WO2009144073A3 - Reinigungsvorrichtung und verfahren zur reinigung eines werkstücks - Google Patents

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Abstract

Um eine Reinigungsvorrichtung (100) mit einer Reinigungskammer (104) zur Aufnahme eines zu reinigenden Werkstücks (114), mit einer Fluidtransfereinrichtung zum Transferieren mindestens eines Fluids in die Reinigungskammer und/oder aus der Reinigungskammer, wobei die Fluidtransfereinrichtung mindestens eine Düse in Form einer sich entlang einer Spaltachse (118) erstreckenden Spaltdüse (116) umfasst, mittels welcher das mindestens eine Fluid quer zu der Spaltachse in die Reinigungskammer einbringbar oder aus der Reinigungskammer ausbringbar ist, zu schaffen, mit welcher eine besonders gute Reinigungswirkung erzielbar ist, wird vorgeschlagen, dass die Reinigungsvorrichtung eine Spaltdüsen-Bewegungseinrichtung (144) zum Bewegen zumindest eines Teils der Spaltdüse umfasst.
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