WO2008068130A2

WO2008068130A2 - Wälzlager mit einer oberflächenbeschichtung

Info

Publication number: WO2008068130A2
Application number: PCT/EP2007/062252
Authority: WO
Inventors: Tim Matthias Hosenfeldt; Harald Meisel; Yashar Musayev; Roland Tap
Original assignee: Schaeffler KG
Current assignee: IHO Holding GmbH and Co KG
Priority date: 2006-12-06
Filing date: 2007-11-13
Publication date: 2008-06-12
Anticipated expiration: 2009-06-06
Also published as: DE102006057484A1; DE102006057484B4; WO2008068130A3

Abstract

Bei einem Wälzlager mit Wälzkörpern (3), einem Außenring (4), einem Innenring (2) und einem Lagerkäfig (1) trägt der Lagerkäfig eine Oberflächenbeschichtung (7) aus einem metallfreien amorphen Kohlenwasserstoff, um die Reibung zu den übrigen Teilen des Lagers zu verringern und den Verschleiß durch Abrieb zu minimieren. Die übrigen Teile des Wälzlagers können mit einer zäheren Oberflächenbeschichtung (12) aus einem Metall enthaltenden amorphen Kohlenwasserstoff versehen sein.

Description

Bezeichnung der Erfindung

Wälzlager mit einer Oberflächenbeschichtung

Beschreibung

Die vorliegende Erfindung liegt auf dem Gebiet der Oberflächenbeschichtung für mechanische Bauteile, die besonders hohen Belastungen und damit einhergehendem Verschleiß ausgesetzt sind.

Es sind verschiedene Verfahren und Materialien zur Oberflächenbeschichtung von Bauteilen bekannt, wobei entweder chemisch oder physikalisch nur an der Oberfläche gelegene Bereiche eines Körpers in ihrer Beschaffenheit geändert werden, um höheren Beanspruchungen gerecht werden zu können oder auf einen Körper zusätzliche Materialien aufgebracht werden, die sich mit dem zu beschichtenden Körper fest verbinden, die mechanischen Eigenschaften im wesentlichen mit dem Grundkörper teilen, jedoch im Bezug auf den Verschleiß und/oder die Reibungsreduzierung eine Verbesserung der Oberflächenbeschaffenheit herbeiführen. Grundsätzlich ist in diesem Zusammenhang das Aufspritzen von Oberflächen- beschichtungen sowie das Brünieren und auch das Aufbringen von Schichten im PVD- beziehungsweise PACVD-Beschichtungsverfahren bekannt.

Beim einfachen Aufspritzen von Oberflächenschichten besteht die Gefahr, dass die Maßhaltigkeit des ursprünglichen Bauteils verloren geht beziehungsweise wegen der merklichen Schichtdicke der Beschichtung eine Nachbearbeitung erforderlich ist, um einerseits die Maßhaltigkeit zu gewährleisten und andererseits eine Glättung der Oberfläche sicherzustellen, so dass entsprechende Gegenflächen, die mit dem beschichteten Bauteil in Berührung kommen, nicht unnötig stark verschleißen. Beim Brünieren wird durch die Oxidierung eine Erhöhung der Oberflächenhärte erreicht, jedoch halten sich die Gestaltungsmöglichkeiten bei einer solchen Schicht in engen Grenzen, so dass vielfach die Anforderungen, die an Oberflächen gestellt werden, mit dieser Technologie nicht erfüllt werden können.

Mit den Verfahren der Vakuumbeschichtung, und zwar entweder als PVD (phy- sical vapour diposition) oder als PACVD (physically assisted chemical vapour diposition) können vielfältige Beschichtungen in frei wählbaren Schichtdicken unter genau steuerbaren Bedingungen aufgebracht werden. Außer der Zusam- mensetzung der Beschichtung lässt sich auch die Dicke und die Glätte der Be- schichtung gut einstellen.

Die Erfindung bezieht sich speziell auf ein Wälzlager mit einer Mehrzahl von Wälzkörpern sowie einem zylindrischen Lagerkäfig.

Insbesondere derartige Wälzlager sind durch die steigenden Beanspruchungen in aktuellen Anwendungen teilweise sehr hohen Belastungen ausgesetzt. Dabei ergibt sich insbesondere bei hohen Drehzahlen und hohen Drehbeschleunigungen vermehrter Abrieb im Bereich des Lagerkäfigs, dort wo dieser mit den übri- gen Teilen des Lagers in Berührung kommt.

Die Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt, ein Wälzlager der eingangs genannten Art zu schaffen, das bei hohen Drehzahlen und Drehbeschleunigungen eine geringe Reibung, idealerweise verbunden mit einem geringen Abrieb aufweist.

Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung bezieht sich weiter gemäß Anspruch 17 auf einen Lagerkäfig für ein Wälzlager gemäß der Erfindung sowie auf ein Verfahren gemäß Patentanspruch 18 zur Herstellung einer Oberflächenbeschichtung. Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, dass durch die Beschichtung wenigstens der inneren und/oder äußeren Mantelfläche des Lagerkäfigs mit einer ersten Oberflächenbeschichtung aus einem metallfreien amorphen Kohlenwas- serstoff der Abrieb im Bereich der Berührung des Lagerkäfigs mit anderen Teilen des Lagers minimiert wird. Dies ist eine spezielle Eigenschaft der metallfreien Kohlenwasserstoffschicht, die zwar in anderen Bereichen eines Lagers nicht ihre optimalen Eigenschaften entwickeln könnte, jedoch in dem genannten Bereich, dort wo keine hohe Überrollfestigkeit gefordert ist, optimal einsetzbar ist. Diese Schicht minimiert nicht nur den Abrieb beim Lagerkäfig, sondern sorgt auch dafür, dass die Reibung reduziert wird und auch die entsprechenden Gegenkörper durch die reibende Belastung nur gering beansprucht werden. Dies ist durch die erfindungsgemäße Beschaffenheit der Oberflächenbeschichtung einerseits und andererseits durch die bei diesem Material leicht zu erreichende geringe Oberflächenrauhigkeit einfach zu realisieren.

In dem genannten Einsatzbereich liegen die Belastungen der Oberflächenbeschichtung nicht im Bereich hoher Druckbeanspruchungen sondern insbesondere bei hohen Drehzahlen und großen Beschleunigungen eines Lagers wer- den die Flächen mit hoher Geschwindigkeit gegeneinander gerieben beziehungsweise es entsteht großer Schlupf.

Durch Einsatz des erfindungsgemäßen Materials wird der Abrieb, die Reibung sowie eine Geräuschentwicklung und letztlich als Folge der Reibungsverminde- rung auch die entstehende Reibungswärme gering gehalten.

Eine entsprechende Beschichtung der Gegenflächen, beispielsweise der Innenfläche des Außenrings in dem Bereich, an dem dieser den Lagerkäfig berührt oder der Außenfläche des Innenrings, ebenfalls im Bereich der Berührung, ist damit nicht mehr notwendig, so dass bei der Gestaltung dieser Bauteile diese nach anderen Maßgaben optimiert werden können. Gleiches gilt für die Gestaltung der Wälzkörper, die, insbesondere bei einem Nadellager, in noch geringerem Umfang mit dem Käfig in Berührung kommen.

Somit liegt der Vorteil der erfindungsgemäßen Beschichtung insbesondere dar- in, dass mit der Wahl einer Oberflächenbeschichtung eines einzigen der bewegten Teile des Lagers das Zusammenwirken mit den übrigen Teilen bereits optimiert werden kann ohne dass deren Beschaffenheit dazu festgelegt werden müsste.

Auch die Lebensdauer des Lagers wird durch die beschriebene Gestaltung erhöht, ohne dass für den Bau der Lagerbestandteile außergewöhnliche Bauteile benutzt werden müssten. Es können vielmehr übliche Lagerstähle wie vorzugsweise 16MnCr5 oder C45, aber auch Stähle wie 100 Cr6, 16 MnCrδ, C45, 31 CrMoV9, 80 Cr2 oder ähnliche verwendet werden.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass die erste Oberflächenbeschichtung höchstens 16 Atom % Wasserstoff enthält.

Durch den gering gehaltenen Wasserstoffanteil von maximal 16% wird die Ad- sorptionsneigung der Oberflächenbeschichtung zu einem metallischen Gegenkörper gering gehalten, ein hoher abrasiver Verschleißwiderstand und eine hohe chemische Beständigkeit sichergestellt sowie ein hohes Härte/E-Modul- Verhältnis gewährleistet. Ansonsten besteht die amorphe Kohlenwasserstoffschicht aus SP² und SP³ -hybridisiertem Kohlenstoff, wobei vorzugsweise pro- zessbedingte Verunreinigungen von weniger als 1 Atom % eingehalten werden.

Die Oberflächenbeschichtung wird vorteilhaft in einem Dicken- bereich zwischen 0,5 und 4 μm aufgebracht, wodurch einerseits die Maßhaltigkeit des beschichteten Bauteils erhalten, andererseits eine genügend dicke Schicht aufge- bracht wird und wobei mit geeigneten Beschichtungsverfahren wie beispielsweise dem PVD- und PACVD-Verfahren schon beim Beschichten eine derartige Glätte, das heißt geringe Oberflächenrauhigkeit eingehalten werden kann, dass eine nachfolgende Bearbeitung der Oberflächenbeschichtung überflüssig wird. In die Oberflächenbeschichtung können weiterhin nichtmetallische Atome, wie zum Beispiel Silizium-, Fluor- oder Sauerstoffatome einzeln oder kombiniert eingelagert sein, um die Schicht weiter zu stabilisieren.

Zum Aufbau einer besonders widerstandsfähigen und haltbaren Schicht kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass der Lagerkäfig unter der ersten Oberflächenbeschichtung mit einer Haftvermittlungsschicht aus einem Metall, einer Metalllegierung oder einem Borid, einem Carbid, einem Nitrit oder einem Silizid eines Übergangsmetalls versehen ist.

Die genannten Stoffe, insbesondere Metalle aber auch Boride, Karbide, Nitride und Suizide, haften besonders gut auf einem metallischen Grundkörper und sind besonders im Falle der Boride, Karbide, Nitride und Suizide der Über- gangsmetalle auch sehr hart. Es wird damit eine zuverlässige Verbindung der Beschichtung mit dem Grundkörper erreicht, wobei der Übergang der Materialhärte vom Grundkörper über die Haftvermittlungsschicht zur Oberflächenbeschichtung in mehreren Stufen erfolgen sollte.

Dies wird vorteilhaft noch weiter unterstützt, dadurch, dass der Lagerkäfig unter der ersten Oberflächenbeschichtung mit einer Zwischenschicht in Form einer metallhaltigen Kohlenwasserstoffschicht versehen ist.

Gerade metallhaltige Kohlenwasserstoffschichten weisen bei relativ großer Här- te eine große Zähigkeit auf, die sie als Übergangsschicht zwischen der besonders harten Oberflächenbeschichtung und dem Grundkörper qualifiziert.

Vorteilhaft können als Metallkomponenten der metallhaltigen Zwischenschicht Wolfram, Titan, Kadmium, Tantal, Germanium, Chrom, Nickel oder eine Kombi- nation dieser Metalle eingesetzt werden.

Zusätzlich kann vorteilhaft die Zwischenschicht als Komponente eines Nichtmetalls Sauerstoff-, Fluor-, Silizium- oder Stickstoffatome oder eine Kombination dieser Stoffe enthalten. Dadurch können die Schichteigenschaften (Reibungsreduzierung, Verschleißwiderstandsanpassung, Verbesserung der Oxidations- beständigkeit, etc.) entsprechend optimiert werden.

In Ausgestaltung des gesamten Wälzlagers können in Ergänzung zu der Ober- flächenbeschichtung des Lagerkäfigs auch die übrigen Teile in günstiger Weise beschichtet sein. Die Beschichtung von Wälzkörpern, Innenring und Außenring des Lagers muss jedoch anderen Belastungen standhalten als die des Lagerkäfigs. Insbesondere muss sie mit hohen Belastungen überrollfähig sein.

Die Erfindung sieht daher vorteilhaft vor, dass die Wälzkörper wenigstens im Bereich ihrer Lauffläche eine Oberflächenbeschichtung aus einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff aufweisen, und/oder dass der Außenring wenigstens im Bereich seiner Lauffläche eine ebenso gestaltete Oberflächenbe- Schichtung aufweist und/oder dass gegebenenfalls auch der Innenring des Wälzlagers wenigstens im Bereich der Lauffläche eine Beschichtung aus einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff trägt. Als Lauffläche wird dabei derjenige Bereich der Oberflächen der einzelnen Lagerkomponenten verstanden, die potentiell einer Überrollbelastung ausgesetzt sind.

Wie bereits oben beschrieben, muss bei der Beschichtung dieser Bauteile (Wälzkörper, Außenring, Innenring des Lagers) wegen eventueller Berührungen mit dem Lagerkäfig keine besondere Vorsorge getroffen werden, da die entsprechenden Teile des Lagerkäfigs bereits mit einer Oberflächenbeschichtung versehen sind, die auch den Gegenkörper vor zu großem Verschleiß schützt. Aus diesem Grunde müssen bei der Beschichtung der Wälzkörper, des Innen- und des Außenrings keine Kompromisse diesbezüglich gemacht werden und die Überrollfähigkeit kann im Vordergrund stehen.

Die entsprechende Beschichtung eines oder mehrerer dieser Bauteile mit einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff schafft eine äußerst zähe und dabei widerstandsfähige gut haftende und harte Schicht, so dass das entstehende Wälzlager je nach den Belastungen, denen es ausgesetzt ist, auch bei hohen Drehzahlen mit geringem Verschleiß hohe mechanische Belastungen aushalten kann.

Dabei kann je nach der gewählten Oberflächenbeschichtungstechnologie ent- weder ausschließlich die entsprechende Lauffläche eines Bauteils oder alle oder bestimmte Oberflächen des Bauteils im ganzen beschichtet werden.

Als Metallkomponente kann die jeweilige aus einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff bestehende Oberflächenbeschichtung Wolfram, Titan, Kad- mium, Germanium, Chrom, Tantal oder Nickel oder eine Mischung einiger oder aller dieser Bestandteile enthalten.

Die Erfindung bezieht sich weiter auch auf einen speziellen Lagerkäfig, der wie oben beschrieben beschichtet ist und zum Aufbau eines entsprechenden Wälz- lagers vorgesehen ist.

Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung eines Wälzlagers sieht vor, dass die erste Oberflächenbeschichtung, bestehend aus einer metallfreien a- morphen Kohlenwasserstoffschicht mittels eines PVD- oder PACVD-Verfahrens aufgebracht wird. Diese Technologie kann auch zum Aufbringen einer entsprechenden Haftvermittlungsschicht und/oder einer Zwischenschicht eingesetzt werden. Dies hat den Vorteil, dass das Bauteil, das zu beschichten ist, also beispielsweise der Lagerkäfig, in einer entsprechenden Beschichtungskammer belassen werden kann, während die Beschichtungsparameter und die Stoffe, die in die Schicht eingelagert werden sollen beziehungsweise aus denen die einzelnen Schichten bestehen, nach einem bestimmten Zeitschema geändert werden können. Dadurch lassen sich die Dicken der einzelnen Schichten, also der Haftvermittlungsschicht, der Zwischenschicht und der Oberflächenbeschichtung sehr genau einstellen und auch die Haftung zwischen den einzelnen Schichten ist optimiert. Ähnliches gilt entsprechend auch für das Aufbringen der metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoffschichten auf den Innenring, den Außenring und die Wälzkörper des Wälzlagers.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels in einer Zeichnung gezeigt und anschließend beschrieben. Dabei zeigt

Figur 1 im Querschnitt den Aufbau eines Wälzlagers;

Figur 2 schematisch den Querschnitt und Aufbau einer Oberflächenbe- schichtung eines Lagerkäfigs;

Figur 3 schematisch im Querschnitt den Aufbau der Oberflächenbeschich- tung eines Außenrings.

In der Figur 1 ist der Lagerkäfig mit 1 bezeichnet, der Innenring mit 2, ein Wälzkörper mit 3 und der Außenring mit 4. Die äußere Mantelfläche des Lagerkäfigs trägt das Bezugszeichen 5 und ist dem Außenring 4 zugewandt, während die innere Mantelfläche das Bezugszeichen 6 trägt und dem inneren Ring 2 zuge- wandt ist.

In dem gezeigten Beispiel ist der Lagerkäfig 1 sowohl an der äußeren Mantelfläche 5 als auch an der inneren Mantelfläche 6 durchgehend mit einer Oberflä- chenbeschichtung aus einem metallfreien amorphen Kohlenwasserstoff verse- hen.

Diese Beschichtung ist beispielhaft in der Figur 2 näher dargestellt. Dort ist mit 1 der Grundkörper des Wälzlagerkäfigs bezeichnet. Die erste Oberflächenbe- schichtung 7 ist wie oben ausgeführt durch eine metallfreie amorphe Kohlen- wasserstoffschicht gebildet, während die Zwischenschicht 8 eine metallhaltige Kohlenwasserstoffschicht ist. Zusätzlich ist eine Haftvermittlungsschicht 9 vorgesehen, die aus einem Metall oder beispielsweise einem Karbid eines Übergangsmetalls besteht und direkt auf dem Grundkörper 1 angeordnet ist.

Der Grundkörper 1 besteht aus einem üblichen Wälzlagerstahl. Hier kommt z. B. ein Einsatzhärte-Stahl wie z. B. 16MnCr5 oder C45 in Betracht. Denkbar wären hier aber auch andere Stähle wie 100 Cr6.

Der Grundkörper 1 kann auch gehärtet sein, wobei beim Aufbringen der Be- Schichtungen darauf geachtet werden sollte, dass die Anlasstemperatur des Grundkörpers nicht überschritten wird.

In der Figur 3 ist beispielhaft der Aufbau der Beschichtung eines Wälzkörpers, eines Außenrings oder eines Innenrings des erfindungsgemäßen Wälzlagers gezeigt, wobei der spezielle Fall eines Außenrings 4 genauer dargestellt ist.

Der Grundkörper des Außenrings 4 trägt eine Oberflächenbeschichtung 12, die aus einem ein Metall enthaltenden amorphen Kohlenwasserstoff besteht. Durch diese Materialwahl ist eine hohe Zähigkeit und damit Überrollfähigkeit der Ge- samtkonfiguration gewährleistet.

Zur Haftvermittlung ist auf dem Grundkörper 4 eine Haftvermittlungsschicht 10 vorgesehen, die in ihrem Aufbau beziehungsweise ihrer Beschaffenheit der der Haftvermittlungsschicht 9 entsprechen kann.

Zwischen der Haftvermittlungsschicht 10 und der Oberflächenbeschichtung 12 kann eine Zwischenschicht 11 vorgesehen sein, die in Bezug auf Härte und Zähigkeit etwa zwischen den Eigenschaften des Grundkörpers 4 und denen der Oberflächenbeschichtung 12 angesiedelt sein sollte, um geeignet zwischen diesen zu vermitteln und dabei die Oberflächenbeschichtung 12 zuverlässig zu stützen. Bei dem beschriebenen Wälzlager wird gemäß der Erfindung bei geringer Reibung und Verschleiß, einhergehend mit geringer Temperaturerhöhung bei hohen Drehzahlen und Drehbeschleunigungen und auch mit einer verringerten Geräuschentwicklung zusätzlich erreicht, dass hohe mechanische Belastungen aufgenommen werden können. Insbesondere durch die Aufteilung der Anforderungen zwischen dem Lagerkäfig einerseits und den übrigen Teilen des Wälzlagers wird mit geringem Aufwand eine optimale Leistung erzielt.

Bezugszeichenliste

1 Lagerkafig

2 lnnenring 3 Wälzkörper

4 Außenring

5 äußere Mantelfläche

6 innere Mantelfläche

7 Oberflächenbeschichtung 8 Zwischenschicht

9 Haftvermittlungsschicht

10 Haftvermittlungsschicht

11 Zwischenschicht

12 Oberflächenbeschichtung

Claims

Patentansprüche

1. Wälzlager mit einer Mehrzahl von Wälzkörpern (3), sowie einem zylindrischen Lagerkäfig (1 ), dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens die innere und/oder äußere Mantelfläche des Lagerkäfigs mit einer ersten

Oberflächenbeschichtung (7) aus einem metallfreien amorphen Kohlenwasserstoff versehen ist.

2. Wälzlager nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die erste Oberflächenbeschichtung (7) höchstens 16 Atom % Wasserstoff enthält.

3. Wälzlager nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Oberflächenbeschichtung (7) eine Dicke von höchstens 4 μm aufweist.

4. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Oberflächenbeschichtung (7) eine Dicke von wenigstens 0,5 μm aufweist.

5. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass in die erste Oberflächenbeschichtung (7) nichtmetallische Atome außer Kohlenstoff und Wasserstoff eingelagert sind.

6. Wälzlager nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die nicht- metallischen Atome durch Silizium-Atome, Sauerstoff-Atome oder Fluor- Atome oder eine Mischung dieser Atomarten gebildet sind.

7. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass prozessbedingte Verunreinigungen weniger als 1 Atom % betragen.

8. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass der Lagerkäfig (1 ) unter der ersten Oberflächenbe- schichtung (7) mit einer Haftvermittlungsschicht (9) aus einem Metall, einer Metalllegierung oder einem Borid, einem Carbid, einem Nitrit oder ei- nem Silizid eines Übergangsmetalls versehen ist.

9. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass der Lagerkäfig (1 ) unter der ersten Oberflächenbe- schichtung (7) mit einer Zwischenschicht (8) in Form einer metallhaltigen Kohlenwasserstoffschicht versehen ist.

10. Wälzlager nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallkomponente der metallhaltigen Zwischenschicht (8) durch Wolfram, Titan, Kadmium, Tantal, Germanium, Chrom, Nickel oder eine Kombination dieser Metalle gebildet ist.

11. Wälzlager nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht (8) als Komponente Sauerstoff, Fluor, Silizium oder Stickstoff oder eine Kombination dieser Stoffe enthält.

12. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass die Wälzkörper (3) wenigstens im Bereich der Lauffläche eine Oberflächenbeschichtung (12) aus einem metallhaltigen a- morphen Kohlenwasserstoff aufweisen.

13. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass ein Außenring (4) des Wälzlagers wenigstens im Bereich der Lauffläche eine Oberflächenbeschichtung (12) aus einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff aufweist.

14. Wälzlager nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, dass ein Innenring (2) des Wälzlagers wenigstens im Be- reich der Lauffläche eine Oberflächenbeschichtung (12) aus einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff aufweist.

15. Wälzlager nach einem der Ansprüche 12, 13 oder 14, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Oberflächenbeschichtung (12) aus einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff ausschließlich im Bereich der Lauffläche vorgesehen ist.

16. Wälzlager nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeich- net, dass die Oberflächenbeschichtung (12) aus einem metallhaltigen amorphen Kohlenwasserstoff als Metallanteil Wolfram, Titan, Kadmium, Germanium, Chrom, Tantal oder Nickel oder eine Mischung dieser Bestandteile enthält.

17. Lagerkäfig für ein Wälzlager nach einem der Ansprüche 1 bis 16, gekennzeichnet durch eine erste Oberflächenbeschichtung (7) aus einem metallfreien amorphen Kohlenwasserstoff, wenigstens im Bereich seiner inneren und/oder äußeren Mantelfläche.

18. Verfahren zur Herstellung eines Wälzlagers nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Oberflächenbeschichtung (7, 12) mittels eines PVD- und/oder PACVD- Beschichtungsverfahrens auf den Lagerkäfig und/oder die anderen Komponenten des Wälzlagers aufgebracht wird.

19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufbringen der Oberflächenbeschichtung (7, 12) mittels eines PVD- und/oder PACVD-Beschichtungsverfahrens eine Haftvermittlungsschicht (9,10) aufgebracht wird.

20. Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Haftvermittlungsschicht (9, 10) und der ersten Oberflä- chenbeschichtung (7, 12) mittels eines PVD- und/oder PACVD- Beschichtungsverfahrens eine Zwischenschicht (8, 11 ) aufgebracht wird.