WO2007100538A3 - Procédé de fabrication de contacts segmentés pour détecteurs de rayonnement par photolithographie directe - Google Patents

Procédé de fabrication de contacts segmentés pour détecteurs de rayonnement par photolithographie directe Download PDF

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Cette invention concerne un procédé de fabrication de contacts sur des substrats semi-conducteurs par lithographie directe qui permet d'obtenir une adhérence durable des électrodes, une plus grande résistance interpixel, ainsi que les électrodes servant de contact de blocage, ce qui améliore la résolution énergétique dans le détecteur de rayonnement ainsi produit.
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