WO2004070077A1 - 耐高温腐食性皮膜の形成方法 - Google Patents

耐高温腐食性皮膜の形成方法 Download PDF

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    • C23C24/00—Coating starting from inorganic powder

Definitions

  • the present invention relates to a method for forming a high-temperature corrosion-resistant coating comprising a diffusion coating and a fine-powder coating on the surface of a member to be processed.
  • Refractory material running at high temperatures typically, C r 2 03, ⁇ ⁇ 2 ⁇ 3 , by forming 'maintain protective scale Lumpur such S I_rei_2, are protected from the high temperature corrosive environments.
  • these scales degrade the mechanical properties of the refractory material, so it is not possible to add Cr, A1, and Si in sufficient amounts to form a protective scale. Therefore, at present, films containing high concentrations of Cr, Al, and Si are formed on the surface of heat-resistant materials by various methods.
  • Ni-based superalloys used in gas turbines, jet engines, etc. have a diffusion coating of A1 or Cr by methods such as pack cementation, CVD, etc.
  • pack cementation such as pack cementation, CVD, etc.
  • thermal spraying is limited to a member having a relatively simple shape capable of forming a film at a low cost over a large area.
  • Sputtering and PVD can form a precise film, but are limited in size and productivity, resulting in high costs. W
  • the CVD method and pack cementation method in which the constituent elements of the skin are supplied as a gaseous material, can form a film on a member with a complicated shape and can also form a film on through holes and gaps. Because of the power and atmosphere control, the size of the parts is limited, the productivity is low, and the cost is high. In addition, a film is usually formed on the entire surface of the member, and it is difficult to selectively form a film on a specific site.
  • the plating method usually involves electrochemical deposition from an aqueous solution. In principle, it is possible to form a film on a portion where the electrolyte can enter. When a non-aqueous solution or a molten salt is used in the plating method, a film of a base metal such as Al and Mg can be formed. Further, by performing masking on the surface of the member to be processed, it is possible to selectively form a film on a specific portion.
  • the entire component is not exposed to high temperatures; for example, in thermocouple sheaths, the tip is exposed to hot combustion gases, but most are in the low temperature range.
  • a post-process for removing these films is required at the mounting portion and the connection portion. Usually, these particular sites are kept cool. Therefore, it is not necessary to form a film on the entire surface of the member, but rather, it is desired to selectively form a film on a specific site exposed to a high-temperature and corrosive environment.
  • the current film forming method has the following advantages and disadvantages.
  • the thermal spraying, PVD, and sputter methods the formation of a coating on a specific site is possible by masking.
  • through holes A film cannot be formed on a portion such as a gap.
  • the CVD method and the pack cementation method can form films in through holes and gaps.
  • Plating can form a film on through holes and gaps, and can also form a film on specific parts by masking.
  • post-heat treatment is performed to ensure the adhesion between the base material and the film.
  • the present invention provides a dry process capable of creating a coating excellent in high-temperature corrosion resistance on a surface of a member to be treated, particularly a heat-resistant material.
  • the method of the present invention is characterized by applying a floating phenomenon of powder due to vibration and electric heating. There are no particular restrictions on the constituent elements of the film, and a composite film containing an antioxidant can be formed.
  • a container containing a fine powder for forming a film and a member to be processed that can be electrically heated is placed in a processing chamber where the atmosphere can be controlled, and the fine powder is floated. Is heated by electric current, and the vapor of the fine powder generated by the heating is diffused from the surface of the member to be treated to form a diffusion film, and the fine powder film is formed on the diffusion film layer by adhering the floating fine powder to the surface.
  • the present invention provides: (2) vibrating a container containing a member to be processed and Z or particles; (1) The method for forming a high-temperature corrosion-resistant film according to the above (1), wherein the fine powder is suspended.
  • the present invention also provides (3) the fine powder, (I) an element that forms a protective oxide scale such as A1, Cr, Si, etc .; At least one selected from the group consisting of refractory metal elements such as W and Mo, (m) a rare earth element that improves the adhesion of oxide scale, and (IV) a platinum group element that contributes to the mechanical properties of the coating.
  • the present invention provides (4) a method for forming a high-temperature corrosion-resistant film according to any one of the above (1) to (3), wherein the member to be treated is masked and a film is formed only on a non-masked portion. It is.
  • the present invention is characterized in that (5) a part of the member to be processed is cooled to a temperature at which a film is not formed so that a film is not formed on the part by (1) to (3).
  • the present invention is the method for forming a high-temperature corrosion-resistant film according to any one of the above (1) to (5), wherein the member to be processed is a resistance heating element.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram showing a state in which a wire is masked in the method of the present invention.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram showing a state in which a wire rod which has been masked in the method of the present invention is subjected to a diffusion treatment and a fine powder adhesion treatment.
  • Materials useful as target members to be heated and energized to be treated by the method of the present invention are mainly Ni, 'Fe, Co, other heat-resistant metals, heat-resistant alloy materials, Pt, Ir, Rh, and the like. And heat-resistant materials such as conductive ceramics.
  • FIG. 1 shows an example in which a wire 1 is used as a member to be processed. Terminals 2 and 2 for energization are connected to wire 1 as a member to be processed. If a film is to be formed on a part of the surface, the part where the film is to be formed is exposed, and the other parts are masked with heat-resistant ceramic cement 3, 3, etc. Examples of the masking method include a method of coating with a heat-resistant ceramic cement, a method of covering with a ceramic pipe, and a method of covering with a ceramic cloth, and the coating method is not particularly limited. Instead of masking, a portion where formation of a film is not desired may be cooled to a temperature lower than the temperature at which the film is formed.
  • the fine powder 4 for forming a film is put into a container 5 such as a crucible, and the wire 1 of the member to be processed is embedded in the fine powder 4, and a vibration mechanism (not shown) ) On a table 6 with.
  • the average particle size of the fine powder 4 is preferably in the range of 0.1 to 5 ⁇ .
  • the table 6 is installed in a processing chamber 7 that can control an atmosphere such as a vacuum chamber, and the processing chamber 7 is evacuated.
  • the degree of vacuum is preferably in the order of 10 to 3 Pa.
  • the atmosphere may be a high-purity inert gas atmosphere.
  • NH4C1 substances that promote the evaporation of fine powder for film formation, for example, NH4C1 may be added.
  • the wire 1 of the material to be processed is energized and heated.
  • the container containing the member to be processed and Z or the fine powder is vibrated to make the fine powder float in the container.
  • the exposed portion of the member to be processed is heated to a high temperature by energization, and the heat causes the fine powder to be heated and vaporized as vapor.
  • this vapor collides with the surface of the member to be processed, alloying occurs between the member to be processed and the fine powder component, and the fine powder component diffuses inside the member to be processed, thereby forming a diffusion film layer.
  • a part of the floating fine powder adheres to the exposed portion of the member to be processed, and a fine powder layer is formed.
  • the particle layer of the fine powder component attached to the surface functions as a high-temperature corrosion resistant film.
  • a diffusion film layer is formed by evaporation of the fine powder components, and a high temperature corrosion resistant film to which the fine powder adheres is not formed.
  • Materials for film formation are elements that form protective oxide scales (Al, Cr, Si, etc.) and refractory metal elements with excellent diffusion barrier properties (Re, W, Ta, Mo, Nb) , Rare earth elements (Y, La, Ce, etc.) that improve the adhesion of oxide scale, platinum group elements (Pt, Rh, Ir, Ru) that contribute to the mechanical properties of the coating, inorganic compounds ( Al 2 ⁇ 3, S i C), intermetallic compounds (N i A 1), etc.
  • A1, Cr and Si represent metals having a high vapor pressure, and their alloys can also be used.
  • Re, Mo and W can be used as examples of elements that form oxides with high sublimation pressure.
  • a Ni wire (0.5 mm) was prepared as a material to be processed, and this wire was formed into a shape of a resistance heating element. Terminals for energization were connected to both ends of this wire, and a part of the terminal was covered with heat-resistant ceramic cement.
  • an alumina crucible was used as a container for accommodating the fine powder, and Cr powder (average particle size: 5 im) was charged as the fine powder into the crucible, and the Ni wire rod was embedded in the Cr powder, and a vibration mechanism was provided. I put it on the table equipped. It established the table in the vacuum chamber one, the chamber low vacuum of 1 0 - evacuated to 3 P a order, vibrate crucible (. Amplitude 1 O mm, vibration having 6 0 count / sec) while, N i The wire was heated naturally and then cooled naturally.
  • Example 2 The Ni wire was subjected to an electric heating treatment under the same conditions as in Example 1 except that the crucible was kept stationary. The cross section of the treated Ni wire had only a Cr coating layer formed thereon.
  • Example 2 The cross section of the treated Ni wire had only a Cr coating layer formed thereon.
  • the Ni wire was heat-treated under the same conditions as in Example 1 except that Re powder (average particle size 5 / zm) was used as the fine powder.
  • the cross section of the treated Ni wire showed a diffusion film of Re and Re particles adhered to the surface. From this, it can be seen that by applying vibration, the Re powder is mainly supplied to the Ni wire surface as suspended particles. Comparative Example 2
  • Ni wire was heat-treated under the same conditions as in Example 2 except that the crucible was kept stationary. Was.
  • the cross section of the treated Ni wire did not form a diffusion film of Re. This is considered to be due to the low vapor pressure of Re.
  • the Ni wire was subjected to an electric heating process under the same conditions as in Example 3 except that the crucible was kept stationary.
  • the cross section of the treated Ni wire had a diffusion film of Re formed thereon. That is, Re moved as vapor of Re ⁇ 2, was reduced to Re on the surface of the Ni wire, and diffused into the Ni wire, but no particle layer of Re ⁇ 2 was formed.
  • the method of the present invention protects refractory materials that operate when exposed to high temperature combustion gases from hot corrosive environments. Further, it is possible to easily provide a member in which a protective film is selectively formed on a specific portion exposed to a high temperature / corrosive environment.

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Abstract

耐熱材料の「必要な部位」に「目的形状」の皮膜を「低コスト」と「高生産性」で形成するプロセスの開発が望まれている。　皮膜形成用の微粉末と通電加熱できる被処理部材とを収容した容器を雰囲気を制御できる処理室内に載置し、微粉末を浮遊させるとともに被処理部材を通電加熱し、加熱により生じる微粉末の蒸気を被処理部材表面から拡散させることにより拡散皮膜を形成させ、かつ浮遊した微粉末を該表面に付着させることにより拡散皮膜層上に微粉末皮膜を形成させることを特徴とする耐高温腐食性皮膜の形成方法。被処理部材をマスキングし、非マスキング部分にのみ皮膜を形成する。被処理部材の一部分を皮膜が形成されない温度に冷却することによって該一部分に皮膜を形成しないようにすることもできる。

Description

明 細 書 耐高温腐食性皮膜の形成方法 技術分野
本発明は、 被処理部材の表面に拡散皮膜と微粉末の皮膜の 2層皮膜からなる耐 高温腐食性皮膜を形成する方法に関し、 さらに、 被処理部材の任意の部分に耐高 温腐食性皮膜を形成する方法に関する。 背景技術
高温で稼働する耐熱材料は、 通常、 C r 203、 Α ΐ2θ3、 S i〇2等の保護スケ ールを形成 '維持することによって、 高温腐食環境から保護されている。 しかし、 これらのスケールは耐熱材料の機械的特性を劣化させるため、 保護スケールを形 成するに充分な量の C r、 A 1、 S iを添加することはできない。 . したがって、 現在、 C r、 A l、 S iを高濃度に含有する皮膜が、 種々の方法 によって耐熱材料表面に形成されている。 例えば、 ガスタービン、 ジェットェン ジン等に使用されている N i基超合金には、 パックセメンテーシヨン、 CVD等 の方法により A 1又は C rの拡散皮膜を、 また、 溶射、 EBPVD等の方法によ つて MC r A 1 Y皮膜を形成している。
これらの各種の成膜方法の中で、 溶射は大面積に対して低コストで成膜できる 力 比較的単純な形状の部材に限定される。 スパッタ、 PVDは精密な皮膜形成 が可能であるが、 サイズ、 生産性に限界があり、 高コストとなる。 W
さらに、 これらの方法では、 スルーホール、 隙間等への成膜は困難である。 皮 膜構成元素をガス体として供給する C VD法、 パックセメンテーション法では、 複雑形状の部材への皮膜形成、 及びスルーホール、 隙間等への成膜も可能である。 し力、し、 雰囲気制御のため、 部材のサイズに制限があり、 生産性に劣り、 高コス トである。 また、 通常、 部材の全面に皮膜が形成され、 特定部位への選択的な皮 膜形成は困難である。
上記の特徴と欠点を解決した成膜法として、 めっき法が挙げられる。 めっき法 は、 通常、 水溶液から電気化学的に析出するもので、 原理的には、 電解液が侵入 できる部位への成膜が可能である。 また、 めっき法において、 非水溶液、 溶融塩 を使用すると、 A l、 M g等の卑金属の成膜も可能である。 また、 被処理部材表 面にマスキングを行うことによって、 特定の部位に選択的に成膜が可能である。
し力 し、 膜を構成する元素の組合せと組成制御に制限があり、 かつ、 皮膜の密 着性を確保するため、 通常、 高温で熱処理が施される。
高温で使用される部材では、 部材全体が高温に曝されるのではなく、 例えば、 熱電対の鞘では、 先端は高温の燃焼ガスに曝されるが、 大部分は低温域にある。 また、 部材全体に成膜すると、 取付け部、 連結部等では、 これらの皮膜を除去す る後工程も必要になる。 通常、 これらの特定の部位は低温に維持されている。 したが,つて、 部材全面に成膜する必要がなく、 むしろ、 高温 ·腐食環境に曝さ れる特定の部位に選択的に皮膜を形成することが望まれている。
耐高温腐食性に優れた皮膜を、 複雑形状の特定の部位に成膜する場合に、 現行 の成膜法には次のような得失がある。 溶射法、 P V D法、 スパッター法は、 特定 部位への皮膜の形成はマスキングによって可能である。 しかし、 スルーホール、 隙間等の部位には成膜する事ができない。 C V D法、 パックセメンテーシヨン法 は、 スルーホール、 隙間等への成膜が可能である。 しカゝし、 特定部位への皮膜形 成には制限がある。 めっきは、 スルーホール、 隙間等への皮膜形成が可能で、 マ スキングによって特定部位への皮膜形成も可能である。 しカゝし、 基材と皮膜の密 着性を確保するために、 通常、 後熱処理が施される。 さらに、 皮膜構成元素の種 類とその組成制御に制限がある。
したがって、 耐熱材料の 「必要な部位」 に 「目的形状」 の皮膜を 「低コスト J と 「高生産性」 で形成するプロセスの開発が望まれている。 発明の開示
(課題を解決するための手段）
本発明は、 耐高温腐食性に優れた皮膜を被処理部材、 特に、 耐熱材料の表面に 創製することができるドライプロセスを提供する。 本発明の方法は、 振動による 粉体の浮遊現象及び通電加熱を応用したことを特徴とする。 皮膜の構成元素には 特に制限はなく、 化令物を含む複合皮膜の形成も可能である。
すなわち、 本発明は、 （1 ) 皮膜形成用の微粉末と通電加熱できる被処理部材 とを収容した容器を雰困気を制御できる処理室内に載置し、 微粉末を浮遊させる とともに被処理部材を通電加熱し、 加熱により生じる微粉末の蒸気を被処理部材 表面から拡散させることにより拡散皮膜を形成させ、 かつ浮遊した微粉末を該表 面に付着させることにより拡散皮膜層上に微粉末皮膜を形成させることを特徴と する耐高温腐食性皮膜の形成方法である。
また、本発明は、 （2 ) 被処理部材及ぴ Z又は粒子を収容した容器を振動させる ことにより微粉末を浮遊させることを特徴とする上記 （1) の耐高温腐食性皮膜 の形成方法である。
また、本発明は、 （ 3 ) 微粉末は、 （ I ) A 1、 C r、 S i等の保護的酸化物ス ケールを形成する元素、 （Π) 拡散バリヤ一特性に優れた R e、 W、 Mo等の耐 火金属元素、 （m) 酸化物スケールの密着性を改善する希士類元素、 又は （IV) 皮膜の機械的特性に寄与する白金族元素、 の群から選ばれる少なくとも 1種であ ることを特徴とする上記の （1) 又は （2) の耐高温腐食性皮膜の形成方法であ る。
また、 本発明は、 （4) 被処理部材をマスキングし、 非マスキング部分にのみ 皮膜を形成することを特徴とする上記 （1) ないし （3) のいずれかの耐高温腐 食性皮膜の形成方法である。
また、 本発明は、 （5) 被処理部材の一部分を皮膜が形成されない温度に冷却 することによつて該一部分に皮膜を形成しないようにすることを特徴とする上記 (1) ないし （3) のいずれかの耐高温腐食性皮膜の形成方法である。
また、 本発明は、 被処理部材が抵抗発熱体であることを特徴とする上記 （1) ないし （5) のいずれかの耐高温腐食性皮膜の形成方法である。 図面の簡単な説明
第 1図は、 本発明の方法において線材にマスキングする状態を示す概念図であ る。 第 2図は、 本発明の方法においてマスキングした線材を加熱して拡散処理及 び微粉末の付着処理をする状態を示す概念図である。 発明を実施するための最良の形態
本発明の方法で対象とする通電加熱できる被処理部材として有用な材料は、 主 として、 N i、 ' F e、 C oその他の耐熱金属、 耐熱合金材料、 P t、 I r、 R h 等の白金族元素、 導電性セラミックス等の耐熱材料である。
本発明の方法を実施するには、 まず、 目的の形状に成形した被処理部材を用意 する。 第 1図は、 被処理部材として線材 1を用いた例を示している。 被処理部材 である線材 1に、 通電のためのターミナル 2、 2を接続する。 表面の一部に皮膜 を形成する場合には皮膜を形成する部分を露出させ、 それ以外の部位を耐熱性セ ラミックスセメント 3、 3等でマスキングする。 マスキング手段としては、 耐熱 性セラミックスセメントで被覆する方法、 セラミックスパイプを被せる方法、 セ ラミックス布で覆う方法等の方法があり、 被覆法は特に限定されない。 マスキン グに代えて皮膜の形成を望まない部位を皮膜が形成される温度より低い温度とな るように冷却するようにしてもよい。
通電のための電極を、 皮膜を形成する部位の直近に設置することによって、 皮 膜形成の部位のみを加熱することも可能である。
続いて、 第 2図に示すように、 皮膜形成用の微粉末 4を坩堝等の容器 5内に入 れ、 被処理部材の線材 1を微粉末 4の中に埋め込み、 振動機構 （図示せず） を備 えた台 6に載せる。 微粉末 4の平均粒径は、 0 . 1〜5 μ ΐηの範囲が望ましい。 この台 6を真空チヤンバ一等の雰囲気を制御できる処理室 7内に設置し、 処理室 7内を排気する。 真空度は 1 0 - 3 P aオーダーが好ましい。 雰囲気は、 高純度不 活性ガス雰囲気でも良い。
不活性ガス雰囲気では、 皮膜形成用の微粉末の蒸発を促進する物質、 例えば、 NH4C 1を添加しても良い。 処理室 7内が所定の真空度に達したら、 被処理部 材の線材 1に通電し、 加熱する。 通電加熱時に、 被処理部材及ぴ Z又は微粉末を 収容した容器を振動させて微粉末を該容器内で浮遊状態にさせる。
通電により被処理部材の露出部が高温に熱せられ、 その熱により、 微粉末が加 熱されて、 蒸気となって揮散する。 この蒸気が被処理部材の表面に衝突すること によって、 被処理部材と微粉末成分との合金化が生じ、 微粉末成分は被処理部材 の内部に拡散して、 拡散皮膜層が形成される。
また、 浮遊状態の微粉末の一部は被処理部材の露出部に付着し、 微粉末層が形 成れる。 この表面に付着した微粉末成分の粒子層は耐高温腐食性皮膜として機能 する。 しかし、 振動を与えない場合は、 微粉末成分の蒸発による拡散皮膜層が形 成されるだけであり、 微粉末が付着した耐高温腐食性皮膜が形成されない。
雰囲気を制御することにより、 雰囲気ガスと微粉末成分との反応による化合物 微粒子皮膜を生成させて付着させることもできる。
皮膜形成の材料は、 保護的酸化物スケールを形成する元素 （A l、 C r、 S i 等） 、 拡散バリヤ一特性に優れた耐火金属元素 （R e、 W、 T a、 Mo、 Nb) 、 酸化物スケールの密着性を改善する希土類元素 （Y、 L a、 C e等） 、 皮膜の機 械的特性に寄与する白金族元素 （P t、 Rh、 I r、 Ru) 、 無機化合物 （A l 2θ3、 S i C) 、 金属間化合物 （N i A 1 ) 等からなる。 A 1、 C r、 S iは高 蒸気圧を有する金属を代表し、 その合金も使用できる。 Re、 Mo、 Wは、 高い 昇華圧の酸化物を形成する元素の例として使用できる。
(実施例）
以下に、 実施例に基づいて本発明の皮膜形成方法を詳細に述べる。 実施例 l
被処理材として N i線材 ( 0 . 5 mm) を用意し、 この線材を抵抗発熱体の 形状に成形した。 この線材の両端に通電のためのターミナルを接続し、 続いて、 ターミナル側の一部を耐熱性セラミックスセメントで被覆した。
続いて、 微粉末の収容容器としてアルミナ坩堝を用い、 この坩堝に微粉末とし て C r粉末 （平均粒径 5 i m) を入れ、 N i線材をこの C r粉末の中に埋め込み、 振動機構を備えた台に載せた。 この台を真空チャンバ一に設置し、 チャンバ一内 を真空度 1 0 - 3 P aオーダーに排気し、 坩堝を振動 （振幅 1 . O mm, 振動数 6 0回数/秒） させながら、 N i線材を通電加熱した後に自然冷却した。
処理した N i線材の断面は、 C rの拡散皮膜と表面に付着した C r粒子が見ら れた。 これより、 振動を加えることにより、 C r粉末は C r蒸気及び C r浮遊粒 子として N i線材表面に供給されていることが分かる。
比較例 1
坩堝を静止状態とした以外は実施例 1と同じ条件で N i線材を通電加熱処理し た。 処理した N i線材の断面は、 C rの拡散皮膜層が形成されただけであった。 実施例 2
微粉末として R e粉末 （平均粒径 5 /z m) を用いた以外は実施例 1と同じ条件 で N i線材を通電加熱処理した。 処理した N i線材の断面は、 R eの拡散皮膜と 表面に付.着した R e粒子が見られた。 これより、 振動を加えることにより、 R e 粉末は主として浮遊粒子として N i線材表面に供給されていることが分かる。 比較例 2
坩堝を静止状態とした以外は実施例 2と同じ条件で N i線材を通電加熱処理し た。 処理した N i線材の断面は、 R eの拡散皮膜は形成していなかった。 これは、 R eの蒸気圧が低いためであると考えられる。
実施例 3 '
微粉末として混合粉末 （R e粉末 + 1 0重量％1 e 02粉末） (それぞれの平 均粒径 5 /X in) を用いた以外は実施例 1と同じ条件で N i線材を通電加熱処理し た。 処理した N i線材の断面は、 R eの拡散皮膜と表面に付着した R e粒子が見 られた。 これより、 振動を加えることにより、 R e粒子と R e 02粒子がそれぞ れ浮遊粒子として N i表面に供給され、 R e〇2の蒸気と R e 02粒子はいずれも N i線材表面で R eに還元されていることが分かる。
比較例 3
坩堝を静止状態とした以外は実施例 3と同じ条件で N i線材を通電加熱処理し た。 処理した N i線材の断面は、 R eの拡散皮膜が形成していた。 すなわち、 R eは R e〇2の蒸気として移動し、 N i線材表面で R eに還元され、 N i線材中 に拡散したが R e〇2の粒子層は形成されなかった。 産業上の利用可能性
本発明の方法により、 高温の燃焼ガスに曝されて稼動する耐熱材料を高温腐食 環境から保護することができる。 また、 高温 ·腐食環境に曝される特定の部位に 選択的に保護皮膜を形成した部材を容易に提供できる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 皮膜形成用の微粉末と通電加熱できる被処理部材とを収容した容器を雰囲気 を制御できる処理室内に载置し、 微粉末を浮遊させるとともに被処理部材を通電 加熱し、 加熱により生じる微粉末の蒸気を被処理部材表面から拡散させることに より拡散皮膜を形成させ、 かつ浮遊した微粉末を該表面に付着させることにより 拡散皮膜層上に微粉末皮膜を形成させることを特徴とする耐高温腐食性皮膜の形 成方法。
2 . 被処理部材及び/又は粒子を収容した容器を振動させることにより微粉末を 浮遊させることを特徴とする請求項 1記載の耐高温腐食性皮膜の形成方法。
3 . 微粉末は、 （ I ) A 1、 C r、 S i等の保護的酸化物スケールを形成する元 素、 （Π ) 拡散バリヤ一特性に優れた R e、 W、 M o等の耐火金属元素、 （III) 酸化物スケールの密着性を改善する希士類元素、 又は （IV) 皮膜の機械的特性に 寄与する白金族元素、 の群から選ばれる少なくとも 1種であることを特徴とする 請求の範囲第 1項又は第 2項記載の耐高温腐食性皮膜の形成方法。
4 . 被処理部材をマスキングし、 非マスキング部分にのみ皮膜を形成することを 特徴とする請求の範囲第 1項ないし第 3項のいずれかに記載の耐高温腐贪性皮膜 の形成方法。
5 . 被処理部材の一部分を皮膜が形成されない温度に冷却することによって該一 部分に皮膜を形成しないようにすることを特徴とする請求の範囲第 1項ないし第 3項のいずれかに記載の耐高温腐食性皮膜の形成方法。
6 . 被処理部材が抵抗発熱体であることを特徴とする請求の範囲第 1項ないし第 項のいずれかに記載の耐高温腐食性皮膜の形成方法。
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