WO2010097387A1 - Mehrlagiger schaltungsträger und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

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WO2010097387A1
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Dieter GÖTSCH
Roman Karmazin
Richard Matz
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Osram GmbH
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits

Definitions

  • Multi-layer circuit carrier and method for its production
  • the invention relates to multi-layer circuit carriers, such as copper-clad, organic fiber composite films or Low Temperature Cofired Ceramics / LTCC (at low temperature sintered ceramic).
  • circuit carriers enable the embedding of coils for the purpose of displaying inductors and transformers, for example in power electronic circuits.
  • additional magnetic ceramic elements referred to as ferrite, are generally required. Background is the amplification of the magnetic field and / or its formation.
  • FIGS. 1 and 2 The known and frequently used structures of such ferrite elements are shown in FIGS. 1 and 2.
  • FIGS. 1 and 2 By means of a core structure according to FIG. 1, high inductances can be achieved.
  • the magnetic flux extends along the common axis of primary and
  • An opening in the multilayer circuit carrier, in particular a circuit board, is equipped with a ferrite core, which is designed such that the enclosed flow above and below the circuit board can be closed by two sideways / horizontally extending legs and two outer vertical ferrite columns.
  • a ferrite element in the form of an eight which is composed when placed on the board of an E-shaped and an I-shaped part and is held together with brackets.
  • a simpler structure, consisting of two separate ferrite plates according to FIG. 2 results when the vertical, the board penetrating ferrite segments omitted.
  • the disadvantage is that ferrite elements occupy relatively large surface portions of the circuit carrier serving as the base.
  • the thus occupied area is usually unsuitable for assembly with SMD components / surface mountable components.
  • the reference [1] for example, considers a multilayer transformer which has Mn-Zn ferrites. It describes the electrical features and compares two types of transformers, which have, on the one hand, a conventional winding structure and, on the other hand, a new winding structure, with the primary and secondary conductors being positioned alternately not only in the vertical direction, but also in the horizontal direction are. By such variants, the coupling coefficients can be optimized.
  • planar transformer for integration on printed circuit boards.
  • a corresponding converter can supply a large number of consumers.
  • the planar device consists of spiral turns on integrated circuits and ferrite polymer plates, for example with a magnetic core.
  • the invention has the object of specifying a design and a corresponding manufacturing method for planar inductances and transformers such that these components can be so embedded in their integration into multi-layer circuit boards that they can be equipped superficially like a conventional board and thus their space requirement is negligible.
  • the invention is based on the finding that the ferrite plates of planar transformers or inductors can be produced at low sintering temperatures and thereby provided with vertical metallic plated-through holes and superficial dielectric ceramic insulation layers in the co-firing process.
  • the ferrite plates take over the double function as conductors of the magnetic flux and as circuit carriers of further surface-mounted components (surface-mounted devices SMD). This achieves a significant miniaturization progress.
  • the structure of a corresponding multi-layer circuit arrangement provides that the ferrite plates for flux shaping and amplification continue to be present on a dielectric circuit carrier (main circuit board) in the region of an integrated planar coil or a planar transformer.
  • the ferrite plates are made by a sintering process of several individual layers, consisting preferably of low Sintering LTCC (Low Temperature Cofiring Ceramics) ceramics, which are imprinted in a "green" state before sintering and laminated to form a layer composite, in which the ferrite layers are provided with metallic through-contacts and with dielectric, highly insulating cover layers
  • the ferrite plates produced in this way are affixed on both sides to a dielectric circuit carrier in the region of a coil or a transformer by means of soldering or gluing processes.
  • the dielectric insulator layers and the interconnects with plated through holes open up the possibility of surface mounting with SMD components the ferrite plates, so that they
  • the layers of single-layer or multi-layer dielectric circuit carriers can advantageously be made of organic or ceramic materials or of composite material.
  • the attachment of the ready-prepared ferrite plates on the surface of the dielectric circuit substrate may preferably be in the form of an adhesive bond with an epoxy adhesive or in the form of a solder, for example using brazing or nanotechnology silver solder.
  • the electrical contacting of the SMD can also be completely or partially replaced by a contacting of the surface. According to the state of the art, this can be achieved, for example, by bonding wires or by the SIPLIT method (Siemens Planar Interconnect Technology), in which the SMDs are covered with a photostructurable film as a carrier of galvanically deposited metallization.
  • SIPLIT method Siemens Planar Interconnect Technology
  • a method for producing a multilayer circuit arrangement according to the invention is based on the finding that the ferrite plates with insulating layers can be surface-insulated by sintering methods, so-called LTCC ceramics being used. This may in particular be MnZn ferrite or NiZnCu ferrite.
  • the ferrite plates can be formed in one or more layers. Essential is the external representation of the ferrite plates with insulator layers sintered on both sides, in particular by means of dielectric ceramic layers. At the same time, burnable vertical vias and surface metallizations are applied so that the entire surface is ready for assembly of components.
  • the middle circuit substrate consists of ten to 20 dielectric ceramic layers, each 50 to 100 .mu.m thick layer.
  • the ferrite plates are built up, for example, from 50 to 100 ⁇ m thick individual layers to a total thickness of 100 to 500 ⁇ m. Their lateral extent extends 10 to 20mm beyond the area of the inductor or transformer embedded coil turns.
  • FIG. 1 shows a known cross-sectional structure of a planar transformer, integrated in a dielectric circuit carrier, designed as a so-called core structure with the circuit carrier penetrating ferrite elements,
  • FIG. 2 shows a known cross-sectional structure of a planar transformer integrated in a dielectric circuit carrier, wherein the ferrite elements in the form of ferrite plates on both sides of the Abut circuit carrier in the region of the transformer,
  • FIG. 3 shows in cross section the components of a planar transformer equipped with SMD components with sintered ferrite plates insulated on both sides, FIG.
  • FIG. 4 shows an illustration of the transformer structure after completion of the construction and connection technology process steps according to FIG. 3.
  • a planar transformer is considered in particular as a variant of a planar, inductive component.
  • the planar transformer first according to the prior art of a primary and a secondary winding 21 and 22 of conductor tracks, which are embedded in a multi-layer circuit substrate 1.
  • the circuit board 1 has additional Liehe surface metallization layers 111 to 118 and embedded metallization layers 121, 122.
  • the superficial and the embedded layers are electrically conductively connected by means of metallic plated through 131 to 134.
  • the transformer is equipped with ferrite plates 311, 321 on both sides.
  • these ferrite plates are made of low sintering LTCC ceramics, for example MnZn ferrite or NiZnCu ferrite. It is possible to represent single or multi-layer ferrite plates. By using the ceramic multi-layer technology, the ferrite plates can be provided with dielectric, insulating cover layers 312, 313 or 322, 323 and additionally with plated-through holes 3111, 3112 or 3211, 3212 and printed conductors 3121 to 3134 or 3221 to 3234. They thus have the characteristics of independent circuit carriers 31 and 32 (ferrite boards).
  • a ferrite plate is at least on one side, but preferably provided on both sides in a sintering process with such dielectric insulator layers and thus forms an element which on the actual single or multi-layer circuit substrate 1, the board, by means of solder or adhesive joints 411 to 414 and 421 to 424th is mounted so that in addition to the mechanical attachment to the contact surfaces also an electrically conductive connection between the respective ferrite board and the main board is formed.
  • This application of coated ferrite plates produced in temperature-stressing processes preferably takes place on both sides of the dielectric circuit substrate 1.
  • an electrically insulated surface is realized with structured interconnects on the otherwise semiconductive ferrite ceramics of the ferrite plates, which is part of the entire circuit layout and thus can be equipped to save space with SMD elements 511 to 523.
  • the layers of the single-layer or multi-layered dielectric circuit substrate 1 may consist, for example, of organic or ceramic material or of a composite material.
  • connection technique 41, 42, with which the ferrite plates 31, 32 are mounted on the dielectric circuit substrate 1, must meet mechanical, electrical and thermal requirements. Accordingly, adhesives such as epoxy adhesives or solders such as brazing alloy or nano-technological silver solder can be advantageously used.
  • adhesives such as epoxy adhesives or solders such as brazing alloy or nano-technological silver solder can be advantageously used.
  • the surface metallization 111 to 118 on the motherboard also be connected by means of bonding wires with those on the ferrite boards.
  • the otherwise unusable area of the transformer or the coil can be used for equipping with surface mountable components / SMD in the low-frequency range.
  • board space can be saved elsewhere and the entire circuit can be downsized.
  • Figs. 1 and 2 The prior art shown in Figs. 1 and 2 is divided into a core structure according to Fig. 1 and a plate structure according to Fig. 2.
  • the basis for the further development to illustrate the invention is the plate structure. It has been developed by procedural simplification for applications at higher frequency (MHz) from the earlier, low-frequency operated (10OkHz) core structure of FIG.
  • the ferrite plates 2 shown in FIG. 2 are placed in the region of a transformer with the coils 8 on both sides of a dielectric circuit substrate 1.
  • a circuit arrangement according to the invention is as follows: On the basis of a single-layer or multi-layered dielectric circuit substrate 1, for example a board of ceramic or epoxy resin, containing at least one planar coil 21, 22 the ferrite boards 31, 32 mounted on both sides of the dielectric circuit substrate 1 in the region of the coil or of a planar transformer.
  • the ferrite boards 31, 32 are attached to the dielectric circuit substrate 1 by soldering or bonding methods 41, 42.
  • the ferrite plates 311, 321 are constructed as multilayer bodies of individual ferritic green sheets and laminated by thermocompression with insulating dielectric green sheets 312, 313, 322, 323 to form a composite body 31, 32.
  • the green sheets are individually provided with punched and conductively filled vias and screen printed surface metallization prior to lamination.
  • the composite bodies 31, 32 are fired individually at a low sintering temperature of, for example, 900 ° Celsius. This is achieved stress-free and crack-free on the basis of mutually adapted sintering and thermal expansion behavior of the metal pastes and the ferritic or dielectric films.
  • Surface mount devices 511 through 523 may be mounted on the dielectric circuit substrate 1 and, importantly, on the ferrite boards 31, 32 as well. Electrical connections can be made with the aid of the plated-through holes 3111 to 3212 via the conductive connecting elements 41, 42 from the surface metallization 111 to 118 of the mainboard 1.
  • FIG. 4 shows the parts shown in FIG. 3 in the assembled state.
  • the reference numerals are shown in FIG. 4
  • the process temperature in the LTCC technology or the sintering temperature is approx. 900 ° Celsius.
  • materials such as silver can be processed favorably.
  • HTCC technology / High Temperature Cofired Ceramics where molybdenum, tungsten and platinum are used as conductors.
  • the basic circuit design is done in the same way as with LTCC technology / Low Temperature Cofired Ceramics.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

Mehrlagige Schaltungsanordnungen bestehend aus einem dielektrischen ein- oder mehrlagigen Schaltungsträger (1) mit mindestens einer integrierten planaren Spule und/oder mindestens einem integrierten planaren Transformator (21, 22) sowie auf dem dielektrischen Schaltungsträger (1), gegenüberliegend einer Spule und/oder eines Transformators angeordneten Ferritplatinen (31, 32), wobei die Ferritplatten (311, 321) beidseitig zumindest partiell mit mindestens einer dielektrischen, keramischen, gesinterten Isolatorschicht (312, 313, 322, 323) bedeckt sind, und der dielektrische Schaltungsträger (1) sowie die Ferritplatinen (31, 32) mit einer Oberflächenmetallisierung (3121-3134, 3221-3234) versehen sind, wobei die beschichteten Ferritplatinen (31, 32) jeweils auf der Oberfläche des dielektrischen Schaltungsträgers (1) fest aufgebracht sind und nach außen eine Fläche zur Bestückung mit oberflächenmontierbaren Bauelementen darstellen. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Schaltungsanordnung beschrieben, dass Ferritplatinen (31, 32) vor der Befestigung auf einem dielektrischen Schaltungsträger (1) bei Temperatureinwirkung aus einer LTCC-Keramik mittels eines Sinterverfahrens hergestellt, mindestens einlagig ausgebildet sind und jeweils beidseitig mit einer dielektrischen Isolatorschicht (312, 313, 322, 323) mittels eines Sinterverfahrens beschichtet werden, fertig gesinterte und mit Isolatorschichten (312, 313, 322, 323) versehene Ferritplatinen (31, 32) mittels eines Klebe- oder Lötverfahrens elektrisch leitend auf dem dielektrischen Schaltungsträger (1) befestigt werden, sodass über Ferritplatten zusätzlicher Platz für eine Bestückung mit oberflächenmontierbaren Bauelementen (511-523) entsteht. Anwendung: Schaltnetzteile, leistungselektronische Platinen

Description

Beschreibung
Mehrlagiger Schaltungsträger und Verfahren zu dessen Herstellung
Die Erfindung betrifft mehrlagige Schaltungsträger, wie beispielsweise kupferkaschierte, organische Faserverbundfolien oder Low Temperature Cofired Ceramics/LTCC (bei niederer Temperatur gesinterte Keramik) .
Derartige Schaltungsträger ermöglichen auf Grund ihrer guten Leiterbahn-Qualität die Einbettung von Spulen zur Darstellung von Induktivitäten und Transformatoren, beispielsweise in leistungselektronischen Schaltungen. Zur Erzielung hoher In- duktivitätswerte an einzelnen Spulen bzw. zur Erzielung guter magnetischer Kopplungen in den Transformatoren werden in der Regel zusätzliche Elemente aus magnetischer Keramik, bezeichnet als Ferrit, benötigt. Hintergrund ist die Verstärkung des Magnetfeldes und/oder dessen Ausformung.
Die bekannten und häufig eingesetzten Strukturen derartiger Ferrit-Elemente sind in den Fig. 1 und 2 dargestellt. Mittels einer Kernstruktur entsprechend Fig. 1 lassen sich hohe Induktivitäten erzielen. Dabei erstreckt sich der magne- tische Fluss entlang der gemeinsamen Achse von Primär- und
Sekundärspule eines Transformators und wird durch das Ferritmaterial verstärkt. Eine Öffnung in dem mehrlagigen Schaltungsträger, insbesondere einer Platine, wird mit einem Ferritkern bestückt, der so gestaltet ist, dass sich der einge- schlossene Fluss oberhalb und unterhalb der Platine durch zwei seitwärts/waagerecht verlaufende Schenkel und zwei äußere vertikale Ferritsäulen schließen kann. Auf diese Weise entsteht ein Ferrit-Element in Form einer Acht, welches beim Aufsetzen auf die Platine aus einem E-förmigen und einem I- förmigen Teil zusammengesetzt ist und mit Klammern zusammengehalten wird. Eine einfachere Struktur, bestehend aus zwei getrennten Ferritplatten entsprechend Fig. 2, ergibt sich, wenn die vertikalen, die Platine durchdringenden, Ferritsegmente entfallen. Dies führt zwar zu einer Verminderung der Induktivitäten ent- sprechend der Ausführung eines Transformators nach Fig. 1, und führt zu eingeschränkter Leistung im unteren Frequenzbereich, lässt sich jedoch einfacher herstellen.
Nachteilig ist, dass Ferrit-Elemente relativ große Flächenan- teile des als Basis dienenden Schaltungsträgers belegen.
Dies steht insbesondere einer Miniaturisierung entgegen. Die dadurch belegte Fläche ist in der Regel für eine Bestückung mit SMD-Bauelementen/oberflächlich montierbaren Bauelementen ungeeignet .
Im Stand der Technik ist bisher kein Konzept bekannt, welches eine umfassende Lösung wiedergibt. Ferritkerne werden üblicherweise relativ schmal ausgelegt, um den Flächenbedarf zu reduzieren. Andererseits muss der für den Fluss erforderliche Querschnitt bei schmaler Auslegung der Ferritkerne durch entsprechende Bauhöhe erzielt werden. Auf dem Markt sind unterschiedlichste Formen und Größen von Ferritkernen erhältlich.
In der Literaturstelle [1] wird beispielsweise ein mehrlagi- ger Transformator betrachtet, der Mn-Zn Ferrite aufweist. Es werden die elektrischen Merkmale beschrieben und zwei Typen von Transformatoren verglichen, welche zum Einen eine konventionelle Windungsstruktur und zum Anderen eine neue Windungsstruktur aufweisen, wobei primärer- und sekundärer Leiter al- ternierend nicht lediglich in der vertikalen Richtung, sondern ebenso in der horizontalen Richtung positioniert sind. Durch derartige Varianten können die Kopplungskoeffizienten optimiert werden.
Weiterhin ist aus der Literaturstelle [2] ein planarer Transformator zur Integration an Leiterplatten bekannt. Ein entsprechender Wandler kann eine Vielzahl von Verbrauchern versorgen. Die planare Vorrichtung besteht aus Spiralwindungen an integrierten Schaltungen und Ferritpolymerplatten, beispielsweise mit magnetischem Kern.
Beide oben genannten Literaturstellen geben keine Auskunft zur optimalen Ausnutzung hinsichtlich einer Bestückung mit SMD-Bauelementen .
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Bauform und ein entsprechendes Herstellungsverfahren für planare Indukti- vitäten und Transformatoren derart anzugeben, dass sich diese Bauelemente bei ihrer Integration in mehrlagige Schaltungsträger so einbetten lassen, dass sie sich wie eine konventionelle Platine oberflächlich weiter bestücken lassen und somit ihr Flächenbedarf vernachlässigbar wird.
Die Lösung dieser Aufgabe wird wiedergegeben durch die jeweilige Merkmalskombination eines Hauptanspruchs. Vorteilhafte Ausgestaltungen können den Unteransprüchen entnommen werden.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass die Ferritplatten von planaren Transformatoren oder Induktivitäten bei niedrigen Sintertemperaturen hergestellt und dadurch im Co- Firing-Verfahren mit vertikalen metallischen Durchkontaktie- rungen und oberflächlichen dielektrischen keramischen Isola- tionsschichten versehen werden können. Nach der erfindungsgemäßen Bauform übernehmen die Ferritplatten die Doppelfunktion als Leiter des magnetischen Flusses und als Schaltungsträger weiterer oberflächenmontierter Bauteile (surface mounted de- vices SMD) . Dadurch wird ein wesentlicher Miniaturisierungs- fortschritt erzielt.
Der Aufbau einer entsprechenden mehrlagigen Schaltungsanordnung sieht vor, dass die zur Fluss-Formung und Verstärkung vorhandenen Ferritplatten auf einem dielektrischen Schal- tungsträger (Hauptplatine) im Bereich einer integrierten planaren Spule oder eines planaren Transformators weiterhin vorhanden sind. In Abwandlung zum Stand der Technik sind die Ferritplatten durch ein Sinterverfahren aus mehreren einzelnen Lagen hergestellt, bestehend vorzugsweise aus niedrig sinternder LTCC-Keramik (Low Temperature Cofiring Ceramics) , die vor dem Sintern im „grünen" Zustand metallisch bedruckt und zu einem Schichtverbund laminiert werden. Wesentlich ist, dass die Ferritschichten bei diesem Verfahren mit metalli- sehen Durchkontaktierungen und mit dielektrischen, hoch isolierenden Deckschichten versehen werden. Im Anschluss werden die so hergestellten Ferritplatten durch Löt- oder Klebeverfahren auf einem dielektrischen Schaltungsträger im Bereich einer Spule oder eines Transformators beidseitig befestigt. Die dielektrischen Isolatorschichten und die Leiterbahnen mit Durchkontaktierungen eröffnen die Möglichkeit einer Bestückung mit SMD-Bauelementen auch auf der Oberfläche der Ferritplatten, so dass diese mit Hilfe der Verbindungstechnik der Ferritplatten elektrisch mit den Schaltkreiselementen der Hauptplatine verbunden sind.
Die Lagen von ein- oder mehrlagigen dielektrischen Schaltungsträgern können vorteilhaft aus organischen oder keramischen Materialien oder aus Verbundmaterial dargestellt wer- den. Die Befestigung der fertig vorbereiteten Ferritplatten an der Oberfläche des dielektrischen Schaltungsträgers kann vorzugsweise in Form einer Klebung mit einem Epoxid-Kleber geschehen oder in Form einer Lötung, beispielsweise unter Verwendung von Hartlot oder nanotechnologischem Silberlot.
Nachdem durch die Erfindung die Oberfläche der Ferritplatten für eine SMD-Bestückung nutzbar gemacht ist, können derartige Bauteile aus anderen Teilen der Gesamtschaltung dort platziert werden, so dass ein kompakterer Aufbau erzielt wird.
In alternativen Ausführungsformen zu den Durchkontaktierungen aus der Platine heraus kann die elektrische Kontaktierung der SMD auch ganz oder teilweise durch eine Kontaktierung von o- ben ersetzt werden. Nach dem Stand der Technik kann das bei- spielsweise durch Bonddrähte oder durch das SIPLIT-Verfahren (Siemens Planar Interconnect Technology) geleistet werden, bei dem die SMD mit einer photostrukturierbaren Folie als Träger galvanisch abgeschiedener Metallisierung überdeckt werden . Ein Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Schaltungsanordnung entsprechend der Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass die Ferritplatten mit Isolierschichten durch Sinterver- fahren oberflächlich isoliert werden können, wobei sogenannte LTCC-Keramik eingesetzt wird. Dies kann insbesondere MnZn- Ferrit oder NiZnCu-Ferrit sein. Diese Ferritwerkstoffe können so angepasst werden, dass sie im typischen Frequenzbereich von flachen Planartransformatoren, d.h. bei 1 bis 5 MHz, aus- reichende relative Permeabilität von über 400 besitzen. Die Ferritplatten können ein- oder mehrlagig ausgebildet sein. Wesentlich ist die externe Darstellung der Ferritplatten mit beidseitig aufgesinterten Isolatorschichten, insbesondere mittels dielektrischer Keramiklagen. Gleichzeitig werden ein- brennbare vertikale Durchkontaktierungen und Oberflächenmetallisierungen aufgebracht, sodass die gesamte Oberfläche für die Montage von Bauelementen vorbereitet ist. Typischerweise besteht der mittlere Schaltungsträger aus zehn bis 20 dielektrischen Keramikschichten zu je 50 bis lOOμm Schichtdicke. Die Ferritplatten werden beispielsweise aus 50 bis lOOμm dicken Einzellagen zu einer Gesamtdicke von 100 bis 500μm aufgebaut. Ihre laterale Ausdehnung reicht mit 10 bis 20mm über die Fläche der eingebetteten Spulenwindungen der Induktivität oder des Transformators hinaus.
Im Folgenden werden anhand von begleitenden schematischen, die Erfindung nicht einschränkenden Figuren Ausführungsbeispiele beschrieben.
Fig. 1 zeigt eine bekannte Querschnittsstruktur eines pla- naren Transformators, integriert in einem dielektrischen Schaltungsträger, ausgeführt als sogenannte Kernstruktur mit den Schaltungsträger durchdringenden Ferrit-Elementen,
Fig. 2 zeigt eine bekannte Querschnittsstruktur eines pla- naren Transformators, integriert in einem dielektrischen Schaltungsträger, wobei die Ferrit- Elemente in Form von Ferritplatten beidseitig des Schaltungsträgers im Bereich des Transformators anliegen,
Fig. 3 zeigt im Querschnitt die Komponenten eines mit SMD- Bauelementen bestückten planaren Transformators mit beidseitig isolierten, gesinterten Ferritplatten,
Fig. 4 zeigt eine Darstellung der Transformatorstruktur nach Abschluss der aufbau- und verbindungstechni- sehen Prozessschritte entsprechend Fig. 3.
Im Folgenden wird insbesondere als Variante eines planaren, induktiven Bauelementes ein planarer Transformator betrachtet. Entsprechend der vorliegenden Erfindung besteht, wie in Fig. 3 dargestellt, der planare Transformator zunächst dem Stand der Technik entsprechend aus einer primären und einer sekundären Wicklung 21 und 22 von Leiterbahnen, die in einen mehrlagigen Schaltungsträger 1 eingebettet sind. Als Träger einer ausgedehnteren Schaltung besitzt die Platine 1 zusätz- liehe oberflächliche Metallisierungslagen 111 bis 118 sowie eingebettete Metallisierungslagen 121, 122. Die oberflächlichen und die eingebetteten Lagen sind mit Hilfe metallischer Durchkontaktierung 131 bis 134 elektrisch leitfähig verbunden. Der Transformator wird beidseitig mit Ferritplatten 311, 321 ausgestattet. Über den Stand der Technik hinausgehend werden diese Ferritplatten aus niedrig sinternder LTCC- Keramik hergestellt, beispielsweise aus MnZn-Ferrit oder NiZnCu-Ferrit . Es besteht die Möglichkeit, ein- oder mehrlagige Ferritplatten darzustellen. Durch Nutzung der kerami- sehen Mehrlagentechnik können die Ferritplatten mit dielektrischen, isolierenden Deckschichten 312, 313 bzw. 322, 323 und zusätzlich mit Durchkontaktierungen 3111, 3112 bzw. 3211, 3212 sowie Leiterbahnen 3121 bis 3134 bzw. 3221 bis 3234 versehen werden. Sie besitzen damit die Merkmale eigen- ständiger Schaltungsträger 31 bzw. 32 (Ferritplatinen) . Wesentlich ist für die Erzielung ausreichender Isolation zwischen den oberflächlichen Kontaktflächen, beispielsweise 3222 und 3223 die Aufbringung der dielektrischen Isolatorschichten 312, 313 bzw. 322, 323, die vorzugsweise aus einem kerami- sehen Material bestehen. Eine Ferritplatte ist zumindest einseitig, vorzugsweise jedoch beidseitig in einem Sinterverfahren mit derartigen dielektrischen Isolatorschichten versehen und bildet damit ein Element, welches auf den eigentlichen ein- oder mehrlagigen Schaltungsträger 1, die Platine, mittels Löt- oder Klebeverbindungen 411 bis 414 bzw. 421 bis 424 so angebracht wird, dass neben der mechanischen Befestigung an den Kontaktflächen auch eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen der jeweiligen Ferritplatine und der Hauptpla- tine entsteht. Diese Aufbringung von in Temperatur belastenden Verfahren hergestellten beschichteten Ferritplatten geschieht vorzugsweise beiderseits des dielektrischen Schaltungsträgers 1.
Damit wird eine elektrisch isolierte Oberfläche mit strukturierten Leiterbahnen auf der ansonsten halbleitenden Ferritkeramik der Ferritplatten realisiert, die Bestandteil des gesamten Schaltungslayouts ist und somit platzsparend mit SMD- Elementen 511 bis 523 bestückt werden kann. Die Lagen des ein- oder mehrlagigen dielektrischen Schaltungsträgers 1 können beispielsweise aus organischem oder keramischen Material oder aus einem Verbundmaterial bestehen.
Die Verbindungstechnik 41, 42, mit der die Ferritplatten 31, 32 auf dem dielektrischen Schaltungsträger 1 befestigt werden, muss mechanischen, elektrischen und thermischen Anforderungen genügen. Entsprechend sind Klebstoffe wie Epoxid- Kleber oder Lote wie Hartlot oder nano-technologisches Silberlot vorteilhaft einsetzbar. Durch die im Rahmen der LTCC- Technolgie erzielbare Isolation der Ferritplatten mit Hilfe einer oder mehrerer dielektrischer Isolatorschichten 312, 313, 322, 323, insbesondere bestehend aus dielektrischer Keramik, sowie die gleichzeitig einbrennbare Oberflächenmetallisierung 3121 bis 3234, wird eine bestückbare und einfach kontaktierbare Oberfläche des Transformators erzielt.
Alternativ zu den elektrischen Durchkontaktierungen 3111, 3112 bzw. 3211, 3212 innnerhalb der Ferritplatinen kann die Oberflächenmetallisierung 111 bis 118 auf der Hauptplatine auch mit Hilfe von Bonddrähten mit derjenigen auf den Ferritplatinen verbunden werden.
In der LTCC-Technologie werden zunächst einzelne Grünfolien verarbeitet. Für die meist vertikalen Durchkontaktierungen werden mit Hilfe von Lasern oder mechanischen Stanzwerkzeugen Öffnungen in die Folie eingebracht, wobei eine Auffüllung mittels Schablonendruck mit leitfähiger Metallpaste geschieht. Planare Leitungsstrukturen werden auf der Folien- Oberfläche durch Siebdruck hergestellt und anschließend werden typischer Weise zehn bis zwanzig Folien aufeinander laminiert und gesintert. Damit wird ein hermetisch dichter mehrlagiger Schaltungsträger dargestellt.
Bei ausschließlicher Verwendung von hoch temperaturstabiler
Aufbau- und Verbindungstechnik wie z.B. Hartlöten oder Drahtbonden in Verbindung mit anorganischen, keramischen Mehrlagenplatinen wird der thermische Einsatzbereich der Schaltung bis zur Curietemperatur des Ferritmaterials erweitert, welche typischer Weise bei 250°Celsius liegt.
Durch Weiterentwicklung der Ferritplatten zu bestückbaren Ferritplatinen wird die sonst unbrauchbare Fläche des Transformators bzw. der Spule für die Bestückung mit oberflächen- montierbaren Bauelementen/ SMD im niederfrequenten Bereich nutzbar. Dadurch kann an anderer Stelle Platinenfläche eingespart werden und die gesamte Schaltung kann verkleinert werden .
Der in den Fig. 1 und 2 dargestellte Stand der Technik teilt sich in eine Kernstruktur entsprechend Fig. 1 und in eine Plattenstruktur entsprechend Fig. 2. Die Basis für die Weiterentwicklung zur Darstellung der Erfindung ist die Plattenstruktur. Sie hat sich durch prozesstechnische Vereinfachung für Anwendungen bei höherer Frequenz (MHz) aus der früheren, niederfrequenter betriebenen (10OkHz) Kernstruktur nach Fig. 1 entwickelt. Die in Fig. 2 dargestellten Ferritplatten 2 werden im Bereich eines Transformators mit den Spulen 8 beiderseits eines dielektrischen Schaltungsträgers 1 platziert. Entsprechend Fig. 3 und Fig. 4 stellt sich eine Schaltungsanordnung entsprechend der Erfindung wie folgt dar: Auf der Basis eines mindestens eine planare Spule 21, 22 ent- haltenden ein- oder mehrlagigen dielektrischen Schaltungsträgers 1, beispielsweise einer Platine aus Keramik oder Epoxidharz, werden die Ferritplatinen 31, 32 beidseitig zum dielektrischen Schaltungsträger 1 im Bereich der Spule bzw. eines planaren Transformators angebracht. Die Ferritplatinen 31, 32 werden mit Löt- oder Klebeverfahren 41, 42 auf dem dielektrischen Schaltungsträger 1 befestigt. In einer Vorstufe dazu werden die Ferritplatten 311, 321 als Mehrschichtkörper aus einzelnen ferritischen Grünfolien aufgebaut und durch Thermokompression mit isolierenden dielektrischen Grünfolien 312, 313, 322, 323 zu einem Verbundkörper 31, 32 laminiert. Die Grünfolien werden vor dem Laminieren einzeln mit ausgestanzten und leitfähig verfüllten Durchkontaktierungen sowie siebgedruckter Oberflächenmetallisierung versehen. Die Verbundkörper 31, 32 werden einzeln bei niedriger Sintertempera- tur von beispielsweise 900°Celsius gebrannt. Dies gelingt spannungs- und rissfrei auf Basis wechselseitig angepassten Sinter- und Wärmeausdehnungsverhaltens der Metallpasten und der ferritischen bzw. dielektrischen Folien.
Oberflächenmontierbare Bauelemente 511 bis 523 können auf dem dielektrischen Schaltungsträger 1 und, was wesentlich ist, auch auf den Ferritplatinen 31, 32 montiert werden. Elektrische Anschlüsse können mit Hilfe der Durchkontaktierungen 3111 bis 3212 über die leitfähigen Verbindungselemente 41, 42 aus der Oberflächenmetallisierung 111 bis 118 der Hauptplatine 1 erfolgen.
Figur 4 zeigt die in Figur 3 dargestellten Teile im zusammen gebauten Zustand. Die Bezugszeichen sind der Figur 3 zu entnehmen .
Die Prozesstemperatur in der LTCC-Technologie bzw. die Sintertemperatur beträgt ca. 900°Celsius. In Zusammenhang mit dieser Technologie können Materialien wie Silber günstig verarbeitet werden. Möglich ist auch der Einsatz der sogenannten HTCC-Technologie/ High Temperature Cofired Ceramics, wobei Molybdän, Wolfram und Platin als Leiter eingesetzt werden. Der prinzipielle Schaltungsaufbau geschieht in der gleichen Weise wie bei LTCC-Technologie/ Low Temperature Cofired Cera- mies.
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Claims

Patentansprüche
1. Mehrlagige Schaltungsanordnung bestehend aus: mindestens einem dielektrischen ein- oder mehrlagigen Schal- tungsträger (1) mit mindestens einer integrierten planaren Spule und/oder mindestens einem integrierten planaren Transformator (21, 22), sowie auf dem mindestens einen dielektrischen Schaltungsträger (1), gegenüberliegend im Bereich einer Spule und/oder eines Transformators angeordneten Ferritplati- nen (31, 32) dadurch gekennzeichnet, dass
- Ferritplatten (311, 321) beidseitig zumindest partiell mit mindestens einer dielektrischen, keramischen, gesinterten Isolatorschicht (312, 313, 322, 323) bedeckt sind,
- der dielektrische Schaltungsträger (1) mit einer Oberflächenmetallisierung (111 bis 118) versehen ist, und
- wobei die beschichteten Ferritplatinen (31, 32) jeweils auf der Oberfläche des dielektrischen Schaltungsträgers (1) fest aufgebracht sind und nach außen eine Fläche zur Bestückung mit oberflächenmontierbaren Bauelementen darstellen .
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ferritplatten (31, 32) aus ein- oder mehrlagiger, bei niedriger Temperatur gesinterter Keramik/ LTCC bestehen.
3. Schaltungsanordnungen nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass Ferritplatten ein MnZn-Ferrit oder ein NiZnCu-Ferrit enthalten.
4. Schaltungsanordnung nach einem der vorher ergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der dielektrische Schaltungsträger (1) aus organischem, keramischem oder Verbund-Material besteht .
5. Schaltungsanordnung nach einem der vorher ergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigung der Ferritplatinen (31, 32) an der Oberfläche des dielektrischen Schaltungs- trägers (1) als Klebung oder als Lotverbindung ausgeführt ist .
6. Schaltungsanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lotverbindung mit nanotech- nologischem Silberlot ausgeführt ist.
7. Schaltungsanordnung nach einem der vorher ergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schaltungsträger (1) und die Ferritplatinen (31,32) aus mehreren Lagen mit oberflächlichen (111 bis 118, 3121 bis 3134, 3221 bis 3234) und eingebetteten (121, 122) Leiterbahnen sowie Durchkontaktierungen (131 bis 134, 3111, 3112, 3211, 3212) bestehen, die untereinander verbindbar sind.
8. Schaltungsanordnung nach einem der vorher ergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass elektrische Verbindungen zwischen dem Schaltungsträger (1) und den Ferritplatinen (31, 32) mittels Drahtbonden ausgeführt sind.
9. Schaltungsanordnung nach einem der vorher ergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass elektrische Verbindungen zwi- sehen dem Schaltungsträger (1) und den Ferritplatinen (31, 32) jeweils mittels einer auflaminierten organischen Folie ausgeführt werden, wobei die Folien durch Laserbearbeitung an den gewünschten Kontaktstellen geöffnet sind und dort durch photolithographische Strukturierung und galvanische Prozess- technik eine weitere Metallisierungsebene ergänzt ist.
10. Schaltungsanordnung nach einem der vorher ergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass oberflächenmontierbare/ SMD- Bauelemente (511 bis 523) aufgebracht sind.
11. Verfahren zur Herstellung einer mehrlagigen Schaltungsan- Ordnung entsprechend einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass
Ferritplatten (311, 321) vor der Befestigung auf einem dielektrischen Schaltungsträger (1) extern bei niedriger Temperatur aus einer LTCC-Keramik mittels eines Sinter- Verfahrens hergestellt werden, mindestens einlagig ausgebildet sind und jeweils beidseitig mit einer dielektrischen Isolatorschicht (312, 313. 322, 323) mittels eines Sinterverfahrens beschichtet werden,
- Auf den Ferritplatten (311, 321) eine einbrennbare Ober- flächenmetallisierung (3121 bis 3134, 3221 bis 3234) aufgebracht wird,
- fertig gesinterte und mit Isolatorschichten (312, 313. 322, 323) versehene Ferritplatinen (31, 32) mittels eines Klebe- oder Lötverfahrens auf dem dielektrischen Schaltungsträger (1) befestigt werden.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass auf Oberflächen dielektrischer Schichten Leiterbahnen durch Siebdruck dargestellt werden.
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