WO2008056546A1

WO2008056546A1 - Codeur absolu

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Publication number: WO2008056546A1
Application number: PCT/JP2007/070879
Authority: WO
Inventors: Susumu Makinouchi
Original assignee: Nikon Corp; Sendai Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp; Sendai Nikon Corp
Priority date: 2006-11-06
Filing date: 2007-10-26
Publication date: 2008-05-15
Anticipated expiration: 2009-05-06
Also published as: JP4924878B2; JP2008116343A

Description

明細書

アブソリュートエンコーダ

技術分野

[0001] 本発明はアブソリュートエンコーダに係り、更に詳しくは、移動する物体の変位を計測するアブソリュートエンコーダに関する。

背景技術

[0002] 従来のアブソリユートエンコーダは、アブソリユートパターンとインクリメンタルパターンのそれぞれを有する 2つのトラックが略平行に設けられた符号板 (スケール）と、この符号板に対向して両トラックの長手方向に相対移動可能な検出器と、を備えている（特許文献 1)。そして、アブソリュートパターンとインクリメンタルパターンのそれぞれを走査することによって得られる 2つの検出信号より、符号板と検出器との位置関係（絶対的な位置）を、例えば j進数 (j目盛り）で、提示する。

[0003] この種のアブソリュートエンコーダでは、その計測範囲は、 1ビット当たりの分解能（1 目盛りの長さ）とビット長 j (j進数）の積で決まる。そのため、計測範囲を拡げるためには、 1ビット当たりの分解能を下げる（1目盛りの長さを長くする）、あるいはビット長 jを大きくとる必要がある。

[0004] しかし、分解能を下げると高精度な計測ができなくなる。また、ビット長 jを大きくとると、検出器に設けられる受光素子の構成及びそれらの検出信号を処理するための電子回路が複雑になり、ひいては検出器の大型化、複雑化を招くおそれがある。

[0005] 特許文献 1：特開平 2— 168115号公報

発明の開示

課題を解決するための手段

[0006] 本発明は、上述した事情の下になされたものであり、一軸方向に関する絶対位置情報を計測するアブソリュートエンコーダであって、前記一軸方向に関して所定周期を有する第 1のアブソリュートパターン力、前記一軸方向に沿って複数配列された第 1のトラックと、前記一軸方向に関して、前記所定周期の整数倍でない周期を有する第 2のアブソリュートパターンが、前記一軸方向に沿って複数配列された第 2のトラックと、を有する符号板と；前記符号板を介した光を受光する受光器と；を備えるアブソリュートエンコーダである。

[0007] これによれば、第 1のアブソリュートパターンを介した光を受光器で受光するとともに、第 2のアブソリュートパターンを介した光を受光器で受光するので、符号板と検出器との位置関係についての、 2つの受光結果が得られる。これらの受光結果を組み合わせて位置関係を算出することにより、計測範囲を拡げることが可能になる。

図面の簡単な説明

[0008] [図 1]一実施形態に係るアブソリュートエンコーダを示す概略図である。

[図 2]図 1の第 1の信号処理部 30を説明するための図である。

[図 3]図 1の第 2の信号処理部 130を説明するための図である。

[図 4]第 1の信号処理部 30における各コンパレータの出力波形と最終出力信号との関係を示す図である。

[図 5]図 5 (A)は、スケール 11の全体を概略的に示す図であり、図 5 (B)は、図 5 (A) のスケール 11を用いた出力結果を示す図である。

[図 6]スケール 11上における絶対位置 (ABS)の計算結果を示す表である。

発明を実施するための最良の形態

[0009] 以下、本発明の一実施形態について、図 1〜図 6に基づいて説明する。図 1には、本実施形態の光学式エンコーダ（アブソリュートエンコーダ） 10の全体構成が示されている。

[0010] 光学式エンコーダ 10は、スケール (符号板） 11と、検出部 20と、信号処理系 40と、力、ら構成される。

[0011] スケール 11は、透明基板からなり、その表面には、例えば金属を蒸着することによつて、不透明部分と透明部分とが形成されている。このスケール 11には、 Y軸方向に所定間隔をあけて、 X軸方向を長手方向とする 4つのトラックが形成されている。具体的には、その最も + Y側に、第 1のアブソリュートパターンを有する第 1のトラック 13が、その一 Y側に、第 1のインクリメンタルパターンを有する第 2のトラック 15が、その一 Y側に、第 2のアブソリュートパターンを有する第 3のトラック 113が、更にその一 ¥側（最も一 Y側）に、第 2のインクリメンタルパターンを有する第 4のトラック 115が、形成されている。

[0012] 第 1のトラック 13の第 1のアブソリュートパターンは、幅（周期） Ha内を 16の最小読み取り単位パターン（以下、「第 1単位パターン」と呼ぶ）で分割して目盛り数を 16とした 4ビットのアブソリユートコードでり、全酉己置酉己歹 IJと呼ばれる「00001011001111 01」のパターンを有するものである。すなわち、第 1のトラック 13の幅 Ha内には、 X 側から + X側にかけて、透明部分による連続した 4つの「0」ビット、不透明部分による 1つの「1」ビット、透明部分による 1つの「0」ビット、不透明部分による連続した 2つの「 1」ビット、透明部分による連続した 2つの「0」ビット、不透明部分による連続した 4つの「1」ビット、透明部分による 1つの「0」ビット、不透明部分による 1つの「1」ビットのパターンが形成されている。なお、本実施形態では、例えば、 1ビットの幅 (X軸方向に関する幅）は 1 · 0〔mm〕であるものとし、幅 Haは、例えば 16〔mm〕であるものとする。また、第 1のトラック 13上には、スケール 11全体を示す図 5 (A)から分かるように、上記配列を 1周期としたパターンが 5周期分 (A0〜A4)だけ配列されて!/、る。従って、本実施形態では、第 1のトラック 13のパターン部分の全長 (X軸方向に関する全長）は、 80〔mm〕となっている。

[0013] 図 1に戻り、第 2のトラック 15の第 1のインクリメンタルパターンは、幅 Haを 32等分して、各分割領域を不透明部分と透明部分とで交互に繰り返したパターンである。この第 1のインクリメンタルパターンは、第 1のアブソリュートパターンに対して、所定の位相差 (前述した第 1単位パターンの X軸方向に関する幅の 1/4に相当する位相差）をつけて配置されている。なお、本実施形態では、不透明部分及び透明部分の X軸方向に関する幅は 0. 5〔111111〕でぁり、位相差は0. 25〔mm〕であるものとする。

[0014] 第 3のトラック 113の第 2のアブソリユートパターンは、前述した第 1のアブソリユートノターンと比較して、 1ビットの幅は異なる力その配列などに関してはほぼ同一とされている。すなわち、第 2のアブソリユートパターンは、幅 Hb (〉Ha)内を 16の最小読み取り単位パターン（以下、「第 2単位パターン」と呼ぶ）で分割して目盛り数を 16とした 4ビットのアブソリュートコードであり、第 1のアブソリュートパターンと同様、全配置酉己歹 IJ「0000101100111101」のノターンを有するものである。本実施形態では、 1 ビットの幅（X軸方向に関する幅）が 1 · 25〔mm〕であるものとし、幅 Hbが、例えば 20 〔mm〕であるものとする。本実施形態では、第 3のトラック 113上には、この配列を 1周期としたパターンが図 5 (A)に示されるように 4周期分（B0〜B3)配列されて!/、るため、第 3のトラック 13のパターン部分の全長 (X軸方向に関する全長）は、第 1のトラック 1 3と同様、 80〔mm〕<^なっている。

[0015] 図 1に戻り、第 4のトラック 115の第 2のインクリメンタルパターンは、幅 Hbを 32等分して、各分割領域を不透明部分と透明部分とに交互に繰り返したパターンである。なお、本実施形態では、不透明部分及び透明部分の X軸方向に関する幅は、 0. 625〔 mm〕であるものとする。この第 2のインクリメンタルパターンは、前述した第 2のアブソリュートパターンに対して、前述した第 2単位パターンの X軸方向に関する幅の 1/4 に相当する位相差をつけて配置されて!/、る。

[0016] 検出部 20は、第 1のアブソリュート信号用検出器 29と、単一のフォトダイオードから成る第 1のインクリメンタル信号用検出器 25と、第 2のアブソリュート信号用検出器 12 9と、単一のフォトダイオードから成る第 2のインクリメンタル信号用検出器 125と、を含んでいる。

[0017] 第 1のアブソリュート信号用検出器 29は、フォトダイオードアレイを構成する 8つのフォ卜ダイオード、 21a, 21b, 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24bを含んでいる。また、第 2 のアブソリユート信号用検出器 129は、フォトダイオードアレイを構成する 8つのフォトダイオード 121a, 121b, 122a, 122b, 123a, 123b, 124a, 124bを含んでいる。

[0018] この検出器 20は、例えば、スケール 11の Z側に配置されており、スケール 11に + Z側から光が照射され、スケール 11の透明部分を透過した光を受光したときには信号「0」を信号処理系 40に出力し、スケール 11の不透明部分で遮光され、光を受光しなかったときには信号処理系 40に「1」を出力するものとする。

[0019] 信号処理系 40は、上記の検出部 20からの信号を、検出部 20を基準とするスケール 11の絶対位置に変換する。ここで、信号処理系 40は、第 1の信号処理部 30、第 2 の信号処理部 130、演算部 50を含んでいる。

[0020] 第 1の信号処理部 30は、図 2に示されるような回路を有している。すなわち、第 1の信号処理部 30は、 8つのフォトダイオード 21a〜24bからの出力をそれぞれ増幅する 8つの増幅器 31a, 31b, 32a, 32b, 33a, 33b, 34a, 34bと、各増幅器力、ら出力された信号を波型整形して矩形波信号からなるパルス列を形成するコンパレータ 41a, 41b, 42a, 42b, 43a, 43b, 44a, 44bと、卜ライステートノッファ回路 51a, 51b, 52 a, 52b, 53a, 53b, 54a, 54bとを含んでいる。また、第 1のインクリメンタノレ信号用検出器 25からの出力を増幅する増幅器 35と、増幅器 35から出力された信号を方形波に整形し、二値信号を出力するコンパレータ 45とを含んでいる。このコンパレータ 45 からの出力は、トライステートバッファ回路 51a〜54bに入力するようになっている。

[0021] このように構成される第 1の信号処理部 30では、コンパレータ 45からの出力（二値信号）が低レベルの場合には、トライステートバッファ回路 51a, 52a, 53a, 54aが、フ才トダイ才ード 21a, 22a, 23a, 24aによる検出信号に基づくノノレス歹 IJ (ノノレス歹 Ij7 la, 72a, 73a, 74a)を出力端子 61, 62, 63, 64に出力し、出力（二値信号）が高レベルの場合にはトライステートバッファ回路 51b, 52b, 53b, 54b力フォトダイォード 21b, 22b, 23b, 24bによる検出信号に基づくノノレス歹 IJ (ノノレス歹 lj71b, 72b, 73b , 74b)を出力端子 61, 62, 63, 64に出力する。

[0022] これについて、図 4に基づいて、具体的に説明する。図 4には、第 1の信号処理部 3 0における各コンパレータの出力波形と最終出力信号との関係が示されている。このうち、センサ選択信号 (a又は b)は、コンパレータ 45からの出力（二値信号 75 (図 2参照））が低レベルのときに「a」、二値信号 75が高レベルのときに「b」を出力するものとされており、センサ選択信号が「a」のときには、コンパレータ 41a, 42a, 43a, 44a力、ら出力されるフォトダイオード 21a, 22a, 23a, 24aの検出出力によるパルス列 71a, 72a, 73a, 74aが最終出力として選択される。逆に、センサ選択信号が「b」のときには、コンノレータ 41b, 42b, 43b, 44b力、ら出力されるフォトダイ才ード 21b, 22b, 2 3b, 24bの検出出力によるパルス列 71b, 72b, 73b, 74bが最終出力として選択される。

[0023] そして、第 1の信号処理部 30では、これら最終出力のうち、パルス列 71a (又は 71b )の出力には 2³を掛け、パルス列 72a (又は 72b)の出力には 2²を掛け、ノルス列 71a (又は 71b)の出力には 2¹を掛け、パルス列 71a (又は 71b)の出力には 2°を掛け、各値の和（16進数)を、演算部 50に送る。

[0024] なお、図 4におレヽて (ま、最終信号力 5, 2, 1, 0, 8, 4, 10, 13, 6, 3, 9, 12, 14, 15, 7, 11」と数字が昇順（又は降順）に並んでいないが、これを図 4に示されるように「0〜 15」の数列に置き換える（変換する）こととする。すなわち、本実施形態では、スケール 11の幅 (周期） Ha (図 1参照）内に、絶対的な位置を計測することが可能な 16 等分の目盛りが備えられていると看做すことができる。

[0025] 第 2の信号処理部 130は、図 3に示されるように、前述した第 1の信号処理部 30と同様の構成となっている。すなわち、第 2の信号処理部 130は、 8つのフォトダイォード 121a〜； 124bに接続された 8つの増幅器 131 a〜； 134bと、 8つのコンノレータ 141 a〜144bと、 8つのトライステートバッファ回路 151a〜154bと、第 2のインクリメンタル信号用検出器 125に接続された増幅器 135と、コンパレータ 145と、を含んでいる。

[0026] このように構成される第 2の信号処理部 130では、第 1の信号処理部 30と同様に、コンパレータ 145からの出力（二値信号）が低レベルの場合には、トライステートバッファ回路 151a, 152a, 153a, 154a力 S、フォトダイオード 121a, 122a, 123a, 124a による検出信号に基づくノノレス歹 IJ (ノノレス歹 IJ l 71a, 172a, 173a, 174a)を出力端子 161 , 162, 163, 164に出力し、出力（二値信号）が高レベルの場合にはトライステートノッファ回路 151b, 152b, 153b, 154b力フ才トダイオード 121b, 122b, 1 23b, 124bによる検出信号に基づくノノレス歹 IJ (ノノレス歹 lJ171b, 172b, 173b, 174b )を出力端子 161 , 162, 163, 164に出力する。従って、各コンパレータの出力波形と最終出力信号との関係は、図 4と同様となる。すなわち、幅 Hb (図 1参照）の間に絶対的な位置を計測することが可能な 16等分の目盛りが備えられていると看做すことができる。

[0027] 前述したように、本実施形態では、スケール 11上に、図 5 (A)に示されるように、第 1のアブソリユートパターンが X軸に沿って 5周期分（A0〜A4)、第 2のアブソリユートパターンが X軸に沿って 4周期分（B0〜B3)配列されて!/、ること力、ら、スケール 11上には、図 5 (B)に示されるような目盛りが振られたのと同様の機能を有することとなる。

[0028] 従って、例えば、検出器 20が点 Dの直下に存在する場合には、第 1の信号処理部 30と第 2の信号処理部 130とからは「4, 0」という値力演算部 50に対して出力される。また、例えば、検出器 20が点 Eの直下に存在する場合には、第 1の信号処理部 30 と第 2の信号処理部 130とからは「7, 12」という値が演算部 50に対して出力される。 [0029] 演算部 50では、これらの出力（「A, B」とする）を用いて、まず、次式（1)により、「B 区間番号」 Nを算出する。ここで、「B区間番号」とは、検出器 20が周期 BO、 Bl、 B2 、 B3のどの範囲内にあるかを示す番号であり、 Nは、 0, 1 , 2, 3のいずれかの番号である。

[0030] N = int (A (-) int (B X 5/4) ) /4

ただし、「int」は整数部分をとる演算子であるものとし、また、「(-)」は 16の補数減算

、すなわち、減算結果が負であった場合に 16を加える演算子であるものとする。

[0031] 従って、例えば、上記点 Dにおける B区間番号 Nは、 N = int (4(-)int (0 X 5/4) ) /

4 = 1となり、例えば、上記点 Eにおける B区間番号 Nは、 N = int (7(-)int (12 X 5/4

) ) /4 = 2となる。

[0032] 次いで、演算部 50では、上記のようにして算出された B区間番号 Nを用いて、スケール 11上における絶対位置 (ABS)を次式（2)により、算出する。

[0033] ABS = N X 16 + B …（2)

従って、例えば、上記点 Dにおける絶対位置 (ABS)は、 ABS = 1 X 16 + 0 = 16となり、例えば、上記点 Eにおける絶対位置（ABS)は、 ABS = 2 X 16 + 12 = 44となる

〇

[0034] 図 6には、上式（1)、（2)を用いて算出される、スケール 11上における絶対位置 (A BS)を纏めた表が示されている。この図 6から分かるように、本実施形態においては、スケール 11上に、絶対位置 (ABS)が 0〜63まで順に並ぶこととなる。

[0035] すなわち、本実施形態では、スケール 11上には、実質的に、第 2のアブソリュートパターンの 1ビットの幅と同一のビット幅（1. 25〔mm〕）で、かつビット長が 64のアブソリユートパターンが形成されていると看做すことができる。

[0036] すなわち、スケーノレ 11によると、計測範囲が幅^½ (16〔111111〕），幅^¾ (20〔111111〕）の最小公倍数である 80〔mm〕であり、その 80〔mm〕の間隔内で分解能 1 · 25 [mm] にて計測することが可能となってレ、る。

[0037] 以上、説明したように、本実施形態のアブソリユートエンコーダ 10によると、演算部 5 0力第 1のアブソリュートパターンを用いて第 1の信号処理部 30から出力された絶対位置情報と、第 1のアブソリュートパターンの周期の整数倍でない周期を有する第 2 のアブソリュートパターンを用いて第 2の信号処理部 130から出力された絶対位置情報とを用いて、新たな絶対位置情報を算出する。従って、演算部 50では、分解能を下げることなく、それぞれの絶対位置情報の組み合わせの数だけ、新たな絶対位置を算出することができることから、いずれかの絶対位置情報をそのまま用いる場合に比べ、計測範囲を拡げることが可能となる。

[0038] なお、上記実施形態では、第 1のアブソリュートパターンと、第 2のアブソリュートパタ一ンの幅 (周期）を 16〔mm〕と 20 [mm]と設定した場合につ!/、て説明したが、これに限られるものではなぐ第 1のアブソリュートパターンの周期が第 2のアブソリュートパターンの周期の整数倍、又は（1/整数)倍の関係に無ければ、種々の周期を採用すること力 Sできる。この場合、計測範囲は、第 1のアブソリュートパターンの周期と第 2のアブソリュートパターンの周期の最小公倍数となるので、最小公倍数が大きくなればなるほど（例えば、周期の差が小さいほど）計測範囲が伸びる。例えば、第 1のアブソリュートパターンの周期を 16〔mm〕、第 2のアブソリュートパターンの周期を 17〔mm〕とすれば、最大 272 [mm]の範囲での計測が可能である。

[0039] ただし、周期の差を小さくした場合、検出部 20の傾きなどで、第 1のアブソリュートパターンと第 2のアブソリュートパターンの検出位置に誤差が生じると、絶対位置を誤検出するおそれが高まる。すなわち、上記実施形態を用いて説明すると、例えば、実際には B区間番号 Nが「0」となるはず力検出部 20の傾きなどにより、誤検出が生じ、「3」と算出される可能性がある。そこで、このように、誤検出の傾向が分かっている場合には、該誤検出を低減するために、例えば、第 2のアブソリュートパターンのうちの周期「B3」内のパターンを使用しないこととし、演算部 50における上式（1 )を用いた算出結果が「3」になった場合には、例えば、 B区間番号 Nを必ず「0」に置き換えるように設定しておくこととする。

[0040] このようにすることで、第 1、第 2のアブソリユートパターンの周期の差が小さい場合であっても、検出部 20の傾きの影響を受けずに、高精度な絶対位置計測を行うことが可能となる。

[0041] なお、上記実施形態では、スケール 11上に、周期の異なるアブソリユートパターン力 ¾つ設けられる場合について説明した力これに限られるものではなぐ例えば、スケール上に 3つ以上のアブソリュートパターンが設けられることとしても良い。この場合、各アブソリュートパターン同士の周期が整数倍、又は（1/整数)倍の関係にないようにする必要がある。

[0042] また、上記実施形態では、スケール 11上に、各アブソリュートパターンのそれぞれに対応して、インクリメンタルパターンが設けられる場合について説明した力これに限られるものではなぐ例えば、インクリメンタルパターンの分解能を第 1のアブソリュートパターンの第 1単位パターン及び第 2のアブソリュートパターンの第 2単位パターンの公約数とする、第 1、第 2アブソリユートパターンそれぞれに共通のインクリメンタルパターンを 1つのみ設けることとしても良い。

[0043] なお、上記実施形態では、第 1、第 2のアブソリュートパターンとして、 4ビットのものを用いることとした力これに限らず、その他のビット数のアブソリユートパターンを用いることとしてあ良い。

[0044] なお、上記実施形態で示した、式（1)、 (2)は、例示であって、これらとは異なる計算式を用いて、絶対位置を算出することとしても良い。勿論、 B区間番号を算出することなく、直接絶対位置を算出することとしても良い。また、上記実施形態では、式（1 )、（2)を用いて、第 1のアブソリュートパターンと第 2のアブソリュートパターンのうち、第 2のアブソリュートパターンの分解能と同一の分解能で新たな絶対位置 (ABS)を計測する場合について説明した力これに限らず、第 1のアブソリュートパターンの分解能と同一の分解能で新たな絶対位置を計測することができるような計算式を採用することとしてあ良い。

[0045] なお、上記実施形態では、リニアエンコーダに本発明が適用された場合について説明したが、これに限られるものではなぐ例えば、ロータリエンコーダに本発明を適用することも可能である。

[0046] なお、上記実施形態では、スケール 11の透明部分を透過した光を受光する透過型のエンコーダに、本発明を適用した。しかし、それに限らず、例えば、反射部分と非反射部分とが周期的に配列されたスケールを用い、その反射部分より反射される光を受光する反射型のエンコーダに、本発明を適用することも可能である。また、回折格子をスケールとして用いる干渉型のエンコーダに、本発明を適用することも可能である。

産業上の利用可能性

以上説明したように、本発明のアブソリュートエンコーダは、移動する物体の変位を計測するのに適している。

Claims

請求の範囲

[1] 一軸方向に関する絶対位置情報を計測するアブソリュートエンコーダであって、前記一軸方向に関して所定周期を有する第 1のアブソリュートパターンが、前記一軸方向に沿って複数配列された第 1のトラックと、前記一軸方向に関して前記所定周期の整数倍でない周期を有する第 2のアブソリュートパターン力前記一軸方向に沿つて複数配列された第 2のトラックと、を有する符号板と；

前記符号板を介した光を受光する受光器と；を備えるアブソリユートエンコーダ。

[2] 請求項 1に記載のアブソリュートエンコーダにお!/、て、

前記第 1のトラックを介した光の受光結果から第 1の絶対位置情報を検出し、前記第 2のトラックを介した光の受光結果から第 2の絶対位置情報を検出する検出器を更に備えるアブソリユートエンコーダ。

[3] 請求項 2に記載のアブソリュートエンコーダにおいて、

前記検出器にて検出された前記第 1、第 2の絶対位置情報に基づいて、新たな絶対位置情報を算出する演算部を更に備えるアブソリユートエンコーダ。

[4] 請求項;!〜 3のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダにおいて、

前記符号板は、前記第 2のトラックを複数種類有し、

前記各第 2のトラックを構成する第 2のアブソリュートパターンの周期は、互いに整数倍の関係になレ、アブソリュートエンコーダ。

[5] 請求項;!〜 3のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダにおいて、

前記符号板は、前記第 2のトラックを 1つ有し、

前記第 1のアブソリュートパターンの周期と、前記第 2のアブソリュートパターンの周期の比が m : n (m、 nは整数、かつ n≠k'm (ただし、 kは整数））であり、

前記第 1のトラックでは、前記第 1のアブソリュートパターンが前記一軸方向に n個配列され、前記第 2のトラックでは、前記第 2のアブソリュートパターンが、前記一軸方向に m個配列されているアブソリユートエンコーダ。

[6] 請求項 5に記載のアブソリュートエンコーダにおいて、

前記演算部は、前記第 1の絶対位置情報と前記第 2の絶対位置情報との関係から、前記 m個の第 2のアブソリュートパターンのうちのいずれのパターンを用いて計測が行われているかを特定し、

該特定結果と前記第 2の絶対位置情報とから、新たな絶対位置情報を算出するァブソリュートエンコーダ。

[7] 請求項 6に記載のアブソリュートエンコーダにおいて、

前記演算部は、

前記第 2のアブソリュートパターンのうちの少なくとも 1つのパターンを、計測に使用しなレ、不使用パターンに設定し、

前記特定結果が前記不使用パターンであった場合には、前記不使用パターンとは異なるパターンが特定されたものと読み替えるアブソリユートエンコーダ。

[8] 請求項;!〜 7のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダにおいて、

前記符号板は、

前記第 1のトラックに対応して設けられた第 1のインクリメンタルトラックと、前記第 2のトラックに対応して設けられた第 2のインクリメンタルトラックと、を更に有するアブソリユートエンコーダ。

[9] 請求項;!〜 7のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダにおいて、

前記符号板は、

前記第 1のトラックと前記第 2のトラックの両方に共通するインクリメンタルトラックを更に有するアブソリユートエンコーダ。