WO2008014923A1 - Kontaktiervorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen unter bestimmten temperaturbedingungen - Google Patents

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WO2008014923A1
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fluid
contacting device
contact
contact elements
contacting
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Johann PÖTZINGER
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Multitest Elektronische Systeme GmbH
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
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    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature

Definitions

  • the invention relates to a contacting device for testing electronic components under certain temperature conditions according to the preamble of claim 1.
  • Electronic components such as ICs are known before their installation on printed circuit boards or prior to installation in a particular device electrical and / or mechanical tests, even under extreme temperature conditions, for example, from -60 ° to +160 0 C subjected to the functionality and Reliability of the electronic components under these conditions to test.
  • the components are tempered in the desired manner in the handling machine ("handler") and supplied by the latter to a contacting device which is located between the handling machine and the test device.
  • the contacting device is usually the combination of a contacting board (DUT) Board) and at least one contact socket, the handler side is attached tomaschineierboard.
  • the contact elements are supported, which are usually contact pins (contact pins) or contact springs.
  • the contact elements on the one hand provide an electrical contact to the contact board and thus to the test device on the other hand, and on the other hand make contact with the supplied electronic components to be tested.
  • the contacting by the contacting board can be adapted to geometric requirements of the test device.
  • the contact socket can be adjusted according to the geometric requirements of different components.
  • the contacting device can therefore be constructed in one, two, three or more elements.
  • a two-element construction of contact board and contact base has proven itself.
  • the electrical connection from the contact elements to the test device is expediently carried out via electrically highly conductive materials which have a correspondingly high thermal conductivity. If the test device is brought in a room temperature of 20 0 C so in electrically conductive contact with a temperature-controlled, for example, -60 ° or +160 0 C device, so there is a forced exchange of heat through these electrical lines. In this case, the heat transfer takes place directly on the semiconductor chip, without the previously usual tempering of the shell of the device could compensate for this effect in any case satisfactorily. This may falsify the test results.
  • a contacting device according to the preamble of claim 1 with a formed in the form of a hollow profile contact socket is known, which is mounted on a Maisierboard.
  • a cover body is fastened to the rear side of the contacting board and, together with the contacting board, encloses a fluid feed chamber and a fluid discharge chamber.
  • Fluid supply chamber and Fluidab2020hunt are via openings, which are provided in Maisierboard, with the cavity -A -
  • the invention has for its object to provide a contacting device of the type mentioned, which allows a very simple and cost-effective production of a very accurate temperature control of the contact elements and thus a very accurate testing of the components under certain temperature conditions without the back of the area Occupy contact elements by a temperature control device.
  • the contacting device has a plurality of mutually separate fluid channels for selectively supplying the temperature-controlled fluid to the contact elements, wherein the fluid channels comprise grooves, which in one of the Contact elements laterally surrounding wall of the contacting introduced and covered by a cover part.
  • the invention is therefore based on the idea, if appropriate in addition to the usual tempering of the components, which takes place inside the handling machine by convection and / or heat conduction, the contact elements by means of separate, tempered fluid streams, the targeted individual contact elements via a plurality of separate fluid channels or contact element groups are supplied in such a way to temper so that the contact elements are in spite of their connection to the tempered at room temperature test device exactly at the desired test temperature. If the components are placed on the contact elements, there is thus no change in the temperature of the semiconductor chip within the component, so that the desired temperature of the components held during the testing process and the test operations can be performed in a very accurate manner.
  • the configuration Taktiervorrauma fluid outlet through which the fluid flows to the contacted with the contact elements device to temper the device in addition. This additionally ensures that the component is also kept at the desired test temperature.
  • the additional temperature control of the components can be accomplished in a relatively simple manner by forming the fluid outlet openings through openings of the contacting device, through which the contact elements extend.
  • FIG. 1 shows an exploded view of a contacting device according to the invention in the form of a contact socket with a cover part on the side of the handler;
  • FIG. 3 shows a handler-side view of the contact element of FIG. 2;
  • Figure 4 a section along the line IV-IV of
  • FIG. 3
  • FIG. 5 a handler-side view of the contact socket of FIG. 1 without cover part
  • FIG. 6 shows a tester-side view of the cover part of FIG. 1 with parts of an air supply device adjoining thereto;
  • Figure 7 a side view of the lid part and the
  • FIG. 8 shows an exploded view of the contact base of FIG. 1 and of a tester-side cover part from the side of the test device;
  • FIG. 9 shows the contact socket and the cover part of FIG
  • FIG. 10 shows a sectional view through the contact base and the cover part of FIG. 9 in the region of two contact elements.
  • Figure 11 a schematic representation of a contacting device. and the adjacent part of a prior art handling machine.
  • FIG. 11 schematically shows a contacting device according to the prior art in the transition region to the handling machine.
  • the contacting device consists of a Mixierboard 1, on the handler side, a contact socket 2 is attached.
  • the contact socket 2 has continuous contact elements 3 (contact pins).
  • the contact elements 3 are on the tester side connected to lines 4, which are passed through the Mixierboard 1 and tester side, ie in Figure 11 on the left Pages of Maisierboards 1, in contacts 5 ends.
  • the contacts 5 are connectable with lines, not shown, leading to the test device.
  • the contacting device of Figure 11 is coupled to an automatic handling machine, of which only the front part of a temperature chamber 6 with outer insulating walls 7 is shown.
  • the temperature chamber 6 is closed to the front by the Kunststoffierboard 1.
  • the internal temperature Ti prevails, which may for example range from -60 ° to +160 0 C.
  • a device to be tested 8 is supported in a nest 9, which can be moved by means of a piston, not shown, in the direction of arrow 10 to the contact base 2, to terminal contacts 11 of the device 8, for example, legs, pads or balls, on the contact elements 3 of Contact bases 2 are placed.
  • the component 8 can then be tested by the test device.
  • the nest 9 is removed with the device 8 by means of the piston again from the contact socket 2.
  • FIG. 11 schematically shows a semiconductor chip 12 ("the") which is surrounded by a component casing 13.
  • the substantially rectangular contact socket 2 has a recess 14 which is closed by a recessed wall 15.
  • a central recess 16 which is closed by a central wall portion 17.
  • the wall portion 17 In the wall portion 17 four rows of contact elements 3 are supported, which together form a closed, square ring. Furthermore, four further contact elements 3 are arranged in the middle of this ring.
  • the contact elements 3 are in the direction of the handling machine, i. in Figure 1 to the left, slightly above the wall portion 17, so that an unillustrated, to be tested electronic component with its connection contacts 11 can be placed on the associated contact elements 3.
  • the contact elements 3 may be, for example, straight, variable-length contact pins with suspension (pogo pins), as shown in FIG. These contact elements 3 have a handler-side contact tip 18 and a tester-side contact crown 19.
  • the connection contacts 11 of the component 8 can be placed on the contact tips 18, while the contact crowns 19 can be contacted with the conductors 4 which extend through the contact board 1.
  • a rear contact element section 20 is guided longitudinally displaceable (telescopically) within a front contact element section 21, wherein the pre-clamping force of a spring 22 arranged therebetween causes the two contact element sections 20, 21 to be kept apart.
  • These contact elements 3 can thus spring in when the connection contacts 11 of the building 8 elements are placed on the contact tips 18 so that they can adapt accordingly when the terminals 11 of the components 8 are not all in the same plane.
  • Such contact elements 3 can be made very small and with a small length of a few mm, so that they are used in particular for high-frequency measurements.
  • Both the two contact element sections 20, 21 and the spring 22 expediently consist of a highly conductive material.
  • the contact elements 3 are mounted so as to be longitudinally displaceable with their front contact element section 20 in the central wall section 17 of the contact socket 2, while they are mounted with their rear contact element section 20 in a tester-side cover part 23 which is fastened by means of screws 24 to the contact socket 2 can be screwed.
  • the central wall section 17 has a stepped bore 25 for each contact element 3, while the cover part 23 has a stepped bore 26 aligned therewith.
  • the contact socket 2 has a plurality of handler-side fluid channels 27 and tester-side fluid channels 28.
  • the handler side fluid channels 27 consist at least for the most part of grooves which are introduced from the handler side into the wall 15 and covered by a handler-side cover part 29.
  • the fluid channels 27 are in fluid communication with fluid feed channels 30 which pass through the cover part 29. are guided.
  • the fluid supply channels 30 are in turn in fluid communication with a fluid supply line of a fluid supply device 31, of which only the portion adjacent to the cover part 29 is shown in FIG.
  • the cover part 29 can be inserted into the recess 14 such that it covers the fluid lines 27 and thereby seals in the direction of the automatic handling machine.
  • This seal is, as shown in Figure 6, additionally supported by raised webs 32 which extend in accordance with the course of the fluid channels 27, but project much less far beyond the adjacent flat wall of the cover member 29, as the fluid channels 27 are deep.
  • two fluid passages 27 extend to the two lower corner regions of the central depression 16, while three vertical fluid passages 27 penetrate the wall 15 and are in fluid communication with the tester-side fluid passages 28 (FIGS. 8, 10).
  • the tester-side fluid channels 28 are arranged such that the contact elements 3 are directly flowed around by a temperature-controlled fluid, which is supplied via the fluid supply channels 30 and the fluid channels 27, as shown in FIG. This can be done, for example, by arranging the fluid channels 28 exactly where the individual rows of the contact elements 3 run, so that all the contact elements 3 pierce fluid channels 28.
  • the removal of the tempered fluid from the fluid channels 27, 28 can be effected via fluid outlet openings 33 (FIGS. 1 to 5), which penetrate the central wall section 17 and, on the one hand, with the tester-side fluid channels 28 in fluid communication and on the other hand open into the central recess 16, so that the fluid can flow from there via a central opening 34 of the cover part 29 in the insulating chamber 6 of the handling machine.
  • the opening 34 of the cover part 29 is adapted in shape and size to the central recess 16 of the contact socket 2 and arranged in alignment therewith, so that the device to be tested 8 can be placed through the opening 34 on the contact elements 3.
  • the cover part 29 is screwed by means of screws 35 to the wall 15 of the contact socket 2.
  • the bores 25 in which the contact elements 3 are mounted in the central wall section 17 of the contacting base 2 can have a larger diameter than the outer diameter of the contact elements 3 in this region.
  • tempered fluid which is conducted via the fluid channel 28 to the contact elements 3, can flow via the bores 25 in the direction of the contacted component 8, so that the terminal contacts 11 of the component 8 additionally via the exiting fluid be tempered.
  • the temperature of the fluid is suitably regulated by a separate control circuit, with which the temperature of the fluid can be regulated independently of the temperature control of the components 8 carried out in the handling machine and adapted to the respective requirements. Furthermore, the pressure of the fluid conducted to the contacting device can also be adapted according to the respective requirements. By a different size of the fluid channels 27, 28 it is possible Lich to adjust the guided to individual areas of the contacting device fluid amount.
  • the fluid may be, for example, tempered, dried air or nitrogen.

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Abstract

Bei einer Vorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen, insbesondere IC's, unter bestimmten Temperaturbedingungen werden die Kontaktelemente (3) der Kontaktiervorrichtung getrennt von der Temperierung der Bauelemente mittels eines temperierten Fluids temperiert, das der Kontaktiervorrichtung über eine an die Kontaktiervorrichtung angeschlossene Fluidzuführleitung zugeführt wird. Hierzu weist die Kontaktiervorrichtung eine Mehrzahl voneinander getrennter Fluidkanäle (27, 28) zum gezielten Zuführen des temperierten Fluids zu den Kontaktelementen (3) auf, wobei die Fluidkanäle (27, 28) Nuten umfassen, die in eine die Kontaktelemente seitlich umgebende Wand (15) der Kontaktiervorrichtung eingebracht und mittels eines Deckelteils (29, 23) abgedeckt sind.

Description

Kontaktiervorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen unter bestimmten Temperaturbedingungen
Die Erfindung betrifft eine Kontaktiervorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen unter bestimmten Temperaturbedingungen gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Elektronische Bauelemente wie beispielsweise ICs werden bekannterweise vor ihrer Montage auf Leiterplatten oder vor dem Einbau in ein bestimmtes Gerät elektrischen und/ oder mechanischen Tests, auch unter extremen Temperaturbe- dingungen von beispielsweise -60° bis +1600C, unterzogen, um die Funktionsfähigkeit und Zuverlässigkeit der elektronischen Bauelemente unter diesen Bedingungen zu testen. Die Bauelemente werden hierbei im Handhabungsautomaten ("Handler") in der gewünschten Weise temperiert und von diesem einer Kontaktiervorrichtung zugeführt, die sich zwischen dem Handhabungsautomaten und der Testvorrichtung befindet.
Bei der Kontaktiervorrichtung handelt es sich üblicher- weise um die Kombination eines Kontaktierboards (DUT- Board) und mindestens eines Kontaktsockels, der handler- seitig am Kontaktierboard angebracht ist. Am Kontaktsockel sind die Kontaktelemente gehaltert, bei denen es sich üblicherweise um Kontaktstifte (Kontaktpins) oder Kontaktfe- dern handelt. Die Kontaktelemente schaffen einerseits tes- terseitig einen elektrischen Kontakt zum Kontaktierboard und damit zur Testvorrichtung und andererseits handlersei- tig einen Kontakt zu den zugeführten, zu testenden elektronischen Bauelementen.
Dieser Aufbau erlaubt grundsätzlich eine hohe Flexibilität. Testerseitig kann die Kontaktierung durch das Kontaktierboard geometrischen Erfordernissen der Testvorrichtung angepasst werden. Handlerseitig kann der Kontaktsockel entsprechend den geometrischen Erfordernissen verschiedener Bauelemente angepasst werden. Es ist jedoch nicht zwingend, ein Kontaktierboard und einen Kontaktsockel aus zwei unterschiedlichen Elementen zu fertigen und zu betrachten, weshalb diese zusammen zweckmäßigerweise als Kontaktiervorrichtung bezeichnet werden können. Die Kontaktiervorrichtung kann also ein-, zwei-, drei- oder mehr- elementig aufgebaut sein. Ein zweielementiger Aufbau aus Kontaktierboard und Kontaktsockel hat sich allerdings bewährt.
Insbesondere bei elektronischen Bauelementen, die selbst für die Temperaturmessung eingesetzt werden, ist es erforderlich, dass während des Tests dieser elektronischen Bauelemente genaue Temperaturbedingungen eingehalten werden. Sowohl Hersteller elektronischer Geräte als auch Hersteller von elektronischen Bauelementen definieren die erforderliche Genauigkeit beim Temperaturtest von elektronischen Bauelementen, damit ein erfolgreicher Einsatz ge- währleistet ist. Hierbei tritt das Problem auf, dass die Temperatur des Halbleiterplättchens ("Die") , auf die es maßgebend ankommt, von der Temperatur der Bausteinummante- lung abweichen kann. Dies kann insbesondere während des Testvorgangs durch die Kontaktelemente der Kontaktiervorrichtung verursacht werden, da die Kontaktelemente mit der Testvorrichtung verbunden sind, die üblicherweise eine der Raumtemperatur entsprechende Temperatur von beispielsweise 200C aufweist, wodurch die Temperatur der Kontaktelemente beeinflusst wird. Die elektrische Verbindung von den Kontaktelementen bis zur Testvorrichtung erfolgt nämlich zweckmäßigerweise über elektrisch gut leitende Materialien, die eine entsprechend hohe Wärmeleitfähigkeit haben. Wenn die Testvorrichtung bei einer Raumtemperatur von 200C also in elektrisch leitendem Kontakt mit einem auf beispielsweise -60° oder +1600C temperierten Bauelement gebracht wird, so erfolgt zwangsweise ein Wärmeaustausch über diese elektrischen Leitungen. Dabei erfolgt die Wärmeübertragung direkt auf das Halbleiterplättchen, ohne dass die bisher übliche Temperierung der Ummantelung des Bauelements diesen Effekt in jedem Fall befriedigend ausgleichen könnte. Hierdurch können die Testergebnisse verfälscht werden.
Aus der US 2004/0077200 Al ist eine Kontaktiervorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 mit einem in der Form eines Hohlprofils ausgebildeten Kontaktsockel bekannt, der auf einem Kontaktierboard befestigt ist. An der Rückseite des Kontaktierboards ist ein Abdeckkörper be- festigt, der zusammen mit dem Kontaktierboard eine Fluid- zuführkammer und eine Fluidabführkammer umschließt. Fluid- zuführkammer und Fluidabführkammer sind über Öffnungen, die im Kontaktierboard vorgesehen sind, mit dem Hohlraum -A -
des Kontaktsockels verbunden, so dass temperiertes Fluid in den Hohlraum des Kontaktsockels eingeleitet und sämtliche Kontaktelemente gleichzeitig temperiert werden. Nachteilig ist hierbei jedoch, dass es mit der bekannten Kon- taktiervorrichtung nicht möglich ist, auf unterschiedliche Temperierungsanforderungen einzelner Kontaktelemente oder Kontaktelementgruppen zu reagieren. Die gewünschten Temperaturbedingungen an den Kontaktelementen können somit nicht immer eingehalten werden, worunter die Testgenau- igkeit leiden kann. Darüber hinaus wird der Bereich auf der Rückseite des Kontaktierboards hinter dem Kontaktsockel durch den Abdeckkörper blockiert, so dass dieser Bereich nicht für Durchkontaktierungen bzw. zum Anschluss von elektrischen Leitungen verwendet werden kann.
Hiervon ausgehend, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Kontaktiervorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei möglichst einfacher und kostengünstiger Herstellung eine sehr genaue Temperierung der Kontaktelemente und damit ein sehr genaues Testen der Bauelemente unter bestimmten Temperaturbedingungen ermöglicht, ohne den rückseitigen Bereich der Kontaktelemente durch eine Temperierungseinrichtung zu besetzen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung gemäß dem Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprüchen beschrieben.
Die erfindungsgemäße Kontaktiervorrichtung weist eine Mehrzahl voneinander getrennter Fluidkanäle zum gezielten Zuführen des temperierten Fluids zu den Kontaktelementen auf, wobei die Fluidkanäle Nuten umfassen, die in eine die Kontaktelemente seitlich umgebende Wand der Kontaktiervorrichtung eingebracht und mittels eines Deckelteils abgedeckt sind.
Der Erfindung liegt somit der Gedanke zugrunde, gegeben- falls zusätzlich zur üblichen Temperierung der Bauelemente, die innerhalb des Handhabungsautomaten durch Konvek- tion und/oder Wärmeleitung erfolgt, die Kontaktelemente mittels separater, temperierter Fluidströme, die über eine Mehrzahl voneinander getrennter Fluidkanäle gezielt einzelnen Kontaktelementen oder Kontaktelementgruppen zugeführt werden, derart zu temperieren, dass sich die Kontaktelemente trotz ihrer Verbindung zu der auf Raumtemperatur temperierten Testvorrichtung genau auf der gewünsch- ten Testtemperatur befinden. Werden die Bauelemente auf die Kontaktelemente aufgesetzt, erfolgt somit keine Änderung der Temperatur des Halbleiterplättchens innerhalb des Bauelements, so dass die gewünschte Temperatur der Bauelemente während des Testvorgangs gehalten und die Test- Vorgänge auf sehr genaue Weise durchgeführt werden können. Dies ist insbesondere bei Kontaktiervorrichtungen zum Testen von Bauelementen vorteilhaft, die im Hochfrequenzbereich eingesetzt werden, da dort üblicherweise sehr kurze, gerade, längenveränderliche Kontaktstifte mit Federung (sogenannte Pogo-Pins) eingesetzt werden, die ohne separate Zwangstemperierung einen starken Wärmeaustausch zum Halbleiterplättchen der zu testenden Bauelemente verursachen würden. Der rückseitige Bereich der Kontaktelemente wird hierbei nicht durch die Temperierungseinrichtung besetzt. Weiterhin lassen sich die erfindungsgemäßen Fluidkanäle auf relativ einfache und kostengünstige Weise herstellen.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist die Kon- taktiervorrichtung Fluidauslassöffnungen auf, über welche das Fluid zu dem mit den Kontaktelementen kontaktierten Bauelement strömt, um das Bauelement zusätzlich zu temperieren. Dies gewährleistet zusätzlich, dass auch das Bau- element auf der gewünschten Testtemperatur gehalten wird.
Die zusätzliche Temperierung der Bauelemente lässt sich auf relativ einfache Weise dadurch bewerkstelligen, dass die Fluidauslassöffnungen durch Öffnungen der Kontaktier- Vorrichtung gebildet werden, durch welche sich die Kontaktelemente hindurch erstrecken.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 : eine Explosionsdarstellung einer erfindungsgemäßen Kontaktiervorrichtung in der Form eines Kontaktsockels mit handlersei- tigem Deckelteil;
Figur 2 : den Kontaktsockel und das Deckelteil von
Figur 1 in montiertem Zustand;
Figur 3 : eine handlerseitige Ansicht des Kontaktso- ckels von Figur 2;
Figur 4 : einen Schnitt längs der Linie IV-IV von
Figur 3;
Figur 5 : eine handlerseitige Ansicht des Kontaktsockels von Figur 1 ohne Deckelteil; Figur 6 : eine testerseitige Ansicht des Deckelteils von Figur 1 mit daran angrenzenden Teilen einer Luftversorgungseinrichtung;
Figur 7 : eine Seitenansicht des Deckelteils und der
Luftversorgungseinrichtung von Figur 6;
Figur 8 : eine Explosionsdarstellung des Kontaktsockels von Figur 1 und eines testerseitigen Deckelteils von der Seite der Testvorrichtung her;
Figur 9 : den Kontaktsockel und das Deckelteil von
Figur 8 in montiertem Zustand;
Figur 10 : eine Schnittdarstellung durch den Kontaktsockel und das Deckelteil von Figur 9 im Bereich zweier Kontaktelemente; und
Figur 11 : eine schematische Darstellung einer Kontaktiervorrichtung . und des angrenzenden Teils eines Handhabungsautomaten gemäß dem Stand der Technik.
Aus Figur 11 ist schematisch eine Kontaktiervorrichtung gemäß dem Stand der Technik im Übergangsbereich zum Handhabungsautomaten ersichtlich. Die Kontaktiervorrichtung besteht aus einem Kontaktierboard 1, an dem handlerseitig ein Kontaktsockel 2 befestigt ist. Der Kontaktsockel 2 weist durchgehende Kontaktelernente 3 (Kontaktpins) auf. Die Kontaktelemente 3 sind testerseitig mit Leitungen 4 verbunden, die durch das Kontaktierboard 1 hindurchgeführt sind und testerseitig, d.h. in Figur 11 auf der linken Seiten des Kontaktierboards 1, in Kontakten 5 enden. Die Kontakte 5 sind mit nicht dargestellten Leitungen verbindbar, die zur Testvorrichtung führen. Auf der linken Seite des Kontaktierboards 1, d.h. testerseitig, herrscht die Außentemperatur Ta, die der Raumtemperatur entspricht.
Die Kontaktiervorrichtung von Figur 11 wird an einem Handhabungsautomaten angekoppelt, von dem nur der vordere Teil einer Temperaturkammer 6 mit äußeren isolierenden Wänden 7 dargestellt ist. Die Temperaturkammer 6 wird nach vorne durch das Kontaktierboard 1 verschlossen. Im Inneren der Temperaturkammer 6 herrscht die Innentemperatur Ti, die beispielsweise von -60° bis +1600C reichen kann. Ein zu testendes Bauelement 8 ist in einem Nest 9 gehaltert, das mittels eines nicht dargestellten Kolbens in Richtung des Pfeils 10 an den Kontaktsockel 2 herangefahren werden kann, bis Anschlusskontakte 11 des Bauelements 8, beispielsweise Beinchen, Pads oder Balls, auf den Kontaktelementen 3 des Kontaktsockels 2 aufgesetzt sind. In die- sem Zustand kann dann das Bauelement 8 von der Testvorrichtung getestet werden. Nach Beendigung des Tests wird das Nest 9 mit dem Bauelement 8 mittels des Kolbens wieder vom Kontaktsockel 2 entfernt. Weiterhin ist in Figur 11 noch schematisch ein Halbleiterplättchen 12 ("Die") dar- gestellt, das von einer Bauelementummantelung 13 umgeben ist.
Im Folgenden wird anhand der Figuren 1 bis 10 eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktiervor- richtung beschrieben.
Wie aus den Figuren 1 bis 3 und 5 ersichtlich, welche die erfindungsgemäße Kontaktiervorrichtung von der Seite des Handhabungsautomaten her zeigen, weist der im Wesentlichen rechteckige Kontaktsockel 2 eine Aussparung 14 auf, die durch eine zurückversetzte Wand 15 abgeschlossen ist. In der Wand 15 befindet sich eine zentrale Vertiefung 16, die durch einen zentralen Wandabschnitt 17 abgeschlossen ist.
Im Wandabschnitt 17 sind vier Reihen von Kontaktelementen 3 gehaltert, die zusammen einen geschlossenen, viereckigen Ring ergeben. Weiterhin sind in der Mitte dieses Rings vier weitere Kontaktelemente 3 angeordnet. Die Kontaktelemente 3 stehen in Richtung des Handhabungsautomaten, d.h. in Figur 1 nach links, geringfügig über den Wandabschnitt 17 vor, so das ein nicht dargestelltes, zu testendes elektronisches Bauelement mit seinen Anschluss- kontakten 11 auf die zugehörigen Kontaktelemente 3 aufgesetzt werden kann.
Bei den Kontaktelementen 3 kann es sich beispielsweise um gerade, längenveränderliche Kontaktstifte mit Federung (Pogo-Pins) handeln, wie sie in Figur 10 dargestellt sind. Diese Kontaktelemente 3 weisen eine handlerseitige Kontaktspitze 18 und eine testerseitige Kontaktkrone 19 auf. Auf die Kontaktspitzen 18 können die Anschlusskontakte 11 des Bauelements 8 (vgl. Figur 11) aufgesetzt werden, wäh- rend die Kontaktkronen 19 mit den Leitungen 4 kontaktiert werden können, die sich durch das Kontaktierboard 1 hindurcherstrecken. Ein hinterer Kontaktelementabschnitt 20 ist längsverschiebbar (teleskopisch) innerhalb eines vorderen Kontaktelementabschnitts 21 geführt, wobei die Vor- Spannkraft einer dazwischen angeordneten Feder 22 bewirkt, dass die beiden Kontaktelementabschnitte 20, 21 auseinander gehalten werden. Diese Kontaktelemente 3 können somit einfedern, wenn die Anschlusskontakte 11 der Bau- elemente 8 auf die Kontaktspitzen 18 aufgesetzt werden, so dass sie sich entsprechend anpassen können, wenn die Anschlusskontakte 11 der Bauelemente 8 nicht alle in der gleichen Ebene liegen.
Derartige Kontaktelemente 3 können sehr klein und mit geringer Länge von wenigen mm ausgeführt werden, so dass sie insbesondere für Hochfrequenzmessungen eingesetzt werden. Sowohl die beiden Kontaktelementabschnitte 20, 21 als auch die Feder 22 bestehen dabei zweckmäßigerweise aus einem gut leitenden Material.
Wie aus den Figuren 8 bis 10 ersichtlich, sind die Kontaktelemente 3 mit ihrem vorderen Kontaktelementabschnitt 20 im zentralen Wandabschnitt 17 des Kontaktsockels 2 längsverschiebbar gelagert, während sie mit ihrem hinteren Kontaktelementabschnitt 20 in einem testerseitigen Deckelteil 23 gelagert sind, das mittels Schrauben 24 am Kontaktsockel 2 festgeschraubt werden kann. Hierbei weist, wie aus Figur 10 ersichtlich, der zentrale Wandabschnitt 17 für jedes Kontaktelement 3 eine gestufte Bohrung 25 auf, während das Deckelteil 23 eine hierzu fluchtende, gestufte Bohrung 26 aufweist.
Wie insbesondere aus den Figuren 1, 5 und 8 ersichtlich, weist der Kontaktsockel 2 eine Mehrzahl von handlerseiti- gen Fluidkanälen 27 und testerseitigen Fluidkanälen 28 auf. Die handlerseitigen Fluidkanäle 27 bestehen zumindest größtenteils aus Nuten, die von der Handlerseite her in die Wand 15 eingebracht und mittels eines handlerseitigen Deckelteils 29 abgedeckt sind. In ihrem oberen Endbereich stehen die Fluidkanäle 27 mit Fluidzuführkanälen 30 in Fluidverbindung, welche durch das Deckelteil 29 hindurch- geführt sind. Die Fluidzuführkanäle 30 stehen wiederum mit einer Fluidzuführleitung einer Fluidversorgungseinrichtung 31 in Fluidverbindung, von der in Figur 6 nur der dem Deckelteil 29 benachbarte Abschnitt dargestellt ist.
Das Deckelteil 29 ist in die Aussparung 14 derart einsetzbar, dass es die Fluidleitungen 27 überdeckt und dadurch in Richtung des Handhabungsautomaten abdichtet. Diese Abdichtung wird, wie aus Figur 6 ersichtlich, zusätzlich durch erhabene Stege 32 unterstützt, die entsprechend dem Verlauf der Fluidkanäle 27 verlaufen, jedoch über die benachbarte ebene Wand des Deckelteils 29 wesentlich weniger weit vorstehen, als die Fluidkanäle 27 tief sind.
Wie aus den Figuren 1 und 5 ersichtlich, verlaufen zwei Fluidkanäle 27 zu den beiden unteren Eckbereichen der zentralen Vertiefung 16, während drei vertikale Fluidkanäle 27 die Wand 15 durchdringen und mit den testerseitigen Fluidkanälen 28 (Figuren 8, 10) in Fluidverbindung stehen.
Die testerseitigen Fluidkanäle 28 sind so angeordnet, dass die Kontaktelemente 3 von einem temperierten Fluid, das über die Fluidzuführkanäle 30 und die Fluidkanäle 27 zugeführt wird, direkt umströmt werden, wie aus Figur 10 er- sichtlich. Dies kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass die Fluidkanäle 28 genau dort angeordnet sind, wo die einzelnen Reihen der Kontaktelemente 3 verlaufen, so dass alle Kontaktelemente 3 Fluidkanäle 28 durchstoßen.
Das Abführen des temperierten Fluids aus den Fluidkanälen 27, 28 kann über Fluidauslassöffnungen 33 erfolgen (Figuren 1 bis 5) , welche den zentralen Wandabschnitt 17 durchdringen und einerseits mit den testerseitigen Fluidkanälen 28 in Fluidverbindung stehen und andererseits in die zentrale Vertiefung 16 münden, so dass das Fluid von dort über eine zentrale Öffnung 34 des Deckelteils 29 in die Isolierkammer 6 des Handhabungsautomaten abströmen kann. Die Öffnung 34 des Deckelteils 29 ist in Form und Größe an die zentrale Vertiefung 16 des Kontaktsockels 2 angepasst und fluchtend zu dieser angeordnet, so dass das zu testende Bauelement 8 durch die Öffnung 34 hindurch auf die Kontaktelemente 3 aufgesetzt werden kann. Das Deckelteil 29 wird mittels Schrauben 35 an der Wand 15 des Kontaktsockels 2 festgeschraubt.
Wie aus Figur 10 ersichtlich, können die Bohrungen 25, in denen die Kontaktelemente 3 im zentralen Wandabschnitt 17 des Kontaktiersockels 2 gelagert sind, einen größeren Durchmesser als der Außendurchmesser der Kontaktelemente 3 in diesem Bereich aufweisen. Hierdurch kann erreicht werden, dass temperiertes Fluid, das über den Fluidkanal 28 zu den Kontaktelementen 3 geleitet wird, über die Boh- rungen 25 in Richtung des kontaktierten Bauelements 8 strömen kann, so dass auch die Anschlusskontakte 11 des Bauelements 8 zusätzlich über das austretende Fluid temperiert werden.
Die Temperierung des Fluids wird zweckmäßigerweise über einen separaten Regelkreis geregelt, mit dem die Temperatur des Fluids unabhängig von der im Handhabungsautomaten durchgeführten Temperierung der Bauelemente 8 geregelt und an die jeweiligen Erfordernisse angepasst werden kann. Weiterhin kann auch der Druck des zur Kontaktiervorrichtung geleiteten Fluids entsprechend den jeweiligen Erfordernissen angepasst werden. Durch eine verschieden große Dimensionierung der Fluidkanäle 27, 28 ist es mög- lich, die zu einzelnen Bereichen der Kontaktiervorrichtung geleitete Fluidmenge einzustellen.
Beim Fluid kann es sich bekanntermaßen beispielsweise um temperierte, getrocknete Luft oder um Stickstoff handeln.

Claims

Patentansprüche:
1. Kontaktiervorrichtung zum elektrischen Testen von elek- tronischen Bauelementen unter bestimmten Temperaturbedingungen mittels einer Testvorrichtung, wobei die Kontaktiervorrichtung zwischen der Testvorrichtung und einem Handhabungsautomaten für die Bauelemente angeordnet ist und eine Mehrzahl von Kontaktelementen (3) aufweist, die einerseits mit der Testvorrichtung elektrisch verbunden sind und mit denen andererseits Anschlusskontakte (11) der zu testenden Bauelemente (8) in Kontakt bringbar sind, und wobei die Kontaktiervorrichtung über eine Fluidzuführlei- tung mit einer Fluidversorgungseinrichtung (31) in Fluid- Verbindung ist und die Kontaktelemente (3) mittels eines von der Fluidversorgungseinrichtung (31) gelieferten temperierten Fluids temperierbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktiervorrichtung eine Mehrzahl voneinander getrennter Fluidkanäle (27, 28) zum gezielten Zufüh- ren des temperierten Fluids zu den Kontaktelementen (3) aufweist, wobei die Fluidkanäle (27, 28) Nuten umfassen, die in eine die Kontaktelemente seitlich umgebende Wand (15) der Kontaktiervorrichtung eingebracht und mittels eines Deckelteils (29, 23) abgedeckt sind.
2. Kontaktiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluidkanäle (27, 28) über mindestens einen im Deckelteil (29) angeordneten Fluidzuführkanal
(30) mit der Fluidversorgungseinrichtung in Fluidverbin- düng stehen.
3. Kontaktiervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktiervorrichtung Fluidaus- lassöffnungen (33) aufweist, über welche das Fluid zu dem mit den Kontaktelementen (3) kontaktierten Bauelement (8) strömt, um das Bauelement (8) zusätzlich zu temperieren.
4. Kontaktiervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluidauslassöffnungen (33) durch Öff- nungen der Kontaktiervorrichtung gebildet werden, durch welche sich die Kontaktelemente (3) hindurch erstrecken.
5. Kontaktiervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktelemen- te (3) aus geraden, längenveränderlichen Kontaktstiften mit Federung (Pogo-Pins) bestehen.
6. Kontaktiervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktiervor- richtung mindestens einen Kontaktsockel (2) und ein Kontaktierboard (1) umfasst, an dem der Kontaktsockel (2) befestigt ist.
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