WO2008141908A3 - Schaltung zum regeln zumindest eines festkörperaktors einer festkörperaktor-antriebsvorrichtung - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung zum Regeln zumindest eines Festkörperaktors (P1) einer Festkörperaktor-Antriebsvorrichtung, die in einer Regelschleife den zumindest einen Festkörperaktor (P1) aufweist sowie eine Verstärkeranordnung (12, 14*) zum, Anlegen eines Ansteuersignals (out_r) an den zumindest einen Festkörperaktor (P1), einen kapazitiven Spannungsteiler, der in Reihe geschaltet den zumindest einen Festkörperaktor (P1) und eine kapazitive Komponente aufweist, und einen resistiven Spannungsteiler, der in Reihe geschaltet zumindest einen ersten und einen zweiten Widerstand (R1, R2) aufweist, wobei ein gemeinsamer Schaltungspunkt (N) sowohl zwischen den zumindest einen Festkörperaktor (P1) und die kapazitive Komponente als auch zwischen den ersten und den zweiten der Widerstände (R1, R2) geschaltet ist und diese elektrisch miteinander verbindet und wobei der. gemeinsame Schaltungspunkt (N) ein Rückführungssignal (fb) als Regelgröße für die Verstärkeranordnung (12, 14*) bereitstellt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP08750000A EP2165410A2 (de) | 2007-05-21 | 2008-05-02 | Schaltung zum regeln zumindest eines festkörperaktors einer festkörperaktor-antriebsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102007023546A DE102007023546A1 (de) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | Schaltung zum Regeln zumindest eines Festkörperaktors einer Festkörperaktor-Antriebsvorrichtung |
| DE102007023546.3 | 2007-05-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2008141908A2 WO2008141908A2 (de) | 2008-11-27 |
| WO2008141908A3 true WO2008141908A3 (de) | 2009-01-15 |
Family
ID=39827200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/EP2008/055431 Ceased WO2008141908A2 (de) | 2007-05-21 | 2008-05-02 | Schaltung zum regeln zumindest eines festkörperaktors einer festkörperaktor-antriebsvorrichtung |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2165410A2 (de) |
| DE (1) | DE102007023546A1 (de) |
| WO (1) | WO2008141908A2 (de) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE102024204700A1 (de) * | 2024-05-22 | 2025-11-27 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Festkörperaktuators in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, adaptives optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage |
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-
2007
- 2007-05-21 DE DE102007023546A patent/DE102007023546A1/de not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-05-02 EP EP08750000A patent/EP2165410A2/de not_active Withdrawn
- 2008-05-02 WO PCT/EP2008/055431 patent/WO2008141908A2/de not_active Ceased
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102007023546A1 (de) | 2008-11-27 |
| EP2165410A2 (de) | 2010-03-24 |
| WO2008141908A2 (de) | 2008-11-27 |
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