WO2008010416A1 - Cassette for optical fiber amplifier, optical fiber amplifier and light source device - Google Patents

Cassette for optical fiber amplifier, optical fiber amplifier and light source device Download PDF

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    • H01S3/067—Fibre lasers
    • H01S3/06754—Fibre amplifiers

Definitions

  • the present invention relates to an optical fiber amplifier cassette, an optical fiber amplifier, and a light source device.
  • Laser light has been used for various purposes in recent years. For example, laser light is used for cutting or processing metal, as a light source of a photolithography apparatus in a semiconductor manufacturing apparatus, or used in various measuring apparatuses. It is used for surgical and therapeutic devices such as surgery, ophthalmology and dentistry.
  • a solid-state laser in this specification, a semiconductor laser (used as a concept including a diode laser)
  • the wavelength of laser light emitted from the solid-state laser is in the visible region. Force In the infrared region, a method for directly generating ultraviolet light has not been established. For example, the wavelength is too long for use in inspection equipment. Therefore, a method has been developed for converting such long-wavelength light emitted from solid-state laser power into short-wavelength deep ultraviolet light (for example, 8th harmonic wave: wavelength 193) using a nonlinear optical crystal. For example, it is described in JP-A-2001-353176 (Patent Document 1). BBO crystals, LBO crystals, CLBO crystals, etc. are known as nonlinear optical crystals used for such purposes.
  • a laser beam generated by a DFB-LD force is amplified using a plurality of optical fiber amplifiers (FDFA amplifiers), and then deep UV is used by the wavelength conversion optical system as described above. It is common to use light.
  • An optical fiber amplifier may be a single stage, but in many cases, multiple stages are connected in series to increase the amplification factor.
  • Patent Document 1 JP 2001-353176 A
  • Such an optical fiber amplifier is composed of an optical fiber and an optical fiber component extending over several meters.
  • Optical component for optical fiber amplifier Since the length of the optical fiber is long and the number of optical fiber components is large, when trying to place these fibers in some jig, the optical fiber becomes complicated and very complicated. Also, even if an abnormality occurs in an optical fiber and a single optical fiber component, it is difficult to identify the problem area, and the component cannot be replaced immediately.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an optical fiber amplifier cassette capable of orderly storing optical fiber amplifiers, an optical fiber amplifier using the same, and a device using the same It is an object of the present invention to provide a light source device.
  • a first means for achieving the above object is a cassette for storing an optical fiber amplifier, a groove having a width corresponding to the width of one optical fiber on the surface of the substrate, and an optical fiber
  • This is a cassette for an optical fiber amplifier in which a concave portion for arranging an optical component for an amplifier is formed.
  • the optical fiber of the optical fiber amplifier and the optical components for the optical fiber amplifier can be neatly accommodated in the groove and the recess, respectively, so that the optical fiber is in a state where the optical fiber is in a complicated force. Can be avoided.
  • a second means for solving the above-described problem is the first means, wherein the substrate is a cooling substrate.
  • the cooling substrate is, for example, hollow inside, and serves as a passage for air, water, and refrigerant. It refers to a substrate that has been cooled or that has been cooled by a Peltier element or the like.
  • the concave portion for accommodating the optical fiber and the optical component for the optical fiber amplifier is formed on the surface of the cooling substrate, the heat generated by the optical fiber amplifier can be absorbed by the substrate.
  • the third means for solving the problem is the first means, characterized in that the substrate comes into contact with a cooling substrate and is cooled through the cooling substrate. To do.
  • heat generated by the optical fiber amplifier can be absorbed by the substrate.
  • a fourth means for solving the above problem is an optical fiber amplifier cassette, wherein a groove for accommodating an optical fiber constituting the optical fiber amplifier is formed on a surface of a substrate.
  • the optical fiber amplifier cassette is characterized in that the groove has double or more spiral portions formed without contacting each other.
  • a fifth means for solving the above-mentioned problem is the fourth means, wherein a recess for arranging an optical component for an optical fiber amplifier is formed in a part of the spiral portion. It is characterized by scolding.
  • a sixth means for solving the above-mentioned problem is that an optical fiber is accommodated in the groove of the optical fiber amplifier cassette of any one of the first to third means, and the recess is An optical fiber amplifier comprising an optical component for an optical fiber amplifier.
  • the optical fiber of the optical fiber amplifier and the optical components for the optical fiber amplifier can be orderly accommodated in the grooves and the recesses, respectively, so that the optical fiber is in a state where the force is complicated and strong. Can be avoided.
  • a seventh means for solving the above problem is an optical fiber amplifier in which a plurality of the optical fiber amplifiers of the sixth means are sequentially stacked on the surface of the substrate.
  • An eighth means for solving the above problem is that only one optical fiber constituting the optical fiber amplifier is stored in the groove of the optical fiber amplifier cassette as the fourth means. Is an optical fiber amplifier.
  • a ninth means for solving the above-mentioned problems includes a light source, an optical fiber amplifier of any one of the sixth means to the eighth means for amplifying the light emitted from the light source, and the Amplified It is a light source device provided with the wavelength conversion part which converts light into a predetermined wavelength.
  • an optical fiber amplifier cassette capable of orderly storing an optical fiber amplifier, an optical fiber amplifier using the same, and Sarakuko can provide a light source device using the same. it can.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an optical fiber amplifying unit that works according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a view showing an outline of an optical fiber amplifier cassette as an example of an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an optical fiber amplifying unit useful for an embodiment of the present invention.
  • the optical fiber amplifying unit includes a first amplifying optical fiber 3, a second amplifying optical fiber 5, a third amplifying optical fiber 7, and optical couplers (WDM) 2, 4, 6, and a pump. It consists of light sources 8, 10, and 12 and pumping optical fibers 9, 11, and 13.
  • the optical fiber 1, the first amplification optical fiber 3, and the first excitation light optical fiber 9 for guiding laser light emitted from a seed light source (not shown) to the optical fiber amplifier are WDM2 Is connected through.
  • the first amplification optical fiber 3, the second amplification optical fiber 5, and the second excitation light optical fiber 11 are coupled via the WDM 4, and the second amplification optical fiber 5 and the second amplification optical fiber 5 are coupled to each other.
  • the third amplification optical fiber 7 and the third excitation light optical fiber 13 are coupled via the WDM 6.
  • Excitation light from each excitation light source is introduced into the amplification optical fiber through each excitation light optical fiber and each WDM.
  • Laser light emitted from a seed light source (not shown) is amplified by the optical fiber amplifier, and the amplified laser light is converted into ultraviolet light by the wavelength converter 14.
  • FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the optical fiber amplifier cassette of the present embodiment.
  • an optical fiber storage groove having a width capable of fitting (accommodating) one optical fiber (one optical fiber is fitted in one groove) 22, 23,
  • Five optical component storage recesses 24 for optical fiber amplifiers (hereinafter simply referred to as “optical component storage recesses” and! ⁇ ⁇ ) are provided.
  • the optical fiber storage groove 23 includes an optical fiber storage groove 23a and an optical fiber storage groove 23b.
  • the optical fiber storage groove 23a intersects with the optical fiber storage groove 22, and then the optical fiber storage groove 23a.
  • a portion 22a of the storage groove 22 is formed, and the optical fiber storage groove 23b intersects with the optical fiber storage groove 22 and is then connected to the optical component storage recess 24.
  • the depth of the optical fiber housing groove 22 is 2 mm, and the depth of the optical fiber housing groove 23b is 1 mm.
  • the optical fiber housing groove 23a has a depth of lmm. Since the optical fiber housing groove 22 is part 22a of the optical fiber housing groove 22, the depth is 2mm.
  • the optical fiber housing groove 23a and the optical fiber housing groove 22 are connected to one optical fiber 1 through WDM2, 4, 6;
  • the first amplification optical fiber 3, the second amplification optical fiber 5, and the third amplification optical fiber 7 are fitted.
  • the first amplifying optical fiber 3, the second amplifying optical fiber 5, the first amplifying optical fiber 3 and the like so that the diameter of the amplifying optical fiber increases as the power of the laser light passing through the amplifying optical fiber increases.
  • the diameter increases in the order of the optical fiber 7 for amplification 7.
  • the optical fibers 1, 3, 5, 7 fitted in the optical fiber storage groove 23 a intersect with a part of the optical fiber storage groove 22, and then the optical fiber storage groove 22 a
  • the optical fiber is accommodated in the fiber accommodating groove 22 and led out of the substrate 21 through the optical fiber accommodating groove 22b.
  • the first excitation light optical fiber 9, the second excitation light optical fiber 11, and the third excitation light optical fiber 13 are fitted in the optical fiber housing groove 23b.
  • optical component such as WDM is fitted in the optical component storage recess 24 and coupled to the pumping light optical fibers 9, 11, 13 and the amplification optical fibers 3, 5, 7.
  • the optical fiber storage groove 22 and the optical fiber storage groove 23 intersect, but the former depth is 2 mm, the latter depth is 1 mm, and the diameters of various optical fibers are 0.5 mm. Since it is mm, the optical fibers do not contact each other at the intersection.
  • optical fibers and optical components for optical fiber amplifiers can be stored in an orderly manner.
  • the optical component storage recesses 24 are provided in one place, but these are provided at any position on the substrate 1 to accommodate the optical components in accordance with the design specifications of the optical fiber amplifier. Can be in the thread.
  • the various optical fibers and optical components housed may be fixed with a tape or the like, or may be fixed with an adhesive member such as an adhesive, cement, or solder.
  • Another board may be placed on the front side and sandwiched between the two.
  • such a substrate 21 may be used as a cooling substrate, and a concave portion for accommodating an optical fiber and an optical component may be provided on the surface thereof.
  • the cooling substrate is a substrate that is hollow and is used as a passage for air, water, and refrigerant and is cooled, or a substrate that is cooled by a Peltier element or the like.
  • the cassette may be cooled by stacking a cooling substrate on the cassette.
  • optical fibers and optical components can be arranged in an orderly manner, and the production of an optical fiber amplifier is facilitated. Also, even if a problem occurs in the optical fiber or optical component, it is easy to identify and replace the part. In addition, it is possible to dispose the place where heat is generated by the optical fiber amplifier separately from other optical fibers, and it is possible to suppress the influence of heat generation on other fibers as much as possible. In addition, by placing the optical fiber and optical parts in the groove and fixing them, it is affected by vibration during transportation. By cooling the cassette itself, it becomes possible to suppress the influence of heat generation itself. Also, if there are multiple optical fiber amplifiers (consisting of three optical amplifiers for amplification), prepare multiple optical fiber amplifier cassettes as shown in Fig. 2, and place each optical fiber amplifier in each cassette. The multiple cassettes are housed and stacked in sequence on the cassette substrate surface. A configuration may also be adopted in which the cassettes that store the seed light source and the wavelength change and exchange unit are sequentially stacked together.

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Description

明 細 書
光ファイバ増幅器用カセット、光ファイバ増幅器及び光源装置
技術分野
[0001] 本発明は、光ファイバ増幅器用カセット、光ファイバ増幅器及び光源装置に関する ものである。
背景技術
[0002] レーザ光は近年において種々の用途に用いられており、例えば、金属の切断や加 ェを行ったり、半導体製造装置におけるフォトリソグラフィ装置の光源として用いられ たり、各種測定装置に用いられたり、外科、眼科、歯科等の手術および治療装置に 用いられたりしている。
[0003] このようなレーザ光源として固体レーザ (本明細書においては、半導体レーザ (ダイ オードレーザを含む概念として使用する））を用いる場合、固体レーザから放出される レーザ光の波長は、可視領域力 赤外領域であり、直接紫外光を発生させる方法は 確立されていない。例えば検査装置に使用するには、波長が長すぎて向いていない 。そこで、このような固体レーザ力 放出される長波長の光を、非線形光学結晶を用 いることにより短波長の深紫外光 (例えば 8倍波：波長 193應）に変換して用いる方法 が開発され、例えば特開 2001— 353176号公報 (特許文献 1)に記載されている。こ のような目的に用いられる非線形光学結晶としては、 BBO結晶、 LBO結晶、 CLBO 結晶等が知られている。
[0004] このようなレーザ光源においては、たとえば DFB— LD力 発生するレーザ光を複 数の光ファイバ増幅器 (FDFA増幅器)を用いて増幅し、その後、上記のような波長 変換光学系により深紫外光にするのが一般的である。光ファイバ増幅器は、 1段の場 合もあるが、多くの場合複数段を直列に接続して、増幅率を上げている。
特許文献 1 :特開 2001— 353176号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] このような光ファイバ増幅器は、数 mにおよぶ光ファイバと光ファイバコンポーネント (光ファイバ増幅器用光学部品）から構成される。し力 光ファイバの長さが長ぐまた 光ファイバコンポーネントの数が多いため、これらファイバを何らかの冶具に収めよう としたとき、光ファイバが複雑にからみあった状態になり非常に煩雑になる。また、光 ファイバおよび光ファイバ一部品に異常が生じたとしても問題部位の特定が困難であ り、すぐさま部品の取替えを行うことができな 、。
[0006] 力！]えて、光ファイバを巻いて止めただけの状態では、輸送時の振動により光フアイ バの状態が変化してしまう可能性がある。
[0007] 一方、光ファイバ増幅器での出力をあげるためには、ポンプパワーを上げる必要が ある。しかしポンプパワーの増加に伴い、 EDF Aファイバからの発熱が生じる。この発 散熱が、雰囲気温度や基板温度を引き起こし、光ファイバ増幅器に対し悪影響を及 ぼす。
[0008] 従って、光ファイバが複雑にからみあった状態でファイバが収納されており、また E DFAファイバからの発熱が生じると、光ファイバ増幅器が非常に不安定な状態になり 、レーザ光を安定に発振させることが困難となる。
[0009] 本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、光ファイバ増幅器を整然と収納 することができる光ファイバ増幅器用カセット、及びそれを使用した光ファイバ増幅器 、さらには、それを使用した光源装置を提供することを課題とする。
課題を解決するための手段
[0010] 前記課題を達成するための第 1の手段は、光ファイバ増幅器を収納するカセットで あって、基板の表面に、一本分の光ファイバの幅に相当する幅の溝と、光ファイバ増 幅器用光学部品を配置する凹部とが形成されてなる光ファイバ増幅器用カセットであ る。
[0011] 本手段を用いることにより、光ファイバ増幅器の光ファイノく、及び光ファイバ増幅器 用光学部品を整然とそれぞれ溝及び凹部に収納することができるので、光ファイバが 複雑に力 みあった状態になるのを避けることができる。
[0012] 前記課題を解決するための第 2の手段は、前記第 1の手段であって、前記基板が 冷却基板であることを特徴とするものである。
[0013] 冷却基板とは、例えば中が中空になっており、空気、水、冷媒の通り道となっていて 冷却が行われているとか、ペルチェ素子等で冷却が行われている基板を言う。本手 段においては、冷却基板の表面に光ファイバと光ファイバ増幅器用光学部品を収納 する凹部が形成されているので、光ファイバ増幅器の発熱を、基板で吸収することが できる。
[0014] 前記課題を解決するための第 3の手段は、前記第 1の手段であって、前記基板が、 冷却基板と接触し、当該冷却基板を介して冷却されて ヽることを特徴とするものであ る。
[0015] 本手段においても、光ファイバ増幅器の発熱を、基板で吸収することができる。
[0016] 前記課題を解決するための第 4の手段は、光ファイバ増幅器用カセットであって、 基板の表面に前記光ファイバ増幅器を構成する光ファイバを収納するための溝が形 成されており、前記溝は互いに接することなく形成された二重以上のスパイラル状部 分を有することを特徴とする光ファイバ増幅器用カセットである。
[0017] 前記課題を解決するための第 5の手段は、前記第 4の手段であって、前記スパイラ ル状部分の一部に光ファイバ増幅器用光学部品を配置するための凹部が形成され て ヽることを特徴とするものである。
[0018] 前記課題を解決するための第 6の手段は、前記第 1の手段から第 3の手段のいず れかの光ファイバ増幅器用カセットの前記溝に光ファイバを収納し、前記凹部に光フ アイバ増幅器用光学部品を収納してなることを特徴とする光ファイバ増幅器である。
[0019] 本手段においては、光ファイバ増幅器の光ファイバ、及び光ファイバ増幅器用光学 部品を整然とそれぞれ溝及び凹部に収納することができるので、光ファイバが複雑に 力もみあった状態になるのを避けることができる。
[0020] 前記課題を解決するための第 7の手段は、前記第 6の手段の光ファイバ増幅器の 複数個を、前記基板の表面上に順次積み重ねてなる光ファイバ増幅器である。
[0021] 前記課題を解決するための第 8の手段は、前記第 4の手段である光ファイバ増幅器 用カセットの前記溝に前記光ファイバ増幅器を構成する前記光ファイバを 1本のみ収 納したことを特徴とする光ファイバ増幅器である。
[0022] 前記課題を解決するための第 9の手段は、光源と、前記光源から照射された光を増 幅する第 6の手段から第 8の手段の 、ずれかの光ファイバ増幅器と、前記増幅された 光を所定の波長に変換する波長変換部とを備えた光源装置である。
発明の効果
[0023] 本発明によれば、光ファイバ増幅器を整然と収納することができる光ファイバ増幅 器用カセット、及びそれを使用した光ファイバ増幅器、さら〖こは、それを使用した光源 装置を提供することができる。
図面の簡単な説明
[0024] [図 1]本発明の実施形態に力かる光ファイバ増幅部の構成を示す図である。
[図 2]本発明の実施形態の 1例である光ファイバ増幅器用カセットの概要を示す図で ある。
符号の説明
[0025] 1 · · ·光ファイバ、 3、 5、 7· · ·増幅用光ファイバ、 2、 4、 6 · · ·光結合器 (WDM)
9、 11、 13 · · '励起光用光ファイバ、 8、 10、 12· · '励起光源、 14· · '波長変換部 21 · ··基板、 22…光ファイバ収納用溝、 22a…光ファイバ収納用溝、 22b…光フアイ バ収納用溝、 23· ··光ファイバ収納用溝、 23a…光ファイバ収納用溝、 24…光フアイ バ増幅器用光学部品収納用凹部
発明を実施するための最良の形態
[0026] 以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図 1は、本発明の実施 形態に力かる光ファイバ増幅部の構成を示す図である。光ファイバ増幅部は、第 1の 増幅用光ファイバ 3と、第 2の増幅用光ファイバ 5と、第 3の増幅用光ファイバ 7と光結 合器 (WDM) 2、 4、 6と、励起光源 8、 10、 12と、励起光用光ファイバ 9、 11、 13とか ら構成される。
[0027] また、不図示の種光源から出射されるレーザ光を光ファイバ増幅部へ導く光フアイ ノ 1と第 1の増幅用光ファイバ 3と第 1の励起光用光ファイバ 9とは、 WDM2を介して 結合されている。同様に、第 1の増幅用光ファイバ 3と第 2の増幅用光ファイバ 5と第 2 の励起光用光ファイバ 11とは、 WDM4を介して結合され、第 2の増幅用光ファイバ 5 と第 3の増幅用光ファイバ 7と第 3の励起光用光ファイバ 13とは、 WDM6を介して結 合されている。 [0028] 各励起光源からの励起光は、各励起光用光ファイバ、各 WDMを通って増幅用光 ファイバ内に導入される。不図示の種光源から出射されたレーザ光は、光ファイバ増 幅部で増幅され、増幅されたレーザ光は波長変換部 14にて紫外光に変換される。
[0029] この光ファイバ増幅部を収納するカセットの構成を説明する。図 2は、本実施形態の 光ファイバ増幅器用カセットの構成を示す図である。基板 21の表面には、一本分の 光ファイバを嵌め込む (収納する）ことができる幅の光ファイバ収納用溝 (一つの溝に は一本の光ファイバが嵌め込まれる） 22、 23と、光ファイバ増幅器用の 5つの光学部 品収納用凹部 24 (以下、単に「光学部品収納用凹部」と!ヽぅ）とが設けられて 、る。
[0030] 光ファイバ収納用溝 23は、光ファイバ収納用溝 23aと光ファイバ収納用溝 23bとか ら構成され、光ファイバ収納用溝 23aは光ファイバ収納用溝 22と交差したのち、光フ アイバ収納用溝 22の一部 22aとなり、光ファイバ収納用溝 23bは光ファイバ収納用溝 22と交差したのち、光学部品収納用凹部 24に接続する。光ファイバ収納用溝 22の 深さは 2mmであり、光ファイバ収納用溝 23bの深さは、 1mmである。光ファイバ収納 用溝 23aは深さ lmmになっている力 光ファイバ収納用溝 22の一部 22aとなってか らは、その深さは 2mmになっている。
[0031] 光ファイバ収納用溝 23a及び光ファイバ収納用溝 22 (光ファイバ収納用溝 22a、 22 bを含む）には、 WDM2、 4、 6、を介して一つに繋がった光ファイバ 1、第 1の増幅用 光ファイバ 3、第 2の増幅用光ファイバ 5、第 3の増幅用光ファイバ 7が嵌め込まれる。 増幅用光ファイバを通過するレーザ光のパワーの増大にともなって、増幅用光フアイ バの卷径が大きくなるように、第 1の増幅用光ファイバ 3、第 2の増幅用光ファイバ 5、 第 3の増幅用光ファイバ 7の順で卷径が大きくなつている。
[0032] 換言すると、光ファイバ収納用溝 23aに嵌め込まれた光ファイバ 1、 3、 5、 7は光ファ ィバ収納用溝 22の一部と交差したのち、光ファイバ収納用溝 22a、光ファイバ収納用 溝 22に嵌め込まれ、光ファイバ収納用溝 22bを経て基板 21の外部へ導出される。
[0033] 光ファイバ収納用溝 23bには、第 1の励起光用光ファイバ 9、第 2の励起光用光ファ ィバ 11、第 3の励起光用光ファイバ 13がそれぞれ嵌め込まれる。
[0034] 光学部品収納用凹部 24には WDM等の光学部品が嵌め込まれ、励起光用光ファ ィバ 9、 11、 13、増幅用光ファイバ 3、 5、 7とそれぞれ結合される。 [0035] 図においては、光ファイバ収納用溝 22と光ファイバ収納用溝 23は交差しているが、 前者の深さが 2mm、後者の深さが lmmであり、各種光ファイバの径が 0.5mmである ので、交差する点で、光ファイバ同士が接触することはない。
[0036] このような基板に形成された溝及び凹部に、それぞれ光ファイバ増幅器用の光ファ ィバと光学部品を収納することにより、これらを整然と収納することができる。なお、図 においては、光学部品収納用凹部 24は 1箇所にまとめて設けているが、これらは、光 ファイバ増幅器の設計仕様に合わせて、基板 1の任意の位置に設けて、光学部品を 収糸内することができる。
[0037] 3つの一連の増幅用光ファイバ 3、 5、 7を、一つのカセットに収容する例を用いて説 明したが、これに限られず、増幅用光ファイバごとにそれぞれのカセットに収納するよ うにしてもよい。
[0038] 収納された各種光ファイバと光学部品は、テープ等で固定してもよいし、接着剤、 セメント、ハンダ等の接着性のある部材で固定するようにしてもよい。又、もう一枚の基 板を表面側に重ね、両者で挟んで固定するようにしてもょ ヽ。
[0039] 又、このような基板 21を冷却基板とし、その表面に光ファイバと光学部品収納用の 凹部を設けるようにしてもよい。冷却基板とは、例えば中が中空になっており、空気、 水、冷媒の通り道となっていて冷却が行われているとか、ペルチェ素子等で冷却が 行われている基板を言う。このようにすれば、冷却基板の表面に光ファイバと光フアイ バ増幅器用光学部品を収納する凹部が形成されているので、光ファイバ増幅器の発 熱を、基板で吸収することができる。又、カセットに冷却基板を重ねて固定し、カセット を冷却するようにしてもよい
このようなカセットを使用することにより、光ファイバおよび光学部品を整然と配置す ることができ、光ファイバ増幅器の作製が容易となる。また光ファイバ又は光学部品に 問題が生じたとしても部位の特定および交換が容易となる。また、光ファイバアンプに よる発熱が生じる場所を他の光ファイバと区別して配置することが可能となり、発熱の 他のファイバへの影響を極力抑えることが可能となる。また、光ファイバ及び光学部 品を溝に入れて固定することにより、輸送時の振動の影響を受けに《なる。カロえて、 カセット自体を冷却することにより、発熱の影響自体を抑えることが可能となる。 また、光ファイバ増幅部（3つの増幅用光ファイノからなる）が複数ある場合は、図 2 で示す光ファイバ増幅器用カセットを複数個用意し、各光ファイバ増幅部を、各カセ ットにそれぞれ収納し、それらの複数のカセットをカセット基板表面上に順次積み重 ねるような構成にする。種光源、波長変交換部を収納するカセットもあわせて順次積 み重ねるような構成にしてもよい。

Claims

請求の範囲
[I] 光ファイバ増幅器を収納するカセットであって、基板の表面に、一本分の光ファイバ の幅に相当する幅の溝と、光ファイバ増幅器用光学部品を配置する凹部とが形成さ れてなる光ファイバ増幅器用カセット。
[2] 前記基板が冷却基板であることを特徴とする請求項 1に記載の光ファイバ増幅器用 カセット。
[3] 前記基板が、冷却基板と接触し、当該冷却基板を介して冷却されて!ヽることを特徴 とする請求項 1に記載の光ファイバ増幅器用カセット。
[4] 光ファイバ増幅器用カセットであって、基板の表面に前記光ファイバ増幅器を構成 する光ファイバを収納するための溝が形成されており、前記溝は互いに接することな く形成された二重以上のスパイラル状部分を有することを特徴とする光ファイバ増幅 器用カセット。
[5] 請求項 4に記載の光ファイバ増幅器用カセットであって、前記スパイラル状部分の 一部に光ファイバ増幅器用光学部品を配置するための凹部が形成されていることを 特徴とする光ファイバ増幅器用カセット。
[6] 請求項 1に記載の光ファイバ増幅器用カセットの前記溝に増幅用光ファイバを収納 し、前記凹部に光ファイバ増幅器用光学部品を収納してなることを特徴とする光ファ ィバ増幅器。
[7] 請求項 6に記載の光ファイバ増幅器の複数個を、前記基板の表面上に順次積み重 ねてなる光ファイバ増幅器。
[8] 請求項 4に記載の光ファイバ増幅器用カセットの前記溝に前記光ファイバ増幅器を 構成する前記光ファイバを 1本のみ収納したことを特徴とする光ファイバ増幅器。
[9] 光源と、前記光源力 照射された光を増幅する請求項 6に記載の光ファイバ増幅器 と、前記増幅された光を所定の波長に変換する波長変換部とを備えた光源装置。
[10] 光源と、前記光源力 照射された光を増幅する請求項 7に記載の光ファイバ増幅器 と、前記増幅された光を所定の波長に変換する波長変換部とを備えた光源装置。
[II] 光源と、前記光源力 照射された光を増幅する請求項 8に記載の光ファイバ増幅器 と、前記増幅された光を所定の波長に変換する波長変換部とを備えた光源装置。
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