WO2008125172A2 - Verfahren zur herstellung von flächigen grössen- oder abstandsvariationen in mustern von nanostrukturen auf oberflächen - Google Patents

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    • C23C18/14—Decomposition by irradiation, e.g. photolysis, particle radiation or by mixed irradiation sources
    • C23C18/143—Radiation by light, e.g. photolysis or pyrolysis

Definitions

  • MAMS are structures made by a combination of self-assembly, mechanical stretching of a PDMS support, and molecular diffusion.
  • MAMs The process for producing these MAMs is relatively complicated by the incorporation of a mechanical step and moreover only suitable for flexible carriers and not for rigid substrates, such as glass, metal, silicon compounds, etc.
  • Another disadvantage is the fact that a molecule-molecule distance regulation by me- mechanical stretching of a substrate is not possible because the clustering of individual molecules can not be significantly restricted.
  • the object of the present invention is to provide an improved, simple and versatile method with the surface size and / or distance variations in patterns of nanostructures on surfaces can be set so precisely that defined gradient surfaces are obtained.
  • micellar nanolithography a microcellular solution of a block copolymer is deposited on a substrate, e.g. by dip coating and, under suitable surface conditions, form an ordered film structure of chemically distinct polymer domains which depends, inter alia, on the type, molecular weight and concentration of the block copolymer.
  • the micelles in the solution can be loaded with inorganic salts, which can be reduced to inorganic nanoparticles after deposition with the polymer film.
  • both the lateral separation length of the said polymer domains and thus also the resulting nanoparticles and the size of these nanoparticles can be adjusted so precisely by various measures that nanostructured surfaces with desired spacing and / or Size gradients can be produced.
  • the present invention thus relates to methods for planar size or distance variation in patterns of nanostructures on a substrate according to the independent claims 1 and 12. Specific or preferred embodiments men of the invention are the subject of the dependent claims.
  • micellar nanolithography a micellar solution of a diblock or multiblock copolymer is deposited on a substrate, e.g. by dip coating and, under suitable conditions on the surface, forms an ordered film structure of chemically distinct polymer domains, which depends, inter alia, on the type, molecular weight and concentration of the block copolymer. For example, the distances of the individual polymer domains are dependent on the molecular weight and the concentration of the block copolymer in the solution.
  • the micelles in the solution can be loaded with inorganic salts or acids, which can be reduced to inorganic nanoparticles after deposition with the polymer film.
  • both the lateral separation length of the polymer domains mentioned and thus also the resulting nanoparticles and the size of these nanoparticles can be set so precisely by various measures that nanostructured surfaces with desired spacing and / or size gradients can be produced.
  • micellar solutions from which identical substrates were drawn at different, but constant, drawing rates (see Example 2), gave two important results.
  • the solution is also to produce a gradient of the lateral separation length of the polymer domains or nanoparticles on the substrate surface.
  • the method according to the invention for planar variation in size or spacing in patterns of nanostructures on a substrate comprises a) contacting a substrate with a liquid phase containing micelles of an organic diblock or an inorganic metal compound (eg a metal salt) Containing multiblock copolymers by immersion in said liquid phase, wherein chemically distinct polymer domains comprising micelle-entrapped inorganic metal compounds (eg metal salts) are deposited on the substrate; b) withdrawing the substrate from the liquid phase at a predetermined pulling rate, wherein the draw rate is varied continuously or stepwise so as to produce a gradient of the lateral separation length of the polymer domains on the substrate surface; and c) conversion of the inorganic metal compounds in the deposited polymer domains by an oxidation or reduction treatment into inorganic nanoparticles and optionally complete or partial removal of the organic polymer by a plasma treatment, wherein the positions and lateral separation lengths of the nanoparticles obtained from the positions and the lateral separation length
  • the pull rate in step b) is varied continuously or stepwise in a range of 0.1 mm / min to 100 mm / min, preferably 1 mm / mm to 20 mm / mm.
  • the method may be performed such that a phase of relatively low continuous rate change is followed by an abrupt stepwise rate change.
  • several different separation-length gradients can be generated in succession on the same substrate surface in succession.
  • a diblock or multiblock copolymer in this process basically any micelle-forming block copolymer can be used which can be deposited as a film on a substrate and thereby forms an ordered structure of various polymer domains.
  • Suitable block copolymers are, for example, all block copolymers mentioned in EP 1 027 157 cited above.
  • the diblock or multiblock copolymer is selected from the group consisting of polystyrene (n) -b-poly (2-vinylpyridine (m), polystyrene (n) -b-poly (4-vinylpyridine (m), polystyrene (m) n) -b-poly (ethylene oxide) (m), where n and m indicate the number of repeating units and independently are integers in the range of 10-10000, in particular 100-1000.
  • Mw) (dissolved block) >> Mw (poorly dissolved block) selected.
  • inorganic compounds with which the micelles in the solution or the polymer domains in the deposited plastic film can be loaded basically all inorganic metal compounds (eg metal salts) are suitable, which can be converted into inorganic nanoparticles by oxidation or reduction.
  • Suitable salts are, for example, all metal salts mentioned in EP 1 027 157 cited above.
  • the metal salts used according to the invention preferably comprise at least one salt of the metals Au, Pt, Pd, Ag, In, Fe, Zr, Al, Co, Ni, Ga, Sn, Zn, Ti, Si or Ge. Especially preferred is HAuCl 4 .
  • the reductive transfer of the metal compounds in the polymer domains deposited on the substrate surface into nanoparticles occurs in step c) by irradiation with a light field modulated laterally along the substrate surface, whereby this differs depending on the light intensity at different positions of the substrate surface large nanoparticles are generated.
  • the organic polymer can be completely or partially removed by an appropriate treatment.
  • This treatment is typically a plasma treatment, e.g. with an oxygen or hydrogen plasma as known in the art. Further details of such treatment are e.g. also found in EP 1 027 157.
  • the method according to the invention further comprises the following steps: d) contacting the substrate with the nanoparticles obtained according to step c) with a liquid phase containing a solution of an inorganic metal compound (eg HAuCl 4 in 0.01-10 mM NH 2 OH), by immersion in this liquid phase, wherein dissolved material grows on the nanoparticles and thus increases it; and e) withdrawing the substrate from the liquid phase after a predetermined period of time, thereby adjusting a desired size of the nanoparticles (see, for example, Figure 4).
  • an inorganic metal compound eg HAuCl 4 in 0.01-10 mM NH 2 OH
  • a gradient of the particle size on the sub-particle can also be obtained.
  • stratoberflache be generated.
  • the particle size can be adjusted in a range of about 1-200 nm over a length> 100 microns.
  • the pulling rate in step e) is varied continuously or stepwise in a range from 0.1 mm / min to 100 mm / min, preferably from 1 mm / mm to 20 mm / mm.
  • the nanoparticles are irradiated on the substrate surface during steps d) and e) with a light field intensity-modulated laterally along the substrate surface, whereby due to the different growth speed of the nanoparticles, which is dependent on the light intensity, at different positions of the substrate surface different sized nanoparticles are generated.
  • the wavelength is about 120-500 nm, the light intensity can vary over a wide range from very small to very large as needed.
  • a gradient of the particle size can be generated.
  • the particle size can be adjusted within a range of about 1-200 nm over a length> 0.3 ⁇ m fem.
  • Another aspect of the present invention is an drive to produce nanoparticles having a laterally variable size on a substrate surface, wherein a polymer film containing at least one inorganic metal compound (eg, a metal salt) is deposited on a substrate surface and then annealed with a flat laterally intensity modulated light field the metal salt is reduced and converted into nanoparticles, and the size of the nanoparticles at a particular position on the substrate surface is dependent on the intensity of the light field at that position.
  • a polymer film containing at least one inorganic metal compound eg, a metal salt
  • the polymer film is preferably deposited on the substrate surface in such a way that an ordered structure of metal salt-containing polymer domains having a specific lateral separation length is produced, this separation length determining the separation length of the nanoparticles after the metal compounds have been converted into nanoparticles.
  • the polymer film is deposited so as to produce a separation-length gradient of polymer domains on the substrate surface.
  • the substrate with the deposited polymer film after irradiation with light is subjected to a plasma treatment, e.g. with oxygen or hydrogen plasma, which degrades the polymer in whole or in part.
  • a plasma treatment e.g. with oxygen or hydrogen plasma, which degrades the polymer in whole or in part.
  • the substrate surface with the nanoparticles formed is subsequently introduced into a liquid phase containing a solution of a metal compound, wherein dissolved material grows on the nanoparticles and thus increases, and the substrate is withdrawn from the liquid phase after a predetermined period of time, whereby a desired size of the nanoparticles is adjusted.
  • the intensity of the light field can be adjusted in a planar or stepwise manner by interference and diffraction on static or dynamically changeable optical elements.
  • a typical device for this includes e.g. following components: light source, mirrors, interference gratings, diffractive optical elements. In the case of liquid crystals or micromirrors, the latter can be switched to pattern-active and thus be actively (dynamically) influenced with regard to their interference properties.
  • Figure IA shows schematically the formation of a micelle from a PS-PVP diblock copolymer and the loading with a gold (III) compound.
  • Figure IB schematically shows the application of loaded micelles to a substrate and the subsequent removal of the polymer film by a plasma treatment.
  • Fig. 2 shows a photograph of a double gradient of gold nanoparticles.
  • Figure 3 shows the variation of the particle spacing as a function of the pull rate of a micellar solution substrate.
  • Fig. 4 shows the variation of particle size as a function of position on a substrate.
  • Figure 5 AD shows the mean Au gold particle separation lengths obtained at different draw rates for different copolymer solutions AD.
  • Fig. 6 shows the correlation between the order parameter, the interparticle differences and the pull rates for these solutions A-D.
  • Fig. 7 shows representative scanning electron micrographs of the nanopatterns having different separation-length gradients at a position at the beginning of the gradient when the substrate was pulled out of the corresponding block copolymer solution at high pulling rate (Al, Bl, Cl) and a position at the end of the gradient a low pulling rate (A2, B2, C2) were obtained.
  • FIG. 8 shows the interparticle distances measured along the gradients (FIGS. 8A-C) and the design of the gradients (FIG. 8D).
  • FIG. 9 indicates the interparticle distances of two converse-oriented gradients on a substrate as a plot against the immersion depth and shows scanning electron micrographs of different positions on each substrate.
  • Figure 5A-D shows all tested solutions and the respective corresponding interparticle distances at each draw speed. This study demonstrated that in all tested solutions a nearly linear decrease in distances with higher pull rates could be obtained. The maximum difference in lateral spacing of the GoId nanoparticles for the solutions tested was about 40 nm. It is noteworthy that at some speed the spacing of the gold nanoparticles appears to saturate. On the other hand, a decrease in the pattern order at a very low speed (2.3 mm / min) observed that led to strongly differing interparticle distances at different measuring positions on the substrate.
  • Fig. 6 shows the correlation between the order parameter, the interparticle differences and the pull rates.
  • solutions A and B showed an increase in the order parameter with increasing speed, while the order parameter remained constant or decreased slightly as the pull rate in solutions C and D was increased.
  • too low a micelle density on the surface eg due to too low a polymer concentration or too low a pull rate
  • micellar solution prepared analogously to Example 1
  • starting speed 40 mm / min
  • final speed 8 mm / min
  • the substrates were moved by an electric motor whose pulling speed could be adjusted by the programmable voltage of its power supply. Table 3
  • Fig. 7 shows scanning electron micrographs of the nominal patterns taken from each gradient substrate at a position at the beginning of the gradient when the substrate was withdrawn from the corresponding block copolymer solution at 40 mm / min pull rate (Al, Bl, Cl), and Position at the end of the gradient with a pulling rate of 8 mm / min (A2, B2, C2) were obtained (A gradient 1, B gradient 2, C gradient 3).
  • the scanning electron micrographs demonstrate that no impairment of the gold nanopatterns is observed when a single substrate is pulled out at the indicated different rates.
  • FIG. 8 shows the interparticle distances measured along the gradients (FIGS. 8A-C) and the design of the gradients (FIG. 8D). From FIGS. 8A-C, it can be seen that a nearly linear increase of the interparticle spacers occurred attributable to the linear decrease of the pulling rate. This means that steeper gradients were obtained for shorter gradient lengths. The gradient of a gradient is indicated by the ratio of the gradient length to the increase of the interparticle distances. All gradients began and ended at positions dictated by a computer program. EXAMPLE 3
  • Example 2 Based on Example 2, a Separationsinngradient is first generated on a substrate, then rotated the substrate by 90 ° and analogously to Example 4 generates a particle gradient.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von flächigen Größen- oder Abstandsvariationen in Mustern von Nanostrukturen auf Oberflächen. Spezieller umfasst das erfindungsgemäße Verfahren in einer bevorzugten Ausfuhrungsform folgende Schritte: a) Kontaktieren eines Substrats mit einer flüssigen Phase, die mit einer anorganischen Metallverbindung beladene Mizellen eines organischen Zweiblock- oder Multiblockcopolymers enthält, durch Eintauchen in diese flüssige Phase, wobei auf dem Substrat chemisch unterschiedliche Polymerdomänen, die in Mizellen eingeschlossene anorganische Metallverbindungen umfassen, abgeschieden werden; b) Herausziehen des Substrats aus der flüssigen Phase mit einer vorbestimmten Ziehgeschwindigkeit, wobei die Ziehgeschwindigkeit kontinuierlich oder stufenweise variiert wird, so dass ein Gradient der lateralen Separationslänge der Polymerdomänen auf der Substratoberfläche erzeugt wird; und c) Überführung der anorganischen Metallverbindungen in den abgeschiedenen Polymerdomänen durch eine Oxidations- oder Reduktionsbehandlung in anorganische Nanopartikel und gegebenenfalls vollständige oder teilweise Entfernung des organischen Polymers durch eine Plasmabehandlung, wobei die Positionen und laterale Separationslänge der erhaltenen Nanopartikel von den Positionen und der lateralen Separationslänge der abgeschiedenen Polymerdomänen bestimmt werden.

Description

Verfahren zur Herstellung von flächigen Größen- oder Abstandsvariationen in Mustern von Nanostrukturen auf Oberflächen
Die Darstellung von chemischen und topographischen Variationen auf der Nano- und Mikrometerskala sind unter anderem für Anwendungen auf den Gebieten der refraktiven und diffraktiven Optik, der Selektion molekular wichtiger Längenskalen bei der Zelladhäsion und der Einzelmolekülanbindung an Grenzflächen von großem technischen Interesse. Dies gilt insbesondere für graduelle Veränderungen der Topographie und chemischen Eigenschaften einer Oberfläche.
Die Erzeugung von molekular wohl definierten Gradienten bietet z.B. die Möglichkeit, richtungsgesteuerte Prozesse wie die Zellbewegung, die externe chemische Gradienten erfordert, zu untersuchen. Besonders auf dem Gebiet der zellulären Hap- totaxie sind chemische Gradienten mit molekularer Präzision wünschenswert, um biologische Reaktionen qualitativ und quantitativ detailliert zu untersuchen. Efimenko und Genzer ((Adv. Mater. 13, 2001), 1560-1563) haben gezeigt, dass eine Feinstellung der Pfropfdichte von Molekülen auf Oberflächen durch die Herstellung mechanisch assemblierter Monoschichten (MAMs) möglich ist. MAMS sind Strukturen, welche durch eine Kombination von Selbstassemblierung, mechanischer Streckung eines PDMS-Trägers und molekularer Diffusion hergestellt werden. Das Verfahren zur Herstellung dieser MAMs ist durch die Inkorporation eines mechanischen Schrittes relativ aufwendig und darüber hinaus nur für flexible Träger und nicht für starre Substrate, wie z.B. Glas, Metall, Siliciumverbindungen etc., geeignet. Einen weiteren Nachteil stellt die Tatsache dar, dass eine Molekül-Molekül-Abstandsregulierung durch me- chanisches Strecken eines Substrats nicht möglich ist, da das Clustern von einzelnen Molekülen nicht wesentlich eingeschränkt werden kann.
Demgemäß besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung eines verbesserten, einfachen und vielseitig anwendbaren Verfahrens mit dem flächige Größen- und/oder Abstandsvariationen in Mustern von Nanostrukturen auf Oberflächen so präzise eingestellt werden können, dass definierte Gradientenoberflächen erhalten werden.
Diese Aufgabe wurde erfindungsgemäß gelöst durch eine Weiterentwicklung der mizellaren Nanolithographie (siehe z.B. EP 1 027 157). Bei der mizellaren Nanolithographie wird eine mi- zellare Lösung eines Blockcopolymers auf ein Substrat abgeschieden, z.B. durch Tauchbeschichtung, und bildet unter geeigneten Bedingungen auf der Oberfläche eine geordnete Filmstruktur von chemisch unterschiedlichen Polymerdomänen, die unter anderem von Typ, Molekulargewicht und Konzentration des Blockcopolymers abhängt. Die Mizellen in der Lösung können mit anorganischen Salzen beladen werden, die nach der Abscheidung mit dem Polymerfilm zu anorganischen Nanopartikeln reduziert werden können. Es wurde nun erfindungsgemäß festgestellt, dass sowohl die laterale Separationslänge der genann- ten Polymerdomänen und damit auch der resultierenden Nanopar- tikel als auch die Größe dieser Nanopartikel durch verschiedene Maßnahmen so präzise flächig eingestellt werden können, dass nanostrukturierte Oberflächen mit gewünschten Abstands- und/oder Größengradienten herstellbar sind.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind somit Verfahren zur flächigen Größen oder Abstandsvariation in Mustern von Nanostrukturen auf einem Substrat gemäß den unabhängigen Ansprüchen 1 und 12. Spezielle oder bevorzugte Ausführungsfor- men der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Beschreibung der Erfindung
Wie bereits oben erwähnt, beruht die vorliegende Erfindung auf einer Weiterentwicklung der Technik der mizellaren Nano- lithographie (siehe z.B. EP 1 027 157). Bei der mizellaren Nanolithographie wird eine mizellare Lösung eines Diblock- oder Multiblockcopolymers auf ein Substrat abgeschieden, z.B. durch Tauchbeschichtung, und bildet unter geeigneten Bedin- gungen auf der Oberfläche eine geordnete Filmstruktur von chemisch unterschiedlichen Polymerdomänen, die unter anderem von Typ, Molekulargewicht und Konzentration des Blockcopol- mers abhängt. Beispielsweise sind die Abstände der einzelnen Polymerdomänen voneinander abhängig vom Molekulargewicht und der Konzentration des Blockcopolymers in der Lösung. Die Mizellen in der Lösung können mit anorganischen Salzen bzw. Säuren beladen werden, die nach der Abscheidung mit dem Polymerfilm zu anorganischen Nanopartikeln reduziert werden können.
Es wurde nun erfindungsgemäß festgestellt, dass sowohl die laterale Separationslänge der genannten Polymerdomänen und damit auch der resultierenden Nanopartikel als auch die Größe dieser Nanopartikel durch verschiedene Maßnahmen so präzise flächig eingestellt werden können, dass nanostrukturierte Oberflächen mit gewünschten Abstands- und/oder Größengradienten herstellbar sind.
Einen wesentlichen Schritt bei der Entwicklung der vorliegen- den Erfindung stellte die Erkenntnis dar, dass durch die Variation der Ziehgeschwindigkeit mit der das zu beschichtende Substrat aus einer mizellaren Lösung gezogen wird, eine Feineinstellung der lateralen Separationslänge der abgeschiedenen Polymerdomänen bzw. der resultierenden Nanopartikel für die Herstellung von Gradientenoberflächen ermöglicht wird.
Von Möller et al., (Polym. Mat., Science und Engineering, 2004, 90, 255) war zwar bereits festgestellt worden, dass sowohl der Ordnungsgrad als auch die Abstände von Nanostruktu- ren, die mittels der rnizellarer Nanolithographie erzeugt worden waren, von der (konstanten) Ziehgeschwindigkeit abhingen, mit der ein Glimmer-Substrat aus der mizellaren Lösung gezo- gen wurde. In Anbetracht der beobachteten relativ starken Veränderung des Ordnungsgrades mit der Ziehgeschwindigkeit unter einigen untersuchten Bedingungen lassen diese ersten Versuchsergebnisse jedoch die Herstellung eines Separationslängengradienten mit der nötigen Präzision und dem nötigen Ordnungsgrad eher unrealistisch erscheinen und wurde dort auch nicht erörtert oder vorgeschlagen. Insbesondere wurde hier auch eine Molekulargewichtsverteilung zwischen den Blöcken PS und P2VP eingesetzt, die für eine kontrollierte Veränderung des Abstands zwischen Mizellen ungeeignet ist. Wün- sehenswert ist hier ein Mw (PS) >> Mw (P2VP) .
Die Auswertung von hier beschriebenen umfangreichen Versuchen mit verschiedenen mizellaren Lösungen, aus denen gleiche Substrate mit unterschiedlichen, jedoch konstanten Ziehgeschwin- digkeiten gezogen wurden (siehe Beispiel 2), ergab zwei wichtige Ergebnisse. Erstens, dass für alle getesteten Lösungen ein Bereich nahezu linearer Abnahme der Distanzen mit höheren Ziehgeschwindigkeiten erhalten werden konnte, und zweitens, dass der Ordnungsgrad der Nanostrukturen zwar mit der Ziehge- schwindigkeit variierte, jedoch durch Wahl geeigneter Polymere und Polymerkonzentrationen trotzdem hoch gehalten werden konnte. Dies führte zu der Schlussfolgerung, dass es möglich sein sollte, durch graduelle Variation der Ziehgeschwindigkeit, mit der eine Substratoberfläche aus einer mizellaren Losung gezogen wird, auch einen Gradienten der lateralen Separationslange der Polymerdomanen bzw. Nanopartikel auf der Substratoberflache zu erzeugen.
Demgemäß umfasst das erfmdungsgemaße Verfahren zur flächigen Großen- oder Abstandsvariation in Mustern von Nanostrukturen auf einem Substrat in einer Ausfuhrungsform a) Kontaktieren eines Substrats mit einer flussigen Phase, die mit einer anorganischen Metallverbindung (z.B. einem Me- tallsalz) beladene Mizellen eines organischen Zweiblock- oder Multiblockcopolymers enthalt, durch Eintauchen in diese flussige Phase, wobei auf dem Substrat chemisch unterschiedliche Polymerdomanen, die in Mizellen eingeschlossene anorganische Metaliverbindungen (z.B. Metallsalze) umfassen, abgeschieden werden; b) Herausziehen des Substrats aus der flussigen Phase mit einer vorbestimmten Ziehgeschwindigkeit, wobei die Ziehge- schwindigkeit kontinuierlich oder stufenweise variiert wird, so dass ein Gradient der lateralen Separationslange der PoIy- merdomanen auf der Substratoberflache erzeugt wird; und c) Überführung der anorganischen Metaliverbindungen in den abgeschiedenen Polymerdomanen durch eine Oxidations- oder Re- duktionsbehandlung in anorganische Nanopartikel und gegebenenfalls vollständige oder teilweise Entfernung des organi- sehen Polymers durch eine Plasmabehandlung, wobei die Positionen und laterale Separationslange der erhaltenen Nanopartikel von den Positionen und der lateralen Separationslange der abgeschiedenen Polymerdomanen bestimmt werden.
Typischerweise wird die Ziehgeschwindigkeit in Schritt b) in einem Bereich von 0,1 mm/min bis 100 mm/min, vorzugsweise von 1 mm/mm bis 20 mm/mm, kontinuierlich oder stufenweise variiert . Das Verfahren kann beispielsweise so durchgeführt werden, dass auf eine Phase relativ geringer kontinuierlicher Geschwindigkeitsänderung eine abrupte stufenweise Geschwindigkeitsänderung folgt. Auf diese Weise können z.B. nacheinander mehrere verschiedene Separationslängen-Gradienten auf der gleichen Substratoberfläche erzeugt werden.
Als Zweiblock- oder Multiblockcopolymer in diesem Verfahren kann grundsätzlich jedes Mizellen-bildende Blockcopolymer verwendet werden, welches als Film auf ein Substrat abgeschieden werden kann und dabei eine geordnete Struktur verschiedener Polymerdomänen bildet. Geeignete Blockcopolymere sind beispielsweise alle in der oben zitierten EP 1 027 157 genannten Blockcopolymere. In einer spezielleren Ausführungs- form ist das Zweiblock- oder Multiblockcopolymer aus der Gruppe aus Polystyrol (n) -b-Poly (2-vinylpyridin (m) , Polystyrol (n) -b-Poly (4-vinylpyridin (m) , Polystyrol (n) -b-Poly (ethy- lenoxid) (m) , wobei n und m die Anzahl der Wiederholungseinheiten angeben und unabhängig voneinander ganze Zahlen im Bereich von 10-10000, insbesondere 100-1000, sind, ausgewählt. Vorzugsweise wird das Molekulargewicht (Mw) (gelöster Block) >> Mw (schlecht gelöster Block) gewählt.
Als anorganische Verbindungen, mit denen die Mizellen in der Lösung bzw. die Polymerdomänen in dem abgeschiedenen Kunststofffilm beladen werden können, sind grundsätzlich alle anorganischen Metallverbindungen (z.B. Metallsalze) geeignet, die durch Oxidation oder Reduktion in anorganische Nanoparti- kel überführt werden können. Geeignete Salze sind beispiel- weise alle in der oben zitierten EP 1 027 157 genannten Metallsalze. Vorzugsweise umfassen die erfindungsgemäß verwendeten Metallsalze mindestens ein Salz der Metalle Au, Pt, Pd, Ag, In, Fe, Zr, Al, Co, Ni, Ga, Sn, Zn, Ti, Si oder Ge. Besonders bevorzugt ist HAuCl4. In einer speziellen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens geschieht die reduktive Überführung der Metallverbindungen in den auf der Substratoberfläche abgeschiedenen Polymerdomänen in Nanopartikel in Schritt c) durch Bestrahlung mit einem lateral entlang der Substratoberfläche inten- sitätsmodulierten Lichtfeld, wodurch abhängig von der Lichtintensität an verschiedenen Positionen der Substratoberfläche unterschiedlich große Nanopartikel erzeugt werden.
Nach oder gleichzeitig mit der Überführung der Metallverbindungen in anorganische Nanopartikel kann das organische Polymer ganz oder teilweise durch eine entsprechende Behandlung entfernt werden. Diese Behandlung ist typischerweise eine Plasmabehandlung, z.B. mit einem Sauerstoff- oder Wasserstoffplasma, wie im Stand der Technik bekannt. Nähere Angaben zu einer solchen Behandlung sind z.B. ebenfalls in der EP 1 027 157 zu finden.
In einer spezielleren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahren umfasst es ferner die folgenden Schritte: d) Kontaktieren des Substrats mit den nach Schritt c) erhaltenen Nanopartikeln mit einer flüssigen Phase, die eine Lösung einer anorganischen Metallverbindung enthält (z.B. HAuCl4 in 0,01 - 10 mM NH2OH), durch Eintauchen in diese flüssige Phase, wobei gelöstes Material auf den Nanopartikeln aufwächst und diese damit vergrößert; und e) Herausziehen des Substrats aus der flüssigen Phase nach einer vorbestimmten Zeitspanne, wodurch eine gewünschte Größe der Nanopartikel eingestellt wird (siehe z.B. Fig. 4) .
Hierbei kann durch eine Variation der Ziehgeschwindigkeit in Schritt e) auch ein Gradient der Partikelgröße auf der Sub- stratoberflache erzeugt werden. Die Partikelgroße kann dabei in einem Bereich von etwa 1-200 nm auf einer Lange > 100 μm eingestellt werden.
Typischerweise wird die Ziehgeschwindigkeit in Schritt e) in einem Bereich von 0,1 nun/min bis 100 mm/min, vorzugsweise von 1 mm/mm bis 20 mm/mm, kontinuierlich oder stufenweise variiert .
In einer spezielleren Ausfuhrungsform dieses Verfahrens werden die Nanopartikel auf der Substratoberflache wahrend der Schritte d) und e) mit einem lateral entlang der Substratoberflache intensitatsmodulierten Lichtfeld bestrahlt, wodurch aufgrund der unterschiedlichen Wachstumsgeschwindigkeit der Nanopartikel, welche abhangig von der Lichtintensitat ist, an verschiedenen Positionen der Substratoberflache unterschiedlich große Nanopartikel erzeugt werden. Die Wellenlange betragt etwa 120-500 nm, die Lichtstarke kann je nach Bedarf über einen breiten Bereich von sehr klein bis sehr groß variieren.
Auch durch die Bestrahlung mit einem intensitatsmodulierten Lichtfeld kann ein Gradient der Partikelgroße erzeugt werden. Die Partikelgroße kann dabei in einem Bereich von etwa 1-200 nm auf einer Lange > 0,3 μm fem eingestellt werden.
In einer bevorzugten Ausfuhrungsform des erfindungsgemaßen Verfahrens werden mehrere der oben beschriebenen Maßnahmen gleichzeitig oder nacheinander durchgeführt, so dass auf ei- ner nanostrukturierten Substratoberflache sowohl mindestens ein Separationslangengradient als auch mindestens ein Parti- kelgroßengradient der Nanopartikel erzeugt wird.
Em weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Ver- fahren zur Erzeugung von Nanopartikeln mit einer lateral variablen Größe auf einer Substratoberfläche, bei dem ein Polymerfilm, der mindestens ein anorganische Metallverbindung (z.B. ein Metallsalz) enthält, auf einer Substratoberfläche abgeschieden wird und dann mit einem flächig lateral intensi- tätsmodulierten Lichtfeld bestahlt wird, wodurch das Metallsalz reduziert und in Nanopartikel überführt wird und die Größe der Nanopartikel an einer bestimmten Position auf der Substratoberfläche abhängig von der Intensität des Lichtfelds an dieser Position ist.
Auf diese Weise kann ein Gradient der Partikelgröße auf der Substratoberfläche erzeugt werden.
Vorzugsweise wird der Polymerfilm dabei auf der Substratoberfläche so abgeschieden, dass eine geordnete Struktur von metallsalzhaltigen Polymerdomänen mit einer bestimmten lateralen Separationslänge erzeugt wird, wobei diese Separationslänge nach der Überführung der Metallverbindungen in Nanopar- tikel die Separationslänge der Nanopartikel bestimmt. In einer spezielleren Ausführungsform dieses Verfahren wird der Polymerfilm so abgeschieden, dass auf der Substratoberfläche ein Separationslängen-Gradient von Polymerdomänen erzeugt wird .
Vorzugsweise wird das Substrat mit dem abgeschiedenen Polymerfilm nach der Bestrahlung mit Licht einer Plasmabehandlung, z.B. mit Sauerstoff- oder Wasserstoffplasma, unterzogen, die das Polymer ganz oder teilweise abbaut.
In einer spezielleren Ausführungsform dieses Verfahrens wird die Substratoberfläche mit den gebildeten Nanopartikeln anschließend in eine flüssige Phase eingebracht, die eine Lösung einer Metallverbindung enthält, wobei gelöstes Material auf den Nanopartikeln aufwächst und diese damit vergrößert, und das Substrat aus der flüssigen Phase nach einer vorbestimmten Zeitspanne herausgezogen wird, wodurch eine gewünschte Größe der Nanopartikel eingestellt wird.
Bei den obigen Verfahrensvarianten, in denen eine Bestrahlung mit intensitätsmoduliertem Licht vorgenommen wird, kann die Intensität des Lichtfeldes flächig graduell oder stufenweise durch Interferenz und Beugung an statischen oder dynamisch veränderbaren optischen Elementen eingestellt werden. Eine typische Vorrichtung hierfür umfasst z.B. folgende Komponenten: Lichtquelle, Spiegel, Interferenzgitter, diffraktive optische Elemente. Letztere können im Falle von Flüssigkristallen oder Mikrospiegeln musteraktiv geschaltet werden und so hinsichtlich ihrer Interferenzeigenschaften aktiv (dynamisch) beeinflusst werden.
Kurzbeschreibung der Figuren
Fig. IA zeigt schematisch die Bildung einer Mizelle aus einem PS-PVP-Diblockcopolymer und die Beladung mit einer GoId(III)- Verbindung .
Fig. IB zeigt schematisch die Aufbringung beladener Mizellen auf ein Substrat und die spätere Entfernung des Polymerfilms durch eine Plasmabehandlung. Fig. 2 zeigt eine Photographie eines zweifachen Gradienten aus Gold-Nanopartikeln.
Fig. 3 zeigt die Variation des Partikelabstands als Funktion der Ziehgeschwindigkeit eines Substrats aus einer mizellaren Lösung. Fig. 4 zeigt die Variation der Partikelgröße als Funktion der Position auf einem Substrat. Fig. 5 A-D zeigen die mittleren Au-Goldpartikel-Separations- längen, die bei verschiedenen Ziehgeschwindigkeiten für verschiedene Copolymerlösungen A-D erhalten wurden.
Fig. 6 zeigt die Korrelation zwischen dem Ordnungsparameter, den Interpartikeldifferenzen und den Ziehgeschwindigkeiten für diese Lösungen A-D.
Fig. 7 zeigt repräsentative rasterelektronenmikroskopische Aufnahmen der Nanomuster, die von verschiedenen Separationslängengradienten bei einer Position am Anfang des Gradienten, als das Substrat mit hoher Ziehgeschwindigkeit aus der entsprechenden Blockcopolymerlösung herausgezogen wurde (Al, Bl, Cl), und einer Position am Ende des Gradienten mit einer niedrigen Ziehgeschwindigkeit (A2, B2, C2) erhalten wurden.
Fig. 8 zeigt die entlang der Gradienten gemessenen Interpar- tikeldistanzen (Fig 8A-C) und die Gestaltung der Gradienten (Fig. 8D) .
Fig. 9 gibt die Interpartikeldistanzen von zwei konvers orientierten Gradienten auf einem Substrat als Plot gegen die Eintauchtiefe an und zeigt rasterelektronenmikroskopische Aufnahmen von verschieden Positionen auf jedem Substrat.
Die folgenden Beispiele dienen zur näheren Erläuterung der vorliegenden Erfindung, ohne diese jedoch darauf zu beschränken.
BEISPIEL 1
Abstandsvariation von Gold-Nanopartikeln durch die Verwendung verschiedener konstanter Geschwindigkeiten , um das Substrat aus einer mizellaren Lösung zu ziehen
Es wurden verschiedene Lösungen A, B, C und D hergestellt, deren Charakteristiken in der folgenden Tabelle 1 zusammen- fasst sind. Tabelle 1
Figure imgf000013_0001
Diese Lösungen wurden hergestellt durch Lösen des jeweiligen Blockcopolymers in der vorgesehenen Konzentration in trockenem Toluol und anschließendes Zugeben von HAuCl4 x H2O im angegebenen Verhältnis L, wobei die Mischung solange gerührt wurde, bis die Tetrachlorgoldsäure vollständig solubilisiert war .
Für jede Lösung wurden 10 Proben (Glas-Objektträger) sorgfältig gereinigt, z.B. mit „Piranha"-Lösung (H2O2ZH2SO4 = 1:1), mit reinem Wasser getrocknet, in einem Stickstoffström getrocknet und in die jeweilige mizellare Lösung getaucht und mit verschiedenen Geschwindigkeiten herausgezogen. Nach einer Wasserstoff-plasmabehandlung (z.b. wie in EP 1 027 157 beschrieben) wurden die Gold-Nanopartikel-Distanzen mit dem Rasterelektronenmikroskop bestimmt. Hierfür wurden 5 verschiedene Bereiche auf jedem Glasträger (20 x 20 mm) bei einer Vergrößerung von 5000 analysiert. Zur Berechnung der jeweiligen mittleren Interpartikel- distanzen und der Standardabweichungen wurde das Computer- Analyseprogramm Origin 7.0 eingesetzt. Die 5 erhaltenen Nano- partikel-Separationswerte mit ihren jeweiligen Standardabweichungen wurden gemittelt, um die mittleren Gesamt- Interpartikeldistanzen für einen einzelnen Objektträger, der mit einer bestimmten Ziehgeschwindigkeit aus der Lösung des Diblockcopolymers herausgezogen wurde, für jede der 10 verschiedenen Ziehgeschwindigkeiten zu ermitteln.
Tabelle 2
Figure imgf000014_0001
Fig. 5A-D zeigt alle getesteten Lösungen und die jeweiligen korrespondierenden Interpartikeldistanzen bei jeder Ziehge- schwindigkeit . Diese Studie demonstrierte, dass in allen getesteten Lösungen eine nahezu lineare Abnahme der Distanzen mit höheren Ziehgeschwindigkeiten erhalten werden konnte. Der maximale Unterschied in der lateralen Beabstandung der GoId- Nanopartikel für die getesteten Lösungen war etwa 40 nm. Es ist bemerkenswert, dass bei einer bestimmten Geschwindigkeit die Beabstandung der Gold-Nanopartikel eine Sättigung zu erfahren scheint. Anderseits wurde eine Abnahme der Musterordnung bei einer sehr geringen Geschwindigkeit (2,3 mm/min) beobachtet, die zu stark differierenden Interpartikel- distanzen an verschiedenen Messpositionen auf dem Substrat führte .
Fig. 6 zeigt die Korrelation zwischen dem Ordnungsparameter, den Interpartikeldifferenzen und den Ziehgeschwindigkeiten. Dabei zeigten die Lösungen A und B eine Erhöhung des Ordnungsparameters mit zunehmender Geschwindigkeit, während der Ordnungsparameter konstant blieb oder leicht abnahm, wenn die Ziehgeschwindigkeit in den Lösungen C und D erhöht wurde. Offenbar führt eine zu niedrige Mizellendichte auf der Oberfläche (z.B. aufgrund einer zu niedrigen Polymerkonzentration oder einer zu niedrigen Ziehgeschwindigkeit) zu einem geringeren Ordnungsgrad auf der Oberfläche und es kann gefolgert werden, dass es für jedes Diblockcopolymer eine optimale Mizellendichte in einer monomizellaren Schicht bezüglich der Musterqualität gibt.
BEISPIEL 2 Separationslängengradienten von Gold-Nanopartikeln durch Variation der Ziehgeschwindigkeit des Substrats aus einer mizellaren Lösung
Bei diesem Experiment wurden drei Proben mit Gradienten von 1 mm, 2 mm und 3 mm Länge hergestellt. Die Variation der Ziehgeschwindigkeit aus der mizellaren Lösung, hergestellt analog zu Beispiel 1, variierte von 40 mm/min („Ausgangsgeschwindigkeit") bis 8 mm/min („Endgeschwindigkeit") .
Die Substrate wurden mit einem Elektromotor bewegt, dessen Ziehgeschwindigkeit über die programmierbare Spannung seiner Energieversorgung eingestellt werden konnte. Tabelle 3
Figure imgf000016_0001
Fig. 7 zeigt rasterelektronenmikroskopische Aufnahmen der Na- nomuster, die von jedem Gradientensubstrat bei einer Position am Anfang des Gradienten, als das Substrat mit 40 mm/min Ziehgeschwindigkeit aus der entsprechenden Block- copolymerlosung herausgezogen wurde (Al, Bl, Cl) , und einer Position am Ende des Gradienten mit einer Ziehgeschwindigkeit von 8 mm/min (A2, B2, C2) erhalten wurden (A Gradient 1; B Gradient 2; C Gradient 3). Die Rasterelektronenmikroskop- Aufnahmen demonstrieren, dass keine Beeinträchtigung der Gold-Nanomuster festzustellen ist, wenn ein einziges Substrat mit den angegebenen verschiedenen Geschwindigkeiten herausgezogen wird.
Fig. 8 zeigt die entlang der Gradienten gemessenen Interpar- tikeldistanzen (Fig 8A-C) und die Gestaltung der Gradienten (Fig. 8D) . Aus Fig. 8A-C ist ersichtlich, dass eine nahezu lineare Zunahme der Interpartikeldistanten auftrat, welche der linearen Abnahme der Ziehgeschwindigkeit zuzuschreiben ist. Dies bedeutet, dass für kürzere Gradientenlangen steilere Steigungen erhalten wurden. Die Steigung eines Gradienten ist durch das Verhältnis der Gradientenlange zur Zunahme der Interpartikeldistanzen angegeben. Alle Gradienten begannen und endeten an Positionen, welche durch ein Computerprogramm vorgegeben wurden. BEISPIEL 3
Herstellung von mehreren Separationslangengradienten auf einem Substrat
In diesem Experiment wurden zwei verschiedene Gradienten auf einem Substrat erzeugt. Dazu wurde die Ziehgeschwindigkeit für den ersten Gradienten von 8 auf 40 mm/min erhöht und für den zweiten Gradienten von 40 auf 8 mm/min verringert.
Tabelle 4
Eigenschaften zweier konvers orientierter Gradienten
Figure imgf000017_0001
Fig. 9 gibt die Interpartikeldistanzen dieser konvers orientierten Gradienten als Plot gegen die Eintauchtiefe (entspricht der Gradientenlange) an und zeigt raster- elektronenmikroskopische Aufnahmen von verschiedenen Positionen auf jedem Substrat.
Die Bestimmung der Interpartikeldstanzen ergab Resultate, die mit denjenigen von Einzelgradienten vergleichbar waren. Diese Ergebnisse belegen, dass durch Änderung der Ziehgeschwindigkeit eine Gradientenbildung in beiden Richtungen möglich war. Die ungewöhnlich hohen Interpartikeldistanzen, die in der Mitte des Substrats beobachtet wurden, können durch den plötzlichen Stopp auf 0/min von einer Geschwindigkeit von 40 mm/min erklart werden und können als Bereiche be- trachtet werden, die mit sehr geringer Geschwindigkeit herausgezogen wurden.
BEISPIEL 4 Partikelgrößengradienten von Gold-Nanopartikeln durch Variation der Ziehgeschwindigkeit
Durch Variation der Ziehgeschwindigkeit von 0,01 bis 100 mm/min eines bereits nanostrukturierten Glasplättchens aus Lösungen folgender Zusammensetzung: a) wässriges 2 mM NH2OH + 1 mg/mL HAuCl4, b) wässriges 0,2 mM NH2OH + 1 mg/mL HAuCl4 wurde ein relativ steiler Partikelgradient von 10-40 nm auf einer Strecke von etwa 13 mm (2 mM [NH2OH] ) bzw. ein flacherer Partikelgradient von etwa 10-25 nm (0,2 mM [NH2OH]) auf einer Strecke von etwa 15 mm erzeugt (siehe Fig. 4).
BEISPIEL 5
Überlagerung eines Partikelgradienten mit einem dazu senkrechten Separa tionslängengradienten
In Anlehnung an Beispiel 2 wird zuerst ein Separationslängengradient auf einem Substrat erzeugt, dann das Substrat um 90° gedreht und analog zu Beispiel 4 ein Partikelgradient erzeugt .

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Verfahren zur flächigen Größen- oder Abstandsvariation in Mustern von Nanostrukturen auf einem Substrat, umfassend a) Kontaktieren eines Substrats mit einer flüssigen Phase, die mit einer anorganischen Metallverbindung be- ladene Mizellen eines organischen Zweiblock- oder Multiblockcopolymers enthält, durch Eintauchen in diese flüssige Phase, wobei auf dem Substrat chemisch unterschiedliche Polymerdomänen, die in Mizellen eingeschlossene Metallverbindungen umfassen, abgeschieden werden; b) Herausziehen des Substrats aus der flüssigen Phase mit einer vorbestimmten Ziehgeschwindigkeit, wobei die Ziehgeschwindigkeit kontinuierlich oder stufenweise variiert wird, so dass ein Gradient der lateralen Separationslänge der Polymerdomänen auf der Sub- stratoberflache erzeugt wird; c) Überführung der Metallverbindungen in den abgeschiedenen Polymerdomänen durch eine Oxidations- oder Reduktionsbehandlung in anorganische Nanopartikel und gegebenenfalls vollständige oder teilweise Entfernung des organischen Polymers durch eine Plasmabehandlung, wobei die Positionen und laterale Separationslänge der erhaltenen Nanopartikel von den Positionen und der lateralen Separationslänge der abgeschiedenen Polymerdomänen bestimmt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, das die Ziehgeschwindigkeit in Schritt b) in einem Bereich von 0,1 mm/min bis 100 mm/min, vorzugsweise von 1 mm/min bis 20 mm/min, variiert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass nacheinander mehrere verschiedene Separationslängen-Gradienten auf der gleichen Substratoberfläche erzeugt werden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass die reduktive Überführung der Metallverbindungen in den auf der Substratoberfläche abgeschiedenen Polymerdomänen in Nanopartikel in Schritt c) durch Bestrahlung mit einem lateral entlang der Substratoberfläche intensitätsmodulierten Lichtfeld geschieht, wodurch abhängig von der Lichtintensität an verschiedenen Positionen der Substratoberfläche unterschiedlich große Nanopartikel erzeugt werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass es ferner die folgenden Schritte umfasst : d) Kontaktieren des Substrats mit den nach Schritt c) erhaltenen Nanopartikeln mit einer flüssigen Phase, die eine Lösung einer anorganischen Metallverbindung enthält, durch Eintauchen in diese flüssige Phase, wobei gelöstes Material auf den Nanopartikeln aufwächst und diese damit vergrößert; und f) Herausziehen des Substrats aus der flüssigen Phase nach einer vorbestimmten Zeitspanne, wodurch eine gewünschte Größe der Nanopartikel eingestellt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass durch Variation der Ziehgeschwindigkeit in Schritt e) ein Gradient der Partikelgröße auf der Substratoberfläche erzeugt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Nanopartikel auf der Substrat- Oberfläche während der Schritte d) und e) mit einem lateral entlang der Substratoberfläche intensitäts- modulierten Lichtfeld bestrahlt werden, wodurch aufgrund der unterschiedlichen Wachstumsgeschwindigkeit der Nanopartikel, welche abhängig von der Lichtinten- sität ist, an verschiedenen Positionen der Substratoberfläche unterschiedlich große Nanopartikel erzeugt werden .
8. Verfahren nach Anspruch 4 oder 7, dadurch gekenn- zeichnet, dass durch die Bestrahlung mit einem inten- sitätsmodulierten Lichtfeld ein Gradient der Partikelgröße erzeugt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 6 oder 8, dadurch gekenn- zeichnet, dass auf einer nanostrukturierten Substratoberfläche sowohl mindestens ein Separationslängengradient als auch mindestens ein Partikelgrößengradient der Nanopartikel erzeugt wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass die anorganische Metallverbindung mindestens ein Salz der Metalle Au, Pt, Pd, Ag, In, Fe, Zr, Al, Co, Ni, Ga, Sn, Zn, Ti, Si oder Ge um- fasst .
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, dass das Zweiblock- oder Multiblockco- polymer aus der Gruppe aus Polystyrol (n) -b-Poly (2- vinylpyridin (m) , Polystyrol (n) -b-Poly (4-vinyl- pyridin (m) , Polystyrol (n) -b-Poly (ethylenoxid) (m) , wobei n und m die Anzahl der Wiederholungseinheiten angeben und unabhängig voneinander ganze Zahlen im Bereich von 10-10000, insbesondere 100-1000, sind, ausgewählt sind.
12. Verfahren zur Erzeugung von Nanopartikeln mit einer lateral variablen Größe auf einer Substratoberfläche, bei dem ein Polymerfilm, der mindestens eine anorga- nische Metallverbindung enthält, auf einer Substratoberfläche abgeschieden wird und dann mit einem flächig lateral intensitätsmodulierten Lichtfeld bestahlt wird, wodurch die Metallverbindung reduziert und in Nanopartikel überführt wird und die Größe der Nanopartikel an einer bestimmten Position auf der Substratoberfläche abhängig von der Intensität des Lichtfelds an dieser Position ist.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein Gradient der Partikelgröße auf der Substratoberfläche erzeugt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Polymerfilm auf der Substratober- fläche so abgeschieden wird, dass eine geordnete Struktur von metallverbindungshaltigen Polymerdomänen mit einer bestimmten lateralen Separationslänge erzeugt wird, wobei diese Separationslänge nach der Überführung der Metallverbindungen in Nanopartikel die Separationslänge der Nanopartikel bestimmt.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Substratoberfläche ein Separationslängen-Gradient von Polymerdomänen erzeugt wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12-15, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat mit dem abgeschiedenen Polymerfilm nach der Bestrahlung mit Licht einer Plasmabehandlung unterzogen wird, die das PoIy- mer ganz oder teilweise abbaut.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 12-16, dadurch gekennzeichnet, dass die Substratoberfläche mit den gebildeten Nanopartikeln anschließend in eine flüssige Phase eingebracht wird, die eine Lösung einer anorganischen Metallverbindung enthält, wobei gelöstes Material auf den Nanopartikeln aufwächst und diese damit vergrößert, und das Substrat aus der flüssigen Phase nach einer vorbestimmten Zeitspanne herausgezo- gen wird, wodurch eine gewünschte Größe der Nano- partikel eingestellt wird.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 4, 7 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Intensität des Licht- feldes flächig graduell oder stufenweise durch Interferenz und Beugung an statischen oder dynamisch veränderbaren optischen Elementen eingestellt wird.
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