WO2009098421A1 - Procede de fabrication d'un element chauffant par depot de couches minces sur un substrat isolant et l'element obtenu - Google Patents

Procede de fabrication d'un element chauffant par depot de couches minces sur un substrat isolant et l'element obtenu Download PDF

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Philippe Maurin-Perrier
Christophe Heau
Benoît TERME
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Definitions

  • the invention relates to the technical field of deposition of thin layers to produce heating elements on insulating substrate.
  • the invention finds an advantageous application in the field of defogging or deicing surfaces, in sectors such as for example reflective surfaces in the automotive sector or the leading edge of wings in the aeronautical sector.
  • a heating element consists of a zone characterized by a low electrical resistance called cold zone and a much higher electrical resistance zone to constitute the heating portion as such.
  • two cold zones are associated with the heating zone by a series connection, so that the electrical intensity that passes through each of the zones is the same.
  • the cold zones have the function of connecting the electrical inputs from an external source and distributing the current, homogeneously, across the heating portion.
  • the passage of the current thus produces a significant heating in the zone of high electrical resistance called hot zone.
  • the cold zones have the lowest possible electrical resistance, the result is a minimal thermal power output at the electrical connections.
  • the value of the electrical resistance being equal to the product of the resistivity by the length of the conductor divided by its section, it is possible to modify the values of the resistance by varying the value of any of the aforementioned parameters: resistivity, length, section.
  • thin film heating elements using for example the vacuum deposition technique, it is possible to use at least two different resistivity materials, each being deposited through specific masks to constitute successively a hot) heating part in the form of a track and one or more collectors or drains.
  • the two materials are selected according to their intrinsic resistivities, while their sections are determined according to the conductance values necessary for the cold areas and the resistance value needed for the heating part.
  • the heating coating does not make it possible to have a sufficiently high electrical resistance by adjusting the thickness of said coating, it becomes necessary to adjust the length of the resistance deposited in the form of tracks, in order therefore to increase the length traveled by the current.
  • a second material highly conductive, is deposited at the ends of the resistors to act as a drain.
  • a second material highly conductive, is deposited at the ends of the resistors to act as a drain.
  • the electrical connections can be taken on either side of the resistive coating by means of a conductive coating made in the form of known strips. under the name of drains.
  • a conductive coating made in the form of known strips. under the name of drains.
  • FIG. 1 shows a heating element made in two steps.
  • the heating element is constituted by a substrate (C) made of an electrical insulating material such as a ceramic, a glass or a plastics material.
  • a coating is deposited ( B) weakly conductive.
  • a mask is positioned on the coating (B), so as, for example, not to cover its ends to allow the deposition of a second coating with high conductivity, to achieve the drains (A) for the connection of a power source such as a generator (G).
  • the problem to be solved by the invention is to achieve, in a single deposition step and with a single material, heating elements in thin layers.
  • a method of manufacturing a heating element by deposition of thin layers on an insulating substrate according to which: the state of the surface of the substrate is modified to obtain at least one smooth zone of low roughness Ra and at least one zone of higher roughness Rax; a material that is highly conductive to electricity is applied to the different zones; connecting the smooth zone (s) to a power source.
  • the heating element can be obtained in a single deposition step to achieve, at the same time, the electrical resistance and the drains formed in this case by the smooth areas with low roughness.
  • the highly conductive material is used, for the heating part, and not only for the cold parts or drains.
  • the layer of highly conductive material is deposited on the entire substrate, so as to cover all the smooth and rough areas; or the layer of the highly conductive material is deposited so as to form a track covering part of the smooth zones and part of the rough zone.
  • the higher roughness zone is made between two smooth zones.
  • the invention also relates to a heating element by deposition of thin layers on an insulating substrate having at least one heating element by Joule effect and at least one electrical connection part constituted by at least one zone of higher roughness Rax and at least one zone. low roughness smooth Ra, said zones being covered with a thin layer of a highly conductive material, a power source being connected at the level of the smooth zone (s).
  • highly conductive materials that may be used, mention may be made, by way of non-limiting indication, of aluminum, copper, silver, gold, and more generally any material having an intrinsic electrical conductivity greater than 3OxIO. 6 mM -1 at room temperature.
  • the roughness Ra of the zone (s) smooth (s) and less than 0.5 microns is less than 0.5 microns.
  • the substrate has a smooth zone of low roughness Ra disposed next to an area of higher roughness Rax. In another embodiment, the substrate has two smooth zones of low roughness Ra disposed on either side of a higher roughness zone Rax.
  • either the thin layer of highly conductive material is deposited on the entire surface of the substrate so as to cover the different areas; either the thin layer of highly conductive material is deposited in the form of a track covering the different areas.
  • R1 resistance in ohm of the smooth zone of low roughness (Ra);
  • R2 resistance in ohm of the zone of higher roughness (Rax);
  • ⁇ l developed length of the smooth zone divided by its length palpated by means of a rugosimeter;
  • ⁇ 2 developed length of the zone of higher roughness divided by its length palpated by means of a rugosimeter.
  • FIG. 1 is a schematic view of a heating element, according to the prior art
  • FIG. 2 is a top view corresponding to Figure 1;
  • FIG. 3 is a schematic sectional view similar to Figure 1 showing the heating element obtained according to the invention;
  • FIG. 4 is a plan view corresponding to FIG. 3;
  • FIGS. 5 and 6 are schematic plan views of other embodiments of the heating element in which the highly conductive coating is deposited in the form of a track;
  • FIG. 7 is a schematic perspective view of an element with a smooth zone and a rough zone
  • Figure 8 is a view corresponding to Figure 7 after coating deposit on the outside of the cylindrical zone.
  • FIGS. 3 and 4 show a first embodiment of heating elements obtained according to the characteristics of the invention on an electrical insulating substrate (1) of any type known and appropriate.
  • the surface state of the substrate (1) is modified so as to obtain smooth zones (Ia) and (Ib) with a low roughness Ra, typically less than 0.5 ⁇ m, and a zone (Ic) of higher roughness Rax, necessarily greater than 0.5 microns.
  • a coating (2) made of a material with high electrical conductivity.
  • the conductivity of the highly conductive material is greater than 10 6 S / m 2 at room temperature.
  • the adjustment of the electrical resistance is mainly done by modifying the roughness of the area (Ic) of the substrate. It is also possible to combine the characteristics of the roughness and to modify the thickness of the coating in order to adjust the value of the resistance.
  • the coating (2) may be deposited in the form of tracks, for example by positioning a mask, prior to deposition of said coating or by selective removal of the coating.
  • FIG. 5 shows a substrate (1) having a central zone of roughness Rax higher (Ic) and two lateral zones (la) and (Ib) of low roughness (Ra).
  • the substrate has two smooth zones (la) and (Ib) of low roughness Ra disposed on either side of a higher roughness zone Rax.
  • the substrate may have a single smooth zone of low roughness Ra disposed next to a zone of higher roughness Rax.
  • the tracks (2d) constituted by the coating (2) with high electrical conductivity may have different embodiments. Referring to Figures 5 and 6.
  • the substrate has a zone (Ib) of low roughness and a zone (Ic) of high roughness.
  • the coating (2) is deposited on the outside of the cylindrical zone in (2c) (high roughness zone) and (2b) (low roughness zone) where is connected the electric generator (3).
  • This modification of the surface condition may be provided upstream, during the manufacture of the substrate, for example in the context of a polymer substrate by virtue of a relief that presents the surface of an injection mold.
  • this modification of the surface state can be obtained directly on the substrate before deposition, using the known sand blasting technique or any other means adapted to the modification of the roughness of the substrate in question.
  • a first insulating coating may be applied before the deposition of the heating element.
  • a substrate of low roughness Ra that is subjected to a treatment to obtain, for example, a higher roughness zone Rax between two smooth zones of roughness Ra
  • a higher roughness substrate Rax than is subjected to a treatment to obtain, for example, two areas of low roughness Ra on either side of a higher roughness zone Rax.
  • Example 1 copper deposits were made on polycarbonate substrates using the vacuum deposition technique.
  • the length of the resistors is 98 mm, their widths are respectively 5, 12 and 24 mm.
  • the roughness profiles made it possible to calculate the developed length for each surface state.
  • the electrical resistors have been characterized by imposing an electric current and measuring the voltage across the resistor. All substrates are coated simultaneously in the vacuum deposition equipment. Moreover, the substrates are positioned identically with respect to the deposition source. On glass control substrates having a Ra roughness of less than 0.0 l ⁇ m, the thickness of the copper deposits was measured at 1.15 ⁇ m.
  • the rough specimens are prepared according to the principle of Figures 3 and 4.
  • ⁇ represents the developed length divided by the length probed using a roughness meter.
  • the rough surfaces have been indexed 1 and the smooth surfaces have been indexed 2.
  • the value of the electrical resistance R 1 is expressed as follows:
  • Example 2 In Example 2, the same deposits as in Example 1 were carried out on polysulfone by vacuum deposition technique.
  • the rough specimens are prepared according to the principle of Figures 3, 4 and 5.
  • the length of the resistors is 45 mm, their widths are 12 and 23 mm.
  • heating resistors have been developed on polycarbonate parts.
  • a mask was positioned on the specimens before deposition so as to obtain tracks.
  • the surface condition of the substrate has not been modified, the Ra is 0.02 ⁇ m.
  • the surface condition has been modified on the entire surface of the substrate, the Ra is 4.92 ⁇ m.
  • the surface condition of the substrate was not modified at the turns and at the electrical contacts, the Ra being in these areas of 0.02 microns.
  • the piece 3 is made according to the principle of Figures 3, 4 and 5.
  • the surface of the part has a roughness of 0.02 microns.
  • a first deposit of 0.1 micron resistive NiCr alloy was developed through the first mask. After this first deposition, a second mask was applied to the part which then underwent a 0.5 ⁇ m deposition of copper on the end zones as defined in FIG.
  • the resistors were powered under 12V to measure Joule heating.
  • the ambient temperature is 20 ° C. during the heating measurements.
  • Part 1 is non-compliant, the surface condition too smooth leads to a very low resistance so that when the resistance is supplied under 12V, excessive heating resulting from the high amperage produces the deterioration of the substrate by heating above 150 0 C its glass transition temperature.
  • Part 2 is non-compliant, heating at the electrical contacts, where the current lines are very dense, produces the destruction of the deposit and the substrate at these contacts.
  • the part 3 is compliant, its resistance value limits the passage of current, so that the temperature rises to a value allowing an application such as defrosting or demisting, without leading to the destruction of the support.
  • the smooth surfaces allow a low resistance avoiding local overheating.
  • the piece 4 is non-compliant despite the fact that it can be used as a heating element. Indeed, the structure was obtained by using 2 materials of very different conductivity and by depositing in 2 steps with the interposition of a mask between these 2 steps, which corresponds to the state of the art with the disadvantages resulting therefrom. that we wanted to delete.

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Abstract

Selon le procédé; on modifie l'état de la surface du substrat (1) pour obtenir au moins une zone lisse (1a) - (1b) de faible rugosité Ra et au moins une zone (Ic) de rugosité plus élevée Rax; on applique, sur les différentes zones (1a), (1b), (1c), un matériau (2) très conducteur de l'électricité; on raccorde la ou les zones lisses (2a) et (2b) du matériau (2) à une source d'alimentation électrique (3).

Description

Procédé de fabrication d'un élément chauffant par dépôt de couches minces sur un substrat isolant, et l'élément obtenu
L'invention concerne le domaine technique du dépôt des couches minces pour réaliser des éléments chauffants sur substrat isolant.
L'invention trouve une application avantageuse dans le domaine du désembuage ou du dégivrage de surfaces, dans des secteurs comme par exemple des surfaces réfléchissantes dans le secteur automobile ou le bord d'attaque d'ailes dans le secteur aéronautique.
D'une manière connue pour un homme du métier, un élément chauffant est constitué d'une zone caractérisée par une résistance électrique faible dite zone froide et par une zone de résistance électrique beaucoup plus élevée pour constituer la partie chauffante en tant que telle.
Dans une conception des éléments chauffants, deux zones froides sont associées à la zone chauffante par un montage en série, de sorte que l'intensité électrique qui traverse chacune des zones est la même.
Les zones froides ont pour fonction de connecter les arrivées électriques provenant d'une source extérieure et de distribuer le courant, de façon homogène, aux bornes de la partie chauffante.
Etant rappelé que la puissance est égale au produit de la résistance électrique par le carré de l'intensité, le passage du courant produit ainsi un échauffement important dans la zone de résistance électrique élevée dite zone chaude. Inversement, étant donné que les zones froides présentent une résistance électrique la plus faible possible, il en résulte un dégagement de puissance thermique minime au niveau des connexions électriques. En outre, la valeur de la résistance électrique étant égale au produit de la résistivité par la longueur du conducteur divisée par sa section, il est possible de modifier les valeurs de la résistance en faisant varier la valeur de l'un quelconque des paramètres précités : résistivité, longueur, section.
Dans une forme de réalisation d'éléments chauffants en couche mince, en utilisant par exemple la technique du dépôt sous vide, on peut faire intervenir au moins deux matériaux de résistivité différente, chacun étant déposé à travers des masques spécifiques pour constituer successivement une (zone chaude) partie chauffante sous forme de piste et un ou plusieurs collecteurs ou drains. Les deux matériaux sont sélectionnés en fonction de leurs résistivités intrinsèques, tandis que leurs sections sont déterminées en fonction des valeurs de conductance nécessaire aux zones froides et de la valeur de résistance nécessaire à la partie chauffante.
Lorsque le revêtement chauffant ne permet pas d'avoir une résistance électrique suffisamment élevée en ajustant l'épaisseur dudit revêtement, il devient nécessaire d'ajuster la longueur de la résistance déposée sous forme de pistes, afin, par conséquent, d'augmenter la longueur parcourue par le courant.
Comme indiqué précédemment, un second matériau, très conducteur, est déposé aux extrémités des résistances pour faire office de drain. On peut citer, par exemple, l'enseignement des brevets JP7226301 et JP8124707.
Dans une autre forme de réalisation, lorsque le dépôt résistif n'est pas en forme de piste, les connexions électriques peuvent être prises de part et d'autres du revêtement résistif par l'intermédiaire d'un revêtement conducteur réalisé en forme de bandes connues sous le nom de drains. Une telle solution ressort de l'enseignement des documents WOO 158213, WO03095251 et US4543466. Selon l'enseignement du document WOO 158213, la couche chauffante est réalisée dans un matériau transparent conducteur et est associée à une couche d'argent de forte conductivité électrique, afin d'assurer la fonction de drain, sans échauffement.
Il résulte de cet état de la technique, que l'élaboration d'un élément chauffant, par dépôt de couches minces, nécessite deux étapes :
- une première étape pour le dépôt de la résistance électrique au travers d'un masque dans le cas d'une résistance en forme de pistes ou, directement, sur la totalité de la surface du substrat. A noter que la fabrication des pistes peut également être réalisée en enlevant sélectivement le dépôt résistif ;
- une deuxième étape, pour le dépôt au travers d'un autre masque d'un autre revêtement, pour la réalisation des drains.
Il est donc nécessaire d'utiliser deux matériaux différents et une manipulation de masque entre les deux dépôts.
Cet état de la technique est illustré schématiquement à la figure 1 qui montre un élément chauffant réalisé en deux étapes. L'élément chauffant est constitué par un substrat (C) réalisé dans un matériau isolant électrique tel qu'une céramique, un verre ou une matière plastique... Sur la totalité de la surface du substrat (C), est déposé un revêtement (B) faiblement conducteur. Un masque est positionné sur le revêtement (B), de manière, par exemple, à ne pas recouvrir ses extrémités pour permettre le dépôt d'un second revêtement à forte conductivité, afin de réaliser les drains (A) pour la connexion d'une source d'alimentation électrique tel qu'un générateur (G). A partir de cet état de la technique, le problème que se propose de résoudre l'invention est de réaliser, en une seule étape de dépôt et avec un seul matériau, des éléments chauffants en couches minces.
Pour résoudre un tel problème, il a été conçu et mis au point un procédé de fabrication d'un élément chauffant par dépôt de couches minces sur un substrat isolant selon lequel : on modifie l'état de la surface du substrat pour obtenir au moins une zone lisse de faible rugosité Ra et au moins une zone de rugosité plus élevée Rax ; on applique, sur les différentes zones, un matériau très conducteur de l'électricité ; on raccorde la ou les zones lisses à une source d'alimentation électrique.
Il résulte de ce procédé que l'élément chauffant peut être obtenu en une seule étape de dépôt pour réaliser, en même temps, la résistance électrique et les drains constitués en l'espèce par les zones lisses à faible rugosité.
Il n'est donc plus nécessaire d'utiliser deux matériaux différents, ni d'appliquer des masques différents en cours de procédé d'élaboration des revêtements.
Contrairement aux connaissances générales de l'homme du métier, selon l'invention, le matériau fortement conducteur est utilisé, pour la partie chauffante, et non plus seulement pour les parties froides ou drains.
A partir de cette conception de base, soit on dépose la couche de matériau très conducteur sur l'ensemble du substrat, de manière à recouvrir la totalité des zones lisses et rugueuses ; soit on dépose la couche du matériau très conducteur, de manière à former une piste recouvrant une partie des zones lisses et une partie de la zone rugueuse.
Dans une forme de réalisation, on réalise la zone de rugosité plus élevée entre deux zones lisses.
L'invention concerne également un élément chauffant par dépôt de couches minces sur un substrat isolant présentant au moins une partie chauffante par effet Joule et au moins une partie de connexion électrique constituées par au moins une zone de rugosité plus élevée Rax et au moins une zone lisse de faible rugosité Ra , lesdites zones étant recouvertes d'une couche mince d'un matériau très conducteur, une source d'alimentation électrique étant connectée au niveau de la ou des zone(s) lisse(s).
Parmi les matériaux très conducteurs, susceptibles d'être utilisés, on peut citer, à titre indicatif nullement limitatif, l'aluminium, le cuivre, l'argent, l'or, et plus généralement tout matériau présentant une conductivité électrique intrinsèque supérieure à 3OxIO6 S. m"1 à température ambiante.
Selon une autre caractéristique, la rugosité Ra de la ou des zone(s) lisse(s) et inférieure à 0,5 μm.
Dans une forme de réalisation, le substrat présente une zone lisse de faible rugosité Ra disposée à côté d'une zone de rugosité plus élevée Rax. Dans une autre forme de réalisation, le substrat présente deux zones lisses de faible rugosité Ra disposée de part et d'autre d'une zone de rugosité plus élevée Rax.
Comme il ressort du procédé : soit la couche mince de matériau très conducteur est déposée sur la totalité de la surface du substrat de manière à recouvrir les différentes zones ; soit la couche mince de matériau très conducteur est déposée sous forme d'une piste recouvrant les différentes zones.
Des résultats particulièrement avantageux ont été obtenus lorsque le rapport de résistance électrique R2/R1 est supérieur au rapport du carré des coefficients αl et α2, soit R2 /Rl > (α2) 2 / (αl)2, formule dans laquelle : Rl = résistance en ohm de la zone lisse de faible rugosité (Ra) ; R2 = résistance en ohm de la zone de rugosité plus élevée (Rax) ; αl = longueur développée de la zone lisse divisée par sa longueur palpée au moyen d'un rugosimètre ; α2 = longueur développée de la zone de rugosité plus élevée divisée par sa longueur palpée au moyen d'un rugosimètre.
L'invention est exposée ci-après plus en détail à l'aide des figures des dessins annexés dans lesquels :
- la figure 1 est une vue à caractère schématique d'un élément chauffant, selon l'état antérieur de la technique ;
- la figure 2 est une vue de dessus correspondant à la figure 1 ; - la figure 3 est une vue en coupe à caractère schématique semblable à la figure 1 montrant l'élément chauffant obtenu selon l'invention ;
- la figure 4 est une vue en plan correspondant à la figure 3 ;
- les figures 5 et 6 sont des vues en plan à caractère schématique d'autres exemples de réalisation de l'élément chauffant dans lequel le revêtement très conducteur est déposé sous forme d'une piste ;
- la figure 7 est une vue en perspective à caractère schématique d'un élément avec une zone lisse et une zone rugueuse ;
- la figure 8 est une vue correspondant à la figure 7 après dépôt de revêtement sur l'extérieur de la zone cylindrique.
On a illustré aux figures 3 et 4 une première forme de réalisation d'éléments chauffants obtenus selon les caractéristiques de l'invention, sur un substrat isolant électrique (1) de tout type, connu et approprié.
Selon une caractéristique à la base de l'invention, on procède à la modification de l'état de surface du substrat (1), de manière à obtenir des zones lisses (la) et (Ib) de faible rugosité Ra, typiquement inférieure à 0,5 μm, et une zone (Ic) de rugosité plus élevée Rax, nécessairement supérieure à 0,5 μm.
Sur la totalité de la surface du substrat (1), du côté des zones (la), (Ib) et (Ic) est déposé un revêtement (2) constitué d'un matériau à forte conductibilité électrique. La conductivité du matériau très conducteur est supérieure à 30 106 S/m2 à température ambiante. Ainsi, les zones (2a) et (2b), au niveau des zones lisses (la) et (Ib) du substrat (1), constituent les drains pour la connexion d'une source d'alimentation électrique telle qu'un générateur (3), tandis que la zone (2c), au niveau de la zone (Ic) de rugosité plus élevée, constitue la partie chauffante de l'élément.
L'ajustement de la résistance électrique s'effectue principalement en modifiant la rugosité de la zone (Ic) du substrat. Il est aussi possible, de combiner les caractéristiques de la rugosité et de modifier l'épaisseur du revêtement afin d'ajuster la valeur de la résistance.
Le revêtement (2) peut être déposé sous forme de pistes, par exemple en positionnant un masque, avant le dépôt dudit revêtement ou en procédant à un enlèvement sélectif du revêtement.
Pour la réalisation de pistes, il s'est avéré important de privilégier des surfaces de faible rugosité, au niveau rayons de courbure des pistes, étant donné qu'une surface de faible rugosité favorise une résistance faible permettant de réduire réchauffement et, par conséquent, d'éviter la destruction du dépôt.
Une forme de réalisation avantageuse est illustrée à la figure 5 qui montre un substrat (1) présentant une zone centrale de rugosité Rax plus élevée (Ic) et deux zones latérales (la) et (Ib) de faible rugosité (Ra). La zone (la) où apparaissent les rayons de courbure (2d) des pistes (2) de faible rugosité, permet d'éviter la surchauffe, de même qu'au niveau des drains pour la connexion électrique du générateur (3).
Aux figures illustrées, le substrat présente deux zones lisses (la) et (Ib) de faible rugosité Ra disposées de part et d'autre d'une zone de rugosité plus élevée Rax. Eventuellement, le substrat peut présenter une seule zone lisse de faible rugosité Ra disposée à côté d'une zone de rugosité plus élevée Rax. De même, les pistes (2d) constituées par le revêtement (2) à forte conductibilité électrique, peuvent présenter différentes formes de réalisation. On renvoie aux figures 5 et 6.
A la figure 7, le substrat présente une zone (Ib) de faible rugosité et une zone (Ic) de rugosité élevée. Le revêtement (2) est déposé sur l'extérieur de la zone cylindrique en (2c) (zone de rugosité élevée) et en (2b) (zone de faible rugosité) où est connecté le générateur électrique (3).
D'ores et déjà, on souligne, comme avantage, que, selon l'invention, la modification locale de l'état de surface du substrat, avant le dépôt du revêtement conducteur, permet de réaliser les éléments chauffants avec un seul matériau en forme de piste ou non.
Cette modification de l'état de surface peut être prévue en amont, lors de la fabrication du substrat, par exemple dans le cadre d'un substrat en polymère grâce à un relief que présente la surface d'un moule d'injection.
Ou bien, cette modification de l'état de surface peut être obtenue directement sur le substrat avant dépôt, en utilisant la technique connue de sablage ou tout autre moyen adapté à la modification de la rugosité du substrat considéré.
Dans le cas de substrats eux-mêmes conducteurs électriques, un premier revêtement isolant peut être appliqué avant le dépôt de l'élément chauffant.
A noter que l'on peut, pour réaliser les caractéristiques à la base de l'élément chauffant, selon l'invention : soit utiliser un substrat de faible rugosité Ra que l'on soumet à un traitement pour obtenir, par exemple, une zone de rugosité plus élevée Rax entre deux zones lisses de rugosité Ra ; soit utiliser un substrat de rugosité plus élevée Rax que l'on soumet à un traitement pour obtenir, par exemple, deux zones de faible rugosité Ra de part et d'autre d'une zone de rugosité plus élevée Rax. On renvoie aux trois exemples ci-après :
Exemple 1 :
Dans l'exemple 1, on a effectué des dépôts de cuivre sur des substrats en polycarbonate en utilisant la technique de dépôt sous vide.
Les substrats de polycarbonate, sous formes de bandes, ont une valeur de rugosité initiale de Ra = 0,02 μm. Ces substrats en polycarbonate, ont subi un sablage avant dépôt sous vide, ce qui a porté leur rugosité à Ra = 4,9 μm.
Les extrémités de ces bandes ont été conservées lisses pour assurer la fonction de contact électrique et la répartition homogène du courant.
Sur chaque état de surface, 3 types de résistances ont été élaborées. La longueur des résistances est de 98 mm, leurs largeurs sont respectivement de 5, 12 et 24 mm. Les profils de rugosité ont permis de calculer la longueur développée pour chaque état de surface.
Les résistances électriques ont été caractérisées en imposant un courant électrique et en mesurant la tension aux bornes de la résistance. Tous les substrats sont revêtus simultanément dans l'équipement de dépôt sous vide. Par ailleurs, les substrats sont positionnés de façon identique par rapport à la source de dépôt. Sur des substrats témoins de verre dont la rugosité Ra est inférieure à 0,0 lμm, l'épaisseur des dépôts de cuivre a été mesurée à 1,15 μm.
Les éprouvettes rugueuses sont élaborées suivant le principe des figures 3 et 4.
Figure imgf000012_0001
α représente la longueur développée divisée par la longueur palpée à l'aide d'un rugosimètre. Dans le tableau, les surfaces rugueuses ont été indicées 1 et les surfaces lisses, indicées 2.
α = dimension développée / dimension apparente
II est évident que la rugosité a pour effet d'augmenter la longueur et la largeur développée d'une surface.
La valeur de la résistance électrique R1 s'exprime de la façon générale suivante :
R1 = pxLxα1/((e/(α1xα1))xlxα1) = PxLXa1Xa1 /(exl)
La longueur (L1) développée de la surface i vaut Lxα15 la largeur (I1) de la surface i vaut IXa1 et l'épaisseur (e^ du dépôt sur une surface i devient 6/((X1XOC1), de sorte que le volume (V) du dépôt reste inchangé. V = V1= LXa1XlXa1X 6/(Oc1XOc1) = Lxlxe
Ceci aboutit à la conclusion que le rapport de résistances électriques (R2/R1) devrait être égal, pour l'homme du métier, au rapport du carré des coefficients α (R2/R1 = (α2xα2)/ (αlxαl)).
Les résultats expérimentaux montrent que pour les 3 largeurs de résistances électriques, les zones rugueuses conduisent à une augmentation de la résistance électrique selon un rapport R2/R1 compris entre 3,1 et 3,2.
Un tel facteur d'augmentation rend l'utilisation de matériaux très conducteurs, possible en tant que résistance électrique, alors que sur les zones lisses, les dépôts se comportent comme un court circuit et sont inutilisables en tant qu'éléments chauffants.
Les résultats montrent également que l'augmentation de la valeur de résistance électrique ne découle pas principalement des effets géométriques de la rugosité, puisque le rapport R2/R1 est, de façon inattendue, très nettement supérieur au rapport des carrés des coefficients α. Par ailleurs, l'homme de l'art, en partant d'une approche théorique ne serait pas incité à intervenir sur la rugosité puisqu'une augmentation de la résistance électrique d'un facteur de seulement 1,2 ne permet pas de passer de la situation d'un court circuit à celle d'une résistance chauffante.
Exemple 2 : Dans l'exemple 2, on a effectué les mêmes dépôts que dans l'exemple 1 sur du polysulfone par technique de dépôt sous vide. Les éprouvettes rugueuses sont élaborées suivant le principe des figures 3, 4 et 5. La longueur des résistances est de 45 mm, leurs largeurs sont de 12 et 23 mm.
Figure imgf000014_0001
Dans cet exemple, on constate également que l'accroissement de résistance électrique ne suit pas l'effet géométrique dû à la rugosité. Le changement de longueur développé n'explique pas l'accroissement de la résistance.
Exemple 3 :
Dans cet exemple, des résistances chauffantes ont été élaborées sur des pièces en polycarbonate. Un masque a été positionné sur les éprouvettes avant dépôt de sorte à obtenir des pistes.
A titre de comparaison, 4 pièces (élément chauffant) ont été réalisées.
Pour la pièce 1, l'état de surface du substrat n'a pas été modifié, le Ra est de 0,02 μm.
Pour la pièce 2, l'état de surface a été modifié sur l'intégralité de la surface du substrat, le Ra est de 4,92 μm. Pour la pièce 3, l'état de surface du substrat n'a pas été modifié au niveau des virages et au niveau des contacts électriques, le Ra étant dans ces zones de 0,02 μm.
Au niveau des pistes, la rugosité a été augmentée par sablage pour porter la rugosité de 0,02 μm à 4,89 μm. La pièce 3 est réalisée suivant le principe des figures 3, 4 et 5.
Sur ces trois premières pièces, un dépôt de cuivre a été réalisé par PVD. L'épaisseur de ce dépôt à été mesuré sur les zones lisses de Ra = 0,02 μm et est de 0,5 μm.
Pour la pièce 4, réalisée selon le principe de l'état de la technique (figures 1 et 2), la surface de la pièce présente une rugosité de 0,02 μm. Un premier dépôt d'alliage NiCr résistif de 0,1 μm a été élaboré au travers du premier masque. Après ce premier dépôt, un second masque a été appliqué sur la pièce qui a ensuite subi un dépôt 0,5 μm de cuivre sur les zones d'extrémité telles que définies sur la figure 5.
Après détermination de la résistance électrique globale, les résistances ont été alimentées sous 12V afin de mesurer réchauffement par effet Joule. La température ambiante est de 200C pendant les mesures de réchauffement.
Figure imgf000015_0001
II en résulte que :
La pièce 1 est non conforme, l'état de surface trop lisse conduit à une résistance très basse de telle sorte que lorsque la résistance est alimentée sous 12V, réchauffement excessif résultant du fort ampérage produit la détérioration du substrat par échauffement au-delà de 1500C sa température de transition vitreuse.
La pièce 2 est non conforme, réchauffement au niveau des contacts électriques, où les lignes de courant sont très denses, produit la destruction du dépôt et du substrat au niveau de ces contacts.
La pièce 3 est conforme, sa valeur de résistance limite le passage de courant, de sorte que la température s'élève à une valeur permettant une application telle que le dégivrage ou le désembuage, sans conduire à la destruction du support. Au niveau des contacts électriques et des virages de la structure en pistes, où la densité de courant est importante, les surfaces lisses permettent une résistance basse évitant les surchauffes locales.
Enfin, la pièce 4 est non conforme malgré le fait qu'elle puisse être utilisée comme élément chauffant. En effet, la structure a été obtenue en utilisant 2 matériaux de conductivité très différente et en procédant au dépôt en 2 étapes avec interposition d'un masque entre ces 2 étapes, ce qui correspond à l'état de la technique avec les inconvénients en résultant que l'on a voulu supprimer.
Les avantages ressortent bien de la description. En particulier, on souligne et on rappelle la possibilité d'obtenir un élément chauffant en une seule étape et avec un seul matériau pour réaliser à la fois la résistance électrique et les drains.

Claims

R E V E N D I C A T I O N S
-1- Procédé de fabrication d'un élément chauffant par dépôt de couches minces sur un substrat isolant (1) selon lequel : on modifie l'état de la surface du substrat (1) pour obtenir au moins une zone lisse (la) - (Ib) de faible rugosité Ra et au moins une zone (Ic) de rugosité plus élevée Rax ; on applique, sur les différentes zones (la), (Ib), (Ic), un matériau (2) très conducteur de l'électricité ; on raccorde la ou les zones lisses (2a) et (2b) du matériau (2) à une source d'alimentation électrique (3).
-2- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on dépose la couche de matériau très conducteur (2) sur l'ensemble du substrat (1), de manière à recouvrir la totalité des zones lisses (la) et (Ib) et rugueuses (Ic).
-3- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on dépose la couche du matériau très conducteur (2), de manière à former une piste recouvrant une partie des zones lisses (la) et (Ib) et une partie de la zone rugueuse (Ic).
-4- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'on réalise la zone de rugosité plus élevée (Ic) entre deux zones lisses (la) et (Ib).
-5- Elément chauffant par dépôt de couches minces sur un substrat isolant (1) présentant au moins une partie-chauffante électriquement et au moins une partie de connexion électrique, caractérisé en ce que lesdites parties sont constituées par au moins une zone lisse (la) et (Ib) de faible rugosité Ra et au moins une zone (Ic) de rugosité plus élevée Rax, lesdites zones (la), (Ib), (Ic) étant recouvertes d'une couche mince d'un matériau très conducteur (2), une source d'alimentation électrique (3) étant connectée au niveau de la ou des zone(s) lisse(s) (2a) et (2b) de revêtement (2).
-6- Elément selon la revendication 5, caractérisé en ce que la rugosité Ra de la ou des zone(s) lisse(s) est inférieure à 0,5 μm.
-7- Elément selon la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat (1) présente une zone lisse de faible rugosité Ra disposée à côté d'une zone de rugosité plus élevée Rax.
-8- Elément selon la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat présente deux zones lisses de faible rugosité Ra disposées de part et d'autre d'une zone de rugosité plus élevée Rax.
-9- Elément selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que la couche mince de matériau très conducteur (2) est déposée sur la totalité de la surface du substrat de manière à recouvrir les différentes zones (la), (Ib), (Ic).
-10- Elément selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que la couche mince de matériau très conducteur (2) est déposée sous forme d'une piste recouvrant les différentes zones (la), (Ib), (Ic).
-11- Elément selon l'une quelconque des revendications 5 à 10, caractérisé eenn qquuee llaa ccoonndduuccttiivviittéé dduu mmiatériau très conducteur est supérieure à 30 106 S/m2 à température ambiante. -12- Elément selon l'une des revendications 5 à 11, caractérisé en ce que le matériau très conducteur (2) est du cuivre, ou de l'aluminium, ou de l'argent, ou de l'or.
-13- Elément selon l'une des revendications 5 à 11, caractérisé en ce que le substrat (1) est réalisé dans un matériau isolant.
-14- Elément selon l'une des revendications 5 à 11, caractérisé en ce que le substrat (1) est réalisé dans un matériau conducteur revêtu d'une couche isolante
-15- Elément selon l'une des revendications 5 à 14, caractérisé en ce que le rapport de résistance électrique R2/R1 est supérieur au rapport du carré des coefficients αl et α2, soit R2 /Rl > (α2) 2 / (αl)2, formule dans laquelle :
Rl = résistance en ohm de la zone lisse de faible rugosité Ra ;
R2 = résistance en ohm de la zone rugosité plus élevée Rax ; αl = longueur développée de la zone lisse divisée par sa longueur palpée au moyen d'un rugosimètre ; α2 = longueur développée de la zone de rugosité plus élevée divisée par sa longueur palpée au moyen d'un rugosimètre.
-16- Utilisation de l'élément chauffant selon l'une quelconque des revendications 5 à 15 pour le désembuage, le dégivrage de surfaces réfléchissantes.
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