue pour générer lesdits cycles. Il en découle également la nécessité, soit de ne pas utiliser les zones correspondant aux extrémités de rail pour effectuer des relevés , d' où une perte de sur ace utile de l'appareillage, soit des tables de correspondance informatiques complexes permettant un positionnement des points de mesure en temps réel . Tout cela conduit à un alourdissement du système de commande de l' appareillage .
- Les mouvements sont, de plus, générés par l'intermédiaire de plusieurs actionneurs, de sorte qu'il est nécessaire de prévoir des moyens de couplage entre eux, non seulement complexes, mais également coûteux, sans compter qu'ils représentent un encombrement supplémentaire, évidemment gênant sachant qu'un des objectifs visés en la matière consiste à miniaturiser ce type d' appareil .
La présente invention se veut donc à même de répondre à ces problèmes en optimisant le balayage en fonction de l'intérêt de la zone à observer, en limitant l'usure mécanique des pièces en contact au travers de la suppression des cycles d' accélération et de ralentissement. De plus cette invention se veut apte à atteindre ces objectifs au travers d'une simplification extrême des moyens mis en oeuvre ne faisant appel qu'à un seul actionneur.
A cet effet, l'invention concerne un appareil destiné à l'examen micrométrique d' une surface, d' application quelconque et notamment médicale, comportant un dispositif de relevé, de type optique ou autre, susceptible d'être positionné au devant de ladite surface au travers d'une structure support adaptée et apte à être soumis à un balayage par déplacement dans un plan sous l'impulsion de moyens de commande appropriés .
Selon l'invention, ces derniers sont constitués par des moyens support à déplacement rectiligne dont est solidaire le dispositif de relevé, lesquels moyens sont par ailleurs soumis à des moyens d' entraînement circulaires pour soumettre ce dispositif de relevé à un balayage spiral .
Selon l'invention, les moyens supports à déplacement rectiligne sont constitués par un chariot prévu apte à se déplacer le long d'un rail de guidage monté en rotation autour d'un axe qui lui est perpendiculaire par l'intermédiaire d'un volant principal dont il est solidaire et constituant lesdits moyens d' entraînement circulaires .
Avantageusement, les moyens d'entraînement circulaires sont complétés par un moteur d' entraînement agissant sur ledit volant principal .
Selon une autre caractéristique de l'invention, l'appareil comporte encore des moyens pour soumettre le chariot à un déplacement rectiligne, selon une amplitude définie, le long de son rail de guidage pour une rotation du volant principal d'un angle déterminé, notamment sous l'impulsion dudit moteur d' entraînement.
Selon une autre caractéristique de l'invention, un moyen de déplacement vertical complète lesdits moyens de commande.
La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre se rapportant à un mode de réalisation illustré dans les figures du dessin ci-joint.
La figure 1 est une représentation schématisée et en coupe d'un appareil destiné à l'analyse miσrométrique d'une surf ce, conforme à l' invention . La figure 2 représente schematiquement le balayage spiral décrit par le dispositif de relevé de cet appareil .
L'invention concerne un appareil 1 destiné à l'examen micrométrique d'une surface 2 d' application quelconque et notamment médicale. A titre d'exemple, un tel appareil peut consister en un micro scanner dermatologique
Ainsi, comme représenté schematiquement dans la figure 1 des dessins ci-joints, il comporte un dispositif de relevé 3, tel qu'un émetteur-récepteur optique, susceptible d'être soumis à un balayage micrométrique au devant d'une surface 2, représentée plane en trait continu.
Ainsi, cet appareil 1 comporte une structure support 4 tout particulièrement adaptée pour positionner le dispositif de relevé 3 au devant de ladite surface 2 , tandis que des moyens de commande 5 sont conçus aptes à soumettre ce dispositif de relevé 3 à un déplacement dans un plan sensiblement parallèle à cette surface 2.
Selon l'invention, lesdits moyens de commande 5 sont constitués par des moyens supports 6 susceptibles de soumettre le dispositif de relevé 3 à un déplacement rectiligne, lesquels moyens 6 sont par ailleurs soumis à des moyens d' entraînement circulaires 7. Comme cela sera décrit plus en avant, les deux mouvements sont combinés et générés, préférentiellement, par un seul actionneur.
Selon un mode de réalisation avantageux, lesdits moyens supports 6 se présentent sous forme d'un chariot 8 monté mobile le long d'un rail de guidage 9 maintenu par ladite structure support 4. Ce rail de guidage 9 est, par ailleurs, soumis à un mouvement de rotation autour d'un axe 10 qui lui est perpendiculaire, ceci par l'intermédiaire desdits moyens d'entraînement circulaires 7. En fait, selon l'invention ces moyens d'entraînement circulaires sont définis sous forme d'un volant principal 11 monté en rotation dans un carter cylindrique 12 définissant, au moins en partie, la structure support 4.
Ces moyens d' entraînement circulaires 7 sont encore complétés par un moteur d' entraînement 13 notamment électrique agissant sur un premier pignon d' entraînement 14 en prise avec une couronne motrice 15 associée au volant principal 11 et d'axe confondu avec l'axe 10 de rotation du rail 9.
L'appareil comporte encore des moyens de commande en translation 16 du chariot 8, auquel est associé le dispositif de relevé 3, ceci le long du rail de guidage 9.
Ces moyens de commande en translation 16 sont définis au travers d'une came 17, représentée dans la figure 1 sous forme d'une couronne 18 excentrée par rapport à l'axe 10 et avec laquelle coopère un galet d'entraînement 19 associé au chariot 8.
En fin de compte, ces moyens de commande en translation 16 sont encore complétés par des moyens d' entraînement en rotation de la couronne 18 correspondant à la came 1 .
Selon un mode d'exécution avantageux, au travers d'un volant secondaire 21 cette couronne 18 est montée en libre rotation à l'intérieur du volant principal 11 supportant le rail 9 et, donc, le chariot 8, tandis qu'un second pignon d'entraînement 22, là encore susceptible d'être entraîné en rotation, tout comme le premier pignon d'entraînement 14, par le moteur 13 vient s'engrener sur une couronne motrice 23 associée audit volant secondaire 21. A noter, toutefois, que pour créer un différentiel de vitesse de rotation de la came 17 par rapport au volant principal 11, donc du rail 9, il est choisi un rapport de transmission différent entre, d'une part, le premier pignon d'entraînement 14 et la couronne motrice 15 associée au volant principal 11 et, d'autre part, entre le second pignon d' entraînement 22 et la couronne motrice 23 du volant secondaire 21.
Ainsi l'on comprend, au vu de la description qui précède, que pour un tour du volant principal 11 il est généré une rotation légèrement différente du volant secondaire 21 et, donc, de la came 17 , ce qui a pour effet de déplacer radialement le dispositif de relevé 3 qui, au final, parcourt une portion de spirale. Par ailleurs, dans la mesure où pendant une durée t donnée un nombre déterminé de mesures sont effectuées et que chaque tour du dispositif de relevé 3 s'exécute sur une durée identique, le nombre des mesures réalisées au niveau de la surface 2 analysée tend à augmenter progressivement en se rapprochant du centre de la spirale ainsi décrite.
Selon l'invention encore, un moyen de déplacement vertical 24 complète lesdits moyens de commande 5. Une telle fonctionnalité peut être associée soit directement à la structure support 4 , soit au volant principal 11, duquel est rendu solidaire le rail de guidage 9, ce volant principal 11 étant monté mobile verticalement dans le carter 12.
Il convient d'observer que si l'appareil 1 qui vient d'être décrit a pour fonction que de soumettre un dispositif de relevé 3 , plus particulièrement de type optique, à un balayage spiral, il peut être employé, judicieusement et au travers de moyens de réflexion 25 appropriés, pour transformer ce balayage spiral en un balayage de type cylindrique. Plus particulièrement, de tels moyens 25 peuvent se présenter, comme représenté en traits discontinus dans la figure 1, sous forme d'un cône de réflexion placé dans le prolongement axial de l'appareil, sous ledit dispositif de relevé 3. Ainsi, le faisceau optique de ce dernier, en exécutant un balayage spiral au-dessus de ce cône de réflexion, est renvoyé pour décrire, finalement, un balayage cylindrique.

Claims

Revendications
1. Appareil destiné à l'examen micrométrique d'une surface (2), d' application quelconque et notamment médicale, comportant un dispositif de relevé (3) , du type optique ou autre, susceptible d'être positionné au devant de ladite surface (2) au travers d'une structure support (4) et apte à être soumis à un balayage par déplacement dans un plan sous l'impulsion de moyens de commande
(5) appropriés, caractérisé par le fait que ces derniers sont constitués par des moyens supports (6) à déplacement rectilignes dont est solidaire le dispositif de relevé (3) , lesquels moyens
(6) sont par ailleurs soumis à des moyens d'entraînement circulaires (7) pour soumettre ce dispositif de relevé (3) à un balayage spiral .
2. Appareil selon la revendication 1 , caractérisé par le fait que les moyens supports (6) , se présentent sous forme d'un chariot (8) monté mobile le long d'un rail de guidage (9) maintenu, au travers de ladite structure support (4) .
3. Appareil selon les revendications 1 et 2 , caractérisé par le fait que les moyens d'entraînement circulaires (7) sont définis par un volant principal (11) monté en rotation dans un carter cylindrique (12) définissant, au moins en partie, la structure support (4) , le rail de guidage (9) .de ce volant principal (11) étant rendu solidaire .
4. Appareil selon la revendication 3 , caractérisé par le fait que les moyens d'entraînement circulaires (7) sont complétés par un moteur d'entraînement (13), notamment électrique, agissant sur un premier pignon d'entraînement (14) en prise avec une couronne motrice (15) associée au volant principal (11) et d'axe confondu avec l'axe (10) de rotation du rail (9) .
5. Appareil selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé par le ait qu' il comporte des moyens de commande en translation (16) du chariot (8) le long du rail de guidage (9) .
6. Appareil selon la revendication 5 , caractérisé par le fait que les moyens de commande en translation (16) sont définis au travers d'une came (17) sous forme d'une couronne (18) excentrée par rapport à l'axe (10) de rotation du volant principal (11) et du rail (9) , couronne (18) avec laquelle coopère un galet d'entraînement (19) associé au chariot (8).
7. Appareil selon les revendications 5 et 6 , caractérisé par le fait que les moyens de commande en translation (16) sont complétés par des moyens d'entraînement en rotation de la couronne (18) correspondant à la came (17) avec un différentiel de vitesse par rapport à la rotation communiquée au rail de guidage (9) .
8. Appareil selon les revendications 3 , 4 , 6 et 7 , caractérisé par le fait que la couronne (18) est montée en libre rotation à l'intérieur du volant principal (11) au travers d'un volant secondaire (21) pourvu d'une couronne motrice (23) sur laquelle vient s'engrener un second pignon d'entraînement (22) prévu apte à être entraîné par le moteur (13) .
9. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de déplacement vertical (24) du dispositif de relevé (3) , lesquels moyens complétant lesdits moyens de commande (5) .
10. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de réflexion (25) pour transformer le balayage spiral en un balayage de type cylindrique .
PCT/FR2002/002009 2001-06-14 2002-06-12 Appareil d'examen micrometrique d'une surface Ceased WO2002103298A2 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU2002347583A AU2002347583A1 (en) 2001-06-14 2002-06-12 Micrometric surface monitor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0107815A FR2826112B1 (fr) 2001-06-14 2001-06-14 Appareil d'examen micrometrique d'une surface, d'application quelconque et notamment medicale
FR01/07815 2001-06-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2002103298A2 true WO2002103298A2 (fr) 2002-12-27
WO2002103298A3 WO2002103298A3 (fr) 2003-02-20

Family

ID=8864325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/FR2002/002009 Ceased WO2002103298A2 (fr) 2001-06-14 2002-06-12 Appareil d'examen micrometrique d'une surface

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU2002347583A1 (fr)
FR (1) FR2826112B1 (fr)
WO (1) WO2002103298A2 (fr)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4030835A (en) * 1976-05-28 1977-06-21 Rca Corporation Defect detection system
WO1997012226A1 (fr) * 1995-09-25 1997-04-03 Tencor Instruments Systeme ameliore d'examen de surface
US5866806A (en) * 1996-10-11 1999-02-02 Kla-Tencor Corporation System for locating a feature of a surface

Also Published As

Publication number Publication date
FR2826112B1 (fr) 2003-09-05
AU2002347583A1 (en) 2003-01-02
FR2826112A1 (fr) 2002-12-20
WO2002103298A3 (fr) 2003-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1481459B1 (fr) Actionneur lineaire comprenant un moteur electrique polyphase sans balais
FR2721395A1 (fr) Procédé de repérage positionnel d'un trièdre dans l'espace et dispositif pour la mise en Óoeuvre de ce procédé.
EP0750175B1 (fr) Procédé d'acquisition et de numérisation d'objets au travers d'une paroi transparente et système de mise en oeuvre d'un tel procédé
EP1666833B1 (fr) Tête de mesure orientable motorisée
FR2664042A1 (fr) Controleur de dimension de spot pour un appareil de prise de vues a profondeur de champ variable.
EP2726258A1 (fr) Systeme robotise pour le deplacement d'un outil guide a distance
FR2644290A1 (fr) Micromanipulateur
CA2546176C (fr) Transducteur ultrasonore de contact, a multiples elements emetteurs et moyens de plaquage de ces elements
EP1672309B1 (fr) Tête de mesure orientable motorisée
CA2314166C (fr) Dispositif pour le deplacement d'un organe dans un tube allonge depuis une extremite de ce tube
EP0141115B1 (fr) Dispositif pour la détermination du profil de la surface de chargement d'un four à cuve
CA2510671A1 (fr) Robot plan a axes paralleles et moteurs fixes pour une coupe a l'eau
WO2002103298A2 (fr) Appareil d'examen micrometrique d'une surface
FR2640607A1 (fr) Dispositif de levage de charges
FR2761833A1 (fr) Actionneur rectiligne
WO2024089357A1 (fr) Articulation à trois degrés de liberté avec renvoi d'efforts
FR2619737A1 (fr) Tete de decoupage par laser
WO2011036193A1 (fr) Perfectionnements à la détection de dépôts comportant au moins un matériau ferromagnétique sur ou à proximité de la paroi externe d'un tube
FR3040783A1 (fr) Capteur angulaire, articulation, dispositif haptique, dispositif de capture de mouvement et robot comprenant un tel capteur.
EP0336793B1 (fr) Dispositif de repérage d'un objet, utilisant un balayage de celui-ci par un faisceau lumineux
FR2878987A1 (fr) Interface haptique a cables
WO2011036197A1 (fr) Procédés et dispositifs de détection de dépôts dans les interstices d'une liaison entre un tube et une plaque
WO2005098277A1 (fr) Mecanisme de conversion d'un mouvement rectiligne en un mouvement arciforme utilisable dans un dispositif de balayage.
FR3118192A1 (fr) Sonde robotisée de télé-échographie
FR2485749A1 (fr) Dispositif pour determiner a chaque instant la position d'un objet en mouvement

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ OM PH PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

AK Designated states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ OM PH PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642

122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: JP