WO2004107362A1 - Verfahren zur herstellung geschirmter flachbandkabel, vorrichtung zum beschichten von flachbandkabel und geschirmtes flachbandkabel - Google Patents

Verfahren zur herstellung geschirmter flachbandkabel, vorrichtung zum beschichten von flachbandkabel und geschirmtes flachbandkabel Download PDF

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WO2004107362A1
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ribbon cable
electrically conductive
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processing chamber
vapor
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Rolf Winkler
Dietmar Zeibig
Steffen Griehl
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CREAVAC-CREATIVE VAKUUMBESCHICHTUNG GmbH
Panta GmbH
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Panta GmbH
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/0026—Apparatus for manufacturing conducting or semi-conducting layers, e.g. deposition of metal
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B7/00—Insulated conductors or cables characterised by their form
    • H01B7/08—Flat or ribbon cables
    • H01B7/0861—Flat or ribbon cables comprising one or more screens

Definitions

  • the invention relates to methods for producing shielded ribbon cables, devices for coating ribbon cables and shielded ribbon cables according to the preambles of claims 1, 5 and 12.
  • Shielded ribbon cables are also known as coaxial cables. Cables are cables that consist of one or more electrically insulated conductors and additional elements such as sheath, reinforcement and shields.
  • DE 195 24 526 AI contains a coaxial cable which comprises a central conductor and an outer conductor, which are separated from one another by an electrically insulating layer.
  • the outer conductor of the cable is optionally provided with at least one protective coating.
  • the outer conductor of the cable represents an electrically conductive lacquer layer, which is further preferably provided with a metal layer. This additional metal layer is applied galvanically. The cable is pulled through a bath to form the electrically conductive lacquer layer. As a result, no constant layer thicknesses of the outer conductor can largely be guaranteed.
  • the paint layer contains conductive particles made of metal, preferably silver or copper, which after drying become electrical Form conductive paths. These paths are based on the touch of these particles. An insufficient number of these particles and / or electrically non-conductive oxide layers on the particles cannot lead to interruptions in the outer conductor.
  • a vacuum evaporation system wherein in the vapor deposition zone, the strip to be vaporized is the vaporization space against the
  • the polarity reversal space is separated and the back of the tape is at least partially exposed in the vapor deposition toward the winding space. This releases gases that are released during the
  • Temperature of the substrate can be controlled so that even a thick layer on the
  • Substrate can be deposited.
  • Plastic film is avoided during vapor deposition.
  • the plastic film is pre-cooled by a cooling roller in this vacuum system to a temperature which corresponds to the temperature increase to be expected due to the evaporation.
  • the substrate to be coated is only in the main chamber.
  • Ribbon cables as cables are cables that consist of one or more electrically conductive conductors and additional elements such as sheath as an insulating sleeve and shields. Conductors are preferably made of copper and are used to conduct electrical current, in the narrower sense a structural element of the ribbon cable intended for the transmission of electrical energy or electrical signals. The ladder is covered by a coat. Ribbon cable is known to consist of a ribbon-shaped plastic in which electrical conductors are introduced. The electrical conductors are ribbon-shaped and are introduced during the production of the ribbon-shaped plastic. The band-shaped plastic is produced by extrusion. This is a continuous process for processing thermoplastic molding compounds so that long strips can be made from plastic.
  • the ribbon cable After cooling the extruded ribbon-shaped plastic with the embedded ribbon-shaped conductors, the ribbon cable is realized.
  • the extruded plastic is further characterized by a low release of gas in a vacuum and a high level of adhesion to vapor-deposited layers.
  • the ribbon cable is advantageously wound on reel-shaped rolls.
  • a shield as at least one layer of a vapor-deposited, electrically conductive material is applied as an insulating sleeve.
  • the shield thus envelops the coat.
  • the devices for coating the ribbon cables are located
  • Evaporators between two rollers for the ribbon cable on the one hand and the shielded ribbon cable on the other.
  • the pretreatment device and the evaporators advantageously work quasi-continuously. Steaming takes place at a uniform speed of the ribbon cable. Furthermore, there is between either two systems, each consisting of both a pre-treatment
  • Ribbon cable is continuously provided with an electrically conductive material.
  • Layers represent a diverse and mature process.
  • the material to be evaporated is heated up by suitable processes until it is one
  • Copper layers on the ribbon cables have the same physico-chemical properties as the base material.
  • the shield is a large one as at least one vapor-deposited layer of an electrically conductive material
  • claim 2 advantageously leads to shielded ribbon cables with several conductors shielded from each other. This is achieved by inserting the openings in the jacket between the conductors. The remaining webs between the openings ensure that the ribbon cable with the conductors is held in place. The shielding between the conductors is ensured by a layer on the wall of the opening, areas of the walls of the openings being simultaneously provided with a vapor-deposited layer when the jacket is vapor-deposited. This enables ribbon cables with several conductors shielded from each other to be produced very economically.
  • This protective layer is advantageously an extruded layer or a lacquer layer. This protects the ribbon cable and, above all, the shielding, in particular against mechanical stress. At the same time, protection against the environmental influences surrounding the ribbon cable is guaranteed.
  • Insulation layer according to the developments of claims 4 and 17 leads to a further shielding of the shielded ribbon cable. This also eliminates external influences on the shielded ribbon cable.
  • this additional shielding is placed on an electrical potential.
  • At least three evacuable processing chambers are arranged in the processing direction according to the development of claim 6.
  • This can be both individually implemented chambers and an evacuable processing chamber with several partition walls.
  • the ribbon cable is led from the evacuable processing chamber to the evacuable processing chamber in openings or tubular connecting parts, so that there is a continuous processing of the ribbon cable.
  • pressure equalization between the evacuable processing chambers can be reduced during processing.
  • a wall separating the evacuable processing chambers advantageously leads to a simple and compact implementation of the device for coating ribbon cables.
  • the main advantage of this design is that only a vacuum necessary in accordance with the processing has to be realized in the respective evacuable processing chamber.
  • a layer of copper is advantageously vapor-deposited on both sides, the copper layers on the ribbon cable having the same physico-chemical properties as the base material.
  • a protective layer is advantageously subsequently applied to the vapor-coated copper layers on both sides by sputtering.
  • Sputtering is a technique of atomizing solid surfaces in vacuo to produce high-quality and adhesive layers. Bombardment with ions allows stoichiometric dusting of the solid surface as a so-called target, metals, alloys and dielectrics, and on copper surfaces of the ribbon cables to be brought to condensation.
  • a gas discharge in the working gas preferably argon, is ignited by applying a high voltage between the targets and the copper layers. The positive ions become the negative biased
  • Target accelerates. With the impact of the ions, the surface of the target is atomized.
  • the sputter rate as the number of particles sputtered from the target per incident ion is primarily a function of the energy of the ions
  • Ratio of the relative atomic masses of working gas and target material The layers formed by the sputtering process have in the first stages
  • Metal layers are applied as a shield to the ribbon cable, the first vapor-deposited copper layer the actual shield and the sputtered
  • NiCr as the target material of the sputtering devices according to the development of claim 7 leads to a corrosion-resistant protective layer on the copper layers.
  • a ribbon turner is arranged between the two vaporization devices, so that the ribbon cable can be vaporized with copper on both sides. At the same time, it is ensured that there are equal contact surfaces between the ribbon cable and the respective cooling roller.
  • the evaporators of the two vaporization devices are arranged in one plane and between the cooling rollers and the evaporators at least one deflection roller for guiding and guiding the ribbon cable from the second cooling roller to the third evacuable processing chamber, advantageously opposite surfaces of the ribbon cable can be coated be, with no tape turner between the steaming devices is necessary.
  • the surfaces of the ribbon cable to be vaporized can advantageously be pretreated, in particular also removing contaminants as adhering contamination layers.
  • claim 11 advantageously leads to the fact that several guided ribbon cables can be coated at the same time, so that shielded ribbon cables can be implemented very economically.
  • the developments of claims 13 and 14 advantageously lead to shielded ribbon cables with several electrically conductive conductors, which are also shielded from one another. This is achieved through the openings in the jacket between the conductors.
  • the webs between the openings ensure that the ribbon cable with the conductors is held in place.
  • the shielding between the conductors is either by a layer on the wall of the opening according to the further development of claim 13 or by at least partially filling an electrical conductor, for example from hardened paste-like mixtures of an organic and / or inorganic binder in the openings after the further development of the Claim 14 guaranteed.
  • the first implementation variant is the easiest to manufacture. Areas of the walls of the openings are simultaneously provided with a vapor-deposited layer during the evaporation of the jacket. Thereby can be very economical ribbon cables with several shielded from each other
  • Ladder can be very small.
  • masks can advantageously be used to produce sections that can be predetermined in particular in length. Removal of the layers for contacting the ribbon cable is avoided except for the jacket.
  • Fig. 1 shows a device for coating ribbon cable and thus
  • Fig. 2 Production of shielded ribbon cable with a processing chamber
  • Fig. 2 a device for coating ribbon cable with a processing chamber divided into rooms
  • Fig. 3 a device for coating ribbon cable with spaced evacuable processing chambers
  • Fig. 4 a device for coating ribbon cable without tape changer between 5
  • a shielded ribbon cable in section Fig. 6 a two-core shielded ribbon cable in a plan view and in one
  • Section and Fig. 7 is a two-core shielded ribbon cable with shields in one
  • Plastic essentially consists of an evacuable processing chamber 1,
  • Evaporators 6 a device for rotating the ribbon cable, guides for the
  • Ribbon cable and the shielded ribbon cable 2 and at least one drive for moving the ribbon cable / shielded ribbon cable 2.
  • FIG. 1 shows a basic illustration of a device for coating ribbon cables and thus for producing shielded ribbon cables 2 with a processing chamber 1.
  • the drive is coupled to the device for releasably fastening the second roller 4 with shielded ribbon cable 2 and is a known electric motor for providing a uniform speed of the ribbon cable in accordance with the vapor deposition process.
  • this electric motor is connected to a control and regulating device.
  • the device for releasably attaching the first roll 3 with ribbon cable is advantageously connected to either a permanently acting braking device or a braking device that can be adjusted via the control and regulating device, so that a tight position of the ribbon cable / shielded ribbon cable 2 is ensured during the movement.
  • the first plasma electrode 5a is arranged for the continuous pretreatment of the first wider surface of the ribbon cable. This results in cleaning, a roughening of this surface in the micro range and the creation of condensation nuclei through the generation of polar surface groups.
  • the first evaporator 6a for the continuous evaporation of the pretreated surface with an electrically conductive material, in particular copper.
  • an electrically conductive material in particular copper.
  • Known directly heated block evaporators with wire feeding, radiation-heated ones can be used as evaporators Crucible evaporators, radiation-heated block evaporators with wire lining and radiation-heated linear evaporators are used.
  • Evaporators with wire lining are used, the wire consisting of the electrically conductive material to be evaporated.
  • the wire is moved and guided by a rotatably mounted wire coil to the evaporator.
  • Movement is based on a pair of rollers, with another electric motor with a
  • Roller is coupled and pulls the wire from the wire spool.
  • Both ceramic boats and tungsten funnel coils can be used as evaporators, for example. Tungsten funnel spirals advantageously require significantly less energy for the same ⁇ or better evaporation rate.
  • the electric motor for the wire is connected to the control and regulating device.
  • a ribbon turner 7 as a device for rotating the ribbon cable in the processing chamber 1.
  • the ribbon turner 7 consists either of a tube rotated in its longitudinal axis, of a channel rotated in its longitudinal axis, or several pairs of rollers, see above that the ribbon cable is turned by 180 °.
  • the second plasma electrode 5b for continuous pretreatment of the surface of the ribbon cable opposite the surface with the vapor-deposited electrically conductive material is located after the ribbon turner 7 in the direction of movement of the ribbon cable coated on one side.
  • a second evaporator 6b is arranged in the processing chamber 1 for the continuous vapor deposition of this surface of the ribbon cable.
  • the design of this second evaporator 6b corresponds to that of the first evaporator 6a.
  • the opposite, broad surfaces of the ribbon cable are thus provided with a vapor-deposited, electrically conductive layer.
  • a shielded ribbon cable 2 is thus realized. This shielded ribbon cable 2 is wound on the second roll 4 in the processing chamber 8.
  • the functions of the vacuum-generating devices for the evacuable processing chamber 1, the speeds of the electric motors, the operation of the plasma electrodes 5 and the temperatures of the evaporators 6 are controlled by the control and control device influenced.
  • the setting is made in accordance with the ribbon cable to be coated and the layers to be implemented
  • a known tubular magnetron sputtering system can be arranged after the second evaporator 6b.
  • the tubular target reacts with constituents of the plasma between this target and the shielded ribbon cable 2, so that the chemical reaction product is deposited on the surface of the shielded ribbon cable 2.
  • a mixture of argon with a reactive gas is preferably used as the plasma.
  • a NiCr layer is applied over the tubular magnetron sputtering system.
  • a device for coating ribbon cable essentially consists of at least three evacuable processing chambers 1, devices for releasably attaching a first roller 3 with the ribbon cable and a second roller 4 with the shielded ribbon cable 2, cleaning devices for the ribbon cable, two vaporization devices and two sputtering devices.
  • FIG. 2 shows a basic illustration of a device for coating ribbon cables with a processing chamber 1 divided into rooms.
  • the ribbon cable is a strip-shaped extruded plastic in which ribbon-shaped electrical conductors 14 are embedded.
  • the ribbon cable is initially on the first roll 3 and after processing on the second roll 4.
  • devices for releasably fastening these rolls 3, 4 are arranged. These devices act as unwinder and as rewinder, at least the rewinder being connected to a drive.
  • This drive can be arranged either in the first evacuable processing chamber la or outside it.
  • Such devices including a coupled drive are known and are therefore not shown in the figures.
  • the first evacuable processing chamber la there are two plasma electrodes 5a, 5b spaced apart from the ribbon cable after the first roll 3 for cleaning, roughening this surface in the micro range and creating condensation nuclei by generating polar surface groups in the first evacuable processing chamber la, the ribbon cable is guided between these plasma electrodes 5a, 5b.
  • two evaporators 6a, 6b for copper are arranged in succession for coating the ribbon cable on both sides at least in regions, each opposite a cooling roller 8a, 8b for simultaneously guiding the ribbon cable.
  • a strip turner 7 is located between the cooling rollers 8a, 8b, so that vapor deposition with copper is ensured on both sides.
  • the technology and devices for evaporation are known - see also the explanations in the first exemplary embodiment, so that the evaporators 6a, 6b are only shown in principle in the figures.
  • two sputtering devices are arranged at a distance for depositing a protective layer on both sides onto the copper layers of the shielded ribbon cable 2.
  • two targets 9a, 9b made of NiCr are spaced apart in the third evacuable processing chamber 1c.
  • An NiCr layer is applied to the copper layers of the shielded ribbon cable 2.
  • a magnetic field-assisted target atomization using so-called high-performance magnetrons is used as the device for sputtering.
  • the target holders on the back are also equipped with magnetic systems that lead to a very high plasma concentration in front of the target due to the field penetration. Large atomization yields are thereby achieved.
  • the electrons generated in the process are directed to an auxiliary electrode arranged in the cathode area and extracted.
  • the shielded ribbon cable 2 is therefore predominantly hit by atomized NiCr as a material, as a result of which low temperatures of the shielded ribbon cable 2 arise.
  • Another advantage is that due to the high plasma density reduced resistance of the plasma leads to very low discharge voltages.
  • the evacuable processing chambers la, lb, lc are advantageously components of a chamber.
  • the individual evacuable processing chambers la, lb, lc are formed by corresponding partition walls 10. Through openings 11 in this
  • the ribbon cable / shielded ribbon cable 2 is guided between the walls.
  • Each of the evacuable processing chambers la, lb, lc has a vacuum-generating one
  • At least the vacuum generating devices, the at least one drive, the plasma electrodes 5a, 5b, the vapor deposition devices and the sputtering devices are connected to at least one control device, so that a continuous coating of the ribbon cable is ensured.
  • the evacuable processing chambers la, lb, lc, ld can also be arranged in a row (illustration in FIG. 3).
  • the device as a winder is not in the first evacuable processing chamber la, but in a fourth evacuable processing chamber ld.
  • the evacuable processing chambers la, lb, lc, ld can be implemented as independent units, the transport of the Ribbon cable / shielded ribbon cable 2 through openings in walls and attached tubes 12 from evacuable processing chamber to evacuable
  • the belt turner 7 can be omitted in the second evacuable processing chamber 1b.
  • the evaporators 6a, 6b of the two vaporization devices are located on one level.
  • At least one deflection roller 13 for guiding and guiding the shielded ribbon cable 2 from the second cooling roller 5b to the third evacuable processing chamber 1c is arranged between the cooling rollers 5a, 5b (illustration in FIG. 4).
  • Such an embodiment is also particularly advantageous for the coating of a plurality of ribbon cables which are routed in parallel. For this purpose, several rolls are arranged on the unwinder and the unwinder as first rolls 3 and second rolls 4. The ribbon cables are routed in parallel in the device for coating ribbon cables, so that at the same time several ribbon cables can be coated in parallel.
  • a shielded ribbon cable 2 consists of flat conductors as electrical conductors 14
  • Conductors 14 are in an extruded plastic made of polyethersulfone,
  • the jacket 15 and the conductors 14 form a known ribbon cable manufactured using known methods.
  • the ribbon cable is located on a roll 3, which is rotatably mounted in an evacuable processing chamber 1.
  • the Ribbon cable is in this evacuable processing chamber 1 at a uniform speed after pretreatment of surfaces
  • Evaporators 6a, 6b are guided in such a way that the wider, opposite surfaces of the ribbon cable are provided with a vapor-deposited layer 16 made of an electrically conductive material, in particular copper. Tin or silver can also be vapor-deposited as an electrically conductive material.
  • the shielded ribbon cable 2 is thus realized (illustration in FIG. 5).
  • the pretreatment of the surfaces serves for pre-cleaning, the roughening of the surface in the
  • Plasma activation used.
  • the speed of the ribbon cable depends on the required layer thickness and the evaporation rate.
  • the shielded ribbon cable 2 is placed on a second rotatably mounted and detachable roll
  • a NiCr layer can be applied to the vapor-deposited layer made of copper. This layer is sputtered on in a tubular magnetron. This is reactive sputtering, where a target reacts with components of a plasma in such a way that the chemical reaction product is deposited on the surface of the copper layer.
  • a shielded ribbon cable 2 consists of at least two electrical conductors 14 (wires) which are arranged at a distance from one another and which are sheathed by a jacket 15 as an insulator made of an extruded plastic.
  • the jacket 15 is preferably made of the materials of the third embodiment.
  • the electrical conductors 14 are flat conductors, with at least two electrical conductors 14 being present in the jacket 15 as two-core ribbon cables. Openings 17 are introduced between the electrical conductors 14, spaced apart and running parallel to the electrical conductors 14, advantageously punched or through the action of electromagnetic ones Beams in the form of laser beams.
  • the distances are webs that serve the firm hold of the shielded ribbon cable 2. The length of the webs is less than ⁇ / 20.
  • This ribbon cable is then in at least one processing chamber 1 with at least two evaporators 6 with a layer 16 of an electrically conductive material, in particular copper, tin or silver, the same as that of the third
  • the ribbon cable is guided in such a way that, at least in addition to the opposing wide surfaces, areas of the
  • Walls of the openings 17 are pretreated and the electrically conductive material is evaporated. As a result, there is also a shield in addition to the outside
  • Shielding is present between the electrical conductors 14, so that an at least two-core shielded ribbon cable 2 is realized.
  • the illustration in FIG. 6 shows a two-core flinned ribbon cable 2 in a top view and in one
  • the openings 17 are at least partially filled with an electrically conductive material before the vapor deposition.
  • an electrically conductive material is in particular a hardened electrical conductive adhesive, a dried electrically conductive lacquer or a hardened paste-like mixture of an organic and / or inorganic binder. Such materials are available.
  • the multicore ribbon cable pretreated in this way is pretreated in the at least one evacuable processing chamber 1 at least on the broad surfaces and an electrically conductive material is evaporated, so that a two-core shielded ribbon cable 2 is realized.
  • a NiCr layer can be applied to the evaporated copper layer. This layer is sputtered on in a tubular magnetron. This is reactive sputtering, where a target reacts with components of a plasma in such a way that the chemical reaction product is deposited on the surface of the copper layer.
  • these shielded ribbon cables 2 can be provided with an electrical insulation layer 18. This is in particular an extruded plastic or a layer of paint, so that a
  • a layer 19 of a vapor-deposited electrical material can be arranged on this electrical insulation layer 18 (illustration in FIG. 7).
  • Layer 19 can advantageously be applied by the devices according to the first and second exemplary embodiment.
  • the devices according to the first and second exemplary embodiment can advantageously be applied by the devices according to the first and second exemplary embodiment.
  • Embodiment of this layer 19 also with another electrical
  • Insulation layer be provided.
  • the electrically conductive material can also be evaporated only in sections.
  • the lengths of these sections can be specified via masks, so that the shielded ribbon cable 2 is easily contacted.
  • the outward-facing electrical insulation layer can also be applied in sections. This also provides for easy contacting of the shielded ribbon cable 2 designed in this way.
  • the ribbon cable can of course also have more than two electrical conductors 14 arranged at a distance from one another, so that a multi-core shielded ribbon cable 2 can be realized.

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Abstract

Die Erfindung betrifft Verfahren zur Herstellung geschirmter Flachbandkabel, Vorrichtungen zum Beschichten von Flachbandkabel und geschirmte Flachbandkabel. Die Vorrichtungen zeichnen sich insbesonders dadurch aus, dass Flachbandkabel mit Metall als Abschirmung kontinuierlich beschichtet wird. Die Realisierung der Abschirmung des sich auf den Rollen befindenden Flachbandkabels erfolgt in wenigstens einer evakuierbaren Bearbeitungskammer. Zur Herstellung der Abschirmung des Flachbandkabels wird vorteilhafterweise eine Schicht aus einem elektrisch leitfähigem Material beidseitig aufgedampft. Das geschirmte Flachbandkabel besteht aus elektrischen Leitern in einem Mantel und aufgedampften Schichten aus elektrisch leitfähigem Material. Der Mantel ist ein extrudierter Kunststoff, der sich weiterhin durch eine geringe Abgabe von Gasmengen im Vakuum und einem grossem Haftvermögen gegenüber aufgedampften Schichten auszeichnet. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass auch Kabel mit sehr kleinen Querschnitten einfach mit einer Abschirmung versehen werden können.

Description

Beschreibung
Verfahren zur Herstellung geschirmter Flachbandkabel, Vonichtung zum Beschichten von Flachbandkabel und geschirmtes Flachbandkabel
Die Erfindung betrifft Verfahren zur Herstellung geschirmter Flachbandkabel, Vorrichtungen zum Beschichten von Flachbandkabel und geschirmte Flachbandkabel nach den Oberbegriffen der Patentansprüche 1, 5 und 12.
Geschirmte Flachbandkabel sind auch als Koaxialkabel bekannt. Kabel sind Leitungen, die aus einem oder mehreren elektrisch isolierten Leitern und zusätzlichen Elementen wie Mantel, Bewehrung und Abschirmungen bestehen.
In der DE 33 08 300 AI (Hochflexible Miniaturkoaxialleitung) wird eine Leitung beschrieben, die sich durch einen hochflexiblen Aufbau auszeichnet. Dazu befindet sich eine eng anliegende elastische und elektrisch leitfähige extrudierte Schicht unmittelbar auf dem Außenleiter. Weiterhin ist auf diese Schicht eine äußere isolierende Außenhülle extrudiert. Für das Aufbringen dieser elastischen und elektrisch leitfähigen Schicht ist ein zusätzlicher Arbeitsschritt notwendig. Gleichzeitig erhöht diese Schicht den Außendurchmesser des Flachbandkabels.
Die DE 195 24 526 AI (Koaxialkabel) beinhaltet ein Koaxialkabel, das einen Zentralleiter und einen Außenleiter umfasst, die voneinander durch eine elektrisch isolierende Schicht getrennt sind. Der Außenleiter des Kabels ist gegebenenfalls mit zumindest einer Schutzbeschichtung versehen. Der Außenleiter des Kabel stellt eine elektrisch leitfähige Lackschicht dar, die weiterhin vorzugsweise mit einer Metallschicht versehen ist. Diese weitere Metallschicht wird galvanisch aufgebracht. Für die Ausbildung der elektrisch leitfähigen Lackschicht, wird das Kabel durch ein Bad gezogen. Damit können weitestgehend keine gleichbleibenden Schichtdicken des Außenleiters gewährleistet werden. Die Lackschicht beinhaltet leitfähige Partikel aus Metall, vorzugsweise aus Silber oder Kupfer, die nach dem Trocknen elektrisch leitfähige Pfade bilden. Diese Pfade beruhen auf der Berührung dieser Partikel. Durch eine zu geringe Anzahl dieser Partikel und/oder elektrisch nichtleitende Oxidschichten auf den Partikeln können Unterbrechungen im Außenleiter nicht ausgeschlossen werden.
Durch die DE 21 41 723 AI (Vakkuum-Bedampfungsanlage zur kontinuierlichen
Bedampfung von Bändern u. dgl.) ist eine Vakuum-Bedampfungsanlage bekannt, wobei in der Aufdampfzone das zu bedampfende Band den Bedampfungsraum gegen den
Umpolraum abtrennt und die Bandrückseite in der Aufdampfzoiie zum Umspulraum hin zumindest teilweise offenliegt. Damit gelangen frei werdende Gase während der
Bedampfung nicht in den Bedampfungsraum.
In der DE 27 58 772 AI (Verfahren zur Herstellung eines bandförmigen, magnetischen
Aufzeichnungsträgers) wird ein Verfahren zur Herstellung eines bandfönnigen, magnetischen Aufzeichnungsträger beschrieben, wobei das Substrat schräg angeordnet ist und auf einer heiz- oder kühlbaren Trommel geführt ist. Dadurch kann die
Temperatur des Substrates gesteuert werden, so dass auch ein dicke Schicht auf dem
Substrat abgeschieden werden kann.
Mehrere Kühlwalzen werden in der DE 42 21 800 (Vakuumanlage zur Erzeugung von
Oxidschichten auf Kunststofffolien) eingesetzt, so dass eine Überhitzung der
Kunststofffolie während der Bedampfung vermieden wird. Die Kunststofffolie wird durch eine Kühlwalze in dieser Vakuumanlage auf eine Temperatur, welche der durch die Bedampfung zu erwartenden Temperaturerhöhung entspricht, vorgekühlt.
In der DE 196 25 875 AI (Anlage für die plasmaunterstützte physikalische Bedampfung von Werkstücken) wird eine Anlage beschrieben, die aus einer Haupt- und einer
Nebenkammer besteht. Das zu beschichtende Substrat befindet sich ausschließlich in der Hauptkammer.
Diese bekannten Einrichtungen eignen sich einzeln nicht für eine zweiseitige
Bedampfung eines bandförmigen Substrates. Der in den Patentansprüchen 1, 5 und 12 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, geschirmte Flachbandkabel aus in einem extrudiertem Kunststoff eingebetteten elektrischen Leitern kontinuierlich, einfach und ökonomisch herzustellen.
Diese Aufgabe wird mit den in den Patentansprüchen 1, 5 und 12 aufgeführten Merkmalen gelöst.
Flachbandkabel als Kabel sind Leitungen, die aus einem oder mehreren elektrisch leitfähigen Leitern und zusätzlichen Elementen wie Mantel als Isolierhülle und Abschirmungen bestehen. Leiter bestehen vorzugsweise aus Kupfer und dienen der Leitung von elektrischen Strom, im engeren Sinne ein für die Fortleitung elektrischer Energie oder elektrischer Signale bestimmtes Aufbauelement des Flachbandkabels. Die Leiter sind von einem Mantel umhüllt. Flachbandkabel besteht bekannterweise aus einem bandförmigen Kunststoff, in dem elektrische Leiter eingebracht sind. Die elektrischen Leiter sind bändchenförmig ausgebildet und werden während der Herstellung des bandförmigen Kunststoffes eingebracht. Durch Extrudieren wird der bandförmige Kunststoff realisiert. Das ist ein kontinuierliches Verfahren zur Verarbeitung thermoplastischer Formmassen, so dass lange Bänder aus Kunststoff hergestellt werden können. Nach Abkühlung des extrudierten bandförmigen Kunststoffes mit den eingelagerten bändchenförmigen Leitern ist das Flachbandkabel realisiert. Der extrudierte Kunststoff zeichnet sich weiterhin durch eine geringe Abgabe von Gasmengen im Vakuum und einem großem Haftvermögen gegenüber aufgedampften Schichten aus. Vorteilhafterweise wird das Flachbandkabel auf spulenförmige Rollen aufgewickelt.
Erfindungsgemäß wird auf dem Mantel als Isolierhülle ein Abschirmung als wenigstens eine Schicht eines aufgedampften elektrisch leitfähigen Materials aufgebracht. Die Abschirmung umhüllt damit den Mantel.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass auch Flachbandkabel mit sehr kleinen Querschnitten einfach mit einer Abschirmung versehen werden können. Die Temperaturbelastung des Mantels wird über dessen Geschwindigkeit beim
Aufdampfprozess minimiert. Bei größeren Schichtdicken des Außenleiters werden vorteilhafterweise mehrere Schichten des elektrisch leitfähigen Materials aufgedampft.
Damit können auf erhöhten Temperaturen basierende Fehler im Mantel weitestgehend vermieden werden. Es werden insbesondere die sich gegenüberliegenden breiten
Oberflächen des Flachbandkabels mit einem aufgedampften elektrisch leitfähigen
Material versehen.
Dadurch ist eine sehr ökonomische Herstellung möglich, wobei über zwei Verdampfer in der Bearbeitungskammer diese Oberflächen mit dem elektrisch leitfähigen Material versehen werden.
Dazu befinden sich in Vorrichtungen zum Beschichten der Flachbandkabel die
Oberfläche über eine Plasmaaktivierung vorbehandelnde Einrichtungen und zwei
Verdampfern zwischen zwei Rollen für zum einen das Flachbandkabel und zum anderen das geschirmte Flachbandkabel. Die vorbehandelnde Einrichtung und die Verdampfer arbeiten vorteilhafterweise quasikontinuierlich. Die Bedampfung erfolgt bei einer gleichförmigen Geschwindigkeit des Flachbandkabels. Weiterhin befindet sich zwischen entweder zwei Systemen bestehend jeweils aus sowohl einer vorbehandelnden
Einrichtung als auch wenigstens einem Verdampfer oder den beiden Verdampfern eine
Vonichtung zum Drehen des Flachbandkabels, so dass die der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegende Oberfläche des
Flachbandkabels kontinuierlich mit einem elektrisch leitfähigen Material versehen wird.
Zur Herstellung dieser Abschirmung des Flachbandkabels wird vorteilhafterweise eine
Schicht aus Kupfer beidseitig aufgedampft.
Das Verdampfen von metallischen Stoffen im Hochvakuum zur Herstellung dünner
Schichten stellt ein vielfältiges und ausgereiftes Verfahren dar. Dabei wird der zu verdampfende Werkstoff durch geeignete Verfahren soweit aufgeheizt, bis dieser einen
Eigendampfdruck von 1 bis 10 Pa erreicht. Die entstehenden Dampfteilchen breiten sich bei entsprechend geringem Druck in der evakuierten Bearbeitungskammer geradlinig aus und kondensieren überwiegend auf der der Quelle gegenüberliegenden Oberfläche des Flachbandkabels. Das Verfahren eignet sich vorteilhafterweise zur Metallisierung des Kunststoffes des Flachbandkabels. Dabei werden gegenüber dem Sputtern große Abscheideraten realisiert. Ein weiterer Vorteil des Aufdampfens besteht darin, dass den
Kupferschichten auf den Flachbandkabel gleiche physikalisch-chemische Eigenschaften wie dem Grundwerkstoff zukommen.
Vorteilhafterweise besteht der Mantel als Isolator aus einem der Polymere
Polyethersulfon, Polyetherimid oder Polyethemaphthalat oder einem Derivat dieser
Polymere oder einem Gemisch, das diese Polymere und/oder Derivate dieser Polymere enthält. Diese Materialien zeichnen sich dadurch aus, dass die Abschirmung als mindestens eine aufgedampfte Schicht eines elektrisch leitenden Materials eine große
Haftfestigkeit auf dem Mantel besitzt.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen 2 bis 4, 6 bis 11 und 13 bis 17 angegeben.
Die Weiterbildung des Patentanspruchs 2 fuhrt vorteilhafterweise zu geschirmten Flachbandkabeln mit mehreren voneinander geschirmten Leitern. Das wird durch das Einbringen der Öffnungen im Mantel zwischen den Leitern erreicht. Die verbleibenden Stege zwischen den Öffnungen sichern den Halt des Flachbandkabels mit den Leitern. Die Abschirmung zwischen den Leitern wird durch eine Schicht auf der Wandung der Öffnung gewährleistet, wobei Bereiche der Wandungen der Öffnungen bei der Bedampfung des Mantels gleichzeitig mit einer aufgedampften Schicht versehen werden. Dadurch können sehr ökonomisch Flachbandkabel mit mehreren voneinander geschirmten Leitern hergestellt werden.
Die Weiterbildungen der Patentansprüche 3 und 15 führen zu einer Schutzschicht auf der Abschirmung. Diese Schutzschicht ist vorteilhafterweise eine extrudierte Schicht oder eine Lackschicht. Damit werden die Flachbandkabel und vor allem die Abschirmung insbesondere vor mechanischen Beanspruchungen geschützt. Gleichzeitig ist ein Schutz vor dem das Flachbandkabel umgebenden Umwelteinflüssen gewährleistet. Eine weitere aufgedampfte elektrisch leitfähige Schicht auf der elektrischen
Isolationsschicht nach den Weiterbildungen der Patentansprüche 4 und 17 fuhrt zu einer weiteren Abschirmung des geschirmten Flachbandkabels. Damit können auch von außen wirkende Störeinflüsse auf das geschirmte Flachbandkabel eliminiert werden.
Dazu wird diese weitere Abschirmung auf ein elektrisches Potential gelegt.
Zur Realisierung der Abschirmung des sich auf den Rollen befindenden Flachbandkabels sind in Bearbeitungsrichtung nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 6 wenigstens drei evakuierbare Bearbeitungskammern angeordnet. Das können sowohl einzeln realisierte Kammern als auch eine evakuierbare Bearbeitungskammer mit mehreren Trennwänden sein. In Öffnungen oder rohrför igen Verbindungsteilen wird das Flachbandkabel von evakuierbarer Bearbeitungskammer zu evakuierbarer Bearbeitungskammer geführt, so dass eine kontinuierliche Bearbeitung des Flachbandkabels gegeben ist. Weiterhin können durch einen an die Flachbandkabel angepassten Querschnitt entweder der Öffnungen oder Öffnungen und Rohre kann ein Druckausgleich zwischen den evakuierbaren Bearbeitungskammern während der Bearbeitung veningert werden. Eine Wandung als Trennung der evakuierbaren Bearbeitungskammern führt vorteilhafterweise zu einer einfachen und kompakten Realisierung der Vorrichtung zur Beschichtung von Flachbandkabel. Der wesentliche Vorteil dieser Bauweise besteht darin, dass nur ein entsprechend der Bearbeitung notwendiges Vakuum in der jeweiligen evakuierbaren Bearbeitungskammer realisiert werden muss.
Zur Herstellung der Abschirmung des Flachbandkabels wird vorteilhafterweise eine Schicht aus Kupfer beidseitig aufgedampft, wobei den Kupferschichten auf dem Flachbandkabel gleiche physikalisch-chemische Eigenschaften wie dem Grundwerkstoff zukommen. Vorteilhafterweise wird nachfolgend auf die bedampften Kupferschichten beidseitig eine Schutzschicht durch Sputtern aufgebracht. Das Sputtern ist eine Zerstäubungstechnik von Festkörperoberflächen im Vakuum zur Herstellung hochwertiger und haftfester Schichten. Durch einen Beschuss mit Ionen können stöchiometrisch von der Festkörperoberfläche als sogenanntes Target Metalle, Legierungen und Dielektrika abgestäubt und auf Kupferoberflächen der Flachbandkabel zur Kondensation gebracht werden. Dazu wird durch Anlegen einer Hochspannung zwischen den Targets und den Kupferschichten eine Gasentladung im Arbeitsgas, vorzugsweise Argon, gezündet. Die positiven Ionen werden zum negativ vorgespannten
Target beschleunigt. Mit dem Auftreffen der Ionen zerstäubt die betreffende Oberfläche des Targets. Die Sputterrate als Anzahl vom Target abgestäubter Teilchen pro einfallendes Ion ist vorrangig eine Funktion der Energie der Ionen
(Elektrodenspannung), des Einfallswinkels der Ionen auf das Target sowie des
Verhältnisses der relativen Atommassen von Arbeitsgas und Targetmaterial. Die sich durch den Sputterprozess bildenden Schichten haben in den ersten Stadien der
Kondensation eine größere Keimdichte als Aufdampfschichten bei gleicher Teilchenrate und sonst gleichen Bedingungen. Allerdings ist die erreichbare Rate bei der
Abscheidung dicker Schichten geringer, so dass eine größere Zeitdauer notwendig ist.
Damit eignet sich das Sputterverfahren vorteilhafterweise zur Abscheidung dünner
Schichten, hier zur Realisierung einer dünnen Schutzschicht für die Kupferschicht.
Mit der Anwendung der verschiedenen Abscheideverfahren in Form des Aufdampfens und des Sputterns können vorteilhafterweise sowohl kontinuierlich als auch ökonomisch
Metallschichten als Abschirmung auf das Flachbandkabel aufgebracht werden, wobei die erste aufgedampfte Kupferschicht die eigentliche Abschirmung und die gesputterte
Schicht auf der Kupferschicht die Schutzschicht gegenüber Korrosion,
Umwelteinflüssen und Berührungsschutz darstellen. Damit ist ein kontinuierlicher
Durchsatz realisierbar.
NiCr als Targetmaterial der Sputtereinrichtungen nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 7 führt zu einer korrosionsfesten Schutzschicht auf den Kupferschichten.
Vorteilhafterweise ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 8 zwischen den beiden Bedampfungseinrichtungen ein Bandwender angeordnet, so dass das Flachbandkabel beidseitig mit Kupfer bedampfbar ist. Gleichzeitig wird dabei sichergestellt, dass gleiche Berührungsflächen zwischen Flachbandkabel und jeweiliger Kühlwalze vorhanden sind. Mit der Weiterbildung des Patentanspruchs 9, wobei die Verdampfer der beiden Bedampfungseinrichtungen in einer Ebene und zwischen den Kühlwalzen und den Verdampfern mindestens eine Umlenkrolle zur Führung und Ableitung des Flachbandkabels von der zweiten Kühlwalze zur dritten evakuierbaren Bearbeitungskammer angeordnet sind, können vorteilhafterweise gegenüberliegende Oberflächen des Flachbandkabels beschichtet werden, wobei kein Bandwender zwischen den Bedampfungseinrichtungen notwendig ist.
Durch zwei Plasmaelektroden, zwischen denen das Flachbandkabel vor dem Bedampfen geführt ist, nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 10 können vorteilhafterweise die zu bedampfenden Oberflächen des Flachbandkabels vorbehandelt werden, wobei insbesondere auch Verunreinigungen als anhaftende Kontaminationsschichten entfernt werden.
Die Weiterbildung des Patentanspruchs 11 führt vorteilhafterweise dazu, dass mehrere geführte Flachbandkabel gleichzeitig beschichtbar sind, so dass abgeschirmte Flachbandkabel sehr ökonomisch realisierbar sind.
Die Weiterbildungen der Patentansprüche 13 und 14 fuhren vorteilhafterweise zu geschirmten Flachbandkabeln mit mehreren elektrisch leitfähigen Leitern, die auch voneinander geschirmt sind. Das wird durch die Öffnungen erreicht, die im Mantel zwischen den Leitern eingebracht sind. Die Stege zwischen den Öffnungen sichern den Halt des Flachbandkabels mit den Leitern. Die Abschirmung zwischen den Leitern wird durch entweder eine Schicht auf der Wandung der Öffnung nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 13 oder durch wenigstens eine teilweise Füllung eines elektrischen Leiters zum Beispiel aus ausgehärteten pastenartigen Mischungen eines organischen und/oder anorganischen Binders in den Öffnungen nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 14 gewährleistet. Die erste Realisierungsvariante lässt sich am Einfachsten herstellen. Bereiche der Wandungen der Öffnungen werden gleichzeitig bei der Bedampfung des Mantels mit einer aufgedampften Schicht versehen. Dadurch können sehr ökonomisch Flachbandkabel mit mehreren voneinander geschirmten
Leitern hergestellt werden. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass die Abstände der
Leiter sehr klein sein können.
Masken können nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 16 vorteilhafterweise dazu dienen, insbesondere in ihrer Länge vorbestimmbaren Abschnitte herzustellen. Eine Entfernung der Schichten zur Kontaktierung des Flachbandkabels wird bis auf den Mantel vennieden.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen jeweils als prinzipielle Darstellung:
Fig. 1 eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel und damit zur
Herstellung geschirmter Flachbandkabel mit einer Bearbeitungskammer, Fig. 2 eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel mit einer in Räume geteilten Bearbeitungskammer, Fig. 3 eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel mit beabstandet angeordneten evakuierbaren Bearbeitungskammern, Fig. 4 eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel ohne Bandwender zwischen den Bedampfungseinrichtungen, Fig. 5 ein abgeschirmtes Flachbandkabel im Schnitt, Fig. 6 ein zweiadriges abgeschirmtes Flachbandkabel in einer Draufsicht und in einem
Schnitt und Fig. 7 ein zweiadriges abgeschirmtes Flachbandkabel mit Abschirmungen in einem
Schnitt.
1. Ausfuhrungsbeispiel
Eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel und damit zur Herstellung geschirmter Flachbandkabel 2 mit elektrischen Leitern 14 als Flachleiter in einem Mantel als Isolator mit überwiegend mehreckigem Querschnitt aus einem extrudiertem
Kunststoff besteht im wesentlichen aus einer evakuierbaren Bearbeitungskammer 1,
Einrichtungen zur lösbaren Befestigung einer ersten Rolle 3 mit Flachbandkabel und einer zweiten Rolle 4 mit geschinnten Flachbandkabel 2, zwei Einrichtungen zur
Vorbehandlung des Flachbandkabels in Fonn von Plasmaelektroden 5, zwei
Verdampfern 6, einer Vorrichtung zum Drehen des Flachbandkabels, Führungen für das
Flachbandkabel und das geschirmte Flachbandkabel 2 und wenigstens einem Antrieb für eine Bewegung des Flachbandkabels/geschirmten Flachbandkabels 2.
Die Fig. 1 zeigt in einer prinzipiellen Darstellung eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel und damit zur Herstellung geschirmter Flachbandkabel 2 mit einer Bearbeitungskammer 1.
Der Antrieb ist mit der Einrichtung zur lösbaren Befestigung der zweiten Rolle 4 mit geschirmten Flachbandkabel 2 gekoppelt und ist ein bekannter Elektromotor zur Bereitstellung einer gleichförmigen Geschwindigkeit des Flachbandkabels entsprechend des Aufdampfprozesses. Dazu ist dieser Elektromotor mit einer Steuer- und Regeleinrichtung verbunden. Die Einrichtung zur lösbaren Befestigung der ersten Rolle 3 mit Flachbandkabel ist vorteilhafterweise mit entweder einer ständig wirkenden Bremsvorrichtung oder einer über die Steuer- und Regeleinrichtung einstellbaren Bremsvorrichtung verbunden, so dass eine straffe Position des Flachbandkabels/geschirmten Flachbandkabels 2 während der Bewegung gewährleistet ist.
In Bewegungsrichtung des Flachbandkabels nach der ersten Rolle 3 ist die erste Plasmaelektrode 5a zur kontinuierlichen Vorbehandlung der ersten breiteren Oberfläche des Flachbandkabels angeordnet. Dadurch erfolgt eine Reinigung, eine Aufrauhung dieser Oberfläche im Mikrobereich und die Anlegung von Kondensationskeimen durch die Erzeugung polarer Oberflächengruppen. Unmittelbar danach befindet sich der erste Verdampfer 6a zur kontinuierlichen Bedampfung der vorbehandelten Oberfläche mit einem elektrisch leitfähigem Material insbesondere Kupfer. Als Verdampfer können bekannte direkt geheizte Blockverdampfer mit Drahtfütterung, strahlungsbeheizte Tiegelverdampfer, strahlungsbeheizte Blockverdampfer mit Drahtfutterung und strahlungsbeheizte Linearverdampfer eingesetzt werden. Vorteilhafterweise kommen
Verdampfer mit Drahtfutterung zum Einsatz, wobei der Draht aus dem aufzudampfenden elektrisch leitfähigen Material besteht. Der Draht wird dabei von einer drehbar gelagerten Drahtspule zu dem Verdampfer bewegt und geführt. Die
Bewegung basiert auf einem Walzenpaar, wobei ein weiterer Elektromotor mit einer
Walze gekoppelt ist und den Draht von der Drahtspule zieht. Als Verdampfer können beispielsweise sowohl Keramikschiffchen als auch Wolfram-Trichterwendeln verwendet werden. Wolfram-Trichterwendeln benötigen vorteilhafterweise bei gleicher ϊ oder besserer Verdampfungsrate deutlich weniger Energie. Der Elektromotor für den Draht ist mit der Steuer- und Regeleinrichtung verbunden. Nach dem ersten Verdampfer 6a befindet sich in Bewegungsrichtung des Flachbandkabels ein Bandwender 7 als Vorrichtung zum Drehen des Flachbandkabels in der Bearbeitungskammer 1. Der Bandwender 7 besteht entweder aus einem in seiner Längsachse gedrehtem Rohr, aus einer in seiner Längsachse gedrehten Rinne oder mehreren Walzenpaaren, so dass das Flachbandkabel um 180° gedreht wird.
Nach dem Bandwender 7 befindet sich in Bewegungsrichtung des einseitig beschichteten Flachbandkabels die zweite Plasmaelektrode 5b zur kontinuierlichen Vorbehandlung der der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegenden Oberfläche des Flachbandkabels. In Bewegungsrichtung des Flachbandkabels nach der zweiten Plasmaelektrode 5b ist ein zweiter Verdampfer 6b zur kontinuierlichen Bedampfung dieser Oberfläche des Flachbandkabels in der Bearbeitungskammer 1 angeordnet. Dieser zweite Verdampfer 6b entspricht in seiner Ausführung dem des ersten Verdampfers 6a. Damit sind die sich gegenüberliegenden breiten Oberflächen des Flachbandkabels mit einer aufgedampften elektrisch leitfähigen Schicht versehen. Damit ist ein abgeschirmtes Flachbandkabel 2 realisiert. Dieses geschirmte Flachbandkabel 2 wird auf die zweite Rolle 4 in der Bearbeitungskammer 8 aufgewickelt.
Die Funktionen der vakuumerzeugenden Einrichtungen f r die evakuierbare Bearbeitungskammer 1, die Geschwindigkeiten der Elektromotore, der Betrieb der Plasmaelektroden 5 und die Temperaturen der Verdampfer 6 werden über die Steuer- und Regeleinrichtung beeinflusst. Die Einstellung erfolgt entsprechend der zu beschichtenden Flachbandkabel und der zu realisierenden Schichten mittels
Bedienelemente.
In einer Ausführungsform des ersten Ausführungsbeispiels kann eine bekannte Rohrmagnetron-Sputteranlage nach dem zweitem Verdampfer 6b angeordnet sein. Dabei reagiert das rohrfönnige Target mit Bestandteilen des Plasmas zwischen diesem Target und dem geschirmten Flachbandkabel 2, so dass das chemische Reaktionsprodukt auf der Oberfläche des geschirmten Flachbandkabels 2 abgeschieden wird. Als Plasma wird hierbei vorzugsweise eine Mischung aus Argon mit einem reaktiven Gas eingesetzt. Über die Rohrmagnetron-Sputteranlage wird eine NiCr-Schicht aufgebracht.
2. Ausführungsbeispiel
Eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel besteht im wesentlichen aus wenigstens drei evakuierbaren Bearbeitungskammern 1, Einrichtungen zur lösbaren Befestigung einer ersten Rolle 3 mit dem Flachbandkabel und einer zweiten Rolle 4 mit dem geschirmten Flachbandkabel 2, Reinigungseinrichtungen für das Flachbandkabel, zwei Bedampfungseinrichtungen und zwei Sputtereinrichtungen.
Die Fig. 2 zeigt in einer prinzipiellen Darstellung eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel mit einer in Räume geteilten Bearbeitungskammer 1.
Das Flachbandkabel ist entsprechend dem des ersten Ausführungsbeispiels ein bandförmiger extrudierter Kunststoff, in dem bändchenfönnige elektrische Leiter 14 eingebettet sind. Das Flachbandkabel befindet sich anfangs auf der ersten Rolle 3 und nach der Bearbeitung auf der zweiten Rolle 4. In der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer la sind Einrichtungen zur lösbaren Befestigung dieser Rollen 3, 4 angeordnet. Diese Einrichtungen fungieren als Abwickler und als Aufwickler, wobei wenigstens der Aufwickler mit einem Antrieb verbunden ist. Dieser Antrieb kann dabei entweder in der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer la oder außerhalb dieser angeordnet sein. Derartige Einrichtungen einschließlich eines angekoppelten Antriebes sind bekannt und deshalb in den Fig. nicht dargestellt. In der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer la befinden sich nach der ersten Rolle 3 mit dem Flachbandkabel beabstandet zwei Plasmaelektroden 5 a, 5b zur Reinigung, Aufrauhung dieser Oberfläche im Mikrobereich und Anlegung von Kondensationskeimen durch die Erzeugung polarer Oberflächengruppen in der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer la, wobei das Flachbandkabel zwischen diesen Plasmaelektroden 5a, 5b geführt ist. In der zweiten evakuierbaren Bearbeitungskammer lb sind nacheinander zwei Verdampfer 6a, 6b für Kupfer zur wenigstens bereichsweise beidseitigen Beschichtung des Flachbandkabels jeweils gegenüber einer Kühlwalze 8a, 8b zur gleichzeitigen Führung des Flachbandkabels angeordnet. Zwischen den Kühlwalzen 8a, 8b befindet sich ein Bandwender 7, so dass eine beidseitige Bedampfung mit Kupfer gewährleistet ist. Die Technologie und Einrichtungen zur Verdampfung sind bekannt - siehe auch die Ausführungen im erstem Ausfuhrungsbeispiel, so dass in den Fig. nur prinzipiell die Verdampfer 6a, 6b gezeigt sind.
In der dritten evakuierbaren Bearbeitungskammer lc sind beabstandet zwei Sputtereinrichtungen zur beidseitigen Abscheidung einer Schutzschicht auf die Kupferschichten des geschirmten Flachbandkabels 2 angeordnet. Dazu befinden sich in der dritten evakuierbaren Bearbeitungskammer lc beabstandet zwei Targets 9a, 9b aus NiCr. Damit wird auf den Kupferschichten des geschirmten Flachbandkabels 2 jeweils eine NiCr-Schicht aufgebracht. Als Einrichtung zum Sputtern kommt eine magnetfeldunterstützte Targetzerstäubung mittels sogenannter Hochleistungs- Magnetrons zur Anwendung. Hierbei sind die Targethalterungen auf der Rückseite zusätzlich mit Magnetsystemen bestückt, die durch den Felddurchgriff zu einer sehr hohen Plasmakonzentration vor dem Target fuhren. Dadurch werden große Zerstäubungsausbeuten erzielt. Die im Prozess entstehenden Elektronen werden zu einer im Katodenbereich angeordneten Hilfselektrode gelenkt und abgesaugt. Das geschirmte Flachbandkabel 2 wird daher überwiegend von zerstäubten NiCr als Werkstoff getroffen, wodurch geringe Temperaturen des geschirmten Flachbandkabels 2 entstehen. Weiterhin besteht ein weiterer Vorteil darin, dass infolge der hohen Plasmadichte der reduzierte Widerstand des Plasmas zu sehr geringen Entladungsspannungen fuhrt. Die
Aufstäubraten sind nahezu proportional zur eingespeisten Leistung.
Nach dem Aufbringen der NiCr-Schichten auf das geschirmte Flachbandkabel 2 wird dieses auf die zweite Rolle 4 mit dem Aufwickler in der ersten evakuierbaren
Bearbeitungskammer la geführt.
Nach der Beschichtung des Flachbandkabels 5 werden die Rollen ausgetauscht.
Die evakuierbaren Bearbeitungskammern la, lb, lc sind vorteilhafterweise Bestandteile einer Kammer. Die einzelnen evakuierbaren Bearbeitungskammern la, lb, lc werden durch entsprechende Zwischenwände 10 gebildet. Durch Öffnungen 11 in diesen
Zwischenwänden wird das Flachbandkabel/geschirmte Flachbandkabel 2 geführt.
Weitere Führungen basieren auf entsprechend angeordnete drehbare Umlenkrollen.
Derartige Umlenkrollen sind in den Fig. beispielhaft ohne Bezeichnung dargestellt. Jede der evakuierbaren Bearbeitungskammern la, lb, lc ist mit einer vakuumerzeugenden
Einrichtung verbunden. Damit können unterschiedliche für die jeweilige Bearbeitung notwendige Drücke in den evakuierbaren Bearbeitungskammern erzeugt werden.
Folgende Drücke sind in den evakuierbaren Bearbeitungskammern la, lb, lc vorzugsweise realisiert:
- erste evakuierbare Bearbeitungskammer la 10"1 mbar,
- zweite evakuierbare Bearbeitungskammer lb 10"4 mbar und
- dritte evakuierbare Bearbeitungskammer lc 10"3 mbar.
Wenigstens die vakuumerzeugenden Einrichtungen, der wenigstens eine Antrieb, die Plasmaelektroden 5a, 5b, die Bedampfungseinrichtungen und die Sputtereinrichtungen sind mit mindestens einer Steuereinrichtung verbunden, so dass eine kontinuierliche Beschichtung des Flachbandkabels gewährleistet ist.
In einer ersten Ausführungsform des zweiten Ausführungsbeispiels können die evakuierbaren Bearbeitungskammern la, lb, lc, ld auch in einer Reihe angeordnet werden (Darstellung in der Fig. 3). Dazu befindet sich die Einrichtung als Aufwickler nicht in der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer la, sondern in einer vierten evakuierbaren Bearbeitungskammer ld. Die evakuierbaren Bearbeitungskammern la, lb, lc, ld können als selbstständige Einheiten realisiert sein, wobei der Transport des Flachbandkabels/geschirmten Flachbandkabels 2 durch Öffnungen in Wandungen und daran befestigte Rohre 12 von evakuierbarer Bearbeitungskammer zu evakuierbarer
Bearbeitungskammer gewährleistet wird (Darstellung in der Fig. 3).
In einer zweiten Ausfuhrungsform des zweiten Ausführungsbeispiels kann in der zweiten evakuierbaren Bearbeitungskammer lb der Bandwender 7 entfallen. Die Verdampfer 6a, 6b der beiden Bedampfungseinrichtungen befinden sich in einer Ebene. Zwischen den Kühlwalzen 5 a, 5b ist mindestens eine Umlenkrolle 13 zur Führung und Ableitung des geschirmten Flachbandkabels 2 von der zweiten Kühlwalze 5b zur dritten evakuierbaren Bearbeitungskammer lc angeordnet (Darstellung in der Fig. 4). Eine derartige Ausfuhrungsfonn eignet sich auch besonders vorteilhaft für das Beschichten mehrerer parallel geführter Flachbandkabel. Dazu sind auf dem Abwickler und dem Abwickler jeweils mehrere Rollen als erste Rollen 3 und zweite Rollen 4 angeordnet. Die Flachbandkabel werden parallel in der Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel geführt, so dass .gleichzeitig mehrere Flachbandkabel parallel beschichtbar sind.
3. Ausführungsbeispiel
In diesem Ausführungsbeispiel werden nachfolgend geschirmte Flachbandkabel 2 und
Verfahren zu deren Herstellung zusammen näher erläutert.
Ein geschirmtes Flachbandkabel 2 besteht aus Flachleitem als elektrische Leiter 14
(Ader) in einem Mantel 15 als Isolator und einer Abschirmung. Die elektrischen Leiter
14 sind gestreckte Aufbauelemente des Flachbandkabels aus Kupfer. Die elektrischen
Leiter 14 befinden sich in einem extrudiertem Kunststoff aus Polyethersulfon,
Polyetherimid oder Polyethemaphthalat oder einem Derivate dieser Polymere oder einem Gemisch, die diese Polymere und/oder Derivate dieser Polymere enthalten, als
Mantel 15.
Der Mantel 15 und die Leiter 14 bilden ein bekanntes und mit bekannten Verfahren hergestelltes Flachbandkabel. Das Flachbandkabel befindet sich auf einer Rolle 3, die drehbar gelagert in einer evakuierbaren Bearbeitungskammer 1 platziert ist. Das Flachbandkabel wird in dieser evakuierbaren Bearbeitungskammer 1 mit einer gleichförmigen Geschwindigkeit nach einer Vorbehandlung von Oberflächen über
Verdampfer 6a, 6b so geführt, dass die breiteren sich gegenüberliegenden Oberflächen des Flachbandkabels mit einer aufgedampften Schicht 16 aus einem elektrisch leitfähigem Material insbesondere Kupfer versehen werden. Es können aber auch Zinn oder Silber als elektrisch leitfälliges Material aufgedampft werden. Damit ist das geschirmte Flachbandkabel 2 realisiert (Darstellung in der Fig. 5). Die Vorbehandlung der Oberflächen dient einem Vorreinigen, der Aufrauhung der Oberfläche im
Mikrobereich und der Anlegung von Kondensationskeimen durch die Erzeugung polarer
Oberflächengruppen. Dazu wird vorteilhafterweise eine Plasmavorbehandlung und
Plasmaaktivierung eingesetzt. Die Geschwindigkeit des Flachbandkabels richtet sich nach der notwendigen Schichtdicke und der Aufdampfrate. Nach dem Aufdampfen wird das abgeschirmte Flachbandkabel 2 auf eine zweite drehbar gelagerte und lösbare Rolle
4 in der Bearbeitungskammer 1 aufgewickelt.
In einer Ausführungsform des dritten Ausführungsbeispiels kann eine NiCr-Schicht auf die aufgedampfte Schicht aus Kupfer aufgebracht sein. Dazu wird diese Schicht in einem Rohrmagnetron aufgesputtert. Das ist ein reaktives Sputtern, wobei ein Target mit Bestandteilen eines Plasmas so reagiert, dass das chemische Reaktionsprodukt auf der Oberfläche der Kupferschicht abgeschieden wird.
4. Ausführungsbeispiel
Ein geschirmtes Flachbandkabel 2 besteht aus wenigstens zwei beabstandet zueinander angeordneten elektrischen Leitern 14 (Adern), die von einem Mantel 15 als Isolator aus einem extrudiertem Kunststoff umhüllt sind. Der Mantel 15 besteht vorzugsweise aus den Materialien der des dritten Ausführungsbeispiels. Die elektrischen Leiter 14 sind Flachleiter, wobei im Minimalfall zwei elektrische Leiter 14 im Mantel 15 als zweiadriges Flachbandkabel vorhanden sind. Zwischen den elektrischen Leitern 14 sind beabstandet und parallel zu den elektrischen Leitern 14 verlaufend Öffnungen 17 eingebracht, vorteilhafterweise gestanzt oder durch das Einwirken elektromagnetischer Strahlen in Form von Laserstrahlen. Die Abstände sind Stege, die dem festen Halt des geschirmten Flachbandkabels 2 dienen. Die Länge der Stege ist kleiner λ/20.
Anschließend wird dieses Flachbandkabel in wenigstens einer Bearbeitungskammer 1 mit wenigstens zwei Verdampfern 6 mit einer Schicht 16 aus einem elektrisch leitfähigen Material, insbesondere Kupfer, Zinn oder Silber, gleich dem des dritten
Ausführungsbeispiels versehen. Das Flachbandkabel wird dabei so geführt, dass wenigstens neben den sich gegenüberliegenden breiten Oberflächen auch Bereiche der
Wandungen der Öffnungen 17 vorbehandelt und das elektrisch leitfähige Material aufgedampft werden. Dadurch ist neben der Abschirmung nach außen auch eine
Abschirmung zwischen den elektrischen Leitern 14 vorhanden, so dass ein wenigstens zweiadriges geschirmtes Flachbandkabel 2 realisiert ist. Die Darstellung in der Fig. 6 zeigt ein zweiadriges geschinntes Flachbandkabel 2 in einer Draufsicht und in einem
Schnitt.
In einer ersten Ausführungsform dieses vierten Ausführungsbeispiels werden die Öffnungen 17 vor dem Aufdampfen mit einem elektrisch leitfähigem Material wenigstens teilweise gefüllt. Das ist insbesondere ein ausgehärteter elektrischer Leitkleber, ein getrockneter elektrisch leitfähiger Lack oder eine ausgehärtete pastenartige Mischung eines organischen und/oder anorganischen Binders. Derartige Materialien sind bekamit. Danach wird das so vorbehandelte mehradrige Flachbandkabel in der wenigstens einen evakuierbaren Bearbeitungskammer 1 wenigstens an den breiten Oberflächen vorbehandelt und ein elektrisch leitfähiges Material aufgedampft, so dass ein zweiadriges geschirmtes Flachbandkabel 2 realisiert ist.
In einer zweiten Ausfuhrungsform des vierten Ausführungsbeispiels kann eine NiCr- Schicht auf die aufgedampfte Schicht aus Kupfer aufgebracht sein. Dazu wird diese Schicht in einem Rohrmagnetron aufgesputtert. Das ist ein reaktives Sputtern, wobei ein Target mit Bestandteilen eines Plasmas so reagiert, dass das chemische Reaktionsprodukt auf der Oberfläche der Kupferschicht abgeschieden wird. In einer dritten Ausführungsform des vierten Ausführungsbeispiels können diese abgeschirmten Flachbandkabel 2 mit einer elektrischen Isolationsschicht 18 versehen sein. Das ist insbesondere ein extrudierter Kunststoff oder eine Lackschicht, so dass ein
Schutz vor physikalischen oder chemischen Einflüssen gegeben ist. In einer weiteren
Ausfülirungsform kann auf diese elektrische Isolationsschicht 18 eine Schicht 19 eines aufgedampften elektrischen Materials angeordnet sein (Darstellung in der Fig. 7). Diese
Schicht 19 kann vorteilhafterweise durch die Vorrichtungen entsprechend des ersten und zweiten Ausfuhrungsbeispiels aufgebracht werden. Natürlich kann in einer weiteren
Ausfuhrungsform diese Schicht 19 auch mit einer weiteren elektrischen
Isolationsschicht versehen sein.
In einer weiteren Ausführungsform des dritten oder des vierten Ausführungsbeispiels kann das Aufdampfen des elektrisch leitfähigen Materials auch nur abschnittsweise erfolgen. Die Längen dieser Abschnitte sind über Masken vorgebbar, so dass eine leichte Kontaktierung des geschirmten Flachbandkabels 2 gegeben ist. In einer weiteren Ausführungsform kann auch die nach außen weisende elektrische Isolationsschicht abschnittsweise aufgebracht sein. Auch damit ist eine leichte Kontaktierung des so ausgestalteten abgeschirmten Flachbandkabels 2 gegeben.
Das Flachbandkabel kann natürlich auch mehr als zwei beabstandet zueinander angeordnete elektrische Leiter 14 aufweisen, so dass ein mehradriges abgeschirmtes Flachbandkabel 2 realisierbar ist.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung von geschirmten Flachbandkabel bestehend aus in einem extrudiertem Kunststoff als isolierender Mantel eingebetteten elektrischen Leitern in mindestens einer evakuierbaren Bearbeitungskammer mit Rollen für das Flachbandkabel und das geschirmte Flachbandkabel, Einrichtungen zur Vorbehandlung, Verdampfern, Führungen für das Flachbandkabel und wenigstens einem Antrieb für die Bewegung des Flachbandkabels, dadurch gekennzeichnet, dass die Bearbeitungskammer (1) evakuiert wird, dass mindestens eine der Oberflächen oder ein Bereich einer Oberfläche des Flachbandkabels kontinuierlich mit einer ersten Einrichtung vorbehandelt wird, dass auf diese Oberfläche oder diesem Bereich der Oberfläche mit wenigstens einem ersten Verdampfer (6a) kontinuierlich ein elektrisch leitfähiges Material aufgedampft wird, dass über eine Führung das Flachbandkabel gedreht wird und dass entweder die der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegende Oberfläche oder der der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegende Bereich der Oberfläche des Flachbandkabels mit mindestens einem zweiten Verdampfer (6b) kontinuierlich ein elektrisch leitfähiges Material aufgedampft wird.
2. Verfahren nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass vor der Vorbehandlung im Mantel (15) beabstandet Öffnungen (17) zwischen benachbarten Leitern (14) reihenförmig eingebracht werden.
3. Verfahren nach einem der Patentansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Aufdampfen des elektrisch leitfähigen Materials eine elektrische Isolationsschicht aufgebracht wird.
4. Verfahren nach den Patentansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Bearbeitungskammer (1) evakuiert wird, dass mindestens eine der Oberflächen oder ein Bereich einer Oberfläche der elektrischen Isolationsschicht kontinuierlich mit einer ersten Einrichtung vorbehandelt wird, dass auf diese
Oberfläche der Isolationsschicht oder diesem Bereich der Oberfläche der
Isolationsschicht mit wenigstens dem erstem Verdampfer (6a) kontinuierlich ein elektrisch leitfähiges Material aufgedampft wird, dass über eine Führung das
Flachbandkabel gedreht wird und dass entweder die der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegende Oberfläche der
Isolationsschicht oder der der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegende Bereich der Oberfläche der
Isolationsschicht des Flachbandkabels mit dem zweitem Verdampfer (6b) kontinuierlich ein elektrisch leitfähiges Material aufgedampft wird.
5. Vorrichtung zum Beschichten von Flachbandkabel mit elektrischen Leitern in einem Mantel als Isolator aus einem extrudiertem Kunststoff in mindestens einer evakuierbaren Bearbeitungskammer mit einer ersten drehbar gelagerten Rolle für Flachbandkabel, wenigstens zwei Einrichtungen zur Vorbehandlung, mindestens zwei Verdampfern, einer zweiten drehbar gelagerten Rolle für das geschirmte Flachbandkabel, Führungen für das Flachbandkabel und wenigstens einem Antrieb für eine Bewegung des Flachbandkabels, dadurch gekennzeichnet, dass sich vorreinigende und plasmaaktivierende Einrichtungen als Einrichtungen zur Vorbehandlung in der Bearbeitungskammer (1) befinden und dass zwischen dem wenigstens einem erstem Verdampfer (6a) und entweder der zweiten plasmaaktivierenden Einrichtung oder dem wenigstens einem zweitem Verdampfer (6b) eine Vorrichtung zum Drehen des Flachbandkabels so angeordnet ist, dass entweder die der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegende Oberfläche oder der der Oberfläche mit dem aufgedampften elektrisch leitfähigen Material gegenüberliegende Bereich der Oberfläche des Flachbandkabels kontinuierlich entweder mit der zweiten vorreinigenden und plasmaaktivierenden Einrichtung vorbehandelt und nachfolgend mit wenigstens dem zweitem Verdampfer (6b) mit einem elektrisch leitfähigem Material bedampft wird oder mit dem zweitem Verdampfer (6b) mit einem elektrisch leitfähigem Material bedampft wird.
6. Vorrichtung nach Patentanspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass in Bearbeitungsrichtung des sich auf Rollen (3, 4) befindenden Flachbandkabels wenigstens drei evakuierbare Bearbeitungskammem (1), dass in einer ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer (la) oder sowohl in einer ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer (la) als auch in einer vierten evakuierbaren Bearbeitungskammer (ld) Einrichtungen, wobei mindestens eine dieser Einrichtungen mit einem Antrieb gekoppelt ist, zur lösbaren Befestigimg der Rollen (3, 4) mit Flachbandkabel, dass in einer zweiten evakuierbaren Bearbeitungskammer (lb) nacheinander zwei Bedampfungseinrichtungen mit jeweils einem Verdampfer (6a, 6b) für Kupfer zur wenigstens bereichsweise beidseitigen Beschichtung des Flachbandkabels jeweils gegenüber einer Kühlwalze (8a, 8b) zur gleichzeitigen Führung des Flachbandkabels, dass in einer dritten evakuierbaren Bearbeitungskammer (lc) beabstandet zwei Sputtereinrichtungen zur beidseitigen Abscheidung einer Schutzschicht auf die Kupferschichten und dass die evakuierbaren Bearbeitungskammem 1 mit Öffnungen zur Führung des Flachbandkabels und durch wenigstens eine Wandung als Zwischenwand (10) unmittelbar benachbart oder dass zwischen evakuierbaren Bearbeitungskammem Rohre (12) zur Führung des Flachbandkabels angeordnet sind.
7. Vorrichtung nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Targetmaterial der Sputtereinrichtungen NiCr ist.
8. Vorrichtung nach Patentansprach 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdampfer (6a, 6b) der beiden Bedampfungseinrichtungen in einer Ebene und dass in Transportrichtung des Flachbandkabels zwischen den Kühlwalzen (8a, 8b) ein Bandwender (7) für das Flachbandkabel als Vorrichtung zum Drehen des Flachbandkabels angeordnet ist.
9. Vorrichtung nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die
Verdampfer (6a, 6b) der beiden Bedampfungseinrichtungen in einer Ebene und dass zwischen den Kühlwalzen (8 a, 8b) und den Verdampfern mindestens eine Umlenkrolle (13) zur Führung und Ableitung des geschirmten Flachbandkabels (2) von der zweiten Kühlwalze (8b) zur dritten evakuierbaren Bearbeitungskammer (lc) als Vorrichtung zum Drehen des Flachbandkabels angeordnet ist.
10. Vorrichtung nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass in der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer (lc) nach der ersten Rolle (3) mit dem unbeschichtetem Flachbandkabel beabstandet zwei Plasmaelektroden (5a, 5b) angeordnet sind, wobei das Flachbandkabel zwischen den Plasmaelektroden (5 a, 5b) geführt ist.
11. Vorrichtung nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Flachbandkabel parallel geführt sind, wobei in der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer (lc) oder sowohl in der ersten evakuierbaren Bearbeitungskammer (lc) als auch in der vierten evakuierbaren Bearbeitungskammer (ld) Einrichtungen zur lösbaren Befestigung jeweils mehrerer Rollen mit Flachbandkabel und geschirmten Flachbandkabel (2) angeordnet sind.
12. Geschirmtes Flachbandkabel mit wenigstens zwei in einem Abstand zueinander angeordneten elektrischen Leitern in einem Mantel als Isolator aus einem extrudiertem Kunststoff und einer Abschirmung, dadurch gekennzeichnet, dass der Mantel (15) als Isolator aus einem der Polymere Polyethersulfon, Polyetherimid oder Polyethemaphthalat oder einem Derivat dieser Polymere oder einem Gemisch, das diese Polymere und/oder Derivate dieser Polymere enthält, besteht und dass die Abschinnung mindestens eine aufgedampfte Schicht (16) eines elektrisch leitenden Materials auf dem Mantel (15) ist.
13. Geschirmtes Flachbandkabel nach Patentanspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen benachbarten Leitern (14) Öffnungen (17) eingebracht sind und dass sich auf den Wandungen der Öffnungen (17) wenigstens bereichsweise und auf dem Mantel (15) eine aufgedampfte Schicht (16) aus einem elektrisch leitenden Material befindet.
14. Geschirmtes Flachbandkabel nach Patentanspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen benachbarten Leitern (14) Öffnungen (17) eingebracht sind, dass sich entweder auf den Wandungen der Öffnungen (17) wenigstens bereichsweise eine elektrisch leitfähige Schicht und/oder in den Öffnungen wenigstens teilweise eine Füllung aus einem elektrisch leitfähigem Material befindet und dass auf dem Mantel (15) und entweder der elektrisch leitfähigen Schicht auf der Wandung der Öffnung (17) oder der Füllung in der Öffnung (17) eine aufgedampfte Schicht (16) aus einem elektrisch leitendem Material angeordnet ist.
15. Geschirmtes Flachbandkabel nach einem der Patentansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass sich auf der aufgedampften Schicht (16) des elektrisch leitfähigen Materials eine elektrische Isolationsschicht (18) befindet.
16. Geschinntes Flachbandkabel nach einem der Patentansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die aufgedampfte Schicht (16) und/oder die Isolationsschicht (18) über Masken als erste Abschnitte mit vorbestimmbaren Längen und/oder Mustern auf dem Mantel oder der aufgedampften Schicht (16) aufgebracht sind und dass sich zwischen den ersten Abschnitten zweite Abschnitte vorbestimmbarer Länge ohne aufgedampfte Schicht (16) als Außenleiter und/oder Isolationsschicht befinden.
17. Geschirmtes Flachbandkabel nach Patentanspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass auf der elektrischen Isolationsschicht eine weitere aufgedampfte Schicht (19) aus einem elektrisch leitfähigem Material angeordnet ist.
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