WO2012052271A1

WO2012052271A1 - Verfahren zur herstellung eines konversionsplättchens und konversionsplättchen

Info

Publication number: WO2012052271A1
Application number: PCT/EP2011/066905
Authority: WO
Inventors: Markus Richter
Original assignee: Osram Opto Semiconductors GmbH
Current assignee: Ams Osram International GmbH
Priority date: 2010-10-22
Filing date: 2011-09-28
Publication date: 2012-04-26
Anticipated expiration: 2013-04-22
Also published as: DE102010049312B4; JP2013540364A; CN103168371A; US20130285100A1; JP5769810B2; EP2630668B1; KR101557772B1; DE102010049312A1; US9691946B2; US20160181481A1; KR20130099156A; EP2630668A1; CN103168371B; US10164157B2; US20170279011A1; US9312452B2

Abstract

Es ist ein Verfahren zur Herstellung zumindest eines Konversionsplättchens (4) für ein strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement angegeben, bei dem ein Grundmaterial (3) mit darin enthaltenem Konversionsstoff mittels einer doppelschichtigen Schablone (1) auf ein Substrat (2) aufgebracht wird. Weiter ist ein Konversionsplättchen (4) für ein strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement angegeben, das ein Grundmaterial (3) und einen darin eingebetteten Konversionsstoff aufweist, wobei die Dicke (D₂) des Konversionsplättchens (4) in einem Bereich zwischen einschließlich 60 μm und einschließlich 170 μm liegt.

Description

Beschreibung

Verfahren zur Herstellung eines Konversionsplättchens und Konversionsplättchen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Konversionsplättchens für ein Strahlungsemittierendes

Halbleiterbauelement gemäß Patentanspruch 1. Weiter betrifft die Erfindung ein Konversionsplättchen für ein

Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement gemäß Anspruch 13.

Herkömmlicherweise werden Konversionsplättchen unter anderem mittels eines Siebdruckverfahrens hergestellt. Dabei wird die Schichtdicke der Konversionsplättchen durch eine Auswahl von Sieben mit unterschiedlich dicken Masken gesteuert. Die

Schichtdicken so hergestellter Konversionsplättchen sind dabei jedoch im Siebdruckverfahren auf etwa 40 μπι limitiert. Bei Konversionsplättchen, die mittels eines

Siebdruckverfahrens hergestellt sind, kann zudem die Kontur der Plättchen sowie die Reproduzierbarkeit ihrer Abmessungen und Formen nachteilig schwanken.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen eines Konversionsplättchens mit hoher Schichtdicke und gleichzeitig verbesserte Reproduzierbarkeit sowie

verbesserter Kantentreuer anzugeben. Der Erfindung liegt weiter die Aufgabe zugrunde, ein Konversionsplättchen zu schaffen, das sich durch eine hohe Schichtdicke auszeichnet.

Diese Aufgaben werden unter anderem durch ein Verfahren zum Herstellen eines Konversionsplättchens mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Konversionsplättchen mit den Merkmalen des Anspruchs 13 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen des Konversionsplättchens und des Verfahrens zu dessen

Herstellung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. Erfindungsgemäß ist ein Verfahren zur Herstellung zumindest eines Konversionsplättchens für ein Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement vorgesehen, bei dem ein Grundmaterial mit darin enthaltenem Konversionsstoff mittels einer

doppelschichtigen Schablone auf ein Substrat aufgebracht wird.

Das Konversionsplättchen wird also nicht wie üblicherweise mit einem Siebdruckverfahren hergestellt, sondern mittels einer doppelschichtigen Schablone aufgebracht. Die

doppelschichtige Schablone ist dabei aufgrund ihrer variablen Dicke zur Herstellung von besonders dicken

Konversionsplättchen geeignet. Herkömmlicherweise verwendete Siebe sind dagegen aufgrund ihrer geringen Dicken von

höchstens 40 μπι auf diese beschränkt, sodass mit

herkömmlichen Herstellungsverfahren keine hohen Schichtdicken der Konversionsplättchen erzielt werden können.

Zudem kann vorteilhafterweise durch eine entsprechende

Optimierung des Designs der Schablone, wie beispielsweise Apertur, Form und Größe auf die Form des

Konversionsplättchens Einfluss genommen werden.

Weiter wird durch das Herstellungsverfahren mittels der doppelschichtigen Schablone die Kontur der Plättchen und die Reproduzierbarkeit ihrer Abmessungen verbessert.

Die erhöhte Schichtdicke der so hergestellten

Konversionsplättchen zeichnet sich durch ein großes Konversionsstoffvolumen aus. Dadurch ist es möglich, unter anderem Farborte anzusteuern, die mit konventioneller

Technologie nicht realisierbar sind. Weiter ermöglicht die erhöhte Plättchendicke den Einsatz von Konversionsstoffen, die speziell in ihren Eigenschaften, wie beispielsweise

Effizienz, Temperatur oder Langzeitstabilität, optimiert sind .

Unter dem Farbort werden insbesondere die Zahlenwerte

verstanden, die Farbe der emittierten Strahlung des

Bauelements im CIE-Farbraum beschreiben.

Der Konversionsstoff ist insbesondere geeignet, Strahlung einer Wellenlänge in Strahlung einer anderen Wellenlänge zu konvertieren. Konversionsplättchen mit derartigen

Konversionsstoffen finden Verwendung für beispielsweise

Strahlungsemittierende Halbleiterbauelemente, wobei in diesem Fall die Konversionsplättchen einer Strahlungsaustrittsseite des Halbleiterbauelements nachgeordnet sind und dazu

ausgerichtet sind, zumindest einen Teil der von den

Halbleiterbauelementen emittierte Strahlung in Strahlung einer anderen Wellenlänge umzuwandeln.

In einer Weiterbildung ist die doppelschichtige Schablone in einem zweistufigen lithographischen und Nickel-galvanischen Verfahren hergestellt. Dadurch bildet sich eine

zweischichtige Struktur der Schablone aus, wobei die zwei Strukturen der Schablone vorteilhalfterweise aus demselben Material bestehen. Die zweite Schicht bestimmt dabei

beispielsweise Dicke und Gestalt bzw. Form der zu druckenden Strukturen, also der Konversionsplättchen. Die zweischichtige Schablone ist insbesondere besonders geeignet für

Anwendungen, bei denen es auf eine hohe Genauigkeit ankommt und bietet vorteilhafterweise eine hohe Lebensdauer. Zudem ermöglicht sie den Druck feiner Linien und Strukturen unterschiedlicher Größe.

In einer Weiterbildung enthält die Schablone Nickel.

Bevorzugt besteht die Schablone aus nur einem Material, beispielsweise Nickel. Dadurch kann mit Vorteil das

Grundmaterial für das Konversionsplättchen optimal an gewünschte Anforderungen angepasst werden. Durch die

Möglichkeit des Einsatzes eines optimierten Grundmaterials kann unter anderem zudem eine bessere Druckbarkeit erzielt werden, wodurch die Reproduzierbarkeit und Kontur der

Plättchen verbessert werden können.

In einer Weiterbildung wird das Grundmaterial mit darin enthaltenem Konversionsstoff mittels eines Druckverfahrens aufgebracht .

Dabei wird das Grundmaterial mit darin enthaltenem

Konversionsstoff durch die Schablone gedrückt, sodass das Grundmaterial die Struktur der Schablone im Wesentlichen übernimmt. Durch eine entsprechende Optimierung des Designs der Struktur der Schablone, wie beispielsweise Form und Größe, kann so auf die Form des Konversionsplättchens

Einfluss genommen werden, diese insbesondere bestimmen.

In einer Weiterbildung weist die Schablone zumindest einen Durchbruch auf, durch den das Grundmaterial mit darin enthaltenem Konversionsstoff auf das Substrat aufgedrückt wird. Die Form des Durchbruchs bestimmt dabei die Form des herzustellenden Konversionsplättchens . In einer Weiterbildung weist die Schablone eine Druckseite und eine Auflageseite auf. Die Auflageseite ist dabei dem Substrat zugewandt, die Druckseite ist vom Substrat

abgewandt .

In einer Weiterbildung weist die Druckseite eine

Nickelgewebestruktur auf. Durch die Nickelgewebestruktur kann mit Vorteil eine Planarität des gedruckten Plättchens

gewährleistet werden. So können vorteilhafterweise plane Strukturen des Konversionsplättchen erzeugt werden. Die

Nickelgewebestruktur kann zudem auf die zu druckenden

Strukturen hin optimiert werden, womit die Schablone

vorteilhafterweise zur Verbesserung der Kantentreue und der Reproduzierbarkeit der Plättchenabmessungen beitragen kann.

In einer Weiterbildung wird das Grundmaterial mit darin enthaltenem Konversionsstoff auf der Druckseite aufgebracht und anschließend durch die Schablone mittels einer Druckrakel auf das Substrat aufgedrückt. Das Grundmaterial wird somit auf der von dem Substrat abgewandten Seite der Schablone aufgebracht und derart durch den Durchbruch oder die

Durchbrüche der Schablone mittels Drucks gepresst, sodass das Grundmaterial nach dem Druckvorgang in dem Durchbruch oder den Durchbrüchen der Schablone angeordnet ist. Die Druckseite ist bevorzugt nach dem Druckverfahren zum größten Teil frei von Grundmaterial.

In einer Weiterbildung wird durch die Form des Durchbruchs auf der Auflageseite die Form des Konversionsplättchens bestimmt. Hierbei kann der Durchbruch in vertikaler Richtung, also senkrecht in Richtung Substrat, unterschiedliche

Ausdehnungen und Formen aufweisen. Die Form des Konversionsplättchens wird dabei von der Form des Durchbruchs auf der Auflageseite bestimmt.

In einer Weiterbildung weist der Durchbruch auf der

Druckseite eine Gitterstruktur auf. Die Gitterstruktur erhöht mit Vorteil die Stabilität der Schablone. Der Durchbruch weist in diesem Fall somit zwei Bereiche auf, die vertikal übereinander angeordnet sind, wobei der dem Substrat

zugewandte Bereich die Form des herzustellenden

Konversionsplättchens wiedergibt und der von dem Substrat abgewandte Bereich zur Stabilisierung der Schablone eine Gitterstruktur aufweist. Die Schablone besteht trotz dieses zweischichtigen Aufbaus vorzugsweise aus lediglich einem Material, bevorzugt Nickel.

In einer Weiterbildung wird die Schablone zum Aufbringen des Grundmaterials in direktrem Kontakt mit dem Substrat

angeordnet. Zwischen Schablone und Substrat ist somit während des Druckvorgangs kein Abstand vorhanden. Das Grundmaterial wird dabei während des Druckvorgangs in die Durchbrüche bis zum Substrat gedrückt, sodass das Grundmaterial vorzugsweise nach dem Druckprozess die Durchbrüche vollständig ausfüllt. Nach dem Druckvorgang entspricht die Höhe der Durchbrüche also etwa der Höhe des darin angeordneten Grundmaterials.

Nach dem Druckvorgang wird die Schablone von dem Substrat derart gelöst, dass auf der Schablone lediglich das

Grundmaterial mit darin enthaltenem Konversionsstoff

zurückbleibt .

In einer Weiterbildung wird das Konversionsplättchen mit einer Dicke zwischen einschließlich 60 μπι und einschließlich 170 μπι hergestellt. Derartige Dicken können beispielsweise bei herkömmlicherweise verwendeten Siebdruckverfahren nicht erzielt werden. Aufgrund der erhöhten schichtdicke kann mit Vorteil für die Lichtkonversion ein großes

Konversionsstoffvolumen ermöglicht werden. Dadurch erhöht sich mit Vorteil die Möglichkeit der Ansteuerung eines breiten Spektrums an Farborten.

Durch die erhöhte Plättchendicke kann auch der Einsatz von Konversionsstoffen ermöglicht werden, deren benötigte Menge herkömmlicherweise bei dünneren Konversionsplättchen die Grenzen der Feststoffbeladung im Plättchen übersteigen würde. Diese weiteren Konversionsstoffe können speziell angepasste Eigenschaften bezüglich ihrer Effizienz,

Temperaturbeständigkeit und Langzeitstabilität aufweisen.

In einer Weiterbildung wird in einem gemeinsamen Verfahren eine Mehrzahl von Konversionsplättchen hergestellt, die in einem gemeinsamen Verfahrensschritt auf das Substrat mittels Druckverfahrens aufgebracht werden. Dazu weist bevorzugt die Schablone eine Mehrzahl von Durchbrüchen auf, durch die jeweils die Form eines Konversionsplättchens bestimmt wird.

Das Grundmaterial wird dabei im Herstellungsverfahren auf der Druckseite der Schablone über alle Durchbrüche angeordnet und anschließend mit einer Druckrakel durch alle Durchbrüche durchgedrückt, sodass die Durchbrüche vorzugsweise

vollständig mit dem Grundmaterial gefüllt sind. Anschließend wird die Schablone von dem Substrat abgehoben, wobei so auf dem Substrat eine Mehrzahl von Konversionsplättchen

hergestellt sind, die in ihrer Anordnung der Struktur der Schablone entsprechen. Die Schablone weist beispielsweise eine Dicke zwischen 80 μπι und 150 μπι auf. Bevorzugt weist die Schablone eine Dicke zwischen 100 μπι und 110 μπι auf. Auf der von dem Substrat abgewandten Seite der Schablone kann ein Rahmen angeordnet sein, der die Schablone einspannt.

Das Substrat ist vorzugsweise ein Foliensubstrat, das auf einem Chuck, also einer Spannvorrichtung, angeordnet ist. Das Substrat sowie das hergestellte Konversionsplättchen sind bevorzugt frei von einem Strahlungsemittierenden

Halbleiterbauelement. Mit anderen Worten wird das

Konversionsplättchen nicht unmittelbar auf einem

Halbleiterbauelement aufgebracht oder unmittelbar an diesem erzeugt. Das Konversionsplättchen ist dazu eingerichtet, erst nach der fertigen Herstellung auf einem Halbleiterbauelement angebracht zu werden, zum Beispiel aufgeklebt zu werden.

Ein Konversionsplättchen, das mittels des oben beschriebenen Verfahrens hergestellt ist, ist insbesondere für ein

Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement geeignet. Das Konversionsplättchen weist ein Grundmaterial und einen darin eingebetteten Konversionsstoff auf, wobei die Dicke des Konversionsplättchens in einem Bereich zwischen

einschließlich 60 μπι und einschließlich 170 μπι liegt.

Vorzugsweise liegt die Schichtdicke des Plättchens zwischen 90 μπι und 110 μπι.

Vorzugsweise weist die Schablone auf der Druckseite eine Nickelgewebestruktur auf. Aufgrund der im

Herstellungsverfahren verwendeten Schablone mit einer

Nickelgewebestruktur kann die Oberfläche des Plättchens eine Maschenstruktur aufweisen. Konversionsplättchen, die mit dem oben beschriebenen

Verfahren hergestellt sind, zeichnen sich insbesondere durch eine Reproduzierbarkeit der Abmessungen sowie eine

Verbesserung der Kantentreue aus, sodass Abweichungen

zwischen den Konversionsplättchen bezüglich ihrer Abmessungen und Kanten im Wesentlichen nicht oder kaum auftreten.

Herstellungsbedingte geringe Abweichungen sind dabei

unbeachtlich zu lassen.

In einer Weiterbildung des Konversionsplättchens beträgt der Anteil des Konversionsstoffs im Grundmaterial zwischen 55 Gew.-% und 70 Gew.-%. Die Konversionsplättchen zeichnen sich also durch eine große Dichte des Konversionsstoffs aus, wodurch es möglich ist, in Verbindung mit

strahlungsemittierenden Halbleiterbauelementen eine große Anzahl von Farborten anzusteuern.

In einer Weiterbildung enthält das Grundmaterial Silikon. Das Konversionsplättchen ist also ein konversionsstoffhaltiges Silikon .

Die mit dem Verfahren hergestellten Konversionsplättchen können nach ihrer Herstellung mit strahlungsemittierenden Halbleiterbauelementen kombiniert werden. Insbesondere können derartige Plättchen auf Strahlungsemittierende Bauelemente direkt aufgebracht werden.

Als Strahlungsemittierende Bauelemente kommen dabei

beispielsweise LEDs oder Dünnfilm-LEDs in Frage, die geeignet sind, elektromagnetische Strahlung zu emittieren. Durch geeignete Kombination der hergestellten Konversionsplättchen mit den strahlungsemittierenden Halbleiterbauelementen können so Vorrichtungen erzielt werden, die Mischstrahlung eines gewünschten Farborts emittieren.

Vorteilhafte Weiterbildungen des Konversionsplättchens ergeben sich analog zu den vorteilhaften Weiterbildungen des Herstellungsverfahrens und umgekehrt.

Weitere Merkmale, Vorteile, Weiterbildungen und

Zweckmäßigkeiten des Konversionsplättchen und dessen

Verfahren ergeben sich aus den im Folgenden in Verbindung mit den Figuren 1 bis 4 erläuterten Ausführungsbeispielen. Es zeigen :

Figuren 1A bis IC jeweils Verfahrensschritte zur Herstellung einer Mehrzahl von Konversionsplättchen gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,

Figuren 2A bis 2C jeweils eine schematische Ansicht einer

Schablone zur Herstellung einer Mehrzahl

Konversionsplättchen gemäß einem weiteren

Aus führungsbeispiel ,

Figuren jeweils eine Aufsicht auf ein

Konversionsplättchen hergestellt nach dem erfindungsgemäßen Verfahren (Figur 3A)

beziehungsweise nach dem Stand der Technik (3B), und

Figuren 4A, 4B jeweils eine Aufsicht auf eine Mehrzahl von

Konversionsplättchen hergestellt nach dem erfindungsgemäßen Verfahren (4A) beziehungsweise nach dem Stand der Technik (Figur Gleiche oder gleich wirkende Bestandteile sind jeweils mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die dargstellten

Bestandteile sowie die Größenverhältnisse der Bestandteile untereinander sind nicht als maßstabsgerecht anzusehen.

In den Figuren 1A bis IC sind Verfahrensschritte zur

Herstellung einer Mehrzahl von Konversionsplättchen gezeigt. Derartig hergestellte Konversionsplättchen sind insbesondere zur Verwendung in Kombination mit Strahlungsemittierenden Halbleiterbauelementen, wie beispielsweise LEDs, geeignet. Dabei sind die Konversionsplättchen geeignet, eine von dem Strahlungsemittierenden Halbleiterbauelement emittierte

Strahlung zumindest teilweise in Strahlung einer anderen Wellenlänge umzuwandeln, sodass ein Halbleiterbauelement mit darauf angeordnetem Konversionsplättchen eine Mischstrahlung aus emittierter Strahlung und konvertierter Strahlung

aufweist. Die hergestellten Konversionsplättchen werden dabei beispielsweise direkt einer Strahlungsaustrittsseite des Halbleiterbauelements nachgeordnet, beispielsweise direkt auf einer Strahlungsaustrittsfläche befestigt.

Zur Herstellung der Konversionsplättchen findet insbesondere eine Schablone 1 Verwendung. Die Schablone 1 weist eine Dicke D_]_ in einem Bereich zwischen 80 μπι und 150 μπι, bevorzugt zwischen 100 μπι und 110 μπι auf. Die Schablone weist zur

Ausformung der Konversionsplättchen Durchbrüche 10 auf. Die Durchbrüche 10 weisen dabei zwei Bereiche auf, einen

formgebenden Bereich 11 und eine Gitterstruktur 12. Die

Bereiche der Durchbrüche 11 sind dabei in vertikaler Richtung übereinander angeordnet, das heißt senkrecht zur lateralen Ausdehnung der Schablone 1. Die Gitterstruktur 12 und die formgebende Struktur 11 der Durchbrüche 10 sind derart ausgebildet, dass diese ineinander übergehen. Das bedeutet, dass zwischen der Gitterstruktur 12 und der formgebenden Struktur 11 insbesondere kein Schablonenmaterial angeordnet ist, sodass die Ausnehmungen der Gitterstruktur 12 und die Ausnehmungen der formgebenden Struktur 11 so ineinander übergehen, dass die Schablone in diesen Bereichen vollständig durchbrochen ist.

Zur Herstellung einer Mehrzahl von Konversionsplättchen weist die Schablone 1 eine Mehrzahl von Durchbrüchen 10 auf, die vorzugsweise identisch oder nahezu identisch ausgebildet sind. Die Durchbrüche 10 sind dabei beispielsweise

matrixartig in der Schablone angeordnet. Die Durchbrüche 10 weisen somit in lateraler Richtung jeweils einen Abstand zu einem benachbarten Durchbruch auf, wobei der Abstand mit Schablonenmaterial gefüllt ist.

Die formgebende Struktur 11 bestimmt insbesondere die Form der herzustellenden Konversionsplättchen. Abhängig von der Ausgestaltung der formgebenden Struktur 11 werden somit die Konversionsplättchen ausgebildet. Die Größe und Gestalt sowie die Höhe der Konversionsplättchen sind so vorgegeben.

Die Gitterstrukturen 12 halten die Schablone

vorteilhafterweise stabil und steuern mit Vorteil präzise das Material der herzustellenden Konversionsplättchen zur

formgebenden Struktur 11.

Die doppelschichtige Schablone 11 wird vorzugsweise in einem zweistufigen lithografischen und nickelgalvanischen Verfahren hergestellt und anschließend in einem Spannrahmen 6 montiert. Die Schablone 1 besteht vorzugsweise aus lediglich einem Material, beispielsweise Nickel. Die Schablone 1 weist eine Druckseite 15 und eine Auflageseite 14 auf. Auf der Druckseite 15 weist die

Schablone eine Nickelgewebestruktur auf, wodurch die

Planarität der herzustellenden Konversionsplättchen

gewährleistet wird.

Die Schablone 1 setzt sich also aus zwei Schichten zusammen, wobei die Schicht auf der Auflageseite eine formgebende

Struktur und die Schicht auf der Druckseite eine

Gitterstruktur aufweist. Die zwei Schichten der Schablone bestehen dabei vorzugsweise aus nur einem Material, bevorzugt Nickel, wodurch das Material der herzustellenden

Konversionsplättchen optimiert werden kann. Die doppelschichtige Schablone ist insbesondere ideal geeignet für Anwendungen, bei denen es auf eine hohe

Genauigkeit ankommt und bietet mit Vorteil eine hohe

Lebensdauer . Mit der Auflageseite 14 steht die Schablone 1 in direktem Kontakt mit einem Substrat 2, wie in Figur 1A gezeigt. Das Substrat ist insbesondere geeignet, dass darauf die

Konversionsplättchen angeordnet beziehungsweise hergestellt werden können. Das Substrat 2 ist auf einem Chuck, also einer Spannvorrichtung, angeordnet.

Das Substrat 2 ist insbesondere unterhalb der Durchbrüche 10 angeordnet, sodass die mittels der Durchbrüche 10

hergestellten Konversionsplättchen auf dem Substrat

aufgedrückt werden können.

Auf der Druckseite 15 ist ein Grundmaterial 3 mit darin enthaltenem Konversionsstoff angeordnet. Das Grundmaterial 3 ist beispielsweise Silikon, wobei in dem Silikon ein

Konversionsstoff eingebettet ist. Das Grundmaterial 3 ist dabei auf der Druckseite oberhalb der Durchbrüche der

Schablone angeordnet und bedeckt diese vorzugsweise

vollständig.

Um das Grundmaterial 3 mit darin enthaltenem Konversionsstoff nun mittels eines Druckprozesses durch die Durchbrüche 10 der Schablone 1 zu drücken, findet eine Druckrakel 7 Anwendung. Diese wird auf der Druckseite 15 entlang der lateralen

Ausdehnung der Schablone 1 über die Druckseite geführt.

Wie in Figur 1B dargestellt, drückt die Druckrakel 7 während der lateralen Führung das Grundmaterial 3 mit darin

enthaltenem Konversionsstoff in die Durchbrüche 10,

insbesondere über die Gitterstruktur 12 in die formgebende Struktur 11. In dem Ausführungsbeispiel der Figur 1B ist das Grundmaterial 3 dabei bereits in zwei Durchbrüche 10 der Schablone 1 gedrückt, während das Grundmaterial 3 in den anderen zwei Durchbrüchen 10 mittels der Druckrakel 7 noch nicht hineingedrückt ist.

Während des Druckprozesses liegt die Schablone 1 mit der Auflageseite 14 weiter in direktem Kontakt auf dem Substrat 2 auf. Das Grundmaterial 3 wird somit in die Durchbrüche 10 während des Druckprozesses derart gedrückt, dass das

Grundmaterial die formgebende Struktur 11 der Schablone bevorzugt vollständig ausfüllt, wobei das Grundmaterial auf dem Substrat in Bereichen der formgebenden Strukturen 11 aufgedrückt wird. Das Grundmaterial wird dabei über die

Gitterstruktur zur formgebenden Struktur der Schablone geführt . In Figur IC ist der Druckvorgang mittels der Druckrakel 7 abgeschlossen, das heißt die Druckrakel 7 ist von der linken Seite über die Druckseite 15 vollständig bis zur rechten Seite der Schablone geführt. Dabei ist das Grundmaterial 3 in alle Durchbrüche 10 der Schablone 1 hineingedrückt worden. Das restliche Grundmaterial 3, also der Überschuss, wird dabei am Ende des Druckvorgangs bei der Druckrakel 7, im vorliegenden Ausführungsbeispiel auf der rechten Seite, gesammelt .

Nach Beendigung des Druckvorgangs wird die Schablone 1 von dem Substrat 2 abgehoben. Auf dem Substrat 2 bleiben die so hergestellten Konversionsplättchen 4 übrig. Die Form,

Ausgestaltung und Größe der Konversionsplättchen 4 ist dabei vorgegeben durch die formgebende Struktur 11 der Schablone 1.

Durch ein Herstellungsverfahren mit einer doppelschichtigen Schablone mittels eines Druckverfahrens können

Konversionsplättchen hergestellt werden, die eine größere Dicke D2 aufweisen als Konversionsplättchen, die mit

konventionellen Methoden, wie beispielsweise die

Siebdrucktechnologie, hergestellt sind. Die Schichtdicke D2 der Konversionsplättchen liegt dabei vorzugsweise in einem Bereich zwischen 60 μπι und 170 μπι, bevorzugt zwischen 90 μπι und 110 μπι. Die erhöhte Schichtdicke D2 des

Konversionsplättchens kann vorteilhafterweise für die

Lichtkonversion eine größere Dichte des Konversionsstoffs im Grundmaterial aufweisen. Dadurch ist es vorteilhafterweise möglich, Farborte anzusteuern, die beispielsweise mit der konventionellen Herstellungstechnologie, wie beispielsweise der Siebdrucktechnologie, nicht realisierbar sind. Zudem ermöglicht sich mit einer erhöhten Schichtdicke der

Konversionsplättchen 4 der Einsatz von Konversionsstoffen, die speziell in ihren Eigenschaften wie beispielsweise

Effizienz, Temperaturstabilität oder Langzeitstabilität optimiert sind, und die herkömmlicherweise keinen Einsatz finden, beispielsweise aufgrund der Grenzen der

Feststoffbeladung in dem Grundmaterial, die wiederum abhängig von der Dicke der Konversionsplättchen 4 sind.

Der Anteil des Konversionsstoffs im Grundmaterial beträgt vorzugsweise zwischen 55 Gew.-% und 70 Gew.-%.

Die Doppelschichtschablone trägt mit Vorteil zur Verbesserung der Kantentreue sowie zur Reproduzierbarkeit der

Plättchenabmessungen bei. Insbesondere können so hinsichtlich ihrer Abmessungen und Kantentreue nahezu identische

Konversionsplättchen 4 hergestellt werden.

Aufgrund der Nickelgewebestruktur der Schablone auf der

Druckseite 15 kann die Oberfläche der Konversionsplättchen 4 beispielsweise eine Maschenstruktur aufweisen.

In den Figuren 2A bis 2C ist eine doppelschichtige Schablone 1 dargestellt, wie sie beispielsweise bei dem Verfahren zur Herstellung von einer Mehrzahl von Konversionsplättchen nach den Figuren 1A bis IC Verwendung findet. Die Schablone 1 ist in einem zweistufigen Verfahren hergestellt, sodass diese einen zweischichtigen Aufbau aufweist. Die Schicht der

Schablone 1 auf einer Auflageseite 14 weist formgebende

Strukturen 11 auf. Diese sind im vorliegenden

Ausführungsbeispiel beispielsweise als Quader oder Rechtecke ausgebildet. Die zweite Schicht auf der Druckseite 15 weist eine Gitterstruktur 12 auf. Als Gitterstruktur ist insbesondere eine Struktur zu

verstehen, die gitter- beziehungsweise matrixartig

angeordnete Durchbrüche durch das Schablonenmaterial

aufweist .

Die Gitterstruktur ist dabei jeweils einer formgebenden

Struktur zugeordnet. Die formgebende Struktur 11 und die Gitterstruktur 12 sind derart ausgebildet, dass sie

ineinander übergehen. Somit durchbricht die Schablone im Bereich der Durchbrüche 10 teilweise vollständig. Die

Schablone 1 weist dabei eine Mehrzahl von Einheiten aus formgebender Struktur 11 und Gitterstruktur 12 auf.

Die Schablone 1 ist mittels eines Spannrahmens 6 eingespannt. Der Spannrahmen 6 bildet eine Ausnehmung 13 auf der

Druckseite 15 aus, in die zur Herstellung der

Konversionsplättchen das Grundmaterial mit darin enthaltenem Konversionsstoff angeordnet wird. Das Grundmaterial bedeckt dabei vollständig die Gitterstrukturen der Schablone 1.

In Figur 2B ist eine Aufsicht auf die Auflageseite 14 der Schablone 1 dargestellt. Die Schablone 1 ist vorliegend quadratisch ausgebildet und weist matrixartig angeordnete Durchbrüche 10 auf. Jeweils ein Durchbruch 10 setzt sich zusammen aus einer formgebenden Struktur 11 und darüber angeordneten Gitterstrukturen. Von der Auflageseite sind insbesondere die formgebenden Strukturen 11 sichtbar, wobei die Gitterstrukturen durch die formgebenden Strukturen hindurch erkennbar sind. Die Auflageseite 14 der Schablone 1 ist vorzugsweise planar ausgebildet, weist somit eine planare Fläche auf, mit der die Schablone 1 auf dem Substrat

angeordnet wird. In Figur 2C ist eine Aufsicht auf die Druckseite 15 der

Schablone 1 gezeigt. Die Schablone 1 wird insbesondere mittels eines rahmenförmig angeordneten Spannrahmens 6 stabilisiert. Der Spannrahmen 6 ist dabei derart im

Randbereich der Schablone 1 angeordnet, dass in einem

mittigen Bereich der Schablone, insbesondere in dem Bereich, in dem die Durchbrüche 10 angeordnet sind, eine Ausnehmung 13 ausgebildet wird. Auf der Druckseite sind die

Gitterstrukturen 12 sichtbar, die oberhalb der formgebenden Strukturen matrixartig angeordnet sind. Jede Gitterstruktur setzt sich dabei aus einer Mehrzahl von Durchbrüchen

zusammen, die gitterartig angeordnet sind, wobei jeweils ein Durchbruch der Gitterstruktur eine geringere laterale

Ausdehnung als die formgebende Struktur aufweist, sodass über jeder formgebenden Struktur eine Mehrzahl von matrixartig angeordneten Durchbrüchen der Gitterstruktur angeordnet sind. In die Ausnehmung 13 wird zur Herstellung der

Konversionsplättchen das Grundmaterial mit darin enthaltenem Konversionsstoff angeordnet und mittels einer Druckrakel in die Durchbrüche hineingedrückt.

In den Figuren 3A und 3B ist ein Vergleich eines

Konversionsplättchens dargestellt, das mittels eines

erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellt ist, siehe Figur 3A, beziehungsweise das mit einem herkömmlicherweise verwendeten Siebdruckverfahren hergestellt ist, siehe Figur 3B.

Insbesondere ist jeweils eine Aufsicht auf ein

Konversionsplättchen 4 gezeigt. Wie in Figur 3A dargestellt, weist ein mittels einer

Doppelschichtschablone gedruckten Konversionsplättchen 4 eine scharfkantige Kontur auf. Die Kanten 41 sind dabei also scharf ausgebildet. Im Vergleich dazu weist ein Konversionsplättchen 4 hergestellt nach dem Stand der Technik nachteilig wellenförmige Kanten 41 auf.

Die Konversionsplättchen 4 der Figuren 3A und 3B weisen jeweils eine Ausnehmung 42 auf, die in einem vorgesehenen Bondpadbereich eines Strahlungsemittierenden

Halbleiterbauelements angeordnet sind.

In den Figuren 4A und 4B sind jeweils eine Mehrzahl von

Konversionsplättchen 4 gezeigt, die einmal nach dem

erfindungsgemäßen Verfahren und einmal nach dem Stand der Technik hergestellt sind. Wie in Figur 4A dargestellt, sind die Bondpadbereiche der mit der Doppelschichtschablone gedruckten Konversionsplättchen 4 jeweils sehr ähnlich geformt, nahezu identisch ausgebildet. Insbesondere weisen die Form, Ausgestaltung, Größe und Kanten der

Konversionsplättchen 4 voneinander kaum Abweichungen auf. Im Gegensatz dazu ist die Form der Bondpadbereiche der

siebgedruckten Konversionsplättchen 4 sowie deren Form, Ausgestaltung, Größe und Kanten sehr unterschiedlich

ausgestaltet, wie in Figur 4B dargestellt. Die

unterschiedliche Ausbildung ist insbesondere durch die

Maskierung des Siebes vorgegeben. Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt, sondern umfasst jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den

Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn diese Merkmale oder diese Kombinationen selbst nicht explizit in den Ansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist. Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2010 049 312.0, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Herstellung zumindest eines

Konversionsplättchens (4) für ein Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement, bei dem ein Grundmaterial (3) mit einem darin enthaltenen Konversionsstoff mittels einer

doppelschichtigen Schablone (1) auf ein Substrat (2)

aufgebracht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei

das Grundmaterial (3) mit darin enthaltenem Konversionsstoff mittels eines Druckverfahrens aufgebracht wird.

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Schablone (1) zumindest einen Durchbruch (10) aufweist, durch den das Grundmaterial (3) mit darin enthaltenem

Konversionsstoff auf das Substrat (2) aufgedrückt wird.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Schablone (1) eine Druckseite (15) und eine Auflageseite

(14) aufweist.

5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei

die Druckseite (15) eine Nickel-Gewebestruktur aufweist.

6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, wobei

das Grundmaterial (3) mit darin enthaltenem Konversionsstoff auf der Druckseite (15) aufgebracht wird und anschließend durch die Schablone (1) mittels einer Druckrakel (7) auf das Substrat (2) aufgedrückt wird.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 4 bis 6 unter Rückbezug auf Anspruch 3, wobei durch die Form des Durchbruchs (10) auf der Auflageseite (14) die Form des Konversionsplättchens (4) bestimmt wird.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 4 bis 7 unter Rückbezug auf Anspruch 3, wobei

der Durchbruch (10) auf der Druckseite (15) eine

Gitterstruktur (12) aufweist.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Schablone (1) beim Aufbringen des Grundmaterials (3) in direktem Kontakt mit dem Substrat (2) angeordnet wird.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem

das Konversionsplättchen (4) mit einer Dicke zwischen

einschließlich 60 μπι und einschließlich 170 μπι hergestellt wird .

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei in einem gemeinsamen Verfahren eine Mehrzahl von

Konversionsplättchen (4) hergestellt wird, die in einem gemeinsamen Verfahrensschritt auf das Substrat (2) mittels eines Druckverfahrens aufgebracht werden.

12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei

die Schablone (1) eine Mehrzahl von Durchbrüchen (10)

aufweist, durch die jeweils die Form eines

Konversionsplättchen (4) bestimmt wird.

13. Verfahren nach den Ansprüchen 3, 4, 8 und 10, wobei das Substrat (2) und das Konversionsplättchen (4) frei sind von einem strahlungsemittierenden Halbleiterbauelement.

14. Konversionsplättchen (4) für ein strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement, das ein Grundmaterial (3) und einen darin eingebetteten Konversionsstoff aufweist, wobei die Dicke (D₂) des Konversionsplättchens (4) in einem Bereich zwischen einschließlich 60 μπι und einschließlich 170 μπι liegt .

15. Konversionsplättchen nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei

der Anteil des Konversionsstoffs im Grundmaterial (3) zwischen 55 Gew.-% und 70 Gew.-% beträgt und/oder wobei das Grundmaterial (3) Silikon enthält.